Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Löschung eines Ares in einer

Gaseniiadungskammer, bei dem Leistung einer Gasentladungskammer zugeführt wird, in der sowohl bei einem Stromfluss in einer ersten Richtung als auch bei einem Stromfluss in einer zweiten umgekehrten Richtung jeweils eine Gasentladung erzeugt wird, bei dem bei Erkennen eines Ares die Leistungszufuhr zur

Gasentladungskammer unterbrochen wird.

Außerdem betrifft die Erfindung eine Arcloschanordnüng , die zumindest

abschnittsweise eine Zuleitung zwischen einer Leistungsversorgung und einer Elektrode einer Gasentladungskammer umfasst, wobei in der Gasentladungskammer sowohl bei einem Stromfluss in einer Richtung als auch bei einem Stromfluss in einer zweiten umgekehrten Richtung jeweils eine Gasentladung erzeugbar ist, mit einer Arclöschein richtu ng .

Vakuumplasmageneratoren sind in unterschiedlichen Leistungsklassen und mit unterschiedlichen Ausgangssignalformen bekannt.

In der Vakuum-Glasbeschichtung werden beispielsweise Mittelfrequenz (MF)

Generatoren mit MF-Ausgangssignal mit Leistungen zwischen 30 und 300kW eingesetzt. Das MF-Signal ist zumeist ein Sinus-Signal mit Frequenzen zwischen 10kHz und 200kHz. Die Ausgangsspannungen können dabei mehrere 100V bis übe 1000V betragen. Zum Zünden des Plasmas liegen die Spannungen oft noch viel höher als im Normalbetrieb.

Im Plasma kann es zu kurzzeitigen und auch länger anhaltenden Überschlägen, so genannten Ares, kommen, die unerwünscht sind. Ein Are wird in der Rege! durch ein Zusammenbrechen oder Absinken der Spannung und ein Ansteigen des Stroms, insbesondere am Ausgang des Generators oder an einer anderen Stelle im

Generator erkannt. Wenn ein solcher Are erkannt wird, muss dafür gesorgt werden, dass dieser möglichst rasch erlischt, bzw. sich nicht voll entfaltet.

Aus der EP 1 720 195 A1 ist eine Arclöschanordnung in einer mit einer

Wechseispannung, insbesondere MF-Wechselspannung, betriebenen

Gasentladungseinrichtung, mit einer Arclöscheinriehtung und einer dieser

ansteuernden Arcerkennungseinrichtung bekannt, wobei die Arclöscheinriehtung zumindest einen steuerbaren Widerstand aufweist, der in Serienschaltung in einer von einer Wechseispannungsquelie zu einer Elektrode der Gasentladungseinrichtung führenden elektrischen Leitung angeordnet ist. Als steuerbarer Widerstand ist ein Schalter, insbesondere ein IGBT, vorgesehen. Bei Erkennen eines Ares werden die Schalter so leitend geschaltet, dass in ihnen bewusst elektrische Energie in Wärme umgewandelt wird. Dabei wird die Sperrschicht im IGBT sehr stark erhitzt, sodass nur einige wenige Ares in Folge behandelt werden können, ohne dass es zu einer Zerstörung des IGBTs kommt. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, ein Verfahren zur Löschung eines Ares und eine Arciöscheinrichtung bereitzustellen, die auch bei erhöhten Arcraten eingesetzt werden können.

Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und eine Arclöschanordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 7.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass bei Erkennen eines Ares Restenergie, die in einer Zuleitung zur Gasentladungskammer und/oder in der Gasentladungskammer vorhanden ist, einem Energiespeicher zugeführt wird. Auf diese Art und Weise kann die Restenergie für den Plasmaprozess deutlich reduziert werden. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren kann eine sehr schnelle, effiziente Arclöschung erfolgen. Die Arcenergie kann sehr stark und schnell reduziert werden. Außerdem können durch das erfindungsgemäße Verfahren Bauteile in der

Gasentladungskammer jedoch auch in der Ansteuerung der Elektroden der

Gasentladungskammer geschont werden.

In einer alternativen Ausgestattung des Verfahrens kann bei Erkennen eines Ares die Leistungszufuhr zur Gasentladungskammer durch Öffnen von zumindest einem Schalter unterbrochen werden und die Spannung über dem Schalter auf eine Spannung eines Energiespeichers begrenzt werden. Dabei kann Restenergie, die in einer Zuleitung zur Gasentiadungskammer und/oder in der Gasentladungskammer vorhanden ist, dem Energiespeicher zugeführt werden. Zusätzlich kann auch

Restenergie, die noch in Streuinduktivitäten eines Ausgangstrafos oder einer Induktivität eines Ausgangsschwingkreises vorhanden ist, dem Energiespeicher zugeführt werden, Auf diese Weise wird verhindert, dass diese Energie dem Are zugeführt wird.

