Die Erfindung betrifft ein Kalibrierverfahren für einen Bonder, bei dem eine

Charakteristik für einen Kraftaktuator des Bonders messtechnisch erfasst und so abgespeichert wird, dass auf Basis der messtechnisch erfassten Daten der

Kraftaktuator im Produktionsbetrieb des Bonders optimal angesteuert werden kann. Ferner betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur vollautomatischen oder

teilautomatischen Bondkraftkalibrierung.

In der industriellen Praxis werden Halbleiterbauelemente mit einem Trägersubstrat durch elektrisch leitende Drähte verbunden, die durch Thermo-Kompression,

Thermosonic oder unter Ultraschall mit dem Trägersubstrat verschweißt werden (TC-, TS- oder US-Bonden). Während des Bond- beziehungsweise Schweißvorgangs werden die elektrisch leitenden Drähte mit einem definierten Kraftverlauf auf einen Kontaktpunkt (Bondpad) des Substrats gedrückt. Um dies zu gewährleisten, ist in einem Bondkopf des Bonders neben einer Feder ein zusätzlicher Kraftaktuator vorgesehen zum Halten eines Bondwerkzeugs. Die auf das Bondwerkzeug wirkende Bondkraft entspricht dann der Summe aus der Federkraft und der Kraftwirkung des Kraftaktuators (Aktuatorkraft). Während des Bondens wird der Draht verformt, so dass sich die Position des Bondwerkzeugs während des Bondvorgangs ändert. Unabhängig von der Position des Bondwerkzeugs muss jedoch die Bondkraft weiterhin dem definierten, von der Zeit abhängenden Kraftverlauf folgen. Hierzu ist der Kraftaktuator während des Bondens in geeigneter Weise anzusteuern.

Während allgemein die Federkraft eine Funktion der (Feder-)Auslenkung ist, ist die Aktuatorkraft eine Funktion des eingeprägten Stroms und der Auslenkung. Die

Bondkraft muss mit einer Genauigkeit von zirka 1 cN für Dünndrahtbonder und zirka 5 cN für Dickdrahtbonder (Drahtdurchmesser > 100 mm) aufgebracht werden.

Entscheidend für das Erreichen der Genauigkeit ist hierbei die genaue Kenntnis über die Zusammenhänge zwischen der Bondkraft und der Auslenkung und dem Strom einerseits und die Robustheit und Genauigkeit der zugehörigen Kalibrierroutine für den Kraftaktuator andererseits.

Bei der Verwendung normaler Spiralfedern zum Halten des Bondwerkzeugs besteht ein linearer Zusammenhang zwischen der Auslenkung und der Federkraft. Die

Aktuatorkraft eines Voicecoil-Aktuators ist linear verknüpft mit dem Strom, allerdings nicht ortsunabhängig. Die Nichtlinearität durch die Ortsabhängigkeit wird heute üblicherweise durch die Messungen von Strom, Auslenkung und Bondkraft in drei Kalibrierpunkten und der Berechnung eines geeigneten Polynoms ausgeglichen. Die Bestimmung der Messwerte erfolgt dabei unter Verwendung einer Messeinrichtung zur Bestimmung der Bondkraft, insbesondere einer Waage, in einem bestimmten, dafür vorgesehenen Betriebsmodus (Kalibriermodus beziehungsweise -verfahren) des Bonders unter Einbindung des Maschinenbedieners interaktiv. Für die Messung müssen die zu betrachtenden Kalibrierpunkte stabil eingestellt sein, das heißt die Achsen dürfen sich während des Mess- und Eingabeintervalls nicht bewegen und der Strom des Kraftaktuators muss konstant sein. Der Benutzer ermittelt insofern nach dem Positionieren des Bondkopfs durch Ablesen einer optischen Anzeige der

Kraftmesseinrichtung den Kraftwert für die Bondkraft und gibt diesen über

Eingabemittel ein, eine Steuerung des Bonders übernimmt den Kraftwert und speichert nach Bestätigung der Eingabe zusätzlich den aktuellen Positionswert, welcher einer bestimmten Auslenkung der Feder entspricht, sowie den in den Kraftaktuator eingeprägten Strom. Die Auslenkung und der Strom werden zusammen mit dem Kraftwert abgespeichert. Zwischen dem Ablesen des Messwerts und der Eingabe in die Steuerung durch den Benutzer vergeht eine größere Zeitspanne von bis zu einigen Sekunden, was im Fall einer nicht konstanten Position des Bondwerkzeugs dazu führt, dass die Steuerung nicht das korrekte Wertetriple aus Strom, Auslenkung und Bondkraft speichert. Diese Ungenauigkeit hat heute Einfluss auf die Genauigkeit des Bondverfahrens und die Qualität des Bondergebnisses.

