Title:
処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024020937
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】生産現場の汚染を防止しつつ、ウエーハを効率的に廃棄し、生産性を向上させる処理装置を提供すること。【解決手段】処理装置１は、ウエーハユニット２００のテープ２０２を上方に露出させた状態で保持する保持部２と、保持部２に保持されたウエーハユニット２００を上方から覆うように開閉可能に構成された蓋部３と、を備え、蓋部３は、閉状態において、保持部２に保持されたウエーハユニット２００のテープ２０２に対して紫外線を照射してテープ２０２を硬化させる紫外線照射部３３と、環状フレーム２０３の内周縁とウエーハ２０１の外周縁との間のテープ２０２を環状に切断することで、環状フレーム２０３とウエーハ２０１とを分離するテープカットユニット３２と、を有し、環状フレーム２０３とウエーハ２０１とを分離することで、環状フレーム２０３からテープ２０２を容易に剥離することが可能である。【選択図】図１
Inventors:
Yoshikatsu Soejima
Application Number:
JP2022123505A
Publication Date:
February 15, 2024
Filing Date:
August 02, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/683; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Sakai International Patent Office
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