Beschreibung

Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer

Gasseparationskammer und Gasseparationskammer

Die Erfindung betrifft einen Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer und eine

Gasseparationskammer .

Im Allgemeinen können Vakuumprozessieranlagen verwendet werden, um Substrate, wie beispielsweise plattenförmige

Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu

prozessieren, z.B. zu bearbeiten, zu beschichten, zu

erwärmen, zu ätzen und/oder strukturell zu verändern.

Beispielsweise kann eine Vakuumprozessieranlage als

Vakuumbeschichtungsanlage eingerichtet sein zum Beschichten eines Substrats innerhalb der Vakuumbeschichtungsanlage. Im Allgemeinen kann es erforderlich sein, ein zu prozessierendes Substrat in der Vakuumprozessieranlage zwischen

unterschiedlichen Prozessbedingungen, z.B. unterschiedlichen Umgebungsdrücken oder z.B. unterschiedlichen

Gaszusammensetzungen, zu transportieren.

Dazu kann eine Vakuumbeschichtungsanlage (Anlage) mehrere Kammern, Sektionen (Kompartments) , z.B. Prozesskammern, aufweisen, sowie ein Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage hindurch. Verschiedene Kammern einer Vakuumprozessieranlage können mittels so genannter Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf-Beschichtungsanlagen ( In-Line-Prozessieranlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw. vertikaler Schottwände. Dabei kann jede Kammerwand (Schottwand) eine Substrat- Transfer-Öffnung (einen Substrat-Transfer-Spalt) derart aufweisen, dass ein Substrat durch die Kammerwand hindurch transportiert werden kann, z.B. von einer ersten Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einem ersten Umgebungsdruck in eine zweite Kammer einer Vakuumprozessieranlage mit einem zweiten Umgebungsdruck. Durch die Substrat-Transfer-Öffnung hindurch kann dabei ein Austausch von Gas zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer erfolgen, so dass diese

ungenügend voneinander gassepariert sind.

Komplexe Prozesse können eine wirkungsvollere Gasseparation (Gastrennung) erfordern als mittels einer Kammerwand mit einer Substrat-Transfer-Öffnung erreicht werden kann.

Beispielsweise kann eine Beschichtung von Substraten mit Lagen unterschiedlicher Zusammensetzung (z.B.

unterschiedlicher Materialien) verschiedene

Prozessbedingungen (z.B. metallisch gegenüber

reaktiv/oxydisch oder unterschiedliche

Reaktivgaszusammensetzungen wie Ar/ 2 gegenüber Ar/02) und damit verbunden eine wirkungsvolle gastechnische Trennung der Prozessbedingungen voneinander erfordern, welche ein

Vermischen der sich voneinander unterscheidenden

Prozessbedingungen verringert (Gasseparation) .

Dazu kann eine zusätzliche Kammer zwischen sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen angeordnet werden, z.B. zwischen zwei Prozesskammern, und als sogenannte

Gasseparationskammer eingerichtet sein oder werden, mittels derer eine Vermischung der Prozessbedingungen, bzw. ein

Austausch von Gas zwischen den zwei Prozesskammern, reduziert werden kann.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer mittels eines Kammergehäuses

bereitgestellt sein oder werden, welche es ermöglicht, zwei an die Gasseparationskammer angrenzende Prozessbedingungen wirksam voneinander zu separieren, ohne dass der

Substrattransport zwischen den angrenzenden

Prozessbedingungen beeinträchtigt wird. Beispielsweise können kontinuierlich Substrate durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden und gleichzeitig ein Austausch von Gas zwischen den angrenzenden Prozessbedingungen begrenzt werden .

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen

Ausführungsformen einen Gasseparationskanal (Gastrennkanal) aufweisen, welcher die Substrat-Transfer-Öffnungen der angrenzenden Kammern miteinander verbindet und durch den das Substrat hindurch transportiert werden kann. Anschaulich erhöhen die geometrischen Abmessungen (z.B. dessen

Querschnittsfläche) und die geometrische Form des

Gasseparationskanals den Strömungswiderstand, welchen Gas überwinden muss, um durch den Gasseparationskanal hindurch zu gelangen, und damit die Gasseparation mittels des

Gasseparationskanals. Ferner kann die Gasseparationskammer mit einer Pumpe (z.B. einer Hochvakuumpumpe, z.B. einer

Turbomolekularpumpe) verbunden sein, welche es ermöglicht, einen Teil des Gases aus dem Gasseparationskanal abzupumpen zum Erhöhen der Gasseparation der Gasseparationskammer.

Werden mehrere Pumpen verwendet, können die mittels der

Pumpen abgepumpten Bereiche innerhalb der

Gasseparationskammer mittels zusätzlicher Gastrennwände voneinander gassepariert sein, so dass ein Gasaustausch innerhalb der Gasseparationskammer zwischen den

gasseparierten Bereichen reduziert werden kann. Die

Überlagerung aller zur Gasseparation beitragenden Prozesse kann durch den (Gas- ) Leitwert des Gasseparationskanals, bzw. der Gasseparationskammer, ausgedrückt werden, welcher umso kleiner ist, desto größer die Gasseparation ist. Die Gasseparation beschreibt anschaulich einen Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen

vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B.

gasseparierten Bereichen). Die Bauelemente (z.B. die Teile einer Gasseparationsstruktur) , welche zur Gasseparation beitragen, können derart eingerichtet sein, dass der

Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B. gasseparierten Bereichen) aufrecht erhalten werden kann (z.B. stabil) . Mit anderen Worten kann ein Gasaustausch zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen und

voneinander gasseparierten Bereichen verringert werden, z.B. je größer die Gasseparation zwischen den Bereichen ist.

Damit das Innere der Gasseparationskammer gewartet werden kann, kann die Gasseparationskammer einen abnehmbaren

Kammerdeckel aufweisen, welcher es ermöglicht, die

Gasseparationskammer zu öffnen. Gemäß verschiedenen

Ausführungsformen kann der Kammerdeckel derart eingerichtet sein, dass eine Pumpe zum Abpumpen der Gasseparationskammer daran befestigt werden kann. Mit anderen Worten kann der Kammerdeckel als sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein. Dazu kann der Kammerdeckel eine entsprechende

Anschlussöffnung für die Pumpe aufweisen, durch welche hindurch das Innere der Gasseparationskammer abgepumpt werden kann. Ein solcher Kammerdeckel kann anschaulich als

sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein.

Ein Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer, wobei sich der Kammerdeckel im

Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt, kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer

Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; wobei der

Hochvakuumpumpen-Anschluss eine Öffnung aufweist, welche den Kammerdeckel durchdringt; und ein Trennelement, welches sich in der Öffnung derart quer zur Kammerdeckel-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen-Anschluss mittels des Trennelements in zumindest einen ersten Öffnungsbereich und einen zweiten Öffnungsbereich separiert ist.

Mit anderen Worten kann die Öffnung des Hochvakuumpumpen- Anschlusses mittels des Trennelements in zumindest den ersten Öffnungsbereich und den zweiten Öffnungsbereich separiert sein . Herkömmliche Gasseparationskammern und/oder mit herkömmlichen Kammerdeckeln ausgestattete Gasseparationskammern werden bisher in lediglich zwei (gas ) separierte Teilvolumina

unterteilt. Mit anderen Worten ermöglichen herkömmliche

Anordnungen einen maximal zweistufigen Zugriff in die

Gasseparationskammer, was die Flexibilität bisheriger

Lösungen erheblich begrenzt. Beispielsweise lässt sich ein möglichst geringer Leitwert der Gasseparationskammer

erreichen, indem beide gasseparierten Bereiche mit dem

Gasseparationskanal verbunden sind, so dass dieser zweistufig aktiv abgepumpt werden kann.

Beispielsweise werden bisher für eine mehr als zweistufige aktive Gastrennung (Gasseparation) mindestens zwei

Kammerdeckel und damit verbunden mindestens zwei

Gasseparationskammern benötigt. Dies erfordert es, eine entsprechende Anlagenlänge und/oder eine entsprechende Anzahl von entsprechenden Kammern (bzw. Kompartments ) vorzuhalten, welche mit den zusätzlichen Kammerdeckeln ausgestattet werden können. Bestimmte Prozessbedingungen und Schichtsysteme können beispielsweise die Verwendung mehrerer

Gasseparationskammern und entsprechender Kammerdeckel

hintereinander erfordern, was zur Verlängerung der

Prozessieranlage um mindestens eine Kammer führt.

Mit anderen Worten wird eine Prozessanlage bisher mit

zusätzlichen Kammern ausgestattet, um die Anzahl

gasseparierter Bereiche zu erhöhen, deren Betrieb an den Bedarf (z.B. an einen Prozess) angepasst werden kann. Das Ausrüsten bereits bestehender Anlagen mit zusätzlichen

Kammern kann allerdings mit einem hohen Aufwand verbunden und unwirtschaftlich sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gasseparation einer Gasseparationskammer pro Pumpe, welche an die

Gasseparationskammer angeschlossen ist, erhöht werden. Dazu kann das Saugvermögen (Pumpleistung) einer Pumpe mittels des Trennelements aufgeteilt werden zum Abpumpen mindestens zweier gasseparierter Bereiche der Gasseparationskammer mittels der Pumpe.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann dadurch die Anzahl von gasseparierten Bereichen in einer Gasseparationskammer bei gleichbleibender Länge der Gasseparationskammer gegenüber herkömmlichen Lösungen erhöht sein oder werden. Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass die Gastrennung

(Gasseparation) zwischen an die Gasseparationskammer

angrenzenden Prozessen erhöht werden kann.

Ferner kann der Leitwert des Gasseparationskanals (bzw. der Gasseparationskammer) sowohl vor, als auch nach der

Anlagenmontage (z.B. nach der Fertigstellung einer

Vakuumprozessieranlage) mit einfachen Mitteln auf ein Minimum reduziert und damit die Gastrennung maximiert werden.

Beispielsweise können bereits bestehende Anlagen mit

einfachen Mitteln umgerüstet werden, so dass deren

Gastrennung kostengünstig und wirtschaftlich maximiert werden kann .

Beispielsweise kann ein herkömmlicher Pumpdeckel, welcher beispielsweise zwei Pumpreihen aufweisen kann, mittels zusätzlicher Einbauten modifiziert werden und zu einem

Pumpdeckel mit vierstufiger Gastrennung (mit anderen Worten mit vier Pumpstufen) umgerüstet werden. Beispielsweise kann jedes herkömmliche Teilvolumina durch ein weiteres

Gastrennblech halbiert werden. Die Saugleistung (das

Saugvermögen) der jeweiligen Pumpreihe wird somit ebenfalls aufgeteilt. Eine Pumpstufe (mit anderen Worten eine

Gastrennstufe) kann einen separat abpumpbaren und

gasseparierten Bereich der Gasseparationskammer bezeichnen.

Anschaulich wurde erkannt, dass der verringernde Einfluss weiterer Pumpstufen auf den Leitwert der Gasseparationskammer (bzw. des Gasseparationskanals) größer ist als der Verlust an Saugleistung pro Pumpstufe. Somit kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine erhöhte Gastrennung gegenüber einer herkömmlichen zweistufigen Gastrennung erreicht werden, ohne die Anzahl der Pumpen zu erhöhen. Dies ermöglicht es, eine erhöhte Gastrennung kostengünstig bereitzustellen.

Analog lassen sich die herkömmlichen Teilvolumina mittels weiterer Gastrennwände in beliebig viele neue Teilvolumina aufteilen und somit die Anzahl der Gastrennstufen erhöhen, was zu einer erhöhten Gastrennung führen kann. Die Erhöhung der Gastrennung mit steigender Anzahl der Gastrennwände wird gleichzeitig von der Verringerung des Abstandes zweiter

Gastrennwände voneinander überlagert, was das Abpumpen der gasseparierten Bereiche erschwert. Anschaulich erzeugt ein geringer Abstand der Gastrennwände zueinander einen

Strömungswiderstand, welcher überwunden werden muss zum

Abpumpen von Gas durch die Gastrennwände hindurch. Für die Anzahl der Gastrennstufen gibt es daher ein von der Saugleistung der Pumpen und den Abmessungen der

Gasseparationskammer abhängiges Optimum, welches für den jeweils vorliegenden Fall zu bestimmen ist zum Minimieren des Leitwerts der Gasseparationskammer (Leitwertreduktion) .

Dadurch können Gasseparationskammern eingespart werden, was es z.B. ermöglicht, Anlagen bei gleicher Funktionalität gegenüber herkömmlichen Lösungen kompakter (z.B. kürzer) bauen zu können. Kompaktere Anlagen können beispielsweise in kleinere Räumlichkeiten untergebracht werden und somit kostensenkend auf den Aufbau und/oder den Unterhalt der

Anlage wirken.

Beispielsweise kann eine Gasseparationskammer bei

gleichbleibender Anzahl von gasseparierten Bereichen

gegenüber herkömmlichen Lösungen verkürzt sein oder werden. Damit kann erreicht werden, dass eine Prozessieranlage effizienter (z.B. kostensparender oder mit höherer

Produktivität) betrieben werden und anschaulich mehr

Funktionalität auf kürzeren Strecken (z.B. Länge der

Prozessieranlage oder Abstand zweier gasseparierter

Prozesskammern) untergebracht werden kann.

Ferner wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine

Gasseparationsstruktur derart bereitgestellt, dass jeder der mittels der Gasseparationsstruktur gasseparierten Bereiche der Gasseparationskammer an mindestens eine Pumpe angrenzt.

Dies ermöglicht es, jeden der gasseparierten Bereiche mittels der angrenzenden Pumpe abzupumpen.

Anschaulich kann mittels der hierin beschriebenen Anordnung eine möglichst große Gasseparation und/oder Flexibilität bei der Anlagenkonfiguration erreicht werden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement plattenförmig sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei einander gegenüberliegende Endabschnitte des Trennelements an den Kammerdeckel angrenzen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der

Hochvakuumpumpen-Anschluss einen Rohransatz aufweisen, welcher von der Öffnung weg erstreckt, wobei das Trennelement in den Rohransatz hinein erstreckt sein kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel ein Länge entlang einer Längsrichtung in der Kammerdeckel- Ebene und eine Breite quer zur Längsrichtung aufweisen, wobei die Breite kleiner ist als die Länge, wobei das Trennelement in die Längsrichtung erstreckt ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement an dem Hochvakuumpumpen-Anschluss und/oder an dem

Kammerdeckel befestigt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement an dem Hochvakuumpumpen-Anschluss befestigt sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel ferner eine Turbomolekularpumpe mit einem drehbar gelagerten Rotor aufweisen; und ein Abdeckelement, welches in einem

Abstand zu dem Rotor derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwischen dem Rotor und dem Abdeckelement ein

Gasseparationsspalt gebildet ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der

Gasseparationsspalt eine Spalthöhe von weniger als 10 mm aufweisen .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement plattenförmig sein und sich senkrecht zur Rotationsachse des Rotors erstrecken.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement eine freiliegende Stirnfläche des Rotors vollständig

abdecken.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement kreisförmig sein und einen Durchmesser von mehr als 80 mm aufweisen .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel ferner Folgendes aufweisen: ein Ringelement, welches an der Turbomolekularpumpe lösbar befestigt ist; und ein

Verbindungselement, mittels welchem das Abdeckelement an dem Ringelement befestigt ist. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das

Verbindungselement plattenförmig sein und sich parallel zur Rotationsachse des Rotors erstrecken. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Rotor mehrere Rotorblätter aufweisen, wobei das Verbindungselement in einem Abstand zu den mehreren Rotorblättern angeordnet ist, wobei der Abstand geringer ist als 10 mm.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das

Verbindungselement in Richtung der Rotationsachse des Rotors eine Ausdehnung von mehr als 30 mm aufweisen.

