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Title:
ANTISTATIC TOOL
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/017061
Kind Code:
A1
Abstract:
This invention provides an antistatic tool which, even when the surface form is complicated as in the human body, can realize good adhesion and can effectively remove charges electrified on its surface. A wristband-type antistatic tool suffers from a problem that, when it is fixed for a long period of time, for example, rashing derived from sweating, rashing derived from metal allergy, discomfort caused by compression, and tightening mark occur in a wrist of a worker. The antistatic tool comprises a support member, an electroconductive layer provided on at least one face side of the support member, a terminal part which has a guard part at its lower end and extends through the support member so that the guard part comes into contact with one side of the electroconductive layer, a covering layer for covering the whole lower face of the guard part, and an electroconductive pressure sensitive adhesive layer stacked on the covering layer and the electroconductive layer. The antistatic tool is applied directly to the skin and is brought into intimate contact with the skin by the adhesive power possessed by the electroconductive pressure sensitive adhesive. Accordingly, the adhesion is not influenced, for example, by the difference in skin conditions between individual humans and the difference in physical condition-derived skin conditions, and continuous adhesion to the skin can be ensured.

Inventors:
NISHI TETSUYA (JP)
YOSHIKAWA KAZUHIRO (JP)
Application Number:
PCT/JP2008/063417
Publication Date:
February 05, 2009
Filing Date:
July 25, 2008
Export Citation:
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Assignee:
SEKISUI PLASTICS (JP)
NISHI TETSUYA (JP)
YOSHIKAWA KAZUHIRO (JP)
International Classes:
H05F3/02; H01R4/64
Domestic Patent References:
WO1999051653A11999-10-14
Foreign References:
JP2001210493A2001-08-03
JPH08196644A1996-08-06
JPS5592309U1980-06-26
JPH0329207A1991-02-07
JP2006104408A2006-04-20
JP2003010792A2003-01-14
JP2006056951A2006-03-02
JP2003247171A2003-09-05
JPH11244024A1999-09-14
JP2003051396A2003-02-21
JP2001076783A2001-03-23
Attorney, Agent or Firm:
NOGAWA, Shintaro (Minamimorimachi Park Bldg.1-3, Nishitenma 5-chome,Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 47, JP)
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Claims:
 支持部材と、
 前記支持部材の少なくとも一方面側に形成された導電層と、
 下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記導電層の一方面に接するよう前記支持部材を貫通させた端子部と、
 前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
 前記被覆層及び前記導電層上に積層された導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
 支持部材と、
 前記支持部材の少なくとも一方面側に形成され、かつ互いに離間した2つの導電層と、
 下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記2つの導電層の一方面のそれぞれに接するよう前記支持部材を貫通させた2つの端子部と、
 前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
 前記被覆層及び前記2つの導電層上に積層され、かつ互いに離間した2つの導電性粘着剤層とを備える帯電防止用具。
 前記導電性粘着剤層が、導電性高分子含水ゲルからなる層である請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記導電性粘着剤層が、3~300cm 2 の表面積を有する請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記導電性粘着剤層が、イオウ、ケイ素及びスズの元素とハロゲン化物のイオンとを1000ppm未満の濃度で実質的に含まない導電性高分子含水ゲルからなる層である請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記帯電防止具は、JIS B 9921に準拠した測定法による0.1μm以上の塵埃の量が、100個/立方フィート(約28.3リットル)以内である請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記端子部が、凸部、凸部に対応する凹部及び凸部下端に鍔部を有する導電性スナップと、前記導電性スナップの凹部に嵌合し、かしめることにより導電性スナップを係止しうる凸部及び凸部下端に鍔部を有する導電部とからなる請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記帯電防止用具が、半導体デバイス、半導体デバイス搭載回路、情報記録機器、粉塵及び化学物質の取り扱い作業時に、作業員に静電気が帯電することを防止するための用具である請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記支持体が、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ナイロン、エチレン-酢酸ビニル共重合体、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、シリコーンゴム、スチレン-ブタジエンゴムから選択される材料からなり、被着面に対する追随性を有する請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記導電性粘着剤層が、5×10 2 ~1×10 6 ωcmの範囲の比抵抗を有する請求項1に記載の帯電防止用具。
 前記2つの導電層が、導電層の厚さの2倍以上の距離で離間している請求項1に記載の帯電防止用具。
Description:
帯電防止用具

 本発明は、帯電防止用具に関する。更に しくは、本発明は、人体のような複雑な表 形態であっても、良好に密着し、その表面 帯電する電荷を有効に除去しうる帯電防止 具に関する。本発明の帯電防止用具は、半 体デバイス、半導体デバイス搭載回路及び 報記録機器等の取り扱い、粉塵の取り扱い 有機溶剤のような化学物質の取り扱い等の 業において、作業員に静電気が帯電するこ を防止するための器具として有用である。 に、本発明の帯電防止用具は、クリーンル ムのような特に発塵を嫌う作業環境でのハ ドディスクドライブ又はより微細な半導体 バイス等の取り扱い等の作業により有用で る。

 人体に帯電した静電気は様々な問題を引き こすことが知られている。
 例えば、半導体デバイスの分野では、人体 帯電した静電気が、LSI、CMOS等の半導体デバ イス、ハードディスクドライブ、ハードディ スクのヘッド等の情報記録機器へ放電される と、デバイス及び機器が破壊されるという問 題がある。
 デバイス及び機器は、マイクロ化及び精密 されつつあり、加えてより低電圧で駆動す ことが求められている。そのため微小な静 気の放電程度であっても、これらデバイス び機器が破壊されたり、誤動作の原因とな 可能性が増している。
 また、上記半導体デバイス、ハードディス ドライブ、磁気ヘッド等は、クリーンルー のような外部汚染を厳しく管理された場所 の生産が一般的である。このようなクリー ルームで使用される備品にも厳しい制限が められる。例えば、製品誤動作の原因とな 塵埃は、備品からの発生を極限まで少なく ることが必要である。また、火災のような 常時でも、燃焼ガスからの不純物の混入を ぐため、塩素のような弊害を生じるガス発 の可能性を備品から根本から絶つ必要があ 。
 上記分野以外でも、微粉末からなる粉塵を り扱う分野、有機溶剤のような揮発性物質 多量に扱う分野では、静電気の放電により 発が起こる恐れがある。