Bislang werden in Dickdrahtbondern im Wesentlichen Aluminiumdrähte verarbeitet, bei denen Anpresskräfte von maximal 200 cN erforderlich sind. In modernen Anlagen werden zunehmend Kupferdrähte für die Kontaktierung verwendet, da diese

hinsichtlich der Stromtragfähigkeit, der Haltbarkeit und der Temperaturfestigkeit viele Vorteile gegenüber Aluminiumdrähten aufweisen. Allerdings sind die erforderlichen Kräfte beim Bonden bei Verwendung von Kupferdrähten gleichen Durchmessers auf bis zu 5.000 cN angestiegen. Die zur Aufbringung dieser Bondkräfte verwendeten Kraftaktuatoren sind regelmäßig nicht mehr linear. Die Kennlinie muss insofern als Funktion des Orts beziehungsweise der Auslenkung aufgenommen werden. Ferner sind die Bondkräfte bei der Auslenkung der in Biegegelenken gelagerten

Bondwerkzeuge nicht mehr linear abhängig von der Auslenkung. Gleichwohl muss auch hier mit derselben Präzision eine Kalibrierung des Kraftaktuators hinsichtlich der Kraftwirkung auf die Schweißstelle durchgeführt werden. Dieses erfordert unter Umständen die Erfassung von deutlich mehr Messwerten in entsprechend mehr Kalibrierpunkten, so dass die Anwendung der bisherigen, manuellen Kalibriermethode aufgrund der Forderung, die Messung statisch durchzuführen, erheblich länger dauert. Bei starker Nichtlinearität können bereits geringe Schwankungen die Messwerte unzulässig stark verändern.

Ein weiteres Problem ergibt sich dadurch, dass insbesondere in modernen Doppelkopf- Bondautomaten der zur Verfügung stehende Platz ein stabiles Positionieren einer externen Kraftmesseinrichtung, insbesondere einer Waage nicht mehr zulässt. Dieses Messgerät wird heute während der Dauer des Kalibriervorgangs temporär in einem Bondbereich des Bonders vorgesehen.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es insofern, ein verbessertes

Kalibrierverfahren für einen Bonder und einen zur Durchführung des Verfahrens ausgebildeten Bonder anzugeben. Zur Lösung der Aufgabe weist die Erfindung die Merkmale des Patentanspruchs 1 auf. Insofern umfasst das erfindungsgemäße Kalibrierverfahren für einen Bonder mit einem Bondkopf, wobei ein als Teil des Bondkopfs vorgesehenes Bondwerkzeug über eine Feder und einen Kraftaktuator gehalten ist, mit einem Stromsensor zum Erfassen eines zur Ansteuerung des Kraftaktuators verwendeten Stroms, mit einem Positionssensor zum Erfassen einer Auslenkung der Feder, mit einer Steuerung und mit einer

Messeinrichtung zur Bestimmung einer Bondkraft die folgenden Verfahrensschritte:

In einem Positionierschritt wird der Bondkopf so in einem Arbeitsbereich des Bonders positioniert, dass das Bondwerkzeug oberhalb einer messtechnisch wirksamen Kontaktfläche eines Betätigungselements der Messeinrichtung vorgesehen ist; in einem Kontaktschritt wird der Bondkopf abgesenkt und das Bondwerkzeug an die Kontaktfläche der Messeinrichtung angesetzt; in einem Messschritt wird auf die messtechnisch wirksame Kontaktfläche der Messeinrichtung eine erste Druckkraft aufgeprägt, dann werden zeitgleich oder zeitversetzt in einem mindestens quasi-statischen Betriebszustand des Bonders die Bondkraft mittels der Messeinrichtung, die Auslenkung der Feder mittels des Positionssensors und der Strom mittels des Stromsensors erfasst und es werden aus der Auslenkung, einer Federkennlinie der Feder und der Bondkraft eine Aktuatorkraft und/oder eine Federkraft bestimmt; in einem Speicherschritt werden die Messwerte für die Auslenkung und den Strom einerseits sowie die Bondkraft und/oder die Federkraft und/oder die Aktuatorkraft andererseits einem der Steuerung zugeordneten Speicher zugeführt und dort gespeichert; der Messschritt und der Speicherschritt werden für wenigstens eine zweite

Druckkraft wiederholt durchgeführt.

