以下、図面を参照しながらこの発明の実� ��の形態を説明する。

 図1乃至図6はこの発明の第1の実施の形態� ��係る異方性導電性部材からなる粘着テープ2 の貼着装置を示し、この貼着装置は基板ステ ージ5を備えている。この基板ステージ5はベ� ��ス6を有し、このベース6の上面にX駆動源6a� �Y駆動源6b及びθ駆動源6cによってX、Y及びθ方 向に駆動されるテーブル7が設けられている� �

 上記テーブル7上には、図2Aに示すように� ��晶ディスプレイパネルなどの2枚のガラス板 を貼り合わせた基板Wが供給されて吸着保持� �れるようになっている。基板Wの上面の一側� ��には複数の端子1aが所定間隔で形成された� �子部1が基板Wの一側の長手方向に沿って所定 長さで設けられている。

 上記端子部1には後述するように所定の長 さに切断された、両面粘着性の異方性導電部 材からなる上記粘着テープ2が貼着されるよ� �になっている。そして、粘着テープ2が貼着� ��れた端子部1には、図2Bに示すように1つ若し くは複数のTCPなどの電子部品3が圧着される� �

 図1に示すように、上記粘着テープ2は一� �面に透光性の樹脂テープからなる離型テー� �8が貼着されて供給リール9に巻かれていて、 粘着テープ2を下にして一対のガイドローラ11 にガイドされた部分が上記テーブル7に載置� �れた上記基板Wの端子部1の上面に対向して水 平に走行するようになっている。

 上記テーブル7の上方には加圧ツール13が� ��下駆動機構14によって図中矢印で示す上下� �向に駆動可能に設けられている。粘着テー� �2は、後述する切断装置23によって所定長さ� �切断され、その切断された部分がテーブル7� ��に載置された基板Wの端子部1に対向する位� �まで搬送されると、その位置で停止する。

 停止後に加圧ツール13が下降し、上記基� �Wに粘着テープ2の所定長さに切断された部分 が貼着される。その後、上記離型テープ8は� �駆動機構16によって一体的に矢印-X方向に駆� ��される第1、第2の離型ローラ10a,10bによって� ��着テープ2から剥離され、巻取りリール12に� ��き取られるようになっている。

 上記第1の離型ローラ10aは図1に示すよう� �離型テープ8の下面側に位置するように配置� ��れている。第2の離型ローラ10bは上記第1の� �型ローラ10aよりも粘着テープ2の送り方向(図 1及び図6に+Xで示す)上流側に上記第1の離型ロ ーラ10aと軸線を平行にして配置されている。 これら第1、第2の離型ローラ10a,10bは図6に示� �ように軸線Oを上記離型テープ8の幅方向に平 行な直線Lに対してβで示す所定の角度で傾斜 して配置されている。

 したがって、第1、第2の離型ローラ10a,10b� ��駆動機構16によって図1に示す矢印-Xで示す� �向に駆動されると、離型テープ8は基板Wに貼 着された粘着テープ2の送り方向の上流側に� �置する幅方向の一端(図6にE1で示す)から他端 (図6にE2で示す)に向かって徐々に剥離される� ��うになっている。

 上記粘着テープ2と離型テープ8との搬送� �、搬送手段としての送り装置20によって行な われる。この送り装置20は離型テープ8を挟持 可能に形成されたチャック21を有する。この� ��ャック21は図示しないガイド体によって回� �不能にガイドされ、サーボモータ22bによっ� �回転駆動される駆動ねじ22aにより直線駆動� �れるようになっている。

 したがって、上記チャック21が離型テー� �8を挟持した状態で上記駆動ねじ22aを回転駆� ��し、このチャック21を図1に矢印+Xで示す方� �へ駆動すれば、上記離型テープ8とともに粘� ��テープ2を+X方向へ搬送し、この粘着テープ2 を所定の位置、つまり基板Wの端子部1に対向� ��るよう位置決めできるようになっている。

