Die Erfindung betrifft eine Reingaskabine mit einem gegenüber der Umgebung abgedichteten, von Seitenwänden umgebenen Innenraum.

Zahlreiche Fertigungsprozesse und Arbeitsschritte sowohl in der Produktion wie auch in der Forschung und Entwicklung können nicht unter üblichen Umgebungsbedingungen durchgeführt werden, sondern benötigen eine gesonderte Atmosphäre. Solche Fertigungsprozesse können Beschichtungsvorgänge, beispielsweise in der Halbleiterfertigung, Verkapselungsschritte bei der LCD- oder OLED-Herstellung oder Herstellprozesse hochreiner Grundstoffe, beispielsweise in der Medizin- und Pharmate- chnik und bei Schweißanwendungen, insbesondere Titanschweißungen sein. Die Prozesse können beispielsweise Reinraumbedingungen, eine niedrige Feuchtigkeit, eine Inertgas-Atmosphäre oder eine Kombination verschiedener solcher und weiterer Bedingungen erfordern. Es ist bekannt, solche Fertigungsprozesse oder Arbeitsschritte in einem geschlossenen Raum durchzuführen, in dem die Atmosphäre entsprechend der erforderlichen Bedingungen eingestellt werden kann. Der geschlossene Raum verfügt über Schleusen, über die benötigte Materialien in den geschlossenen Raum eingeführt und die Produkte entnommen werden können.

Ein solcher Raum ist beispielsweise bei sogenannten Gloveboxen gebildet, wie sie in der Literatur hinreichend beschrieben sind (vgl.„Reinraumtechnik", 3. aktualisierte u. erw. Aufl., Springer, S. 202 - 207). Solche Gloveboxen sind vorwiegende aus Edelstahl hergestellt. Sie bieten die Möglichkeit, über Handschuhdurchführungen die gewünschten Arbeitsschritte innerhalb der Glovebox durchzuführen. Zur Einstellung der erforderlichen Atmosphäre sind entsprechende Gaszuführungen oder Zirkulationsleitungen, mit denen der Glovebox Gas entnommen, durch zumindest eine Gasaufbereitungseinheit geleitet und anschließend wieder der Glovebox zugeführt wird, vorgesehen. Auf Grund ihres Aufbaus können solche Gloveboxen, insbesondere bei großen Fertigungsaggregaten, nur schwer in Fertigungsstraßen integriert werden, da die zu umschließenden Anlagen nur über die vorgesehenen Schleusen in die Glovebox eingebracht werden können.

Bekannt sind daher Inertgas-Gehäuse in einem Haubendesign. Die Hauben bilden mit einer Grundplatte einen umschlossenen Raum, in dem die erforderliche Atmosphäre eingestellt werden kann. Die vormontierte Haube wird von oben auf die Grundplatte gestellt und abgedichtet. Erforderliche Durchführungen, Schleusen, vorgeschaltete Kammern und sonstige benötigte Aggregate und Baugruppen sind vorzugsweise bereits an der Haube montiert und getestet. Das Inertgas-Gehäuse kann daher schnell an einem vorgesehenen Arbeits- bzw. Produktionsplatz aufgestellt werden. Der Ansatz des Haubendesigns bietet die Möglichkeit, beliebige Anlagen oder Anlagenteile in einem abgeschlossenen Raum, dessen Atmosphäre entsprechend der Erfordernisse eingestellt werden kann, zu betreiben. Dazu wird die Größe der Haube an die jeweilige Anlage angepasst. Die zum Bau der Inertgas-Gehäuse verwendeten Materialien sind so ausgelegt, dass sie die Atmosphäre in ihrem Inneren, beispielsweise durch Verunreinigungen oder Ausgasungen, nicht verändern. Weiterhin ist die Einhausung derart gestaltet, dass kein Gasaustausch zwischen dem Innenraum des Inertgas-Gehäuses und der Umgebung stattfindet. Bekannt sind Inertgas-Gehäuse aus Edelstahl oder aus Aluminium. Nachteilig bei solchen Inertgas-Gehäusen ist ihr hohes Gewicht, welches sich aus der beschriebenen Bauform und den verwendeten Materialien ergibt. Das hohe Gewicht erschwert zum einen, die Haube von oben über die jeweilige Anlage zu stülpen, da entsprechend belastbare Hebevorrichtungen vorhanden sein müssen. Weiterhin erhöhen die Inertgas- Gehäuse zusätzlich zu der umschlossenen Anlage die Bodenbelastung. Dies macht bei nicht ausreichender Bodenbelastbarkeit des Gebäudes, in dem die Reingaskabine aufgestellt werden soll, umfangreiche und kostenintensive Umbaumaßnahmen zur Erhöhung der Statik des Bodens erforderlich.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Reingaskabine zur Aufnahme von Anlagen oder Anlagenteilen zu schaffen, deren Innenraum gegenüber der Umgebung abgedichtet ist, deren Atmosphäre entsprechend der Anforderungen für den Betrieb der Anlage oder der Anlagenteile einstellbar ist und die ein niedriges Eigengewicht aufweist.

Die Aufgabe der Erfindung wird dadurch gelöst, dass zumindest ein Teil der Seitenwände der Reingaskabine aus einer oder mehreren Strukturkernplatten, insbesondere einer oder mehreren Wabenkernplatten, mit jeweils zwei Deckplatten und einem dazwischen angeordneten Strukturkern, insbesondere Wabenkern, gebildet sind Unter Strukturkernplatten sollen im Rahmen der Erfindung insbesondere solche plat- tenförmigen Bauteile verstanden werden, die sandwichartig aufgebaut sind und zwei oder mehrere Deckplatten aufweisen zwischen denen ein Strukturkern angeordnet ist. Der Strukturkern kann dabei eine beliebige, insbesondere Leichtbaustruktur sein. Diese kann beispielsweise von einem Wabenkern, einem wellen- oder mäanderför- migen Material, einem Schaumwerkstoff oder dergleichen gebildet sein.

Eine Reingaskabine gemäß der vorliegenden Erfindung ist ein Gehäuse, in dem eine erforderliche Atmosphäre eingestellt werden kann. Dazu ist das Gehäuse gasdicht gegenüber seiner Umgebung aufgebaut. Innerhalb des Gehäuses können Fertigungsprozesse und Arbeitsschritte durchgeführt werden, welche eine gesonderte Atmosphäre voraussetzen. Dazu sind entsprechende Fertigungsaggregate, wie beispielsweise ein Roboter, oder Laboraufbauten innerhalb der Reingaskabine angeordnet. Die Anforderungen an die Atmosphäre können deren Sauberkeit, deren Feuchtegehalt oder deren Zusammensetzung betreffen. So können beispielsweise bestimmte Prozesse nur unter einer Inertgas-Atmosphäre durchgeführt werden. Weitere Parameter, wie beispielsweise die Temperatur oder Boxdruck können ebenfalls einstellbar sein. Der Reingaskabine sind daher entsprechende Gasaufbereitungseinheiten zugeordnet. Bei der Reingaskabine kann es sich somit um ein Kabine mit einer polygonalen Grundfläche und einem gegenüber der Umgebung abgedichteten, von Seitenwänden umgebenen Innenraum handeln, mit zumindest einer Zirkulationsleitung, über die der Reingaskabine Gas entnommen, durch zumindest eine Gasaufbereitungseinheit geleitet und anschließend wieder der Reingaskabine zugeführt wird. Eine Box kann auch mit einem Laminarflowsystem ausgestattet sein

Seitenwände aus Strukturkernplatten weisen im Vergleich zu massiv ausgeführten Seitenwänden mit vergleichbarer mechanischer Belastbarkeit ein deutlich geringeres Gewicht auf. Durch den Aufbau der Strukturkernplatten mit zwei beabstandet angeordneten Deckplatten, die über den Strukturkern miteinander verbunden sind, ergibt sich eine sehr hohe Belastbarkeit der Seitenwände. Strukturkernplatten weisen eine hohe Biegesteifigkeit auf, so dass sich die daraus gebildeten Seitenwände bei Belastung nicht oder nur wenig elastisch verbiegen. Sie sind auf Grund der beidseitig angeordneten Deckplatten entsprechend der Permeationseigenschaften der verwende- ten Deckplatten in Richtung ihrer Flächennormalen gasdicht. Insbesondere Alumini- um-Wabenkernplatten, bei denen die Deckplatten und der Strukturkern aus Aluminium gebildet sind, eignen sich für die Herstellung gasdichter Seitenwände der Reingaskabine. Der Strukturkern verhindert, dass Gas innerhalb der Strukturkernplatte quer zu deren Flächennormalen strömt. Damit ist sichergestellt, dass kein Gas, beispielsweise über die Kanten oder über in die Deckplatten versetzt eingebrachte Durchbrüche, in die Reingaskabine gelangt oder aus der Reingaskabine strömen kann.

