Beschreibung

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEWEGUNG EINER FLüSSIGKEIT MITTELS EINES PIEZOELEKTRISCHEN TRANSDUCERS

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit einer Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit sowie ein Verfahren zum Bewegen einer Flüssigkeit unter Verwendung einer solchen Vorrichtung.

Mikrofluidik-Systeme, die beispielsweise als Biosensoren

Verwendung finden, erfordern aufgrund ihrer Baugröße und des verhältnismäßig kleinen zur Verfügung stehenden Flüssigkeitsvolumens ein System von Mikrokanälen mit kleinen Querschnitten. Aufgrund dieser kleinen Querschnitte und der relativ geringen Flussgeschwindigkeiten sind die Reynolds-

Zahlen derartiger Systeme, die das Verhältnis von Trägheits- zu Zähigkeitskräften charakterisieren und für eine ideale Flüssigkeit ohne Viskosität unendlich groß sind, sehr klein. Hieraus folgt, dass die Strömungen in diesen Kanälen überwiegend laminar sind und infolge dessen keine ausreichende Vermischung stattfindet.

Eine solche Durchmischung ist beispielsweise bei Biosensoren notwendig, um die Polymerasekettenreaktion (PCR) zu beschleunigen oder auch die Hybridisierung von DNA zu bewirken, da es sich in beiden Fällen um diffusionslimitierte Prozesse handelt.

Zur Lösung dieser Probleme ist in jüngster Zeit ein Oberflächenwellenresonator auf Basis eines Lithium-Niobat-

Chips vorgeschlagen worden, der mit einer HF-Leistung bis zu 500 mW bei 140 MHz arbeitet. Hierdurch wird eine quasichaotische Vermischung der Flüssigkeit erzeugt, wodurch beispielsweise die Hybridisierung in wenigen Minuten ablaufen kann.

Derartige Lösungen sind jedoch häufig in Bezug auf Baugröße und Frequenzbereich limitiert.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Vorrichtung mit einer Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit und ein Verfahren zum Bewegen einer Flüssigkeit unter Verwendung einer derartigen Vorrichtung anzugeben.

Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch Verfahren zur Bewegung einer Flüssigkeit mit den Merkmalen des Anspruchs 19 gelöst.

Bevorzugte Ausgestaltungen und weiterführenden Details der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung eine Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit mit mindestens einem piezoakustischen Resonatorelement und zwei an der piezoelektrischen Schicht anliegenden Elektroden, wobei das piezoakustische Resonatorelement derart beschaffen ist, dass durch Anlegen einer Spannung mittels der Elektroden an die piezoelektrische Schicht eine Volumenschwingung der piezoelektrischen Schicht mit Resonanzfrequenz angeregt wird, die sich in die Flüssigkeit überträgt.

Derartige piezoakustische Resonatorelemente sind als so genannte BAW (bulk acoustic wafe) -Resonatoren aus der Technik bekannt und sind als passive Komponenten für Hochfrequenzanwendungen, zum Beispiel in der Mobilfunktechnologie, entwickelt worden.

Im Unterschied zu Oberflächenwellenresonatoren (SAW - Surface Acoustic Wafe Resonator) wird bei den BAW-Resonatoren eine akustische Volumenschwingung (Körperschallschwingung) der piezoelektrischen Schicht angeregt und keine Oberflächenwelle. Je nach Konfiguration des piezoakustischen Resonators kann es sich bei der angeregten Volumenschwingung des piezoakustischen Resonatorelements um eine longitudinale Schwingung und/oder eine Volumenscherschwingung handeln. Beispielsweise lässt sich bei senkrechter

kristallographischer Orientierung der c-Achse eines hexagonalen piezoelektrischen Materials z.B. PZT (Bleizirkonattitanat) bei unterseitiger und oberseitiger Anordnung der Elektroden (Sandwich-Struktur) eine longitudinale Schwingung entlang der Schichtdicke der piezoelektrischen Schicht erzielen. Hingegen kann eine Volumenscherschwingung entlang der lateralen Ausdehnung der piezoelektrischen Schicht erzeugt werden, indem die polykristalline Schicht derart orientiert ist, dass die c- Achse in der Schichtebene verläuft.