Der Kammerdeckel und die Kammeröffnung des Kammergehäuses können derart eingerichtet sein, dass der Kammerdeckel die

Kammeröffnung vakuumdicht verschließt, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist. Dazu kann der

Kammerdeckel passend zur Kammeröffnung geformt sein, so dass ein Spalt zwischen dem Kammerdeckel und dem Kammergehäuse möglichst klein ist, wenn der Kammerdeckel in der

Kammeröffnung aufgenommen ist. Ferner können der Kammerdeckel und/oder die Kammeröffnung beispielsweise entsprechende

Dichtungen aufweisen, welche den (verbleibenden) Spalt zwischen dem Kammerdeckel und dem Kammergehäuse abdichten, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist.

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen

Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung zum Aufnehmen eines Kammerdeckels; einen abnehmbaren Kammerdeckel gemäß der vorangehenden

Beschreibung, welcher in der Kammeröffnung aufgenommen diese vakuumdicht verschließt; ein Flächenelement (z.B. ein

Wandelement) , welches zumindest einen ersten Bereich in dem Kammergehäuse von einem zweiten Bereich in dem Kammergehäuse gassepariert, wobei das Flächenelement (z.B. das Wandelement) derart eingerichtet ist, dass dieses an das Trennelement angrenzt, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist, so dass der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: eine

Dichtungsstruktur, welche derart eingerichtet ist, dass diese einen Spalt zwischen dem Trennelement und dem Flächenelement (z.B. dem Wandelement) abdichtet, wenn der Kammerdeckel in der Kammeröffnung aufgenommen ist.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammerwand; wobei die Kammerwand einen

Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer

Hochvakuumpumpe an die Kammerwand aufweisen kann; wobei der Hochvakuumpumpen-Anschluss eine Öffnung aufweisen kann, welche die Kammerwand durchdringt; ein Flächenelement (z.B. ein Wandelement) , welches sich in der Öffnung derart quer zur Kammerwand-Ebene erstreckt, dass der Hochvakuumpumpen- Anschluss (anschaulich die Öffnung) mittels des

Flächenelements (z.B. des Wandelements) in zumindest einen ersten Öffnungsbereich und einen zweiten Öffnungsbereich separiert ist; wobei das Flächenelement (z.B. das

Wandelement) in das Kammergehäuse hinein erstreckt ist und in diesem zumindest einen ersten Bereich von einem zweiten

Bereich gassepariert, wobei der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich hindurch und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.

Die Kammerwand mit dem Flächenelement (z.B. dem Wandelement) kann beispielsweise analog zu dem Kammerdeckel mit dem

Trennelement eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist. Beispielsweise kann das Flächenelement (z.B. das

Wandelement) plattenförmig sein, zwei einander

gegenüberliegende Endabschnitten des Flächenelements (z.B. des Wandelements) können an die Kammerwand angrenzen und/oder das Flächenelement (z.B. das Wandelement) kann in den

Rohransatz hinein erstreckt (z.B. eingesteckt) sein.

Anschaulich kann das Trennelement ein Teil des

Flächenelements (z.B. des Wandelements) sein und mit diesem verbunden (z.B. stoffschlüssig oder einstückig) sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammerwand als Kammerdeckel ausgebildet sein und das Kammergehäuse kann eine Kammeröffnung zum Aufnehmen des Kammerdeckels aufweisen. Ist das Trennelement Teil des Flächenelements (z.B. des

Wandelements) , kann dieses zum Verschließen des

Kammergehäuses mit dem Kammerdeckel in die Öffnung, bzw. den Hochvakuumpumpen-Anschluss , einsteckbar eingerichtet sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel mit dem Kammergehäuse abnehmbar gekuppelt sein, z.B. wenn dieser auf dem Kammergehäuse aufliegt oder das Kammergehäuse abdichtet .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: ein weiteres Flächenelement (z.B. ein weiteres Wandelement (Kanalwand)), welches in dem Kammergehäuse angeordnet ist und mit diesem einen Gasseparationskanal bildet, wobei das Kammergehäuse zwei Verbindungsöffnungen aufweist, zum Anschließen des

Kammergehäuses an ein gemeinsames Vakuumsystem einer

Prozessieranlage, wobei der Gasseparationskanal zwischen den zwei Verbindungsöffnungen erstreckt ist, wobei das weitere Flächenelement (z.B. das weitere Wandelement) eine an den ersten Bereich angrenzende Durchgangsöffnung aufweist, so dass der Gasseparationskanal durch den ersten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: ein

innerhalb des Kammergehäuses angeordnetes Transportsystem zum Transportieren eines Substrats durch den Gasseparationskanal und/oder durch die zwei Verbindungsöffnungen hindurch, wobei das Flächenelement (z.B. das Wandelement) oberhalb des

Transportsystems angeordnet ist. Das Transportsystem kann beispielsweise durch den Gasseparationskanal hindurch

erstreckt sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer ferner Folgendes aufweisen: eine

verstellbare Blendenstruktur welche sich in den

Gasseparationskanal erstreckt und eine effektive

Querschnittsfläche des Gasseparationskanals definiert, wobei die Blendenstruktur derart eingerichtet ist, dass mittels Verstellens der Blendenstruktur die effektive

Querschnittsfläche des Gasseparationskanals verändert wird.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die verstellbare Blendenstruktur in dem Gasseparationskanal angeordnet sein.

Ein Hochvakuumpumpen-Anschluss kann gemäß verschiedenen

Ausführungsformen eine Öffnung (Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung) aufweisen, welche den Kammerdeckel

durchdringt (mit anderen Worten eine Durchgangsöffnung in dem Kammerdeckel), z.B. eine Durchgangsöffnung mit einer

kreisförmigen Querschnittsfläche. Die Ausdehnung einer

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung beschreibt anschaulich die Größe der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung und kann für eine kreisförmige Querschnittsfläche beispielsweise von einem Durchmesser der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung definiert sein .

In einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung (bzw. der

Durchgangsöffnung in dem Kammerdeckel) kann gemäß

verschiedenen Ausführungsformen ein Trennelement (z.B. ein Wandelement oder ein Steg) angeordnet sein, welches die

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung in zwei an das Trennelement angrenzende Öffnungsbereiche (Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnungsbereiche) teilt. Das Trennelement kann beispielsweise Teil einer Gasseparationsstruktur (Gastrennstruktur) sein. Die Ausdehnung der Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung mit mehreren Öffnungsbereichen kann als Ausdehnung der Fläche gesehen werden, über welche sich die mehreren Öffnungsbereiche erstrecken. Mit anderen Worten kann sich die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe über die funktionell gemeinsam wirksame Querschnittsfläche der Durchgangsöffnungen (bzw. der gemeinsam wirksamen Öffnungsbereiche) erstrecken, durch welche eine an die Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung angeschlossene Hochvakuumpumpe abpumpt.

Die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen größer sein als

ungefähr 150 mm, z.B. größer als ungefähr 200 mm.

Beispielsweise kann die Ausdehnung einer Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung in einem Bereich von ungefähr 200 mm bis ungefähr 300 mm liegen. Eine Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung kann Teil eines

Hochvakuumpumpen-Anschlusses sein, wobei der

Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer

Hochvakuumpumpe an den Hochvakuumpumpen-Anschluss

eingerichtet sein kann. Beispielsweise kann der Kammerdeckel einen Hochvakuumpumpen-Anschluss zum Anschließen einer

Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel aufweisen.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein

Hochvakuumpumpen-Anschluss ein Rohr (z.B. ein Verbindungsrohr oder ein Rohransatz) aufweisen, welches sich von der

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung weg erstreckt. An einem der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung gegenüberliegendem

Endabschnitt des Rohres kann ein Anschlussflansch an dem Rohr befestigt sein.

Mit anderen Worten kann das Rohr zwischen dem

Anschlussflansch und dem Kammerdeckel erstreckt sein und die Durchgangsöffnung der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung mit dem Anschlussflansch der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung verbinden, so dass der Anschlussflansch der Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung in einem Abstand zu dem Kammerdeckel

angeordnet sein kann. Das Rohr kann an dem Kammerdeckel befestigt sein und die Durchgangsöffnung umgeben und/oder kann in die Durchgangsöffnung hineinragen und in der

Durchgangsöffnung befestigt sein. Anschaulich kann ein solcher Anschlussflansch vakuumdicht mit dem Kammerdeckel verbunden sein, z.B. mittels des Rohres.

Der Anschlussflansch kann beispielsweise Bohrungen zum

Befestigen einer Hochvakuumpumpe mittels Schrauben aufweisen, so dass eine Hochvakuumpumpe an dem Anschlussflansch

befestigt werden kann, wobei zum Befestigen der

Hochvakuumpumpe passende Schrauben in die Bohrungen

geschraubt werden können.

Weist der Hochvakuumpumpen-Anschluss kein Rohr auf, kann der Anschlussflansch an dem Kammerdeckel befestigt sein oder kann der Anschlussflansch ein Teil des Kammerdeckels sein.

Beispielsweise können die Bohrungen in dem Kammerdeckel hineinragen . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung einen ringförmigen

Dichtbereich aufweisen, welcher eingerichtet ist, gegen eine Hochvakuumpumpe gepresst zu werden, wenn diese an der

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt wird. Der

Dichtbereich kann derart eingerichtet sein, dass die

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung vakuumdicht mit der

Hochvakuumpumpe verbunden wird, wenn die Hochvakuumpumpe an der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt wird. Dazu kann beispielsweise eine Dichtung, z.B. eine passende

ringförmige Dichtung, z.B. eine Ringdichtung oder ein

Zentrierring mit Dichtung, zwischen dem Dichtbereich und der Hochvakuumpumpe angeordnet werden zum Abdichten eines Spalts, welcher zwischen dem Dichtbereich und der Hochvakuumpumpe verbleiben kann, wenn die Hochvakuumpumpe an der

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung befestigt ist (bzw. wenn die Hochvakuumpumpe gegen den Dichtbereich gepresst wird) .

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen

Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Kammeröffnung (zum Aufnehmen eines Kammerdeckels); einen abnehmbaren Kammerdeckel gemäß der vorangehenden

Beschreibung, welcher (in der Kammeröffnung aufgenommen) die Kammeröffnung vakuumdicht verschließt; ein sich von der Kammeröffnung aus in das Kammergehäuse erstreckendes

Flächenelement (z.B. ein Wandelement (z.B. eine

Gastrennwand) ) , welches einen an den ersten Öffnungsbereich angrenzenden ersten Bereich von einem an den zweiten

Öffnungsbereich angrenzenden zweiten Bereich gassepariert, wobei das Flächenelement (z.B. das Wandelement) an ein

Trennelement des Kammerdeckels angrenzt, so dass der erste Bereich durch den ersten Öffnungsbereich hindurch und der zweite Bereich durch den zweiten Öffnungsbereich hindurch abpumpbar ist.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammer

(Kompartment ) mittels eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden oder mehrere Kammern (Kompartments ) können in einem gemeinsamen Kammergehäuse bereitgestellt sein oder werden, wobei das Kammergehäuse beispielsweise mehrere

Kammerwände aufweisen kann, welche die eine Kammer begrenzen bzw. die mehreren Kammern begrenzen und voneinander

separieren .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammergehäuse zum Bereitstellen eines Vakuums oder zumindest eines

Unterdrucks innerhalb des Kammergehäuses eingerichtet sein. Anschaulich kann das Kammergehäuse (z.B. dessen Kammerwände) derart stabil eingerichtet sein, dass dieses evakuiert

(abgepumpt) werden kann, so dass von außen ein Druck (z.B. der herrschende Luftdruck oder ein Druck welcher mehrere Größenordnungen größer ist als der Druck im Inneren des Kammergehäuses) auf das Kammergehäuse (bzw. dessen

Kammerwände) wirken kann, wenn dieses evakuiert ist, ohne dass das Kammergehäuse irreversibel verformt und/oder beschädigt wird. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse als Vakuumkammer eingerichtet sein.

Em Kammergehäuse einer Vakuumprozessieranlage, z.B. einer Inline-Prozessieranlage, kann Bestandteil (ein Grundkörper) einer Vakuumkammer sein, z.B. einer Schleusenkammer, einer Pufferkammer, einer Transferkammer, einer Prozesskammer (z. einer Beschichtungskammer) oder einer Gasseparationskammer. Dabei kann die jeweilige Funktionsweise oder die Betriebsar der Vakuumkammer aufgrund des mit dem Kammergehäuse

verwendeten Kammerdeckels in Verbindung mit den in dem

Kammergehäuse angeordneten Einbauten (z.B. Gastrennwände, Ventile, Füllkörper, Transportsystem, usw.) definiert sein. Beispielsweise kann das Kammergehäuse mit einem

Schleusenkammerdeckel als Schleusenkammer verwendet werden und mit einem Pufferkammerdeckel als Pufferkammer oder

Transferkammer und mit einem noch anderen Kammerdeckel als Beschichtungskammer (oder Prozesskammer) .

Damit das Kammergehäuse evakuiert werden kann, kann das Kammergehäuse (z.B. der Kammerdeckel) mit einer

Vorvakuumpumpen-Anordnung und/oder einer Hochvakuumpumpen- Anordnung gekoppelt sein. Somit kann in dem mittels des Kammerdeckels abgedichteten Kammergehäuse zumindest ein Vorvakuum (oder auch ein Hochvakuum) erzeugt werden oder bereitgestellt sein.

Mit anderen Worten können ein Kammergehäuse und ein

zugehöriger Kammerdeckel eine Vorvakuumversorgung aufweisen und/oder mit einer zum Vorvakuumversorgung verbunden sein zum Evakuieren zumindest einer Kammer der Prozessieranlage oder der gesamten Prozessieranlage und/oder zum Versorgen des Kammergehäuses oder anderer Pumpen (z.B. Hochvakuumpumpen) mit Vorvakuum.

Zusätzlich zu der Vorvakuumversorgung kann ein Kammerdeckel eine Hochvakuumpumpen-Anordnung (z.B. eine oder mehrere

Hochvakuumpumpen) aufweisen, welche mit Vorvakuum versorgt wird, um den Betrieb der Hochvakuumpumpen zu ermöglichen. Die Versorgung des Kammerdeckels mit Vorvakuum kann mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur (z.B. entsprechende

Rohrverbindungen zu den Hochvakuumpumpen, Abluftrohren, usw.) erfolgen, welche mit einer Vorvakuumpumpen-Anordnung (z.B. eine oder mehrere Vorvakuumpumpen) gekoppelt sein kann.

Ferner kann die Vorvakuumpumpen-Anordnung zusätzlich direkt an das Kammergehäuse gekoppelt sein zum Bereitstellen eines Vorvakuums in der Vakuumkammer der Prozessieranlage.

Ferner kann die Vakuumprozessieranlage ein Transportsystem aufweisen zum Transportieren der Substrate durch die

Vakuumprozessieranlage hindurch. Ein Transportsystem kann z.B. eine Vielzahl von Transportrollen und einen entsprechend mit den Transportrollen gekoppelten Antrieb aufweisen.

Zum Einschleusen eines Substrats in die

Vakuumprozessieranlage hinein oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Vakuumprozessieranlage heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern und/oder eine oder mehrere

Transferkammern verwendet werden. Zum Einschleusen mindestens eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein kann beispielsweise das mindestens eine Substrat in eine belüftete Schleusenkammer eingebracht werden, anschließend kann die Schleusenkammer mit dem mindestens einen Substrat evakuiert werden, und das Substrat kann schubweise aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in eine angrenzende Vakuumkammer (z.B. in die Pufferkammer) der Vakuumprozessieranlage transportiert werden. Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der

Transferkammer können die schubweise eingebrachten Substrate zu einem so genannten Substratband zusammengeführt werden, so dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in entsprechenden Prozesskammern der Vakuumprozessieranlage prozessiert (z.B. beschichtet) werden. Alternativ kann ein Substrat auch direkt aus der

Schleusenkammer in die Transferkammer eingebracht werden, ohne eine Pufferkammer zu verwenden, was beispielsweise eine verlängerte Taktzeit (die zum Einbringen eines Substrat in die Vakuumprozessieranlage hinein benötigte Zeitdauer) verursachen kann.