Strukturkernplatten können als Ganzes auf Grund ihres Aufbaus nicht ohne weiteres gebogen werden, da hierbei die äußere Deckplatte gedehnt und die innere Deckplatte gestaucht werden müsste, was zu entsprechenden Verwerfungen führt.

Gemäß einer Ausgestaltungsvariante der Erfindung kann es daher vorgesehen sein, dass entlang einer Ecke der Reingaskabine die eine Deckplatte gebogen und die andere Deckplatte und der Strukturkern aufgetrennt sind oder dass eine der Deckplatten in Richtung auf die andere Deckplatte in den Strukturkern eingeformt ist und dass die Strukturkernplatte im Einformbereich abgebogen ist.

Dadurch, dass entlang einer Ecke der Reingaskabine die eine Deckplatte gebogen und die andere Deckplatte und der Strukturkern aufgetrennt sind, lassen sich mit Strukturkernplatten dennoch Ecken ausbilden. Vorzugsweise wird die Deckplatte, die später auf der Seite des Außenwinkels der Ecke liegt, zusammen mit dem Strukturkern bis zur gegenüberliegenden Deckplatte aufgetrennt. Anschließend wird die innere Deckplatte entlang des Spaltes in der äußeren Deckplatte und des Strukturkerns auf den gewünschten Winkel der Ecke der Reingaskabine gebogen. Dabei weitet sich der Spalt auf. Alternativ kann es vorgesehen sein, dass die Deckplatte, die später am Innenwinkel der Ecke liegt, und der darunter liegende Strukturkern entlang der späteren Ecke bis hin zur gegenüberliegenden Deckplatte aufgetrennt werden. Der Spalt ist dabei so auszubilden, dass er sich, ausgehend von der nicht durchtrennten Deckplatte hin zur durchtrennten Deckplatte keilförmig aufweitet. Der erforderliche Öffnungswinkel des Spalts ist dabei durch den Winkel der auszubildenden Ecke vorgegeben. Anschließend wird die nicht durchtrennte Deckplatte entlang des Spalts derart gebogen, dass sie einen Außenwinkel ausbildet. Dabei wird der Spalt wieder zusammengedrückt.

Vorteilhaft ist, dass durch die jeweils vorliegende, nicht durchtrennte Deckplatte die Strukturkernplatte auch im Bereich der ausgebildeten Ecke gasdicht ist. Der Strukturkern verhindert dabei, dass sich Gas, ausgehend von dem Spalt, innerhalb der Strukturkernplatte ausbreitet.

Wenn vorgesehen ist. dass eine der Deckplatten in Richtung auf die andere Deckplatte in den Strukturkern eingeformt ist und dass die Strukturkernplatte im Einformbereich abgebogen ist, dann kann auf besonders einfache Weise eine gasdichte Eckgestaltung vorgenommen werden.

Gemäß einer bevorzugten Erfindungsausgestaltung kann es vorgesehen sein, dass der entlang einer Ecke der Reingaskabine gebildete Spalt in der aufgetrennten Deckplatte und in dem Strukturkern von einer Eckenabdeckung überdeckt ist und/oder dass die Eckenabdeckung mit zwei im Winkel zueinander angeordneten Schenkeln jeweils auf einer Seite des Spalts mit der Strukturkemplatte dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt ist. Die Eckenabdeckung erhöht die Stabilität der Seitenwand im Bereich der Ecke. Sie legt den Winkel der Ecke fest und verhindert, dass dieser Winkel bei Belastung der Seitenwand, zum Beispiel durch Aufbiegen der nicht getrennten Deckplatte, verändert wird. Weiterhin bewirkt sie eine zusätzliche Abdichtung der Seitenwand entlang der Ecke. Ein Schutz der Kanten der Seitenwände vor einer mechanischen Beschädigung kann dadurch erreicht werden, dass an Kanten der Strukturkernplatten am oberen und am unteren Ende der Seitenwände Profilschienen aufgesetzt, insbesondere aufgesteckt und mit den Strukturkernplatten dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt sind. Die Profilschienen ermöglichen einen dichten Anschluss der Seitenwände am Boden und an dem Deckel der Reingaskabine.

Um weitere Bauteile einfach und sicher an den Strukturkernplatten befestigen zu können kann es vorgesehen sein, dass in der Strukturkernplatte zumindest eine Schraubenaufnahme angeordnet ist und dass die Schraubenaufnahme durch eine der zwei Deckplatten und zumindest einen Teil des zwischen den Deckplatten angeordneten Strukturkerns der Strukturkernplatte geführt ist und/oder dass die Schraubenaufnahme durch beide Deckplatten und den Strukturkern geführt und bei eingeführtem Befestigungselement zumindest einseitig abgedichtet ist. Ist von der Schraubenaufnahme nur eine der beiden Deckplatten durchbrochen, ist die Strukturkernplatte im Bereich der Schraubenaufnahme weiterhin gasdicht. Ist es, beispielsweise bei einer erhöhten mechanischen Belastung der Schraubverbindung, erforderlich, dass beide Deckplatten durch die Schraubenaufnahme durchbrochen werden, so kann über die Abdichtung verhindert werden, dass durch die Schraubenaufnahme Gas von außen in die Reingaskabine oder aus der Reingaskabine an die Umgebung gelangt.

Eine gasdichte Verbindung zweier benachbarter Strukturkernplatten kann dadurch erreicht werden, dass zwei aneinandergrenzende Strukturkernplatten durch zumindest eine Verbindungsschiene verbunden sind, dass die Verbindungsschiene einen Anlegeabschnitt aufweist und dass der Anlegeabschnitt mit jeweils einer Deckplatte der angrenzenden Strukturkernplatten dicht verbunden, insbesondere dicht verklebt ist. Der Anlegeabschnitt der Verbindungsschiene bildet somit eine gasdicht ausgeführte Brücke zwischen den beiden aneinandergrenzenden Strukturkernplatten. Vor- teilhaft erfolgt die Verbindung der Strukturkernplatten in einem geraden Bereich der Seitenwand der Reingaskabine. Eine solche Verbindung ist einfacher abzudichten als eine Verbindung in einer Ecke der Reingaskabine. Alternativ oder zusätzlich zu der Klebung können Dichtelemente zwischen der jeweiligen Strukturkernplatte und dem anliegenden Anlegeabschnitt der Verbindungsschiene vorgesehen sein.

Der konstruktive Aufbau lässt sich dadurch noch vereinfachen, dass die Verbindungsschiene ein Strangpressprofil mit einem Hohlprofil und dem daran angeformten Anlegeabschnitt ist und dass die aneinandergrenzenden Strukturkernplatten beidseitig entlang des Hohlprofils angeordnet und durch dieses beabstandet sind. Durch das Hohlprofil wird eine hohe Steifigkeit und Stabilität der Verbindungsschiene erreicht. Dadurch erfolgt eine zusätzliche Versteifung der mit der Verbindungsschiene verbundenen Seitenwände. Das Hohlprofil bewirkt weiterhin eine exakte Positionierung der daran angelegten Strukturkernplatten. Die Verbindungsschiene kann einfach und kostengünstig in einem Strangpressprozess hergestellt werden. Um einen leichten Aufbau der Reingaskabine zu erreichen, ist die Verbindungsschiene vorzugsweise aus Aluminium gefertigt.

Die Montage der Reingaskabine kann dadurch vereinfacht werden, dass zumindest eine der aneinandergrenzenden Strukturkernplatten mit ihrer Kante in einen Bereich zwischen dem Anlegeabschnitt und einer gegenüberliegend zu dem Anlegeabschnitt an das Hohlprofil angeformten Gegenschiene eingeschoben und gehalten ist. Die Gegenschiene und der gegenüberliegende Anlegeabschnitt bilden zusammen mit dem Hohlprofil eine U-förmige Aufnahme aus, in die eine Strukturkernplatte mit ihrer Kante eingeschoben und gehalten werden kann. Die Gegenschiene bewirkt somit eine zusätzliche Abdichtung sowie eine erhöhte Stabilität im Übergangsbereich von der Strukturkernplatte zu der Verbindungsschiene. Um den Innenraum der Reingaskabine auch nach unten hin abzudichten kann es vorgesehen sein, dass die Seitenwände mittelbar oder unmittelbar mit einem Boden der Reingaskabine verbunden sind und dass der Boden aus einer oder mehreren als Strukturkernplatten, insbesondere als Wabenkernplatten, ausgeführten Bodenplatten gebildet ist. Die Seitenwände sind dabei gasdicht mit dem Boden verbunden. Durch den Aufbau des Bodens mit Strukturkernplatten wird eine im Vergleich zu einem massiven Bodenaufbau deutliche Reduzierung des Gewichts der Reingaskabine erreicht.

