Die Erfindung betrifft einen Kondensator mit einem Dielektrikum aus Glas sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen.

Das ständig zunehmende Bedürfnis zur Speicherung von Energie für Zeiten von MikroSekunden bis zu Tagen bei großer elektrischer Energiemenge erfordert Materialien mit speziellen dielektrischen Eigenschaften.

Im Stand der Technik werden in der Regel Polypropylen-Folienkondensatoren als Hochleistungskondensatoren verwendet. Sie können gerollt werden, und das Dielektrikum, Polypropylen, kann in Form sehr dünner Folie hergestellt werden. Jedoch begrenzt die dielektrische Durchschlagsspannung von ungefähr 1 MV/cm die Dichte, mit der Energie gespeichert werden kann.

Elektrolytkondensatoren können auch zu sehr hohen Speicherdichten gebracht werden. So wurde von Jeol in Japan ein Doppelschicht-Elektrolytkondensator mit Speicherdichten in der Größenordnung von 20 Wh/1 angekündigt QP 11288852 A2).

BESTATIGUNGSKOPIE Jedoch sind derartige Elektrolyten im Allgemeinen chemisch reaktiv, umweltschädlich und können in einigen Fällen sogar explosiv sein.

Ferner sind keramische Kondensatoren bekannt, die Keramiken als Dielektrikum verwenden, wie z.B. Kondensatoren mit ferroelektrischen Phasen. Allerdings begrenzt die Restporosität von Keramiken ihre dielektrische Durchschlagsfeldstärke.

Batterien, wie etwa Lithium-Ionen-Batterien liefern zurzeit die höchste Speicherdichte bis zu 800 Wh/1. Batterien haben jedoch eine begrenzte Lebensdauer und haben im Vergleich zu Kondensatoren Ladezeiten von bis zu mehreren Stunden.

Im Stand der Technik sind ferner Gläser als Dielektrikum für Kondensatoren bekannt. Es wurden bereits in den 40er-Jahren des letzten Jahrhunderts Glaskondensatoren beschrieben. Sie sind für elektronische Anwendungen für Satelliten und Raumfahrzeug weit verbreitet und können in sehr aggressiven Umweltbedingungen arbeiten. Es ist auch bekannt, dass die dielektrische Durchschlagsfeldstärke von Gläsern allgemein größer als die von den entsprechenden Kristallsystemen ist. In A. Hippel, RJ. Maurer, Phys. Rev., 59, 820 (1941) wurde dieses Phänomen beschrieben, indem die Durchschlagsfeldstärke von Quarzglas mit Quarzkristall verglichen wurde. Die Autoren geben eine Durchschlagsfeldstärke in der Größenordnung von 7 MV/cm für Quarzglas an.

Allerdings wäre die Herstellung von Kondensatoren aus Quarzglas ein außerordentlich teurer und zeitraubender Prozess.

Die Aufgabe der Erfindung besteht somit darin, einen verbesserten Kondensator mit Glas als Dielektrikum anzugeben, sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen.

Die Aufgabe der Erfindung wird durch einen Kondensator mit mit mindestens zwei Metallschichten gelöst, die durch ein Dielektrikum in Form einer Glasschicht mit feuerpolierter Oberfläche getrennt sind, wobei die Glasschicht einen Alkalioxidgehalt von höchstens 2 Gew.-% und eine Dicke von höchstens 50 μm, vorzugsweise höchstens 40 μm, besonders bevorzugt von höchstens 30 μm, aufweist.

Die Aufgabe der Erfindung wird ferner durch ein Verfahren zum Herstellen eines Kondensators mit den folgenden Schritten gelöst:

Bereitstellen eines Glases mit einem Alkalioxidgehalt von höchstens

2 Gew.-%;

- Ausziehen des Glases zu einem Glasband mit feuerpolierter Oberfläche von höchstens 50 μm Dicke;

Zusammenfügen des Glasbandes mit einer ersten Metallschicht und mindestens einer zweiten Metallschicht zu einem Verbund und

- elektrisches Kontaktieren der beiden Metallschichten.

Die Aufgabe der Erfindung wird auf diese Weise vollkommen gelöst.

