図1は、本発明の好ましい実施形態におけ る繊維状柱状構造体集合体の概略断面図(各� �成部分を明示するために縮尺は正確に記載� �れていない)を示す。繊維状柱状構造体集合� ��10は、基材1と、繊維状柱状構造体2を備える 。繊維状柱状構造体の片端2aは、基材1に固定 されている。繊維状柱状構造体2は、長さ方� �Lに配向している。繊維状柱状構造体2は、好 ましくは、基材1に対して略垂直方向に配向� �ている。本図示例とは異なり、繊維状柱状� �造体集合体が基材を備えない場合であって� �、繊維状柱状構造体は互いにファンデルワ� �ルス力によって集合体として存在し得るの� �、本発明の繊維状柱状構造体集合体は、基� �を備えない集合体であっても良い。

〔繊維状柱状構造体集合体(1)〕
 本発明の繊維状柱状構造体集合体(1)は、複� ��の直径を有する繊維状柱状構造体を備え、� ��複数の直径を有する繊維状柱状構造体の直� ��分布の分布幅が10nm以上であり、該直径分布 の最頻値の相対頻度が30%以下である。

 上記繊維状柱状構造体の材料としては、� ��意の適切な材料を採用し得る。例えば、ア� ��ミ、鉄などの金属;シリコンなどの無機材料 ;カーボンナノファイバー、カーボンナノチ� �ーブなどのカーボン材料;エンジニアリング� ��ラスチック、スーパーエンジニアリングプ� ��スチックなどの高モジュラスの樹脂;などが 挙げられる。樹脂の具体例としては、ポリイ ミド、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ エチレンテレフタレート、アセチルセルロー ス、ポリカーボネート、ポリアミドなどが挙 げられる。樹脂の分子量などの諸物性は、本 発明の目的を達成しうる範囲において、任意 の適切な物性を採用し得る。

 繊維状柱状構造体の直径分布の分布幅は1 0nm以上であり、好ましくは10~30nm、より好ま� �くは10~25nm、さらに好ましくは10~20nmである。

 上記繊維状柱状構造体の直径分布の「分� ��幅」とは、繊維状柱状構造体の直径の最大� ��と最小数との差をいう。本発明において、� ��維状柱状構造体の直径分布の分布幅が上記� ��囲内にあることにより、該繊維状柱状構造� ��は優れた機械的特性および高い比表面積を� ��ね備えることができ、さらには、該繊維状� ��状構造体は優れた粘着特性を示す繊維状柱� ��構造体集合体となり得る。なお、本発明に� ��いて、繊維状柱状構造体の直径、直径分布� ��、任意の適切な装置によって測定すれば良� ��。好ましくは、走査型電子顕微鏡(SEM)や透� �電子顕微鏡(TEM)によって測定される。例えば 、繊維状柱状構造体集合体から少なくとも10� ��、好ましくは20本以上の繊維状柱状構造体� �SEMあるいはTEMによって測定し、直径および� �径分布を評価すれば良い。

 上記繊維状柱状構造体の直径の最大数は� ��好ましくは5~30nm、より好ましくは10~30nm、さ らに好ましくは15~30nm、特に好ましくは15~25nm� ��ある。上記繊維状柱状構造体の直径の最小� ��は、好ましくは1~15nm、より好ましくは5~15nm� ��ある。本発明において、繊維状柱状構造体� ��直径の最大数と最小数が上記範囲内にある� ��とにより、該繊維状柱状構造体は一層優れ� ��機械的特性および高い比表面積を兼ね備え� ��ことができ、さらには、該繊維状柱状構造� ��は一層優れた粘着特性を示す繊維状柱状構� ��体集合体となり得る。

 上記直径分布の最頻値の相対頻度は、30%� ��下であり、好ましくは1~25%、より好ましく� �5~25%、さらに好ましくは10~25%、特に好ましく は15~25%である。本発明において、直径分布の 最頻値の相対頻度が上記範囲内にあることに より、該繊維状柱状構造体は優れた機械的特 性および高い比表面積を兼ね備えることがで き、さらには、該繊維状柱状構造体は優れた 粘着特性を示す繊維状柱状構造体集合体とな り得る。

 上記直径分布の最頻値は、直径5nmから15nm の範囲に存在することが好ましく、直径5nmか ら10nmに存在することがより好ましい。本発� �において、直径分布の最頻値が上記範囲内� �あることにより、該繊維状柱状構造体は優� �た機械的特性および高い比表面積を兼ね備� �ることができ、さらには、該繊維状柱状構� �体は優れた粘着特性を示す繊維状柱状構造� �集合体となり得る。

 上記繊維状柱状構造体の形状としては、� ��の横断面が任意の適切な形状を有していれ� ��良い。例えば、その横断面が、略円形、楕� ��形、n角形(nは3以上の整数)等が挙げられる� �また、上記繊維状柱状構造体は、中空であ� �ても良いし、充填材料であっても良い。

 上記繊維状柱状構造体の長さは、任意の� ��切な長さに設定され得る。繊維状柱状構造� ��の長さは、好ましくは300μm以上、より好ま� ��くは300~10000μm、さらに好ましくは300~1000μm� �特に好ましくは300~900μmである。本発明にお� ��て、繊維状柱状構造体の長さが上記範囲内� ��あることにより、該繊維状柱状構造体は一� ��優れた機械的特性および高い比表面積を兼� ��備えることができ、さらには、該繊維状柱� ��構造体は一層優れた粘着特性を示す繊維状� ��状構造体集合体となり得る。