 上記のように静電気の発生及び帯電を嫌 作業環境では、静電気の発生及び帯電が様 な方法で注意深く管理されている。例えば 導電繊維を含む導電性手袋、作業服の着用 床面への導電性シートの敷き詰め等により 体への静電気の帯電が防止されている。後 の帯電の防止法は、多額の投資が必要であ 。一方、前者の帯電の防止法は、比較的投 額が少なく、そのためこの方法に使用でき 種々の器具が報告されている。

 そのような器具として、実公平6-46080号公 報(特許文献1)及び実用新案登録第3078493号公 (特許文献2)ではリストバンド型の帯電防止 具が、特開2001-210493号公報(特許文献3)及び特 開2002-170696号公報(特許文献4)では手袋型の帯 防止用具が報告されている。

 実公平6-46080号公報のリストバンド型の帯電 防止用具は、リストバンドに備えられた導電 片と、導電片に備えられた導電性スナップと からなる。リストバンドは導電性繊維から構 成されていてもよいと記載されている。
 特開2001-210493号公報のグローブ型の帯電防 用具は、帯電した静電気を除去するための 電部が手の平に接触するように配置された 成を有している。
 実用新案登録第3078493号公報のリストバンド 型の帯電防止用具、特開2002-170696号公報のグ ーブ型の帯電防止用具は、伸縮性の導電性 維のリストバンド又はグローブと、リスト ンド又はグローブに備えられた導電性スナ プとからなる。また、実用新案登録第3078493 号公報、特開2001-210493号公報、特開2002-170696 公報には、端子を2つ有する帯電防止用具が 載されている。
 上記いずれの公報でも、導電性スナップを 地配線に接続することで、作業員に帯電し 静電気が除去される。

実公平6-46080号公報

実用新案登録第3078493号公報

特開2001-210493号公報

特開2002-170696号公報

 リストバンド型の帯電防止用具は、導電 繊維を編みこんだバンド型とメタルバンド がある。これらは、作業中に常に例えば手 に巻いて固定する必要がある。長時間の固 により、作業者の手首に、蒸れによるかぶ 、金属アレルギーによるかぶれ、圧迫によ 不快、締め付け痕等が発生するという課題 あった。このような課題は、締め付けを緩 することで緩和できるが、そうすると手首 帯電防止用具との密着性が低下し、帯電防 性が不十分となる。その結果、静電気によ デバイス及び機器が破壊され、歩留りが低 するという課題がある。また、リストバン 型の帯電防止用具は、作業中にバンドが緩 、その都度巻き直しによる作業の分断、分 による歩留りの低下という課題が発生して た。

 更に、リストバンド型の帯電防止用具は 冬場のような皮膚が乾燥している場合に、 電防止が十分でないという課題がある。こ 課題は、ハンドクリームを手首に塗布する とで乾燥を防ぐこと、より締め付けを強く ることにより、解決することが考えられる しかし、前者の方法はクリームの成分が製 に移行するという問題があり、また作業者 不評であり、後者の方法はかぶれの発生又 圧迫痕が残るという課題がある。

 また、上記課題は、特開2001-210493号公報の ローブ型の帯電防止用具でも発生する。
 更に、伸縮性の導電性繊維を使用したリス バンド又はグローブ型の帯電防止用具は、 記課題の発生が比較的少ないものの、かぶ の発生又は圧迫痕が残るという課題を十分 解決できていない。
 また更に、特に静電気に対して敏感な半導 デバイス、ハードディスクドライブ、磁気 ッド等の装置を扱う場合、帯電圧が非常に い状態に維持できていることを常時観察し 装置の破壊を防ぐことが望まれている。

 かくして本発明によれば、支持部材と、
 前記支持部材の少なくとも一方面側に形成 れた導電層と、
 下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記導電層 一方面に接するよう前記支持部材を貫通さ た端子部と、
 前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
 前記被覆層及び前記導電層上に積層された 電性粘着剤層とを備える帯電防止用具が提 される。

 更に、本発明によれば、支持部材と、
 前記支持部材の少なくとも一方面側に形成 れ、かつ互いに離間した2つの導電層と、
 下端に鍔部を有し、前記鍔部が前記2つの導 電層の一方面のそれぞれに接するよう前記支 持部材を貫通させた2つの端子部と、
 前記鍔部の下面全面を被覆する被覆層と、
 前記被覆層及び前記2つの導電層上に積層さ れ、かつ互いに離間した2つの導電性粘着剤 とを備える帯電防止用具が提供される。

 本発明の帯電防止用具は、皮膚に直接貼付 、導電性粘着剤の持つ粘着力でしっかり密 するので、人による皮膚状態の差、体調に る皮膚状態の差等に左右されないで、皮膚 の継続的な密着を確保できる。また、本発 の帯電防止用具は、圧迫感が少なく、かつ 業者の皮膚に与える影響を小さくできるた 、作業者に与える不快感が少ない。本発明 帯電防止用具は、導電性粘着剤層を備えて るため、金属アレルギーの発生もなく、ま 皮膚との密着性が良好であるため、皮膚と 電気的接触を安定して保持できる。
 従って、本発明の帯電防止用具を使用すれ 、締め付けによる閉塞感のない開放的な作 環境を作業者に提供できると共に、作業中 帯電防止性を維持できる。その結果、歩留 り及び作業性の向上、爆発の発生を防止す ことができる。

 更に、帯電防止用具が導電層、端子部及 導電性粘着材層をそれぞれ2つずつ有する2 子型の用具である場合、一般的にデュアル と呼ばれる2つの導体間の抵抗又は電圧を検 するモニタリングシステムに使用できる。 ち、回路のループ抵抗又は電圧を連続モニ ーすることで、アースラインの断線又はア スラインとの接合不良による回路遮断又は 準値以上の帯電を検知できるため作業中の 電防止性をより確実に維持できる。

 また、導電性粘着剤層が、導電性高分子 水ゲルからなることで、この含水ゲルが水 量を平衡状態になるように自己制御するた 、皮膚の蒸れを適切に解消できる。更に、 膚が乾燥していても、含水ゲルは一定の水 量を維持するので、皮膚の乾燥による帯電 止性能の低下を抑制できる。このように含 ゲルを使用することで、皮膚表面を閉塞感 ら開放でき、その結果、帯電防止用具を比 的長時間使用しても皮膚の蒸れ及びかぶれ 起こしにくいという利点がある。加えて、 業環境の影響を受けず、安定して帯電防止 果が得られるという利点がある。