 上記粘着テープ2は基板Wよりも搬送方向� �流側において、上記切断装置23によって所定 の長さに切断される。この切断装置23は図3と 図4に示すように軸線を垂直にして上記粘着� �ープ2の下方に配置された駆動手段としての� ��リンダ25を有する。このシリンダ25のロッド 25aには駆動部材26が取付けられている。この� ��動部材26はシリンダ25によって図1に矢印で� �す上下方向に駆動される。

 上記駆動部材26の上面の、上記粘着テー� �2の搬送方向の下流側に位置する一端部には� ��ッタ27が立設されている。このカッタ27は先 端が鋭利となる楔状に形成された歯部27aを有 するとともに、この歯部27aの、上記粘着テー プ2の搬送方向の上流側に位置する一側には� �端が平坦面28aとなった貼着部28が一体形成さ れている。この平坦面28aは上記歯部27aの先端 よりも所定寸法低い位置に形成されている。

 上記貼着部28の平坦面28aは、後述するよ� �に上記カッタ27の歯部27aが上記粘着テープ2� �切断し、かつ上記離型テープ8がハーフカッ� ��されたとき、上記粘着テープ2のカッタ27に� ��って切断される部位近傍で、搬送方向の上� ��側の部分を押圧するようになっている。

 上記平坦面28aは上記粘着テープ2が貼着さ れ易いよう、たとえば粗面に形成されている 。それによって、上記粘着テープ2の上記平� �面28aによって押圧された部分は、その平坦� �28aに貼着するようになっている。

 上記駆動部材26の上面の、上記粘着テー� �2の搬送方向の上流側に位置する他端部には� ��持片31が設けられている。この支持片31には 保持孔32が形成されていて、この保持孔32に� �押え部材33が上下方向にスライド可能に支持 されている。

 上記押え部材33の上端面33aは後述するよ� �に粘着テープ2を押圧したとき、その粘着テ� ��プ2が貼着されることのない非貼着面に形成 されている。非貼着面は、たとえばシリコン 樹脂やフッ素樹脂などのような滑沢性を有す る樹脂をコーティングすることで形成される 。

 上記押え部材33には下端面に開放した保� �孔34が形成されている。この保持孔34にはば� ��35が収容されていて、このばね35は上記押え 部材33を上昇方向に付勢している。なお、押� ��部材33の下端には、ばね35によって上昇方向 に付勢された上記押え部材33が上記保持孔34� �ら抜け出るのを阻止する鍔36が設けられてい る。

 上記押え部材33がばね35によって上昇方向 に付勢された状態において、押え部材33の上� ��面33aは上記カッタ27の歯部27aの先端と同等� �いはわずかに上方に位置している。この実� �の形態ではわずかに高い位置に設定されて� �る。

 上記切断装置23の上方には、上記粘着テ� �プ2を挟んで保持部材としての保持ブロック3 8が配設されている。上記粘着テープ2の上面� ��貼着された離型テープ8は上面を上記保持ブ ロック38の下面に接触させながら送られるよ� ��になっている。

 離型テープ8が保持ブロック38の下面に接� ��した状態で、上記シリンダ25が作動して駆� �部材26が上昇方向に駆動されると、粘着テー プ2が上記押え部材33の上端面33aによって上記 保持ブロック38の下面に押圧保持される。

 さらに、駆動部材26が上昇方向に駆動さ� �ると、押え部材33はばね35を圧縮変形させて� ��対的に下方へ変位する。ついで、上記駆動� ��材26に設けられたカッタ27の歯部27aの先端が 粘着テープ2を切断する。そして、駆動部材26 が上昇限まで駆動されると、上記カッタ27は� ��着テープ2を切断するとともに、離型テープ 8の厚さ方向の約半分を切断するハーフカッ� �の位置まで上昇する。

 上記駆動部材26が上昇限まで駆動された� �、下降方向に駆動されると、カッタ27は駆動 部材26とともに下降するが、押え部材33はば� �35の復元力によって上端面33aが粘着テープ2� �押圧し続ける。