Erfindungsgemäß werden hierbei die mittels der Messeinrichtung bestimmten Werte für die Bondkraft, die mittels des Positionssensors bestimmten Werte der Auslenkung der Feder und der mittels des Stromsensors bestimmte Strom für den Kraftaktuator automatisiert erfasst und ohne manuelle Eingaben beziehungsweise Zutun des Maschinenbedieners datentechnisch der Steuerung zugeführt und gespeichert. Das Verfahren zur Kalibrierung des Kraftaktuators verzichtet demzufolge auf die heute üblichen manuellen Arbeitsschritte. Insbesondere muss der Kraftmesswert vom

Maschinenbediener nicht abgelesen und über Eingabemittel der Steuerung manuell zugeführt werden. Das Kalibrierverfahren kann demzufolge schneller durchgeführt werden, wodurch sich hinsichtlich der Messgenauigkeit signifikante Vorteile gegenüber dem manuellen Verfahren ergeben. Insbesondere ist einer unzulässig großen, die Messwerte verfälschenden Positionsänderung während des Messvorgangs durch die Automatisierung des Verfahrens entgegengewirkt. Ferner ist einer Fehleingabe durch den Maschinenbediener wirkungsvoll vorgebeugt.

Im Sinne der Erfindung ist der Arbeitsbereich des Bonders der Bereich, in dem der Bondkopf verfahren beziehungsweise positioniert werden kann. Ein Bondbereich des Bonders ist der Teilbereich des Arbeitsbereichs, in dem während des

Produktionsbetriebs die Halbleiterbauelemente auf das Trägersubstrat gebondet werden können. Es ist insofern so, dass der Arbeitsbereich regelmäßig größer ist als der Bondbereich. Zudem ist die Nomenklatur so gewählt, dass mittels des

Bondwerkzeugs zunächst abstrakt eine Druckkraft auf die Messeinrichtung aufgebracht wird. Auf diese Druckkraft wird nach ihrer zahlenmäßigen Erfassung durch die

Messeinrichtung als Bondkraft Bezug genommen. Ein zumindest quasi-statischer Betriebszustand im Sinne der Erfindung ist dann erreicht, wenn die Betriebsparameter des Bonders in Bezug auf die Druckkraft beziehungsweise Bondkraft, den Strom und die Auslenkung der Feder während der Dauer der Messwerterfassung keinen

Schwankungen oder jedenfalls keinen unzulässig hohen Schwankungen unterliegen, welche zu einer Verfälschung des Messergebnisses führen dahingehend, dass die im Rahmen des Kalibrierverfahrens bestimmten Messwerte nicht zur Ansteuerung des Kraftaktuators während des Produktivbetriebs geeignet sind, da die vorgegebenen Kraftverläufe nicht ausreichend genau eingestellt werden können und die geforderte Bondqualität nicht erreicht wird.

Beispielsweise können der Messschritt und der Speicherschritt nach der Erfindung sequentiell abgearbeitet werden. Es wird dann zunächst der Messschritt durchgeführt und es werden dann nach der Bestimmung aller Messwerte im nachfolgenden

Speicherschritt die Messwerte in den Speicher abgelegt. Optional werden die Messwerte vor der Speicherung in die Steuerung nachverarbeitet. Alternativ kann vorgesehen sein, dass der Messschritt und der Speicherschritt für die gleiche

Druckkraft zeitlich überschneidend durchgeführt werden. Es werden dann

beispielsweise erste Messwerte bestimmt, welche dann in dem Speicher abgelegt werden, während gleichzeitig weitere Messwerte ermittelt werden, die dann

nachfolgend abgespeichert werden. Es ist hierbei insofern nicht vorgesehen, dass zunächst alle Messwerte bestimmt und diese Messwerte anschließend gespeichert werden.

Die messtechnisch bestimmte Bondkraft ist definiert als Summe der Aktuatorkraft und der Federkraft. Es ist hierbei möglich, aus der Bondkraft über die messtechnisch bestimmte Auslenkung und die bekannte Federkennlinie der Feder die Federkraft und schließlich aus der Differenz der Bondkraft und der Federkraft die Aktuatorkraft zu bestimmen.

Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren kann vorgesehen sein, die Bondkraft und die Aktuatorkraft und die Federkraft für die verschiedenen Kalibrierpunkte abzulegen. Ebenso kann vorgesehen sein, dass nur die Bondkraft oder nur die Aktuatorkraft gespeichert wird, da über geeignete Algorithmen aus der Bondkraft oder aus der Aktuatorkraft die jeweils nicht gespeicherten Kraftwerte berechnet werden können. Ebenso kann auch vorgesehen sein, die Bondkraft und die Federkraft oder die Bondkraft und die Aktuatorkraft oder die Aktuatorkraft und die Federkraft zu speichern.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird der Bondkopf in dem Positionierschritt außerhalb des Bondbereichs des Bonders positioniert.