 更に、帯電防止用具を構成する導電性高 子含水ゲルが、所定量未満のイオウ、ケイ 、スズ及びハロゲン元素のイオン濃度であ ば、クリーンルーム内で異常が起こった際 も腐食性ガスを発生する等のデバイス及び 器、作業者に影響を与えることなく、作業 の帯電を防止できる。また、本発明の帯電 止用具は、発塵が少なくクリーンルーム内 好適に使用できる。

実施例1の帯電防止用具の概略図である 。 図1の端子部の概略拡大図である。 実施例2の2端子型の帯電防止用具の概 図である。

符号の説明

 1:支持部材、1a:軟質ポリエチレン層、1b: リエステルフィルム、2:導電層、3:端子部、3 a:導電性スナップ、3b:導電部、4:被覆層、5:導 電性粘着剤層、6:中間基材、7:非粘着剤層、8: 保護フィルム、3a1:導電性スナップの凸部、3a 2:導電性スナップの凹部、3a3:導電性スナップ の鍔部、3b1:導電部の凸部、3b2:導電部の鍔部 a:導電層が形成されていない部分、b:導電性 粘着剤層が形成されていない部分

 本発明の帯電防止用具は、支持部材と、前 支持部材の少なくとも一方面側に形成され 導電層と、下端に鍔部を有し、鍔部が導電 の一方面に接するよう支持部材を貫通させ 端子部と、鍔部の下面全面を被覆する被覆 と、被覆層及び前記導電層上に積層された 電性粘着剤層とを備えている。
 本発明の帯電防止用具は、端子部を接地配 と接続することにより、作業者に帯電した 電気を、導電性粘着剤層及び導電層を介し 、効率的に除去できる。
 更に、帯電防止用具が、導電層、端子部及 導電性粘着材層をそれぞれ2つずつ有する2 子型の用具である場合には、帯電をモニタ ングするシステムに接続することで、帯電 常を検知できる、これにより、より確実に 電気を除去できる。

 (支持部材)
 支持部材は、適度な強度を有する材料から りさえすれば、特に限定されず、導電性で っても、非導電性であってもよい。また、 持部材は、皮膚表面に対する追随性(柔軟性 )に優れている材料からなることが好ましい 更に、繰り返し使用に耐える強度を有する 料からなることが好ましい。また更に、顧 のロゴ、作業者名等を入れるため印刷しや い材料からなることが好ましい。加えて、 リーンルーム内での作業に使用する場合、 業者の衣服、接地配線等との繰り返し接触 より、塵埃、デバイス及び機器への汚染物( ンタミ)が発生しない材料からなることが好 ましい。

 そのような材料としては、例えば、ポリ チレンテレフタレート(PET)のようなポリエ テル、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン(PE)、 リプロピレン(PP)、ナイロンのようなポリア ミド、エチレン-酢酸ビニル共重合体等の各 樹脂、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジ ンゴム、シリコーンゴム、スチレン-ブタジ ンゴム等の各種ゴムが挙げられる。更に、 持部材は、単層からなっていても、積層体 らなっていてもよい。更に、支持部材は、 泡体又は非発泡体からなっていてもよく、 泡体と非発泡体との積層体からなっていて よい。クリーンルーム内での作業を考慮す と、非発泡体からなることが好ましい。

 支持部材は、強度の観点からPETからなる を含むことが好ましい。更に、支持部材は 強度と柔軟性の観点からPETからなる層とPE はナイロンからなる層の積層体であること より好ましい。PE及びナイロンが、PETより柔 軟性が高い場合、PETからなる層に容易に粘着 ラミネートできるので、積層体の製造が容易 であるという利点がある。

 支持部材の厚さは、強度と柔軟性が所望 範囲で確保されていれば特に限定されない 例えば、4~600μmの範囲で設定可能であり、10 ~600μm、50~600μm、50~500μmの範囲とすることも 能である。また、柔軟性を挙げるためには 上記範囲の中で、例えば30~150μmのように、 さを小さくしてもよい。

 例えば、支持部材がPETからなる層とPEか なる層の積層体である場合、PETからなる層 厚さを1とすると、PEからなる層の厚さは2~4 あることが、強度と柔軟性を兼ね備える観 から好ましい。積層体の厚さは、4~600μmの範 囲で設定可能である。

 更に、支持部材には帯電防止処理が施さ ていることが好ましい。帯電防止処理が施 れていることで、支持部材に塵埃が吸着す ことを防止できるので、クリーンルーム内 の使用に好適な帯電防止用具が得られる。 電防止処理は、特に限定されず効果の持続 る公知の処理を適用できる。

 (導電層)
 支持部材は、一方面及び他方面を有する。 持部材の少なくとも一方面には導電層が設 られる。用途によっては、一方面及び他方 の両面に導電層を設けてもよい。
 支持部材の少なくとも一方面に設けられる 電層は、導電性粘着剤層を介して、作業者 帯電した電荷(静電気)を除去しうる限り、 の材料及び構成は特に限定されない。ここ 、導電とは、デジタルマルチメータ(アドバ テスト社製R6441A)による測定で2×10 -5 Scm -1 以上の導電率を有することを意味する。

 導電層としては、銀、ニッケル、モリブ ン等の金属粒子、これら金属(例えば、塩化 銀)の化合物粒子、カーボンブラック、グラ ァイト等のカーボンの粒子と結着樹脂とか なる層、上記金属又は金属化合物で被覆し 樹脂フィルム、銀、ニッケル、アルミニウ 、ステンレス等の金属箔、ステンレス繊維 ような金属をラミネートした繊維(以下、金 繊維)から得られる不織布又は織布等が挙げ られる。

 粒子と結着樹脂とからなる導電層は、粒子 結着樹脂とを含む導電性ペースト(例えば、 カーボンインク)を支持部材上に塗布・乾燥 ることで形成できる。塗布法としては、バ コーター印刷法、スクリーン印刷法、フレ ソグラフィー印刷法、グラビア印刷法等の 刷法、吹き付け法、ディッピング法等を好 に使用できる。印刷法の場合、所望のパタ ンを容易に形成できる。また、乾燥後の導 層は、2~35μmの範囲の厚さを有することが好 しく、5~15μmの範囲の厚さを有することがよ り好ましい。この範囲であることで、導電性 と皮膚への追随性がより確保された導電層が 得られる。
 導電層に金属箔を使用した場合、その厚さ 3~35μmとすることが可能である。

 金属繊維から得られる織布は、それ自体 変形性及び柔軟性を容易に持たせることが き、その結果、作業者に違和感を与えるこ なく表面が曲面である皮膚に帯電防止用具 接触させることができる。