Eine einfach zu montierende und dichte Verbindung der Seitenwände mit dem Boden der Reingaskabine kann dadurch erreicht werden, dass die Seitenwände mit ihren aufgesetzten, insbesondere aufgesteckten Profilschienen auf dem Boden aufgestellt und durch Halteklammern an dem Boden festgelegt sind und dass zwischen den Profilschienen und dem Boden Dichtelemente vorgesehen sind und/oder dass die Profilschienen mit dem Boden verklebt sind.

Eine trittfeste und dennoch gasdichte Verbindung zwischen benachbarten Bodenplatten kann dadurch erreicht werden, dass an aneinanderstoßender Kanten benachbarter Bodenplatten ineinandergreifende Bodenschienen angeformt oder angeklebt sind und dass die Bodenschienen dicht miteinander verbunden sind.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Erfindungsgestaltung kann es vorgesehen sein, dass die Reingaskabine nach oben durch einen aus zumindest einer Deckelplatte gebildeten Deckel abgeschlossen ist und dass die Deckelplatte aus einer Strukturkernplatte, insbesondere Wabenkernplatten, gebildet ist. Auch hier bietet die Strukturkernplatte die bereits beschriebenen Vorteile eines geringen Gewichts, einer hohen mechanischen Belastbarkeit bei geringer Durchbiegung sowie der Dichtheit gegenüber Gasen. Eine einfach zu montierende und dichte Verbindung der Seitenwände mit dem Deckel der Reingaskabine kann dadurch erreicht werden, dass die Seitenwände mit ihren aufgesetzten, insbesondere aufgesteckten Profilschienen mittelbar oder unmittelbar mit der zumindest einen Deckelplatte verbunden sind und/oder dass zwischen den Profilschienen und der Deckelplatte Dichtelemente vorgesehen sind und/oder dass die Profilschienen mit der Deckelplatte verklebt sind.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 in perspektivischer Außenansicht eine Reingaskabine,

Fig. 2 die in Figur 1 gezeigte Reingaskabine in einer perspektivischen Innenansicht,

Fig. 3 die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Reingaskabine in einer Explosionsdarstellung,

Fig. 4 eine Ecke der Reingaskabine in einer Schnittdarstellung von oben,

Fig. 5 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Außenansicht,

Fig. 6 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Innenansicht,

Fig. 7 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Außenansicht und in einer Explosionsdarstellung, Fig. 8 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer Ecke der Reingaskabine in einer perspektivischen Außenansicht im Bereich zweier Verbindungsschienen,

Fig. 9 zwei endseitig aneinanderstoßende Seitenwände mit einer in Figur 8 gezeigten Verbindungsschiene in einer Schnittdarstellung,

Fig. 10 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten

Verbindungsschiene in einer Außenansicht,

Fig. 11 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten

Verbindungsschiene und einem oberen Abschiuss einer ersten vertikalen Seitenwand in einer Außenansicht,

Fig. 12 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten

Verbindungsschiene und einem unteren Abschiuss einer ersten vertikalen Seitenwand in einer Außenansicht,

Fig. 13 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt mit einer vertikal angeordneten

Verbindungsschiene und einem unteren Abschiuss einer fünften und einer sechsten Seitenwand in einer Innenansicht,

Fig. 14 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt im Bereich zweier aneinander- grenzender Bodenplatten in einer Explosionsdarstellung,

Fig. 15 einen Träger der Reingaskabine in einer perspektivischen Darstellung, Fig. 16 den in Figur 15 gezeigten Träger in einer Schnittdarstellung mit Blick in Richtung der Längserstreckung des Trägers,

Fig. 17 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt im Bereich eines Deckels der

Reingaskabine und

Fig. 18 einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt im Bereich einer Befestigung einer Tragekonstruktion der Reingaskabine.

Figur 1 zeigt in einer perspektivischen Außenansicht eine Reingaskabine 10. Für eine leichtere Übertragbarkeit der folgenden Ausführungen sind eine Vorderseite 10.1 und eine Rückseite 10.2 der Reingaskabine 10 frei festgelegt.

Die Reingaskabine 10 weist einen polygonalen Grundriss auf. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Grundriss sechseckig. Auf einem entsprechend sechseckigen Boden 20 sind Seitenwände 30 aufgestellt. Die Seitenwände 30 orientieren sich dabei an Positionierelementen 21 , die außen an dem Boden 20 angebracht sind. In der gewählten Ansicht von der Vorderseite 10.1 sind links eine erste vertikale Seitenwand 30.1 und übereinander angeordnet eine erste, eine zweite und eine dritte horizontale Seitenwand 30.8, 30.9, 30.10 vorgesehen. Weitere vertikale Seitenwände

30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7 sind in Figur 3 gezeigt. Die erste vertikale Seitenwand 30.1 umfasst eine erste Ecke 11.1 der Reingaskabine 10. Die drei horizontalen Seitenwände 30.8, 30.9, 30.10 umspannen eine zweite und eine dritte Ecke 11.2,

11.3. In dem mittleren Bereich der zweiten horizontalen Seitenwand 30.9 ist ein Ausschnitt 31 vorgesehen, in den eine Zwischentür 35 eingesetzt ist.

An den Übergängen zwischen den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 sind Verbindungsschienen 60 vorgesehen, welche mittels Verbindungsklammern 61 mit den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verbunden sind.

Oben ist die Reingaskabine 10 mit einem Deckel 40 abgeschlossen. Der Deckel 40 weist ebenfalls eine sechseckige Grundstruktur auf. Die Fläche des Deckels 40 ist aus vier Deckelplatten 43 gebildet. Die Deckelplatten 43 sind mit Befestigungselementen 44 und Rand-Befestigungselementen 45 gehalten. Umlaufend zu den Deckelplatten 43 ist eine Umrandung 42 vorgesehen, an der ein Geländer 41 befestigt ist.

Seitlich an der Reingaskabine 10 sind zwei Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 in Form von rechteckigen Kanälen befestigt. Die Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 sind über Zuführungen 51.1 , 51.2und Entnahmestellen 52.1 , 52.2 , wie sie in den Figuren 1 , 2 und 3 dargestellt sind, mit dem Innenraum der Reingaskabine 10 verbunden. Dazu sind entsprechende Durchbrüche in der ersten und der dritten horizontalen Seitentwand 30.8, 30.10 sowie in der in Figur 3 gezeigten zweiten vertikalen Seitenwand 30.2 vorgesehen.

Die Reingaskabine 10 stellt ein gegenüber seiner Umgebung abgedichtetes Gehäuse dar. Innerhalb der Reingaskabine 10 können Fertigungsanlagen oder Laboraufbauten usw. angeordnet werden. Weiterhin kann in der Reingaskabine 10 eine vorgegebene Atmosphäre eingestellt werden. Dazu kann ein bestimmtes Gas oder ein Gasgemisch mit einer vorgegebenen Zusammensetzung in dem Innenraum der Reingaskabine 10 vorliegen. Bei dem Gas oder Gasgemisch kann es sich um ein Inertgas handeln. Weiterhin kann die Feuchte des Gases oder des Gasgemischs eingestellt werden. Als zusätzliche Anforderung kann eine erforderliche Reinraumklasse für die Reingaskabine 10 vorgegeben sein. Die Anforderungen können sowohl einzeln wie in Kombination gelten. Zusätzliche können weitere Atmosphärenparameter, beispielsweise die Temperatur und Druck eingestellt werden. Als Reingas ent- sprechend der vorliegenden Erfindung ist eine Atmosphäre, welche den geforderten Anforderungen entspricht, zu verstehen.

Je nach erforderlicher Atmosphäre ist die Reingaskabine 10 mit entsprechenden Aggregaten zur Bereitstellung bzw. Erzeugung dieser Atmosphäre ausgerüstet. In der vorliegenden Ausführung weist die Reingaskabine 10 die beiden Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 auf. Über diese wird an den Entnahmestellen 52.1 , 52.2 Gas aus Reingaskabine 10 entnommen und über die Zuführungen 51.1 , 51.2 wieder der Reingaskabine 10 zugeführt. Dabei wird das Gas einer in Figur 2 gezeigten Gasaufbereitungseinheit 55 zugeführt. Die Gasaufbereitungseinheit 55 steht in Verbindung mit dem Innenraum der Reingaskabine 10. Das in der Gasaufbereitungseinheit 55 aufbereitete Gas wird nach Durchströmen der Gasaufbereitungseinheit 55 über die Entnahmestellen 52.1 , 52.2, den Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 und den Zuführungen 51.1 , 51.2 dem Innenraum der Reingaskabine 10 zugeführt. Die Gasaufbereitung umfasst die Einstellung der für den Innenraum der Reingaskabine 10 erforderten Atmosphäre.