Erfindungsgemäß wurde nämlich festgestellt, dass dann, wenn alkaliarme oder alkalifreie Gläser als Dielektrikum verwendet werden, die dielektrische Durchschlagsfestigkeit von Quarzglas erreicht werden kann und sogar noch deutlich gesteigert werden kann.

Ferner wird durch die feuerpolierte Oberfläche die Durchschlagsfestigkeit erheblich verbessert.

Auf diese Weise wird mit der Verwendung von alkaliarmen dünnen feuerpolierten Glasschichten eine überraschend einfache und kostengünstige Möglichkeit zur Herstellung von Kondensatoren mit hoher Energiespeicherdichte offenbart. In bevorzugter Weiterbildung der Erfindung weist die Glasschicht eine Dicke von mindestens 5 μm, insbesondere von mindestens 10 μm, insbesondere von mindestens 15 μm auf.

Es hat sich gezeigt, dass insbesondere in diesem Dickenbereich mit bevorzugt 15-30 μm durch das stärkere Ausziehen der alkaliarmen Gläser eine besonders glatte Oberfläche geschaffen wird, durch die eine besonders hohe dielektrische Durchschlagsfestigkeit begünstigt wird.

Gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung weist der Kondensator einen Schichtverbund auf, der mindestens aus einer ersten Glasschicht, auf der eine erste Metallschicht vorgesehen ist, auf der mindestens eine zweite Glasschicht und mindestens eine zweite Metallschicht vorgesehen ist, besteht, wobei der Schichtverbund aufgewickelt ist und die beiden Metallschichten jeweils mit Anschlüssen elektrisch verbunden sind.

Es hat sich gezeigt, dass derartige dünne Glasschichten auch ohne weiteres aufgewickelt werden können, so dass sich eine besonders hohe Energiemenge auf kleinstem Raum speichern lässt.

In weiter bevorzugter Ausführung der Erfindung besteht jede Glasschicht aus einem Glas mit einem Alkalioxidgehalt von höchstens 1 Gew.-%, vorzugsweise von höchstens 0,5 Gew.-%, weiter bevorzugt von höchstens 0,1 Gew.-%, besonders bevorzugt von höchstens 0,05 Gew.-%.

Durch Verwendung von besonders alkaliarmen Gläsern lässt sich erfindungsgemäß die Durchschlagsfestigkeit noch weiter steigern.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführung der Erfindung weist jede Glasschicht eine Güte (ζ) von mindestens 20 • 10 ¹² V/mm ³ , vorzugsweise von mindestens 50 • 10 ¹² V/mm ³ , hat, wobei die Güte gefiniert ist als Quotient aus der Durchschlagfeld- stärke und dem Produkt aus der Dicke und der Rauhigkeit der Oberfläche der Glasschicht.

Je geringer die Dicke der Glasschicht und je geringer die Rauhigkeit der Glasoberfläche, desto besser wird die Durchschlagsfestigkeit, wie durch diese Kennzahl zum Ausdruck gebracht wird.

Bei Verwendung einer Glasschicht mit hoher Güte lässt sich eine besonders hohe Energiedichte bzw. eine besondes kleine Baugröße erzielen.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführung der Erfindung besteht jede Glasschicht aus einem Glas mit einer elektrischen Leitfähigkeit von höchstens 10 ¹⁵ S/cm besteht.

Bei Verwendung von derartigen Gläsern mit einer sehr geringen elektrischen Leitfähigkeit, ergibt sich eine Zeitkonstante für die Entladung in der Größenordnung von Minuten bis Tagen. Dies bedeutet, dass die Entladung des Kondensators nicht durch dielektrische Restleitfähigkeit, sondern eher durch das Gehäuse des Kondensators und weitere Einflüsse bestimmt wird.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung weisen die verwendeten Gläser einen dielektrischen Verlustwinkel (tan δ) von höchstens 0,001 bei 1 kHz auf.

