Schneidvorrichtung bei Bondmaschinen sind bekannt und dienen zum zumindest teilweisen Durchtrennen eines Bonddrahtes. Hierbei ist es bekannt, Schneidmesser mit separaten Antrieben zu versehen, um unabhängig von einer Hauptbewegungseinrichtung ein Schneidmesser bewegen zu können oder das Schneidmesser direkt mit einer Hauptbewegungseinrichtung zu bewegen.

Beide Methoden geben keine genaue Auskunft über die tatsächlich am Bonddraht wirkenden Kräfte und erlauben daher nur eine unzureichende Steuerung bzw.

Regelung der Schneidkraft.

Aufgabe der Erfindung ist es eine Vorrichtung und ein Verfahren bereit zu stellen, mit denen eine zuverlässige Steuerung/Regelung der Bondkraft erreicht wird und welche bevorzugt noch eine Auskunft geben über den Grad der Messerabnutzung, also über dessen aktuelle Schärfe.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass das Schneidmesser beim Aufsetzen auf einen zumindest teilweise zu schneidenden Draht durch Bewegung der Hauptbewegungseinrichtung mittels eines Federelementes mit einer auf den Draht auzuübenden Schneidkraft beaufschlagbar ist.

Dadurch dass die Kraft nicht direkt durch die Hauptbewegungseinrichtung sondern über ein Federelement, z. B. eine Druckfeder, Blatttfeder oder dergleichen ausgeübt wird, ergibt sich die Schneidkraft im wesentlichen aus der statischen Kraftwirkung die mittels des Federelementes erzielt wird. Je nach Weite der Bewegung des Schneidmessers gegenüber der Hauptbewegungseinrichtung bzw einer gegenüber der Hauptbewegungseinrichtung ortsfesten Nullpunktsposition und einer damit verbundenen mehr oder weniger starken Stauchung oder Streckung des Federelementes kann die wirkende Kraft geändert werden.

Um dies zu erreichen, ist bevorzugt das Federelement zwischen einer Schneidmesserhalterung und einem Element der Hauptbewegungseinrichtung angeordnet, wobei die Schneidmesserhalterung an der Hauptbewegungseinrichtung beweglich gelagert ist, insbesondere mittels eines Drehgelenkes, einer Linearführung oder Festkörpergelenken.

In vorteilhafter Ausgestaltung kann die Bewegungsweite des Schneidmessers relativ zur Hauptbewegungseinrichtung, insbesondere bezogen auf eine Nullpunktsposition, mittels eines Sensors ermittelbar sein. Ebenso kann die Geschwindigkeit des Messers bzgl. des Bonddrahtes bekannt sein oder ermittelbar sein.

Mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann so die Schneidkraft aus der relativen Lage des Schneidmessers zu seiner Nullpunktsposition bestimmt werden.

Hierzu kann die von dem Schneidmesser auf den Draht aufgebrachte Kraft ermittelt werden aus der Position des Schneidmessers gegenüber einer Nu Ilpunktsposition und einer Kraftkennlinie des durch die Bewegung des Schneidmessers spannbaren Federelementes, mittels dem eine Kraft über das Schneidmesser auf den Draht ausgeübt wird.

Ergänzend zu der Ermittlung der Kraft anhand der Position des Schneidmessers kann noch die Geschwindigkeit des Schneidmessers mit in die Kraftregelung einfließen.

Anhand eines Vergleiches einer ermittelten Ist-Kraft gegenüber einer Soll-Kraft oder einem Soll-Kraftintervall kann sodann die Ist-Kraft z. B. dadurch geregelt werden, dass die Position des Schneidmessers relativ zur Nullpunktsposition und/oder die Geschwindigkeit des Schneidmessers geändert wird. Hierdurch ändert sich die Auslenkung des Federelementes und in Abhängigkeit der Kraft-Kennlinie dieses Federelementes die aufgebrachte Kraft.

