【技术领域】

本发明涉及工业干燥领域， 特别是涉及一种吹风装置及吹风装置的 使用方法。

【背景技术】

风刀 (Air Knife, AK)是一种利用快速高压的气体， 将目标物表面的 灰尘及水分等物质吹除，以达到净化、干燥目 标物表面的一种吹风装置。 如图 1所示， 风刀包括进风口 11、 腔体 12和出风口 13。

风刀的工作原理是： 将高压的干燥清洁空气（Clean Dry Air, CDA ) 通过进风口 11输送到风刀 CDA的腔体 12中，然后再将 CDA从风刀的 狭缝， 即出风口 13中吹出。 由于狭缝 4艮窄， CDA的压力变大， 能强力 去除附着在目标物表面的灰尘和水分。 风刀的应用之一， 是薄膜场效应 晶体管液晶显示器行业中的洗净机洗净后的除 水干燥。

目前， 风刀的除水干燥过程， 一般处于高湿的环境中， 加之风刀一 般由金属材料制成， 表面温度低， 因此使工作环境中的水汽容易在风刀 表面凝结成水滴。 在风刀对目标物除水干燥后， 凝结的水滴可能会重新 滴落在目标物表面， 严重影响干燥 /除水效果。

【发明内容】

本发明主要解决的技术问题是提供一种吹风装 置及吹风装置的使 用方法， 能够避免风刀表面凝结的水汽重新滴落至干燥 后的目标物， 保 证干燥效果。

为解决上述技术问题， 本发明采用的一个技术方案是： 提供一种吹 风装置， 吹风装置包括热源、 第一腔体、 第二腔体以及第三腔体； 第 一腔体设有进风口和出风口， 出风口是第一腔体一侧的狭缝； 第二腔体 和第三腔体分别位于第一腔体的出风口两侧， 其中， 第一腔体、 第二腔 体分别独立于第三腔体， 且第二腔体和第三腔体互通； 热源用于对第二 腔体和第三腔体进行加热。 其中， 热源是液体循环加热系统， 包括管道、 管道中的液体以及对 液体进行加热的加热单元， 第二腔体和第三腔体分别是管道的一部分。

其中， 第一腔体的出风口两侧表面分别为第一侧面、 第二侧面， 第 一腔体、 第二腔体和第三腔体一体成型， 第一腔体与第二腔体共用第一 侧面， 第一腔体与第三腔体共用第二侧面。

其中， 液体为去离子水。

其中， 热源包括温度控制单元， 用于对管道中的液体温度进行监测 并控制加热单元的加热， 使管道中的液体保持在 80~100摄氏度度之间。

为解决上述技术问题， 本发明采用的一个技术方案是： 提供一种吹 风装置， 吹风装置包括热源、 第一腔体、 第二腔体以及第三腔体； 第一 腔体设有进风口和出风口， 出风口是第一腔体一侧的狭缝； 第二腔体和 第三腔体分别位于第一腔体的出风口两侧； 热源用于对第二腔体和第三 腔体进行加热。

其中， 第一腔体、 第二腔体分别独立于第三腔体。

其中， 热源是液体循环加热系统， 包括管道、 管道中的液体以及对 液体进行加热的加热单元， 第二腔体和第三腔体分别是管道的一部分。

其中， 第一腔体的出风口两侧表面分别为第一侧面、 第二侧面， 第 一腔体、 第二腔体和第三腔体一体成型， 第一腔体与第二腔体共用第一 侧面， 第一腔体与第三腔体共用第二侧面。

其中， 第二腔体和第三腔体互通。

其中， 液体为去离子水。

其中， 热源包括温度控制单元， 用于对管道中的液体温度进行监测 并控制加热单元的加热， 使管道中的液体保持在 80~100摄氏度度之间。

为解决上述技术问题， 本发明采用的一个技术方案是： 提供一种吹 风装置的使用方法，使用方法包括：往吹风装 置的第一腔体内通入气体， 并使通入的气体从第一腔体上的狭缝喷出； 在使气体从第一腔体上的狭 缝喷出的同时， 对第一腔体的位于狭缝两侧的部分进行加热。

