Titel

Barometrische Flüssigkeitsschleusen

Stand der Technik

Die vorliegende Erfindung geht aus von einer Schleusenvorrichtung für Materialbän- der in Vakuumkammern zur Behandlung der Materialbänder im Vakuum. Das Ein- und Ausschleusen von Materialbändern, zumeist in Form von Spulen aufgewickelt, ist arbeits-, zeit- und energieintensiv. Für den Schleusenvorgang muss das Vakuum an der Vakuumkammer gebrochen und anschließend die Vakuumkammer erneut evakuiert werden. Zudem ist es insbesondere bei der Verarbeitung von Metallbän- dern wünschenswert, diese kontinuierlich zu behandeln und so Verschnitt am Anfang und am Ende zu verhindern und die Verarbeitungsprozesse langzeitstabil betreiben zu können.

Stand der Technik sind hierzu unterschiedliche Schleusenkonzepte, welche aber alle auf Kombinationen aus Rollen, Dichtelementen und kalkuliert akzeptierten Leckagen und Strömungswiderständen beruhen. EP 2 13 23 54 offenbart ein konventionelles Schleusenkonzept. Gemein sind ihnen somit Undichtigkeiten, welche permanent durch eine Vielzahl von energie- und wartungsintensiven Vakuumpumpen kompen- siert werden müssen. Sowohl bei Bandbreiten- als auch bei Dickenänderungen des durchgesetzten Materials müssen die Schleusen aufwendig angepasst oder Undich- tigkeiten durch zusätzliche weitere Pumpleistung kompensiert werden. Zudem be- deutet der vielfache, teilweise mit Druck beaufschlagte Rollenkontakt in einer Schleuse Probleme für die Produktqualität.