 本発明の繊維状柱状構造体集合体(1)にお� ��て、上記繊維状柱状構造体中の、長さが300� �m以上の繊維状柱状構造体の含有割合は、好� ��しくは80~100%、より好ましくは90~100%、さら� �好ましくは95~100%、特に好ましくは98~100%、最 も好ましくは実質的に100%である。ここで、� �実質的に100%」とは、測定機器における検出� ��界において100%であることを意味する。本発 明において、上記繊維状柱状構造体中の、長 さが300μm以上の繊維状柱状構造体の含有割合 が上記範囲内にあることにより、該繊維状柱 状構造体は一層優れた機械的特性および高い 比表面積を兼ね備えることができ、さらには 、該繊維状柱状構造体は一層優れた粘着特性 を示す繊維状柱状構造体集合体となり得る。

 本発明の繊維状柱状構造体集合体(1)は、室� ��におけるガラス面に対するせん断接着力が� ��好ましくは15N/cm ² 以上である。より好ましくは20~500N/cm ² 、さらに好ましくは30~100N/cm ² 、特に好ましくは30~80N/cm ² 、特に好ましくは35~50N/cm ² である。ここで、本発明において「室温」と は温度25℃の条件下を意味するものとする。

 上記繊維状柱状構造体の比表面積、密度� ��、任意の適切な値に設定され得る。

 本発明の繊維状柱状構造体集合体(1)は、� ��繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブ� ��あり、該カーボンナノチューブが複数層を� ��するカーボンナノチューブである場合、好� ��しくは、該複数層を有するカーボンナノチ� ��ーブの層数分布の分布幅が10層以上であり� �好ましくは、該層数分布の最頻値の相対頻� �が25%以下である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の分布幅は、より好ましくは10~3 0層、さらに好ましくは10~25層、特に好ましく は10~20層である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の「分布幅」とは、複数層を有� ��るカーボンナノチューブの層数の最大層数� ��最小層数との差をいう。本発明において、� ��数層を有するカーボンナノチューブの層数� ��布の分布幅が上記範囲内にあることにより� ��該カーボンナノチューブは優れた機械的特� ��および高い比表面積を兼ね備えることがで� ��、さらには、該カーボンナノチューブは優� ��た粘着特性を示すカーボンナノチューブ集� ��体となり得る。なお、本発明において、カ� ��ボンナノチューブの層数、層数分布は、任� ��の適切な装置によって測定すれば良い。好� ��しくは、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過電子� �微鏡(TEM)によって測定される。例えば、カー ボンナノチューブ集合体から少なくとも10本� ��好ましくは20本以上のカーボンナノチュー� �をSEMあるいはTEMによって測定し、層数およ� �層数分布を評価すれば良い。

 上記最大層数は、好ましくは5~30層、より 好ましくは10~30層、さらに好ましくは15~30層� �特に好ましくは15~25層である。上記最小層数 は、好ましくは1~10層、より好ましくは1~5層� �ある。本発明において、カーボンナノチュ� �ブの層数の最大層数と最小層数が上記範囲� �にあることにより、該カーボンナノチュー� �は一層優れた機械的特性および高い比表面� �を兼ね備えることができ、さらには、該カ� �ボンナノチューブは一層優れた粘着特性を� �すカーボンナノチューブ集合体となり得る� �

 上記層数分布の最頻値の相対頻度は、好� ��しくは1~25%、より好ましくは5~25%、さらに好 ましくは10~25%、特に好ましくは15~25%である。 本発明において、層数分布の最頻値の相対頻 度が上記範囲内にあることにより、該カーボ ンナノチューブは優れた機械的特性および高 い比表面積を兼ね備えることができ、さらに は、該カーボンナノチューブは優れた粘着特 性を示すカーボンナノチューブ集合体となり 得る。

 上記層数分布の最頻値は、層数2層から層 数10層に存在することが好ましく、さらに好� ��しくは層数3層から層数10層に存在する。本� ��明において、層数分布の最頻値が上記範囲� ��にあることにより、該カーボンナノチュー� ��は優れた機械的特性および高い比表面積を� ��ね備えることができ、さらには、該カーボ� ��ナノチューブは優れた粘着特性を示すカー� ��ンナノチューブ集合体となり得る。

〔繊維状柱状構造体集合体(2):カーボンナノ� �ューブ集合体〕
 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(2)は、複数の繊維� ��柱状構造体を備え、該繊維状柱状構造体が� ��ーボンナノチューブであり、該カーボンナ� ��チューブが複数層を有するカーボンナノチ� ��ーブであり、該複数層を有するカーボンナ� ��チューブの層数分布の分布幅が10層以上で� �り、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以� �である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の分布幅は10層以上であり、好� �しくは10~30層、より好ましくは10~25層、さら� ��好ましくは10~20層である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の「分布幅」とは、複数層を有� ��るカーボンナノチューブの層数の最大層数� ��最小層数との差をいう。本発明において、� ��数層を有するカーボンナノチューブの層数� ��布の分布幅が上記範囲内にあることにより� ��該カーボンナノチューブは優れた機械的特� ��および高い比表面積を兼ね備えることがで� ��、さらには、該カーボンナノチューブは優� ��た粘着特性を示すカーボンナノチューブ集� ��体となり得る。なお、本発明において、カ� ��ボンナノチューブの層数、層数分布は、任� ��の適切な装置によって測定すれば良い。好� ��しくは、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過電子� �微鏡(TEM)によって測定される。例えば、カー ボンナノチューブ集合体から少なくとも10本� ��好ましくは20本以上のカーボンナノチュー� �をSEMあるいはTEMによって測定し、層数およ� �層数分布を評価すれば良い。