 (端子部)
 端子部は下端に鍔部を有している。この鍔 は、支持部材に端子部を固定する役割と接 配線を接続する役割とを有している。前者 役割を果たすため、鍔部は導電層側に位置 るよう支持部材を貫通している。
 端子部は、凸部、凸部に対応する凹部及び 部下端に鍔部を有する導電性スナップと、 電性スナップの凹部に嵌合し、カシメるこ により導電性スナップを係止しうる凸部及 凸部下端に鍔部を有する導電部とを有する とが好ましい。この構成を有していれば、 持部材に端子部をより強固に固定可能であ 。

 導電性スナップ及び導電部は、導電性を する限りどのような材料からなっていても い。但し、強度、耐腐食性等の所望される 性を満たすという観点から、難腐食性の金 を使用することが好ましい。具体的には、S US304、SUS316、SUS316L等オーステナイト系、SUS410 等のマルテンサイト系、SUS430等フェライト系 等のステンレスを使用することができる。こ れらは塵埃を発生しにくく、繰り返しスナッ プの脱着を行うための強度も優れている。こ れらステンレスの内、SUS316Lが繰り返し使用 に耐久性を維持できる点で最も優れており 好ましい。

 導電性スナップの凸部は、接地配線との 続を容易にするために、1.5~4.0mmの高さを有 ることが好ましい。また、凹部は凸部に対 した形状で、以下で説明する導電部の凸部 嵌入することにより係止することができれ 、その形状は特に限定されない。

 更に、鍔部は少なくとも導電性スナップを 定することができる程度の厚さ及び幅を有 ることが好ましい。また、上記のような金 を使用した場合、鍔部の厚みを0.1~0.4mm程度 薄くすることが可能である。厚みを0.1mm以 とすることで、鍔部の強度を確保し、正確 形状に成形するのが容易となる。また、カ メ時の衝撃に耐えられず変形したり、破壊 れるおそれを抑制することもできる。また 鍔部の厚みを0.4mm以下とすることで、成形を 容易とし、鍔部に対応する段差が導電性粘着 剤層の表面に生じることを防ぐことができる 。従って、接触不良及び使用者に与える違和 感を抑制することができる。
 更に、この鍔部の幅は、導電性スナップの 面の幅が5~15mmとなるように調節されている とが好ましい。

 次に、導電部の凸部は、それを導電性ス ップの凹部に嵌入することにより、両者を 止することができさえすれば、その高さ及 形状は特に限定されない。また、導電部の 部の厚みは、上記導電性スナップの鍔部と 様の理由で、0.1~0.4mmの厚さを有することが ましい。また、鍔部の幅は、導電部を固定 ることができさえすれば、特に限定されな 。固定をより強固にする観点から、導電部 鍔部の幅は、導電性スナップの鍔部の幅と 程度か、より広いことが好ましい。

 上記導電性スナップと導電部は、次のよ に配置することが好ましい。まず、導電性 ナップの鍔部が、凸部の下端を支持部材の 面側に位置させるように配置され、導電部 鍔部が、導電層上に位置するように配置さ る。更に、その凹部に導電部の凸部が支持 材を貫通して導電性スナップの凹部に嵌入 ることにより、導電性スナップが係止され いる。その結果、導電性スナップの鍔部が 持部材に陥入して支持部材に圧着されるこ となる。

 このように圧着されることで、支持部材を ッキンのようにして導電性スナップと導電 とを固定できるので、導電性スナップの鍔 から支持部材に水分等が浸透することを防 ことができる。また、導電性スナップへの 電部の陥入時の位置あわせがずれることで 導電性スナップ又は導電部の鍔部に浮き上 りが生じても、導電性スナップが支持部材 陥入されているため、鍔部と支持部材との 触を維持することができる。よって、浮き がりによる支持部材への水分の侵入を防ぐ とができる。
 なお、端子部は1つの導電層について1つに 定されず、帯電をより防止することを目的 して、任意の位置に2つ以上備えていてもよ 。

 (被覆層)
 鍔部の下面全面を被覆層で被覆することに り、端子部をより強固に固定したり、端子 の腐食をより効果的に防止することができ 。この被覆層の固定方法には、例えば、被 層の片面に粘着層を設け、粘着層を端子部 鍔部と導電層に接触させる方法が挙げられ 。

 被覆層は、吸水性及び含水性が小さい材 からなる層が好ましい。そのような層とし 、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリ レフィン、PET樹脂のようなポリエステル、 イロン、ポリウレタン、セロハン等の合成 脂フィルムからなる層が挙げられる。被覆 の導電性粘着剤層側の面は、極性を付与す ことで親水化処理されていてもよく、粗面 処理されていてもよく、非透水処理されて てもよい。親水化処理又は粗面化処理され いれば、被覆層と導電性粘着剤層との接着 を向上できる。

 更に、被覆層は、非透水性樹脂を含む溶液 鍔部上に塗布することで形成してもよい。 の塗布法で形成された被覆層には、柔軟性 高いという特徴を付与できる。
 また、端子部と接地配線との接続時に被覆 にかかる応力に耐えうる程度の機械的強度 有す材料を使用することが好ましい。その うな材料として、高密度ポリエチレン、ポ プロピレン等のポリオレフィン、PET樹脂の うなポリエステル等が挙げられる。

 被覆層は、少なくとも鍔部を被覆する形 を有していればよい。また、被覆層による 子部と導電性粘着剤層との非導通部分を少 くするために、鍔部の下面形状と対応した 状を有していることが好ましい。例えば、 部下面が円形である場合、被覆層は円形を していることが好ましい。更に、被覆層は 鍔部の面積より150~600%大きい面積を有して ることが好ましく、200~500%大きい面積を有し ていることがより好ましい。

 更に、被覆層は、それを端子部の下端に 定するための粘着剤層を有してもよい。粘 剤層としては、アクリル系粘着剤、ゴム系 着剤等の公知の粘着剤からなる層が挙げら る。