Vorzugsweise arbeitet das piezoakustische Resonatorelement der erfindungsgemäßen Vorrichtung derart, dass eine longitudinale Schwingung angeregt wird. Vorzugsweise arbeitet das piezoakustische Resonatorelement im Frequenzbereich von

0,5 bis 10 GHz, wobei eine in der Flüssigkeit stark gedämpfte Welle generiert wird, die zur Durchmischung der Flüssigkeit führt.

Vorzugsweise umfasst die Einrichtung mehrere piezoakustische Resonatorelemente, die gegenphasig angesteuert werden. Hierdurch können auch größere Flüssigkeitsvolumen durchmischt werden, da durch die gegenphasige Ansteuerung eine Verwirbelung in der Flüssigkeit und eine bessere Durchmischung erzielt wird.

Vorzugsweise beträgt die Größe des piezoakustischen Resonatorelements der erfindungsgemäßen Einrichtung 50 bis 200 μm. Ein wesentlicher Vorteil gegenüber bestehenden Lösungen ist das erhöhte Potential zur Miniaturisierung, wodurch die Größe des gesamten Mikrofluidik-Systems stark begrenzt werden kann.

Die Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit gemäß der vorliegenden Erfindung kann als Misch- und/oder als

Pumpeinrichtung ausgebildet sein. Als Mikropumpe kann sie beispielsweise auf einer Membran angeordnet sein, die durch Ansteuerung des piezoakustischen Resonatorelements eine

Biegeauslenkung erfahrt. Vorteilhafterweise betragt die Dicke eines piezoakustischen Resonatorelements eine halbe Wellenlange (λ/2) .

Die Vorrichtung kann als Modul ausgebildet sein. Das Modul kann derart ausgebildet sein, dass es in ein Mikrofluidik- System integrierbar ist, z.B. durch einfaches Einschieben oder Einstecken.

Bei einer einfachen Ausgestaltung des piezoakustischen

Resonatorelements ist dieses auf einem akustischen Spiegel angeordnet, der mehrere Lagen mit stark unterschiedlicher akustischer Impedanz umfasst. Das piezoakustische Resonatorelement kann jedoch auch auf einer Dunnschicht- Membran angeordnet sein, die beispielsweise durch Ruckseiten- Atzung eines Si-Wafers mit beispielsweise einer nitridischen oder oxidischen Deckschicht als Atzstopp hergestellt werden kann. Dabei kann die Vorrichtung als Mikropumpe ausgestaltet sein, wobei die Membran durch Ansteuerung des piezoakustischen Resonatorelements eine Biegeauslenkung erfahrt, deren Schwingung in die Flüssigkeit übertragen wird.

Eine verbesserte Pumpenleistung lasst sich erzielen, wenn die Vorrichtung mehrere piezoakustische Resonatorelemente umfasst, die gegenphasig angesteuert werden. Bei einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist die Vorrichtung als Multi-Membran-Gegenkontaktpumpe ausgebildet, wobei in einem Stromungskanal in Flussrichtung hintereinander mehrere piezoakustische Resonatorelemente als Aktoren (Pumpen) vorgesehen sind und zwischen zwei der piezoakustischen

Resonatorelemente eine Ruckflussbarriere angeordnet ist.

Besondere Vorteile ergeben sich durch die

Integrationsfahigkeit der erfindungsgemaßen Vorrichtung, die eine Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit aufweist, die in einfacher Weise als Dunnschichtbauteil auf einem Halbleitersubstrat integriert sein kann. Dabei können die üblichen Verfahrensprozesse der Halbleitertechnologie genutzt

werden, wie zum Beispiel die Bipolar, CMOS- oder BiCMOS- Technologie .

Die Vorrichtung kann auf einem Hochfrequenzsubstrat durch Flip-Chip-Montage befestigt sein. Das HF-Substrat kann Teil eines Moduls sein, das in einfacher Weise in das Gehäuse einer Flusszelle integriert werden kann. Bei dem Hochfrequenzsubstrat handelt es sich vorzugsweise um ein LTCC (Low Temperature Cofired Ceramics) -Substrat .

Bezüglich der Miniaturisierbarkeit liegt ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung darin, dass sie in einfachster Weise mit einem Sensor zur Detektion einer Substanz über dieselbe Technologieplattform integriert werden kann. Bei einer derartigen Einrichtung zur Detektion einer

Substanz kann es sich um einen Sensor handeln, der bestimmte Substanzen aus einem Gemisch detektiert, aber auch beispielsweise einen Massensensor.