其中， 对第一腔体的位于狭缝两侧的部分进行加热的 步骤包括： 通 过往设置于第一腔体的位于狭缝两侧表面的第 二腔体和第三腔体中通 入循环流动的加热液体而对第一腔体的位于狭 缝两侧的部分进行加热。 其中， 所述加热液体的温度在 80~ 100摄氏度度之间。

本发明的有益效果是： 区别于现有技术的情况， 本发明首先在吹风 装置存储气体的第一腔体两侧各加入一个腔体 ： 第二腔体和第三腔体， 然后对第二腔体和第三腔体进行加热， 防止吹风装置表面的水汽凝结， 从而避免水滴重新滴落至干燥后的目标物的风 险， 保证干燥效果。

【附图说明】

图 1是现有技术中风刀的剖面示意图；

图 2是本发明吹风装置一实施例的立体结构示意� �；

图 3是本发明吹风装置的使用方法一实施例的流� �示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明 。

图 2是本发明吹风装置一实施例的立体结构示意� �， 如图 2所示， 吹风装置包括： 第一腔体 21、 第二腔体 22、 第三腔体 23及热源 24。

其中， 热源 24是液体循环加热系统， 包括管道 241、 管道 241中的 液体 242、 对液体 242进行加热的加热单元 243、 温度控制单元 244以 及动力泵 245 , 第二腔体 22和第三腔体 23分别是管道 241的一部分。

其中， 第一腔体 21设有进风口 211和出风口 212 , 出风口 212是第 一腔体 21—侧的狭缝。

如图所示， 第二腔体 22和第三腔体 23分别位于第一腔体 21的出 风口 212两侧。 且第一腔体 21、 第二腔体 22分别独立于第三腔体 23。 具体为，第一腔体 21的出风口 212两侧表面分别为第一侧面（未标示）、 第二侧面 （未标示）， 第一腔体 21、 第二腔体 22和第三腔体 23—体成 型， 第一腔体 21与第二腔体 22共用第一侧面， 第一腔体 21与第三腔 体 23共用第二侧面。

热源 24用于对第二腔体 22和第三腔体 23进行加热。 其中， 第二 腔体 22和第三腔体 23互通。 在其它实施例中， 第二腔体 22和第三腔 体 23也可以使用不同的热源进行加热， 也可以各自独立而不互通。 其中，热源 24使用的液体，即管道中的液体 242为去离子水（ De-Ion Water, DIW )或其他任何适用的热介质。 在热源 24加热过程中， 温度 控制单元 244用于对管道 241中的液体 242温度进行监测并控制加热单 元 243的加热， 使管道 241 中的液体 242保持在 80~100摄氏度之间， 比如 90摄氏度。

当然， 热源 24还可以不设管道 241和液体 242, 而是采用加热单元 243直接接触第二腔体 22和第三腔体 23而进行加热。

下面以风刀为例对吹风装置进行详细说明。

为了防止风刀在除湿过程中， 水汽在风刀表面的凝结， 本实施例在 风刀上增加加热功能， 以增加风刀表面的温度， 保证干燥效果。 具体实 施为：

继续参阅图 2, 在常规的风刀第一腔体 21结构的左右两侧， 各加入 一个独立的热介质腔体： 第二腔体 22和第三腔体 23 , 第二腔体 22和第 三腔体 23用于热介质、 即管道中的液体 242的流动和热交换。 一般情 况下， 热介质可选用 DIW。

另外增设管道 241、 热介质、 加热单元 243、 温度控制单元 244以 及动力泵 245 , 使第二腔体 22和第三腔体 23分别作为管道 241的一部 分。 管道 241、 热介质、 加热单元 243、 第二腔体 22和第三腔体 23一 起构成液体循环加热系统。