Offenbarung der Erfindung

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zum kontinu- ierlichen Schleusen von Materialbändern in Vakuumkammern bereitzustellen, welche nach der Evakuierung der Vakuumkammer nur noch wenig oder gar kein weiteres Vakuumpumpen nötig werden lässt, welche unabhängig von Banddicken und/oder Bandbreiten der Materialbandes arbeitet und welche nur wenige einseitige Rollen- kontakte des Materialbandes benötigt. Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrich- tung zum kontinuierlichen Einschleusen und/oder Ausschleusen von Materialbändern in Vakuumanlagen, wobei die Vorrichtung eine Schleusenstufe aufweist, wobei die Schleusenstufe einen Siphon aufweist, wobei der Siphon in der durch die Vertikale und die Horizontale aufgespannten Ebene eine Kehre aufweist, wobei die Kehre so platziert ist, dass das Materialband vor dem Durchlaufen der Kehre eine Bewe- gungskomponente nach unten besitzt und dass das Materialband nach dem Durch- laufen der Kehre eine Bewegungskomponente nach oben besitzt, wobei die Kehre mit einer Flüssigkeit gefüllt ist, wobei der Siphon einen Verbindungsbereich aufweist, wobei der Siphon einen ersten Bereich der Vorrichtung mit einem zweiten Bereich der Vorrichtung verbindet. Der Siphon weist eine, vorzugsweise U-förmige, Kehre und einen Verbindungsbereich auf. Der Verbindungsbereich schließt sich der Kehre auf einer Seite der Kehre an und ist vorzugsweise senkrecht nach oben ausgerichtet. Die Kehre ist mit einer Flüssigkeit, vorzugsweise Wasser, gefüllt. Denkbar wäre hier auch eine andere Flüssigkeit wie eine Säure, vorzugsweise Salzsäure, oder ein Öl. Der Siphon verbindet einen ersten Bereich mit einem zweiten Bereich. Dadurch, dass die Kehre mit der Flüssigkeit gefüllt ist, ist der erste Bereich vom zweiten Be- reich durch den Siphon gasdicht abgetrennt. Ein Materialband kann durch den Si- phon vom ersten Bereich in den zweiten Bereich geführt werden.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteran- sprüchen, sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen ent- nehmbar.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgese- hen, dass der Siphon die einzige durchlässige Verbindung zwischen dem ersten Be- reich und dem zweiten Bereich ist. Damit wird in vorteilhafter Weise sichergestellt, dass kein Gasaustausch zwischen dem ersten Bereich und dem zweiten Bereich stattfinden kann und so die Pumpleistung nach der Evakuierung des zweiten Berei- ches mindestens deutlich reduziert werden kann. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der zweite Bereich eine Vakuumpumpe aufweist. Damit kann im zweiten Bereich der Druck abgesenkt werden. Denkbar sind hier Druckabsenkungen auf den Bereich des Grobvakuums, also etwa 300 mbar bis 1 mbar. Wird im zweiten Bereich der Druck abgesenkt, so drückt der Luftdruck im ersten Bereich auf die Oberfläche der Flüssigkeit im Siphon, so dass diese auf der Seite des ersten Berei- ches absinkt und auf der Seite des zweiten Bereiches im Verbindungsbereich an- steigt. Im Verbindungsbereich entsteht eine Flüssigkeitssäule, welche so hoch aus- gebildet ist, dass ihr hydrostatischer Druck den Druck auf die Oberfläche der Flüssig keit auf der Seite des ersten Bereiches ausgleicht. Ist ein Betriebsvakuum im zweiten Bereich erreicht, bleibt dieser Zustand bestehen. Die Vakuumpumpe kann ausge- schaltet werden und durch den Siphon kann dem zweiten Bereich kontinuierlich ein Materialband aus dem ersten Bereich zugeführt werden. Die Steighöhe der Flüssig keitssäule hängt von der Dichte der verwendeten Flüssigkeit und von der Druckdiffe- renz zwischen erstem und zweitem Bereich ab. Bei einem Druckunterschied von 1 bar und der Verwendung von Wasser als Flüssigkeit wäre die Steighöhe der Flüssig- keitssäule circa 10 m, bei einem Druckunterschied von 1 bar und der Verwendung von Quecksilber als Flüssigkeit wäre die Steighöhe der Flüssigkeitssäule 733 mm. Der mit der Vorrichtung erreichbare Enddruck im zweiten Bereich entspricht dem Partialdampfdruck der eingesetzten Flüssigkeit. Wird dieser erreicht, beginnt die Flüssigkeit im zweiten Bereich zu kochen und bei einer weiteren Evakuierung würde nur noch der Dampf der kochenden Flüssigkeit abgepumpt. Setzt man als Flüssigkeit Wasser bei Raumtemperatur ein, so liegt der Partialdampfdruck bei 33 mbar.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der Siphon eine Umlenkeinrichtung zum Umlenken des Material- bandes in der Kehre aufweist. Damit kann das Materialband im Umkehrpunkt der Kehre des Siphons in seiner Laufrichtung umgelenkt werden. Denkbar ist hier die Verwendung einer Umlenkrolle. Denkbar ist, dass die Umlenkrolle angetrieben ist und so Abrieb des Materialbandes verhindert. Weiterhin ist denkbar, dass die Um- lenkrolle mit einem Profil versehen ist, durch das Flüssigkeit zwischen Materialband und Rolle vorteilhaft abgeführt werden kann. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass die Umlenkrolle nur teilweise in die Flüssigkeit eingetaucht ist und so den inneren Teil der Kehre bildet. Damit wäre es in vorteilhaf- ter Weise möglich, die Umlenkrolle außerhalb der Flüssigkeit aufzuhängen. Der obe- re Teil der Umlenkrolle würde so eine Zwischenwand zwischen erstem Bereich und dem Verbindungsbereich oder dem zweiten Bereich bilden. Denkbar ist eine Abdich- tung eines entstehenden Durchgangs zwischen dem ersten Bereich und dem Ver- bindungsbereich oder dem zweiten Bereich am oberen Teil der Umlenkrolle und seit lich vakuumseitig der Aufhängung durch eine oder mehrere Schaberleisten. Leichte Undichtigkeiten dieser bevorzugten Ausführungsform könnten durch Vakuumpumpen im zweiten Bereich kompensiert werden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Umlenkeinrichtung eine halbkreisförmige Fläche ist, wobei die halbkreisförmige Fläche Bohrungen aufweist. Denkbar ist, dass innerhalb der halb- kreisförmigen Fläche eine Pumpe zum Pumpen der Flüssigkeit verbaut ist. Diese Pumpe ist mit den Bohrungen in der halbkreisförmigen Fläche so verbunden, dass sie die Flüssigkeit durch die Bohrungen mit leichtem Überdruck in die Kehre gegen das Materialband drückt und so ein Flüssigkeitspolster zwischen der halbkreisförmi- gen Fläche und dem Materialband entsteht. Damit ist es möglich, das Materialband ohne Kontakt mit einer festen Oberfläche in seiner Richtung umzukehren. So können Beschädigungen oder Abrieb am Materialband vermieden werden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass in Durchlaufrichtung des Materialbandes nach dem Siphon Ab- quetschrollen/Abquetschwalzen angebracht sind. Am Materialband haftende Flüssig- keit aus dem flüssigkeitsgefüllten Bereich des Siphons könnte Einfluss auf den Ver- arbeitungsprozess haben, welcher am Materialband ausgeführt wird. Abquetschwal- zen dienen hier dem Entfernen von makroskopischen Flüssigkeitsrückständen auf dem Materialband.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der Siphon einen mit der Flüssigkeit gefüllten Ausgleichsbehälter aufweist. Herrscht im zweiten Bereich ein Druck, welcher niedriger ist als der Druck im ersten Bereich, so bildet sich eine Flüssigkeitssäule im Verbindungsbereich aus. Durch das Ansteigen des Flüssigkeitspegels auf der Seite des zweiten Bereiches wird der Seite des ersten Bereiches Flüssigkeit entzogen, was zu einem Absinken des Flüssigkeitspegels auf dieser Seite führt. Um zu verhindern, dass der Flüssig- keitspegel bei Druckschwankungen zu stark schwankt oder gar unter das untere Ni- veau der Kehre fällt und damit Luft in den zweiten Bereich eingesogen wird, ist am Siphon auf der Seite des ersten Bereiches ein Ausgleichsbehälter angebracht, wel- cher ein Flüssigkeitsreservoir ist. Wird der zweite Bereich belüftet, kann dieser Aus- gleichsbehälter ebenfalls das Volumen der Flüssigkeitssäule des Verbindungsbe- reichs aufnehmen. So werden Schwankungen des Flüssigkeitspegels auf der Seite des ersten Bereiches vorteilhaft minimiert.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der Siphon eine Vorrichtung zum Regeln der Temperatur der Flüs- sigkeit aufweist. Das mögliche Endvakuum im zweiten Bereich ist abhängig vom Par- tialdampfdruck der Flüssigkeit, welcher wiederum abhängig ist von der Temperatur der Flüssigkeit. Weist beispielsweise Wasser bei Raumtemperatur einen Partial dampfdruck von 33 mbar auf, so liegt dieser bei 0°C noch bei 10 mbar. Mit einer Kühlung der Flüssigkeit lässt sich so in vorteilhafter Weise das mögliche Endvakuum im zweiten Bereich verbessern. Denkbar wäre aber auch ein Heizen der Flüssigkeit, um beispielsweise chemische Prozesse zwischen dem Materialband und der Flüs- sigkeit beim Durchlaufen zu steuern.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der zweite Bereich ein Element zum Heizen des Materialbandes aufweist. Dies ermöglicht es in vorteilhafter weise, mikroskopische Anhaftungen der Flüssigkeit am Materialband zu verdampfen und so vor der Verarbeitung des Materi- albandes zu entfernen.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der zweite Bereich ein Element zum Heizen von Wänden des zweiten Bereiches aufweist. Vom Materialband in den zweiten Bereich eingetragene Flüssigkeit könnte an den Wänden des zweiten Bereiches kondensieren. Passiert dies, lässt sich kaum vermeiden, dass die Flüssigkeit wieder auf das Materialband tropft und damit Probleme bei der Verarbeitung des Materialbandes entstehen. Ein Aufheizen der Wände des zweiten Bereiches über den Taupunkt der eingesetzten Flüssigkeit bei gegebenem Partialdruck im zweiten Bereich verhindert in vorteilhafter Weise das Kondensieren der Flüssigkeit an den Wänden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der zweite Bereich einen Kondensator aufweist. Dieser Kondensa- tor könnte als Bauteil ausgelegt werden, dessen Temperatur so geregelt wird, dass sie stets die niedrigste Temperatur im zweiten Bereich ist. Wird in den zweiten Be- reich Flüssigkeit eingetragen und verdampft, so lässt sich die Stelle an der der Flüs- sigkeitsdampf kondensiert, vorteilhaft mit der Platzierung des Kondensators beherr- schen. Denkbar wäre, eine Stelle für den Kondensator im Inneren des zweiten Berei- ches zu wählen, an welcher herabtropfende Flüssigkeit keinen Schaden anrichtet, sondern gesammelt und abgeführt werden kann. Alternativ wird dieser in Form einer Abpumpvorrichtung analog einer Evakuierungseinrichtung ausgeführt, in der das Gas dem Kondensator über ein Rohrleitungssystem zugeführt wird.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Vorrichtung eine Flintereinanderreihung einer Mehrzahl von Schleusenstufen aufweist. Dies ermöglicht es in vorteilhafter Weise, ein, in einem vorherigen Verarbeitungsschritt, erwärmtes Materialband einzuschleusen. Dabei kann die Flüssigkeit einer ersten Schleusenstufe einen großen Teil der Wärme des Materialbandes aufnehmen und sich auf beispielsweise 60°C erwärmen. Denkbar wäre hier die Ableitung der Wärme mittels eines Kühlturms. Der evakuierte Bereich der ersten Schleusenstufe weist hierbei wiederrum einen Restgasdruck unterhalb des Partialdampfdrucks der Flüssigkeit der ersten Schleusenstufe auf und muss da- her nur permanent abgepumpt werden, wenn Gase durch das Materialband einge- schleppt oder in einer Reaktion mit der Flüssigkeit entstehen. Die Flüssigkeit einer zweiten Schleusenstufe muss somit nur noch deutlich weniger Wärme aufnehmen. Denkbar wäre hier auch das Abkühlen eines Materialbandes auf unter Raumtempe- ratur.

