Title:
処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024017196
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】湿度の極めて高い空気を適度な湿度に調整して排出する。【解決手段】電装部と、該電装部に第１の気体を送り込み該電装部を冷却する空冷ユニットと、該電装部からの該第１の気体の排気経路となる第１の排気管と、保持テーブルと処理ユニットとを収容する処理室と、液体のミストを含む第２の気体を該処理室から排出して気液分離する気液分離ユニットと、該気液分離ユニットからの該第２の気体の排気経路となる第２の排気管と、該第１の排気管を通り抜けた該第１の気体と該第２の排気管を通り抜けた該第２の気体とが供給され該第１の気体及び該第２の気体が混合されて形成された第３の気体を排気する排気ユニットと、を備え、該排気ユニットは、該第３の気体が到達する前室と、該前室に到達した該第３の気体が通るＨＥＰＡフィルタと、を備え、該ＨＥＰＡフィルタで浄化された該第３の気体を排出する処理装置。【選択図】図３
Inventors:
Seo Joon Young
Yousuke Sugiyama
Yousuke Sugiyama
Application Number:
JP2022119687A
Publication Date:
February 08, 2024
Filing Date:
July 27, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B23Q11/00; B24B55/06; B24B57/02; H01L21/301; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Previous Patent: Ion exchange resin regeneration device and method
Next Patent: Vehicle battery cooling structure
Next Patent: Vehicle battery cooling structure