 上記最大層数は、好ましくは5~30層、より 好ましくは10~30層、さらに好ましくは15~30層� �特に好ましくは15~25層である。上記最小層数 は、好ましくは1~10層、より好ましくは1~5層� �ある。本発明において、カーボンナノチュ� �ブの層数の最大層数と最小層数が上記範囲� �にあることにより、該カーボンナノチュー� �は一層優れた機械的特性および高い比表面� �を兼ね備えることができ、さらには、該カ� �ボンナノチューブは一層優れた粘着特性を� �すカーボンナノチューブ集合体となり得る� �

 上記層数分布の最頻値の相対頻度は、25%� ��下であり、好ましくは1~25%、より好ましく� �5~25%、さらに好ましくは10~25%、特に好ましく は15~25%である。本発明において、層数分布の 最頻値の相対頻度が上記範囲内にあることに より、該カーボンナノチューブは優れた機械 的特性および高い比表面積を兼ね備えること ができ、さらには、該カーボンナノチューブ は優れた粘着特性を示すカーボンナノチュー ブ集合体となり得る。

 上記層数分布の最頻値は、層数2層から層 数10層に存在することが好ましく、さらに好� ��しくは層数3層から層数10層に存在する。本� ��明において、層数分布の最頻値が上記範囲� ��にあることにより、該カーボンナノチュー� ��は優れた機械的特性および高い比表面積を� ��ね備えることができ、さらには、該カーボ� ��ナノチューブは優れた粘着特性を示すカー� ��ンナノチューブ集合体となり得る。

 上記カーボンナノチューブの形状として� ��、その横断面が任意の適切な形状を有して� ��れば良い。例えば、その横断面が、略円形� ��楕円形、n角形(nは3以上の整数)等が挙げら� �る。

 上記カーボンナノチューブの長さは、任� ��の適切な長さに設定され得る。複数層を有� ��るカーボンナノチューブは、好ましくは、� ��さが300μm以上のカーボンナノチューブを含� ��。上記カーボンナノチューブの長さは、よ� ��好ましくは300~10000μmであり、さらに好まし� ��は300~1000μm、特に好ましくは300~900μmである� ��本発明において、カーボンナノチューブの� ��さが上記範囲内にあることにより、該カー� ��ンナノチューブは一層優れた機械的特性お� ��び高い比表面積を兼ね備えることができ、� ��らには、該カーボンナノチューブは一層優� ��た粘着特性を示すカーボンナノチューブ集� ��体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(2)において、上� ��複数層を有するカーボンナノチューブ中の� ��長さが300μm以上のカーボンナノチューブの� ��有割合は、好ましくは80~100%、より好ましく は90~100%、さらに好ましくは95~100%、特に好ま� ��くは98~100%、最も好ましくは実質的に100%で� �る。ここで、「実質的に100%」とは、測定機� ��における検出限界において100%であることを 意味する。本発明のカーボンナノチューブ集 合体である繊維状柱状構造体集合体(2)におい て、上記複数層を有するカーボンナノチュー ブ中の、長さが300μm以上のカーボンナノチュ ーブの含有割合が上記範囲内にあることによ り、該カーボンナノチューブは一層優れた機 械的特性および高い比表面積を兼ね備えるこ とができ、さらには、該カーボンナノチュー ブは一層優れた粘着特性を示すカーボンナノ チューブ集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(2)は、室温におけ� ��ガラス面に対するせん断接着力が、好まし� ��は15N/cm ² 以上である。より好ましくは20~500N/cm ² 、さらに好ましくは30~100N/cm ² 、特に好ましくは30~80N/cm ² 、特に好ましくは35~50N/cm ² である。

 上記カーボンナノチューブの比表面積、� ��度は、任意の適切な値に設定され得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(2)は、好ましく� ��、250℃雰囲気下におけるガラス面に対する� ��ん断接着力が、室温におけるガラス面に対� ��るせん断接着力の0.8~1.2倍であり、より好ま しくは0.85~1.15倍、さらに好ましくは0.9~1.1倍� �ある。250℃雰囲気下におけるガラス面に対� �るせん断接着力が、室温におけるガラス面� �対するせん断接着力の0.8~1.2倍であることに� ��り、該繊維状柱状構造体集合体(2)は優れた� ��熱性を備えることができ、該繊維状柱状構� ��体集合体(2)は室温から高温までの温度条件� ��における優れた粘着特性を示すカーボンナ� ��チューブ集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(2)は、好ましくは� ��表面自由エネルギーaの被着体に対するせん 断接着力をA、表面自由エネルギーaとの差が2 5mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �るせん断接着力をBとしたときの(ただしa>B )B/Aの値が0.8~1.2であり、より好ましくは0.85~1. 15、さらに好ましくは0.9~1.1である。表面自由 エネルギーaの被着体に対するせん断接着力� �A、表面自由エネルギーaとの差が25mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �るせん断接着力をBとしたときの(ただしa>B )B/Aの値が0.8~1.2であることにより、該繊維状� ��状構造体集合体(2)は、表面自由エネルギー� ��異なる被着体への接着力が変化しない(被着 体選択性のない)粘着特性を有するカーボン� �ノチューブ集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(2)は、半導体ウ� ��ハに圧着して接着した後に剥離する際に、� ��半導体ウェハ上に残留する大きさ0.28μm以上 のパーティクル数が、好ましくは30個/4イン� �ウェハ以下、より好ましくは25個/4インチウ� ��ハ以下、さらに好ましくは20個/4インチウェ ハ以下である。より具体的には、ポリプロピ レン樹脂に転写した本発明のカーボンナノチ ューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体 (2)を、4インチ半導体ウェハに5kgローラーに� �り圧着して貼り合わせた後、180°ピールにて 剥離した際の、剥離した半導体ウェハ上に残 留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数が� �好ましくは30個/4インチウェハ以下、より好� ��しくは25個/4インチウェハ以下、さらに好ま しくは20個/4インチウェハ以下である。本発� �のカーボンナノチューブ集合体である繊維� �柱状構造体集合体(2)は、好ましくは、該集� �体を上記のように半導体ウェハに圧着・接� �した後に剥離する際の該半導体ウェハ上に� �留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数が� ��記のように少数であるので、非汚染性に極� ��て優れる。