Ferner kann ein Kammergehäuse beispielsweise mittels eines entsprechenden Kammerdeckels als Prozesskammer oder

Beschichtungskammer genutzt werden, wobei die Prozesskammer oder Beschichtungskammer beispielsweise im Hochvakuumbereich (z.B. im Bereich des Prozessvakuums, z.B. in einem Bereich

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von ungefähr 10 mbar bis ungefähr 10 mbar) betrieben werden kann. Dabei kann der Hochvakuumbereich beispielsweise mittels mindestens einer Hochvakuumpumpe (z.B. einer

Turbomolekularpumpe) erzeugt werden, welche in den

Kammerdeckel integriert und/oder daran befestigt sein kann und welche mittels einer Vorvakuumversorgungsstruktur mit Vorvakuum versorgt werden kann.

In einer Prozesskammer können die eingeschleusten Substrate prozessiert werden, wobei die Prozesskammer einen

Prozesskammerdeckel aufweisen kann, welcher die entsprechende Kammer in dem Kammergehäuse und/oder das entsprechende

Kammergehäuse abdecken und vakuumdicht verschließen kann. An dem Prozesskammerdeckel kann eine Prozessquelle,

beispielsweise ein Magnetron zum Beschichten eines Substrats oder beispielsweise mehrere Magnetrons, befestigt sein.

Beispielsweise kann der Prozesskammerdeckel mindestens ein Rohrmagnetron oder Doppelrohr-Magnetron oder mindestens ein Planarmagnetron oder Doppel-Planarmagnetron aufweisen. Je nach der Art des durchzuführenden Prozesses (z.B.

Erwärmen, Ätzen und/oder strukturelles Verändern) können andere Prozessquellen an dem Prozesskammerdeckel befestigt sein, z.B. eine Blitzlampe, eine Ätzgasquelle, eine

Ionenquelle, usw.

Zwischen zwei Vakuumkammern (oder zwei Kompartments) , z.B. zwei Prozesskammern, kann eine Gasseparationskammer

angeschlossen sein, welche ermöglicht die zwei Prozesskammern wirksam voneinander zu separieren, ohne den Substrattransport zwischen den angrenzenden Vakuumkammern durch deren Substrat- Transfer-Öffnung hindurch zu beeinträchtigen, so dass z.B. kontinuierlich Substrate (z.B. schubweise oder als

Substratband) zwischen den angrenzenden Vakuumkammern durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden können .

Innerhalb der Gasseparationskammer kann eine Gastrennwand zum Gasseparieren zweier Bereiche der Gasseparationskammer angeordnet sein. Die Gastrennwand kann beispielsweise weniger stabil (z.B. dünner) eingerichtet sein verglichen mit einer Kammerwand der Gasseparationskammer (z.B. weniger als halb so dünn) , da diese einem geringeren Druckunterschied standhalten muss als die Kammerwand.

In Verbindung mit der Gastrennwand und/oder einer

Gasseparationsstruktur (welche z.B. den Gasseparationskanal bildet) und einem geeigneten Kammerdeckel kann eine

Vakuumkammer als Gasseparationskammer betrieben werden.

Eine Gasseparationskammer für eine Prozessieranlage kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit zwei Verbindungsöffnungen zum Bilden eines gemeinsamen Vakuumsystems mit der Prozessieranlage, wobei das Kammergehäuse ferner eine Kammeröffnung aufweist; einen (abnehmbaren) Kammerdeckel zum vakuumdichten Verschließen der Kammeröffnung, welcher von einer

Anschlussöffnung zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das gemeinsame Vakuumsystem durchdrungen ist; eine innerhalb der Anschlussöffnung angeordnete und sich in das Kammergehäuse erstreckende Gasseparationsstruktur, welche derart

eingerichtet ist, dass ein Gasaustausch zwischen den zwei Verbindungsöffnungen verringert ist.

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen

Ausführungsformen Folgendes aufweisen: einen Kammerkörper (Kammergehäuse) mit einer Kammeröffnung, wobei innerhalb des Kammerkörpers ein erster Abpumpbereich (erster Bereich) und ein zweiter Abpumpbereich (zweiter Bereich) erstreckt ist; einen die Kammeröffnung vakuumdicht verschließenden

Kammerdeckel mit einem Pumpenanschluss zum Montieren einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; wobei der

Anschlussflansch einen den Kammerdeckel durchdringenden ersten Öffnungsbereich zum Abpumpen des ersten Abpumpbereichs und einen den Kammerdeckel durchdringenden zweiten

Öffnungsbereich zum Abpumpen des zweiten Abpumpbereichs aufweist; eine Gasseparationsstruktur, welche den ersten Öffnungsbereich von dem zweiten Öffnungsbereich trennt und sich zwischen dem ersten Abpumpbereich und dem zweiten

Abpumpbereich in den Kammerkörper erstreckt, so dass ein Gasaustausch zwischen den zwei Abpumpbereichen im

Wesentlichen verhindert wird.

Ein Kammerdeckel zum Abdichten einer Kammeröffnung in einer Gasseparationskammer, der Kammerdeckel aufweisend: einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an den Kammerdeckel; ein Trennelement welches sich in den

Anschlussflansch erstreckt und einen ersten Durchgangsbereich (ersten Öffnungsbereich) des Anschlussflanschs von einem zweiten Durchgangsbereich (zweiten Öffnungsbereich) des

Anschlussflanschs separiert, wobei zwei gegenüberliegende Endabschnitte des Flächenelements (z.B. des Wandelements) an den Anschlussflansch angrenzen. Beispielsweise können die zwei gegenüberliegenden

Endabschnitte des Flächenelements (z.B. des Wandelements) an dem Anschlussflansch befestigt sein. Beispielsweise können die zwei gegenüberliegenden Endabschnitte des Flächenelements (z.B. des Wandelements) mit dem Anschlussflansch verbunden sein .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Flächenelement ein Wandelement aufweisen oder daraus gebildet sein.

Alternativ oder zusätzlich kann das Flächenelement ein

Folienelement und/oder ein Vlies (d.h. ein Verbund aus

Fasern) aufweisen oder daraus gebildet sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement ein Wandelement aufweisen oder daraus gebildet sein.

Alternativ oder zusätzlich kann das Trennelement ein

Folienelement und/oder ein Vlies (d.h. ein Verbund aus

Fasern) aufweisen oder daraus gebildet sein.

Im Allgemeinen kann eine Vakuumprozessieranlage dazu

verwendet werden, Substrate, wie beispielsweise

plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren, z.B. zu bearbeiten, zu beschichten, zu erwärmen, zu ätzen und/oder strukturell zu verändern.

Beispielsweise kann eine Vakuumprozessieranlage als

Vakuumbeschichtungsanlage eingerichtet sein zum Beschichten eines Substrats innerhalb der Vakuumbeschichtungsanlage. Im Allgemeinen kann es erforderlich sein, in der

Vakuumprozessieranlage verschiedene Prozessierbereiche bereitzustellen, in denen jeweils unabhängig voneinander entsprechende Prozessbedingungen bereitgestellt sein können oder werden können, so dass beispielsweise ein zu

prozessierendes Substrat in die verschiedenen

Prozessierbereiche hinein bzw. durch die verschiedenen

Prozessierbereiche hindurch transportiert werden kann und somit unter verschiedenen Prozessbedingungen prozessiert werden kann. Prozessbedingungen können beispielsweise der Gasdruck und die Gaszusammensetzung in dem jeweiligen

Prozessierbereich sein. Beispielsweise kann eine Vakuumprozessieranlage mehrere

Kammern (auch als Sektionen oder Kompartments bezeichnet) aufweisen, z.B. Beschichtungskammern, Schleusenkammer,

Gasseparationskammern und Ähnliches, sowie ein

Transportsystem zum Transportieren des zu beschichtenden Substrats durch die mehreren Kammern der

Vakuumprozessieranlage hindurch. Die jeweiligen Kammern einer Vakuumprozessieranlage können mittels so genannter

Kammerwände oder Schottwände voneinander getrennt sein, beispielsweise bei horizontalen Durchlauf- Beschichtungsanlagen (z.B. so genannten In-Line-

Prozessieranlagen) mittels vertikaler Kammerwände bzw.

vertikaler Schottwände. Dabei kann beispielsweise jede vertikale Kammerwand bzw. vertikale Schottwand eine Substrat- Transfer-Öffnung (auch als Substrat-Transfer-Spalt

bezeichnet) derart aufweisen, dass ein Substrat von einer

Kammer der Vakuumprozessieranlage in eine angrenzende weitere Kammer der Vakuumprozessieranlage durch die vertikale

Kammerwand bzw. vertikale Schottwand hindurch transportiert werden kann. Um in zwei verschiedenen Kammern der

Vakuumprozessieranlage unterschiedliche Prozessbedingungen bereitstellen zu können, kann eine Gasseparation erforderlich sein .

Beispielsweise kann ein Gasaustausch zwischen zwei Kammern, welcher aufgrund der jeweiligen Substrat-Transfer-Öffnungen stattfinden kann, verringert oder im Wesentlichen unterdrückt werden, indem mindestens eine Gasseparationsstruktur

verwendet wird (z.B. in mindestens einer der beiden Kammern) oder indem mindesten eine Gasseparationskammer (mit

mindestens einer Gasseparationsstruktur in der

Gasseparationskammer) zwischen den beiden Kammern vorgesehen ist . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammer einer Vakuumprozessieranlage mittels jeweils eines Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden. Allerdings können in einem Kammergehäuse auch mehrere Kammern bereitgestellt sein oder werden. Ferner können mehrere Kammergehäuse zu einer

gemeinsamen Vakuumkammer (oder auch als

Vakuumprozessieranlage bezeichnet) verbunden sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Kammer einer Vakuumprozessieranlage mittels jeweils eines Kammergehäuses bereitgestellt werden, wobei das Kammergehäuse mindestens eine Deckelöffnung aufweist, wobei die mindestens eine Deckelöffnung mittels eines passenden Kammerdeckels vakuumdicht verschlossen werden kann. An dem Kammerdeckel kann beispielsweise eine Prozessiervorrichtung (z.B. eine Beschichtungsquelle, z.B. ein Magnetron) montiert sein, wobei die Prozessiervorrichtung beim Verschließen des

Kammergehäuses mittels des Kammerdeckels innerhalb der Kammer gehalten werden kann.

Die Kammern einer Vakuumprozessieranlage können

beispielsweise direkt evakuiert werden, indem eine

Vakuumpumpe an das Kammergehäuse angekuppelt wird, welche dann direkt in die Kammer zugreift. Ferner können zumindest einige Kammern einer Vakuumprozessieranlage indirekt

evakuiert werden, d.h. beispielsweise aus benachbarten direkt evakuierten Kammern mit evakuiert werden, z.B. mittels

Durchgangsöffnungen in den Kammerwänden bzw. Schottwänden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel eine Durchgangsöffnung aufweisen, durch welche hindurch die Kammer direkt evakuiert werden kann, wenn der Kammerdeckel die entsprechende Deckelöffnung des Kammergehäuses

vakuumdicht abdichtet, d.h. anschaulich wenn der Kammerdeckel auf das Kammergehäuse aufgelegt ist. Alternativ zu dem Kammerdeckel kann das Kammergehäuse eine fest mit dem restlichen Kammergehäuse verbundene Kammerwand aufweisen. Beispielsweise kann ein Kammergehäuse im

Wesentlichen eine obere und eine untere Kammerwand, zwei seitliche Kammerwände parallel zur Transportrichtung und zwei seitliche Kammerwände senkrecht zur Transportrichtung (auch als Schottwände bezeichnet) aufweisen. In der oberen

Kammerwand kann eine Deckelöffnung bereitgestellt sein oder werden. Ferner kann auch in einer seitlichen Kammerwand parallel zur Transportrichtung eine Deckelöffnung

bereitgestellt sein oder werden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine

Gasseparationskammer bereitgestellt, welche es ermöglicht, zwei an die Gasseparationskammer angrenzende Kammern wirksam voneinander zu separieren (bezüglich einer Gasseparation) , ohne dass der Substrattransport beeinträchtigt wird.

Beispielsweise können kontinuierlich Substrate durch die Gasseparationskammer hindurch transportiert werden und gleichzeitig ein Austausch von Gas durch die

Gasseparationskammer hindurch (entlang der Transportrichtung für das Substrat) begrenzt werden. Anschaulich kann eine Ausbreitung von Gasteilchen entlang der Transportrichtung oder entgegen der Transportrichtung gehemmt werden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine

Vakuumpumpenanordnung bereitgesellt, welche eine effiziente Gasseparation in dem Zugriffbereich einer Turbomolekularpumpe ermöglicht. Beispielsweise wurde erkannt, dass eine

Turbomolekularpumpe im Bereich des Rotors, z.B. über der Rotornabe, an welcher die Schaufelblätter montiert sind, im Wesentlichen keine Pumpleistung aufweist. Somit kann dieser Bereich nahe der Turbomolekularpumpe herkömmlicherweise nicht oder nur unzureichend zu einer Gasseparation beitragen.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Turbomolekularpumpe derart relativ zu einer Gasseparationsstruktur, welche in einer Kammer montiert sein kann, angeordnet sein, dass das Sauvermögen (oder die

Pumpleistung) der Turbomolekularpumpe auf die beiden Bereiche aufgeteilt wird, welche die Gasseparationsstruktur in der Kammer voneinander gassepariert. Beispielsweise kann eine Turbomolekularpumpe derart relativ zu einem

Gasseparationsblech oder einem anderen Gasseparationselement, welches in einer Kammer montiert sein kann, angeordnet sein, dass das Sauvermögen (oder die Pumpleistung) der

Turbomolekularpumpe auf die beiden Bereiche aufgeteilt wird, welche das Gasseparationsblech in der Kammer voneinander gassepariert. In diesem Fall kann jedoch herkömmlicherweise durch den Bereich nahe der Rotornabe hindurch ein

Gasaustausch stattfinden. Gemäß verschiedenen

Ausführungsformen wird dieser Gasaustausch dadurch reduziert, dass ein Gasseparationsspalt zu der (bzw. mit der) Rotornabe gebildet wird. Eine Gasseparationsstruktur kann auch als Gasseparationselement bezeichnet sein oder werden, oder ein Gasseparationselement oder mehrere Gasseparationselemente aufweisen.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Vakuumpumpenanordnung Folgendes aufweisen: eine

Turbomolekularpumpe mit einem drehbar gelagerten Rotor; und ein Abdeckelement, welches in einem Abstand zu dem Rotor derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwischen dem Rotor und dem Abdeckelement ein Gasseparationsspalt gebildet ist . Ein Gasseparationsspalt kann sich tunnelförmig entlang einer Richtung erstrecken, entlang der die Gasseparation erfolgen soll. Aufgrund der möglichst geringen Öffnungsweite des tunnelförmigen Gasseparationsspalts und der im Vergleich zur Öffnungsweite großen Länge des tunnelförmigen

Gasseparationsspalts kann eine effektive Gastrennung in einem Druckbereich von weniger als ungefähr 1 mbar erfolgen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Rotor eine Rotornabe aufweisen, an welcher eine Vielzahl von

Rotorblättern befestigt sein kann. Das Saugvermögen der Turbomolekularpumpe kann im Bereich der Rotornabe

verschwindend gering sein. Anschaulich kann der freiliegende Abschnitt der Rotornabe flächig oder zumindest teilweise flächig sein, so dass mittels eines weiteren flächigen