Besonders geeignete Gläser zur Herstellung des Dielektrikums weisen die folgenden Komponenten (in Gew.-% auf Oxidbasis) auf:

SiO ₂ 40-75

Al ₂ O ₃ 1-25

B ₂ O ₃ 0-16

Erdalkalioxide 0-30

Alkalioxide 0-2. Insbesondere sind Gläser bevorzugt, die die folgenden Komponenten (in Gew.-% auf Oxidbasis) enthalten:

SiO ₂ 45-70

Al ₂ O ₃ 5-25

B ₂ O ₃ 1-16

Erdalkalioxide 1-30

Alkalioxide 0-1.

Vorzugsweise beträgt die maximale mittlere Rauhtiefe (RMS) vorzugsweise 1 Nano- meter, vorzugsweise höchstens 0,8 Nanometer, besonders bevorzugt höchstens 0,5 Nanometer.

Mit einer derartig glatten Oberfläche wird eine besonders hohe dielektrische Durchschlagsspannung erzielt. Typischerweise beträgt die maximale mittlere Rauhtiefe etwa 0,4 Nanometer bei einer feuerpolierten Glasschicht.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden ein erstes und ein zweites Glasband ausgezogen und das erste Glasband mit der ersten Metallschicht zusammen mit dem zweiten Glasband und einer zweiten Metallschicht zu einem Verbund zusammengefügt und aufgewickelt.

Es lässt sich so eine besonders kostengünstige Herstellung ermöglichen. Hierbei kann zur Erzielung einer dauerhaften Verbindung jeweils eine Klebeschicht (z.B. Epoxikle- ber) zwischen benachbarten Schichten z.B. als Sprühschicht aufgetragen werden. Alternativ könnte die Klebeschicht schon auf der aufgewickelten Metallschicht (Metallfolie) als Beschichtung vorhanden sein. In diesem Fall müsste als Trennschicht eine Papierfolie oder dgl. mit eingewickelt sein, die dann vor der Verbindung mit der Glasschicht wieder abgewickelt wird. Weiter alternativ kann jedes Glasband zunächst aus der Schmelze gezogen werden und mit Papier zu einer Rolle aufgewickelt werden. Dann kann zu einem späteren Verfahrenszeitpunkt die Metallschicht aufgebracht werden bzw. das Glasband nach Abwickeln der Papierschicht mit einer Metallfolie zusammen gewickelt werden.

Als Metalle kommen alle denkbaren Metalle in Frage, die geeignet sind. Aluminium etwa hat den Vorteil, beosnders preisgünstig zu sein. Nickelschichten haben den Vorteil, weniger zu diffundieren, sind jedoch teurer. Silberschichten sind zwar noch teurer, haben aber den Vorteil einer besonders guten elektrischen Leitfähigkeit, führen allerdings zu höherer Diffusion. Es versteht sich, dass natürlich auch geeignete Legierungen verwendet werden können.

Erfindungsgemäß besonders bevorzugt ist die Herstellung jedes Glasbandes im Down- Draw- Verfahren oder im Overflow-Downdraw- Fusion -Verfahren.

Es hat sich gezeigt, dass beide Verfahren, die im Stand der Technik allgemein bekannt sind (vgl. z.B. WO 02/051757 A2 für das Down-Draw- Verfahren sowie WO 03/051783 Al für das Overflow-Downdraw-Fusion-Verfahren) besonders geeignet sind, um dünne Glasbänder von 50 μm oder weniger auszuziehen. Da beide Verfahren grundsätzlich bekannt sind, werden diese hier nicht in größerem Detail erläutert. Für Einzelheiten wird auf die WO 02/051757 A2 sowie auf die WO 03/051783 Al verwiesen, deren Offenbarung hier vollständig durch Bezugnahme eingeschlossen wird.

In bevorzugter Weiterbildung der Erfindung wird jedes Glasband nach seinem Ausziehen mittels einer Laserschneideinrichtung in mehrere Einzelbänder getrennt.

Auf diese Weise wird der Verfahrensablauf bei der Herstellung von kleinen Kondensatoren ausgehend von relativ breiten Glasbändern vereinfacht. Durch Verwendung eines Laserschneidverfahrens lässt sich eine sehr schonende Trennung des Glasbandes in kleinere Glasbänder gewährleisten, die vorzugsweise auch an den Rändern eine Oberfläche wie eine feuerpolierte Oberfläche ergibt. Auf diese Weise kann eine besonders hohe dielektrische Durchschlagsspannung gewährleisten werden.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird jedes Glasband nach seinem Ausziehen durch ein Nachziehverfahren zu einer noch geringeren Dicke ausgezogen.