Die Sensorfunktion durch Detektion der Anlagerung einer bestimmten Substanz kann die selektive Bestimmung dieser Substanz aus einem Substanzgemisch, die Bestimmung der Konzentration der entsprechenden Substanz, die Bestimmung der Masse, der Reaktionskinetik, etc. umfassen.

Sensoren dieser Art basierend auf einem piezoakustischen Volumenresonator sind aus der Technik bekannt. Beispielsweise beschreibt die Anmeldung WO 2004/017063 A2 der Anmelderin einen derartigen Mikrosensor zur Messung der Anlagerung einer Substanz an der Oberfläche des BAW-Resonators . Durch die

Anlagerung der Substanz ändert sich die Resonanzfrequenz des BAW-Resonators, so dass hieraus auf die Anlagerung der Substanz geschlossen werden kann. Eine derartige Einrichtung zur Detektion einer Substanz weist einen Oberflächenabschnitt auf, der für die Anlagerung der zu detektierenden Substanz eingerichtet ist und für unterschiedliche zu detektierende Substanzen unterschiedlich beschaffen sein kann.

Durch Kombination bzw. Integration der Funktionen der erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Bewegen einer Flüssigkeit mit einer Einrichtung zur Detektion einer Substanz können neue Anwendungsgebiete erschlossen werden. Zum Beispiel wird das Monitoring von Mikroreaktionen ermöglicht, indem gleichzeitig Reaktionsprodukte erfasst werden können. Da Sensorelement und Aktorelement als integrierte

Halbleiterbauelement auf dem gleichen Chip realisiert werden, kann die Vorrichtung auf kleinstem Raum realisiert werden, wodurch wesentlich geringere Volumina der Reagenzien benötigt werden, was in vielen Fällen eine deutliche Kosteneinsparung mit sich bringt. Weiterhin wird die Möglichkeit eröffnet, Arrays mit mehreren Elementen herzustellen, die es gestatten, unterschiedliche Tests parallel durchzuführen.

Die Vorrichtung kann dabei eine Mehrzahl an piezoakustischen Resonatoren mit unterschiedlichem Schwingungsmode bei Anregung umfassen. Beispielsweise ist es möglich, ein erstes piezoakustisches Resonatorelement mit Dickenresonanzmode und ein weiteres Resonatorelement mit Scherschwingungsmode vorzusehen. Die Vorrichtung kann dabei derart ausgestaltet sein, dass die beiden piezoakustischen Resonatorelemente mit unterschiedlichen Antriebseinrichtungen angesteuert werden, d. h. einzeln betrieben werden.

Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die beiden piezoakustischen Resonatorelemente in Stapelform übereinander angeordnet. Dabei kann das obere Resonatorelement als Sensorelement ausgebildet sein und vorzugsweise eine Dicke aufweisen, die λ/2 beträgt. In diesem Fall kann das obere Element für die akustische Welle wie ein Anti-Reflection-Coating wirken, was beim Mischen eine besonders effiziente Energieübertragung in die Flüssigkeit erlaubt .

Bei einer besonders effizienten und stark miniaturisierten erfindungsgemäßen Vorrichtung handelt es sich um eine MEMS (Microelectronic Mechanical Systems) -Pumpe mit integriertem

Biosensor. Diese umfasst ein erstes piezoakustisches Resonatorelement, das bei Ansteuerung eine Biegeauslenkung einer Membran verursacht. Zudem ist ein zweites piezoakustisches Resonatorelement vorgesehen, das gegenphasig betrieben wird. Die beiden piezoakustischen Resonatorelemente sind innerhalb eines Strömungskanals einer Flusszelle hintereinander folgend angeordnet. Dazwischen befindet sich eine Rückfluss-Barriere in der Flusszelle. Auf der Oberseite der beiden piezoakustischen Resonatorelemente, die als Pumpe wirken, ist jeweils eine Einrichtung zur Detektion einer

Substanz vorgesehen mit einer entsprechenden Beschichtung zur Anlagerung einer Substanz, die detektiert werden soll.

Auf diese Weise lassen sich durch die erfindungsgemäße Vorrichtung die Kombinationen Sensor und Mischelement bzw. Sensor und Pumpenelement als Beispiele für ein Mikrosystemtechnik-Bauelement realisieren, das mehreren Funktionen dient. Die erheblich reduzierte Baugröße eröffnet neue Anwendungsbereiche und reduziert die Herstellungskosten.