Die Reingaskabine 10 ermöglicht so die Durchführung von Fertigungsprozessen oder Arbeitsschritten, die eine spezielle Atmosphäre erfordern. Solche Fertigungsschritte können Beschichtungsprozesse, Verkapselungsprozesse oder die Verarbeitung oder Herstellung hochreiner Substanzen, beispielsweise im pharmazeutischen Bereich, sein. Die Zuführung benötigter Materialien und Substanzen erfolgt über vorgesehene Schleusen, im vorliegenden Ausführungsbeispiel zum Beispiel über die Zwischentür 35. Dabei kann die Zwischentür 35 eine Verbindung zu einer der Reingaskabine 10 angeschlossenen / verbundenen Kammer darstellen.

Erfindungsgemäß sind die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 aus Strukturkernplatten 12 gebildet, wie sie näher zu Figur 4 beschrieben sind. Dabei können die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 als Wabenkernplatten oder als Aluminium-Wabenkernplatten ausgeführt sein. Strukturkernplatten weisen einen mehrschichtigen Aufbau auf. Wie in Figur 4 gezeigt, sind zumindest zwei beabstandete Deckplatten 12.1 , 12.2 flächig mit einem Strukturkern 12.3 verbunden. Die Deckplatten 12.1 , 12.2 und der Strukturkern 12.3 sind in der vorliegenden Ausführungsvariante aus Aluminium gefertigt. Der Strukturkern 12.3 ist als Wabenkern ausgeführt. Auf diese Weise werden Platten mit einer hohen Biegesteifigkeit und gleichzeitig einem geringen Gewicht erzeugt. Die Reingaskabine 10 weist somit ein deutlich geringeres Gewicht als eine mit massiven Aluminium- oder Edelstahlwänden hergestellte Reingaskabine 10 auf. Dadurch wird die Bodenbelastung, die sich aus dem Gewicht der umbauten Anlagenteile und der Reingaskabine 10 ergibt, deutlich reduziert. Die Reingaskabine 10 kann somit auch in Gebäuden mit geringer Bodenbelastbarkeit eingesetzt werden. Weiterhin erleichtert ein geringeres Gewicht die Aufstellung der Reingaskabine 10 an ihrem Einsatzort, da hierzu keine Hebevorrichtungen oder Hebevorrichtungen mit einer geringen Belastbarkeit benötigt werden.

Um das Gewicht der Reingaskabine 10 weiter zu reduzieren sind auch die Deckelplatten 43 aus Strukturkernplatten 12, im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Aluminium-Wabenkernplatten, gebildet.

Figur 2 zeigt die in Figur 1 gezeigte Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Innenansicht. Dabei erfolgt der Einblick in die Reingaskabine 10 von deren Rückseite 10.2 aus.

Auf dem Boden 20 der Reingaskabine 10 ist entlang der Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 ein Gas-Zuführungskanal 53 angebracht. Der Gas-Zuführungskanal 53 ist mit dem Boden 20 und den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verbunden. Die erste Zuführung 52.1 und die in Figur 3 gezeigte zweite Zuführung 52.2 der Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 führen in den Gas-Zuführungskanal 53. Dieser ist über gelochte Abdeckgitter 54, die seitlich und oben auf dem Gas-Zuführungskanal 53 angeordnet sind, mit dem Innenraum der Reingaskabine 10 verbunden.

Zwischen den gezeigten horizontalen Seitenwänden 30.8, 30.9, 30.10 sind Verbindungsschienen 60 angeordnet, welche zum Innenraum der Reingaskabine 10 hin jeweils ein angeformtes Hohlprofil 60.2 aufweisen. Die Seitenwände 30.8, 30.9, 30.10 liegen an den Hohlprofilen 60.2 an. Der Aufbau der Verbindungsschienen 60 des gezeigten Ausführungsbeispiels ist vergrößert und im Schnitt in Figur 9 gezeigt.

Ein oberer Bereich des Innenraums der Reingaskabine 10 ist durch eine Tragekonstruktion 70 abgegrenzt. An der Tragekonstruktion 70 ist nach unten eine Decke 13 befestigt, die zumindest teilweise als Lochdecke ausgeführt ist. Auf der Tragekonstruktion 70 sind Filter (und evtl. Temperierungseinrichtungen in Form von Wasser- Luft-Wärmetauscher) 56 der Gasaufbereitungseinheit 55 gelagert. Oberhalb der Filter (Wärmetauscher) ist eine Unterkonstruktion 46 angeordnet, auf welcher der Deckel 40 der Reingaskabine 10 gelagert ist. Die Tragekonstruktion 70 und die Unterkonstruktion 46 sind mit Trägern 80 aufgebaut, die an den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 festgelegt sind.

Die Fertigungsanlagen oder Laboraufbauten usw. können auf dem Boden 20 der Reingaskabine 10 aufgestellt werden. Bei der Fertigungsanlage oder dem Laboraufbau kann es sich beispielsweise um einen Roboter handeln, der einen oder mehrere Arbeitsschritte in der eingestellten Atmosphäre der Reingaskabine 10 durchführt.

Das Gas wird über die Entnahmestellen 52.1 , 52.2 dem Innenraum der Reingaskabine 10 entnommen und über die Zuführungen 51.1 , 51.2 dem Innenraum wieder zugeführt. Dazu wird das Gas durch die Filter 56 in den Zwischenraum zwischen der Decke 13 und dem Deckel 40 gesogen und dann den Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 zugeführt. Die Decke 13 ist unterhalb der Filter 56 gelocht ausgeführt. Alternativ kann die Decke 13 unterhalb der Filter 56 auch ausgespart sein. Der Innenraum der Reingaskabine 10 wird somit von oben nach unten von dem Gas durchströmt. Dazu sind in den Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2 nicht dargestellt entsprechende Ventilatoren vorgesehen.

Figur 3 zeigt die in den Figuren 1 und 2 gezeigte Reingaskabine 10 in einer Explosionsdarstellung.

Eine vierte Ecke 11.4 der Reingaskabine 10 ist innerhalb der siebten vertikalen Seitenwand 30.7 angeordnet. Eine fünfte Ecke 11.5 verläuft innerhalb der fünften vertikalen Seitenwand 30.5, während eine sechste Ecke 11.6 entlang der dritten vertikalen Seitenwand 30.3 verläuft. Die Stoßkanten zwischen den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verlaufen nicht entlang der Ecken 11.1 , 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6 der Reingaskabine 10. Sie sind entlang geradlinig verlaufender Abschnitte der Außenwand der Reingaskabine 10 angeordnet. Dadurch können die Übergänge zwischen den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 gut abgedichtet werden.

An den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 sind Befestigungsschienen 71 zur Befestigung der Tragekonstruktion 70 angebracht.

Der Boden 20 ist aus aneinandergrenzenden Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3 gebildet. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind drei Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3 vorgesehen. Um das Gewicht der Reingaskabine 10 zu reduzieren, sind die Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3 aus Strukturkernplatten 12, im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Aluminium-Wabenkernplatten, gebildet. Die Ausschnitte V, VI, VII, VIII, X, XI, XII, XIII, XIV, XVII, XVIII sind in den Figuren 5, 6, 7, 8, 10, 11 , 12, 13, 14, 17 und 18 vergrößert dargestellt.

Zur Herstellung werden die verschiedenen Bauteile der Reingaskabine 10 vorgefertigt. Dabei werden die Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3, die Seitenwände 30.1 , 30.2,

30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 und die Deckelplatten 43 aus Strukturkernplatten 12 zugeschnitten. Benötigte Ausnehmungen, wie der Ausschnitt 31 für die Zwischentür 35 und die Entnahmestellen 52.1 , 52.2 und Zuführungen 51.1 , 51.2 der Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2, werden in die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3,

30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 eingebracht. Die in den Eckbereichen angeordneten Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 werden entlang der späteren Ecken 11.1 , 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6 der Reingaskabine 10 gebogen, wie dies zu Figur 4 näher erläutert ist. Die Träger 80 werden zugeschnitten und zur Tragekonstruktion 70 und zur Unterkonstruktion 46 zusammengebaut. Die Deckelplatten 43 werden mit der Unterkonstruktion 46 mittels der Befestigungselemente 44 verbunden.