Elements oder eines weiteren zumindest teilweise flächigen Elements ein Gasseparationspalt gebildet werden kann.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Vakuumpumpenanordnung Folgendes aufweisen: eine

Turbomolekularpumpe mit einem drehbar gelagerten Rotor; und ein Abdeckelement, welches in einem Abstand zu einer

Stirnfläche einer Rotornabe des Rotors derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwischen der Stirnfläche der

Rotornabe und dem Abdeckelement ein Gasseparationsspalt gebildet ist.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der

Gasseparationsspalt eine Spalthöhe von weniger als 10 mm aufweisen, z.B. eine Spalthöhe von weniger als 9 mm, 8 mm, 7 mm, 6 mm, 5 mm, 4 mm, 3 mm, 2 mm oder 1 mm. Anschaulich kann der Abstand möglichst gering sein, wobei jedoch

beispielsweise die Lauftoleranzen für den Rotor und die thermischen Ausdehnungen der beteiligten Bauelemente

berücksichtigt werden sollten.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement plattenförmig sein und sich im Wesentlichen senkrecht zur Rotationsachse des Rotors erstrecken.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement ein Blech sein, z.B. mit einer Blechstärke in einem Bereich von ungefähr 0,5 mm bis ungefähr 5 mm. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement eine freiliegende Stirnfläche des Rotors in Richtung parallel zur Rotationsachse des Rotors vollständig abdecken.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Abdeckelement kreisförmig (bzw. scheibenförmig) sein und einen Durchmesser von mehr als 50 mm aufweisen, beispielsweise einen

Durchmesser von mehr als 60 mm, 70 mm, 80 mm oder 90 mm, oder einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 50 mm bis ungefähr 150 mm.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Stirnfläche des Rotors bzw. die Stirnfläche der Rotornabe des Rotors kreisförmig sein und einen Durchmesser von mehr als 50 mm aufweisen, beispielsweise einen Durchmesser von mehr als 60 mm, 70 mm, 80 mm oder 90 mm, oder einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 50 mm bis ungefähr 350 mm, z.B. einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 50 mm bis ungefähr 150 mm.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die

Turbomolekularpumpe eine kreisförmige Ansaugöffnung (auch als Pumpzugriffsöffnung bezeichnet) aufweisen, z.B. mit einem Durchmesser (z.B. Innendurchmesser) in einem Bereich von ungefähr 150 mm bis ungefähr 500 mm, z.B. in einem Bereich von ungefähr 150 mm bis ungefähr 250 mm.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Durchmesser (z.B. Außendurchmesser) des Abdeckelements mehr als ein

Drittel des Durchmessers (z.B. Innendurchmessers) der

Ansaugöffnung der Turbomolekularpumpe betragen. Somit kann beispielsweise eine ausreichende Gasseparationswirkung erreicht werden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die

Vakuumpumpenanordnung ferner ein Ringelement aufweisen, welches an der Turbomolekularpumpe lösbar befestigt ist. Ferner kann die VakuumpumpenanOrdnung ein Verbindungselement aufweisen, mittels welchem das Abdeckelement an dem

Ringelement befestigt sein kann oder werden kann.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das

Verbindungselement plattenförmig sein und sich parallel zur Rotationsachse des Rotors erstrecken.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Rotor mehrere Rotorblätter aufweisen, wobei das Verbindungselement in einem Abstand von weniger als 10 mm zu den mehreren Rotorblättern angeordnet ist, z.B. in einem Abstand von weniger als 9 mm, 8 mm, 7 mm, 6 mm, 5 mm, 4 mm, 3 mm, 2 mm oder 1 mm.

Anschaulich kann der Abstand möglichst gering sein, wobei jedoch beispielsweise die Lauftoleranzen für die Rotorblätter des Rotors und die thermischen Ausdehnungen der beteiligten Bauelemente berücksichtigt werden sollten.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das (z.B.

plattenförmige) Verbindungselement in Richtung der

Rotationsachse des Rotors eine Ausdehnung von mehr als 30 mm aufweisen. Anschaulich kann sich das Verbindungselement beim Montieren der Turbomolekularpumpe an einer Pumpöffnung in diese hinein erstrecken und eine Gasseparation bzw. eine Aufteilung der Saugleistung ermöglichen.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Vakuumkammeranordnung Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse; ein (z.B. plattenförmiges ) Gasseparationselement (z.B. ein Gasseparationsblech) , welches sich in dem Kammergehäuse erstreckt, eine an das Kammergehäuse gekuppelte

Vakuumpumpenanordnung (z.B. mit einer Turbomolekularpumpe mit mindestens einem drehbar gelagerten Rotor und einem

Abdeckelement, welches in einem Abstand zu dem Rotor derart angeordnet ist, dass zwischen dem Rotor und dem Abdeckelement ein Gasseparationsspalt bereitgestellt ist) , wobei das

Abdeckelement der Vakuumpumpenanordnung und das Gasseparationselement derart miteinander gekuppelt oder verbunden sind, dass ein erster Bereich in dem Kammergehäuse und ein zweiter Bereich in dem Kammergehäuse mittels des Abdeckelements und des Gasseparationselements voneinander gassepariert sind.

In dem Fall, dass ein Verbindungselement verwendet wird, kann auch dieses zur Gasseparation bereitragen, z.B. anschaulich als Verlängerung des Gasseparationselernents .

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.

Es zeigen

Figur 1 eine herkömmliche Gasseparationskammer in einer

schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 2A einen Kammerdeckel gemäß verschiedenen

Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht;

Figur 2B einen Kammerdeckel gemäß verschiedenen

Ausführungsformen in einer schematischen

Querschnittsansicht ;

Figur 3A und Figur 3B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer

schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 4A eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen

Ausführungsformen in einer schematischen

Querschnittsansicht ;

Figur 4B einen Kammerdeckel oder eine Gasseparationskammer mit Kammerdeckel jeweils gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht;

Figur 5A und Figur 5B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer

schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 6A und Figur 6B jeweils einen Kammerdeckel gemäß

verschiedenen Ausführungsformen in einer

schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 7 einen Kammerdeckel oder eine Gasseparationskammer mit

Kammerdeckel jeweils gemäß verschiedenen

Ausführungsformen in einer schematischen Draufsicht oder einer schematischen Querschnittsansicht;

Figur 8A und Figur 8B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer

schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 9A und Figur 9B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer

schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 10 eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen

Ausführungsformen in einer schematischen

Querschnittsansicht ;

Figur IIA bis Figur HC jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 12A und Figur 12B jeweils eine Gasseparationskammer gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen Querschnittsansicht ; Figur 13 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer

schematischen Querschnittsansicht ;

Figur 14 eine Vakuumpumpenanordnung in einer schematischen

Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen

Ausführungsformen;

Figur 15 eine Vakuumpumpenanordnung in einer schematischen

Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen

Ausführungsformen;

Figur 16 eine Vakuumkammeranordnung in einer schematischen

Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen

Ausführungsformen; und

Figur 17 eine Vakuumpumpenanordnung in einer schematischen

Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen

Ausführungsformen .

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische

Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird

Richtungsterminologie wie etwa „oben", „unten", „vorne", „hinten", „vorderes", „hinteres", usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur (en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl

verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und i auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der

Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.

Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe

"verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin

beschriebene Vakuumpumpenanordnung mit Vakuumanlagen

verwendet werden, in denen mittels Leitblechen (auch als Gasseparationselemente bezeichnet) das Saugvermögen von

Turbomolekularpumpen aufgeteilt wird.

Mit der Aufteilung des Saugvermögens geht einher, dass in bestimmten Anwendungsfällen eine entsprechende Anforderung an die Gastrennung genügt wird, z.B. um reaktive Gase von rein metallischen Prozessen fern zu halten.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Anordnung zur effizienten Gastrennung nahe der Turbomolekularpumpe

beschrieben, wobei gleichzeitig das Saugvermögen der

Turbomolekularpumpe erhalten bleibt. Somit kann

beispielsweise bei geringem Platz- und Ressourcenbedarf das Saugvermögen einer Turbomolekularpumpe mit geringen Verlusten auf zwei in gewissem Maße voneinander getrennte

Vakuumbereiche aufgeteilt werden und gleichzeitig können diese voneinander getrennten Vakuumbereiche mittels einer Gastrennung entkoppelt sein. Beispielsweise weisen Turbomolekularpumpen ein über ihre Ansaugfläche verteiltes Saugvermögen auf, welches im Bereich der Rotornabe quasi null sein kann. Durch eine entsprechende Abdeckung der Rotornabe, z.B. mittels einer dünnen Ronde, wird die Gastrennung verbessert, ohne das in beiden

Vakuumbereichen wirksame Saugvermögen der Turbomolekularpumpe zu beeinträchtigen.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine

Turbomolekularpumpe bereitgestellt, welche eine Gasseparation in einer Vakuumprozessieranlage (auch als

Vakuumkammeranordnung bezeichnet) unterstützt. Beispielsweise kann eine Beschichtung von Substraten mit Lagen

unterschiedlicher Zusammensetzung (z.B. unterschiedlicher Materialien oder unterschiedlicher Stöchiometrie)

verschiedene Prozessbedingungen in den jeweiligen

Prozessierbereichen (z.B. in einem ersten Prozessierbereiche ein Ar/ 2 Gasgemisch und in einem zweiten Prozessierbereiche ein Ar/02 Gasgemisch) und damit verbunden eine wirkungsvolle gastechnische Trennung der Prozessierbereiche voneinander erfordern, so dass ein Vermischen der sich voneinander unterscheidenden Gasgemische verringert sein kann.

Dazu kann eine zusätzliche Kammer zwischen sich voneinander unterscheidenden Prozessbedingungen angeordnet werden, z.B. zwischen zwei Prozesskammern, und als sogenannte

Gasseparationskammer eingerichtet sein oder werden, mittels derer eine Vermischung der Gasgemische verschiedener

Prozesskammern, bzw. ein Austausch von Gas zwischen zwei Prozesskammern, reduziert werden kann.

Eine Gasseparationskammer kann gemäß verschiedenen

Ausführungsformen einen Gasseparationsspalt oder mehrere Gasseparationsspalte (auch als Gasseparationskanal oder Gastrennkanal bezeichnet) aufweisen. Anschaulich erhöhen die geometrischen Abmessungen (z.B. die Querschnittsfläche des Gasseparationsspalts) und die geometrische Form des Gasseparationsspalts den Strömungswiderstand, welchen ein Gas überwinden muss, um durch den Gasseparationskanal hindurch zu gelangen. Ferner kann die Gasseparationskammer mit einer Pumpe (z.B. einer Hochvakuumpumpe, z.B. einer

Turbomolekularpumpe) verbunden sein, welche es ermöglicht, einen Teil des Gases aus dem Gasseparationskanal abzupumpen, um die Gasseparation der Gasseparationskammer zu erhöhen. Wird eine Pumpe verwendet, können die mittels der Pumpe abgepumpten Bereiche innerhalb der Gasseparationskammer mittels Gastrennwänden voneinander gassepariert sein, so dass ein Gasaustausch innerhalb der Gasseparationskammer zwischen den gasseparierten Bereichen reduziert werden kann. Die

Überlagerung aller zur Gasseparation beitragenden Prozesse kann durch den (Gas- ) Leitwert des Gasseparationsspalts, bzw. der Gasseparationskammer, ausgedrückt werden, welcher umso kleiner ist, desto größer die Gasseparation ist.

Die Gasseparation beschreibt anschaulich einen Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen

vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (z.B.

gasseparierten Bereichen). Die Bauelemente (z.B. die Teile einer Gasseparationsstruktur) , welche zur Gasseparation beitragen, können derart eingerichtet sein, dass der

Unterschied im Gasdruck oder in der Gaszusammensetzung zwischen vakuumtechnisch miteinander verbundenen Bereichen (und gasseparierten Bereichen) aufrecht erhalten werden kann. Mit anderen Worten kann ein Gasaustausch zwischen

vakuumtechnisch miteinander verbundenen und voneinander gasseparierten Bereichen verringert werden, z.B. je größer die Gasseparation zwischen den Bereichen ist.

Damit das Innere der Gasseparationskammer gewartet werden kann, kann die Gasseparationskammer einen abnehmbaren

Kammerdeckel aufweisen, welcher es ermöglicht, die

Gasseparationskammer zu öffnen. Gemäß verschiedenen

Ausführungsformen kann der Kammerdeckel derart eingerichtet sein, dass eine Pumpe zum Abpumpen der Gasseparationskammer daran befestigt werden kann. Mit anderen Worten kann der Kammerdeckel als sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein. Dazu kann der Kammerdeckel eine entsprechende

Anschlussöffnung für die Pumpe aufweisen, durch welche hindurch das Innere der Gasseparationskammer abgepumpt werden kann. Ein solcher Kammerdeckel kann anschaulich als

sogenannter Pumpdeckel eingerichtet sein.

Fig.l veranschaulicht eine herkömmliche Gasseparationskammer 50 in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene welche quer zu einer Transportrichtung verläuft, entlang derer ein Substrat 306 durch die

Gasseparationskammer 50 hindurch transportiert werden kann. Herkömmliche Gasseparationskammern 50 und/oder mit

herkömmlichen Kammerdeckeln ausgestattete

Gasseparationskammern werden bisher in lediglich zwei

(gas ) separierte Teilvolumina 51, 53 (erste Pumpstufe 51 und zweite Pumpstufe 53) unterteilt. Die separierten Teilvolumina 51, 53 sind mit einem Gasseparationskanal 55 verbunden, so dass dieser zweistufig aktiv abgepumpt werden kann.

Zum Abpumpen wird an jedes Teilvolumen 51, 53 mindestens eine Hochvakuumpumpe (TMP) angeschlossen. Jede der angeschlossenen Hochvakuumpumpen versorgt dabei genau eines der Teilvolumen 51, 53 mit Vakuum. Mit anderen Worten pumpt jede der

angeschlossenen Hochvakuumpumpen genau eines der Teilvolumen 51, 53 ab. Werden mehr als zwei Pumpstufen 51, 53 benötigt, werden bisher mehrere herkömmliche Gasseparationskammern 50 in Reihe hintereinander geschaltet, so dass deren Gasseparationskanäle 55 miteinander verbunden sind. Fig.2A veranschaulicht einen Kammerdeckel 100 gemäß

verschiedenen Ausführungsformen in einer Draufsicht (aus einer Richtung 105) oder einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 107 (vergleiche beispielsweise Fig.2B).

Der Kammerdeckel 100 kann eine Grundplatte 102 aufweisen, z.B. eine Metallplatte 102, z.B. eine Stahlplatte 102. Der Kammerdeckel 100 (bzw. die Grundplatte 102) kann im

Wesentlichen entlang einer Kammerdeckel-Ebene erstreckt sein. Im Wesentlichen entlang der Kammerdeckel-Ebene erstreckt kann derart verstanden werden, dass eine Ausdehnung des

Kammerdeckels entlang der Kammerdeckel-Ebene deutlich größer ist als eine Ausdehnung des Kammerdeckels senkrecht zu der Kammerdeckel-Ebene. Beispielsweise kann der Kammerdeckel plattenförmig sein, leicht gekrümmt sein oder Unebenheiten aufweisen. Ferner kann der Kammerdeckel Anschlüsse zum

Betreiben des Kammerdeckels oder eine Versteifungsstruktur zum Versteifen des Kammerdeckels aufweisen, welche aus der Kammerdeckel-Ebene herausragen können.

Die Grundplatte 102 kann von einer Durchgangsöffnung 106a (Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a) durchdrungen sein, welche Teil eines Hochvakuumpumpen-Anschlusses 126 sein kann.