Aufgrund der Siliziumkompatibilität der piezoakustischen Resonatorelemente ist auch die Ausgestaltung als ein Lab-on- a-Chip-System möglich, da es entsprechende Misch- und Sensorfunktionen mit entsprechenden integrierten Auswerteeinrichtungen vereint.

Die Erfindung ist jedoch nicht auf derartige Ausführungsformen beschränkt und stellt ebenfalls eine Einrichtung mit mindestens einem piezoakustischen Resonatorelement bereit, das derart aufgebaut ist, dass durch Ansteuerung der Elektroden dieses einen piezoakustischen Resonatorelements eine longitudinale Volumenschwingung und gleichzeitig eine Schermode-Volumenschwingung der piezoelektrischen Schicht anregbar sind.

Ein derartiges piezoakustisches Resonatorelement lässt sich durch gezielte Auswahl der kristallographischen Orientierung der piezoelektrischen Schicht erzielen. Beispielsweise kann

es sich um eine piezoelektrische Schicht bestehend aus ZnO handeln, deren kristallographische c-Achse in geeigneter Weise verkippt ist. Beispielsweise kann die Verkippung 16° betragen. Neben ZnO kann beispielsweise auch AlN oder PZT (Bleizirkonattitanat) mit geeigneter Verkippung Verwendung finden. Bei einer derartigen Konfiguration wird mit einem piezoakustischen Resonatorelement die Flüssigkeit bewegt und gleichzeitig gemessen. Dementsprechend werden Sensor- und Aktorfunktion mit einem piezoakustischen Resonatorelement bereitgestellt.

Bei dieser Ausführungsform mit piezoakustischem Resonatorelement, das gleichzeitig als Sensor und Aktor fungiert, können sowohl longitudinale Moden als auch Schermoden mit vergleichbarer Stärke angeregt werden. Bei longitudinalen Moden lassen sich Flüssigkeiten mischen, da dieser Mode sehr gut in die Flüssigkeit einkoppelt. Mit Schermoden lassen sich beispielsweise gravimetrische Messungen als Beispiel für die Detektion einer Substanz durchführen.

Auch im Hinblick auf die Herstellungsprozesse ergeben sich bei einer derartigen Ausgestaltung erhebliche Vorteile, da lediglich ein piezoakustisches Resonatorelement prozessiert werden muss. Da dies mit Standard-Halbleiter-Prozessen erfolgen kann, ist eine Integration mit weiteren funktionalen Einheiten, wie z. B. Oszillator, Auswerteschaltkreis, etc. problemlos möglich. Es werden keine beweglichen Teile sowie keine Membranen oder Kantilever benötigt, was einfache Herstellungsprozesse als auch eine höhere Zuverlässigkeit der resultierenden Vorrichtung mit sich bringt.

Durch die Kombination der beiden Funktion Aktor/Sensor in einem Bauelement wird die Miniaturisierung weiter vorangetrieben und es können Mikrofluidik-Komponenten bereitgestellt werden, deren äußere Abmessungen deutlich unter 100 μm, vorzugsweise unterhalb 50 μm liegen.

Die Erfindung stellt auch ein Verfahren zum Bewegen einer Flüssigkeit unter Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung bereit. Das Verfahren umfasst die Schritte: In- Kontaktbringen der Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit der erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer Flüssigkeit und Anregung einer Volumenschwingung der piezoelektrischen Schicht in Resonanz.

Beispielhafte Ausgestaltungen und Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden im Folgenden unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer

Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit mit piezoakustischem Resonatorelement schematisch im

Querschnitt .

Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel einer

Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit mit piezoakustischem Resonatorelement schematisch im

Querschnitt .

Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung, die als Mikromischer ausgestaltet ist, schematisch im Querschnitt.

Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, die aus Sensorelementen und Aktorelementen besteht und als Array ausgebildet ist, schematisch in einer

Draufsicht .

Fig. 5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit mehreren piezoakustischen Resonatorelementen in

Stapelanordnung schematisch im Querschnitt.

Fig. 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen

Vorrichtung, das als MEMS-Pumpe mit integrierten Sensorelementen ausgebildet ist, schematisch im Querschnitt .

Fig. 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit schematisch im Querschnitt.

Fig. 8 zeigt die Amplitude Sil in Abhängigkeit der Frequenz, gemessen an dem piezoakustischen Resonatorelement der

Fig. 8.