 なお、上記非汚染性を評価する場合の180� �ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG-1 kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし 法)に準じて測定を行う。ただし、試験片は� �ポリプロピレン樹脂に転写した本発明のカ� �ボンナノチューブ集合体である繊維状柱状� �造体集合体(2)(半導体ウェハに圧着して接着� ��るもの)そのものであり、圧着は5kgのローラ ーを1往復して行い、温度23±2℃、湿度65±5%RH� ��剥離速度300mm/minで測定する。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(2)は、ポリプロ� ��レン樹脂の基材(厚み30μm)に固定した場合、 180°ピールの値が、好ましくは1N/20mm以下、よ り好ましくは0.001~1N/20mm、さらに好ましくは0. 001~0.7N/20mm、より好ましくは0.001~0.5N/20mm、特� �好ましくは0.001~0.4N/20mmである。本発明のカ� �ボンナノチューブ集合体である繊維状柱状� �造体集合体(2)は、好ましくは、ポリプロピ� �ン樹脂の基材(厚み30μm)に固定した場合の180� �ピールの値が上記のように小さいので、軽� �離性に極めて優れる。通常の粘着剤の場合� �180°ピールの値は1N/20mmより大きい。

 なお、上記軽剥離性を評価する場合の180� �ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG-1 kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし 法)に準じて測定を行う。ただし、試験片は� �幅20mmのポリプロピレン樹脂に転写した本発� ��のカーボンナノチューブ集合体である繊維� ��柱状構造体集合体(2)であり、試験板として� ��リコンウェハ(ベアウェハ、P型、KST製)を用� ��、圧着は2kgのローラーを1往復して行い、温 度23±2℃、湿度65±5%RH、剥離速度300mm/minで測� �する。

〔繊維状柱状構造体集合体(3):カーボンナノ� �ューブ集合体〕
 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(3)は、複数の繊維� ��柱状構造体を備え、該繊維状柱状構造体が� ��ーボンナノチューブであり、該カーボンナ� ��チューブが複数層を有するカーボンナノチ� ��ーブであり、該複数層を有するカーボンナ� ��チューブの層数分布の分布幅が10層以上で� �り、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以� �であり、250℃雰囲気下におけるガラス面に� �するせん断接着力が、室温におけるガラス� �に対するせん断接着力の0.8~1.2倍である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の分布幅は、好ましくは10~30層� �より好ましくは10~25層、さらに好ましくは10~ 20層である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の「分布幅」とは、複数層を有� ��るカーボンナノチューブの層数の最大層数� ��最小層数との差をいう。本発明において、� ��数層を有するカーボンナノチューブの層数� ��布の分布幅が上記範囲内にあることにより� ��該カーボンナノチューブはより一層優れた� ��熱性および高い比表面積を兼ね備えること� ��でき、さらには、該カーボンナノチューブ� ��室温から高温までの温度条件下における優� ��た粘着特性を示すカーボンナノチューブ集� ��体となり得る。なお、本発明において、カ� ��ボンナノチューブの層数、層数分布は、任� ��の適切な装置によって測定すれば良い。好� ��しくは、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過電子� �微鏡(TEM)によって測定される。例えば、カー ボンナノチューブ集合体から少なくとも10本� ��好ましくは20本以上のカーボンナノチュー� �をSEMあるいはTEMによって測定し、層数およ� �層数分布を評価すれば良い。

 上記最大層数は、好ましくは1~30層、より 好ましくは1~25層、さらに好ましくは2~25層で� ��る。上記最小層数は、好ましくは1~10層、よ り好ましくは1~5層である。本発明において、 カーボンナノチューブの層数の最大層数と最 小層数が上記範囲内にあることにより、該カ ーボンナノチューブはより一層優れた耐熱性 および高い比表面積を兼ね備えることができ 、さらには、該カーボンナノチューブは室温 から高温までの温度条件下における優れた粘 着特性を示すカーボンナノチューブ集合体と なり得る。

 上記層数分布の最頻値の相対頻度は、好� ��しくは1~25%、より好ましくは5~25%、さらに好 ましくは10~25%、特に好ましくは15~25%である。 本発明において、層数分布の最頻値の相対頻 度が上記範囲内にあることにより、該カーボ ンナノチューブはより一層優れた耐熱性およ び高い比表面積を兼ね備えることができ、さ らには、該カーボンナノチューブは室温から 高温までの温度条件下における優れた粘着特 性を示すカーボンナノチューブ集合体となり 得る。

 上記層数分布の最頻値は、層数1層から層 数10層に存在することが好ましく、より好ま� ��くは層数2層から層数10層に存在し、さらに� ��ましくは層数3層から層数10層に存在する。� ��発明において、層数分布の最頻値が上記範� ��内にあることにより、該カーボンナノチュ� ��ブはより一層優れた耐熱性および高い比表� ��積を兼ね備えることができ、さらには、該� ��ーボンナノチューブは室温から高温までの� ��度条件下における優れた粘着特性を示すカ� ��ボンナノチューブ集合体となり得る。

 上記カーボンナノチューブの形状として� ��、その横断面が任意の適切な形状を有して� ��れば良い。例えば、その横断面が、略円形� ��楕円形、n角形(nは3以上の整数)等が挙げら� �る。