Korrespondierend hierzu wird die Messeinrichtung in dem Arbeitsbereich des Bonders und ebenfalls außerhalb des Bondbereichs des Bonders vorgesehen. Vorteilhaft besteht hierdurch die Möglichkeit, die Messeinrichtung zu einem fest verbauten Teil des Bonders vorzubilden, welche dauerhaft im Bonder verbleibt und nicht temporär während der Durchführung der Kalibrierung des Kraftaktuators in dem Bondbereich des Bonders positioniert und nach der Durchführung des Kalibriervorgangs entfernt werden muss. Die Positionierung des Bondkopfs beziehungsweise der

Messeinrichtung im Arbeitsbereich des Bonders und außerhalb des Bondbereichs des Bonders gestattet es insofern, die Messeinrichtung über eine Datenleitung dauerhaft mit der Steuerung des Bonders zu verbinden, da der Bondbereich für die Aufnahme des Trägersubstrats und die Durchführung des Bondverfahrens während des

Produktionsbetriebs unverändert und uneingeschränkt zur Verfügung steht. Ebenfalls kann eine dauerhafte Energieversorgung der Messeinrichtung seitens des Bonders realisiert werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung werden je aufgeprägtem Strom für den Kraftaktuator wenigstens vier und bevorzugt zehn oder mehr unterschiedliche Auslenkungen angefahren und die Bondkräfte für die unterschiedlichen Auslenkungen mittels der Messeinrichtung bestimmt. Vorteilhaft kann durch die Aufnahme von vier oder mehr unterschiedlichen Auslenkungen für einen gleichen Strom ein in Bezug auf die unterschiedlichen Auslenkungen sehr genaues Kennfeld für den Kraftaktuator ermittelt werden. In der Folge können auch Kraftaktuatoren mit einer in Bezug auf die Auslenkung bei einem konstanten Strom nichtlinearen Charakteristik sehr genau und feinfühlig angesteuert werden, so dass der Kraftverlauf während des Bondvorgangs entsprechend der Vorgaben gestaltet und die Bondqualität erhöht werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung werden je Auslenkung wenigstens vier und bevorzugt zehn oder mehr unterschiedliche Ströme für den Kraftaktuator aufgeprägt und die Bondkräfte für die unterschiedlichen Ströme mittels der Messeinrichtung bestimmt. Vorteilhaft kann durch die Bestimmung von wenigstens vier

unterschiedlichen Strömen je Auslenkung eine Charakteristik des Kraftaktuators in vorteilhafter Weise sehr genau bestimmt werden. In der Folge kann anhand der Charakteristik des Kraftaktuators während des Produktionsbetriebs der Kraftverlauf exakt gestaltet werden. Hierdurch ergibt sich eine signifikante Verbesserung der Bondqualität insbesondere für Kraftaktuatoren mit einer bezogen auf den Strom nichtlinearen Charakteristik.

Nach der Erfindung kann ebenfalls vorgesehen sein, dass die Charakteristik des Kraftaktuators kennfeldartig für unterschiedliche Auslenkungen und unterschiedliche Ströme bestimmt wird. Es ist hierdurch regelmäßig notwendig, eine große Anzahl von Kalibrierpunkten anzusteuern und eine Vielzahl von Messwerten zu erfassen. Die Messpunkte können aufgrund der Automatisierung des Verfahrens und des Verzichts auf die manuelle Eingabe der Kraftwerte durch den Maschinenbediener schnell und zuverlässig, das heißt insbesondere in der geforderten Genauigkeit und frei von Eingabefehlern ermittelt werden. Nach einer Weiterbildung der Erfindung kann bei der Durchführung des Kalibrierverfahrens eine der Federkraft entgegenwirkende Aktuatorkraft aufgeprägt werden, indem das Bondwerkzeug gegen ein Zugwerkzeug mit einem Haken ausgetauscht und der Haken des Zugwerkzeugs in eine an dem Betätigungselement der Messeinrichtung vorgesehene Öse eingehakt wird. Es kann dann eine definierte Auslenkung so eingestellt und der Strom für den Aktuator so aufgeprägt werden, dass die Federkraft der Aktuatorkraft entgegenwirkt. Vorteilhaft kann hierdurch das Kennfeld für einen bidirektional wirkenden Kraftaktuator, das heißt einen zur Aufprägung von Druckkräften und Zugkräften ausgebildeten Kraftaktuator mittels des

erfindungsgemäßen Kalibrierverfahrens bestimmt werden. Während des

Produktionsbetriebs ist es dann möglich, die durch die Auslenkung der Feder wirkende Kraft bei einer vorgegebenen Werkzeugposition zu reduzieren.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung werden für einen gegebenen Strom des Kraftaktuators sowie für eine erste Auslenkung und wenigstens eine zweite