Fig. 9 zeigt die Messung der Resonanzfrequenz in

Abhängigkeit der Zeit für die Anbindung von Avidin, gemessen im Schermode bei 790 MHz.

Fig. 10 zeigt einen Verfahrensablauf eines

Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zur Bewegung einer Flüssigkeit.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 werden im Folgenden zwei grundsätzliche Strukturen einer erfindungsgemäßen Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit vorgestellt.

Fig. 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung mit einer Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit, bei der das piezoakustische Resonatorelement auf einem Trägersubstrat angeordnet ist.

Die Vorrichtung 10 umfasst ein piezoakustisches

Resonatorelement 11, das auf einem Si-Wafer als Substrat 12 angeordnet ist. Das piezoakustische Resonatorelement 11 umfasst eine piezoelektrische Schicht 110, bestehend aus PZT mit einer Schichtdicke von 1 μm. Auf der Oberseite bzw. der Unterseite der piezoelektrischen Schicht 110 sind Elektroden 111 bzw. 112, bestehend aus Platin mit einer Schichtdicke von 500 nm, angebracht. Zwischen den Elektroden 111, 112 ist eine Isolierung 113 aus AI2O3 vorgesehen. Die untere Elektrode 112

ist auf einem akustischen Spiegel 13 bestehend aus mehreren wechselnden Lagen mit stark unterschiedlicher akustischer Impedanz angeordnet. Dabei kann es sich beispielsweise um W/Siθ ₂ ~Lagen handeln. Dieser als Bragg-Reflektor fungierende akustische Spiegel dient der Vermeidung akustischer Verluste in das Substrat 12. Die Schichtdicke der Einzellagen des Spiegels betragt λ/4

Statt der Anordnung auf einem piezoakustischen Spiegel kann das piezoakustische Resonatorelement auch auf einer dünnen Membran angeordnet sein. Eine derartige Ausfuhrungsform ist in Fig. 2 gezeigt. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 1 bezeichnen gleiche Teile. Die Membran 24, auf der das piezoakustische Resonatorelement 11 angeordnet ist, besteht aus Siü2. Die Membran 24 bildet eine Deckschicht auf dem Si- Wafer 23.

Die Prozessierung des Wafers zur Erstellung der Membran erfolgt über rückseitige Atzung, in deren Folge durch Materialabtrag die rückseitige Ausnehmung 25 des Si-Wafers 23 gebildet wird. Die SiC^-Schicht 24 fungiert dabei als Atzstopp und bildet beim fertigen Bauteil die Membran.

Bei beiden Ausfuhrungsbeispielen, die in Fig. 1 und 2 gezeigt sind, arbeitet der piezoakustische Dunnschichtresonator 11 im Dickenresonanzmode . Dabei ist die kristallographische Orientierung der piezoelektrischen Schicht eine <111> Orientierung. Dies hat den Vorteil, dass die resultierende Schwingung besonders gut in die Flüssigkeit übertragen werden kann, so dass ein effizientes Pumpen bzw. Mischen möglich ist .

In Fig. 3 ist ein schematischer Ausschnitt eines Querschnitts einer Ausfuhrungsform gezeigt, bei der die erfindungsgemaße Vorrichtung als vollständiges Mikrofluidik-System ausgestaltet ist.

Das Mikrofluidik-System 30 umfasst ein Gehäuse, von dem in

Fig. 3 ein Gehäuseabschnitt 32 gezeigt ist, das einen Strömungskanal 33 begrenzt. Durch diesen Strömungskanal 33 strömt eine Flüssigkeit, die in einem nicht gezeigten Abschnitt der Vorrichtung 30 analysiert werden soll. Zu diesem Zweck umfasst das Mikrofluidik-System ein Modul 31 zur Durchmischung der durch den Strömungskanal 33 strömenden Flüssigkeit. Dieses Modul 31 umfasst einen Mischerchip 38, auf dem in Strömungsrichtung hintereinander zwei piezoakustische Resonatorelemente 11 angeordnet sind, deren Aufbau den in den Fig. 1 und 2 beschriebenen piezoakustischen Resonatorelementen 11 gleicht, mit der Ausnahme, dass hier die äußeren Abmessungen der piezoakustischen Resonatorelemente 250 x 100 x 50 μm beträgt, mit einer Schichtdicke der piezoelektrischen Schicht von 30 μm. Der Mischerchip 38 ist an ein LTCC (Low Temperature Cofire