Zur Montage der Reingaskabine 10 werden die Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3 zu dem Boden 22 verbunden und die Positionierelemente 21 angebracht. Die Fertigungsanlage oder der Laboraufbau wird auf dem Boden 22 positioniert. Anschließend werden die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 aufgestellt und mittels der Verbindungsschienen 60 untereinander sowie mit den Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3 gasdicht verbunden. Dabei liegen die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 einseitig an den Positionierelementen 21 an. Die Befestigungsschienen 71 werden an den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 befestigt und die Tragekonstruktion 70 eingelegt. Die Aggregate der Gasaufbereitungseinheit 55 werden installiert. Anschließend wird der Deckel 40 aufgesetzt und gasdicht mit den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verbunden. Zugänge, wie die Zwischentür 35, werden montiert. Abschließend werden weitere Baugruppen, wie die Zirkulationsleitungen 50.1 , 50.2, der Gaszuführungskanal 53, die Umrandung 42 und das Geländer 41 , angebracht. Das Vorgehen bietet den Vorteil, dass keine vorgefertigte Haube als Ganzes transportiert werden muss, sondern die einzelnen Bauteile vor Ort verbaut werden. Hebeeinrichtungen sind daher nicht erforderlich und der Transport der Bauteile zu dem Aufstellungsort ist einfach und daher kostengünstig.

In einem alternativen Vorgehen wird zunächst die Haube der Reingaskabine 10, bestehend aus den Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10, der Tragekonstruktion 70 und der Unterkonstruktion 46 mit dem Deckel 40, vormontiert. Abhängig von der jeweiligen Situation können weitere Bauteile und Baugruppen an der Haube vormontiert werden.

Zur Installation der Reingaskabine 10 wird der Boden 20 aufgebaut, die Positionierelemente 21 daran angebracht und die Fertigungsanlage oder der Laboraufbau darauf aufgestellt. Anschließend wird die vormontierte Haube von oben auf den Boden 20 aufgestellt. Vorteilhaft hierbei ist, dass die Haube in ihrer Funktion und Dichtheit bereits vorher geprüft werden kann. Weiterhin kann der Aufbau vor Ort schnell und damit beispielsweise ohne lange Unterbrechungen einer laufenden Fertigung durchgeführt werden.

Figur 4 zeigt eine Ecke 11 der Reingaskabine 10 in einer Schnittdarstellung von oben. Die Ecke 11 steht dabei stellvertretend für die bereits eingeführten Ecken 11.1 , 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6. Eine Strukturkernplatte 12 ist aus zwei beabstandet gegenüberstehenden Deckplatten 12.1 , 12.2 und einem Strukturkern 12.3 gebildet. Der Strukturkern 12.3 verbindet die beiden Deckplatten 12.1 , 12.2. Die Strukturkernplatte 12 bildet die Ecke 11 aus. Dazu sind die äußere zweite Deckplatte 12.2 und der Strukturkern 12.3 erfindungsgemäß entlang der Ecke 11 aufgetrennt. Die innere ers- te Deckplatte 12.1 ist entlang der Kante 11 gebogen. Dabei ist die innere erste Deckplatte 12.1 entlang der Kante 11 derart gebogen, dass sie auf ihrer dem Strukturkern 12.3 abgewandten Seite einen Innenwinkel ausbildet. Durch die Biegung der Strukturkernplatte 12 bildet sich entlang der Trennlinie der ersten Deckplatte 12.1 und des Strukturkerns 12.3 ein geöffneter Spalt 32 aus. Dieser ist durch eine Eckenabdeckung 33 abgedeckt. Die Eckenabdeckung 33 ist durch zwei im Winkel zueinander stehende Schenkel 33.1 , 33.2 gebildet. Dabei entspricht der Winkel dem erforderlichen Winkel der Kante 11 der Reingaskabine 10. Die Schenkel 33.1 , 33.2 sind jeweils auf einer Seite des Spalts 32 mit der äußeren zweiten Deckplatte 12.1 der Strukturkernplatte 12 verbunden, insbesondere verklebt.

Die Strukturkernpatten 12 weist durch ihren Aufbau eine hohe Stabilität und Biege- steifigkeit bei gleichzeitig geringem Eigengewicht auf. Daher kann eine Reingaskabine 10 mit einem gegenüber herkömmlichen Wandmaterialien, wie massivem Aluminium oder Edelstahl, sehr geringen Gewicht aufgebaut werden. Durch die beiden Deckplatten 12.1 , 12.2 sind Strukturkernplatten gasdicht. Auch zwischen den Deckplatten 12.1 , 12.2 kann Gas nicht innerhalb des Strukturkerns 12.3 quer zur Flächennormalen der Strukturkernplatte 11 strömen, da die Strukturkernelemente in diese Richtung untereinander und zu den Deckplatten 12.1 , 12.2 dicht verbunden sind. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind Strukturkernplatten 12 mit einem Wabenkern als Strukturkern 12.3 vorgesehen. Wabenkerne führen zu einer hohen Biegesteifig- keit der Strukturkernplatten 12, während sie quer zur Flächennormalen der Struktur- kemplatten 12 gasdicht ausgeführt werden können.

Da zur Ausbildung der Kante 11 nur die äußere zweite Deckplatte 12.2 und der Strukturkern 12.3 aufgetrennt wurden und die innere erste Deckplatte 12.1 erfindungsgemäß nicht aufgetrennt, sondern lediglich gebogen wurde, bleibt die Strukturkernplatte 12 im Bereich der Kante 11 gasdicht. Dies ist eine Grundvoraussetzung für den Einsatz als Seitenwand 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 einer Reingaskabine 10. Da die Strukturkernplatte 12 quer zur Flächennormalen gasdicht ist, kann über den Spalt 32 kein Gas eingebracht und quer zur Strukturkernplatte 12 zu einem möglichen, von der Ecke 11 beabstandeten Durchbruch der inneren ersten Deckplatte 12.1 und damit in das Innere der Reingaskabine 10 gelangen.

Durch die Eckenabdeckung 33 wird der Winkel der Kante 11 vorgegeben und stabilisiert. Zusätzlich dichtet die Eckenabdeckung 33 den Bereich des Spalts 32 ab. Sie verhindert weiterhin, dass die innere erste Deckplatte 12.1 versehentlich von außen durch den Spalt 32 beschädigt wird. Vorzugsweise ist die Eckenabdeckung 33 eine entlang ihrer Längserstreckung gebogene Schiene, insbesondere aus Aluminium.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Strukturelementplatte 12 als Aluminium- Wabenkernplatte ausgeführt. Dabei sind die Deckplatten 12.1 , 12.2 und der Strukturkern 12.3 aus Aluminium gefertigt. Der Strukturkern 12.3 weist eine Wabenstruktur auf. Damit werden dichte, mechanisch sehr stabile Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 erhalten. Aluminium verhält sich vorteilhaft gegenüber den meisten innerhalb der Reingaskabine 10 erforderlichen Atmosphären inert.

Figur 5 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt V mit einer zweiten Ecke 11.2 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Außenansicht. Entlang der zweiten Ecke 11.2 ist die Eckenabdeckung auf die äußere zweite Deckplatte 12.2 der Strukturkernplatte 12 aufgeklebt. Auf die obere Kante der ersten horizontalen Seitenwand 30.8 sind zwei Profilschienen 62 aufgesteckt. Dabei ist die erste horizontale Seitenwand 30.8 in Aufnahmebereiche 62.2 der benachbarten Profilschienen 62 eingeführt. Auf den den Öffnungen der Aufnahmebereiche 62.2 gegenüberliegenden Seiten der Profilschienen 62 sind beidseitige zwei Auflagestreifen 62.1 einstückig an die Auf- nahmebereiche 62.2 angeformt. Im Bereich der zweiten Kante 11.2 stoßen die auf Gehrung geschnittene Profilschienen 62 aufeinander.

Die Profilschienen 62 decken die offenen Kanten der als Strukturkernplatte 12 ausgeführten Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 nach oben ab. Bei montierter Reingaskabine 10 bilden die Auflagestreifen 62.1 Kontaktflächen zu dem aufliegenden Deckel 40. Dabei können die Kontaktflächen dicht, beispielsweise durch Kleben oder durch Klemmen, mit dem Deckel 40 verbunden werden. Zur Abdichtung können Dichtungen entlang der Kontaktflächen angeordnet sein. Vorzugsweise sind auch die Kontaktbereiche zwischen den Profilschienen 62 und den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 abgedichtet. Dazu können Dichtelemente innerhalb der Aufnahmebereiche 62.2 vorgesehen sein oder die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 sind im Bereich der Aufnahmebereiche 62.2 mit der Profilschiene 62 verklebt.

Figur 6 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt VI mit einer fünften Ecke 11.5 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Innenansicht. Der Ausschnitt VI entspricht damit der Darstellung aus Figur 5, jedoch mit einem Blick auf den Innenwinkel einer Ecke 11.1 , 11.2, 11.3, 11.4, 11.5, 11.6 im Bereich des oberen Abschlusses einer Seitenwand 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.