热介质通过加热单元 243 和温度控制单元 244 的作用对其进行加 热， 温度保持在 80~100摄氏度之间。 加热后的热介质经动力泵 245的 作用下， 循环流经第二腔体 22和第三腔体 23。 由于第二腔体 22和第三 腔体 23分别位于第一腔体 21的两侧， 通过热交换作用， 热介质中的热 能传递到第二腔体 22和第三腔体 23的外表面即风刀外壁， 使其维系较 高的温度。 这样在清洗湿度较大的环境中， 水汽就不易凝结在风刀外壁 表面， 避免现有技术中凝结在风刀表面的水珠掉落至 干燥后的目标物的 风险， 减少制程不良率。

如： 泵入第二腔体 22和第三腔体 23中热介质的温度为 90°C , 风刀 表面的温度将接近于热介质的 90°C , 在这么高的温度下， 环境中的水分 子是无法凝结在风刀表面的。

热介质与第二腔体 22、 第三腔体 23之间的热传导过程为： 假设热 介质与外部空气之间的第二腔体 22、第三腔体 23的腔板尺寸为 2m (长） X 0.1m (宽） X 0.01m (厚）， 风刀外壁初始温度与环境一致， 约 20°C左 右， 根据热传导公式：

d2 = -2 - ds -—

dn

其中， Q为热量传递值， s为传热面积， at为传热材料两端的温度 差， n为传热材料两端的长度， λ为传热系数。 对于一般钢材而言， λ = 53.6W/( m« °C )。风刀外壁开始的热传导量为： dQ = 53.6χ2χ0.1 χ( 90-20 ) /0.01=75.04kW; 当风刀外壁被加热到与热介质温度差不多的时 候， 3t→ 0, 此时热传导很低， 热介质只起到维持风刀外壁温度的作用。

与此同时， 热介质在热量传递时， 也会对第一腔体 21内的 CDA进 行加热， 加热后的 CDA对于目标物 （如： 玻璃基板） 的干燥作用也比 较明显， 可加强去除目标物表面水分的功能。 在某些工业制程中， 风刀 干燥后往往还伴随有炉子的烘烤过程， 若利用具有本发明结构的风刀， 将会起到一个预烘烤的作用， 对产线的单件产品生产时间 （Tact time ) 会有一定程度的提高。

若对 CDA进行加热， 还可减少 CDA的使用量， 其原理如下： 根据 气体方程： PV=nRT,假设不加热前 CDA的温度为 20 °C ,则 PlVl=nRTl ; 加热后 CDA 的温度为 20 °C , 则 P2V2=nRT2;故 Vl= ( T1/T2 ) · V2=(273+20)/(273+90) ·ν2=80.1%。 即利用热量膨胀可使 CDA 的用量 减少 19.9%。

综上所述， 本实施例中对于现有风刀的改进， 可消除风刀干燥后凝 结水重新滴落的风险， 同时， 对于风刀腔体内的气体进行加热， 不仅可 以增强气体的除水效果， 还可节省气体的使用量。

一起结合图 2、 图 3 , 图 3是本发明吹风装置的使用方法一实施例 的流程示意图， 使用方法包括以下步骤：

步骤 301 , 往吹风装置的第一腔体 21内通入气体， 并使通入的气体 从第一腔体 21上的狭缝喷出； 步骤 302, 在使气体从第一腔体 21上的狭缝喷出的同时， 对第一腔 体 21的位于狭缝两侧的部分进行加热。

其中， 通过往设置于第一腔体 21 的位于狭缝两侧表面的第二腔体 22和第三腔体 23中通入循环流动的加热液体 242而对第一腔体 21的位 于狭缝两侧的部分进行加热， 同时保持第二腔体 22和第三腔体 23中的 液体 242温度在 80~100摄氏度度之间。

综上所述， 本发明首先在吹风装置存储气体的第一腔体 21 两侧各 加入一个腔体： 第二腔体 22和第三腔体 23 , 然后对第二腔体 22和第三 腔体 23 进行加热， 防止吹风装置表面的水汽凝结， 从而避免水滴重新 滴落至干燥后的目标物的风险， 保证干燥效果。

以上所述仅为本发明的实施例， 并非因此限制本发明的专利范围， 凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效 结构或等效流程变换， 或 直接或间接运用在其他相关的技术领域， 均同理包括在本发明的专利保 护范围内。