Ceramics) -Substrat 37 über Flip-Chip-Technologie gebondet. Das LTCC-Substrat kann in bekannter Weise weitere passive elektronische Komponenten beinhalten. Dabei ist ein oberseitiger Teilabschnitt des Mischerchips 38 über sog. Lötbonds 35 mit dem Hochfrequenzsubstrat 37 verbunden. Die Lötbonds 35 bestehen aus einer Gold-Nickel-Legierung. Zudem ist ein Underfill 36 vorgesehen. Bei einem Underfill-Prozess zur Erstellung des Underfills 36 wird eine Materialraupe längs der Chipkante aufgebracht, wobei durch Kapillareffekt die Flüssigkeit unter den Chip fließt.

Der in Fig. 3 gezeigte Aufbau, bei dem der Mischerchip 38 direkt über Flip-Chip-Technik an ein Hochfrequenzsubstrat 37 gebondet ist, bringt mehrere Vorteile mit sich: Es entsteht ein Modul 31, das direkt in das Mikrofluidik-System integriert werden kann, so dass eine erhebliche Miniaturisierung und Integration erreicht werden kann. Im Hinblick auf die Hochfrequenztechnik bietet die Anbindung über Lötbonds an das HF-Substrat zudem den Vorteil, dass bei Frequenzen im Gigahertz-Bereich die durch Bonddrähte verursachten hohen inneren Verluste vermieden werden können.

In Fig. 4 ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen

Vorrichtung gezeigt, bei der 4 x 4 piezoakustische Resonatorelemente 41, 42 auf einem Trägersubstrat 44 zu einem Array 40 angeordnet sind. Die piezoakustischen Resonatorelemente 41 sind dabei als Sensorelemente ausgebildet zur Detektion einer Substanz zur Identifizierung oder zur Ermittlung ihrer Konzentration durch Messung der angelagerten Masse. Ein grundsätzlicher Unterschied zwischen den piezoakustischen Resonatorelementen 41 und 42 besteht dabei in der unterschiedlichen Orientierung der piezoelektrischen Dünnschicht. Diese ist bei den piezoakustischen Resonatorelementen 42 so gewählt, dass ein longitudinaler Volumenschwinger resultiert, während es sich bei den Sensorelementen 41 um Scherschwinger handelt. Aufgrund der unterschiedlichen Orientierung der piezoelektrischen Schichten ist bei dem Array 40 für die

Kombination von Sensorelementen 41 und Aktorelementen 42 eine weitere Strukturierungsebene erforderlich. Die Anordnung mehrerer Sensorelemente 41 zu einem Array ergibt den Vorteil einer erhöhten Ortsauflösung bei der Messung.

Bei der Kombination von Sensorelementen und Aktorelementen ist auch eine Stapelbauform möglich. Ein entsprechendes Ausführungsbeispiel ist in Fig. 5 gezeigt. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die erfindungsgemäße Vorrichtung als Dünnschichtmischer mit integriertem Biosensor ausgebildet. Die Vorrichtung 50 umfasst ein erstes piezoakustisches Resonatorelement 51, das als Sensorelement ausgestaltet ist. Es besteht aus einer piezoelektrischen Schicht 510 aus ZnO mit einer Schichtdicke von 1,5 μm. Auf der Oberseite und der Unterseite der piezoelektrischen Schicht 510 sind Elektroden 511 bzw. 512 mit einer Schichtdicke von 0,5 μm aufgebracht, die aus einer Ag/Pd-Legierung bestehen. Auf der Oberseite der oberen Elektrode 511 ist eine sensitive Beschichtung 55 aufgebracht. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine spezielle Beschichtung mit DNA, die über das Schlüssel-Schloss-Prinzip ein Andocken einer korrespondierenden DNA zur selektiven Anlagerung aus einem Gemisch verschiedener Substanzen ermöglicht. Die

piezoelektrische Schicht 510 weist eine Scherorientierung entsprechend der Sensorfunktion des piezoakustischen Resonatorelements 51 auf.

Das Sensorelement 51 ist bei diesem Ausführungsbeispiel in Stapelform auf einem Aktorelement 52 angeordnet. Das entsprechende piezoakustische Resonatorelement 52 besteht aus einer oberseitigen Elektrode 512 und einer unterseitigen Elektrode 513, die aus Ag/Pd bestehen. Die piezoelektrische Schicht 520 besteht aus AlN mit einer Schichtdicke von

500 nm. Die Länge des piezoakustischen Resonatorelements 52 beträgt 100 μm bei einer Breite von 50 μm. Das piezoakustische Resonatorelement 52, das als Aktor fungiert, ist auf einer Membran 53 eines Silizium-Wafers 54 angeordnet, der aus Siliziumnitrid besteht.