Die Durchgangsöffnung 106a kann eine Ausdehnung 116d (z.B. einen Durchmesser 116d) aufweisen. Die Durchgangsöffnung 106a kann eine Axialrichtung definieren, welche quer zu deren Durchmesser 116d verlaufen kann. Die Axialrichtung kann beispielsweise quer zu der von der Richtung 103 und der

Richtung 101 aufgespannten Ebene (Kammerdeckel-Ebene)

verlaufen . In der Durchgangsöffnung 106a kann ein Blech 110

(Trennelement 110), z.B. ein Metallblech 110, z.B. ein

Stahlblech 110 oder ein Aluminiumblech 110 angeordnet sein. Das Blech 110 kann quer zur Kammerdeckel-Ebene erstreckt (z.B. längserstreckt) sein (z.B. in Richtung 105).

Beispielsweise kann das Blech 110 plattenförmig sein. Ferner kann das Blech 110 an die Grundplatte 102 (mit anderen Worten an die Umfangswandung der Durchgangsöffnung 106a) angrenzen. Die Umfangswandung der Durchgangsöffnung 106a kann eine die Durchgangsöffnung 106a (z.B. in der Kammerdeckel-Ebene) begrenzende Wand der Grundplatte 102 aufweisen. Das Blech 110 kann in der Durchgangsöffnung 106a befestigt sein, z.B. kann das Blech 110 geklemmt sein oder werden. Dazu kann das Blech 110 beispielsweise mit einer Kraft gegen die Grundplatte 102 pressen. Zum Klemmen des Blechs 110 kann beispielsweise ein elastisch verformbares Blech 110 verwendet werden. Dieses kann leicht gekrümmt in der Durchgangsöffnung 106a angeordnet werden, wobei das Blech 110 beim Einnehmen seiner Ursprungsform mit der Kraft gegen die Grundplatte 102 presst . Alternativ kann das Blech 110 nicht lösbar (dauerhaft) an der Grundplatte 102 befestigt sein oder werden, z.B. kann das Blech 110 mit der Grundplatte 102 verbunden, z.B.

verschweißt, sein oder werden. Dazu kann das Blech 110 eine Länge entlang dessen Längserstreckung (bzw. quer zu der

Axialrichtung) aufweisen, welche im Wesentlichen dem

Durchmesser 116d der Durchgangsöffnung 106a entspricht.

Alternativ kann das Blech 110 auf jede andere Art an der Grundplatte 102 befestigt und/oder mit der Grundplatte 102 verbunden sein oder werden, z.B. mittels Schraubens, Klebens oder Lötens .

Das Blech 110 kann die Durchgangsöffnung 106a in einen ersten Öffnungsbereich 113a und einen zweiten Öffnungsbereich 113b separieren (aufteilen) . Somit kann erreicht werden, dass eine an den Hochvakuumpumpen-Anschluss 126 angeschlossene

Hochvakuumpumpe sowohl durch den ersten Öffnungsbereich 113a, als auch den zweiten Öffnungsbereich 113b hindurch abpumpen kann. Anschaulich wird das mittels der Hochvakuumpumpe bereitgestellte Saugvermögen auf den ersten Öffnungsbereich 113a und den zweiten Öffnungsbereich 113b aufgeteilt. Damit das Blech 110 möglichst wenig Querschnittsfläche (in Kammerdeckel-Ebene) der Durchgangsöffnung 106a einnimmt, kann das Blech 110 eine geringe Dicke (Materialstärke quer zur Längserstreckung des Blechs, z.B. in Richtung 101) aufweisen. Beispielsweise kann das Blech 110 eine Dicke von weniger als ungefähr 2 cm aufweisen, z.B. weniger als ungefähr 1 cm, z.B. weniger als ungefähr 0,5 cm. Umso geringer die Dicke des Blechs 110 ist, desto größer kann einerseits die

Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a sein, welche abzüglich des Blechs 110 verbleibt (verbleibende

Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a) und damit verbunden andererseits das mittels der Hochvakuumpumpe durch die Durchgangsöffnung 106a hindurch bereitgestellte

Saugvermögen sein.

Die verbleibende Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a kann von der Querschnittsfläche des ersten

Öffnungsbereich 113a und der Querschnittsfläche des zweiten Öffnungsbereich 113b definiert sein, z.B. deren Summe.

Beispielsweise kann die verbleibende Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a größer sein als ungefähr 80% der

Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a, z.B. größer als 90% der Querschnittsfläche der Durchgangsöffnung 106a. Fig.2B veranschaulicht einen Kammerdeckel 100 gemäß

verschiedenen Ausführungsformen in einer schematischen

Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109 (vergleiche beispielsweise Fig.2A). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blech 110 entlang der Axialrichtung (z.B. entlang Richtung 105)

erstreckt sein. Beispielsweise kann das Blech 110 eine

Ausdehnung entlang der Axialrichtung (quer zur Kammerdeckel- Ebene) aufweisen, welche einer Dicke 102d der Grundplatte 102 in Axialrichtung entspricht. Damit kann erreicht werden, dass eine Hochvakuumpumpe bündig auf dem Kammerdeckel 100 (bzw. der Grundplatte 102) angeordnet werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Blech 110 eine Ausdehnung entlang der Axialrichtung aufweisen, welche größer ist als die Dicke 102d der Grundplatte 102. Ein solches Blech 110 kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass das Blech 110 in eine Hochvakuumpumpe hinein ragen kann, z.B. wenn das Blech 110 an der Grundplatte 102 befestigt ist.

Fig.3A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. den in Fig.2A gezeigten Kammerdeckel 100) in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer

Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z.B. quer zur Kammerdeckel-Ebene).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer 300 ein Kammergehäuse 104 mit einer Kammeröffnung 104o aufweisen. Ferner kann die

Gasseparationskammer 300 ein sich von der Kammeröffnung 104o aus in das Kammergehäuse 104 erstreckendes Flächenelement 112 (z.B. ein Wandelement 112) aufweisen, welches einen ersten Bereich lila von einem zweiten Bereich 111b gassepariert. Mit anderen Worten kann das Flächenelement 112 (z.B. das

Wandelement 112) als Gastrennwand 112 eingerichtet sein. Das Flächenelement 112 (z.B. das Wandelement 112) kann

beispielsweise plattenförmig als Gasseparationsplatte 112 eingerichtet sein.

Das Flächenelement 112 (z.B. die Gastrennwand 112) kann ein Blech 112 (Gastrennblech 112) aufweisen, z.B. ein Metallblech 112, z.B. ein Stahlblech 112 oder eine Aluminiumblech 112. Alternativ zu der Gastrennwand 112 kann im Folgenden auch eine Folie und/oder ein Vlies verwendet werden. Die Gastrennwand 112 kann in dem Kammergehäuse 104 befestigt, z.B. mit dem Kammergehäuse 104 verbunden sein, z.B.

verschweißt, verklebt oder verlötet. Die Gastrennwand 112 kann alternativ lösbar in dem Kammergehäuse 104 befestigt sein, z.B. geklemmt oder formschlüssig in einer dazu

passenden Nut in dem Kammergehäuse 104. Beispielsweise kann die Gastrennwand 112 ein an dem Kammergehäuse 104

verschweißtes Metallblech 112 aufweisen.

Die Gastrennwand 112 kann derart eingerichtet, z.B.

angeordnet und geformt, sein, dass dieses an das Trennelement 110 angrenzt, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist (aufgesetzter Kammerdeckel 100). Damit kann erreicht werden, dass der erste Bereich lila durch den ersten Öffnungsbereich 113a hindurch und der zweite Bereich 111b durch den zweiten Öffnungsbereich 113b hindurch

abpumpbar ist, z.B. mittels einer an den Hochvakuumpumpe- Anschluss 126 angeschlossenen Hochvakuumpumpe.

Damit kann anschaulich ferner erreicht werden, dass möglichst wenig Gas zwischen dem ersten Bereich lila und dem zweiten Bereich 111b ausgetauscht wird (z.B. durch die

Hochvakuumpumpe-Anschlussöffnung 106a hindurch). Anschaulich wurde erkannt, dass die Erhöhung der Gasseparation zwischen dem ersten Bereich lila und dem zweiten Bereich 111b mittels des Trennelements 110 größer ist als eine Verringerung der Gasseparation aufgrund eines damit verbundenen Verlustes an Querschnittfläche, durch welche eine angeschlossene

Hochvakuumpumpe hindurch abpumpen kann.

Fig.3B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. quer zu der Schnittebene 109 (z.B. entlang der von Richtung 101 und

Richtung 105 aufgespannten Ebene, z.B. quer zur Kammerdeckel- Ebene) . Die Gastrennwand 112 kann sich entlang deren Längserstreckung durch das gesamte Kammergehäuse 104 hindurch erstrecken, so dass zwei gegenüberliegende Endabschnitte der Gastrennwand 112 an das Kammergehäuse 104 angrenzen. Ferner können die Gastrennwand 112 und der Kammerdeckel 100 passend zueinander eingerichtet, z.B. geformt, sein, so dass diese

aneinandergrenzen, wenn der Kammerdeckel 100 in der

Kammeröffnung 104o aufgenommen ist. Beispielsweise kann ein Spalt zwischen der Gastrennwand 112 und dem Kammerdeckel 100 möglichst klein sein, wenn der Kammerdeckel 100 in der

Kammeröffnung 104o aufgenommen ist. Ferner kann zwischen der Gastrennwand 112 und dem Kammerdeckel 100 eine

Dichtungsstruktur (z.B. eine Gummidichtung) angeordnet sein, welche den Spalt abdichtet.

Fig.4A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. den in Fig.2A gezeigten Kammerdeckel 100) in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer

Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z.B. quer zur Kammerdeckel-Ebene) . Die Gasseparationskammer 300 kann eine Gasseparationsstruktur 312 aufweisen, welche mehrere Bereiche lila, 111b voneinander gassepariert. Die vorangehend beschriebene Gastrennwand 112 kann Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein. Ferner kann das vorangehend beschriebene Trennelement 110 Teil der

Gasseparationsstruktur 312 sein, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist.

Anschaulich können die Teile der Gasseparationsstruktur 312 in Wechselwirkung zueinander stehen und gemeinsam (z.B.

zusammengefügt) eine Gasseparation bewirken, so dass mittels der Gasseparationsstruktur 312 ein Kammergehäuse 104 als Gasseparationskammer 300 betrieben werden kann. Zum Betreiben des Kammergehäuses 104 als Gasseparationskammer 300 kann ferner ein geeigneter Kammerdeckel 100 (z.B. ein Kammerdeckel 100 gemäß der vorangehenden Beschreibung) benötigt werden. Das Kammergehäuse 104 der Gasseparationskammer 300 kann eine erste Verbindungsöffnung 302 und eine zweite

Verbindungsöffnung 304 (zwei Verbindungsöffnungen 302, 304) aufweisen. Die zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 können zum Verbinden der Gasseparationskammer 300 mit weiteren (z.B. an die Gasseparationskammer 300 angrenzenden) Kammern einer Vakuumprozessieranlage, z.B. einer Vakuumbeschichtungsanlage, z.B. einer In-Line-Prozessieranlage, eingerichtet sein.

Anschaulich kann die Gasseparationskammer 300 zwischen zwei Kammern, welche an die Gasseparationskammer 300 angrenzen, angeordnet sein oder werden, wobei die zwei Kammern jeweils mittels der Verbindungsöffnungen 302, 304 durch die

Gasseparationskammer 300 hindurch miteinander verbunden sein können .

Anschaulich kann mittels Verbindens der Gasseparationskammer 300 mit angrenzenden Kammern der Vakuumprozessieranlage ein gemeinsames Vakuumsystem der Vakuumprozessieranlage gebildet werden (mit anderen Worten die Gasseparationskammer 300 an das gemeinsame Vakuumsystem angeschlossen werden) . In dem gemeinsamen Vakuumsystem kann beispielsweise ein Substrat 306 transportiert und prozessiert werden, z.B. mittels geeigneter Prozesskammern. Das gemeinsame Vakuumsystem kann die dazu notwendigen Prozessbedingungen zu Prozessieren des Substrats 306 bereitstellen, z.B. einen Umgebungsdruck oder eine

Gas Zusammensetzung .

Zum Transportieren eines Substrats 306 in die

Gasseparationskammer 300 hinein (z.B. aus einer ersten angrenzenden Kammer), zum Transportieren des Substrats 306 (Carrier 306) aus der Gasseparationskammer 300 heraus (z.B. in eine zweite angrenzende Kammer) oder zum Transportieren des Substrats 306 in der Gasseparationskammer 300 kann die Gasseparationskammer 300 ein Transportsystem 324 aufweisen. Das Transportsystem 324 kann beispielsweise mehrere

Transportrollen 324r aufweisen, auf denen das Substrat 306 entlang einer Transportebene 301 transportiert werden kann. Mit anderen Worten kann das Transportsystem 324 die

Transportebene 301 definieren, in der das Substrat 306 mittels des Transportsystems 324 transportiert werden kann. Beispielsweise kann das Substrat 306 entlang einer

Transportrichtung (z.B. entlang Richtung 101) transportiert werden (oder alternativ entgegen Richtung 101) .

Das Substrat 306 kann beispielsweise aus der ersten

angrenzenden Kammer durch die erste Verbindungsöffnung 302 hindurch in die Gasseparationskammer 300 hinein transportiert werden und anschließend durch die zweite Verbindungsöffnung 304 hindurch aus der Gasseparationskammer 300 heraus in die zweite angrenzende Kammer.

Anschaulich können die zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 als Substrat-Transfer-Öffnung 302, 304 eingerichtet sein, so dass ein Substrat 306 durch die zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 hindurch transportiert werden kann.

Die Gasseparationsstruktur 312 kann ferner ein weiteres

Flächenelement 322, z.B. eine Kanalwand 322 (weiteres

Wandelement 322), aufweisen, welche einen Gasseparationskanal 311 (Gastrennkanal 311) begrenzen kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kanalwand 322 derart eingerichtet sein (z.B. angeordnet und ausgebildet), dass diese zusammen mit dem Kammergehäuse 104 den Gasseparationskanal 311 begrenzt. Der Gasseparationskanal 311 kann sich derart zwischen den zwei Verbindungsöffnungen 302, 304 erstrecken, dass ein Substrat 306 mittels des Transportsystems 324 durch den Gasseparationskanal 311 (Substratkanal 311) hindurch transportiert werden kann.

Alternativ zu der Kanalwand 322 kann im Folgenden auch eine Folie und/oder ein Vlies verwendet werden. Anschaulich kann das Innere des Gasseparationskanals 311 einen mittels der Kanalwand 322 von dem ersten Bereich lila und von dem zweiten Bereich 111b gasseparierten Bereich 311 (Substrattransportbereich 311) bilden. Mit anderen Worten kann die Kanalwand 322 als Gastrennwand 322 wirken. Mittels des Gasseparationskanals 311 kann ein Austausch von Gas zwischen der ersten angrenzenden Kammer und der zweiten angrenzenden Kammer verringert werden. Mit anderen Worten kann der Gasseparationskanal 311 die Gasseparation der

Gasseparationskammer 300 erhöhen.

Die Kanalwand 322 kann von einer ersten Durchgangsöffnung 312a durchdrungen sein, welche an den ersten Bereich lila angrenzt. Damit kann erreicht werden, dass der

Gasseparationskanal 311 durch die erste Durchgangsöffnung 312a hindurch abgepumpt werden kann, z.B. durch den ersten Öffnungsbereich 113a hindurch.

Analog kann die Kanalwand 322 von einer zweiten

Durchgangsöffnung 312b durchdrungen sein, welche an den zweiten Bereich 111b angrenzt. Damit kann erreicht werden, dass der Gasseparationskanal 311 durch die zweite

Durchgangsöffnung 312b hindurch abgepumpt werden kann, z.B. durch den zweiten Öffnungsbereich 113b hindurch.