Durch nichtlineare Bauelemente kann der Rückfluss von Energie aus dem

Energiespeicher in die Zuleitung zur Gasentladungskammer und/oder in der

Gasentladungskammer vermindert oder unterbunden werden. Dies führt zu einem sehr schnellen Verlöschen eines Ares bei extrem geringer Restenergie in der Gasentladungskammer. Die Arcenergie kann schnell und effizient reduziert werden. Der Grad der Zerstörung in der Gasent!adungskammer kann dadurch reduziert werden. Die Verlustleistung in Schaltern kann reduziert werden, so dass das

Verfahren auch bei hohen Areraten, z. B. > 2kHz, einsetzbar ist.

Der Energiespeicher kann im a refreien Betrieb, also im Normalbetrieb, auf einen vorgegebenen Speicherzustand vorgeladen werden. Durch diese Maßnahme kann die Arclöschung beschleunigt werden.

Weiterhin kann vorgesehen sein, dass der Energiespeicher nach erfolgter

Arclöschung auf einen vorgegebenen Speicherzustand entladen wird. Somit wird sichergestellt, dass der Energiespeicher beim Auftreten des nächsten Ares wieder ausreichend Restenergie aufnehmen kann. Zu Beginn der Arcbehandiung liegt somit immer der gleiche Ausgangszustand vor. Außerdem kann durch diese Maßnahme der Energiespeicher vor Zerstörung geschützt werden.

Es kann vorgesehen sein, dass sowohl Restenergie verursacht durch Stromfiuss in die erste Richtung als auch Restenergie verursacht durch Stromfiuss in die zweite Richtung ausschließlich einem (demselben) Energiespeicher zugeführt wird. Es ist dann nicht notwendig, zwei unterschiedliche Energiespeicher für unterschiedliche Stromrichtungen vorzusehen. Dies führt zu einem einfacheren Aufbau der Schaltung, der Reduzierung teurer Bauteile und ermöglicht eine vereinfachte Vorladung und Entladung des Energiespeichers.

Durch die Zuführung der Restenergie in den Energiespeicher kann eine

Spannungsumkehr in den Zuleitungen, insbesondere den Leitungsinduktivitäten der Zuleitungen, erzeugt werden. Dies hat eine schnellere Arclöschung zur Folge.

Die Umschaitung von Zufuhr der Leistung zur Gasentladung hin zur Unterbrechung dieser Zufuhr und Zuführung der Restenergie in den Energiespeicher kann mittels nur einem Ansteuersignal durchgeführt werden, indem zwei elektronische Schalter zeitgieich mit dem Ansteuersignal angesteuert und insbesondere geöffnet werden. Die Schalter können als IGBT, als MOSFET oder anderer elektronischer Schalter ausgebildet sein.

Die zwei Schalter können baugleich sein. Daraus ergibt sich ein einfacher Aufbau der Schaltung, durch die das Verfahren implementiert wird. Teure Bauteile können reduziert werden. Die Inbetriebnahme und Überwachung werden vereinfacht.

Während der Zuführung der Leistung zur Gasentladungskammer können die zwei elektronischen Schalter geschlossen sein und bei Erkennung eines Ares können diese Schalter geöffnet werden. Dies führt zu einer Reduzierung der Verlustleistung in den Schaltern. Damit ist das Verfahren auch bei hohen Arcraten (> 2kHz) einsetzbar.

Während der Zuführung der Leistung zur Gasentladung kann zumindest ein Schalter geschlossen sein und bei Erkennen eines Ares kann dieser Schalter geöffnet werden. Dadurch wird die Verlustleistung in den Schaltern reduziert.

Die erfindungsgemäße Arclöschanordnung weist eine Arclöscheinrichtung mit einem Energiespeicher zur Aufnahme von in einer Zuleitung zur Gasentladungskammer und/oder in der Gasentiadungskammer vorhandener Energie auf. Dies ermöglicht eine sehr schnelle, effiziente Arciöschung. Die Arcenergie wird reduziert und Bauteile in der Gasentladungskammer werden geschont.

Mit einer solchen Anordnung kann auch Restenergie, die noch in Streuinduktivitäten eines Ausgangstrafos eines Ausgangsschwingkreises vorhanden ist, dem

Energiespeicher zugeführt werden. Auf diese Weise wird verhindert, dass diese Energie dem Are zugeführt wird.