 (導電性粘着剤層)
 被覆層及び導電層上には、導電性粘着剤層 積層されている。導電性粘着剤層は、導電 を有すると共に、皮膚の表面に対して良好 密着できさえすれば、粘着テープ、粘着シ ル、粘着ゲル等からなる層を採用できる。 た、導電性粘着剤層としては、導電性を有 、皮膚に対して刺激性が少なく、かつ十分 粘着力を有する材料からなる層であれば、 に限定されない。例えば、ポリアクリル酸 トリウム、ポリアクリル酸エステル、ポリ クリルアミド等のポリアクリル酸誘導体、 リビニルピロリドン、ポリ-N-ビニルアセト ミド等のポリ-N-ビニルアセトアミド誘導体 ポリウレタン等の重合架橋体に、水、電解 等を含有させた導電性粘着ゲル等が好適に 用できる。具体的には、以下のような粘着 ル(粘着性を有する導電性高分子含水ゲル) 使用することが好ましい。即ち、架橋され 合成高分子18~30重量%、水12~30重量%、多価ア コール25~65重量%及び電解質0~13重量%を含む導 電性高分子含水ゲルを使用することができる 。ゲル中に12~30重量%含まれる水がゲルの飽和 吸水量の3~50%に相当する。この導電性高分子 水ゲルは、ゲルを20℃の水に10分間浸漬した ときの粘着力低下が浸漬前の粘着力の50%以下 となる性質を有している。

 架橋された合成高分子を構成する重合性単 体としては、
式:CH 2 =CR 1 -CONR 2 R 3
[式中、R 1 は水素原子又はメチル基、R 2 及びR 3 は水素原子又は低級アルキル基をそれぞれ意 味する]
で表されるアクリルアミドもしくはメタクリ ルアミド系化合物、及び
式:CH 2 =CR 1 -COOR 2
[式中、R 1 及びR 2 はそれぞれ前記と同じ意味を有する]
で表されるアクリル酸エステルもしくはメタ クリル酸エステル系化合物、ならびにビニル ピロリドンが挙げられる。

 ここで、R 2 及びR 3 の低級アルキル基としては、メチル、エチル 、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブ チル、sec-ブチル、tert-ブチル、ペンチル、ヘ キシル等の炭素数1~6の、直鎖状又は分枝鎖状 の低級アルキル基が挙げられる。
 そのほかに、(メタ)アクリル酸、ビニルカ ボン酸、アリルアミン、ビニル安息香酸、 ニルピリジン、tert-ブチルアクリルアミドス ルホン酸、メタクリロイルエチル、トリメチ ルアンモニウムクロライド又はジメチルアミ ノプロピル(メタ)アクリルアミド、ヘキサメ レンジイソシアネートのような多官能イソ アン酸エステル、エチレンオキシド、プロ レンオキシド等のアルキレンオキシド、ポ エチレングリコール、ポリプロピレングリ ール等のポリオールなどのイオン性の重合 単量体も使用できる。

 イオン性の重合性単量体を使用する場合 は、凝集体の生成を防ぐために非イオン性 単量体を併用するのが好ましい。非イオン の単量体としては、エチレングリコール(メ タ)アクリレート、ポリエチレングリコール( タ)アクリレート、プロピレングリコール( タ)アクリレート、ポリプロピレングリコー (メタ)アクリレート、グリセリン(メタ)アク リレート、ポリグリセリン(メタ)アクリレー 等のアクリル酸エステル、(メタ)アクリル ミド、N-メチル(メタ)アクリルアミド、N-エ ル(メタ)アクリルアミド、N-ブチル(メタ)ア リルアミド、N,N-ジメチル(メタ)アクリルア ド、N-メチロールアクリルアミド、ダイアセ トンアクリルアミド等のN置換(メタ)アクリル アミド、N-ビニルピロリドン、N-ビニルホル アミド、N-ビニルアセトアミド等のN-ビニル ミド誘導体等が挙げられる。これら単量体 、1種又は複数種組み合わせて使用できる。

 重合性単量体とともに用いられる架橋性 量体としては、N,N’-メチレンビスアクリル アミド、N,N’-メチレンビスメタクリルアミ 、N,N’-エチレンビスアクリルアミド、N,N’- エチレンビスメタクリルアミド、1,2-ジアク ルアミドエチレングリコール、ジ(トリ又は リ)アクリレート、ジ(トリ又はポリ)メタク レート等が挙げられる。

 上記架橋された合成高分子を得るのに適 た架橋性単量体の使用割合は、重合性単量 及び架橋性単量体の種類にもよるが、通常 重合性単量体に対して0.1~3.5重量%であり、 り好ましくは0.15~2.0重量%である。

 導電性高分子含水ゲル中に含まれる架橋さ た合成高分子の組成割合は、18~30重量%が好 しく、より好ましいのは18~25重量%である。
 架橋された合成高分子の割合が18重量%より ないと、そのような合成高分子を用いてゲ を作製した場合、ゲル中に占める高分子主 の割合が低くなり、腰強度の充分なゲルが られないことがある。そのため、ゲル体の 目構造中に封入された水分を安定な状態に 持し難いことがある。一方、架橋された合 高分子の割合が30重量%より多いと、ゲル強 が高くて腰強度の大きなゲルが得られる。 かし、ゲル体の網目構造が密になりすぎる とがあり、網目中に封入できる水分の絶対 が少なくなることがある。

 導電性高分子含水ゲル中に含まれる水分 、ゲル全体に対して12~30重量%であり、より ましくは16~30重量%である。ゲルの水分含量 12重量%より少ないと、良好な導電性のゲル 得られないことがある。ゲルの水分含量が3 0重量%より多いと、水が網目中で安定に存在 難くなって乾燥しやすくなる。

 この導電性高分子含水ゲルでは、ゲルの総 量に対して12~30重量%の水分が含まれるとき その水分の量がゲルの飽和吸水量の3~50%に 当するのがよい。
 ゲルに含まれる12~30重量%の水分が飽和吸水 の3%未満となるようなゲルでは、ゲルが水 接触したときに速やかに吸水して膨潤する ともに高分子網目構造が緩み、多価アルコ ル等の内包成分が溶出することがある。こ 場合、ゲルの組成が変化し、ゲルの強度及 粘着力が低下することがあり、再使用回数 減ることがある。
 また、ゲルに含まれる12~30重量%の水分が飽 吸水量の50%を超えるようなゲルでは、ゲル 体の強度は高いが、粘着性に劣ることがあ 、この場合、脆さが増して、引っ張り又は 縮による破断又は破壊が起こることがある

 ゲル中に含まれる多価アルコールとしては ソルビトール、グリコール、グリセリン等 挙げられる。これらの多価アルコールは、 ル中に25~65重量%含まれるのが好ましく、よ 好ましいのは35~60重量%である。
 ゲルに含まれる多価アルコールの含量が25 量%より少ないと、充分な粘着力が得られな ことがある。一方、多価アルコールの含量 65重量%を超えると、多価アルコールがゲル 表面にブリードして、粘着力の低下を招く とがある。