Die fünfte vertikale Seitenwand 30.5 ist als Strukturkernplatte 12 ausgeführt. Die innere erste Deckplatte 12.1 der Strukturkernplatte 12 ist entlang der fünften Ecke 11.5 gebogen, so dass sich ein Innenwinkel ausbildet. Da die innere erste Deckplatte 12.1 im Bereich der fünften Ecke 11.5 nicht durchbrochen ist, bleibt der Bereich der fünften Ecke 11.5 gasdicht. Figur 7 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt VII mit einer zweiten Ecke 11.2 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Außenansicht und in einer Explosionsdarstellung.

Die Profilschienen 62 sind entsprechend des Winkels der zweiten Ecke 11.2 auf Gehrung geschnitten. Sie weisen die nach unten geöffneten Aufnahmebereiche 62.2 auf, mit denen sie auf obere Kante der im gezeigten Ausschnitt VII horizontalen ersten Seitenwand 30.8 aufgesteckt werden.

Die Kantenabdeckung 33 ist als Aluminiumprofil auf die Höhe des abzudeckenden Eckbereichs zugeschnitten. Entlang der zweiten Ecke 11.2 ist der durch das Trennen der äußeren zweiten Deckplatte 12.2 und des Strukturkerns 12.3 nach dem Biegen der achten Seitenwand 30.8 gebildete Spalt 32 freigelegt.

Zwischen den übereinander angeordneten ersten und zweiten horizontalen Seitenwände 30.8, 30.9 sind Verbindungsschienen 60 vorgesehen. Diese sind mittels der Verbindungsklammern 61 und geeigneten Befestigungselementen, insbesondere Schrauben, an der ersten und zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 montiert.

Figur 8 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt VIII mit einer zweiten Ecke 11.2 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Außenansicht im Bereich zweier Verbindungsschienen 60.

Die Verbindungsschienen 60 sind zwischen der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 angeordnet. Dabei liegen die Verbindungsschienen 60 mit Anlegeabschnitten 60.1 großflächig an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 an. Die Verbindungsschienen 60 sind mittels der Verbindungsklammern 61 an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 befestigt. Die Verbindungsklammern 61 weisen Bohrungen 61.1 auf. Durch die Bohrun- gen 61.1 können Befestigungselemente, insbesondere Schrauben, geführt werden, mit welchen die Verbindungsklammern 61 an den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3,

30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10, im dargestellten Ausschnitt VIII an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9, befestigt werden können.

Der Bereich zwischen den Anlegeabschnitten 60.1 und den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 ist vorzugsweise abgedichtet. Dazu können Dichtelemente zwischen den Anlegeabschnitten 60.1 und den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 vorgesehen sein oder die Anlegeabschnitte 60.1 können mit den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4,

30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 verklebt sein. Die Verbindungsschienen 60 ermöglichen somit eine gasdichte Verbindung zwischen benachbarten Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.

An der zweiten Kante 11.2 sind die Verbindungsschienen 60 auf Gehrung geschnitten.

Figur 9 zeigt zwei endseitig aneinanderstoßende Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit einer in Figur 8 gezeigten Verbindungsschiene 60 in einer Schnittdarstellung. Dargestellt ist ein Stoßbereich zwischen der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9.

Die Verbindungsschiene 60 ist aus einem Hohlprofil 60.2 und dem daran einstückig angeformten Anlegeabschnitt 60.1 gebildet. Gegenüberliegend zu dem Anlegeabschnitt 60.1 ist auf Seiten der zweiten horizontalen Seitenwand 30.9 eine Gegenschiene 60.3 an das Hohlprofil 60.2 angeformt. Die Gegenschiene 60.3 ist entsprechend der Dicke der zweiten horizontalen Seitenwand 30.9 von dem Anlegeabschnitt 60.1 beabstandet. Zwischen dem Anlegeabschnitt 60.1 , der Gegenschiende 60.3 und dem Hohlprofil 60.2 bildet sich somit ein U-förmig umfasster Bereich aus, in den die zweite horizontale Seitenwand 30.9 eingesteckt ist. Endseitig liegen die erste und die zweite horizontale Seitenwand 30.8, 30.9 an dem Hohlprofils 60.2 an. Das Hohlprofil 60.2 gibt somit den Abstand zwischen der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 vor. Die Verbindungsschiene 60 liegt mit ihrem Anlegeabschnitt 60.1 von außen an der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 an. Die Verbindungsklammer 61 überspannt den Anlegeabschnitt 60.1 quer zu seiner Längserstreckung. Seitlich des Anlegeabschnitts 60.1 sind die Bohrungen 61.1 in die Verbindungsklammer 61 eingebracht. Fluchtend zu den Bohrungen 61.1 sind Schraubenaufnahmen 34 in der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 eingebracht. Die Verbindungsklammer 61 wird durch nicht dargestellte Schrauben, welche durch die Bohrungen 61.1 der Verbindungsklammer 61 in die Schraubenaufnahmen 34 geführt sind, mit der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 verbunden. Damit wird die Verbindungsschiene 60 gehalten. Gleichzeitig verhindert die Verbindungsklammer 61 , dass sich die erste und die zweite horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 voneinander entfernen. Vorteilhaft ist der Bereich zwischen der Verbindungsschiene 60 und der ersten und der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 abgedichtet, beispielsweise durch Dichtelemente oder durch Kleben. Denkbar ist es, dass die Seitenwand 30.9 abgedichtet in die U-förmige Aufnahme eingeklebt ist. Weiterhin ist es denkbar und vorteilhaft, wenn die zweite Seitenwand 30.8 kann unter Zwischenlage einer in Profillängsrichtung verlaufenden Dichtung an dem Anlegeabschnitt 60.1 abgestützt sein. Dabei empfiehlt es sich die Dichtung an dem dem Hohlprofil 60.2 abgewandten Kantenbereich des Anlegeabschnittes 60.1 anzuordnen. Sie kann dann wenn sie komprimiert wird seitlich über den Anlegeabschnitt ausweichen. Der überstehende Bereich kann dann ebenfalls zu Dichtzwecken herangezogen werden, Beispielsweise kann dadurch ein Dichtab- schluss zu einem rechtwinklig oder winklig an die Verbindungsschiene anschließendes Bauteil hergestellt werden. Die Schraubenaufnahmen 34 durchstoßen die erste und die zweite horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 vollständig. Um hier einen Gaseintritt in die Reingaskabine 10 zu vermeiden sind Dichtelemente vorgesehen, welche die Schraubenaufnahmen 34, nachdem die Schrauben montiert sind, abdichten. In einer alternativen Ausführungsform können die Schraubenaufnahmen 34 nur bis zur inneren ersten Deckplatte 12.1 der Strukturkernplatte 12 geführt sein. Die innere erste Deckplatte 12.1 bleibt dadurch geschlossen, so dass kein Gas durch die Schraubenaufnahmen 34 eindringen oder die Reingaskabine 10 verlassen kann. Der Strukturkern 12.3 verhindert, dass sich Gas, ausgehend von den Schraubenaufnahmen 34, quer zu der ersten oder der zweiten horizontalen Seitenwand 30.8, 30.9 ausbreitet.

Die Gegenschiene 63.3 vereinfacht die Montage der Reingaskabine 10. Durch die Gegenschiende 63.3 kann die Verbindungsschiene 60 zunächst auf eine der zu verbindenden Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 aufgesteckt werden. Damit ist die Verbindungsschiene 60 gehalten. Anschließend kann die daran anstoßende Seitenwand 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit der Verbindungsschiene 60 verbunden werden.

Figur 10 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt X mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 in einer Außenansicht.

Die vertikal angeordnete Verbindungsschiene 60 verbindet die dargestellte erste vertikale Seitenwand 30.1 mit den in Figur 3 gezeigten drei horizontalen Seitenwänden

30.8, 30.9, 30.10. Durch die Verbindungsschiene 60 können somit sowohl horizontal wie vertikal angeordnete Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8,

30.9, 30.10 gasdicht miteinander verbunden werden. Figur 11 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt XI mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 und einem oberen Abschluss einer ersten vertikalen Seitenwand 30.1 in einer Außenansicht.

Die erste vertikale Seitenwand 30.1 ist zum Deckel 40 der Reingaskabine 10 hin von der aufgesteckten Profilschiene 62 abgedeckt. Ein Führungselement 63 ist mit einem Stutzen 63.2 in das offene Ende des Hohlprofils 60.2 der Verbindungsschiene 60 eingesteckt. An den Stutzen 63.2 ist ein Fuß 63.1 angeformt. Der Fuß 63.1 weist ein gleiches Profil wie der Auflagestreifen 62.1 der benachbarten Profilschiene 62 auf. Der Fuß 63.1 und der Auflagestreifen 62.1 bilden somit eine durchgängige Fläche aus. Diese ist zum Deckel 40 hin ausgerichtet. Das Führungselement 63 und die Profilschiene 62 ermöglichen somit eine dichte Verbindung der Seitenwände 30.1 , 30.2,

30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit dem Deckel 40 entlang ihrer oberen Kanten und im Bereich aneinandergrenzender Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3,

30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.