Auslenkung ein erster Kraftzunahmewert und ein zweiter Kraftzunahmewert gebildet als Quotient aus der Aktuatorkraft und dem Strom. Durch die Bestimmung des von der Auslenkung abhängigen Kraftzunahmewerts kann für den Fall, dass bei einer gegebenen Auslenkung die Kraft linear mit dem Strom zunimmt, die Bondkraft während des Betriebsverfahrens in besonders einfacher Weise bestimmt werden. Insbesondere kann die Bondkraft als Produkt der von der Auslenkung abhängigen Federkraft und dem Produkt des ebenfalls von der Auslenkung abhängigen Kraftzunahmewerts und dem Strom ermittelt werden. Die Bestimmung des Kraftzunahmewerts führt insofern bei Kraftaktuatoren, deren Aktuatorkraft bei einer gegebenen Auslenkung linear vom Strom abhängt, zu einer besonders einfachen und schnellen Kalibrierung und zu einer einfachen Ansteuerung im Produktionsbetrieb.

Zur Lösung der Aufgabe weist die Erfindung die Merkmale des Patentanspruchs 9 auf. Es ist insofern vorgesehen, eine Vorrichtung zur vollautomatischen oder

teilautomatischen Bondkraftkalibrierung eines Bonders mit einem Bondkopf, wobei ein als Teil des Bondkopfs vorgesehenes Bondwerkzeug über eine Feder und einen Kraftaktuator gehalten ist, umfassend eine in einem Arbeitsbereich des Bonders und außerhalb eines Bondbereichs des Bonders montierte Kraftmessdose als

Messeinrichtung zum Bestimmen einer Bondkraft, wobei die Kraftmessdose jedenfalls von einem an dem Bondkopf des Bonders vorgesehenen Bondwerkzeug als

Kraftbeaufschlagungskomponente mit einer Druckkraft und bevorzugt mit einer Druckkraft und mit einer Zugkraft beaufschlagbar ist, wobei die Kraftmessdose datentechnisch mit einer Steuerung des Bonders verbunden derart, dass Messwerte der Kraftmessdose an die Steuerung des Bonders übertragen und dort

weiterverarbeitet beziehungsweise gespeichert werden, umfassend ein datentechnisch mit der Steuerung verbundenen Positionssensor zum Erfassen einer Auslenkung der Feder, umfassend ein datentechnisch mit der Steuerung verbundenen Stromsensor zum Erfassen eines Stroms des Kraftaktuators und umfassend einen als Teil der Steuerung ausgebildeten Speicher zum Speichern der Messwerte der Kraftmessdose und/oder des Positionssensors und/oder des Stromsensors und/oder einer aus der gemessenen Bondkraft und der Auslenkung der Feder bestimmten Aktuatorkraft und/oder einer Federkraft.

Vorteilhaft ergibt sich durch die erfindungsgemäße Vorrichtung die Möglichkeit, den Kalibriervorgang des Kraftaktuators vollautomatisch oder teilautomatisch

durchzuführen. Es kann insbesondere ein die Bondkraft, die Auslenkung und den Strom umfassendes Wertetriple zeitgleich oder innerhalb eines sehr kurzen

Zeitintervalls bestimmt werden mit der Folge, dass die Charakteristik des

Kraftaktuators mit sehr hoher Genauigkeit ermittelt und in der Folge der Bondprozess optimiert gestaltet werden kann. Bei der vollautomatischen Kalibrierung des

Kraftaktuators kann insbesondere vorgesehen sein, dass eine Kalibrierroutine gestartet und ohne weitere manuelle Eingriffe eine vollständige Kennfeldermittlung durchgeführt wird, in denen unterschiedliche Auslenkungen für die Feder eingestellt und/oder Ströme für den Kraftaktuator aufgeprägt und jeweils die Bondkraft ermittelt wird. Als Teil der vollautomatischen Kalibrierung kann beispielsweise der Positionierschritt durchgeführt werden, indem eine bekannte und auf die Position der Messeinrichtung im Arbeitsbereich des Bonders abgestimmte Position für den Bondkopf angefahren und der Bondkopf dann in Richtung der Messeinrichtung abgesenkt wird. Bei der teilautomatischen Bondkraftkalibrierung kann vorgesehen sein, dass ein erster Kalibrierpunkt eingestellt und ein Messwerttriple aus Bondkraft, Strom und Auslenkung für den erstem Kalibrierpunkt automatisch ohne manuelles Zutun des