Da Glasbänder mit geringer Dicke besonders bevorzugt sind, lassen sich so erfindungsgemäß noch dünnere Glasbänder mit noch weiter verbesserter Oberfläche herstellen, wodurch die Energiedichte des hergestellten Kondensators weiter gesteigert werden kann.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale der Erfindung nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen:

Fig. 1 eine Düseneinrichtung zum Ausziehen eines Glasblandes nach den Down- Draw- Verfahren

Fig. 2 eine stark vereinfachte Darstellung einer Vorrichtung zum Herstellen und Aufwickeln eines Verbundes mit zwei Glasschichten und zwei Metallschichten, die in abwechselnder Reihenfolge miteinander kombiniert sind, wobei die beiden Glasschichten jeweils im Down-Draw-Verfahren hergestellt werden;

Fig. 3 ein einfache Darstellung einer Vorrichtung zum Ziehen eines Glasbandes nach dem Down-Draw-Verfahren mit einer nachfolgenden Laserschneidein- richtung zum Auftrennen des hergestellten Glasbandes in mehrere Einzelglasbänder;

Fig. 4 eine schematische Ansicht eines erfindungsgemäßen Kondensators;

Fig. 5 den Zusammenhang zwischen der Durchschlagsfeldstärke (in kV/mm) und Dicke (mm) und

Fig. 6 die Güte (ζ) (V/mm ³ ) der Glasschicht als Funktion der Dicke (mm).

Fig. 1 zeigt eine Düseneinrichtung 10 grundsätzlich bekannter Bauart, die bei einem Down-Draw-Verfahren verwendet wird, um Flachglas mit einer äußerst hohen Präzision sehr dünn auszuziehen. Bei dem grundsätzlich in der WO 02/051757 A2 beschriebenen Down-Draw-Verfahren fließt blasenfreies und gut homogenisiertes Glas in ein Glasreservoir, den sog. Ziehtank. Der Ziehtank besteht aus Edelmetallen, wie etwa Platin oder Platinlegierungen. Unterhalb des Ziehtanks ist eine Düseneinrichtung 10 mit einer Schlitzdüse 14 angeordnet. Die Größe und die Form dieser Schlitzdüse 14 definiert den Durchfluss des ausgezogenen Glasbandes 16 sowie seine Dickenverteilung über die Breite des Glasbandes. Das Glasband wird unter Verwendung von Ziehrollen 26, 28 (Fig. 2) nach unten gezogen und gelangt schließlich durch einen Glühofen, der sich an den Ziehrollen anschließt (nicht dargestellt). Der Glühofen kühlt das Glas bis auf Raumtemperatur langsam herunter, um Spannungen im Glas zu vermeiden. Die Geschwindigkeit der Ziehrollen definiert die Dicke des Glasbandes. Nach dem Ziehvorgang wird das Glas aus der vertikalen in eine horizontale Lage zum weiteren Verarbeiten gebogen.

Das hergestellte Glasband 16 kann, wie im Stand der Technik bekannt, mit einem Papier zusammen zu einer Rolle aufgewickelt werden. Zur weiteren Herstellung des Kondensators muss dann zu einem späteren Zeitpunkt das Papier wieder abgewickelt werden und stattdessen eine Metallfolie, z.B. eine dünne Aluminiumfolie, mit dem Glas in Kontakt gebracht werden. Zur Herstellung eines Kondensators, etwa gemäß Fig. 4, wird dann ein erstes Glasband mit einer Metallfolie, gefolgt von einem zweiten Glasband, gefolgt von einer zweiten Metallfolie zu einem Verbund zusammengewickelt und auf die Größe des Endproduktes gebracht. Die beiden durch die Glasschicht elektrisch voneinander isolierten Metallfolien werden sodann mit Anschlüssen 72, 74 versehen, so dass ein Kondensator 70 entsteht. Der aufgewickelte Verbund 48 gemäß Fig. 4 wird vorzugsweise zusätzlich noch von einem Gehäuse 76 umschlossen, was bspw. durch Umschmelzen mit einem relativ niedrig schmelzenden Glas erfolgen kann.