Weiterhin denkbar wäre die Nutzung einer ersten Schleusenstufe zur Reinigung des Materialbandes. So könnte die Flüssigkeit einer ersten Schleusenstufe beispielweise eine Säure zur Dekapierung des Materialbandes, vorzugsweise Salzsäure, sein, die Flüssigkeit einer zweiten Schleusenstufe könnte warmes Wasser zum Spülen des Materialbandes sein und die Flüssigkeit einer dritten Schleusenstufe könnte kaltes Wasser zur Druckabsenkung sein. Denkbar ist auch, zwischen den Schleusenstufen Abquetschwalzen zum Einsatz zu bringen.

Denkbar ist auch, zum Ausschleusen eines in der Vakuumkammer erhitzten Materi- albandes eine erste Schleusenstufe einzusetzen, in der die Flüssigkeit kaltes Wasser ist und eine zweite Schleusenstufe einzusetzen, in der die Flüssigkeit warmes Was- ser ist. Durch den Leidenfrost-Effekt nimmt die Flüssigkeit der ersten Schleusenstufe kaum Wärme auf. Die Wärmeabgabe durch die Benetzung der Oberfläche des Bandmaterials, welche zur massiven Dampfbildung führt, erfolgt erst in der zweiten Schleusenstufe. Denkbar ist, dass die zweite Schleusenstufe mit starken Vakuum- pumpen zum Aufrechterhalten des Vakuums und/oder mit einem Kondensator ver- sehen ist.

Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung zur Lösung der eingangs ge- stellten Aufgabe ist ein Verfahren zum kontinuierlichen Einschleusen und/oder Aus- schleusen von Materialbändern in Vakuumanlagen mit einer Vorrichtung gemäß ei- nem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Materialband durch eine Schleu- senstufe geführt wird, wobei das Materialband durch einen mit einer Flüssigkeit ge- füllten Siphon geführt wird, wobei das Materialband vor dem Durchlaufen des Si- phons nach unten geführt wird und nach dem Durchlaufen des Siphons nach oben geführt wird, wobei das Materialband durch den Siphon von einem ersten Bereich in einen zweiten Bereich geführt wird. Das Verfahren ermöglicht es, kontinuierlich Mate- rialbänder in Vakuumkammern ein- und auszuschleusen, wobei nach der Evakuie- rung der Vakuumkammer nur noch wenig oder gar kein weiteres Vakuumpumpen nötig ist. Ferner ist das Verfahren unabhängig von Banddicken und/oder Bandbreiten des Materialbandes und ermöglicht es, mit nur wenigen einseitigen Rollenkontakten des Materialbandes auszukommen. Zum Schleusen von einem ersten Bereich in ei- nen zweiten Bereich wird das Materialband vom ersten Bereich durch einen flüssig keitsgefüllten Siphon, dessen Kehre vorzugsweise U-förmig gestaltet ist, in einen zweiten Bereich geführt. Dadurch, dass das Materialband durch eine flüssigkeitsge füllte Verbindung geführt wird, wird verhindert, dass Gas zwischen dem ersten Be- reich und dem zweiten Bereich ausgetauscht wird. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass der zweite Bereich evakuiert wird. Durch das Evakuieren des zwei- ten Bereiches wird eine Behandlung des Materialbandes im zweiten Bereich unter Vakuum ermöglicht. Der gasdichte Abschluss im Siphon ermöglicht es, den zweiten Bereich auf ein Betriebsvakuum, vorzugsweise im Bereich des Grobvakuums zu pumpen und die Vakuumpumpen dann abzustellen, ohne dass das Vakuum im zwei- ten Bereich einbricht.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass das Materialband im Siphon von einer Umlenkreinrichtung umge- lenkt wird. Hierbei wird die Laufrichtung des Materialbandes entlang der Form des Siphons geführt. Der Siphon hat vorzugsweise am tiefsten Punkt eine U-förmige Kehre, durch die das Materialband geführt werden muss, das heißt, es wird von einer Abwärtsbewegung in eine Aufwärtsbewegung umgelenkt.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass das Materialband an einer halbkreisförmigen Umlenkeinrichtung mit Bohrungen, wobei aus den Bohrungen die Flüssigkeit mit leichtem Überdruck gepresst wird, umgelenkt wird. Denkbar ist, dass von einer Pumpe im Inneren der Umlenkreinrichtung Flüssigkeit durch die Bohrungen nach Außen in die Kehre ge- presst wird. Wird das Materialband entlang der Umlenkeinrichtung geführt, so bildet sich ein Flüssigkeitspolster zwischen Umlenkeinrichtung und Materialband. Dies er- möglicht in vorteilhafter weise das Materialband ohne Kontakt mit einer festen Ober- fläche umzulenken.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass das Materialband im zweiten Bereich außerhalb der Flüssigkeit von Abquetschrollen getrocknet wird. Das ermöglicht es, das Materialband von mak- roskopischen Flüssigkeitsanhaftungen zu befreien, welche sich beim Durchgang des Materialbandes durch den flüssigkeitsgefüllten Teil des Siphons am Materialband anlagern können. Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Temperatur der Flüssigkeit geregelt wird. Dies ermöglicht es, dass der Partialdampfdruck der Flüssigkeit herabgesetzt wird. Die Qualität des Va- kuums im zweiten Bereich ist abhängig vom Partialdampfdruck der Flüssigkeit. Wird diese gekühlt, so fällt der Partialdampfdruck und damit wird es ermöglicht, ein besse- res Vakuum im zweiten Bereich einzustellen. Ferner ist es denkbar, dass die Flüs sigkeit geheizt wird, um mögliche chemische Prozesse zwischen Flüssigkeit und Ma- terialband zu steuern. So ist es denkbar, dass als Flüssigkeit eine warme Säure zum gleichzeitigen Reinigen des Materialbandes während des Einschleusens eingesetzt wird.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass das Materialband im zweiten Bereich geheizt wird. Auf diese Wei- se können auf vorteilhafte Weise mikroskopische Flüssigkeitsanhaftungen vom Mate- rialband verdampft werden. Denkbar wäre beispielsweise, dass das Materialband über beheizte Rollen geführt wird oder dass das Materialband von einer Infrarotlam- pe oder einem Laser beleuchtet wird. Ist das Materialband leitend, bietet es sich an, vorzugsweise eine angepasste induktive Heizung einzusetzen. Um Überschläge auf- grund des Vakuums zu verhindern, arbeitet diese vorzugsweise bei kleiner Span- nung < 200 V.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass die Temperatur von Wänden des zweiten Bereiches geregelt wird. Damit ist es möglich, das Kondensieren von Flüssigkeitsdämpfen an den Wänden des zweiten Bereiches und damit das unkontrollierte Herabtropfen der kondensierten Flüssigkeit zu unterbinden. Damit kann eine Beeinträchtigung der Verarbeitung des Materialbandes durch ein Herabtropfen der an den Wänden des zweiten Bereiches kondensierten Flüssigkeit auf das Materialband vermieden werden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist vorgesehen, dass das Materialband durch eine Hintereinanderreihung von einer Mehrzahl von Schleusenstufen geführt wird. Dies ermöglicht es in vorteilhafter Wei- se, ein, in einem vorherigen Verarbeitungsschritt, erwärmtes Materialband einzu- schleusen. Dabei kann die Flüssigkeit einer ersten Schleusenstufe einen großen Teil der Wärme des Materialbandes aufnehmen und sich auf beispielsweise 60°C erwär- men. Denkbar wäre hier die Ableitung der Wärme mittels eines Kühlturms. Der eva- kuierte Bereich der ersten Schleusenstufe weist hierbei wiederrum einen Restgas- druck unterhalb des Partialdampfdruckes der Flüssigkeit der ersten Schleusenstufe auf und muss daher nur permanent abgepumpt werden, wenn Gase durch das Mate- rialband eingeschleust oder in einer Reaktion mit der Flüssigkeit entstehen. Die Flüs sigkeit einer zweiten Schleusenstufe muss somit nur noch deutlich weniger Wärme aufnehmen. Denkbar wäre hier auch das Abkühlen eines Materialbandes auf unter Raumtemperatur.