Maschinenbedieners erfasst wird und dass dann eine manuelle Eingabe

beziehungsweise Bestätigung des Bedieners notwendig ist, um nach dem ersten Mess- und Speicherschritt einen zweiten Kalibrierpunkt einzustellen und die

Messwertermittlung zu wiederholen.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist als Kraftmessdose eine Messvorrichtung mit einem unter der Druckkraft verformbaren Biegebalken vorgesehen. Vorteilhaft erlaubt es das Vorsehen des Biegebalkens, die Kraftmessdose in konstruktiv besonders einfacher Weise robust und langlebig zu gestalten und zugleich die Werte für die Bondkraft ausreichend präzise zu ermitteln. Es können beispielsweise zur Bestimmung der Kraft Dehnungsmessstreifen verwendet oder eine Auslenkung des Biegebalkens optisch erfasst werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung weist die Kraftmessdose ein

Betätigungselement mit einer Kontaktfläche auf. Über die Kontaktfläche wird mittels des Bondwerkzeugs die Druckkraft auf die Kraftmessdose aufgeprägt. Zusätzlich kann eine Öse vorgesehen sein, um auf die Kraftmessdose eine Zugkraft aufzuprägen. Zum Aufprägen der Zugkraft kann das Bondwerkzeug gegen ein Zugwerkzeug

ausgetauscht werden, wobei das Zugwerkzeug einen die Öse einsetzbaren Haken aufweist.

Aus den weiteren Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung sind weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung zu entnehmen. Dort erwähnte Merkmale können jeweils einzeln für sich oder auch in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein. Erfindungsgemäß beschriebene Merkmale und Details der Vorrichtung gelten selbstverständlich auch im Zusammenhang mit dem

erfindungsgemäßen Verfahren und umgekehrt. So kann auf die Offenbarung zu den einzelnen Erfindungsaspekten stets wechselseitig Bezug genommen werden.

Die Zeichnungen dienen lediglich beispielhaft der Klarstellung der Erfindung und haben keinen einschränkenden Charakter.

Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Messeinrichtung zur Bestimmung einer

Bondkraft eines Bonders, Fig. 2 einen prinzipiellen inneren Aufbau der Messeinrichtung nach Fig. 1 ,

Fig. 3 eine Anordnung der Messeinrichtung nach Fig. 1 in einem Arbeitsbereich des Bonders,

Fig. 4 eine im Zuge der Kalibrierung mit einem erfindungsgemäßen

Kalibrierverfahren ermitteltes erstes Kennfeld für eine Aktuatorkraft und eine Federkraft und

Fig. 5 ein weiteres, mit dem erfindungsgemäßen Kalibrierverfahren ermitteltes

Kennfeld zur Kalibrierung des Bonders.

Eine zur Bestimmung einer Bondkraft eingesetzte Messeinrichtung 1 nach den Figuren 1 und 2 sieht ein Gehäuse 2 mit einer Ausnehmung 3 und eine Verbindungsleitung 4 vor. Die Verbindungsleitung 4 dient zum einen der Energieversorgung der

Messeinrichtung 1 und zum anderen der datentechnischen Verbindung der

Messeinrichtung 1 mit einer Steuerung eines Bonders. Insbesondere kann die

Energieversorgung der Messeinrichtung 1 unmittelbar durch den Bonder erfolgen.

Die Messeinrichtung 1 sieht als messtechnisch wirksame Komponente einen einseitig eingespannten Biegebalken 5 vor, an dem ein Betätigungselement 6 festgelegt ist. Das Betätigungselement 6 ragt abschnittsweise durch die Ausnehmung 3 aus dem

Gehäuse 2 der Messeinrichtung 1. Das Betätigungselement 6 weist außerhalb des Gehäuses 2 eine im Wesentlichen eben ausgebildete Kontaktfläche 7 auf, an welche ein nicht dargestelltes Bondwerkzeug des Bonders angesetzt wird zum Aufprägen einer Druckkraft. Das Bondwerkzeug ist dabei als Teil eines Bondkopfs des Bonders realisiert und in einer entsprechenden Aufnahme des Bondkopfs gehalten.