Die Gasentladung in der Gasentladungskammer wird sowohl bei einem Stromfluss in einer ersten Richtung als auch bei einem Stromfluss in einer umgekehrten Richtung erzeugt. Dabei kann ein Are in der Gasentladungskammer entstehen. Durch

Vorsehen eines Energiespeichers kann verhindert werden, dass der Are weiterhin mit Energie versorgt wird. Insbesondere kann auch Arcenergie aus der

Gasentladungskammer abgeleitet und dem Energiespeicher zugeführt werden. Die Arclöscheinrichtung kann nichtlineare Bauelemente aufweisen, die derart angeordnet sind, dass ein Leistungsfiuss aus dem Energiespeicher in die

Zuleitungen und die Gasentladungskammer vermindert oder verhindert wird. Dabei kann insbesondere vorgesehen sein, dass die Arclöscheinrichtung zumindest einen Schalter aufweist, der in Serienschaitung in einer von der

Energieversorgungsvorrichtung zu einer der Elektroden der Gasentladungskammer führenden Zuleitung angeordnet ist und der durch Ansteuerung mittels eines

Ansteuersignais bei Arcerkennung offenbar ist. Dadurch ergibt sich ein einfacher Aufbau der Schaltung. Verluste im Schalter können reduziert werden. Dadurch ist es möglich, auf eine erhöhte Arcfrequenz zu reagieren.

Es kann eine mit der Arclöscheinrichtung in Verbindung stehende

Arcerkennungseinrichtung mit einer mit dem Schalter verbundenen

Ansteuerschaltung vorgesehen sein. Dadurch ist es möglich, die Arcdauer, eine Arereaktionsschwe!te und eine Verzögerungszeit bis zur Reaktion auf einen Are einzustellen. Die Ansteuerschaitung kann auch zum periodischen oder aperiodischen Pulsen, z. B. zur prophylaktischen Arcvorbeugung, eingesetzt werden.

Der Energiespeicher kann einen Kondensator umfassen. Die Restenergie, die z, 8. in Induktivitäten der Zuleitung gespeichert ist, kann am schnellsten in einen anderen Energiespeicher umgeladen werden, wenn der Energiespeicher ein Kondensator ist. Vorzugsweise sind weiterhin Dioden vorgesehen, mit denen sich auf

schaitungstechnisch sehr einfache Weise der Rückfluss der Energie in die Zuleitung unterbinden iässt.

Häufig ist der größte Anteil der Restenergie in den Induktivitäten der Zuleitungen und/oder des Ausgangsschwingkreises gespeichert. Dann ist es besonders vorteilhaft, wenn diese Restenergie in einen Kondensator umgeladen wird. Für Anordnungen, in denen ein Großteil der Restenergie in Kapazitäten, z.B. der

Zuleitungen und/oder der Gasentladungskammer gespeichert ist, kann der

Energiespeicher eine Induktivität sein. Es kann eine Gleichspannungsquelle zur Vorladung des Energiespeichers

vorgesehen sein. Eine Gleichspannung kann einfach zur Verfügung gestellt werden. Sie kann sehr einfach galvanisch getrennt von einem Massepotenzial zur Verfügung gesteilt werden, was in diesem Fai! vorteilhaft ist. Sie kann auf einfache Weise gegebenenfalls auch sehr schnell geregelt werden und den oft unterschiedlichen Gasentiadu.ngsproze.ssen mit unterschiedlichem Arcverhalten angepasst werden. Ein Knotenpunkt einer Zuleitung kann über ein gleichrichtendes Element, insbesondere eine Diode, mit dem Kondensator des Energiespeichers zur Vorladung des

Energiespeichers verbunden sein. Mit einer derart ausgestalteten Schaltung kann der Energiespeicher, insbesondere eine Kapazität, einfach vorgeladen werden.

Außerdem wird keine zusätzliche galvanisch getrennte Spannungsversorgung benötigt. Dadurch ist die Spannung des Kondensators der Spannung des

P!asmaprozesses angepasst.

Dem gleichrichtenden Element kann ein Gieichspannungsregler nachgeschaltet sein.

Die Arciöscheinrichtung kann symmetrisch aufgebaut sein, wobei zwei in Serie angeordnete Dioden und zwei Schalteranordnungen vorgesehen sind, und der Energiespeiche zwischen den Verbindungspunkt der Dioden und den

Verbindungspunkt der Schalteranordnungen geschaltet ist. Dadurch entsteht eine einfache, schnelle Schaltung mit einer minimalen Anzahl aktiver Bauteile. Würden mehr aktive Bauteile benötigt, würde die Geschwindigkeit der Arereakfion verringert werden.