Weiterhin denkbar wäre die Nutzung einer ersten Schleusenstufe zur Reinigung des Materialbandes. So könnte als Flüssigkeit einer ersten Schleusenstufe beispielweise eine Säure zur Dekapierung des Materialbandes, vorzugsweise Salzsäure, verwen- det werden, als Flüssigkeit einer zweiten Schleusenstufe könnte warmes Wasser zum Spülen des Materialbandes verwendet werden und als Flüssigkeit einer dritten Schleusenstufe könnte kaltes Wasser zur Druckabsenkung verwendet werden.

Denkbar ist auch, zwischen den Schleusenstufen Abquetschwalzen zum Einsatz zu bringen.

Weiterhin ist denkbar, zum Ausschleusen eines in der Vakuumkammer erhitzten Ma- terialbandes eine erste Schleusenstufe einzusetzen, in der als Flüssigkeit kaltes Wasser verwendet wird und eine zweite Schleusenstufe einzusetzen, in der als Flüs- sigkeit warmes Wasser verwendet wird. Durch den Leidenfrost-Effekt nimmt die Flüssigkeit der ersten Schleusenstufe kaum Wärme auf. Die Wärmeabgabe durch die Benetzung der Oberfläche des Materialbandes, welche zur massiven Dampfbil- dung führt, erfolgt erst in der zweiten Schleusenstufe. Denkbar ist, dass die zweite Schleusenstufe mit starken Vakuumpumpen zum Aufrechterhalten des Vakuums und/oder mit einem Kondensator versehen ist.