An dem Biegebalken 5 der Messeinrichtung 1 ist ein Messwertaufnehmer 8, insbesondere ein Dehnungsmessstreifen festgelegt. Der Messwertaufnehmer 8 ist über einen flexiblen Leiter mit einer Elektronik 9 der Messeinrichtung 1 verbunden. Es kann insofern durch eine Betätigung der Messeinrichtung 1 , das heißt das Auftreten einer Druckkraft auf die Kontaktfläche 7 aus einer Durchbiegung des Biegebalkens 5 eine Druckkraft (Bondkraft) erfasst werden. Optional kann vorgesehen sein, dass an dem Betätigungselement 6 eine Öse vorgesehen ist. Die Öse ist bevorzugt im Bereich der Kontaktfläche 7 oder statt der Kontaktfläche 7 vorgesehen. Durch das Vorsehen der Öse kann bei Verwendung eines Zugwerkzeugs anstelle des Bondwerkzeugs mit einem Haken des Zugwerkzeugs die Öse gegriffen werden. Es ist insofern möglich, zusätzlich zu einer Federkraft mittels eines Kraftaktuator eine Zugkraftkomponente aufzuprägen, welche der Federkraft entgegenwirkt und/oder von der Messeinrichtung 1 erfasst wird.

Figur 3 zeigt die Anordnung der Messeinrichtung 1 in einem Arbeitsbereich 10 des Bonders. Der Arbeitsbereich des Bonders ist dadurch gekennzeichnet, dass in eben diesem der den Kraftaktuator aufweisender Bondkopf des Bonders frei positioniert werden kann. Die Anordnung der Messeinrichtung 1 in dem Arbeitsbereich 10 des Bonders ist dabei so gewählt, dass die Messeinrichtung 1 außerhalb eines

Bondbereichs 11 vorgesehen ist. Der Bondbereich 11 ist dabei der Teilbereich des Arbeitsbereichs 10 des Bonders, in dem im Produktivbetrieb die Halbleiterbauelemente auf das Trägersubstrat gebondet werden.

Die Anordnung der Messeinrichtung 1 außerhalb des Bondbereichs 11 gewährleistet, dass die Messeinrichtung 1 fest angeordnet und dauerhaft verbaut werden kann, ohne die Nutzbarkeit des Bonders im Produktivbetrieb zu beschränken. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass außerhalb des Bondbereichs der Positionierung des Bondkopfs mit einer Genauigkeit erfolgt, welche für das Bonden unzureichend ist, aber gleichwohl gewährleistet, dass das Bondwerkzeug mit ausreichender Genauigkeit oberhalb der Kontaktfläche 7 der Messeinrichtung 1 positioniert ist.

Die Durchführung des erfindungsgemäßen Kalibrierverfahrens für den Bonder wird nachfolgend zunächst unter Bezugnahme auf ein erstes Kennfeld nach Figur 4 diskutiert. Hierbei ist es so, dass der Bondkopf in einem Positionierschritt oberhalb der messtechnisch wirksamen Kontaktfläche 7 der Messeinrichtung 1 positioniert wird. In einem Kontaktschritt wird der Bondkopf abgesenkt und an die Kontaktfläche 7 abgelegt. Anschließend wird in einem Messschritt eine betragsmäßig zunächst nicht erfasste erste Druckkraft auf die Messeinrichtung aufgeprägt, wobei dann zeitgleich oder zeitversetzt in einem quasi-statischen Betriebszustand des Bonders mittels der Messeinrichtung 1 die Bondkraft und mittels eines Positionssensors des Bonders eine Auslegung einer als Teil des Bondkopfs realisierten und zum Halten des Bondwerkzeugs vorgesehenen Feder und mittels eines Stromsensors des Bonders ein Strom erfasst wird, welcher auf den Kraftaktuator des Bonders aufgeprägt wird. Das Bondwerkzeug ist dabei über die Feder und den Kraftaktuator gehalten. Die Bondkraft bestimmt sich insofern als Summe aus der Aktuatorkraft des Kraftaktuators und der Federkraft. In einem Speicherschritt werden die Messwerte für die Auslegung und den Strom einerseits sowie die Bondkraft beziehungsweise die Federkraft beziehungsweise die Aktuatorkraft andererseits einem der Steuerung des Bonders zugeordneten Speicher zugeführt und dort abgespeichert. Schließlich werden der Messschritt und der Speicherschritt für eine Vielzahl von weiteren Kalibrierpunkten durchgeführt. Es können insofern die Auslenkung und/oder der Strom variiert werden.

