Die Erfindung betrifft eine Durchlaufabscheideanlage zum gal ^¬ vanischen Abscheiden einer Substanz auf Objekten gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Baugruppe für eine Durchlaufabscheideanlage zum galvanischen Abscheiden einer Substanz auf Objekten.

Sollen Substanzen galvanisch auf einer großen Stückzahl von Objekten abgeschieden werden, so kann dies in vielen Fällen aufwandsgünstig mit Durchlaufabscheideanlagen realisiert wer ^¬ den. Beispielsweise können Metalle oder Metalllegierungen in großen Stückzahlen auf Substraten, wie beispielsweise Solar ^¬ zellensubstraten oder fertigen Solarzellen, aufwandsgünstig in industriellem Maßstab abgeschieden werden. Bei galvanischen Abscheidungen wird ein Elektrolyt eingesetzt, welcher Ionen der abzuscheidenden Substanz enthält. Weiterhin ist ein

Stromschluss erforderlich, mittels welchem den genannten Ionen Ladungsträger zugeführt werden können, sodass die Ionen sich auf der Oberfläche des Objekts niederschlagen. Beispielsweise werden im Falle einer Metallabscheidung Elektronen einer zu beschichtenden Objektoberfläche zugeführt, wo sie in an sich bekannter Weise bei Kontakt mit dem Elektrolyten mit Metall- Kationen aus dem Elektrolyten reagieren und das Metall auf der Objektoberfläche abgeschieden wird.

Um Substanzen in Durchlaufabscheideanlagen galvanisch auf ei ^¬ ner großen Stückzahl von Objekten abzuscheiden, ist es erfor ^¬ derlich, die Objekte, welche die Durchlaufanläge durchlaufen, elektrisch zu kontaktieren. Da sich die Objekte relativ zur Durchlaufanläge bewegen, haben sich hierfür Schleifkontakte bewährt. Solche Schleifkontakte können beispielsweise gebildet sein aus elektrisch leitfähigen Bürsten oder zumindest teil- elastisch verbiegbaren Blechen oder Folien. Insbesondere kön ^¬ nen Folien aus Metallen, Edelstahl oder auch Graphit zum Ein ^¬ satz kommen. Durchlaufen nun eine Vielzahl von Objekten eine Durchlaufanlä ^¬ ge der in Rede stehenden Art, so kontaktiert ein Schleifkon ^¬ takt zunächst ein erstes Objekt und im Weiteren ein nachfol ^¬ gend die Anlage durchlaufendes weiteres Objekt. Wenn nun, wie in vielen Anwendungsfällen üblich oder erforderlich, die Ob- jekte die Durchlaufanläge mit einem gewissen räumlichen Ab ^¬ stand durchlaufen, berührt der Schleifkontakt nach Vorbeilau ^¬ fen des ersten Objekts und vor Eintreffen des nachfolgenden Objekts für eine gewisse Zeit lang kein Objekt. Oftmals kommt es während dieser gewissen Zeit zu einem direkten Kontakt zwi- sehen dem Schleifkontakt und dem Elektrolyten. Beispielsweise taucht der Schleifkontakt in eine Elektrolytlösung ein. Insbe ^¬ sondere bei einem galvanischen Abscheiden von Substanzen auf Substraten wie beispielsweise Solarzellen ist dies der Fall. Dieser unerwünschte direkte Kontakt zwischen dem Schleifkon- takt und dem Elektrolyt führt sodann zu einer Abscheidung der Substanz, beispielsweise dem Metall, aus dem Elektrolyten auf dem Schleifkontakt. Dieser Effekt tritt nicht nur bei Kontakt ^¬ bürsten auf, sondern auch bei anderen Kontaktiervorrichtungen, wie beispielsweise Metallrollen. Die unerwünschten Abscheidun- gen auf dem Schleifkontakt oder anderen Kontakten können im

Weiteren die Oberfläche der nachfolgend kontaktierten Objekte beschädigen. Bei dünnen Objekten, wie beispielsweise Solarzel ^¬ lensubstraten oder Solarzellen, kann dies bis zur Zerstörung des Objekts führen. Auch können Korrosionserscheinungen an den Kontakten auftreten.

Vor diesem Hintergrund liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Durchlaufabscheideanlage zum galvani ^¬ schen Abscheiden einer Substanz auf Objekten bereitzustellen, mittels welcher die galvanische Abscheidung von Substanzen auf Kontaktiervorrichtungen reduziert oder gar vermieden werden kann .

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Durchlaufabscheideanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 1.

Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine auf ^¬ wandsgünstige Fertigung solcher Durchlaufabscheideanlagen zu ermöglichen .

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Baugruppe mit den Merkma ^¬ len des Anspruchs 9.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind jeweils Gegenstand abhängi ^¬ ger Unteransprüche.