Die Schalteranordnungen können jeweils zumindest einen IGEST aufweisen dem eine antiparallele Diode zwischen Kollektor und Emitter parallel geschaltet ist. Dies ermöglicht die Verwendung standardisierter Bauteile, die breite Verwendung in der Leistungselektronik finden und deswegen zuverlässig und kostengünstig verfügbar sind.

Es können Module vorgesehen sein, die die Schalte und Dioden aufweisen.

Dadurch können Bauteile reduziert werden und eine störungsfreie Verdrahtung sichergestellt werden. Die Zuverlässigkeit der Gesamtschaltung kann dadurch verbessert werden. Weiterhin kann eine Gleiehspannungsqueile mit galvanischer Trennung zu einem Massepotenziai zur Vorladung des Energiespeichers vorgesehen sein. Eine

Gleichspannung kann sehr einfach zur Verfügung gestellt werden. Außerdem kann sie einfach galvanisch getrennt von einem Massepotenzia! zur Verfügung gestellt werden, was im vorJiegenden Fall vorteilhaft ist. Sie kann auf einfache Art und Weise gegebenenfalls auch schnell geregelt werden und den zum Teil unterschiedlichen Gasentladungsprozessen angepasst werden.

Es kann vorgesehen sein, dass die Arclöschanordnung kerne galvanische

Verbindung zu einem Massepotenzia! aufweist. Dadurch wird die Zuverlässigkeit der Arclöschanordnung verbessert, da sie unabhängig von Störungen auf Leitungen gegenüber dem Erdpotenziai oder Störungen auf Erdverbindungen selbst ist.

Die Schalter können im Plasmabetrieb geschlossen sein und im Fall der Arclöschung geöffnet werden. Dadurch werden Verluste im Schalter reduziert und kann auf erhöhte Arcraten reagiert werden.

Zudem kann eine Entladungsvornchiung zum Entladen des Energiespeichers vorgesehen sein, Dadurch kann der Energiespeicher bis zu einem vorgegebenen Speicherzustand entladen werden. Es kann somit sichergestellt werden, dass der Energiespeicher immer denselben Ausgangszustand aufweist, wenn Restenergie aufgenommen werden muss.

Es kann eine Spannungsüberwachung vorgesehen sein, die bei Überschreiten eines vorgegebenen Spannungswerts die Entladungsvorrichtung zum Entladen des Energiespeichers aktiviert. Dadurch kann der Energiespeicher vor Überspannung geschützt werden.

Weiterhin kann eine Spannungsüberwachung vorgesehen sein, die bei

Unterschreiten eines vorgegebenen Spannungswerts die Entladungsvorrichtung zum Entladen des Energiespeichers deaktiviert. Dadurch kann die Spannung am

Energiespeicher einfach geregelt werden. Es sind somit vorgebbare Werte zur

Arclöschung einstellbar. Es kann eine Sfromüberwachung vorgesehen sein, die bei Überschreiten eines vorgegebenen Stromwerts die Entladungsvorrichtung zum Entladen des

Energiespeichers aktiviert. Dadurch kann der Energiespeicher vor Überstrom geschützt werden.

Weiterhin kann eine Stromüberwachung vorgesehen sein, die bei Unterschreiten eines vorgegebenen Stromwerts die Entladungsvorrichtung zum Entladen des Energiespeichers deaktiviert. Dadurch kann der Strom am Energiespeicher einfach geregelt werden. Es sind somit vorgebbare Werte zur Arciöschung einsteilbar.

Die dem Energiespeicher entnommene Energie kann in der Entladungsvorrichtung in Wärme umgewandelt werden. Dadurch kann eine einfache und kostengünstige Energieumwandiung bei niedrigen Arcraten erfolgen. Dem Energiespeicher kann entnommene Energie zumindest teilweise über eine der Entladungsvorrichtung nachgeschaltete Energieumwandlungsvorrichtung der Leistungsversorgung rückführbar sein. Eine solche Ausführungsform ist zwar etwas aufwändiger, dafür aber energie- und platzsparend, zumindest bei Anwendungen mit einer hohen Arcrate, bei denen die Umwandlung der Energie in Wärme häufig sehr viel Platz benötigt, da die Wärmeumwandlung auf eine große Oberfläche verteilt werden muss.

An den Scheitern kann eine Spannungsbegrenzerschaltung vorgesehen sein.

Dadurch kann sichergestellt werden, dass die Schalter so weit wie möglich im

Schaitbetrieb arbeiten und die Energie nicht in den Schaltern in Wärme umgewandelt wird, sondern in den Energiespeicher umgeladen wird. Dennoch müssen die Schalter vor Überspannung geschützt werden.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispieien der Erfindung, anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigen, und aus den Ansprüchen. Die einzelnen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination bei einer Variante der Erfindung verwirklicht sein. Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung schematisch dargestellt und werden nachfolgend mit Bezug zu den Figuren der Zeichnung näher erläutert.