Für die verschiedenen Kalibrierpunkte werden in dem Kennfeld nach Figur 4 die entsprechenden Bondkraftwerte abgelegt. Es ist insofern so, dass exemplarisch vierzehn Werte für den Strom und vierzehn Werte für die Auslenkung der Feder erfasst und in einer Matrix zusammen mit der Federkraft abgelegt werden. Die Federkraft bestimmt sich hierbei bei bekannter Federkennlinie aus der messtechnisch mit Hilfe des Positionssensors erfassten Auslenkung.

Da nun aufgrund der Bestimmung des Kennfelds während der Kalibrierung die

Charakteristik des Kraftaktuators bekannt ist, können nun im Produktivbetrieb die zur Erzielung eines geforderten, definierten Kraftverlaufs beim Bonden erforderlichen Betriebsparameters für den Bonder aus den Kalibrierdaten berechnet und aufgeprägt beziehungsweise eingestellt werden. Wenn die Kraftwirkung des Kraftaktuators betragsmäßig unabhängig von der Stromrichtung ist, können die Kräfte des gesamten Prozessbereichs unmittelbar aus den für positive Ströme bestimmten Kalibrierdaten berechnet werden. Ein positiver Strom entspricht hierbei einer Aktuatordruckkraft und ein negativer Strom einer Aktuatorzugkraft.

Nach einer alternativen Ausführungsform des Kalibrierverfahrens können für positive Ströme und negative Ströme getrennte Bondkräfte ermittelt werden. Dies ist insbesondere dann erforderlich, wenn der Kraftaktuator für positive Ströme einer gegebenen Stromstärke und negative Ströme der gleichen Stromstärke nicht die gleiche entgegengesetzte Kraft bereitstellt. In diesem Fall muss üblicherweise das Bondwerkzeug gegen ein Zugwerkzeug ersetzt werden. An dem Zugwerkzeug ist dann der Haken vorgesehen, welcher in einer an dem Betätigungselement der Messeinrichtung 1 vorgesehene Öse eingesetzt wird zum Aufprägen von durch den Kraftaktuator bereitgestellten Zugkraftkomponenten.

Nach einer weiteren alternativen Ausführungsform des Kalibrierverfahrens werden für den Fall, dass die in Bezug auf den Strom, die Auslenkung oder die Bondkraft bestimmten Messwerte abhängig sind von den vorhergehenden Prozesszuständen (Hysterese), zusätzlich zu den aktuellen Messwerten die Vorgängerwerte mit gespeichert. Es ist so in Abhängigkeit von der Vorgeschichte die Bestimmung der Bondkräfte möglich mit der Folge, dass während des Produktivbetriebs unter

Berücksichtigung der Vorgeschichte die definierten Kraftverläufe eingestellt werden können.

Nach einer weiteren alternativen Ausführungsform des Kalibrierverfahrens werden für den Fall, dass zur Erzielung der geforderten Genauigkeit ein Einfluss der Temperatur auf die Messwerte berücksichtigt werden muss, die Kennfelder um die Dimension der Temperatur erweitert. Die Temperatur wird dann für verschiedene und bevorzugt für alle Messwerte beziehungsweise Wertetriple aus Strom, Auslenkung und Bondkraft mit abgespeichert. Die Temperatur kann beispielsweise direkt über zusätzlich angebrachte Sensoren bestimmt oder indirekt aus einem thermodynamischen Modell ermittelt beziehungsweise geschätzt werden.

Alternativ kann eine vereinfachte Ausführungsform des Kalibrierverfahrens

Verwendung finden, wenn bei einer gegebenen Auslenkung die Aktuatorkraft linear mit dem Strom zunimmt. Zunächst wird hierbei, wie in Figur 5 beschrieben, für

ausgewählte Kalibrierpunkte die durch Einprägung des Stroms gezeigte Aktuatorkraft als Funktion des Stroms erfasst. Eine Veränderung des Bondkopfs in einzelnen Kalibrierpunkten ergibt sich dann als Steigung einer geraden Gleichung, wobei ein von der Auslenkung abhängiger Kraftzunahmewert m bestimmt ist als Quotient aus der Aktuatorkraft und dem Strom. Die Bondkraft während des Betriebs kann dann ermittelt werden als Summe der Aktuatorkraft und der Federkraft aus der Gleichung

Feond (z) = m(z) ^■ i + F _Feder (z), wobei z als Bezugnahme auf die Auslenkung und i als der aufgeprägte Strom zu verstehen ist.