Die erfindungsgemäße Durchlaufabscheideanlage zum galvanischen Abscheiden einer Substanz auf Objekten weist Kontaktiervor ^¬ richtungen mit wenigsten einem elektrisch leitfähigen Kontakt ^¬ arm auf. Weiterhin sind die Kontaktiervorrichtungen in solchen Bereichen der Durchlaufabscheideanlage angeordnet, welche frei von einem für die galvanische Abscheidung der Substanz verwen ^¬ deten Elektrolyten sind. Aufgrund dieser Anordnung kommt es weder in Zeiten, in welchen die Kontaktiervorrichtungen die Objekte kontaktieren, noch in Zeiten, in denen sie keine Ob ^¬ jekte kontaktieren, zu einem direkten Kontakt zwischen den Kontaktiervorrichtungen und dem Elektrolyten. Die unerwünschte galvanische Abscheidung der Substanz auf den Kontaktiervor ^¬ richtungen wird somit vermieden. Eine schnelle oder vorzeitige Korrosion der Kontaktiervorrichtungen wird umgangen und es er ^¬ geben sich stabilere Prozessbedingungen für den Abscheidepro- zess. Darüber hinaus kann die Prozesskontrolle stark verbes ^¬ sert werden. Weiterhin kann der Wartungsaufwand für die Durch- laufabscheideanlage reduziert werden, da die Kontaktiervor ^¬ richtungen nicht von unerwünscht abgeschiedener Substanz ge ^¬ reinigt werden müssen, was sonst durch Ätzen oder eine Umkeh ^¬ rung der Stromrichtung nach einer gewissen Zeit zu erfolgen hätte. Überdies ergibt sich in vielen Fällen die Möglichkeit, eine höhere elektrische Stromdichte zu verwenden.

Der Kontaktarm ist vorzugsweise flexibel ausgeführt. Uneben ^¬ heiten auf der Objektoberfläche können auf diese Weise auf- wandsgünstig überwunden werden, Vorzugsweise sind mehrere Kon- taktarme vorgesehen, da auf die e Weise auch bei unebenen Ob- jektOberflächen eine zuverlässi e Kontaktierung mittels der Kontaktiervorrichtungen realisi rt werden kann.

Die Kontaktarme, oder die gesamte Kontaktiervorrichtung, kön ^¬ nen beispielsweise aus Graphitfolie oder Edelstahlblech gefer ^¬ tigt sein, wobei sich im Falle des Edelstahlblechs eine Dicke von etwa 0,5 mm bewährt hat. Eine Beschichtung der Kontaktar ^¬ me, beispielsweise mit einem Edelmetall wie Gold, kann im ein ^¬ zelnen Anwendungsfall vorteilhaft sein.

Vorzugsweise werden Kontaktiervorrichtungen eingesetzt, deren Kontaktarme, zumindest in denjenigen Bereichen, in welchen sie die Objekte kontaktieren, glatte Kanten aufweisen. Solche glatten Kanten können beispielsweise realisiert werden durch Laserschneiden, Drahterosion oder Elektropolieren . Infolge der Verwendung von Kontaktarmen mit glatten Kanten kann die Gefahr von Kratzern oder anderen Beschädigungen des Objekts vermieden oder zumindest verringert werden.

Vorzugsweise werden alle Kontaktiervorrichtungen in von dem Elektrolyten freien Bereich angeordnet. Auf diese Weise können die Vorteile der Erfindung weitestgehend ausgenutzt werden. Grundsätzlich besteht jedoch auch die Möglichkeit, eine oder mehrere Kontaktiervorrichtungen in anderer Weise anzuordnen.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante ist der Elekt- rolyt in einem Becken angeordnet. In dem Becken ist wenigstens eine AblaufVorrichtung vorgesehen, mittels welcher der Pegel des Elektrolyten in Ablaufbereichen lokal absenkbar ist. Die Kontaktiervorrichtungen weisen Kontaktflächen auf, mittels welchen die Objekte kontaktierbar sind. Hierbei kann es sich beispielsweise schlicht um diejenigen Flächen des wenigstens einen elektrisch leitfähigen Kontaktarms handeln, welche im Betrieb der Durchlaufabscheideanlage mit dem Objekt in Kontakt kommen. Die genannten Kontaktflächen der Kontaktiervorrichtun ^¬ gen sind in den genannten Ablaufbereichen angeordnet. Auf die- se Weise kann das Merkmal, laut welchem die Kontaktiervorrich ^¬ tungen in Bereichen der Durchlaufabscheideanlage anzuordnen sind, welche frei von dem Elektrolyten sind, aufwandsgünstig realisiert werden. Vorzugsweise weist zumindest eine AblaufVorrichtung einen

Hohlkörper auf, welcher zumindest abschnittsweise unter den Kontaktflächen wenigstens einer Kontaktiervorrichtung angeord ^¬ net ist und welcher zumindest abschnittsweise von dem Elektro ^¬ lyten durchströmbar ist. Der Hohlkörper kann so geformt und angeordnet sein, dass er sich lediglich unter den Kontaktflä ^¬ chen einer einzigen Kontaktiervorrichtung befindet. Alternativ besteht die Möglichkeit, den Hohlkörper so zu dimensionieren, dass er sich zumindest abschnittsweise unter den Kontaktflä ^¬ chen mehrerer Kontaktiervorrichtungen befindet. Auf diese Wei- se können die Ablaufbereiche besonders aufwandsgünstig an die Position der Kontaktflächen angepasst werden und umgekehrt.