Durch die Anordnung in Stapelform kann eine weitere Miniaturisierung erreicht werden.

Statt dem Aufbau auf der Membran 53 kann auch ein

Trägersubstrat mit akustischem Spiegel vorgesehen sein. Dieser ist so zu bemessen, dass die Reflexion sowohl für den Frequenzbereich der Volumen- als auch der Scherschwingung ausreicht .

Bei dem in Fig. 5 gezeigten Ausführungsbeispiel beträgt die Dicke des oberen Resonatorelements 51 λ/2. Hierdurch wirkt das obere Element für die akustische Welle wie ein Anti- Reflection-Coating, wodurch eine besonders effiziente Energieübertragung in die Flüssigkeit beim Mischen realisiert wird.

Fig. 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem die erfindungsgemäße Vorrichtung als MEMS (Microelectronic Mechanical Systems) -Pumpe mit integrierten Biosensoren ausgebildet ist.

Die Vorrichtung 60, von der in Fig. 6 ein Ausschnitt im

Querschnitt gezeigt ist, umfasst eine Flusszelle 61, die oberseitig einen Kanal 62 begrenzt. Die Unterseite des Kanals 62 wird durch eine Gegenkontaktpumpe 63 mit integrierten Sensorelementen gebildet, die als Zwei-Membran- Gegenkontaktpumpe ausgebildet ist. Die Mikropumpe 63 umfasst zwei piezoakustische Resonatorelemente 52 mit einer piezoelektrischen Schicht 520 in Dickenorientierung, die längs des Strömungskanals 62 hintereinander angeordnet sind und gegenphasig angesteuert werden. Der Aufbau der piezoakustischen Resonatorelemente 52 entspricht dem der in

Fig. 5 gezeigten piezoakustischen Resonatorelemente 52. Durch Ansteuerung der Elektroden 512 bzw. 513 wird eine Biegeauslenkung der Membran verursacht. Die beiden piezoakustischen Resonatorelemente 52 mit Aktorfunktion werden gegenphasig angesteuert. In dem Strömungskanal ist eine Rückflussbarriere 69 angeordnet, die mit dem Gehäuseabschnitt 61 der Flusszelle einstückig ausgebildet ist. Sie verhindert den Rückfluss der Flüssigkeit. Durch den bimorphen Aufbau wird eine Membranbiegeauslenkung mit Resonanzfrequenz im kHz-Bereich genutzt. Auf der Oberseite der piezoakustischen Resonatorelemente 52 ist analog zur Darstellung der Fig. 5 ebenfalls ein piezoakustisches Resonatorelement 51 angeordnet, das als Sensor arbeitet. Das stromaufwärtig angeordnete piezoakustische Resonatorelement 51 weist eine Beschichtung 66 auf, die aus einem Polymer besteht und zur Absorption bestimmter Kohlenwasserstoffe geeignet ist. Das stromabwärtige piezoakustische Resonatorelement 51 weist eine Beschichtung 65 auf, die aus einem anderen Polymer besteht, das selektiv bestimmte Biomoleküle adsorbiert. Im Unterschied zu den piezoakustischen Resonatorelementen 52, die als Pumpenelemente im kHz-Bereich arbeiten, arbeiten die piezoakustischen Resonatorelemente 51 im Gigahertz-Bereich.

Auch bei diesem Ausführungsbeispiel ist durch die Anordnung der piezoakustischen Resonatorelemente mit unterschiedlicher Funktion in Stapelbauweise eine erhebliche Miniaturisierung möglich, die es erlaubt, Mikrosystemtechnik-Bauelemente mit

verschiedenen Funktionen in einem Bauelement zu realisieren.