Die Gasseparationskammer 300 kann einen Volumenkörper 324v oder mehrere Volumenkörper 324v aufweisen, welche/r in dem Gasseparationskanal 311 angeordnet ist/sind. Beispielsweise können die Volumenkörper 324v als Hohlkörper ausgebildet sein, deren Inneres gegenüber dem Äußeren vakuumdicht abgeschlossen ist. Ein solcher Volumenkörper 324v kann beispielsweise zwischen zwei Transportrollen 324r angeordnet sein . Damit kann beispielsweise erreicht werden, dass ein Volumen in der Gasseparationskammer 300 (z.B. in dem

Gasseparationskanal 311), welches abgepumpt wird zum Bereitstellen eines Vakuums innerhalb der

Gasseparationskammer 300 (bzw. des Gasseparationskanals 311), verringert werden kann, z.B. um das Volumen welches ein

Volumenkörper 324v verdrängt. Umso geringer das Volumen ist, welches abgepumpt wird, desto schneller kann beispielsweise das Abpumpen des Kammergehäuses 104 erfolgen zum Herstellen von Prozessbereitschaft, z.B. nachdem das Kammergehäuse 104 belüftet wurde. Die Gasseparationskammer 300 kann eine Breite 404b entlang der Transportrichtung (z.B. entlang Richtung 101) aufweisen, welche kleiner ist als die Länge der Gasseparationskammer 300 quer zur Transportrichtung. Fig . 4B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 oder einen Kammerdeckel 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen jeweils in einer Draufsicht (aus einer Richtung 105) oder einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 107 (vergleiche beispielsweise Fig.2B oder

Fig.4A) .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Trennsteg 110 (Trennelement 110) in die Grundplatte 102 integriert sein, z.B. kann der Trennsteg 110 ein Teil der Grundplatte 102 sein, z.B. kann der Trennsteg 110 als monolithisch mit der Grundplatte 102 verbundener Steg 110 ausgebildet sein.

Dazu können zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b separat in die Grundplatte 102 getrieben, z.B. gefräst oder gebohrt, sein oder werden. Die Öffnungsbereiche 113a, 113b können derart eingerichtet (z.B. geformt und angeordnet) sein, dass eine an den Hochvakuumpumpe-Anschluss 126 angeschlossene

Hochvakuumpumpe durch die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b hindurch abpumpen kann. Mit anderen Worten können die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b gemeinsam als Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung 106a wirken, welche gemeinsam quer zu dem Trennsteg 110 (bzw. zur Längserstreckung des Trennstegs 110) einen Durchmesser 116d der Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a definieren können.

Wie in Fig.4B dargestellt ist, kann eine die zwei

Öffnungsbereiche 113a, 113b in der Kammer-Ebene begrenzende Umfangswandung im Wesentlichen (ausgenommen des Trennstegs 110) kreisförmig sein. Mit anderen Worten können die zwei Öffnungsbereiche 113a, 113b im Wesentlichen eine gemeinsame kreisförmige Querschnittsfläche aufweisen. Beispielsweise kann die Ausdehnung dem Durchmesser eines Umkreises

entsprechen, welcher alle gemeinsamen Durchgangsöffnungen (bzw. alle Öffnungsbereiche) einer Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung umgibt. Fig.5A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu der in Fig.3A und Fig.4A gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z.B. quer zur Kammerdeckel- Ebene) .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der

Durchgangsöffnung 106a ein weiteres Trennelement 410 (zweites Trennelement 410) angeordnet sein, z.B. ein Trennsteg 410 oder ein Blech 410, analog zur vorangehenden Beschreibung. Mittels des weiteren Trennelements 410 kann die

Durchgangsöffnung 106a in einen dritten Öffnungsbereich 113c separiert werden. Das weitere Trennelement 410 kann

beispielsweise zwischen dem zweiten Öffnungsbereich 113b und dem dritten Öffnungsbereich 113c erstreckt sein. Das

vorangehend beschriebene Trennelement 110 (erstes

Trennelement 110) kann zwischen dem zweiten Öffnungsbereich 113b und dem ersten Öffnungsbereich 113a erstreckt sein. Das zweite Trennelement 410 kann Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein. Passend zu dem zweiten Trennelement 410 kann in dem

Kammergehäuse 104 eine weitere Gastrennwand 412 (zweite

Gastrennwand 412) erstreckt sein. Die zweite Gastrennwand 412 kann analog zu der vorangehend beschriebenen Gastrennwand 112 (erste Gastrennwand 112) eingerichtet sein, z.B. angeordnet und geformt. Die zweite Gastrennwand 412 kann an das zweite Trennelement 410 angrenzen, wenn der Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist. Die zweite Gastrennwand 412 kann einen dritten Bereich 111c von dem zweiten Bereich 111b gasseparieren. Die zweite Gastrennwand 412 kann Teil der Gasseparationsstruktur 312 sein.

Alternativ zu der zweiten Gastrennwand 412 kann im Folgenden auch eine Folie und/oder ein Vlies verwendet werden.

Fig.5B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 gemäß verschiedenen Ausführungsformen mit einem in der

Kammeröffnung 104o aufgenommenem Kammerdeckel 100 (z.B.

analog zu der in Fig.3A und Fig.4A gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109 (entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene, z.B. quer zur Kammerdeckel-Ebene).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 100 zusätzlich zu der vorangehend beschriebenen

Durchgangsöffnung 106a (erste Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung 106a) eine weitere Durchgangsöffnung 106b (zweite Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106b) aufweisen. Analog zu der vorangehenden Beschreibung kann in der weiteren Durchgangsöffnung 106b ein Trennelement 110 angeordnet sein (vereinfacht dargestellt) .

Passend dazu kann die Gasseparationsstruktur 312 drei

Gastrennwände 112 aufweisen, welche vier Bereiche lila, 111b, 111c, llld voneinander gasseparieren. Fig.6A und Fig.6B veranschaulichen einen Kammerdeckel 100 gemäß verschiedenen Ausführungsformen in einer Draufsicht (aus einer Richtung 105) oder einer schematischen

Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 107 (vergleiche beispielsweise Fig.2B), mit mehreren

Trennelementen 110, analog zu Fig.2A.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können drei

Trennelemente 110 in der Durchgangsöffnung 106a angeordnet sein, so dass vier Öffnungsbereiche 113a, 113b, 113c, 113d voneinander gassepariert sind.

Die Querschnittsflächen der vier Öffnungsbereiche 113a, 113b, 113c, 113d können an eine Vorgabe (z.B. eine vorgegebenes Verhältnis der Querschnittsflächen zueinander oder eine vorgegebene Aufteilung des Saugvermögens) angepasst sein. Soll beispielsweise ein größeres Saugvermögen durch den ersten Öffnungsbereich 113a hindurch bereitgestellt sein oder werden, kann das Trennelement 110, welches den ersten

Öffnungsbereich 113a begrenzt, entsprechend versetzt werden, so dass die Querschnittsfläche des ersten Öffnungsbereichs 113a vergrößert wird.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die

Querschnittsfläche des ersten Öffnungsbereichs 113a im

Wesentlichen der Querschnittsfläche des zweiten

Öffnungsbereichs 113b entsprechen. Analog dazu kann die

Querschnittsfläche des dritten Öffnungsbereichs 113c im

Wesentlichen der Querschnittsfläche des zweiten

Öffnungsbereichs 113c entsprechen. Dies ermöglicht

anschaulich ein gleichmäßiges Abpumpen.

Analog zum vorangehend Beschriebenen können die Trennelemente 110 jeweils ein Blech 110 aufweisen, wie in Fig.6A

dargestellt ist, oder einen Trennsteg 110 aufweisen, wie in Fig.6B dargestellt ist. Fig.7 veranschaulicht einen Kammerdeckel 100 oder eine

Gasseparationskammer 300 mit Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu Fig.2A, Fig.4B, Fig.6A oder Fig.6B) in einer schematischen Draufsicht, z.B. quer zur Kammerdeckel-Ebene oder einer

Querschnittsansicht, z.B. entlang der Kammerdeckel-Ebene

(entlang der von Richtung 101 und Richtung 105 aufgespannten Ebene), z.B. entlang einer Schnittebene 107.

Der Kammerdeckel 100, welcher sich im Wesentlichen in der Kammerdeckel-Ebene erstrecken kann, kann in eine erste

Richtung (Längserstreckung) längserstreckt sein und eine Länge 7021 entlang der ersten Richtung (entlang Richtung 103) aufweisen. Die erste Richtung kann entlang der Kammerdeckel- Ebene verlaufen. Mit anderen Worten kann der Kammerdeckel 100 entlang der Kammerdeckel-Ebene längserstreckt sein. Der

Kammerdeckel 100 kann quer zu der ersten Richtung (mit anderen Worten quer zu dessen Längserstreckung) eine Breite 702b (entlang Richtung 101) aufweisen, wobei die Breite 702b des Kammerdeckels 100 kleiner sein kann als die Länge 7021 des Kammerdeckels 100.

Die Breite des Kammerdeckels kann beispielsweise kleiner sein als ungefähr 75% der Länge (entlang der Längserstreckung) des Kammerdeckels, z.B. kleiner als ungefähr 50% der Länge des Kammerdeckels, z.B. kleiner als ungefähr 30% der Länge des Kammerdeckels. Die Länge des Kammerdeckels kann

beispielsweise größer sein als 1 m, z.B. größer sein als 2 m, z.B. größer sein als 3 m. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei

Durchgangsöffnungen 106a, 106c Teil einer ersten

Durchgangsöffnungs-Reihe 706a (ersten Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnungs-Reihe 706a) und zwei weitere

Durchgangsöffnungen 106b, 106d Teil einer zweiten

Durchgangsöffnungs-Reihe 706b (zweiten Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnungs-Reihe 706a) sein. An jede Durchgangsöffnung einer Durchgangsöffnungs-Reihe 706a, 706b kann eine Hochvakuumpumpe angeschlossen werden, welche analog dazu eine Hochvakuumpumpen-Reihe (Pumpreihe) bilden können. Die Pumpreihen können sich jeweils quer zur Transportrichtung erstrecken.

Die Durchgangsöffnungen der erste Durchgangsöffnungs-Reihe 706a können auf eine Projektionsebene projiziert einander überlappen, z.B. vollständig überlappen, wobei sich die

Projektionsebene quer zu der Kammerdeckelebene erstrecken kann. Beispielsweise kann die Projektionsebene quer zu einer Längserstreckung des Kammerdeckels 100 (in Richtung 103) verlaufen. Ist der Kammerdeckel 100 auf die

Gasseparationskammer 300 aufgesetzt, kann sich die

Projektionsebene entlang der Transportrichtung (Richtung 103) erstrecken .

Analog können die Durchgangsöffnungen jeder weiteren

Durchgangsöffnungs-Reihe auf die Projektionsebene projiziert einander überlappen.

In jeder Durchgangsöffnung der Durchgangsöffnungs-Reihen 706a, 706b können analog zum vorangehend Beschriebenen jeweils ein Trennelement 110 oder mehrere Trennelemente 110 angeordnet sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein die erste Durchgangsöffnungs-Reihen 706a (analog die zweite

Durchgangsöffnungs-Reihen 706a) mehr als zwei

Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungen 106a, 106c aufweisen, z.B. drei oder vier Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungen.

Analog können die daran angeschlossene Pumpreihe drei oder vier Hochvakuumpumpen aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Kammerdeckel 100 mehr als zwei Durchgangsöffnungs-Reihen 706a, 706b aufweisen, z.B. drei, vier oder mehr als vier Durchgangsöffnungs-Reihen 706a, 706b. Analog können die daran angeschlossenen Hochvakuumpumpen drei, vier oder mehr als vier Pumpreihen bilden. Fig.8A veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu der in Fig.3A und Fig.4A gezeigten Anordnung) in einer schematischen

Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 eine Hochvakuumpumpe 804a, z.B. eine Turbomolekularpumpe (TMP), angeschlossen ist.

Der Hochvakuumpumpen-Anschluss 126 kann ein Rohr 802 (oder einen Rohransatz 802) aufweisen, welcher sich von der

Durchgangsöffnung 106a weg erstreckt. Das Trennelement 110 kann in das Rohr 802 hinein erstreckt sein, so dass ein

Abstand zwischen dem Trennelement 110 und der Hochvakuumpumpe 804a möglichst klein ist. Beispielsweise kann das

Trennelement 110 bis an ein Schutzgitter 814 (gestrichelt dargestellt) der Hochvakuumpumpe 804a heranreichen.

Mittels eines derartigen Kammerdeckels 100 können

beispielsweise zwei gasseparierte Bereiche lila, 111b einer herkömmlichen Gasseparationskammer mit einer geringeren

Anzahl von Hochvakuumpumpen abgepumpt werden. Dies kann

Kosten sparen, einen einfacheren Aufbau der

Gasseparationskammer ermöglichen und die Wirtschaftlichkeit leistungsfähigerer Hochvakuumpumpen ermöglichen.

Alternativ können zwei gasseparierte Bereiche lila, 111b einer Gasseparationskammer 300 mittels lediglich einer

Pumpreihe 806a (mehrere in einer Reihe angeordnete

Hochvakuumpumpen 804a) abgepumpt werden, was eine kleinere (z.B. kürzere) Gasseparationskammer ermöglicht.

Beispielsweise kann die Hochvakuumpumpe 804a Teil einer

Pumpreihe 806a sein. Fig.8B veranschaulicht eine Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu der in Fig.3A, Fig.4A und Fig.8A gezeigten Anordnung) in einer schematischen

Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 mehrere Hochvakuumpumpen 804a, 804b angeschlossen sind.

Die vorangehend beschriebene Hochvakuumpumpe 804a (erste Hochvakuumpumpe 804a) kann Teil einer ersten Pumpreihe 806a sein. Eine zweite Hochvakuumpumpe 804b kann Teil einer zweiten Pumpreihe 806b sein.

Die Gasseparationsstruktur 312 kann derart eingerichtet sein, dass vier Bereiche lila, 111b, 111c, llld voneinander

gassepariert sein können. Ferner kann jeder der vier Bereiche lila, 111b, 111c, llld durch jeweils eine Durchgangsöffnung in der Kanalwand 322 hindurch mit dem Gasseparationskanal 311 verbunden sein zum Abpumpen des Gasseparationskanals 311 (vierstufiger Pumpzugriff) .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 100 ein Deckelgehäuse 904 zum Aufnehmen einer Hochvakuumpumpe 804a aufweisen. Analog dazu können die Hochvakuumpumpen 804a, 804b einer Pumpreihe 806a, 806b in einem Deckelgehäuse 904 angeordnet sein.

Fig.9A und Fig.9B veranschaulichen jeweils eine

Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu der beispielsweise in Fig.3A, Fig.4A, Fig.8A und Fig.8B gezeigten Anordnung) in einer schematischen

Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 mehrere Hochvakuumpumpen 804a, 804b angeschlossen sind. Wie vorangehend beschrieben ist, kann die

Gasseparationsstruktur 312 derart eingerichtet sein, z.B. mit mehreren Trennelementen 110 (vergleiche beispielsweise Fig.6A und Fig.6B) und mehreren Gastrennwänden 112, dass mehrere gasseparierte Bereiche bereitgestellt werden können (mit anderen Worten mehrere Pumpstufen), z.B. mehr als vier, z.B. mehr als zehn gasseparierte Bereiche (Pumpstufen) . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann durch die mehreren gasseparierten Bereiche hindurch der Gasseparationskanal 311 abgepumpt werden.

Fig.10 veranschaulichen jeweils eine Gasseparationskammer 300 in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. einem

Querschnitt entlang der Transportrichtung (Richtung 101).