Besonders bevorzugt weist die zumindest eine AblaufVorrichtung an ihrer Oberseite eine Öffnung auf, welche zumindest teilwei- se unterhalb des Pegels des Elektrolyten angeordnet ist. Dies ermöglicht es, den Pegel des Elektrolyten stark lokalisiert abzusenken . In der Praxis hat es sich bewährt, als Hohlkörper ein Rohr vorzusehen, dessen obere Öffnung unter den Kontaktflächen we ^¬ nigstens einer Kontaktiervorrichtung angeordnet ist.

Bei einer Ausgestaltungsvariante sind mehrere Kontaktiervor- richtungen, vorzugsweise alle Kontaktiervorrichtungen, mit derselben Spannungsquelle elektrisch leitend verbunden. Sie werden somit über diese Spannungsquelle gespeist. Dies ermög ^¬ licht eine aufwandsgünstige Verkabelung der Kontaktiervorrich ^¬ tungen. Allerdings können sich an den Kontaktiervorrichtungen ungleiche Abscheideraten einstellen. Dies ist darauf zurückzu ^¬ führen, dass auf dem Weg von der Spannungsquelle zu den jewei ^¬ ligen Kontaktiervorrichtungen zum Teil deutlich unterschiedli ^¬ che elektrische Widerstände vorliegen. Um dies zu kompensie ^¬ ren, ist vorgesehen, dass zumindest einem Teil der mehreren Kontaktiervorrichtungen ein Lastwiderstand vorgeschaltet ist. Der jeweilige Lastwiderstand ist dabei derart bemessen, dass bei Kontaktschluss jede der genannten mehreren Kontaktiervor ^¬ richtungen mit einem im Wesentlichen gleich großen elektri ^¬ schen Strom beaufschlagt ist. Mit anderen Worten: Die Lastwi- derstände werden so gewählt, dass die beschriebenen unter ^¬ elektrischen Widerstandsunterschiede auf dem Weg von der Span ^¬ nungsquelle zur jeweiligen Kontaktiervorrichtung kompensiert werden und durch jede Kontaktiervorrichtung der gleiche elektrisch Strom fließt. Unter einem Kontaktschluss im vorlie- genden Sinne ist zu verstehen, dass die Kontaktflächen an dem Objekt derart anliegen, dass ein elektrischer Strom fließen kann. Sind alle Kontaktiervorrichtungen mit der Spannungsquel ^¬ le verbunden, ist eine zentrale Spannungsversorgung möglich, und alle Kontaktiervorrichtungen sind parallel geschaltet. Den beschriebenen Vorteilen steht ein erhöhter Installationsauf ^¬ wand entgegen, da die Widerstandsunterschiede für die einzel ^¬ nen Kontaktiervorrichtungen ermittelt und ausgeglichen werden müssen. Zudem stellt sich eine höhere elektrische Verlustleis ^¬ tung ein, sodass die Spannungsquelle deutlich höhere Spannun ^¬ gen bereitstellen muss, was den apparativen Aufwand für die Herstellung der Durchlaufabscheideanlage erhöhen kann.

Alternativ kann für jede Kontaktiervorrichtung ein eigener Gleichrichter vorgesehen werden. Dieser ist vorzugsweise als KonstantStromquelle ausgeführt. Die Ermittlung und Installati ^¬ on von Widerstandsunterschieden kompensierenden Lastwiderstän ^¬ den kann auf diese Weise vermieden oder zumindest reduziert werden. Allerdings würden bei dieser Vorgehensweise im Falle einer derzeit bei der Solarzellenfertigung üblichen Industrie ^¬ durchlaufabscheideanlage etwa 250 Gleichrichter beziehungswei ^¬ se KonstantStromquellen benötigt werden. Hierfür ist ein er ^¬ heblicher Einbauraum erforderlich, der in der Regel außerhalb der eigentlichen Durchlaufanläge bereitgestellt werden muss. Zudem ergibt sich bei derart dimensionierten Anlagen ein hoher Verkabelungsaufwand .