Es zeigt:

Fig. 1 a eine erste Ausführungsform einer

Wechselspannungsgasentfadungsanregungsanordnung, die an eine Gasentladungskammer eingeschlossen ist;

Fig. 1b eine alternative Ausführungsform der

Wechselspannungsgasentladungsanregungsanordnung;

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer Arclöscheinrichtung;

Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel einer Arclöscheinrichtung;

Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel einer Arclöscheinrichtung;

Fig. 5 eine Arclöschanordnung mit Spannungsbegrenzerschaitung.

Fig. 6 eine Arclöschanordnung mit Energieumwandlungsvorrichtung

Fig. 7 ein Zeitveriauf von Strom und Spannung an der Arclöscheinrichtung

In der Fig. 1 a ist eine Wechselspannungsgasentladungsanregungsanordnung 1 dargestellt, die über Zuleitungen 2 an Elektroden 3, 4 einer Gasentladungskammer 5, insbesondere einer Plasmaanlage, angeschlossen ist. Die Elektroden 3, 4 sind in der Gasentfadungskammer 5 angeordnet, in der ein Werkstück 6 bearbeitet wird.

Die Wechselspannungsgasentladungsanregungsanordnung 1 umfasst einen

Wechselspannungsgenerator 7.1 , der einen Netzanschluss 8, der ein- oder mehrphasig sein kann, aufweist. An den Netzanschluss 8 ist ein Netzgleichrichter 9 angeschlossen, der weitere Bauelemente aufweisen kann, wie beispielsweise einen DC/DC - Wandler. An seinem Ausgang liegt eine so genannte

Zwischenkreisgleichspannung. Dem Netzgieichrichter 9 nachgeschaltet ist ein Spannungsumformer 10, der eine Brückenschaitung 11 umfasst Durch den

Spannungsumformer 10 wird ein Ausgangsschwingkreis 12 angesteuert. Das

Ausgangssignal des Spannungsumformers 10 wird durch eine den

Spannungsumformer 10 ansteuernde Spannungsumformersteuerung 13 eingestellt. Der Spannungsumformer 10 und der Ausgangsschwingkreis 12 können als

Leistungsversorgung 27 , insbesondere a!s Wechselspannungs- oder

Wechselstromquelle, betrachtet werden. Der Ausgangsschwingkreis 12 kann wie hier dargestellt ein Parailelresonanzkreis sein oder ais Serienresonanzkreis ausgeführt sein.

Der Ausgangsschwingkreis 12 umfasst einen Kondensator 14 sowie die

Streuinduktivität 15 eines Ausgangtransformators 16. Durch den

Ausgangstransformator 16 kann eine galvanische Trennung durchgeführt werden. Außerdem kann er zur Spannungseinsteilung verwendet werden. Um die

Resonanzfrequenz optimal einstellen zu können, kann der Kondensator 14

einstellbar sein. In die zur Elektrode 3 der Gasentladungskammer 5 führende

Zuleitung 17 ist eine Arclöscheinrichtung 18 in Serie geschaltet. Zwischen den Zuleitungen 17, 19 sowie am Ausgangsanschluss 20 des

Wechselspannüngsgenerators 7.1 liegt im Normalbetrieb eine Mittelfrequenz (MF) - Wechseispannung mit Frequenzen von 5 kHz bis 500 kHz an.

Kommt es in der Gasentladungskammer 5 zu einem Lichtbogen (Are), so wirkt sich das auf Strom und/oder Spannung und/oder Leistung im Wechselstromgenerator 7.1 aus. Eine oder mehrere dieser Größen können beispielsweise durch eine

Messeinrichtung 21 , die zwischen Spannungsumformer 10 und

Ausgangsschwingkreis 12 angeordnet ist, gemessen werden. Die Messeinrichtung 21 könnte jedoch auch an einer anderen Stelle im Wechseispannungsgenerator 7.1 oder sogar gasentiadungskammerseitig angeordnet sein.

