Title:
回折格子の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2527833
Kind Code:
B2
Inventors:
大倉 裕二
藤原 正敏
藤原 正敏
Application Number:
JP18984090A
Publication Date:
August 28, 1996
Filing Date:
July 17, 1990
Export Citation:
Assignee:
三菱電機株式会社
International Classes:
G02B5/18; C23F1/00; G03F7/38; (IPC1-7): G02B5/18; G03F7/38
Attorney, Agent or Firm:
早瀬 憲一