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Trennelement 110 zumindest in die erste Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnung 106a hineinragen. Das Trennelement 110 kann beispielsweise in ein Rohr 1304 des Hochvakuumpumpen-Anschlusses 126

hineinragen und in dem Rohr 1304 und damit an dem

Kammerdeckel 100 befestigt sein. Ist das Trennelement 110 an dem Kammerdeckel 100 befestigt, kann dieser gemeinsam mit dem Kammerdeckel 100 von der

Gastrennwand 112 abnehmbar eingerichtet sein. Damit das

Trennelement 110 mit der Gastrennwand 112 gasdicht (z.B.

vakuumdicht) verbunden ist, wenn der Kammerdeckel 100 auf dem Kammergehäuse 104 aufliegt, bzw. in der Kammeröffnung 104o des Kammergehäuses 104 aufgenommen ist, kann zwischen dem Trennelement 110 und der Gastrennwand 112 eine

Dichtungsstruktur 112d angeordnet sein, welche einen Spalt zwischen dem Trennelement 110 und der Gastrennwand 112 abdichtet.

Die Dichtungsstruktur 112d kann beispielsweise eine

Gummidichtung aufweisen, z.B. eine Dichtlippe oder eine

Profildichtung. Dazu kann die Dichtungsstruktur 112d ein elastisches Material aufweisen, z.B. einen Kautschuk oder ein Silikon . Alternativ kann die Dichtungsstruktur 112d eine andere

Dichtung, z.B. eine Labyrinthdichtung oder eine Nut, welche einen dazu passenden Vorsprung umgreift, wenn der

Kammerdeckel 100 in der Kammeröffnung 104o aufgenommen ist.

Die Dichtungsstruktur 112d kann beispielsweise an dem

Trennelement 110 befestigt sein oder alternativ an der

Gastrennwand 112. Die Dichtungsstruktur 112d kann sich zumindest über eine Ausdehnung der Kammeröffnung 104o (quer zur Transportrichtung) , mit anderen Worten über eine Breite der Kammeröffnung 104o erstrecken, so dass diese den gesamten Spalt zwischen dem Trennelement 110 und der Gastrennwand 112 abdichtet . Ist die Dichtungsstruktur 112d z.B. an der Gastrennwand 112 befestigt, z.B. an einer Kante der Gastrennwand 112, kann diese sich auch über eine Ausdehnung der Gastrennwand 112 (quer zur Transportrichtung) , mit anderen Worten über eine Breite der Gastrennwand 112 erstrecken, so dass diese den gesamten Spalt zwischen der Gastrennwand 112 und dem

Kammerdeckel 100 abdichtet. Beispielsweise kann sich die Dichtungsstruktur 112d über eine Ausdehnung der

Gasseparationskammer 300, mit anderen Worten von einer

Vakuumkammer-Seitenwand zu einer gegenüberliegenden

Vakuumkammer-Seitenwand des Kammergehäuses 104 erstrecken, wobei sich die Vakuumkammer-Seitenwände entlang der

Transportrichtung erstrecken und die Gasseparationskammer 300 entlang der Transportrichtung begrenzen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein

Hochvakuumpumpen-Anschluss 126 (z.B. jeder Hochvakuumpumpen- Anschluss 126) einen Anschlussflansch 1302 aufweisen, an welchem eine Hochvakuumpumpe 804a, 804b befestigt sein oder werden kann. Beispielsweise kann der Anschlussflansch 1302 passend zu einem Gegenflansch an der Hochvakuumpumpe 804a,

804b eingerichtet sein, so dass diese mittels Schrauben oder mittels Klemmen an dem Anschlussflansch 1302 befestigt sein oder werden kann.

Fig . HA, Fig . HB und Fig . HC veranschaulichen jeweils eine Gasseparationskammer 300 in einer schematischen

Querschnittsansicht, z.B. einem Querschnitt entlang der

Transportrichtung (Richtung 101) mit aufgesetztem

Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu Fig.2A, Fig.4B, Fig.6A oder Fig.6B) .

Herkömmlicherweise befindet sich zwischen den

unterschiedlichen Prozessbedingungen ein Gasseparationskanal 311, welcher an die Dicke 306d (Höhe 306d) des Substrats 306 (Substratdicke 306d, bzw. Carrierhöhe 306d) und an die Breite des Substrats 306 (Substratbreite), mit anderen Worten die Ausdehnung des Substrats quer zur Transportrichtung (z.B. quer zur Richtung 101 und quer zur Richtung 105, die

Carrierbreite) angepasst ist. Aus fertigungs- und montageseitigen Gründen weist die

Kanalwand 322 (weitere Gastrennwand 322) herkömmlicherweise einen Mindestabstand zum Substrat 306 auf, z.B. damit ein Kontakt zwischen dem Substrat 306 und der Kanalwand 322 vermieden werden kann, z.B. beim Transportieren des Substrats 306 durch den Gasseparationskanal 311 hindurch. Aufgrund des verbleibenden Spalts 1104 zwischen Substrat 306 und Kanalwand 322 wird der Leitwert des Gasseparationskanals 311

anlagenspezifisch nach unten hin begrenzt. Mit anderen Worten ist die maximal erreichbare Gastrennung (Gasseparation) mittels des Gasseparationskanals 311 aufgrund des

verbleibenden Spalts 1104 beschränkt.

Umso größer eine Querschnittsfläche (und/oder eine Höhe 311d) des Gasseparationskanals 311 ist, desto größer kann der verbleibende Spalt 1104 zwischen Substrat 306 und Kanalwand 322 sein, was den Leitwert des Gasseparationskanals 311 vergrößert . Die Querschnittsfläche (und/oder die Höhe 311d) des

Gasseparationskanals 311 kann beispielsweise von dem Abstand 311d der Kanalwand 322 zu einer den Gasseparationskanal 311 begrenzenden Kammerwand 104s (Kammerboden 104s) definiert sein. Ferner kann die Querschnittsfläche des

Gasseparationskanals 311 von der Breite des

Gasseparationskanals 311 (quer zur Richtung 105 und Richtung 101) definiert sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in dem

Gasseparationskanal 311 eine stellbare Blendenstruktur 1102 angeordnet sein zum Verringern der Querschnittsfläche

(und/oder der Höhe 311d) des Gasseparationskanals 311 auf eine effektive Querschnittsfläche (und/oder effektive Höhe 1102d)

Die Blendenstruktur 1102 kann z.B. eine in den

Gasseparationskanal 311 hineinragende Blende 1102 aufweisen, z.B. ein Blech 1102, z.B. ein bewegbar gelagertes Blech 1102, z.B. ein mittels eines Scharniers an der Kanalwand 322 befestigtes Blech 1102, so dass das Blech 1102 mittels

Verstellens (mit anderen Worten mittels Stellens) bewegt werden kann.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann z.B. jeweils an den Ein- und Ausgangsöffnungen des Gasseparationskanals 311 (z.B. an den Substrat-Transfer-Öffnungen 302, 304), oder jeweils an den Durchgangsöffnungen 312a, 312b in der

Gasseparationsstruktur 312 mindestens eine Blende 1102 angeordnet sein.

Die Blende 1102 kann derart eingerichtet sein, dass diese in den Gasseparationskanal 311 hineinragt. Die effektive

Querschnittsfläche (und/oder die effektive Höhe 1102d) des Gasseparationskanals 311 kann von dem geringsten Abstand 1102d der Blende 1102 zu der den Gasseparationskanal 311 begrenzenden Kammerwand 104s (z.B. dem Kammerboden 104s) definiert sein. Mit anderen Worten kann die effektive

Querschnittsfläche (und/oder die effektive Höhe 1102d) des Gasseparationskanals 311 von dem auf eine quer zur

Transportrichtung (oder Transportebene 301) verlaufende Ebene projizierten Abstand 1102d der Blende 1102 zu der den

Gasseparationskanal 311 begrenzenden Kammerwand 104s (z.B. dem Kammerboden 104s) definiert sein. Ferner kann die effektive Querschnittsfläche des

Gasseparationskanals 311 von der Breite des

Gasseparationskanals 311 (quer zur Richtung 105 und Richtung 101) definiert sein. Die Blende 1102 kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass diese zum Stellen der Blende 1002 von Hand verformbar und/oder bewegbar ist. Dies ermöglicht eine abschließende Feinj ustierung der Kanalöffnung (mit anderen Worten der

Querschnittsfläche des Gasseparationskanals 311), z.B. nach der Anlagenmontage, und damit eine Minimierung des Leitwerts des Gasseparationskanals 311. Ein geringerer Leitwert des Gasseparationskanals 311 erlaubt potentiell, Anlagen kürzer zu bauen, was sich kostensenkend auswirken kann. Alternativ kann die Blende 1102 mit einem Stellglied

gekuppelt sein, welches es ermöglicht, die Blende 1102 mittels eines elektrischen Signals, welches auf das

Stellglied übertragen wird, z.B. reversibel, zu stellen. Dazu kann das Stellglied in Abhängigkeit des elektrischen Signals eine mechanische Kraft auf die Blende 1102 übertragen. Dies ermöglicht beispielsweise eine reversible Feinj ustierung der Kanalöffnung (z.B. während des Betriebs der Prozessanlage).

Alternativ kann die mechanische Kraft von Hand, z.B. mittels eines Stellrads oder eines Stellhebels, auf die Blende 1102 übertragen werden. Mittels Stellens der Blende 1102 kann beispielsweise ein Winkel zwischen der Blende 1102 und der Kanalwand 322 oder der Abstand der Blende 1102 zu dem Kammerboden 104s verändert werden, so dass die effektive Höhe 1102d verändert wird. Mit anderen Worten kann mittels Stellens der Blende 1102 die effektive Querschnittsfläche des Gasseparationskanals 311 verändert werden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann zwischen zwei Durchgangsöffnungen 312a, 312b in der Kanalwand 322 eine

Blendenstruktur mit zwei Blenden 1102 angeordnet sein, wie in Fig. IIB veranschaulicht ist.

Weist die Kanalwand 322 mehr als zwei Durchgangsöffnungen 312a, 312b (mehrere Durchgangsöffnungen) auf, kann die

Blendenstruktur 1102 mehrere Blenden 1102 aufweisen, welche jeweils zwischen zwei Durchgangsöffnungen 312a, 312b der mehreren Durchgangsöffnungen 312a, 312b der Kanalwand 322 angeordnet sind, wie in Fig. HC veranschaulicht ist.

Fig.l2A und Fig.l2B veranschaulichen jeweils eine

Gasseparationskammer 300 mit einem Kammerdeckel 100 (z.B. analog zu der in Fig.3A, Fig.4A, Fig.8A und Fig.8B gezeigten Anordnung) in einer schematischen Querschnittsansicht, z.B. entlang einer Schnittebene 109, wobei an den Kammerdeckel 100 mehrere Hochvakuumpumpen 804a, 804b angeschlossen sind.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine

Gasseparationskammer 300 ein Transportsystem 324 aufweisen, analog zu der in Fig.4A dargestellten Anordnung, zum

Transportieren eines Substrats 306 entlang einer

Transportrichtung durch die Gasseparationskammer 300

hindurch. Die Gasseparationskammer 300 kann entlang der

Transportrichtung (z.B. von der ersten Verbindungsöffnung 302 in Richtung der zweiten Verbindungsöffnung 304) mittels

Vakuumkammer-Seitenwänden 104a, 104b, welche sich quer zu der Transportrichtung erstrecken, begrenzt sein. Die Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b können stoffschlüssig Teil des Kammergehäuses 104 sein, d.h. stoffschlüssig mit dem Kammergehäuse 104 verbunden sein. Die Vakuumkammer- Seitenwände 104a, 104b können eine Dicke entlang der

Transportrichtung aufweisen, welche größer ist, als eine

Dicke der Gasseparationsplatten 112 (mit anderen Worten der Gastrennwände 112), z.B. mindestens doppelt so groß wie die Dicke der Gasseparationsplatten 112. Beispielsweise kann die Dicke der Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b, welche sich quer zu der Transportrichtung

erstrecken, entlang der Transportrichtung in einem Bereich von ungefähr 1,5 cm bis ungefähr 5 cm liegen, und eine Dicke der Gasseparationsplatten 112, welche sich quer zu der

Transportrichtung erstrecken, entlang der Transportrichtung in einem Bereich von ungefähr 1 mm bis ungefähr 10 mm liegen.

Wie vorangehend beschrieben ist, kann die

Gasseparationskammer 300 entlang der Transportrichtung von weiteren einander gegenüberliegenden Vakuumkammer- Seitenwänden, welche sich entlang der Transportrichtung erstrecken, begrenzt sein. Die Vakuumkammer-Seitenwände, welche zusammen die Gasseparationskammer 300 begrenzen, können jeweils paarweise aneinander grenzen und anschaulich einen Kammerinnenraum der Gasseparationskammer 300 umgeben oder zumindest definieren. Jede der Vakuumkammer-Seitenwände kann mit einer angrenzenden Vakuumkammer-Seitenwand

stoffschlüssig verbunden sein, z.B. verschweißt sein, z.B. vakuumdicht verbunden sein.

Die Gasseparationsstruktur 312 kann mehrere

Gasseparationsplatten 112 aufweisen, welche derart in der Gasseparationskammer 300 angeordnet sind, dass sie in

Transportrichtung mindestens zwei Bereiche, wie in Fig.3A dargestellt ist, z.B. drei Bereiche lila, 111b, 111c, wie in Fig.5A dargestellt ist, oder z.B. vier Bereiche lila, 111b, 111c, llld, wie in Fig.5B oder Fig.l2A dargestellt ist, voneinander gasseparieren. Beispielsweise können sich

mindestens drei Gasseparationsplatten 112 quer zu der

Transportrichtung (welche beispielsweise entlang oder

entgegen Richtung 101 zeigen kann) erstrecken.

Mindestens einer der Bereiche, z.B. ein mittlerer Bereich 111b, analog zu Fig.5A oder Fig. HC, oder z.B. zwei mittlere Bereiche 111b, 111c, wie in Fig.l2A dargestellt ist, können jeweils durch eine Durchgangsöffnung 312b, 312c in der

Gasseparationsstruktur 312 hindurch mit dem

Gasseparationskanal 311 verbunden sein, so dass der

Gasseparationskanal 311 durch die mittleren Bereiche 111b, 111c hindurch abgepumpt werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Gasseparationsstruktur 312 (oder können zumindest die Gasseparationsplatten 112) in das

Kammergehäuse 104 eingesteckt sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse 104 mindestens eine weitere Verbindungsöffnung (auch als Prozesspumpöffnung bezeichnet) zum Anschließen des

Kammergehäuses 104 an ein gemeinsames Vakuumsystem einer Prozessieranlage aufweisen, z.B. zwei Prozesspumpöffnungen 1204, 1206, wie in Fig.l2A dargestellt ist. Die zwei Prozesspumpöffnungen 1204, 1206 können an die äußeren Bereiche lila, llld (z.B. an den ersten Bereich lila und den vierten Bereich llld, z.B. auch an den ersten Bereich lila und den dritten Bereich 111c, analog zu Fig.5A)

angrenzen, so dass die zwei Prozesspumpöffnungen 1204, 1206 jeweils mit mindestens einer Hochvakuumpumpen- Anschlussöffnung verbunden werden können. Damit kann erreicht werden, dass mindestens ein der Gasseparationskammer 300 benachbarter Prozess einer Prozessieranlage mittels der

Gasseparationskammer 300 abgepumpt werden kann.

Dabei können die äußeren Bereiche lila, llld (d.h. die

Bereiche, welche an die Vakuumkammer-Seitenwände 104a, 104b angrenzen, z.B. auch an der erste Bereich lila und der dritte Bereich 111c, analog zu Fig.5A) beispielsweise mittels der Gasseparationsstruktur 312 von dem Gasseparationskanal 311 getrennt sein (z.B. vakuumdicht) . Mit anderen Worten können die erste Durchgangsöffnung 312a und eine entsprechende vierte Durchgangsöffnung 312d (vergleiche Fig.l2B) in der Kanalwand 322 fehlen oder abgedichtet sein, z.B. permanent mittels einer Platte oder mittels eines verstellbaren

Ventils. Die Kanalwand 322 kann dann lediglich zwei

Durchgangsöffnungen 312b, 312c aufweisen, welche die

mittleren Bereiche 111b, 111c mit dem Gasseparationskanal 311 verbinden .