 上記カーボンナノチューブの長さは、任� ��の適切な長さに設定され得る。複数層を有� ��るカーボンナノチューブは、好ましくは、� ��さが300μm以上のカーボンナノチューブを含� ��。上記カーボンナノチューブの長さは、よ� ��好ましくは300~10000μmであり、さらに好まし� ��は300~5000μm、特に好ましくは300~2000μmである 。本発明において、カーボンナノチューブの 長さが上記範囲内にあることにより、該カー ボンナノチューブはより一層優れた耐熱性お よび高い比表面積を兼ね備えることができ、 さらには、該カーボンナノチューブは室温か ら高温までの温度条件下における優れた粘着 特性を示すカーボンナノチューブ集合体とな り得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(3)において、上� ��複数層を有するカーボンナノチューブ中の� ��長さが300μm以上のカーボンナノチューブの� ��有割合は、好ましくは80~100%、より好ましく は90~100%、さらに好ましくは95~100%、特に好ま� ��くは98~100%、最も好ましくは実質的に100%で� �る。ここで、「実質的に100%」とは、測定機� ��における検出限界において100%であることを 意味する。本発明のカーボンナノチューブ集 合体である繊維状柱状構造体集合体(3)におい て、上記複数層を有するカーボンナノチュー ブ中の、長さが300μm以上のカーボンナノチュ ーブの含有割合が上記範囲内にあることによ り、該カーボンナノチューブはより一層優れ た耐熱性および高い比表面積を兼ね備えるこ とができ、さらには、該カーボンナノチュー ブは室温から高温までの温度条件下における 優れた粘着特性を示すカーボンナノチューブ 集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(3)は、250℃雰囲� ��下におけるガラス面に対するせん断接着力� ��、室温におけるガラス面に対するせん断接� ��力の0.8~1.2倍であり、好ましくは0.85~1.15倍、 より好ましくは0.9~1.1倍である。250℃雰囲気� �におけるガラス面に対するせん断接着力が� �室温におけるガラス面に対するせん断接着� �の0.8~1.2倍であることにより、該繊維状柱状� ��造体集合体(3)は優れた耐熱性を備えること� ��でき、該繊維状柱状構造体集合体(3)は室温� ��ら高温までの温度条件下における優れた粘� ��特性を示すカーボンナノチューブ集合体と� ��り得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(3)は、室温におけ� ��ガラス面に対するせん断接着力が、好まし� ��は15N/cm ² 以上である。より好ましくは20~500N/cm ² 、さらに好ましくは30~100N/cm ² 、特に好ましくは30~80N/cm ² 、特に好ましくは35~50N/cm ² である。

 上記カーボンナノチューブの比表面積、� ��度は、任意の適切な値に設定され得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(3)は、好ましくは� ��表面自由エネルギーaの被着体に対するせん 断接着力をA、表面自由エネルギーaとの差が2 5mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �るせん断接着力をBとしたときの(ただしa>B )B/Aの値が0.8~1.2であり、より好ましくは0.85~1. 15、さらに好ましくは0.9~1.1である。表面自由 エネルギーaの被着体に対するせん断接着力� �A、表面自由エネルギーaとの差が25mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �るせん断接着力をBとしたときの(ただしa>B )B/Aの値が0.8~1.2であることにより、該繊維状� ��状構造体集合体(3)は、表面自由エネルギー� ��異なる被着体への接着力が変化しない(被着 体選択性のない)粘着特性を有するカーボン� �ノチューブ集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(3)は、半導体ウ� ��ハに圧着して接着した後に剥離する際に、� ��半導体ウェハ上に残留する大きさ0.28μm以上 のパーティクル数が、好ましくは30個/4イン� �ウェハ以下、より好ましくは25個/4インチウ� ��ハ以下、さらに好ましくは20個/4インチウェ ハ以下である。より具体的には、ポリプロピ レン樹脂に転写した本発明のカーボンナノチ ューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体 (3)を、4インチ半導体ウェハに5kgローラーに� �り圧着して貼り合わせた後、180°ピールにて 剥離した際の、剥離した半導体ウェハ上に残 留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数が� �好ましくは30個/4インチウェハ以下、より好� ��しくは25個/4インチウェハ以下、さらに好ま しくは20個/4インチウェハ以下である。本発� �のカーボンナノチューブ集合体である繊維� �柱状構造体集合体(3)は、好ましくは、該集� �体を上記のように半導体ウェハに圧着・接� �した後に剥離する際の該半導体ウェハ上に� �留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数が� ��記のように少数であるので、非汚染性に極� ��て優れる。

 なお、上記非汚染性を評価する場合の180� �ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG-1 kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし 法)に準じて測定を行う。ただし、試験片は� �ポリプロピレン樹脂に転写した本発明のカ� �ボンナノチューブ集合体である繊維状柱状� �造体集合体(3)(半導体ウェハに圧着して接着� ��るもの)そのものであり、圧着は5kgのローラ ーを1往復して行い、温度23±2℃、湿度65±5%RH� ��剥離速度300mm/minで測定する。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(3)は、ポリプロ� ��レン樹脂の基材(厚み30μm)に固定した場合、 180°ピールの値が、好ましくは1N/20mm以下、よ り好ましくは0.001~1N/20mm、さらに好ましくは0. 001~0.7N/20mm、より好ましくは0.001~0.5N/20mm、特� �好ましくは0.001~0.4N/20mmである。本発明のカ� �ボンナノチューブ集合体である繊維状柱状� �造体集合体(3)は、好ましくは、ポリプロピ� �ン樹脂の基材(厚み30μm)に固定した場合の180� �ピールの値が上記のように小さいので、軽� �離性に極めて優れる。通常の粘着剤の場合� �180°ピールの値は1N/20mmより大きい。