Aufgrund der durch die Messeinrichtung 21 gemessenen Größe(n) kann eine

Arcerkennungseinrichtung 22 bestimmen, ob ein Are aufgetreten oder im Entstehen ist. Die Arcerkennungseinrichtung 22 stellt ebenso wie die Arclöscheinrichtung 18 einen Teü einer Arclöschanordnung 23.1 dar. Die Arcerkennungseinrichtung 22 steht außerdem mit der Spannungsumformersteuerung 13 in Verbindung. Sie kann diese so beeinflussen, dass beim Erkennen eines Ares die Brückenschaitung 11 so angesteuert wird, dass keine Energie mehr aus dem Spannungsumformer 10 in Richtung des Ausgangsschwingkreis 12 fließt. Die Arciöscheinrichtung 18 weist einen Energiespeicher auf, dem Restenergie, z. B. aus (Leitungs-) Induktivitäten 17.1 , 19.1 , 17.4, 19.4 oder der Gasentladungskammer 5 beim Auftreten eines Ares zugeführt wird. Die Induktivitäten 17.1 , 9.1 können auch Anteile von

Streuinduktivitäten des Ausgangtransformators 16 darstellen oder enthalten. Die Induktivitäten 17.4 und 19.4 stellen im Wesentlichen die Zuleitungsindutkivitäten dar, die die Zuleitungen 2 vom Wechseispannungsgenerator 7.1 zu den Elektroden 3, 4 einer Gasentiadungskammer 5 aufweisen.

Optional kann die Zuleitung 19 auch mit der Arciöscheinrichtung 18 verbunden sein, was mit der Bezugsziffer 24 angedeutet ist.

Optional kann die Arciöscheinrichtung 18 eine Energieumwandlungsvorrichtung 25 aufweisen, die die im Energiespeicher zugeführte Energie in

G!eichspannungsieistung umwandelt und über eine Verbindung 29 einem

Gleichspannungsversorgungspunkt 28 im Wechseispannungsgenerator 7.1 zuführt. Der Gieichspannungsversorgungspunkt 28 kann beispielsweise die

Zwischenkreisgleichspannung sein.

Die Fig. 1 b entspricht im Wesentlichen der Fig. 1a mit dem Unterschied, dass die Arclöschanordnung 23.2 außerhalb des Wechseispannungsgenerators 7.2

angeordnet ist. Dies bedeutet, dass die Arciöscheinrichtung 18 in einer der

Zuleitungen 2 zur Gasentiadungskammer 5 angeordnet ist. Es kann dabei eine Arcerkennungseinnchtung 22.1 im Wechseispannungsgenerators 7.2 und/oder eine Arcerkennungseinrichtung 22.2 in der Arclöschanordnung 23.2 angeordnet sein.

Die Figur 2 zeigt eine erste Ausführungsform einer symmetrisch aufgebauten

Arciöscheinrichtung 18. Die Arciöscheinrichtung 18 weist Zuleitungsabschnitte 17.2, 17.3 auf. Ein Energiespeicher 30 ist im Ausführungsbeispiel als Kondensator ausgebildet Der Energiespeicher 30 ist über einen als IGBT ausgebildeten Schalter S1 und eine dazu antiparalle! geschaltete Diode D1 mit dem Zuleitungsabschnitt 17.2 verbunden. Weiterhin ist er über den als IGBT ausgebildeten Schalter S2 und die dazu antiparallel geschaltete Diode D2 mit dem Zuleitungsabschnitt 17.3 verbunden. Der andere Anschluss des Energiespeichers 30 ist zum einen über die Diode D3 mit dem Zuleitungsabschnitt 17.2 und über die Diode D4 mit dem Zuleitungsabschnitt 17.3 verbunden. Die Bauelemente S1 , D1 und D3 können in einem vorgefertigten Modul 31 und die Bauelemente S2, D2 und D4 in einem vorgefertigten Modul 32 angeordnet sein. Die Dioden D3, D4 sind in Serie geschaltet. Der Schalter S1 bildet mit der Diode D1 eine Schalteranordnung und der Schalter S2 bildet mit der Diode D2 eine Schalteranordnung. Der Energiespeicher 30 ist zwischen den

Verbindungspunkt VP1 der Dioden D ^' 3, D4 und den Verbindungspunkt VP2 der Schalteranordnungen geschaltet. Die Kathoden der Dioden D3, D4 sind mit dem Verbindungspunkt VP1 verbunden. Die Anode der Diode D3 ist mit dem

Zuleitungsabschnitt 17.2 verbunden. Die Anode der Diode D4 ist mit dem

Zuleitungsabschnitt 17.3 verbunden.

Im Falle einer Aberkennung werden die im Normaibetrieb geschlossenen Schalter S1 , S2 geöffnet. Dadurch fließt ein Strom nicht mehr über die Dioden D1 , D2 und Schalter S1 , S2 sondern über die Dioden D3, D4 zu den Dioden D2, D1. Energie in den Zuleitungen 17, 19 und in der Gasentladungskammer 5 wird in den

Energiespeicher 30 geladen. Aufgrund des Schaltzustands der Schalter S1 , S2, die nichtlineare Bauelemente darsteifen, und der Anordnung der Dioden D1-D4 wird ein ückfluss von Energie aus dem Energiespeicher 30 in die Zuleitungen 17, 19 und insbesondere die Gasentladungskammer 5 verhindert. Dabei werden nur zwei baugleiche Module 31 , 32 benötigt, die je einen Schalter S1 und S2 und je zwei Dioden D1 , D3 und D2, D4 aufweisen. Die Umladung von Energie in den

Energiespeicher 30 funktioniert unabhängig davon, welche Halbweile der

Wechseispannung gerade an der Gasentladungskammer 5 anliegt bzw. unabhängig von der Richtung des Stromflusses in der Gasentladungskammer 5.