Die erfindungsgemäße Baugruppe für eine Durchlaufabscheidean ^¬ lage zum galvanischen Abscheiden einer Substanz auf Objekten weist wenigstens eine Kontaktiervorrichtung auf sowie eine mit einer Spannungsversorgung verbindbare Steuerungsvorrichtung. Jede der wenigstens einen Kontaktiervorrichtungen ist über se ^¬ parate elektrische Leitungen mit der Steuerungsvorrichtung verbunden, sodass jede der wenigstens einen Kontaktiervorrich ^¬ tung separat mit elektrischem Strom beaufschlagbar ist. Mit ^¬ tels solch einer Baugruppe kann die oben beschriebene Durch ^¬ laufabscheideanlage modular aufgebaut werden. Vorzugsweise umfasst die wenigstens eine Kontaktiervorrichtung mehrere Kontaktiervorrichtungen, vorzugsweise mindestens vier Kontaktiervorrichtungen. Dies ermöglicht es, die oben be ^¬ schriebenen Vorteile von KonstantStromquellen für jede Kontak- tiervorrichtung aufwandsgünstiger zu realisieren.

Dementsprechend ist die Steuerungsvorrichtung vorteilhafter ^¬ weise dazu eingerichtet, elektrischen Strom, mit welchem die einzelnen Kontaktiervorrichtungen der wenigstens einen Kontak- tiervorrichtung beaufschlagt werden, für jede dieser einzelnen Kontaktiervorrichtungen getrennt zu steuern und/oder zu re ^¬ geln. Für Regelprozesse verwendete Messgrößen, wie beispiels ^¬ weise Stromfluss durch die jeweilige Kontaktiervorrichtung o- der Kontaktwiderstände an den jeweiligen Kontaktiervorrichtun- gen, können in Prozesshistorien aufgezeichnet und der weitere Prozess für jedes Objekt optimal an jeder Kontaktiervorrich ^¬ tung oder anderen Prozessstellen angepasst werden.

Vorzugsweise ist die Steuerungsvorrichtung für jede einzelne Kontaktiervorrichtung der wenigstens einen Kontaktiervorrich ^¬ tung als KonstantStromregelung eingerichtet, sodass jede ein ^¬ zelne Kontaktiervorrichtung der wenigstens einen Kontaktier ^¬ vorrichtung separat mit elektrischem Strom konstanter Größe beaufschlagbar ist. Auf diese Weise kann vergleichsweise auf- wandsgünstig eine gleichmäßige galvanische Abscheidung von Substanzen in galvanischen Durchlaufabscheideanlagen reali ^¬ siert werden.

In vorteilhafter Weise ist die Steuerungsvorrichtung dazu ein- gerichtet, für jede einzelne Kontaktiervorrichtung der wenigs ^¬ tens einen Kontaktiervorrichtung separate, vorgebbare Strom ^¬ profile zu durchfahren. Unter einem Stromprofil ist dabei eine zeitlich veränderliche Abfolge von Werten elektrischen Stromes zu verstehen. Der Begriff des Durchfahrens bedeutet, dass die betroffene Kontaktiervorrichtung in zeitlicher Abfolge mit Werten elektrischen Stromes beaufschlagt wird, welche dem Stromprofil entsprechen. Die genannten Werte des elektrischen Stromes können dabei gesteuert oder geregelt werden. Bei die ^¬ ser Ausgestaltung der Baugruppe ergeben sich erweiterte pro ^¬ zesstechnische Möglichkeiten. Beispielsweise können die Kon ^¬ taktiervorrichtungen, und damit die von ihnen in einer Durch ^¬ laufabscheideanlage kontaktierten Objekte, mit Strompulsen be ^¬ aufschlagt werden. Diese Vorgehensweise wird im englischen Sprachraum teilweise als pulse plating bezeichnet. Daneben ist eine Beaufschlagung mit Strömen umgekehrter oder alternieren ^¬ der Polarität möglich, was zum Teil im englischen Sprachge ^¬ brauch reverse plating bezeichnet wird. Auch Verzögerungen o- der Pausen in Abscheidevorgängen sind realisierbar.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltungsvariante weist die Steu ^¬ ervorrichtung eine Kommunikationsschnittstelle auf, mittels welcher Daten bidirektional mit einer Datenverarbeitungsvor ^¬ richtung austauschbar sind. Die genannte Kommunikations ^¬ schnittstelle ist dabei vorzugsweise als Busschnittstelle aus ^¬ geführt, beispielsweise als Schnittstelle eines CAN-Busses. Mittels der beschriebenen Kommunikationsschnittstelle kann die Stromsteuerungsvorrichtung Vorgaben für die Stromsteuerung von der Datenverarbeitungsvorrichtung beziehen. Weiterhin ist es möglich, von der Steuerungsvorrichtung ermittelte Messdaten, beispielsweise Stromflüsse an einzelnen Kontaktiervorrichtun ^¬ gen, zum Zwecke der Prozessüberwachung und Archivierung von Prozessdaten an die Datenverarbeitungsvorrichtung zu übermit ^¬ teln, wo sie beispielsweise gespeichert werden können. Dies ermöglicht es unter anderem, im Prozessverlauf festgestellte Defizite in nachfolgenden Anlagenbereichen durch angepasste Prozessparameter auszugleichen. Ein Datenaustausch über die Kommunikationsschnittstelle erfolgt vorzugsweise über ein ge ^¬ schütztes Protokoll. Die erfindungsgemäße Durchlaufabscheideanlage weist vorzugs ^¬ weise wenigstens eine der oben beschriebenen Baugruppe auf. Auf diese Weise können deren Vorteile in der Durchlaufabschei- deanlage nutzbar gemacht werden.