 なお、上記軽剥離性を評価する場合の180� �ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG-1 kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし 法)に準じて測定を行う。ただし、試験片は� �幅20mmのポリプロピレン樹脂に転写した本発� ��のカーボンナノチューブ集合体である繊維� ��柱状構造体集合体(3)であり、試験板として� ��リコンウェハ(ベアウェハ、P型、KST製)を用� ��、圧着は2kgのローラーを1往復して行い、温 度23±2℃、湿度65±5%RH、剥離速度300mm/minで測� �する。

〔繊維状柱状構造体集合体(4):カーボンナノ� �ューブ集合体〕
 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(4)は、複数の繊維� ��柱状構造体を備え、該繊維状柱状構造体が� ��ーボンナノチューブであり、該カーボンナ� ��チューブが複数層を有するカーボンナノチ� ��ーブであり、該複数層を有するカーボンナ� ��チューブの層数分布の分布幅が10層以上で� �り、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以� �であり、表面自由エネルギーaの被着体に対� ��る室温におけるせん断接着力をA、表面自由 エネルギーaとの差が25mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �する室温におけるせん断接着力をBとすると( ただし、a>b)、B/Aの値が0.8~1.2である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の分布幅は、好ましくは10~30層� �より好ましくは10~25層、さらに好ましくは10~ 20層である。

 上記複数層を有するカーボンナノチュー� ��の層数分布の「分布幅」とは、複数層を有� ��るカーボンナノチューブの層数の最大層数� ��最小層数との差をいう。本発明において、� ��数層を有するカーボンナノチューブの層数� ��布の分布幅が上記範囲内にあることにより� ��該カーボンナノチューブはより一層高い比� ��面積を備えることができ、該カーボンナノ� ��ューブは表面自由エネルギーが異なる被着� ��への接着力が変化しない(被着体選択性のな い)粘着特性を有するカーボンナノチューブ� �合体となり得る。なお、本発明において、� �ーボンナノチューブの層数、層数分布は、� �意の適切な装置によって測定すれば良い。� �ましくは、走査型電子顕微鏡(SEM)や透過電子 顕微鏡(TEM)によって測定される。例えば、カ� ��ボンナノチューブ集合体から少なくとも10� �、好ましくは20本以上のカーボンナノチュー ブをSEMあるいはTEMによって測定し、層数およ び層数分布を評価すれば良い。

 上記最大層数は、好ましくは1~30層、より 好ましくは1~25層、さらに好ましくは2~25層で� ��る。上記最小層数は、好ましくは1~10層、よ り好ましくは1~5層である。本発明において、 カーボンナノチューブの層数の最大層数と最 小層数が上記範囲内にあることにより、該カ ーボンナノチューブはより一層高い比表面積 を備えることができ、該カーボンナノチュー ブは表面自由エネルギーが異なる被着体への 接着力が変化しない(被着体選択性のない)粘� ��特性を有するカーボンナノチューブ集合体� ��なり得る。

 上記層数分布の最頻値の相対頻度は、好� ��しくは1~25%、より好ましくは5~25%、さらに好 ましくは10~25%、特に好ましくは15~25%である。 本発明において、層数分布の最頻値の相対頻 度が上記範囲内にあることにより、該カーボ ンナノチューブはより一層高い比表面積を備 えることができ、該カーボンナノチューブは 表面自由エネルギーが異なる被着体への接着 力が変化しない(被着体選択性のない)粘着特� ��を有するカーボンナノチューブ集合体とな� ��得る。

 上記層数分布の最頻値は、層数1層から層 数10層に存在することが好ましく、より好ま� ��くは層数2層から層数10層に存在し、さらに� ��ましくは層数3層から層数10層に存在する。� ��発明において、層数分布の最頻値が上記範� ��内にあることにより、該カーボンナノチュ� ��ブはより一層高い比表面積を備えることが� ��き、該カーボンナノチューブは表面自由エ� ��ルギーが異なる被着体への接着力が変化し� ��い(被着体選択性のない)粘着特性を有する� �ーボンナノチューブ集合体となり得る。

 上記カーボンナノチューブの形状として� ��、その横断面が任意の適切な形状を有して� ��れば良い。例えば、その横断面が、略円形� ��楕円形、n角形(nは3以上の整数)等が挙げら� �る。

 上記カーボンナノチューブの長さは、任� ��の適切な長さに設定され得る。複数層を有� ��るカーボンナノチューブは、好ましくは、� ��さが300μm以上のカーボンナノチューブを含� ��。上記カーボンナノチューブの長さは、よ� ��好ましくは300~10000μmであり、さらに好まし� ��は300~5000μm、特に好ましくは300~2000μmである 。本発明において、カーボンナノチューブの 長さが上記範囲内にあることにより、該カー ボンナノチューブはより一層高い比表面積を 備えることができ、該カーボンナノチューブ は表面自由エネルギーが異なる被着体への接 着力が変化しない(被着体選択性のない)粘着� ��性を有するカーボンナノチューブ集合体と� ��り得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(4)において、上� ��複数層を有するカーボンナノチューブ中の� ��長さが300μm以上のカーボンナノチューブの� ��有割合は、好ましくは80~100%、より好ましく は90~100%、さらに好ましくは95~100%、特に好ま� ��くは98~100%、最も好ましくは実質的に100%で� �る。ここで、「実質的に100%」とは、測定機� ��における検出限界において100%であることを 意味する。本発明のカーボンナノチューブ集 合体である繊維状柱状構造体集合体(4)におい て、上記複数層を有するカーボンナノチュー ブ中の、長さが300μm以上のカーボンナノチュ ーブの含有割合が上記範囲内にあることによ り、該カーボンナノチューブはより一層高い 比表面積を備えることができ、該カーボンナ ノチューブは表面自由エネルギーが異なる被 着体への接着力が変化しない(被着体選択性� �ない)粘着特性を有するカーボンナノチュー� ��集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(4)は、室温におけ� ��ガラス面に対するせん断接着力が、好まし� ��は15N/cm ² 以上である。より好ましくは20~500N/cm ² 、さらに好ましくは30~100N/cm ² 、特に好ましくは30~80N/cm ² 、特に好ましくは35~50N/cm ² である。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体であ� ��繊維状柱状構造体集合体(4)は、表面自由エ� ��ルギーaの被着体に対する室温におけるせん 断接着力をA、表面自由エネルギーaとの差が2 5mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �する室温におけるせん断接着力をBとしたと� ��(ただし、a>b)のB/Aの値が0.8~1.2であり、好� ��しくは0.85~1.15、より好ましくは0.9~1.1である 。表面自由エネルギーaの被着体に対する室� �におけるせん断接着力をA、表面自由エネル� ��ーaとの差が25mJ/m ² 以上である表面自由エネルギーbの被着体に� �する室温におけるせん断接着力をBとしたと� ��(ただし、a>b)のB/Aの値が0.8~1.2であること� ��より、該繊維状柱状構造体集合体(4)は、表� ��自由エネルギーが異なる被着体への接着力� ��変化しない(被着体選択性のない)粘着特性� �有するカーボンナノチューブ集合体となり� �る。