In Fig. 2 ist schematisch eine Vorrichtung 20 dargestellt, um einen Verbund 48 bestehend aus einer ersten Glasschicht, gefolgt von einer Metallfolie, gefolgt von einer zweiten Glasschicht und wiederum gefolgt von einer zweiten Metallschicht herzustellen und auf einer Rolle 50 aufzuwickeln. Ein erstes Glasband 16 gelangt aus einer ersten Zieheinrichtung 22 und wird durch Ziehrollen 26 gezogen. Nach ausreichender Abkühlung wird das Glasband 16 mit einer Metallfolie, z.B. einer Aluminiumfolie 32 zusammengewickelt, die von einer Rolle 30 abgewickelt wird und über eine Umlenkrolle 34 zugeführt wird. Aus einer zweiten Zieheinrichtung 24 wird ein zweites Glasband 18 über Ziehrollen 28 ausgezogen und wird anschließend über Umlenkrollen 36, 38 auf die Oberfläche der Metallfolie 32 zugeführt.

Nachfolgend wird eine zweite Metallfolie, etwa in Form einer Aluminiumfolie 42 von einer Rolle 40 abgewickelt und über eine Umlenkrolle 44 zugeführt. Der so gebildete Verbund 48 wird ggf. über weitere Umlenkrollen 45 auf einer Rolle 50 aufgewickelt. Hierbei ist darauf zu achten, dass die erste Metallfolie zu nur einer Seite übersteht und die zweite Metallfolie nur zu der anderen Seite, um Überschläge bzw. Kurzschlüsse zu vemeiden.

Aus Fig. 3 ist schließlich ersichtlich, dass jedes Glasband über eine Laserschneideinrichtung in mehrere Einzelbänder aufgetrennt werden kann, was vorzugsweise unmittelbar nach dem Ausziehen des Glasbandes 16 auf der Zieheinrichtung 22 erfolgt. In Fig. 3 ist ein aus der Zieheinrichtung 22 ausgezogenes Glasband 16 schematisch dargestellt. Auf die Darstellung von Ziehrollen, Kühlzonen und dergleichen mehr wurde aus Gründen der Übersichtlichkeit verzichtet. Das Glasband 16 wird nach dem Verlassen der Zieheinrichtung 22 zunächst automatisch über eine Inspektionseinrichtung 60 kontrolliert. Es kann sich hierbei bspw. um ein kameragestütztes System handeln. Anschließend wird das Glasband 16 über eine Laserschneideinrichtung mit mehreren Lasern 52, 54, 56, 58 in einer Reihe von Einzelbahnen 16', 16", 16"', 16 ^IV , 16 ^V aufgeteilt. Diese Einzelbahnen 16', 16", 16'", 16 ^lv , 16 ^V mit einer Breite von z.B. jeweils 10 cm können dann in entsprechender Weise wie gemäß Fig. 2 weiterverarbeitet werden oder jeweils mit Papier ausgewickelt werden.

Beispiele

Im Down-Draw- Verfahren werden Glasbänder aus dem Glas D263 mit einer Dicke von 30 μm und Glasbänder aus dem Glas AF45 mit einer Dicke von 50 μm hergestellt und zusammen mit Papier aufgewickelt.

Anschließend wurde die Eignung der hergestellten Glasfolien zur Herstellung von Kondensatoren überprüft.

Die typische Zusammensetzung der beiden Gläser AF45 und D263, die beide von der Schott AG hergestellt und vertrieben werden, ist in Tabelle 1 zusammengefasst.

Beim Glas AF45 handelt es sich demnach um ein alkalifreies Glas, das erfindungsgemäß besonders bevorzugt ist. Dagegen handelt es sich bei dem Glas D263 um ein Vergleichsbeispiel, da dieses Glas 16 Gew.-% an Alkalioxiden enthält.