Die vorliegend beschriebene Durchlaufabscheideanlage kann vor ^¬ teilhaft verwendet werden zum galvanischen Abscheiden von Me ^¬ tallen oder Metalllegierungen. Besonders vorteilhaft kann sie verwendet werden bei der galvanischen Abscheidung von Metallen oder Metalllegierungen auf einem Substrat, insbesondere auf einer Solarzelle.

In der Praxis hat sich die erfindungsgemäße Durchlaufabschei- deanlage bewährt bei der Metallisierung von Solarzellen mit

Aluminium-Rückseitenfeld, welches im englischen Sprachgebrauch häufig als aluminum back surface field bezeichnet wird, bei der Metallisierung von Solarzellen mit passiviertem Emitter und Rückseite - sogenannter PERC-Zellen, bei der Metallisie- rung vollständig diffundierter Solarzellen mit passiviertem

Emitter - sogenannter PERT-Solarzellen und bei der Metallisie ^¬ rung von beidseitig lichtempfindlichen Solarzellen - sogenann ^¬ ter Bifacial-Solarzellen . Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläu ^¬ tert. Soweit zweckdienlich, sind hierin gleichwirkende Elemen ^¬ te mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Erfindung ist nicht auf die in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispie ^¬ len beschränkt - auch nicht in Bezug auf funktionale Merkmale. Die bisherige Beschreibung wie auch die nachfolgende Figuren ^¬ beschreibung enthalten zahlreiche Merkmale, die in den abhän ^¬ gigen Unteransprüchen teilweise zu mehreren zusammengefasst wiedergegeben sind. Diese Merkmale wie auch alle übrigen oben und in der nachfolgenden Figurenbeschreibung offenbarten Merk- male wird der Fachmann jedoch auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfügen. Insbesondere sind alle genannten Merkmale jeweils einzeln und in beliebiger geeigneter Kombination mit der Durchlaufabscheideanlage und der Baugruppe gemäß den unabhängigen Ansprüchen kombinierbar.

Es zeigen:

Figur 1 Ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen

Durchlaufabscheideanlage in einer schematischen

Schnittdarsteilung,

Figur 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen

Durchlaufabscheideanlage in einer schematischen

Schnittdarstellung,

Teildarstellung eines dritten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Durchlaufabscheideanlage, Figur 4 schematische Teildarstellung eines vierten Ausfüh ^¬ rungsbeispiels der erfindungsgemäßen Durchlaufab ^¬ scheideanlage enthaltend eine erfindungsgemäße Bau ^¬ gruppe . Figur 1 zeigt in einer schematischen Schnittdarstellung ein erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Durchlaufab ^¬ scheideanlage. Die dargestellte Durchlaufabscheideanlage 10 weist ein Becken 5 auf, in welchem ein flüssiger Elektrolyt 7 angeordnet ist. In der Durchlaufabscheideanlage 10 werden So- larzellen 1 mittels Transportrollen 4 in einer Transportrich- tung 3 transportiert. Dabei kommt eine Unterseite der Solar ^¬ zellen 1 mit dem Elektrolyten 7 in Kontakt. Das Becken 5 kann in an sich bekannter Weise als Überlaufbecken ausgeführt sein, sodass ein Pegel 8 des Elektrolyten 7 höher als eine Oberkante des Beckens 5 liegt und der Elektrolyt in ein nicht darge ^¬ stelltes, umgebendes Becken überläuft.

Die Durchlaufabscheideanlage 10 weist Kontaktiervorrichtungen 12 auf. Diese sind in Figur 1 der Einfachheit halber mit nur einem elektrisch leitfähigen Kontaktarm 13 dargestellt, es können jedoch ohne weiteres mehrere Kontaktarme vorgesehen werden. In dem Becken 5 sind Rohre 16 als AblaufVorrichtungen vorgesehen. Obere Öffnungen 17 dieser Rohre 16 sind unterhalb des Pegels 8 des Elektrolyten 7 angeordnet. Infolgedessen fließt der Elektrolyt 15 aus der Umgebung der Rohre 16 in die Öffnungen 17 der Rohre 16 und strömt durch die Rohre 16 nach unten. Infolgedessen wird der Pegel 8 des Elektrolyten in Ab ^¬ laufbereichen 18 lokal abgesenkt.