Die Kraft ist ebenso eine Funktion der Geschwindigkeit mit der sich das Messer gegenüber dem Bonddraht bewegt. Diese Geschwindigkeit kann vor dem Aufsetzen auf den Bonddraht anhand der Bewegungsgeschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung ermittelt werden. Nach dem Aufsetzen schneidet der Draht aufgrund der wirkenden Federkraft in den Draht ein, wobei die Hauptbewegungseinrichtung bis zu einer eingestellten Schnitttiefe in Z-Richtung verfahren wird. Hierbei kann während des Schneidvorganges die Schnittkraft permanent überwacht werden. Sollte diese einen maximal erlaubten Wert überschreiten, so müssen die Bewegungsparameter der Hauptbewegungseinrichtung angepasst werden, insbesondere kann die Geschwindigkeit hierzu reduziert werden.

Gemäß der Erfindung kann der Schneidvorgang und insbesondere eine gewünschte Schneidkraft in weiten Grenzen sehr genau gesteuert und/oder nachgeregelt werden.

Durch Vergleich der ermittelten Schneidkräfte und Schneidgeschwindigkeiten mit vorgegebenen maximalen und minimalen Schneidkräften bzw.

Schneidgeschwindigkeiten kann ein Grad der Schneidmesserabnutzung gewonnen werden. Insbesondere bei Überschreiten einer vorgegebenen maximalen Schneidkraft bei oder unter einer vorgegebenen minimalen Schneidgeschwindigkeit ist davon auszugehen, dass das Messer keine ausreichende Schärfe mehr aufweist und aufgrund der Abnutzung ausgetauscht werden muss.

Gegenüber bisherigen Verfahren, wo Messer lediglich nach einer bestimmten Anzahl von Schneidvorgängen ausgetauscht wurden bietet dieses Verfahren neben der Kraftsteuerung/-regelung den Vorteil, dass ein Messer bedarfsgerecht ausgetauscht werden kann.

Dir Figuren 1 und 2 verdeutlichen Verfahren und Vorrichtung.

Figur 1 zeigt zumindest einen Teil der Hauptbewegungseinrichtung 1 einer Bondmaschine. An dieses ist (hier nicht dargestellt) der Transducer 2 mit einem Ultraschallwerkzeug 3 befestigt.

Über ein Drehgelenk 4 ist eine Schneidmesserhalterung 5 mit der Hauptbewegungseinrichtung 1 verbunden, so dass sich diese relativ zueinander bewegen können. An der Schneidmesserhalterung ist ein senkrecht nach unten auf eine Bondstelle weisendes Schneidmesser 6 befestigt, dessen untere Messerspitze hier gekröpft ist.

Wird die Hauptbewegungseinrichtung nach unten in Z-Richtung bewegt, so setzt das Schneidmesser 6 auf den nicht dargestellten Bonddraht auf. Die Initial-Kraft ergibt sich im wesentlichen durch einen Überhub der Hauptbewegungseinrichtung 1 über diese Nullpunktsposition hinaus. Hierdurch wird die zwischen Schneidmesserhalterung 5 und Hauptbewegungseinrichtung 1 befindliche Feder 7 gestaucht, so dass eine Kraft, die der Federkraft entspricht über das Messer 6 auf den Draht einwirkt und diesen schneidet. Maßgeblich für die wirkende Kraft ist der Stauchungsgrad der Feder, welcher durch die Geschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung sowie die Schärfe des Messers beeinflusst wird.

Kraft bzw. Auslenkung können durch einen Positionssensor 8 gemessen werden, der die Position des Messers 6 gegenüber der Nullpunktsposition bestimmt. Anhand der Kraftkennlinie kann sodann die aktuelle Kraft bestimmt und z. B. bei Abweichung von einer gewünschten Kraft können für den nächsten Schneidvorgang die Einflußgrößen, wie z. B. die Schnittgeschwindigkeit, neu berechnet werden.

Unterschreitet die Geschwindigkeit der Hauptbewegungseinrichtung eine Mindestgeschwindigkeit und überschreitet dabei die Kraft eine Maximalkraft, so ist dies insbesondere ein Zeichen für ein stumpfes Messer 6, welches sodann ausgewechselt werden sollte.

Figur 2 zeigt im Schnitt die Anordnung in alternativer Bauweise von vorne, wo statt einer Drehgelenkverbindung eine Federstahiverbindung gewählt wurde, um Messerhalterung und Hauptbewegungseinrichtung miteinander flexibel zu koppeln.