 ゲル中には電解質が含まれていてもよい。 解質としては、リチウム、ナトリウム、カ ウム等のアルカリ金属、マグネシウム、カ シウム等のアルカリ土類金属のハロゲン化 、炭酸、硫酸、リン酸等の鉱酸塩、有機酸 、アンモニウム塩、及びイミダゾリウム系 ピリジニウム系、脂環式アミン系、脂肪族 ミン系、脂肪族ホスホニウム系等のイオン 液体等が挙げられる。クリーンルーム内で 、イオウ、ケイ素、スズ、ハロゲン元素の オンがデバイス及び機器の製造歩留りに悪 響を与えるため、導電性高分子含水ゲル中 イオウ、ケイ素及びスズの元素、ハロゲン 物のイオン濃度の合計が、1000ppm未満で実質 的に含まないことが好ましい。この濃度を実 現するため、電解質を使用しないか、使用す る場合は電解質をアンモニウム塩、有機酸塩 、イオン性液体等のイオウ、ケイ素、スズ、 ハロゲン化物を含まないものから選択するこ とが好ましい。電解質は、ゲル中に0~13重量% まれるのが好ましく、より好ましいのは0~6 量%である。
 電解質の含量が13重量%より多いと、水の含 との関係で電離限界を超えて過飽和状態と り無駄となることがある。

 上記導電性高分子含水ゲルの製造方法の一 として、まず重合性単量体と、架橋性単量 と、多価アルコールと、電解質とをそれぞ 計量し、これらの混合物に所定量の水を加 て攪拌し、均一なモノマー配合液とする。 れに重合開始剤を適宜加え、常法により重 反応させることで、導電性高分子含水ゲル 得ることができる。
 なお、導電性高分子含水ゲルには、所望に り、防腐剤、殺菌剤、安定化剤、香料、界 活性剤、着色剤等を適宜添加してもよい。

 導電性粘着剤層は、5×10 2 ~1×10 6 ωcmの範囲の比抵抗を有することが好ましく 1×10 4 ~1×10 6 ωcmの範囲の比抵抗を有することがより好ま い。この範囲の比抵抗であれば、帯電した 電気をより効率的に除去することができ、IE C(International Electrotechnical Commission)規格を満 す帯電防止用具を提供できる。

 更に、導電性粘着剤層は、垂直引き剥がし 験による対SUS板を用いた試験により、5~50N 範囲の粘着力を有することが好ましく、10~35 Nの範囲の粘着力を有することがより好まし 。また、導電性粘着剤層は、3~300cm 2 の面積を有することが好ましい。上記範囲の 粘着力及び面積を有することで、帯電防止用 具の皮膚に対する粘着力を、端子部の接地配 線の保持力より大きくすることができる。そ の結果、帯電防止用具の帯電防止性を維持で きる。また、上記範囲の面積を有することで 、導電性粘着剤層の千切れ及び破れを防止で き(耐久性を向上でき)、帯電防止用具を繰り し使用できる。また、作業者の汗による粘 性の低下を考慮しても、十分な粘着性を確 できる。なお、手首に貼り付けることを考 すると、面積の上限は300cm 2 であることが好ましい。

 また、導電性粘着剤層は、PET樹脂、ポリ チレン、ポリプロピレン、ナイロン、ポリ レタン、セロハン等からなる不織布又は織 を中間基材として含んでいてもよい。導電 高分子含水ゲルは、千切れやすいので加工 が高くなく、繰り返し貼り付け可能な強度 不足していることがある。このような場合 中間基材を使用することで、加工性を向上 き、繰り返し貼り付けが可能な強度を導電 粘着剤層に付与できる。

 (帯電防止用具の平面形状)
 帯電防止用具の平面形状は、特に限定され 、貼り付け部位の形状に応じた形状を採用 きる。例えば、丸、楕円、多角形(三角、四 角等)、瓢箪型、とっくり型、不定形等の形 が挙げられる。平面形状において、角が存 する場合、角は丸められていることが好ま い。これら平面形状の内、衣類等と接触し 際により剥がれにくい、楕円、瓢箪型、と くり型が好ましい。更に、手首又は足首等 湾曲した面に貼付するため、平面視で、帯 防止用具の数箇所に左右対称のくびれを有 ることが好ましい。

 (その他)
 帯電防止用具は、使用前の導電性粘着剤層 保護するための保護フィルムを備えていて よい。保護フィルムは、特に限定されず、 着剤用の公知の保護フィルムを使用できる
 更に、帯電防止用具を皮膚に貼り付ける際 は剥離する際に、指が導電性粘着剤層に触 ることで、指に粘着剤が付着することがあ 。付着した粘着剤は、デバイス又は機器に 着し、その結果歩留りを低下させることが る。このような粘着剤の付着を抑制するた に、導電層上の一部に、非粘着剤層を設け ことが好ましい。非粘着剤層は、粘着性が いこと以外はどのような材料からなる層で 使用できる。非粘着剤層は、絶縁性を有し いても、導電性を有していてもよい。非粘 剤層は、帯電防止用具の長手方向の片側又 両側に位置することが好ましい。非粘着剤 を設けることで、粘着剤が指に付着するこ を防止できる。また、使用後の用具を保管 台紙に貼付するときに両手で位置合わせで 、貼りやすいという利点もある。

 (2端子型の帯電防止用具)
 2端子型の帯電防止用具は、導電層、端子部 及び導電性粘着材層の組をそれぞれ2つずつ すること以外は、上記した帯電防止用具の 成をいずれも使用できる。

 一組の導電性粘着剤層及び導電層は、他 の導電性粘着剤層及び導電層と互いに離間 ている。この離間は、両組が電気的に絶縁 を保つことができさえすれば、その構成は に限定されない。両組の離間は、空間を介 て行なわれていてもよく、絶縁部材を介し 行なわれていてもよい。前者は帯電防止用 を安価に提供できるという利点があり、後 は両組の絶縁性を前者より確保できるとい 利点がある。空間を介して離間する場合、 り返し使用により導電性粘着剤層が変形し も絶縁性を保つことができる程度に両組が れていることが好ましい。具体的には、導 性粘着剤層の厚さの2倍以上両組が離れてい ることが好ましい。また、両組が離れる距離 の上限は、用具の帯電防止性が阻害されない 程度であり、例えば、導電性粘着剤層の厚さ の300倍以下である。両組を離間する空間又は 絶縁部材の形状は、直線状であってもよく、 曲線状であってもよく、直線及び/又は曲線 組み合わせであってもよい。