Die Kontaktiervorrichtungen 12 weisen an ihrem unteren Ende Kontaktflächen 14 auf. Dies sind diejenigen Flächen der Kon ^¬ taktiervorrichtungen 12, welche beim Durchlaufen der Solarzel ^¬ len 1 durch die Durchlaufabscheideanlage 10 mit der Oberfläche der Solarzellen 1 in Kontakt kommen. Diese Kontaktflächen 14 der Kontaktiervorrichtungen 12 sind in den Ablaufbereichen 18 angeordnet. Infolgedessen kommen die Kontaktflächen 14, und damit die gesamten Kontaktiervorrichtungen 12, auch dann, wenn sie gerade nicht auf einer der Solarzellen 1 aufliegen, nicht mit dem Elektrolyten 7 in Kontakt. Somit kommen die Kontakt ^¬ flächen 14 ebenso wie die gesamten Kontaktiervorrichtungen 12 niemals mit dem Elektrolyten 7 in Kontakt und die oben be ^¬ schriebene, nachteilige Abscheidung von Metall auf den Kontak ^¬ tiervorrichtungen 12 wird vermieden. In denjenigen Momenten, in welchen die Solarzellen 1 unter den Kontaktiervorrichtungen 12 hindurchtransportiert und von den Kontaktflächen 14 kontak ^¬ tiert werden, kann es zwar, je nach Dimensionierung der Rohre 16, vorkommen, dass die auf der Oberfläche der Solarzellen 1 aufliegenden Kontaktflächen 14 sich außerhalb der Ablaufberei- che 18 befinden. Da die Kontaktflächen 14 in diesen Momenten oberhalb des Pegels 8 des Elektrolyten 7 liegen, kommt dennoch kein Kontakt zwischen den Kontaktflächen 14 oder anderen Tei ^¬ len der Kontaktiervorrichtungen 12 einerseits und dem Elektro- lyt 7 andererseits zustande.

In dem Ausführungsbeispiel der Figur 1 sind die Kontaktflächen 14 der Kontaktiervorrichtungen 12 im Sinne der vorliegenden Anmeldung in den Ablaufbereichen 18 angeordnet. Weiterhin sind die Rohre 16 unter den Kontaktflächen 14 der Kontaktiervor ^¬ richtungen 12 angeordnet. Entsprechend sind in dem in Figur 2 dargestellten Ausführungsbeispiel die Kontaktflächen 14 von Kontaktiervorrichtungen 22a, 22b in Ablaufbereichen 28 ange ^¬ ordnet und Rohre 26 sind unter den Kontaktflächen 14 der Kon- taktiervorrichtungen 22a, 22b angeordnet.

Das in Figur 2 in einer schematischen Schnittdarstellung il ^¬ lustrierte zweite Ausführungsbeispiel zeigt eine Durchlaufab ^¬ scheideanlage 20, welche sich von der Durchlaufabscheideanlage 10 aus Figur 1 im Wesentlichen dadurch unterscheidet, dass in den Ablaufbereichen 28 zwei Kontaktiervorrichtungen 22a, 22b vorgesehen sind, welche in Transportrichtung 3 der Solarzellen 1 versetzt zueinander angeordnet sind. Diese Ausgestaltungsva ^¬ riante hat sich in einzelnen Anwendungsfällen als vorteilhaft erwiesen. Im Übrigen liegen dieselben Verhältnisse wie beim

Ausführungsbeispiel der Figur 1 vor. Die Kontaktflächen 14 der Kontaktiervorrichtungen 22a, 22b sind in den Ablaufbereichen 28 angeordnet und kommen zu keiner Zeit mit dem Elektrolyten 7 in Kontakt. Öffnungen 27 der Rohre 26 sind wiederum unterhalb des Pegels 8 des Elektrolyten 7 angeordnet.

Figur 3 zeigt eine perspektivische Teildarstellung eines wei ^¬ teren Ausführungsbeispiels. Bei der dargestellten Durchlaufab ^¬ scheideanlage 30 sind Kontaktiervorrichtungen 32a, 32b vorge- sehen, welche jeweils vier Kontaktarme 33a, 33b, 33c, 33d auf ^¬ weisen. Zwei in Transportrichtung 3 der Solarzellen 1 benach ^¬ bart angeordnete Kontaktiervorrichtungen 32a, 32b sind ähnlich wie im Ausführungsbeispiel der Figur 2 die Kontaktiervorrich- tungen 22a, 22b über derselben AblaufVorrichtung angeordnet, welche wie im Fall der Durchlaufabscheideanlage 20 durch ein Rohr gebildet ist. Stattdessen können andere AblaufVorrichtun ^¬ gen vorgesehen sein. In Figur 3 sind die als AblaufVorrichtun ^¬ gen dienenden Rohre nicht sichtbar. Auch die Kontaktiervor- richtungen 32b sind nur vereinzelt und in geringen Teilen er ^¬ kennbar. In den meisten Fällen sind die Kontaktiervorrichtun ^¬ gen 32b von einem Kontaktlervorrichtungsträger 34 verdeckt. Diese Kontaktlervorrichtungsträger 34 dienen der Abstützung von Kontaktiervorrichtungsmodulen 36, in welchen die Kontak- tiervorrichtungen 32a, 32b aufgenommen sind.