 上記カーボンナノチューブの比表面積、� ��度は、任意の適切な値に設定され得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(4)は、好ましく� ��、250℃雰囲気下におけるガラス面に対する� ��ん断接着力が、室温におけるガラス面に対� ��るせん断接着力の0.8~1.2倍であり、より好ま しくは0.85~1.15倍、さらに好ましくは0.9~1.1倍� �ある。250℃雰囲気下におけるガラス面に対� �るせん断接着力が、室温におけるガラス面� �対するせん断接着力の0.8~1.2倍であることに� ��り、該繊維状柱状構造体集合体(4)は優れた� ��熱性を備えることができ、該繊維状柱状構� ��体集合体(4)は室温から高温までの温度条件� ��における優れた粘着特性を示すカーボンナ� ��チューブ集合体となり得る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(4)は、半導体ウ� ��ハに圧着して接着した後に剥離する際に、� ��半導体ウェハ上に残留する大きさ0.28μm以上 のパーティクル数が、好ましくは30個/4イン� �ウェハ以下、より好ましくは25個/4インチウ� ��ハ以下、さらに好ましくは20個/4インチウェ ハ以下である。より具体的には、ポリプロピ レン樹脂に転写した本発明のカーボンナノチ ューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体 (4)を、4インチ半導体ウェハに5kgローラーに� �り圧着して貼り合わせた後、180°ピールにて 剥離した際の、剥離した半導体ウェハ上に残 留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数が� �好ましくは30個/4インチウェハ以下、より好� ��しくは25個/4インチウェハ以下、さらに好ま しくは20個/4インチウェハ以下である。本発� �のカーボンナノチューブ集合体である繊維� �柱状構造体集合体(4)は、好ましくは、該集� �体を上記のように半導体ウェハに圧着・接� �した後に剥離する際の該半導体ウェハ上に� �留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数が� ��記のように少数であるので、非汚染性に極� ��て優れる。

 なお、上記非汚染性を評価する場合の180� �ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG-1 kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし 法)に準じて測定を行う。ただし、試験片は� �ポリプロピレン樹脂に転写した本発明のカ� �ボンナノチューブ集合体である繊維状柱状� �造体集合体(4)(半導体ウェハに圧着して接着� ��るもの)そのものであり、圧着は5kgのローラ ーを1往復して行い、温度23±2℃、湿度65±5%RH� ��剥離速度300mm/minで測定する。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体(4)は、ポリプロ� ��レン樹脂の基材(厚み30μm)に固定した場合、 180°ピールの値が、好ましくは1N/20mm以下、よ り好ましくは0.001~1N/20mm、さらに好ましくは0. 001~0.7N/20mm、より好ましくは0.001~0.5N/20mm、特� �好ましくは0.001~0.4N/20mmである。本発明のカ� �ボンナノチューブ集合体である繊維状柱状� �造体集合体(4)は、好ましくは、ポリプロピ� �ン樹脂の基材(厚み30μm)に固定した場合の180� �ピールの値が上記のように小さいので、軽� �離性に極めて優れる。通常の粘着剤の場合� �180°ピールの値は1N/20mmより大きい。

 なお、上記軽剥離性を評価する場合の180� �ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG-1 kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし 法)に準じて測定を行う。ただし、試験片は� �幅20mmのポリプロピレン樹脂に転写した本発� ��のカーボンナノチューブ集合体である繊維� ��柱状構造体集合体(4)であり、試験板として� ��リコンウェハ(ベアウェハ、P型、KST製)を用� ��、圧着は2kgのローラーを1往復して行い、温 度23±2℃、湿度65±5%RH、剥離速度300mm/minで測� �する。

〔繊維状柱状構造体集合体の製造方法〕
 本発明の繊維状柱状構造体集合体の製造方� ��としては、任意の適切な方法を採用し得る� ��本発明の繊維状柱状構造体集合体の製造方� ��の好ましい実施形態の例として、カーボン� ��ノチューブ集合体である繊維状柱状構造体� ��合体の製造方法を説明する。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体の製造方法とし� ��は、任意の適切な方法を採用され得る。例� ��ば、平滑な基板の上に触媒層を構成し、熱� ��プラズマなどにより触媒を活性化させた状� ��で炭素源を充填し、カーボンナノチューブ� ��成長させる、化学蒸着気相法(Chemical Vapor D eposition:CVD法)によって、基板からほぼ垂直に� ��向したカーボンナノチューブ集合体を製造� ��る方法が挙げられる。この場合、基板を取� ��除けば、長さ方向に配向しているカーボン� ��ノチューブ集合体が得られる。