Ferner ist denkbar, nach dem Ausschleusen aus dem Vakuum in einer weiteren Schleusenstufe das Materialband zu spülen. Denkbar ist auch, das Materialband in einer weiteren Schleusenstufe zu passivieren, beispielsweise zu Phosphatieren. Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Zeichnung, sowie aus der nachfolgenden Beschreibung von bevorzugten Ausfüh- rungsformen anhand der Zeichnung. Die Zeichnung illustriert dabei lediglich beispiel- hafte Ausführungsformen der Erfindung, welche den wesentlichen Erfindungsgedan- ken nicht einschränken.

Kurze Beschreibung der Zeichnung

Figur 1 zeigt eine schematische Abbildung der Vorrichtung zum kontinu- ierlichen Einschleusen und/oder Ausschleusen von Materialbän- dern in Vakuumanlagen gemäß einer beispielhaften Ausfüh- rungsform der vorliegenden Erfindung.

Figur 2 zeigt eine schematische Abbildung der Vorrichtung zum kontinu- ierlichen Einschleusen und Ausschleusen von Materialbändern in Vakuumanlagen gemäß einer weiteren beispielhaften Ausfüh- rungsform der vorliegenden Erfindung.

Figur 3 zeigt eine schematische Abbildung der Umlenkeinrichtung in Va- kuumanlagen gemäß einer beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Figur 4 zeigt eine schematische Abbildung der Umlenkeinrichtung in Va- kuumanlagen gemäß einer weiteren beispielhaften Ausführungs- form der vorliegenden Erfindung

Ausführungsformen der Erfindung

In den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile stets mit den gleichen Bezugszei- chen versehen und werden daher in der Regel auch jeweils nur einmal benannt bzw. erwähnt.

In Figur 1 ist schematisch das Grundprinzip des kontinuierlichen Einschleusen und/oder Ausschleusen von Materialbändern in Vakuumanlagen gemäß einer bei spielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. Ein Materialband 7 wird von oben kommend in eine Schleusenstufe 1 geführt. Die Schleusenstufe weist einen Siphon 20 auf, welcher eine Kehre 2 und einen Verbindungsbereich 40 auf- weist. In der Kehre 2 wird das Materialband 7 in einer Kurve geführt, so dass die Be- wegungsrichtung des Materialbandes 7 vor der Kehre 2 eine Richtungskomponente nach unten und nach der Kehre 2 eine Richtungskomponente nach oben hat. In der Kehre 2 wird das Materialband 7 von einer Umlenkeinrichtung 6 umgelenkt. Der Si- phon 20 ist mit einer Flüssigkeit 3 gefüllt. Der Siphon 20 verbindet einen ersten Be- reich 4 mit einem zweiten Bereich 4‘, wobei der Siphon 20 der einzige Durchgang zwischen dem ersten Bereich 4 und dem zweiten Bereich 4‘ ist. Wird der zweite Be- reich 4‘ evakuiert, so steigt der Pegel der Flüssigkeit 3 im Verbindungsbereich 40 bis zu der Flöhe an, bei der der hydrostatische Druck der Flüssigkeitssäule im Verbin- dungsbereich 40 dem Unterschied des Drucks im ersten Bereich 4 und des Drucks im zweiten Bereich 4‘ entspricht. Dabei kann der zweite Bereich 4‘ nur soweit evaku- iert werden, bis der Druck im zweiten Bereich 4‘ dem Partialdampfdruck der Flüssig- keit 3 entspricht. Wird der zweite Bereich 4‘ weiter evakuiert, so fängt die Flüssigkeit 3 im zweiten Bereich 4‘ an zu kochen und aus dem zweiten Bereich 4‘ wird lediglich der Dampf der Flüssigkeit 3 abgepumpt. Die Flüssigkeit 3 ist Wasser. Das Wasser ist auf 0,1 °C gekühlt. Damit lässt sich der zweite Bereich auf circa 10 mbar evakuieren. Das Wasser im Siphon 20 schließt den zweiten Bereich 4‘ gegenüber dem ersten Bereich 4 gasdicht ab. Beim Erreichen des Endvakuums von 10 mbar kann das Eva- kuieren eingestellt werden und das Vakuum im zweiten Bereich 4‘ bleibt erhalten.

Um Pegelschwankungen des Wassers im ersten Bereich 4 zu minimieren, weist der Siphon 20 auf der Seite des ersten Bereiches 4 einen Ausgleichsbehälter 9 auf. Die- ser Ausgleichsbehälter 9 ist ein Reservoir, welches die Flüssigkeit 3 enthält. Im Falle der Belüftung des zweiten Bereichs 4‘ kann dieser auch das rückströmende Wasser aus dem Verbindungsbereich 40 aufnehmen bzw. beim Evakuieren bereitstellen. Das Materialband 7 wird nun vom ersten Bereich 4 durch die Flüssigkeit 3 in den Siphon 20 geführt, dort mit einer Umlenkeinrichtung 6 umgelenkt und durch den Verbin- dungsbereich 40 in den zweiten Bereich 4‘ eingeschleust. Zum Entfernen von Flüs- sigkeitsanhaftungen durchläuft das Materialband 7 nach Verlassen der Flüssigkeit 3 Abquetschwalzen 8.