Figur 12 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt XII mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 und einem unteren Abschluss einer ersten vertikalen Seitenwand 30.1 in einer Außenansicht.

Wie in Figur 11 für den oberen Abschluss der ersten vertikalen Seitenwand 30.1 gezeigt, ist auch an deren unterem Abschluss eine Profilschiene 62 und in deren Verlängerung ein Führungselement 63, welches mit seinem Stutzen 63.2 in das Hohlkammerprofil 60.2 der Verbindungsschiene 60 eingesteckt ist, angeordnet. Auch hier bilden der Fuß 63.1 des Führungselements 63 und der Auflagestreifen 62.1 der benachbarten Profilschiene 62 eine durchgängige Fläche aus. Diese ist zum Boden 20 der Reingaskabine hin ausgerichtet. Das Führungselement 63 und die Profilschienen ermöglichen somit eine dichte Verbindung der Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit dem Boden 20 entlang ihrer unteren Kanten und im Bereich aneinandergrenzender Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10.

Figur 13 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt XIII mit einer vertikal angeordneten Verbindungsschiene 60 und einem unteren Abschluss der fünften und der sechsten vertikalen Seitenwand 30.5, 30.6 in einer Innenansicht.

Die fünfte und die sechste vertikale Seitenwand 30.5, 30.6 sind mit ihren unteren Kanten in die Aufnahmebereiche 62.2 der zugeordneten Profilschienen 62 eingesteckt. Zwischen der fünften und der sechsten vertikalen Seitenwand 30.5, 30.6 ist die Verbindungsschiene 60 angeordnet. Die fünfte vertikale Seitenwand 30.5 ist in den durch die Gegenschiene 60.3, den zu dieser gegenüber angeordneten, in Figur 12 gezeigten Anlegeabschnitt 60.1 und das Hohlprofil 60.2 gebildeten U-förmigen Bereich eingeschoben. Gegenüberliegend zu der Gegenschiene 60.3 ist ein Montagewinkel 64 an dem Hohlprofil 60.2 angelegt. Vorzugsweise ist der Montagewinkel 64 mit dem Hohlprofil 60.2 verbunden. Der Montagewinkel 64 ist mit der sechsten vertikalen Seitenwand 30.6 verbunden. Durch die Verbindungsschiene 60 sind die fünfte und die sechste vertikale Seitenwand 30.5, 30.6 gasdicht miteinander verbunden.

Das Führungselement 63 ist mit seinem Stutzen 63.2 in das Hohlprofil 60.2 der Verbindungsschiene 60 zumindest teilweise eingeschoben. Dazu ist der Stutzen 63.2 in seiner Außenkontur an die Kontur des Hohlraums des Hohlprofils 60.2, in den der Stutzen 63.2 eingeschoben ist, angepasst. An dem Stutzen 63.2 ist ein Anschlag vorgesehen, der begrenzt, wie weit der Stutzen 63.2 in das Hohlprofil 60.2 eingeschoben werden kann.

Die Auflagestreifen 62.1 der Profilschiene 62 und der Fuß 63.1 des Führungselements 63 bilden eine durchgängige, dem Boden 20 der Reingaskabine 10 zuge- wandte Fläche aus, mit der sie an dem Boden 20 anliegen. Die Profilschiene 62 und damit die fünfte und die sechste vertikale Seitenwand 30.5, 30.6 sind mit Halteklammern 65, welche an dem Boden 20 befestigt sind und den Auflagestreifen 62.1 der Profilschiene 62 an einem Abschnitt einklemmen, mit dem Boden verbunden.

Figur 14 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt XIV im Bereich zweier aneinan- dergrenzender Bodenplatten 22.1 , 22.2 in einer Explosionsdarstellung. An den anstoßenden Kanten der beiden Bodenplatten 22.1 , 22.2 sind ineinandergreifende Bodenschienen 23.1 , 23.2 angebracht. Die Bodenschienen 23.1 , 23.2 weisen Aufnahmen für Verbindungselemente auf, mit welchen die Bodenschienen 23.1 , 23.2 verbunden werden können.

Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Bodenschienen 23.1 , 23.2 als separate Bauteile ausgeführt, welche stirnseitig an die Bodenplatten 22.1 , 22.2 angebracht, insbesondere angeklebt, sind. Entsprechend einer alternativen Ausführungsform können die Bodenschienen 23.1 , 23.2 auch einstückig an die Bodenplatten 22.1 , 22.2 angeformt sein.

Am Rand der Bodenplatten 23.1 , 23.2 ist Positionierelement 21 vorgesehen. Dem Positionierelement 21 gegenüberliegend ist eine Halteklammer 65 angeordnet. Zusammengebaut werden mit den Positionierelementen 21 und Halteklammern 65 die Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 mit ihren Profilschienen 62 auf dem Boden 20 positioniert und festgelegt.

Figur 15 zeigt einen Träger 80 der Reingaskabine 10 in einer perspektivischen Darstellung. Der Träger 80 ist als Doppel-T-Träger mit einem ersten Gurt 81 , einem Steg 82 und einem zweiten Gurt 83 ausgebildet. Entlang des Stegs 82 weist der Träger 80 Montagebohrungen 84 auf. Endseitig ist eine Fase 81.1 an dem ersten Gurt 81 angebracht. Erfindungsgemäß ist der Träger 80 aus Strukturkernplatten 12 aufgebaut. Dazu sind der erste und der zweite Gurt 81 , 83 sowie der Steg 82 aus entsprechend zugeschnittenen Strukturkernplatten 12 hergestellt. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind sowohl die Gurte 81 , 83 wie auch der Steg aus Aluminium-Wabenkernplatten aufgebaut.

Durch die Herstellung des Trägers 80 aus Strukturkernplatten 12 kann im Vergleich zu eine herkömmlichen Träger 80 in massiver Bauweise deutlich an Gewicht eingespart werden. Durch die hohe Biegesteifigkeit der verwendeten Strukturkernplatten 12 und den Aufbau in Form eines Doppel-T-Trägers wird ein hoch belastbarer Träger 80 erhalten, der sich auch unter Belastung nur wenig durchbiegt.

In einer nicht gezeigten alternativen Ausführungsform kann der aus Strukturkernplatten 12 hergestellte Träger 80 auch als einfacher T-Träger oder als Träger 80 mit einem U-Profil oder einem L-Profil oder einem sonstigen für Träger 80 bekannten Profil ausgeführt sein.

Figur 16 zeigt den in Figur 15 gezeigten Träger 80 in einer Schnittdarstellung mit Blick in Richtung der Längserstreckung des Trägers 80.

Der erste Gurt 81 und der zweite Gurt 83 sind mittels Verbindungswinkel 85 mit dem Steg 82 verbunden. Die Verbindungswinkel 85 erstrecken sich über die Länge des Trägers 80. Sie liegen mit einer Auflagefläche an dem Steg 82 und mit einer zweiten Auflagefläche an dem jeweiligen Gurt 81 , 83 an. Dabei sind jedem Gurt 81 , 83 zwei gegenüberliegend an dem Steg 82 angeordnete Verbindungswinkel 85 zugeordnet. Die Verbindungswinkel 85 sind fest mit dem Steg 82 und dem jeweiligen Gurt 81 , 83 verbunden. Insbesondere sind die Verbindungswinkel 85 mit dem Steg 82 und/oder mit dem Gurt 81 , 83 verklebt. Sind Träger 80 mit von der Doppel-T-Form abweichenden Trägerformen vorgesehen, so sind die Verbindungswinkel 85, wie für den Doppel-T-Träger gezeigt, entlang der Stoßbereiche zwischen den zusammengefügten Strukturkernplatten 12 anzuordnen. Dabei können die Verbindungswinkel 85 sowohl als Innenwinkel als auch als Außenwinkel vorgesehen sein.

Die Montagebohrungen 84 sind in dem gezeigten Ausführungsbeispiel entlang des Stegs 82 in den ersten Gurt 81 eingebracht.

Durch die Verbindungswinkel 85 können die Gurte 81 , 83 einfach und schnell mit dem Steg 82 verbunden werden. Dabei führt die großflächige Verklebung der Verbindungswinkel 85 mit den Gurten 81 , 83 und dem Steg 82 zu einer festen, belastbaren Verbindung. Durch die beidseitig des Stegs 82 angebrachten Verbindungswinkel 85 kann ein Kippen der Gurte 81 , 83 gegenüber dem Steg 82 bei einseitiger Belastung des Trägers 80 sicher vermieden werden.