Die mittlere Rauhigkeit (RMS), nach DIN ISO 1302 auch als arithmetischer Mitten- rauhwert (Ra) bezeichnet, liegt bei beiden Glasbändern zwischen etwa 0,4 und 0,5 nm. Die Oberfläche ist also äußerst glatt. Die dielektrische Durchschlagsfestigkeit der beiden Glasschichten AF45 und D263 wurde bestimmt. Hierbei zeigt es sich bei der Glasfolie aus AF45 mit 50 μm Dicke eine hohe Durchschlagsfestigkeit von etwa 5 bis 7 MV/cm.

Beim Vergleichsbeispiel aus D263 zeigte sich eine mittlere Durchschlagsfestigkeit von nur etwa 4 MV/cm. Dies bedeutet, dass die dielektrische Durchschlagsfestigkeit des alkalifreien Glases AF45 deutlich besser ist, als diejenige des alkalihaltigen Glases D263. In diesem Zusammmenhang ist zu berücksichtigen, dass es allgemein bekannt ist, dass die Durchschlagsfestigkeit eines Dielektrikums mit abnehmender Dicke (bis zu einem gewissen Grenzwert hin) zunimmt. Damit zeigt die die deutlich verbesserte Durchschlagsfestigkeit des alkalifreien Glases AF45, da eine höhere Durchschlagsfestigkeit trotz der größeren Dicke gemessen wurde.

Die gesamte Energiedichte E hängt mit der Feldstärke U/d wie folgt zusammen:

wobei ε ₀ = 8,854187 • 10 ¹² As/Vm dielektrische Feldkonstante ist, ε die Permittivitäts- zahl ist, U die angelegte Spannung ist und d die Dicke des Dielektrikums ist. Die Permittivitätszahl für AF45 wurde mit 6,2 bestimmt. Unter der Annahme einer dielektrischen Durchschlagsfeldstärke von 7 MV/cm erhält man die Energiedichte für das Glas AF45 mit 20 • 10 ⁶ Ws/m ³ , was 3,7 Wh/1 entspricht.

Tab. 2

Unter der Annahme der erwarteten höheren dielektrischen Durchschlagsfeldstärke von 12 MV/cm bei einer dünneren Glasfolie für das Glas AF45 erhält man eine Energiedichte von etwa 40 • 10 ⁶ Ws/m ³ , was 11 Wh/1 entspricht.

Für das Glas D263, das etwa 16 Gew.-% Alkalioxide enthält wurde dagegen eine dielektrische Durchschlagsfestigkeit von lediglich etwa 4 MV/cm bestimmt, was zu einer entsprechend niedrigeren charakteristischen Energiedichte führt.

Die deutlich höhere dielektrische Durchschlagsfestigkeit des Glases AF45 im Vergleich zum Glas D263 wird auf die Alkalifreiheit des Glases AF45 zurück geführt. Es wird davon ausgegangen, dass andere alkalifreie Gläser, wie bspw. AF32, AF37 und 8252, die ebenfalls von der Schott-AG hergestellt und vertrieben werden, zu gleich guten Ergebnissen führen. Die Zusammensetzung dieser Gläser ist in Tab. 2 angegeben.

In Tab. 3 sind weitere alkalifreie Gläser zusammengefasst, die für die erfindungsgemäße Herstellung von Kondensatoren besonders geeignet sind.

Es versteht sich, dass in den vorgenannten Gläsern gemäß der Tab. 1 bis 3 etwa bis zu 0,5 Gew.-% an Alkalioxiden als Verunreinigungen enthalten sein können (auf Grund von Verunreinigungen der Rohstoffe und Ausschmelzungen aus der Feuerfestverkleidung).

In Fig. 6 ist für das Glas AF45 der Zusammenhang zwischen der Durchschlagsfeldstärke (kV/mm) und der Dicke der Glasschicht (mm) grafisch dargestellt. Man erkennt, dass bei geringerer Dicke die Durchschlagsfeldstärke zunimmt.

In Fig. 7 ist für das Glas AF45 die Güte der Glasschicht (V/mm ³ ) als Funktion der Probendicke (mm) dargestellt, wobei für die Rauhigkeit RMS ein Wert von 0,4 Na- nometer (typisch für feuerpolierte Oberflächen) vorausgesetzt ist. Man erkennt, dass besonders vorteilhafte Werte oberhalb von 20 ¹² V/mm ³ liegen. Hiermit erreicht man höchste Energiedichten.