 上記基板としては、任意の適切な基板を� ��用し得る。例えば、平滑性を有し、カーボ� ��ナノチューブの製造に耐え得る高温耐熱性� ��有する材料が挙げられる。このような材料� ��しては、例えば、石英ガラス、シリコン(シ リコンウェハなど)、アルミニウムなどの金� �板などが挙げられる。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体を製造するため� ��装置としては、任意の適切な装置を採用し� ��る。例えば、熱CVD装置としては、図2に示す ような、筒型の反応容器を抵抗加熱式の電気 管状炉で囲んで構成されたホットウォール型 などが挙げられる。その場合、反応容器とし ては、例えば、耐熱性の石英管などが好まし く用いられる。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体の製造に用い得� ��触媒(触媒層の材料)としては、任意の適切� �触媒を用い得る。例えば、鉄、コバルト、� �ッケル、金、白金、銀、銅などの金属触媒� �挙げられる。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体を製造する際、� ��要に応じて、基板と触媒層の中間にアルミ� ��/親水性膜を設けても良い。

 アルミナ/親水性膜の作製方法としては、任 意の適切な方法を採用し得る。例えば、基板 の上にSiO ₂ 膜を作製し、Alを蒸着後、450℃まで昇温して� ��化させることにより得られる。このような� ��製方法によれば、Al ₂ O ₃ が親水性のSiO ₂ 膜と相互作用し、Al ₂ O ₃ を直接蒸着したものよりも粒子径の異なるAl ₂ O ₃ 面が形成される。基板の上に、親水性膜を作 製することを行わずに、Alを蒸着後に450℃ま� ��昇温して酸化させても、粒子径の異なるAl ₂ O ₃ 面が形成され難いおそれがある。また、基板 の上に、親水性膜を作製し、Al ₂ O ₃ を直接蒸着しても、粒子径の異なるAl ₂ O ₃ 面が形成され難いおそれがある。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体の製造に用い得� ��触媒層の厚みは、微粒子を形成させるため� ��好ましくは0.01~20nm、より好ましくは0.1~10nm� �ある。本発明のカーボンナノチューブ集合� �である繊維状柱状構造体集合体の製造に用� �得る触媒層の厚みが上記範囲内にあること� �よって、該繊維状柱状構造体は優れた機械� �特性および高い比表面積を兼ね備えること� �でき、さらには、該繊維状柱状構造体は優� �た粘着特性を示す繊維状柱状構造体集合体� �なり得る。触媒層の形成方法は、任意の適� �な方法を採用し得る。例えば、金属触媒をEB (電子ビーム)、スパッタなどにより蒸着する� ��法、金属触媒微粒子の懸濁液を基板上に塗� ��する方法などが挙げられる。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体の製造に用い得� ��炭素源としては、任意の適切な炭素源を用� ��得る。例えば、メタン、エチレン、アセチ� ��ン、ベンゼンなどの炭化水素;メタノール、 エタノールなどのアルコール;などが挙げら� �る。

 本発明のカーボンナノチューブ集合体で� ��る繊維状柱状構造体集合体の製造における� ��造温度としては、任意の適切な温度を採用� ��得る。たとえば、本発明の効果を十分に発� ��し得る触媒粒子を形成させるため、好まし� ��は400~1000℃、より好ましくは500~900℃、さら� ��好ましくは600~800℃である。

〔粘着部材〕
 本発明の粘着部材は、本発明の繊維状柱状� ��造体集合体を用いたものである。本発明の� ��着部材は、好ましくは、本発明の繊維状柱� ��構造体集合体に基材が備えられたものであ� ��、具体的には、例えば、粘着シート、粘着� ��ィルムが挙げられる。

 粘着部材の基材としては、石英ガラス、� ��リコン(シリコンウェハなど)、エンジニア� �ングプラスチック、スーパーエンジニアリ� �グプラスチックなどが挙げられる。エンジ� �アリングプラスチックおよびスーパーエン� �ニアリングプラスチックの具体例としては� �ポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレン� �レフタレート、アセチルセルロース、ポリ� �ーボネート、ポリプロピレン、ポリアミド� �挙げられる。分子量などの諸物性は、本発� �の目的を達成し得る範囲において、任意の� �切な物性を採用し得る。

 基材の厚みは、目的に応じて、任意の適� ��な値に設定され得る。例えば、シリコン基� ��の場合は、好ましくは100~10000μm、より好ま� ��くは100~5000μm、さらに好ましくは100~2000μmで ある。例えば、ポリプロピレン基板の場合は 、好ましくは1~1000μm、より好ましくは1~500μm� ��さらに好ましくは5~100μmである。

 上記基材の表面は、隣接する層との密着� ��、保持性などを高めるために、慣用の表面� ��理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、� ��炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処� ��などの化学的または物理的処理、下塗剤(例 えば、上記粘着性物質)によるコーティング� �理が施されていてもよい。

 上記基材は単層であっても良いし、多層� ��であっても良い。

 本発明の繊維状柱状構造体集合体を基材� ��固定する場合、その方法としては、任意の� ��切な方法を採用し得る。例えば、繊維状柱� ��構造体の製造に使用した基板を基材として� ��のまま用いてもよい。また、基材に接着層� ��設けて固定してもよい。さらに、基材が熱� ��化性樹脂の場合は、反応前の状態で薄膜を� ��製し、カーボンナノチューブの一端を薄膜� ��に圧着させた後、硬化処理を行って固定す� ��ば良い。また、基材が熱可塑性樹脂や金属� ��どの場合は、溶融した状態で繊維状柱状構� ��体の一端を圧着させた後、室温まで冷却し� ��固定すれば良い。