In den Montagebohrungen 84 können Befestigungselemente, insbesondere Schrauben, festgelegt werden. Damit können weitere Bauteile der Reingaskabine 10, im vorliegenden Ausführungsbeispiel die Deckelplatten 43, mit dem Träger 80 verbunden werden. Die Montagebohrungen 84 sind, ausgehend von der ersten Deckplatte 12.1 der als erstem Gurt 81 verwendeten Strukturkernplatte 12, nur durch den Strukturkern 12.3 bis zur zweiten Deckplatte 12.2 geführt. Die zweite Deckplatte 12.2 ist nicht durchbrochen. Dadurch kann bei einem Träger 80, an dessen erstem Gurt 81 von außerhalb der Reingaskabine 10 eingeführte Befestigungselemente in die Montagebohrungen 84 eingebracht sind, kein Gas durch die Montagebohrungen 84 in das Innere der Reingaskabine 10 oder aus der Reingaskabine 10 nach außen gelangen. Sind entsprechend einer nicht dargestellten Ausführungsform die Montagebohrungen 84 auf Grund einer einfacheren Herstellung durch beide Deckplatten 12.1 , 12.2 geführt, verhindert ihre Anordnung entlang des Stegs 82 einen Gasaustausch zwischen dem Innen- und dem Außenraum der Reingaskabine 10. Durch die auf Seiten des ersten Gurtes 81 beidseitig des Stegs 82 über die Längserstreckung des Trägers 80 aufgeklebten Verbindungswinkel 85 sind die Übergänge von dem Steg 82 zu dem ersten Gurt 81 abgedichtet. Damit kann kein Gas von den Montagebohrungen 84 entlang der Kontaktfläche zwischen dem ersten Gurt 81 und dem Steg 82 in oder aus dem Innenraum der Reingaskabine 10 gelangen.

Figur 17 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt XVII im Bereich des Deckels 40 der Reingaskabine 10.

Die aus Strukturkernplatten 12 gebildeten Deckelplatten 43 sind jeweils von einem Rahmen 43.1 eingerahmt. Der Rahmen 43.1 weist ein U-Profil auf und ist auf die Kanten der Deckelplatten 43 aufgesteckt, insbesondere aufgeklebt. Dadurch wird eine dichte Verbindung zwischen dem Rahmen 43.1 und der jeweiligen Deckelplatte 43 erhalten. Die Deckelplatten 43 sind aus Strukturkernplatten 12, insbesondere aus Aluminium-Wabenkernplatten, gefertigt.

Die Deckelplatten 43 liegen mit ihren Rahmen 43.1 auf dem ersten Gurt 81 eines in den Figuren 15 und 16 gezeigten Trägers 80 auf. Dabei ist die an dem ersten Gurt 81 angebrachte Fase 81 zum äußeren Rand des Deckels 40 hin ausgerichtet.

Der Träger 80 ist Teil der in Figur 2 gezeigten Unterkonstruktion 46 des Deckels 40. Die Deckelplatten 43 sind mittels der Befestigungselemente 44 an dem Träger 80 festgelegt. Das Befestigungselemente 44 weist zwei seitlich beabstandet angeordnete Klemmabschnitte 44.1 auf. Zwischen den Klemmabschnitten 44.1 ist ein U-förmig gebogener Befestigungsabschnitt 44.2 angeformt, in den entsprechend der in den ersten Steg 81 des Trägers 80 eingebrachten Montagebohrungen 84 nicht dargestellte Bohrungen eingebracht sind. Das Befestigungselement 44 ist darüber mit entsprechenden Schrauben an den Träger 80 angeschraubt. Dabei umgreifen die Klemmabschnitte 44.1 die Rahmen 43.1 der benachbarten Deckelplatten 43 und klemmen diese an dem Träger 80 fest. Die benachbarten Deckelpatten 43 sind durch den Befestigungsabschnitt 44.2 beabstandet und damit in ihrer Position festgelegt.

Am äußeren Rand des Deckels 40 sind, wie zu Figur 1 gezeigt, Rand- Befestigungselemente 45 angeordnet. Ein Rand-Befestigungselement 45 ist S-förmig gebogen und weist einen Klemmschenkel 45.1 und einen Befestigungsschenkel 45.2 auf. In dem Befestigungsschenkel 45.2 sind Bohrungen eingebracht. Der Klemmschenkel 45.1 umgreift den äußeren Rahmen 43.1 der Deckelplatte 43. Der Befestigungsschenkel 45.2 wird an den in der vorliegenden Darstellung nicht gezeigten oberen Profilschienen 62 der Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 befestigt. Der Rahmen 43.1 der Deckelplatte 43 ist so zwischen dem Klemmschenkel 45.1 und dem Auflagestreifen 62.1 der jeweiligen Profilschiene 62 eingeklemmt. Damit ist der Deckel sicher auf den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 gehalten. Vorzugsweise ist der Auflagebereich des Rahmens 43.1 auf dem Träger 80 und der Profilschiene 62 abgedichtet.

Figur 18 zeigt einen in Figur 3 gezeigten Ausschnitt XVIII im Bereich einer Befestigung der Tragekonstruktion 70 der Reingaskabine 10. Die Tragekonstruktion 70 dient der Auflage der in Figur 2 gezeigten Gasaufbereitungseinheit 55 und der darin vorgesehenen Filter 56.

Gezeigt ist die Befestigung der Tragekonstruktion 70 im Bereich der fünften Ecke 11.5 der Reingaskabine 10. An der fünften vertikalen Seitenwand 30.5 ist die bereits in Figur 3 gezeigte, U-förmige Befestigungsschiene 71 angebracht. An der Befestigungsschiene 71 ist eine Trägerauflage 72 befestigt. Die Trägerauflage 72 bildet eine Halbschale, in die ein Träger 80 der Tragekonstruktion 70 eingelegt ist. Im Bereich der Trägerauflage 72 ist ein oberer Schenkel der Befestigungsschiene 71 ausgespart, so dass der Träger 80 in die Trägerauflage 72 eingelegt werden kann. Die Aussparung ist mit einer Abdeckung 73 abgedeckt. Der Träger 80 ist somit sicher an der fünften vertikalen Seitenwand 30.5 festgelegt.

An den Positionen der der äußeren Enden der Träger 80 der in Figur 3 gezeigten Tragekonstruktion 70 sind an den Seitenwänden 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 Trägerauflagen 72 angebracht. Bei der Montage der Reingaskabine 10 kann so die vormontierte Tragekonstruktion 70 von oben in den Innenraum der Reingaskabine eingeführt und auf den Trägerauflagen 72 abgelegt werden. Vorzugsweise sind die Träger 80 der Tragekonstruktion 70 mit den Trägerauflagen 72 verbunden, insbesondere verschraubt.

Im Gegensatz zu der in den Figuren 15 und 16 gezeigten Ausführungsform des Trägers 80 sind die Montagebohrungen 84 der Träger 80 der Tragekonstruktion 70 seitlich des Stegs 82 des Trägers 80 als Durchgangsbohrung angebracht. Befestigungsschrauben der Filter 56 können so durch die Montagebohrungen 84 geführt und von unten mit einer Mutter verschraubt werden. Da die Tragekonstruktion 70 im Innenraum der Reingaskabine 10 angeordnet ist sind hierbei keine zusätzlichen Abdichtmaßnahmen erforderlich.

Die in den Figuren 1 bis 18 gezeigte, überwiegend aus Strukturkernplatten 12 gefertigte Reingaskabine 10 weist im Vergleich zu bekannten Reingaskabinen ein sehr geringes Gewicht auf. Damit kann die Reingaskabine 10 einfacher transportiert und aufgestellt werden. Die Anforderungen an die Bodenbelastung an ihrem Aufstellungsort können reduziert werden. Durch den gezeigten Aufbau ist der Innenraum der Reingaskabine 10 gegenüber der Umgebung abgedichtet. Damit kann die geforderte Atmosphäre im Innenraum der Reingaskabine 10 eingestellt und eingehalten werden. Kritische Prozesse und Arbeitsschritte können so in einer geeigneten Atmosphäre ausgeführt werden. Eine nach dem gezeigten Konzept aufgebaute Reingaskabine 10 kann in ihrer Größe einfach an die jeweiligen Erfordernisse angepasst werden. Dazu können die Größe und die Anzahl der vorgesehenen Bodenplatten 22.1 , 22.2, 22.3, Seitenwände 30.1 , 30.2, 30.3, 30.4, 30.5, 30.6, 30.7, 30.8, 30.9, 30.10 und Deckelplatten 43 sowie der benötigten Tragekonstruktionen 70 entsprechend ausgelegt werden. Der Grundriss der Reingaskabine 10 kann von der gezeigten sechseckigen Form zu beliebigen anderen polygonalen Formen angepasst werden.