Title:
薄膜キャパシタ構造、および当該薄膜キャパシタ構造を備えた半導体装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6427747
Kind Code:
B1
Abstract:
薄膜キャパシタ構造（５０）は、電極パッド面（２Ｓ）に複数の電極パッド（３Ｇ、３Ｐ、３Ｓ）がエリアアレイ状に配置されたエリアアレイ型集積回路（２）の電極パッド面（２Ｓ）に接合される。薄膜キャパシタ構造（５０）は、第１シート電極（１１）、第２シート電極（１３）、および第１シート電極（１１）と第２シート電極（１２）との間に形成された薄膜誘電体層（１２）を含む薄膜キャパシタ（１０）と、第１絶縁膜（２１）と、第２絶縁膜（２２）と、複数の貫通孔（３０Ｐ、３０Ｇ、３０Ｓ）と、を備える。複数の貫通孔（３０Ｐ、３０Ｇ、３０Ｓ）は、第１絶縁膜（２１）から薄膜キャパシタ（１０）を経由して第２絶縁膜（２２）まで貫通し、複数の電極パッド（３Ｇ、３Ｐ、３Ｓ）に対応する位置に形成されている。
Inventors:
Seiji Oyamada
Application Number:
JP2017548478A
Publication Date:
November 28, 2018
Filing Date:
May 17, 2017
Export Citation:
Assignee:
Noda Screen Co., Ltd.
International Classes:
H01L23/12; H01G4/30; H01G4/33; H05K1/16
Domestic Patent References:
| JP2005123250A | 2005-05-12 | |||
| JP2007184324A | 2007-07-19 |
Foreign References:
| WO2008105496A1 | 2008-09-04 |
Attorney, Agent or Firm:
Akatsuki Joint Patent Office