Title:
冷凍機
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019528395
Kind Code:
A
Abstract:
【解決手段】本発明は、実質的にヘリウム及びオイルを含む冷媒を圧縮するための圧縮機(10)を備えた、真空を生成するための冷凍機、特にクライオポンプに関する。圧縮機と共に、オイル分離器(20, 22, 24, 26)が冷媒の送出方向の下流側に配置されている。本発明は、冷媒が膨張する冷却装置(30)に更に関する。有毒ガスを吸着するために、吸着装置(28)が送出方向の冷却装置(30)の上流側に配置されている。
Inventors:
Fischer, Bernhard
Walter, Gerhard Wilhelm
Carlish, dark
Ashcroft, Jennifer
Walter, Gerhard Wilhelm
Carlish, dark
Ashcroft, Jennifer
Application Number:
JP2019506375A
Publication Date:
October 10, 2019
Filing Date:
August 08, 2017
Export Citation:
Assignee:
Reybold Game Behr
International Classes:
F04B37/08; B01D53/04; F04B37/16; F25B9/00
Domestic Patent References:
| JPS61240061A | 1986-10-25 | |||
| JP2001517751A | 2001-10-09 | |||
| JPS58187776A | 1983-11-02 | |||
| JPH0436552A | 1992-02-06 | |||
| JPH09169506A | 1997-06-30 | |||
| JPH09225246A | 1997-09-02 | |||
| JP2000249414A | 2000-09-14 |
Attorney, Agent or Firm:
Hideno Kono
Nobuo Kono
Nobuo Kono