Wird das Substrat beispielsweise in eine Transportrichtung transportiert, welche von der ersten Verbindungsöffnung 302 in Richtung der zweiten Verbindungsöffnung 304 zeigt (z.B. entlang Richtung 101), kann eine vorangehende Vakuumkammer 1002b (nicht dargestellt, vergleiche Fig.13) mit einem vorangehenden Prozess (z.B. einem Sputterprozess ) mittels einer ersten Prozesspumpöffnung 1204 abgepumpt werden und eine nachfolgende Vakuumkammer 1002d (nicht dargestellt, vergleiche Fig.13) mit einem nachfolgenden Prozess kann mittels einer zweiten Prozesspumpöffnung 1206 abgepumpt werden .

Analog kann die Gasseparationskammer 300 auch nur eine

Prozesspumpöffnung 1204 aufweisen, wobei der vierte Bereich durch eine vierte Durchgangsöffnung 312d mit dem

Gasseparationskanal 311 verbunden sein kann, wie in Fig.l2B dargestellt ist. Beispielsweise kann die zweite

Prozesspumpöffnung 1206 fehlen oder abgedichtet sein, z.B. permanent mittels einer Platte oder mittels eines

verstellbaren Ventils. Mit anderen Worten können in

Abhängigkeit der erforderlichen Prozessbedingungen ein benachbarter Prozess oder auch zwei benachbarte Prozesse mittels der Gasseparationskammer 300 abgepumpt werden, ohne das Abpumpen des Gasseparationskanals 311 unterbrechen zu müssen oder zumindest wesentlich zu beeinträchtigen.

Mit anderen Worten kann die Saugleistung der an die

Gasseparationskammer 300 (z.B. in einem Kompartment)

angeschlossenen Hochvakuumpumpen nicht nur für die

Gastrennung, sondern auch zum Pumpen eines benachbarten

Sputterprozesses genutzt werden. In dem Fall ist die

Gasseparationskammer 300 kein reines

Gasseparationskompartment sondern kann als ein Prozesspump- und Gastrennkompartment bezeichnet werden.

Fig.13 veranschaulicht eine Vakuumkammeranordnung 1000 mit mehrere Vakuumkammern 1002a bis 1002e in einer schematischen Querschnittsansicht (z.B. analog zu der Ansicht in Fig.3A, Fig.4A, Fig.8A und Fig.8B), z.B. entlang einer Schnittebene 109.

Die Vakuumkammeranordnung 1000 kann ein Transportsystem 324 aufweisen zum Transportieren eines Substrats 306 entlang einer Transportrichtung (z.B. entlang Richtung 101) durch die mehreren Vakuumkammern hindurch, wobei die Vakuumkammern 1002a bis 1002e in der Transportrichtung mittels

Vakuumkammer-Seitenwänden 1304a, 104a, 104b, 1304b, welche sich quer zu der Transportrichtung erstrecken, voneinander getrennt sind. Jede Vakuumkammer 1002a bis 1002e kann eine Kammeröffnung 104o, z.B. eine in einer Kammerdecke

angeordnete Kammeröffnung 104o, eine so genannte

Kammerdecken-Öffnung 104o aufweisen, wie vorangehend

beschrieben ist.

Analog kann die Vakuumkammeranordnung 1000 mehrere

Kammerdeckel aufweisen, wobei jeweils ein Kammerdeckel einer Kammeröffnung 104o zugeordnet ist zum vakuumdichten

Verschließen der jeweiligen Vakuumkammer 1002a bis 1002e. Ferner kann mindestens eine Vakuumkammer 1002c der mehreren Vakuumkammern 1002a bis 1002e als Gasseparationskammer 300 eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist. Ein Kammerdeckel 100 der mehreren Kammerdeckel, welcher der Gasseparationskammer 300 zugeordnet ist, kann beispielsweise eingerichtet sein, wie vorangehend beschrieben ist, und z.B. eine oder mehrere Hochvakuumpumpen-Anschlussöffnungen, wie z.B. in Fig.2A oder Fig.7 dargestellt ist, aufweisen zum Anschließen jeweils einer Hochvakuumpumpe an die

Gasseparationskammer 300.

Wie vorangehend beschrieben ist, kann die

Gasseparationskammer 300 mindestens eine Prozesspumpöffnung aufweisen. Damit dann zumindest ein der Gasseparationskammer 300 benachbarter Prozess, z.B. eine vorangehende Vakuumkammer 1002b und/oder eine nachfolgende Vakuumkammer 1002d und gleichzeitig der Gasseparationskanal 311 abgepumpt werden. Fig.14 veranschaulicht eine Vakuumpumpenanordnung 1400, welche an einen entsprechend geeigneten Anschluss an einer Kammerwand oder einem Kammerdeckel (z.B. Pumpdeckel oder Magnetrondeckel) montiert werden kann. Die

Vakuumpumpenanordnung 1400 kann eine Turbomolekularpumpe 804a, 804b aufweisen, welche einen Zugriffsbereich 108 aufweist. Aufgrund des Funktionsprinzips der

Turbomolekularpumpe 804a, 804b basierend auf einem Rotor, welcher um die Rotationsachse 103n in einem Gehäuse 102g rotieren kann und eine entsprechende Lagerung aufweist, kann die Saugleistung (auch als Pumpleistung) im Zugriffsbereich 108 der Turbomolekularpumpe 804a, 804b inhomogen verteilt sein. Der Rotor kann beispielsweise eine Rotornabe 102r und mehrere Schaufelräder 102b bzw. eine Vielzahl von

Schaufelblättern 102b aufweisen, so dass beispielsweise die Saugleistung in dem Bereich 108b nahe den Schaufelblättern

102b größer sein kann als im Bereich 108a nahe der Rotornabe 102r (bzw. nahe dem Bereich 102r des Rotors zwischen den Schaufelblättern 102b) .

Die Vakuumpumpenanordnung 1400 kann ferner ein Abdeckelement 104n aufweisen, welches in einem Abstand 105n zu dem Rotor bzw. zu der Rotornabe 102r derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwischen dem Rotor bzw. der Rotornabe 102r und dem Abdeckelement 104n ein Gasseparationsspalt 106n gebildet ist. Dabei kann der Gasseparationsspalt 106n eine Spalthöhe von weniger als 10 mm aufweisen. Somit kann beispielsweise ein Übersprechen von Teilchen in dem Bereich 108a nahe der

Rotornabe 102r reduziert werden und somit die Gastrennung verbessert werden. Anschaulich können Gasteilchen von der Rotornabe 102r fern gehalten werden. Dabei kann das

Abdeckelement 104n mit einem weiteren Gasseparationselement in der Prozesskammer gekuppelt werden oder ein weiteres

Gasseparationselement kann an dem Abdeckelement 104n

befestigt sein oder werden.

Das Abdeckelement 104n kann plattenförmig (z.B. ein

Metallblech) sein und sich senkrecht zur Rotationsachse 103n des Rotors erstrecken. Es versteht sich, dass das

Abdeckelement 104n auf unterschiedliche Weisen mit

unterschiedlichen Formen derart bereitgestellt und derart angeordnet sein kann, dass ein Gasseparationsspalt 106n über der Rotornabe 102r gebildet ist.

Das Abdeckelement 104n kann eine (zum Zugriffsbereich 108 hin) freiliegende Stirnfläche 102s des Rotors (bezüglich einer Richtung parallel zur Rotationsachse 103n des Rotors) vollständig abdecken.

Das Abdeckelement 104n kann beispielsweise (aus einer

Richtung parallel zur Rotationsachse 103n betrachtet)

kreisförmig sein und einen Durchmesser von mehr als 80 mm aufweisen . Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die

Vakuumpumpenanordnung 1400 eine elektro-magnetische Lagerung aufweisen. Somit muss der Rotor nicht zusätzlich an der

Stirnfläche 102s gelagert werden, wie es bei rein

mechanischen oder hybriden (mechanisch und magnetisch

kombinierten) Lagern notwendig sein kann. Anschaulich kann sich der Rotor drehen und kann somit keinen körperlichen Kontakt oder keine starre Verbindung zum Abdeckelement 104n aufweisen .

Wie in Fig.15 in einer schematischen Querschnittsansicht dargestellt ist, kann das Abdeckelement 104n einen parallel zur Rotationsachse 103n verlaufenden Abschnitt 204 aufweisen oder, alternativ, kann das Abdeckelement 104n mit einem

Gasleitblech 204 verbunden sein, welches sich parallel zur Rotationsachse 103n erstreckt. Der Abschnitt 204 bzw. das Gasleitblech 204 kann einstückig sein oder aus mehreren

Stücken zusammengesetzt sein oder werden. Der Abschnitt 204 kann das Trennelement 110 und/oder das Flächenelement 112 aufweisen oder daraus gebildet sein.

Anschaulich gibt es verschiedene Ausgestaltungen, um ein Gasleitblech oder eine Struktur mit der Funktion eines

Gasleitblechs bereitzustellen. Der Abschnitt 204 bzw. das Gasleitblech 204 kann sich in Richtung quer zur

Rotationsachse 103n über den Durchmesser der Zugriffsöffnung hinaus erstrecken. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann sich der Abschnitt 204 bzw. das Gasleitblech 204 entlang der gesamten Breite des Kammergehäuses durch das Kammergehäuse erstrecken. Dabei kann der Abschnitt 204 bzw. das Gasleitblech 204 quer zur

Substrattransportrichtung angeordnet sein oder werden.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Gasleitblech 204 in ein Kammergehäuse 104 eingebaut sein oder werden oder sich in ein Kammergehäuse 104 hinein erstrecken, wenn die Vakuumpumpenanordnung 1400 an dem Kammergehäuse montiert ist, wie beispielsweise in Fig.16 in einer schematischen

Querschnittsansicht einer Vakuumkammeranordnung 1000

veranschaulicht ist.

Dabei können das Abdeckelement 104n und das Gasleitblech 204 eine gemeinsame Gasseparationsstruktur bereitstellen, welche den Pumpzugriff in zwei verschiedene Bereiche lila, 111b des Kammergehäuses 104 aufteilt. Gemäß verschiedenen

Ausführungsformen wird der Pumpzugriff der

Turbomolekularpumpe 804a, 804b in den Bereich 108b und in die Bereiche lila, 111b nicht gestört. Wie in Fig.16 veranschaulicht ist, können somit weniger

Gasteilchen von dem ersten Bereich lila in dem Kammergehäuse 104 in den zweiten Bereich 111b des Kammergehäuses 104 gelangen und umgekehrt. Anschaulich wird die Rotornabe 102r, welche Gasteilchen von dem ersten Bereich lila in dem

Kammergehäuse 104 in den zweiten Bereich 111b reflektieren würde (und umgekehrt) , mittels des Abdeckelements 104n und des Gasleitblechs 204 entsprechend verdeckt. Somit kann die Vakuumkammeranordnung 1000 aufgrund des Abdeckelements 104n über dem Rotor der Turbomolekularpumpe 804a, 804b eine verbesserte Gasseparation entlang einer Transportrichtung 101 (entlang derer ein zu prozessierendes Substrat transportiert werden kann) aufweisen.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine spezielle Gastrennung in der räumlichen (unmittelbaren) Nähe einer

Turbomolekularpumpe bereitgestellt. Zur Gastrennung zwischen den Bereichen lila und 111b kann natürlich eine weitere

Gastrennung notwendig sein, welche mit der Gastrennung in der räumlichen (unmittelbaren) Nähe der Turbomolekularpumpe zusammenwirkt. Beispielsweise kann anschaulich eine

Gastrennstruktur des Substrattransportkanals für die

Gastrennung zwischen den Bereichen lila und 111b ebenfalls eine Rolle spielen. Mit anderen Worten, wenn der Weg über die Turbomolekularpumpe für die Gasteilchen „bequemer" ist, als über den Substratkanal, geht die beispielsweise mittels des Evakuierens der beiden Bereiche lila, 111b angestrebte

Verbesserung der Gastrennung im Substratkanal verloren oder das Evakuieren der beiden Bereiche lila, 111b mittels der Turbomolekularpumpe könnte sich sogar negativ auf die gesamte Gastrennung zwischen den Bereichen lila und 111b auswirken. Fig.17 veranschaulicht eine Vakuumpumpenanordnung 1400 in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wobei die Vakuumpumpenanordnung 1400 eine Turbomolekularpumpe 804a, 804b mit einem drehbar gelagerten Rotorabschnitt 102r aufweist, an welchem mehrere

Schaufelblätter (Bezugszeichen 102b veranschaulicht in dieser Darstellung den Bereich der Schaufelblätter) befestigt sind. Wie vorangehend beschrieben ist, kann ein Abdeckelement 104n (auch als Rotornabenblende 104n bezeichnet) in einem Abstand zu dem Rotor derart eingerichtet und angeordnet sein, dass zwischen dem Rotorabschnitt 102r und dem Abdeckelement 104n ein Gasseparationsspalt 106n gebildet ist.

An der Turbomolekularpumpe 804a, 804b kann beispielsweise ein Ringelement 404r montiert sein oder werden. Das Ringelement kann beispielsweise dazu genutzt werden, das Abdeckelement 104n mittels eines Verbindungselements 404s an dem

Ringelement 404r zu befestigen. Dabei schränkt das

Ringelement 404r die Zugriffsöffnung der Turbomolekularpumpe 804a, 804b nicht oder nur unwesentlich ein. Ferner kann die Turbomolekularpumpe 804a, 804b ein Schutzgitter aufweisen. Das Schutzgitter kann beispielsweise Teil des Ringelements 404r sein, wobei das Schutzgitter in einem Abstand 409 zu den Schaufelblättern der Turbomolekularpumpe 804a, 804b

angeordnet sein kann.

Das Verbindungselement 404s (auch als Steg bezeichnet) kann beispielsweise plattenförmig sein und sich parallel zur Rotationsachse 103n des Rotors erstrecken. Ferner kann das Verbindungselement in Richtung der Rotationsachse 103n des Rotors eine Ausdehnung von mehr als 30 mm aufweisen. Somit kann sich das Verbindungselement zumindest teilweise in eine Vakuumpumpenanschlussöffnung eines Kammergehäuses (in einer Kammerwand oder einem Kammerdeckel) hinein erstrecken, wenn die Turbomolekularpumpe 804a, 804b an dem Kammergehäuses montiert ist oder wird. Ferner kann das Verbindungselement 404s an ein

Gasseparationselement 414 (oder an ein Gasleitblech)

angekuppelt sein oder werden oder mit einem

Gasseparationselement 414 verbunden sein oder werden, wenn die Turbomolekularpumpe 804a, 804b an dem Kammergehäuse 104 montiert ist oder wird.

Das Gasseparationselement 414 kann das Trennelement 110 und/oder das Flächenelement 112 aufweisen oder daraus gebildet sein.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das

Gasseparationselement 414 im zu bepumpenden Raum lila, 111b unmittelbar an das Schutzgitter bzw. den Steg 404s

anschließen .

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Bauteil mit der Rotornabenblende 104n den konstruktiven Gegebenheiten der jeweils eingesetzten Turbomolekularpumpe 804a, 804b angepasst sein oder werden. Beispielsweise kann ein ursprüngliches Schutzgitter durch ein entsprechend geeignet massives und stabiles Bauteil ersetzt werden, bestehend aus Schutzgitter (z.B. kann das Schutzgitter optional sein), Ring 404r, Steg 404s und Rotornabenblende 104n. Der Steg 404s kann über die ursprüngliche Position des Schutzgitters hinweg fortgeführt sein oder werden zum besseren Anschluss des

Gasseparationselements 414 (z.B. der Trennwand 414).