In Figur 2 ist schematisch das Grundprinzip des kontinuierlichen Einschleusens und Ausschleusens von Materialbändern in Vakuumanlagen gemäß einer weiteren bei- spielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. Hierbei sind eine Mehrzahl von Schleusenstufen 1 hintereinandergeschaltet. Das Materialband 7 läuft von einem ersten Bereich 4 durch einen Siphon 20 in einen zweiten Bereich 4‘. Die Flüssigkeit des Siphons 20 zwischen dem ersten Bereich 4 und dem zweiten Bereich 4‘ ist beispielsweise 60°C warme Säure. Die Säure dekapiert das Materialband 7 zur weiteren Verarbeitung. Im zweiten Bereich 4‘ wird das Materialband 7 von Ab- quetschrollen 8 getrocknet. Vom zweiten Bereich 4‘ läuft das Materialband 7 durch einen zweiten Siphon 21 in einen dritten Bereich 41. Die Flüssigkeit im zweiten Si- phon 21 ist beispielsweise 60°C warmes Wasser. Durch das 60°C warme Wasser wird das Materialband 7 gespült. Der zweite Bereich 4‘ ist auf 0,6 bar evakuiert. Um diesen Druck trotz des im Siphon 21 entstehenden Wasserstoffs aufrecht zu erhal- ten, muss dieser dauerhaft geregelt evakuiert werden. Durch den gasdichten Ab- schluss des zweiten Bereichs 4‘ ist die Bildung einer explosiven Atmosphäre ausge- schlossen und der abgepumpte Wasserstoff kann als Reinstoff am Pumpenausgang gesammelt und anderweitig wirtschaftlich verwertet werden. Der dritte Bereich 41 ist auf 0,3 bar evakuiert. Hier wird das Materialband 7 von zweiten Abquetschrollen 80 getrocknet. Vom dritten Bereich 41 wird das Materialband 7 durch ein drittes Siphon 22 in einen vierten Bereich 42 geführt. Der dritte Siphon 22 ist mit 4°C kaltem Was- ser gefüllt. Eine Wärmepumpe 16 führt energiesparend die durch das Materialband 7 permanent vom zweiten Siphon 21 in den dritten Siphon 22 verschleppte Wärme- energie von der Flüssigkeit des dritten Siphons 22 der Flüssigkeit des zweiten Si- phons 21 zu. Das Materialband 7 wird im vierten Bereich 42 von dritten Ab- quetschrollen 81 von makroskopischen Flüssigkeitsanhaftungen befreit und von einer beheizten Umlenkrolle 122 aufgeheizt und so von mikroskopischen Flüssigkeitsan- haftungen befreit. Der Druck im vierten Bereich 42 ist bis auf den Partialdampfdruck der Flüssigkeit im dritten Siphon 22 abgesenkt. Der vierte Bereich 42 weist eine Pro- zesskammer 17 auf, in der ein Beschichtungsprozess am Materialband 7 vollzogen und das Materialband 7 stark erhitzt wird. Die Wände des vierten Bereiches 42 sind aufgeheizt. Ferner befindet sich abseits der Prozesskammer 17 entfernt vom Materi- alband 7 ein Kondensator (nicht gezeigt). Am Kondensator (nicht gezeigt) konden- siert Flüssigkeitsdampf, welcher vom aufgeheizten Materialband 7 stammt. Um das Eindringen von Wasserstoff aus dem vierten Bereich 42 in die Prozesskammer 17 zu verhindern, wird beispielsweise eine permanente Gasströmung eines Inertgases aus der Prozesskammer 17 aufrechterhalten. Beispielsweise kann dies, wie in der DE 10 2017 221 346.9 beschrieben, mit dem nicht gezeigten Kondensator als Filterelement erfolgen. Eine beispielhafte zweite Ausführung, wie in der DE 10 2017 221 346.9 be- schrieben, kann das Eindringen von Prozessrückständen aus der Prozesskammer 17 in den vierten Bereich 42 verhindern. Die kondensierte Flüssigkeit wird kontrolliert abgeführt, so dass der Beschichtungsprozess nicht von Tropfen der kondensierten Flüssigkeit beeinflusst wird. Vom vierten Bereich 42 wird das Materialband 7 durch einen vierten Siphon 23 in einen fünften Bereich 43 geführt. Die Flüssigkeit im vierten Siphon 23 ist 4°C kaltes Wasser. Das in der Prozesskammer 17 stark erhitzte Mate- rialband wird in das 4°C kalte Wasser geführt. Durch den großen Temperaturunter- schied zwischen Materialband 7 und Wasser des vierten Siphons 23 kommt es zu einem Leidenfrost- Effekt zwischen Materialband 7 und der Flüssigkeit des vierten Siphons 23. Eine dünne Dampfschicht verhindert, dass das Materialband 7 benetzt und größere Mengen Wärme an die Flüssigkeit des vierten Siphons 23 abgibt und so große Mengen Dampf im vierten Siphon 23 entstehen, welche in den vierten Bereich 42 gelangen könnten und durch den nicht gezeigten Kondensator nicht mehr be- herrscht werden könnten. Durch einen fünften Siphon 24 wird das Materialband 7 vom fünften Bereich 43 in einen sechsten Bereich 44 geführt. Der Druck des sechs- ten Bereiches 44 ist 1 bar. Die Flüssigkeit im fünften Siphon 24 ist eine Passivie- rungsflüssigkeit, die das Materialband 7 beim Ausschleusen passiviert. Die dort beim Benetzen und Kühlen des Metallbandes 7 durch die Flüssigkeit entstehenden Dämp- fe gelangen in den fünften Bereich 43, wo sie einem nicht gezeigten Kondensator zugeführt werden. Der dort mögliche deutlich höhere Dampfdruck ermöglicht dessen Beherrschung durch den nicht gezeigten Kondensator. Da sich die Flüssigkeit in Si- phon 24 deutlich erwärmen kann, ohne dass der erlaubte Partialdruck im fünften Be- reich 43 überschritten wird, ist eine einfache Rückkühlung der Flüssigkeit über ein Kühlmedium möglich. Um eine Verunreinigung der Passivierungsflüssigkeit im offe- nen Kühlturm zu verhindern, wird ein Wärmetauscher zwischengeschaltet.