Die Erfindung ist jedoch nicht auf Ausführungsbeispiele beschränkt, bei denen zur Realisierung der Aktorfunktion und der Sensorfunktion in einem Bauelement mehrere piezoakustische Resonatoren vonnöten sind. Die Erfindung umfasst ebenfalls eine Vorrichtung mit einer Einrichtung, die ein piezoakustisches Resonatorelement umfasst, dessen piezoelektrische Schicht derart orientiert ist, dass durch Ansteuerung der Elektroden sowohl eine Volumenschwingung mit Longitudinalmode als auch eine Volumenschwingung mit Schermode anregbar sind. Eine Vorrichtung mit einer derart beschaffenen Einrichtung zur Bewegung einer Flüssigkeit ist in Fig. 7 gezeigt. Der Aufbau der in Fig. 7 gezeigten Vorrichtung 70 entspricht dem Aufbau der Fig. 2, mit dem

Unterschied, dass bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 7 eine piezoelektrische Schicht, bestehend aus ZnO Verwendung findet mit einer kristallographischen Orientierung der c-Achse nahezu in Schichtebene der piezoelektrischen Schicht. Bei diesem Ausführungsbeispiel beträgt die Verkippung 16°. Bei einer derartigen Orientierung lassen sich sowohl longitudinale Moden als auch Schermoden mit vergleichbarer Stärke anregen, wie in Fig. 8 gezeigt. Mit Hilfe longitudinaler Moden lassen sich Flüssigkeiten auf dem Resonator mischen, da hier eine gute Einkoppelung in die Flüssigkeit gegeben ist. Mittels Schermoden lassen sich Sensorfunktionen realisieren. Beispielsweise zeigt Fig. 9 das Beispiel einer gravimetrischen Messung der Anbindung von Avidin, gemessen im Schermode bei 790 MHz.

Dieses Ausführungsbeispiel bietet den Vorteil, dass mit nur einem piezoakustischen Resonatorelement gleichzeitig longitudinale Moden und Schermoden angeregt werden können, wodurch es möglich wird, in nur einem piezoakustischen Resonatorelement Aktor- und Sensorfunktion zu vereinen. Bei dem Ausführungsbeispiel der Fig. 7 wird das piezoakustische Resonatorelement mit einem Signalmixer betrieben, der in der Abbildung nicht gezeigt ist. Dieser Signalmixer überlagert

entsprechende Frequenzen, die zur Anregung der entsprechenden Moden geeignet sind.

In Fig. 7 ist das piezoakustische Resonatorelement 701 auf einer Membran ausgebildet. Es kann jedoch beispielsweise ebenso der in Fig. 1 gezeigte Aufbau auf einem Trägersubstrat mit akustischem Spiegel verwendet werden.

Neben dem in Fig. 7 gezeigten Ausführungsbeispiel, bei dem die piezoelektrische Schicht aus ZnO besteht, können andere piezoelektrische Materialien, wie z. B. AlN, PZT, mit entsprechender geeigneter Verkippung verwendet werden. Bei piezoelektrischen Materialien mit hexagonaler

Kristallstruktur liegt eine bevorzugte Orientierung in vielen Fällen im Bereich < 45°.

Verschiedene Modifikationen der oben beschriebenen Ausführungsbeispiele sind möglich, wobei einzelne Merkmale der verschiedenen Ausgestaltungen miteinander kombiniert oder ausgetauscht werden können. Soweit derartige Modifikationen für den Fachmann ohne weiteres ersichtlich sind, sollen sie durch die Beschreibung der erläuterten Ausführungsbeispiele implizit offenbart werden. Beispielsweise ist es möglich, in einem Array nicht nur Aktor- und Sensorfunktion zu kombinieren, sondern auch die Bauweise des piezoakustischen Resonatorelements derart zu variieren, dass einzelne piezoakustische Resonatorelemente dazu geeignet sind, gleichzeitig longitudinale und Schermoden anzuregen, und zusätzlich piezoakustische Resonatorelemente vorgesehen sind, die die entsprechenden Funktion als getrenntes Bauteil verwirklichen .

Bezug nehmend auf Fig. 10 wird im Folgenden ein Ausführungsbeispiel eines Verfahrens zum Bewegen einer Flüssigkeit unter Verwendung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben.

In Schritt 100 wird eine Flüssigkeit mit einer

erfindungsgemäßen Vorrichtung in Kontakt gebracht, derart, dass eine Volumenschwingung des piezoakustischen Resonatorelements der erfindungsgemäßen Vorrichtung in die Flüssigkeit eingetragen werden kann. In Schritt 101 erfolgt das Bewegen der Flüssigkeit durch Anregung einer Volumenschwingung des piezoakustischen Resonatorelements, die sich zur Bewegung der Flüssigkeit in diese überträgt.