Im Fall der Durchlaufabscheideanlage 30 sind alle Kontaktier ^¬ vorrichtungen 32a, 32b mit einer Spannungsquelle 40 elektrisch leitend verbunden. Zum Zwecke des oben näher beschriebenen Ausgleichs von Unterschieden im elektrischen Widerstand sind allen Kontaktiervorrichtungen 32a, 32b Lastwiderstände 38 vor ^¬ geschaltet. Im Ausführungsbeispiel der Figur 3 sind diese in den Kontaktiervorrichtungsmodulen 36 angeordnet. Grundsätzlich können sie auch an anderen Stellen angeordnet werden. Die elektrischen Zuleitungen zur Spannungsquelle 40 sind in der Darstellung der Figur 3 der besseren Übersicht halber nicht dargestellt .

Wie bei den anderen in den Figuren dargestellten Ausführungs- beispielen werden die Solarzellen 1 mittels der Transportrol ^¬ len 4 in der Transportrichtung 3 transportiert und dabei an den Kontaktiervorrichtungen 32a, 32b vorbeigeführt. Die im Ausführungsbeispiel der Figur 3 aus einem Edelstahlblech ge ^¬ bildeten Kontaktiervorrichtungen 32a, 32b werden dabei leicht gebogen und kontaktieren die Solarzellen 1 auf deren Obersei ^¬ te. Die Bewegung der Solarzellen 1 wird durch den Kontakt mit den Kontaktiervorrichtungen 32a, 32b nicht verlangsamt oder gar gestoppt. Bei allen in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Ausführungsbeispielen übertragen die Kontaktiervorrichtungen zumindest während eines Teils der Zeit, während sie die Solar ^¬ zellen kontaktieren, elektrischen Strom beziehungsweise La ^¬ dungsträger auf die Solarzelle. Dieser Stromkreis wird über den Elektrolyten 7 und eine in den Figuren nicht dargestellte Anode in an sich bekannter Weise geschlossen.

Figur 4 illustriert in einer schematischen Darstellung ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Baugruppe. Diese Baugruppe 60 ist durch eine gestrichelte Umrandung gekenn- zeichnet. Gleichzeitig illustriert Figur 4 anhand einer sche ^¬ matischen Teildarstellung ein weiteres Ausführungsbeispiel für eine Durchlaufabscheideanlage . Diese Durchlaufabscheideanlage 50 weist wiederum ein Becken, einen Elektrolyten, Ablaufvor ^¬ richtungen und Transportrollen auf. Der besseren Übersicht halber sind diese Bauteile jedoch in Figur 4 nicht darge ^¬ stellt. Gezeigt sind hingegen Solarzellen 1, welche mittels der nicht dargestellten Transportrollen in der Transportrich- tung 3 transportiert werden. Analog wie im Fall der Ausfüh ^¬ rungsbeispiele der Figuren 1 und 2 sind AblaufVorrichtungen, insbesondere Rohre, vorgesehen, welche Ablaufbereiche ausbil ^¬ den, in welchen Kontaktflächen der Kontaktiervorrichtungen 52 angeordnet sind.

Die Durchlaufabscheideanlage 50 weist vier Baugruppen 60 auf. Die Zahl der Baugruppen kann je nach Bedarf erhöht oder ver ^¬ ringert werden. Jede dieser Baugruppen weist im Ausführungs ^¬ beispiel der Figur 4 drei Kontaktiervorrichtungen 52 auf. Die Baugruppe ist somit für eine Dreispuranlage ausgelegt. Die Zahl der Kontaktiervorrichtungen kann erhöht werden, bei- spielsweise um, wie im Ausführungsbeispiel der Figur 3, in ei ^¬ ner Baugruppe 60 pro Spur zwei Kontaktiervorrichtungen vorzu ^¬ sehen oder um die Durchlaufabscheideanlage 50 um zusätzliche Spuren zu erweitern. Jede Kontaktiervorrichtung 52 weist drei Kontaktarme 53a, 53b, 53c auf. Die Zahl der Kontaktarme kann an den jeweiligen Anwendungsfall angepasst werden. Die Kontak ^¬ tiervorrichtungen 52 sind an einem Kontaktiervorrichtungsträ- ger 54 abgestützt. Neben den Kontaktiervorrichtungen 52 weist die Baugruppe 60 eine mit einer Spannungsversorgung verbindbare Steuerungsvor ^¬ richtung 64 auf. Diese ist in Folge der Verwendung der Bau ^¬ gruppe 60 in der Durchlaufabscheideanlage 50 in der Darstel ^¬ lung der Figur 4 bereits mit der Spannungsversorgung 70 ver- bunden. Weiterhin ist jede der Kontaktiervorrichtungen 52 über separate elektrische Leitungen 62 mit der Steuerungsvorrich ^¬ tung 64 verbunden. Dies erfolgt derart, dass jede der Kontak- tierungsvorrichtungen 52 separat mit elektrischem Strom beauf ^¬ schlagbar ist.