Figur 3 zeigt eine schematische Darstellung einer Umlenkeinrichtung 6 gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Materialband 7 wird von einer Umkehrrolle 12 umgelenkt. Die Umkehrrolle 12 bildet gleichzeitig eine Keh- re 2 eines Siphons 20. Auf der linken Seite der Umkehrrolle 12 ist ein Ausgleichsbe- hälter 9 des Siphons 20 und auf der rechten Seite der Umkehrrolle 12 ist ein Verbin- dungsbereich 40 des Siphons 20. Die Umkehrrolle 12 ist so platziert, dass die Auf- hängung 13 der Umkehrrolle 12 nicht in Kontakt mit der Flüssigkeit 3 kommt. Dies wird erreicht, indem die rechte Seite der Umkehrrolle 12 von der linken Seite der Umkehrrolle 12 oberhalb der Flüssigkeit im Bereich 4 und der Umkehrrolle 12 gas- dicht mit einer Wand 15 und einer Schaberleiste 14 getrennt wird. Diese Schaberleis- te wird seitlich (nicht gezeigt) fortgesetzt, so dass die Wand 15, die Schaberleiste 14 und Umlenkeinrichtung 6 eine gasdichte Abschottung bzw. eine Verlängerung der Wand 15 darstellen

Figur 4 zeigt ein schematisches Schnittbild einer Umlenkeinrichtung 6 gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Umlenkein- richtung 6 ist als halbkreisförmige Fläche 10 ausgeführt. Die halbkreisförmige Fläche 10 weist eine Mehrzahl von Bohrungen auf, welche ein inneres Volumen 100, wel- ches von der halbkreisförmigen Fläche 10 und einer Wand 15 umschlossen wird, und ein äußeres Volumen 1000 verbinden. Die halbkreisförmige Fläche 10 bildet eine Kehre 2 eines Siphons 20 und ist in eine Flüssigkeit 3 des Siphons 20 eingetaucht. Eine Pumpe 11 pumpt die Flüssigkeit 3 durch die Bohrungen der halbkreisförmigen Fläche 10 so, dass ein Flüssigkeitspolster zwischen einem Materialband 7, welches durch das äußere Volumen 1000 an der halbkreisförmigen Fläche 10 vorbeigeführt wird, entsteht, dessen Druck den Bandzug des Materialbandes 7 mindestens kom- pensiert. Bezugszeichenliste

1 Schleusenstufe

2 Kehre

20 Siphon

3 Flüssigkeit

4 Erster Bereich

4‘ Verbindungsbereich

40 Zweiter Bereich

41 Dritter Bereich

42 Vierter Bereich

43 Fünfter Bereich

44 Sechster Bereich 6 Umlenkreinrichtung 7 Materialband

8, 80, 81 Abquetschrollen

9 Ausgleichsbehälter

10 halbkreisförmige Fläche 100 Inneres Volumen 1000 Äußeres Volumen 1 1 Pumpe

12 Umkehrrolle

122 Beheizte Umlenkrolle

13 Aufhängung

14 Schaberschiene

15 Wand

16 Wärmepumpe

17 Prozesskammer