 両組を構成する端子部の位置は、両組の 縁性を保つことができさえすれば、特に限 されない。導電性スナップとの接続を考慮 ると、できるだけ近接した場所に端子部が 置することが好ましい。例えば、平面視で 用具の長さ方向又は幅方向に並んで端子部 位置させてもよい。

 (モニター法)
 本発明の帯電防止用具を使用した帯電状態 モニター法は、特に限定されず、公知の方 いずれも使用できる。例えば、帯電量検知 ンサー、増幅器、演算部、接地部、アラー 等の素子による回路を有するモニターによ 方法が挙げられる。例えば、帯電量を帯電 検知センサーで検出し、検出信号を増幅器 増幅した後演算部に送り、演算部において 電異常を検出した場合はアラームから警告 発することができる。また、帯電は、接地 を介して外部に逃がすことができる。

 実施例1
 図1(a)~(c)及び図2に実施例1の帯電防止用具の 概略図を示す。図1(a)は実施例1の帯電防止用 の概略平面図であり、図1(b)は実施例1の帯 防止用具の概略背面図であり、図1(c)は実施 1の帯電防止用具のI-I線の概略断面図であり 、図2は図1(c)の端子部の概略拡大図である。 た、図1(a)~(c)及び図2中、参照番号1は支持部 材、1aは軟質ポリエチレン層、1bはポリエス ルフィルム、2は導電層、3は端子部、3aは導 性スナップ、3bは導電部、4は被覆層、5は導 電性粘着剤層、6は中間基材、7は非粘着剤層 8は保護フィルム、3a1は導電性スナップの凸 部、3a2は導電性スナップの凹部、3a3は導電性 スナップの鍔部、3b1は導電部の凸部、3b2は導 電部の鍔部を意味する。

 図1(a)及び1(b)に示されているように帯電 止用具は、角部が丸みを帯びた形状であり 長手方向につまみ部となる凸部が形成され 瓢箪型の平面形状を有している。また、図1( c)に示されているように、つまみ部には非粘 剤層が積層されている。

 図示した帯電防止用具は以下のように形成 た。
 まず、50μmの厚さのポリエステルフィルム1b 上に、100μmの厚さの軟質ポリエチレン層1aを 着ラミネートすることで、支持部材1を得た 。得られた支持部材1は、所望の表面の平滑 、強度及び柔軟性を備えていた。また、支 部材1は塵埃が発生し難い構成であった。
 次に、ポリエステルフィルム1b上にカーボ インクをスクリーン印刷法により塗布し、 燥させることで厚さ10μmの導電層2を得た。

 更に、SUS316Lからなる凸部3a1、凹部3a2及び 鍔部3a3を有する導電性スナップ3aを、鍔部3a3 下になるように支持部材の表面に設置した 次いで、導電層2側から、SUS316Lからなる凸 3b1及び鍔部3b2を有する導電部3bを、その凸部 3b1を支持部材を貫通させ、かつ導電性スナッ プ3aの鍔部3a3側からその凹部3a2に嵌入させる( カシメる)ことにより、両者を係止した(図2参 照)。なお、導電性スナップ3aは、3mmの高さ、 下面が直径10mmの円形の鍔部を有し、0.3mmの厚 さを有している。導電部3bは、4.2mmの高さ、 面が直径10mmの円形で、かつ0.3mmの厚さの鍔 を有している。

 次いで、導電部3bの鍔部3b2下面に、被覆層4 して直径15mmのポリエステル樹脂製絶縁テー プを貼り付けた。
 更に、導電層2上の一方の端部に、厚さ100μm のポリエステル樹脂製絶縁テープを貼り付け ることでつまみ部となる非粘着剤層7を形成 た(図1(b)及び1(c))。
 この後、20重量%のアクリル系樹脂架橋体、1 8重量%のイオン交換水、61.85重量%のグリセリ 、0.15重量%の防腐剤からなり、ナイロン製 布を中間基材6として含む導電性高分子含水 ル製の導電性粘着剤層(積水化成品工業社製 テクノゲル;比抵抗1×10 5 ωcm)5を非粘着剤層7が露出するように導電層2 に貼付した。

 なお、上記導電性高分子含水ゲル中のイ ウ、ケイ素及びスズの元素と、ハロゲン化 (塩化物、臭化物)のイオンとの濃度は、合 で、41.2ppmであった。この濃度測定は、蛍光X 線分析法及びイオンクロマトグラフ法により 行なった。具体的には、測定対象毎に、以下 の方法で測定している。

 <イオウ、ケイ素、スズ>
 試料となる帯電防止用具の各部材に、蛍光X 線分析装置(リガク社製RIX-2100)を用いて、分 径10mmφで、オーダー分析を行なうことで、 記元素の定量を行なう。また、水分を多量 含む導電性粘着剤層を帯電防止用具が備え いる場合、導電性粘着材層をポリプロピレ フィルムで保護した後、オーダー分析を行 う。
 <ハロゲン化物>
 試料を燃焼管式空気法で燃焼させ、発生し ガスを3%過酸化水素水に吸収させる。吸収 中のハロゲン化物イオンをイオンクロマト ラフ法により測定する。

 次に、導電性粘着剤層5上に保護フィルム8 貼り付け、更に、図1(a)及び1(b)に示す形状に 裁断することにより、実施例1の帯電防止用 を得た。得られた帯電防止用具の導電性粘 剤層の面積は、30cm 2 であった(全面積の95%)。

 (評価)
 (1)得られた帯電防止用具のステンレス板か の引張強度は35.5Nであった(皮膚からの引張 度は、測定バラツキが大きくなるが、参考 として13~28Nであった)。また、導電性スナッ プから接地配線が外れるまでの引張強度は6N あった。この結果から、この帯電防止用具 、皮膚から引き剥がされる前に、接地配線 外れることがわかる。

 なお、引張強度は、SUS304ステンレス板に 施例の図1(a)に示す帯電防止用具のゲル面を 貼付し、約10秒後に帯電防止用具のスナップ を専用治具で挟み込み、テンシロン(オリエ ンテック社製RTE-210型)にて300mm/minの速度で垂 方向に引っ張った時の最大強度である。