Eine Ansteuerschaltung 33 zur Ansteuerung der Schalter S1 , S2 kann mit der Arcerkennungseinrichtung 22 in Verbindung stehen oder ein Teil von ihr sein.

Parallel zum Energiespeicher 30 ist eine galvanisch getrennte Gieichspannungs- oder Gleichstromquelle 34 vorgesehen, um den Energiespeicher 30 vorladen zu können. Weiterhin ist parallel zum Energiespeicher 30 eine einen Schalter 35 und einen Widerstand 36 aufweisende Entladungsvorrichtung 37 vorgesehen, über die der Energiespeicher 30 entladen werden kann. Eine Spannungsüberwachung 50 überwacht den Ladungszustand des Energiespeichers 30 und aktiviert die

Entladungsvorrichtu ng 37, wenn ein vorgegebener Spannungswert überschritten wird bzw. deaktiviert sie, wenn ein Spannungswert unterschritten wird.

Die Figur 3 zeigt eine alternative Ausgestaltung einer Arciöscheinnchtung 18.1. Der Unterschied zur Figur 2 liegt darin, dass die Bauelemente S1 , S2, D1 , D2 und D3, D4 in umgekehrter Orientierung eingebaut sind,

Die Figur 4 zeigt eine Ausgestaltung, bei der eine Arciöscheinnchtung 18.2 in der Zuleitung 19 angeordnet ist und außerdem eine Verbindung zur Zuleitung 17 aufweist. Die Arciöscheinnchtung 18.2 weist Zuleitungsabschnitte 19.2, 19.3 auf. Im Unterschied zur Areiöscheinrichtung 18 weist die Arciöscheinnchtung 18.2 keine Gleichspannungs- oder Gieichstromquelle 34 auf. Dafür ist der Energiespeicher 30 über eine Diode D7 und einen Widerstand R mit der Zuleitung 17 verbunden.

Zusätzlich zum Widerstand R kann ein Spannungs- oder Stromregler oder eine Kombination aus beiden eingesetzt werden. Der Vorteil der Areiöscheinrichtung 18.2 ist, dass keine zusätzliche galvanisch getrennte Spannungsversorgung zur

Aufladung des Energiespeichers benötigt wird. Außerdem ist die Spannung des Energiespeichers 30 der Spannung des Plasmaprozesses angepasst. Wenn dies nicht erwünscht ist, könnte anstatt des Widerstands R zur Strombegrenzung eine Spannungs- und/oder Stromregelschaltung eingesetzt werden. Dabei wird keine galvanische Trennung benötigt. in der Fig. 5 ist eine Ausgestaltung einer Arciöschanordnung 23.3 dargestellt, die sowohl als Arciöschanordnung 23.1 in der Anordnung der Fig. 1 als auch als

Arciöschanordnung 23.2 in der Anordnung der Fig. 2 einsetzbar ist. Die

Arciöschanordnung 23.3 umfasst zwei entgegengesetzt angeschlossene, in Serie geschaltete, als IGBTs ausgebildete Schalter S1 , S2. Zu den Schaltern S1 , S2 ist jeweils eine Diode D1 , D2 parallel geschaltet, wobei die Dioden D1 , D2 mit zum jeweiligen Schalter S1 , S2 entgegengesetzter Durchlassrichtung angeordnet sind. Die Schalter S1 , S2 sind durch die Arcerkennungseinrichtung 22 angesteuert. Es ist in Fig. 5 auch für jeden Schalter S1 , S2 eine Spannungsbegrenzerschaltung 40 und 41 gezeigt, die jeweils zwei Z-Dioden 42, 43, 44, 45 umfassen. Im

Normalbetrieb sind die Schalter S1 , S2 leitend geschaltet. Dies bedeutet, dass ein Stromfiuss in Pfeilrichtung 38 über den Schalter S1 und die Diode D2 erfolgt und ein Stromfiuss in Pfeilrichtung 39 über den Schalter S2 und die Diode D1 erfolgt.