Weiterhin weist die Baugruppe 60 eine Datenverarbeitungsein ^¬ heit 68 auf, welche dazu eingerichtet ist, Messvorgänge inner ^¬ halb der Baugruppe, beispielsweise Strom- oder Widerstandsmes ^¬ sungen an einzelnen Kontaktiervorrichtungen 52 oder Kontaktar- men 53a, 53b, 53c vorzunehmen und Messwerte zu erfassen und im Bedarfsfall weiter zu verarbeiten. Die Steuerungsvorrichtung ist für jede Kontaktiervorrichtung als KonstantStromregelung eingerichtet. Weiterhin ist die Steuerungsvorrichtung dazu eingerichtet, für jede Kontaktiervorrichtung 52 separate, vor- gebbare Stromprofile zu durchfahren. Die genannten Funktionen der Steuerungsvorrichtung können mittels diskreter elektri ^¬ scher oder elektronischer Schaltungen oder Bauelemente reali ^¬ siert sein. Vorzugsweise ist die Datenverarbeitungseinheit 68 dazu eingerichtet, diese Funktionalitäten, gegebenenfalls un- ter Rückgriff auf weitere Bauteile der Steuerungsvorrichtung 64, bereitzustellen. Dies ermöglicht eine große Flexibilität bei der Prozessführung. Diese Flexibilität wird noch verstärkt durch die in der Baugruppe 60 vorgesehenen Busschnittstelle 66, welche einen bidirektionalen Datenaustausch mit einer Da ^¬ tenverarbeitungsvorrichtung 72 ermöglicht. Unter Verwendung dieser Busschnittstelle können von der Steuerungsvorrichtung 66 ermittelte Messdaten in der zentralen Datenverarbeitungs ^¬ vorrichtung ausgewertet und die in der Transportrichtung 3 stromabwärts angeordneten Baugruppen 60, beziehungsweise deren Kontaktiervorrichtungen, für jede einzelne Solarzelle gezielt angesteuert werden. Dies ermöglicht es, festgestellte Unzu ^¬ länglichkeiten durch Anpassung der Prozessparameter in nach ^¬ folgend durchlaufenden Teilen der Durchlaufabscheideanlage 50 auszugleichen oder zumindest zu reduzieren oder die Prozesspa ^¬ rameter an individuelle Eigenschaften der jeweiligen Solarzel ^¬ le 1 anzupassen. Zudem können im Sinne einer Prozessarchivie ^¬ rung Mess- und Prozessdaten für jede behandelte Solarzelle an die Datenverarbeitungsvorrichtung 72 übermittelt und archi- viert werden.

Mittels der Datenverarbeitungseinheit 68 können komplexe

Stromprofile realisiert werden. Beispielsweise ist es möglich, zunächst niedrige Stromwerte einzusetzen, damit etwaige auf den Solarzellen vorhandene Elektrolytspritzer trocknen können und ein Funkenschlag vermieden wird. Zu einem späteren Zeit ^¬ punkt im Prozessverlauf können sodann höhere Ströme bereitge ^¬ stellt werden, um erforderliche Abscheideraten zu realisieren. Bei allen in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispielen kön ^¬ nen schützenswerte Bauteile mittels eines Schutzlacks oder ei ^¬ nes Eingießens in Epoxidharz bei Bedarf vor Korrosion ge ^¬ schützt werden. Obwohl die Erfindung im Detail durch bevorzugte Ausführungs ^¬ beispiele illustriert und näher beschrieben wurde, ist die Er ^¬ findung durch die offenbarten Ausführungsbeispiele nicht ein ^¬ geschränkt und andere Varianten der Erfindung können vom Fach- mann abgeleitet werden, ohne von dem Grundgedanken der Erfin ^¬ dung abzuweichen.

Bezugszeichenliste

1 Solarzelle

3 Transportriehtung

4 Transportrolle

5 Becken

7 Elektrolyt

8 Pegel

10 Durchlaufabscheideanlage

12 Kontaktiervorrichtung

13 Kontaktarm

14 Kontaktfläche

15 Elektrolyt

16 Rohr

17 Öffnung

18 Ablaufbereich

20 Durchlaufabscheideanlage

22a Kontaktiervorrichtung

22b Kontaktiervorrichtung

26 Rohr

27 Öffnung

28 Ablaufbereich

30 Durchlaufabscheideanlage

32a Kontaktiervorrichtung

32b Kontaktiervorrichtung

33a Kontaktarm

33b Kontaktarm

33c Kontaktarm

33d Kontaktarm

34 Kontaktiervorrichtungsträger

36 Kontaktiervorrichtungsmodul

38 Lastwiderstand

40 Spannungsquelle

50 Durchlaufabscheideanlage Kontaktiervorrichtung

a Kontaktarm

b Kontaktarm

c Kontaktarm

Kontaktiervorriehtungsträger

Baugruppe

elektrische Leitung

SteuerungsVorrichtung

Busschnittstelle

Datenverarbeitungseinheit

SpannungsVersorgung

DatenverarbeitungsVorrichtung