 (2)帯電防止用具を含む人体の抵抗値は初期 が1.5Mωであり、着脱を200回繰り返した後も1 .5Mωであった。
 なお、抵抗値は、次のように測定する。帯 防止用具を手首に貼り付け、10秒後、市販 グランドコード(スリーエム社製2310)と端子 とを接続する。抵抗値は指でリストスラッ テスター(スリーエム社製747)にタッチするこ とで測定される。着脱は、測定後、帯電防止 用具を引き剥がし、5分後再び同じ位置に貼 付けることで行なう。

 (3)人体帯電圧は、着脱回数200回までの測定 0Vが維持されていることを確認した。
 なお、人体帯電圧は、JIS L 1023に準拠する 法で測定され、具体的には、静電気測定器( シシド静電気社製DS3)のセンサーを人体帯電 定用チャージプレートにセットすることで 定される。貼り付け時間及び着脱は上記抵 値の測定と同じ条件である。
 (4)発塵は、未使用あるいは200回繰り返し皮 貼付の後、0.1μm以上の粒子が5~17個/立方フ ート(約28.3リットル)であることを確認した
 なお、発塵の測定は、JIS B 9921に準拠する 法で測定する。具体的には、パーティクル ウンター(トランステック社製モデル2100)で 1分間(1立方フィート分に相当)両手で試料の 両端を持ち、交互に約50mmずつ対象に動かす( り返し折り曲げる)ことによって、発生した 塵を機器吸引口から吸引することで測定する 。

 実施例2
 図3(a)~(e)に実施例2の2端子型の帯電防止用具 の概略図を示す。図3(a)は実施例2の帯電防止 具の概略平面図であり、図3(b)は実施例1の 電防止用具の導電層の配置を示す図である 図3(b)中、斜線部が導電層であり、中央付近 S字状の導電層が形成されていない部分aが 在する。図3(c)は被覆層と非粘着剤層が積層 れた状態を示す図である。図3(d)は導電性粘 着剤層が積層された状態を示す図である。図 3(d)中、導電性粘着剤層が形成されていない 分bが存在する。図3(e)は実施例2の帯電防止 具のI-I線の概略断面図である。実施例2の帯 防止用具の端子部は、図2の拡大図で示され る構造を有している。また、図3(a)~(e)中の参 番号で示される部材は、図1(a)~(c)中の参照 号で示される部材と同種である。

 図3(a)~(d)に示されているように帯電防止 具は、角部が適度な丸みを帯びた形状であ 、長手方向の一方につまみ部となる凸部が 成されたとっくり型の平面形状を有してい 。また、図3(c)及び(d)に示されているように つまみ部には非粘着剤層7が積層されている 。

 図示した帯電防止用具は以下のように形成 た。
 まず、50μmの厚さのポリエステルフィルム1b 上に、100μmの厚さの軟質ポリエチレン層1aを 着ラミネートすることで、支持部材1を得た 。得られた支持部材1は、所望の表面の平滑 、強度及び柔軟性を備えていた。また、支 部材1は塵埃が発生し難い構成であった。
 次に、ポリエステルフィルム1b上にカーボ インクをスクリーン印刷法により塗布し、 燥させることで厚さ10μmの互いに離間した2 の導電層2を得た。2つの導電層の離間距離は 、5mmであった。

 更に、SUS316Lからなる凸部3a1、凹部3a2及び 鍔部3a3を有する導電性スナップ3aを、鍔部3a3 下になるように支持部材の表面で、2つの導 電層2のそれぞれに1つずつ設置した。次いで 導電層2側から、SUS316Lからなる凸部3b1及び 部3b2を有する導電部3bを、その凸部3b1を支持 部材を貫通させ、かつ導電性スナップ3aの鍔 3a3側からその凹部3a2に嵌入させる(カシメる )ことにより、両者を係止した(図2参照)。な 、導電性スナップ3aは、3mmの高さ、下面が直 径10mmの円形の鍔部を有し、0.3mmの厚さを有し ている。導電部3bは、4.2mmの高さ、下面が直 10mmの円形で、かつ0.3mmの厚さの鍔部を有し いる。

 次いで、導電部3bの鍔部3b2下面に、鍔部3b2 び導電層が形成されていない部分全体を覆 ように、被覆層4として幅15mmのポリエステル 樹脂製絶縁テープを貼り付けた。
 更に、つまみ部とする導電層2上の部分に、 厚さ100μmのポリエステル樹脂製絶縁テープを 貼り付けることで非粘着剤層7を形成した(図3 (c)及び3(d))。
 この後、20重量%のアクリル系樹脂架橋体、1 8重量%のイオン交換水、61.85重量%のグリセリ 、0.15重量%の防腐剤からなり、ナイロン製 布を中間基材6として含む導電性高分子含水 ル製の導電性粘着剤層(積水化成品工業社製 テクノゲル;比抵抗1×10 4 ωcm)5を非粘着剤層7が露出し、被覆層4の中央 で離間するように、2つの導電層2のそれぞ の上に1層ずつ貼付した。

 なお、上記導電性高分子含水ゲル中のイオ 、ケイ素及びスズの元素と、ハロゲン化物( 塩化物、臭化物)のイオンとの濃度は、合計 、6.8ppmであった。この濃度測定は、実施例1 同様にして、蛍光X線分析法及びイオンクロ マトグラフ法により行なった。
 次に、導電性粘着剤層5上に保護フィルム8 貼り付け、更に、図3(a)及び3(b)に示す形状に 裁断することにより、実施例1の帯電防止用 を得た。得られた帯電防止用具の導電性粘 剤層の面積は、36cm 2 であった(全面積の93%)。

 (評価)
 (1)得られた帯電防止用具において、一方の 子のステンレス板からの引張強度は37.5Nで った(皮膚からの引張強度は、測定バラツキ 大きくなるが、参考値として13~28Nであった) 。また、導電性スナップから接地配線が外れ るまでの引張強度は6Nであった。この結果か 、この帯電防止用具は、皮膚から引き剥が れる前に、接地配線が外れることがわかる
 なお、引張強度は、実施例1と同様にして測 定した。

 (2)帯電防止用具を含む人体の抵抗値は初期 が1.3Mωであり、着脱を200回繰り返した後も1 .3Mωであった。
 なお、抵抗値は、実施例1と同様にして測定 した。
 (3)人体帯電圧は、着脱回数200回までの測定 0Vが維持されていることを確認した。なお 人体帯電圧は、実施例1と同様にして測定し 。

 (4)発塵は、未使用あるいは200回繰り返し皮 貼付の後、0.1μm以上の粒子が5~18個/立方フ ート(約28.3m 3 )であることを確認した。
 なお、発塵は、実施例1と同様にして測定し た。