Wird ein Are erkannt, so steuert die Anerkennung 22 die Schalter S1, S2 derart an, dass diese öffnen. Ein Stromfiuss durch die Schalter S1 , S2 ist dadurch weder in Pfeilrichtung 38 noch in Pfeilrichtung 39 möglich. Sobald die

Spannungsbegrenzerschaltung 41 jedoch eine Spannung feststellt, die einem vorgegebenen Wert überschreitet, werden die Schalter S1 , S2 wieder leitend geschaltet. Dies dient dem Schutz der Schalter vor sie selbst zerstörender

Überspannung. In der Regel wird die Spannung an den Schaltern durch die

Spannung über den Kondensator 30 begrenzt und die Z-Dioden 42, 43, 44, 45 sind so ausgewählt, dass die Spannungsbegrenzerschaltungen 40, 41 nicht aktiv werden. Da aber in der Schaltung inhärente Induktivitäten vorhanden sind und sich

Sperrschichten von Dioden im Durchlassbetrieb mit Ladungsträgem aufladen, die im Sperrbetrieb wieder entladen werden, können kurzzeitige sehr hohe

Spannungsspitzen auftreten, die die Schalter zerstören könnten. Aus diesem Grund sind die Spannungsbegrenzerschaltungen 40, 41 vorgesehen. Die Schalter S1 , S2 werden soweit wie möglich im Schaftbetrieb betrieben, so dass möglichst wenig Energie in Wärme umgewandelt wird sondern möglichst viel Energie in den

Energiespeicher 30 umgeladen wird. in Fig. 6 ist die Schaltung von Fig. 4 gezeigt. Hier ist die Entladungsvorrichtung 37 ersetzt durch eine Energieumwandiungsvorriciitung 25, die diverse Bauteile 26a, 26b, 26c aufweist, die wahlweise zu einem Hochsetzsteller, Tiefsetzsteller oder anderem DC/DC Wandier mit oder ohne galvanische Trennung zusammengeschaitet sein können. Die Energieumwandlungsvorrichtung 25 kann anders als die

Entladungsvorrichtung 37 die Energie nicht nur vollständig in Wärme umwandeln, sondern zumindest zu einem Teil der Leistungsversorgung 27 oder einem anderen Energieverbraucher wieder zuführen. Dazu kann sie eine geregelte Gleichspannung oder einen geregelten Gleichstrom erzeugen. Eine Umwandlung in Wechselspannung oder Wechselstrom ist ebenfalls denkbar. Ein Gleichstrom kann über die Verbindung 29 einer Zwischenkreisgleichspannung des

Wechselspannungsgenerators 7.1 zugeführt werden, in Fig. 7 sind Stromverlauf 40 und Spannungsverlauf 41 an der Arciöscheinrichtung 18, 18.1 , 18.2 gezeigt Der Stromverlauf 40 zeigt den zeitlichen Verlauf eines Stroms, wie er in die Arciöscheinrichtung 18, 18.1 , 8.2 hinein oder heraus fließt. Beispielhaft kann der Stromverlauf 40 ein Strom in Richtung des Pfeils 38 oder 39 in Fig. 5 sein. Für die folgende Beschreibung wird ein Stromveriauf 40 in Richtung des Pfeils 38 angenommen. Der Spannungsverlauf 41 entspricht dann dem Spannungsverlauf der Spannung Us über die Schalter S1 , S2 in Fig.5. Zum Zeitpunkt t1 werden die

Schalter S1 , S2 geöffnet und der Stromfluss durch diese Schalter unterbunden. Ein Strom in Richtung des Pfeils 38 wird nun weifer fließen über die Dioden D3, D2 und den Energiespeicher 30. An D3, D2 fällt im Vergleich zur Spannung am

Energiespeicher 30 nur eine verschwindend geringe Spannung ab. Restenergie, die in einer Zuleitung 17, 19 zur Gasentladungskammer 5 und/oder in der

Gasentiadungskammer 5 und /oder in Induktivitäten des Ausgangsschwingkreises 12 vorhanden ist, wird dem Energiespeicher 30 zugeführt, der sich damit weiter auflädt. Die Spannung kann deswegen geringfügig ansteigen. Der Strom fällt, verursacht durch die anliegende Spannung, schnell ab. Zum Zeitpunkt t2 wechselt er seine Richtung und fließt nun durch die Dioden D4, D1. Die Spannung Us am

Schalter S1 , S2 kehrt sich um und bremst den umgekehrt fließenden Strom weiter. Zum Zeitpunkt t3 wechselt der Strom seine Richtung erneut ist nun aber auf ein verschwindend geringes Maß abgesunken. Wenn die Schalter wie im gezeigten Beispiel geöffnet bleiben, fällt an ihnen nun die Wechselspannung verursacht von der Leistungsversorgung 27 ab.