 上記カッタ27がさらに下降すると、粘着� �ープ2がカッタ27に一体形成された貼着部28の 平坦面28aに貼着しているため、図5に示すよ� �に粘着テープ2のカッタ27によって切断され� �部分の搬送方向の上流側に位置する端部が� �記離型テープ8から剥離される。

 そのとき、粘着テープ2のカッタ27によっ� ��切断される部分の上流側の部分は押え部材3 3によって弾性的に保持されているから、上� �粘着テープ2の切断された端部が上記離型テ� ��プ8から確実に剥離されることになる。

 つぎに、上記構成の貼着装置によって基板W の側辺部に粘着テープ2を貼着する場合につ� �て説明する。 
 まず、上記切断装置23によって上記粘着テ� �プ2は所定の長さに切断される。つまり、粘� ��テープ2が送り装置20によって送られて位置� ��めされると、シリンダ25が作動して駆動部� �26を上昇方向に駆動する。

 上記カッタ27が上昇限まで駆動されると� �このカッタ27によって粘着テープ2が切断さ� �るとともに、離型テープ8がハーフカットさ� ��る。それと同時に、粘着テープ2のカッタ27� ��よって切断される部分の近くは押え部材33� �上端面33aによって押圧保持される。

 上記カッタ27が上昇限まで駆動されて粘� �テープ2を切断し終わると、下降方向に駆動� ��れる。上記カッタ27には貼着部28が形成され 、この貼着部28の平坦面28aには上記粘着テー� ��2の上記カッタ27によって切断される箇所の� ��り方向の上流側の端部が貼着される。

 そのため、粘着テープ2を切断後、カッタ 27が下降方向に駆動されると、図5に示すよう に上記粘着テープ2の切断された部分の搬送� �向上流側の端部が上記貼着部28によって下方 へ引張られて上記離型テープ8から剥離され� �。

 それによって、粘着テープ2のカッタ27に� ��る切断箇所の搬送方向上流側の端部は、離� ��テープ8のハーフカット部に残留する上記粘 着テープ2の残留部分2aから確実に分離される ことになる。

 このようにして、粘着テープ2を上記切断 装置23によって所定の長さに切断したならば� ��その切断された部分が基板Wの端子部1に対� �するよう送り装置20によって上記粘着テープ 2を離型テープ8とともに搬送位置決めする。

 粘着テープ2が位置決めされると、加圧ツ ール13が下降方向に駆動されて上記粘着テー� ��2の所定長さに切断された部分が基板Wの一� �部の上面の端子部1に加圧されて貼着される� ��粘着テープ2を貼着して加圧ツール13が上昇� ��ると、一対の離型ローラ10a,10bが駆動機構16� ��よって-X方向に駆動されて離型テープ8を粘� ��テープ2から剥離する。

 そのとき、離型テープ8の剥離が開始され る粘着テープ2の端部、つまり粘着テープ2の� ��ッタ27によって切断された箇所の搬送方向� �流側に位置する端部は、上述したように離� �テープ8のハーフカット部に残留する残留部� ��2aと確実に分離されている。

 そのため、離型テープ8を離型ローラ10a,10 bによって剥離し始めたとき、粘着テープ2の� ��部がハーフカット部に残留する残留部分2a� �介して離型テープ8に引張られるということ� ��ないから、上記粘着テープ2の端部を基板W� �ら捲れ上がらせることなく、上記離型テー� �8を上記粘着テープ2から剥離することができ る。

 上記離型ローラ10a,10bは離型テープ8の幅� �向に対して角度βで傾斜して設けられている 。そのため、離型ローラ10a,10bが駆動機構16に よって-X方向に駆動されて離型テープ8を粘着 テープ2から剥離するとき、離型テープ8は粘� ��テープ2の送り方向の上流側に位置する幅方 向の一端E1から徐々に剥離されることになる� ��

 それによって、離型テープ8を粘着テープ 2から剥離するとき、離型テープ8が粘着テー� ��2を引張る力が低減されるから、仮に離型テ ープ8のハーフカット部に残留する残留部分2a と粘着テープ2が確実に分断されていないこ� �があっても、基板Wに貼着された粘着テープ2 を基板Wから捲れ上がらせることなく、上記� �型テープ8を上記粘着テープ2から剥離するこ とができる。

 また、離型テープ8を粘着テープ2から剥� �するときに、幅方向の一端E1から徐々に剥離 されることになるから、幅方向全体を同時に 剥離する場合に比べて粘着テープ2の単位面� �当たりに加わるに引張り力が増大する。

 そのため、一対の離型ローラ10a,10bの駆動 にともない粘着テープ2の離型テープ8に残留� ��た残留部分2aが確実に切断されるから、そ� �ことによっても粘着テープ2が基板Wから捲く れ上がるのが防止される。

 図7A,図7B,図7Cはこの発明の第2の実施の形� ��を示す。この実施の形態は切断装置を構成� ��るカッタ27が粘着テープ2の幅方向に対して� ��度θで傾斜して配置されている。上記カッ� �27は第1の実施の形態と同様、シリンダ25によ って上下方向に駆動される。

 図7Bに切断線Sで示すように、上記カッタ2 7によって粘着テープ2を斜めに切断すると、� ��着テープ2を基板Wに貼着して離型テープ8を� ��型ローラ10a,10bによって剥離する際、粘着テ ープ2の搬送方向上流側に位置する先端面は� �度θで傾斜している。

 そのため、離型テープ8のハーフカット部 に残留する粘着テープ2の残留部分2aと、離型 テープ8の剥離が開始される粘着テープ2の傾� ��した先端との接続は、カッタ27が粘着テー� �2の幅方向に対して直交している場合に比べ� ��非常にわずかで、接続強度も低いから、粘� ��テープ2の端部を基板Wから捲れ上がらせる� �となく、離型テープ8を剥離することができ� ��。

 なお、上記第1の実施の形態に示されたカ ッタ27を、第2の実施の形態のカッタ27のよう� ��粘着テープ2の幅方向に対して角度θで傾斜� ��て配置してもよい。

 図8A,図8B,図8Cはこの発明の第3の実施の形� ��を示す。この実施の形態は切断装置を構成� ��るカッタ127の断面形状の変形例である。図8 Aに示すように、このカッタ127は粘着テープ2� ��搬送方向上流側に位置する一側面が垂直面1 27aに形成され、下流側に位置する他側面が傾 斜面127bに形成されていて、上端面は平坦面12 7cとなっている。

 そして、上記カッタ127は第1の実施の形態 と同様、駆動手段としてのシリンダ25によっ� ��図8Aに矢印で示す上下方向に駆動されるよ� �になっている。なお、カッタ127の垂直面127a� ��粘着テープ2が貼着し易い粗面に形成されて いる。

 上記構成のカッタ127によって粘着テープ2 を切断すると、粘着テープ2の切断される部� �は上記カッタ127の平坦面127cによって分断さ� ��る。しかも、上記カッタ127の粘着テープ2の 搬送方向上流側に位置する一側面は垂直面127 aで、下流側に位置する他側面は傾斜面127bで� ��る。

 そのため、上記カッタ127によって切断さ� ��た粘着テープ2の、離型テープ8のハーフカ� �ト部に残留する残留部分2aは、図8Bに示すよ� ��に上記カッタ127の垂直面127aによって上記粘 着テープ2の上流側の端部と分断された状態� �なる。

 そして、離型テープ8をハーフカットして 粘着テープ2を切断し終わったならば、カッ� �127を図8Cに矢印で示すように下降方向に駆動 すると、上記カッタ127の上昇時に垂直面127a� �よって切断された粘着テープ2の上流側の端� ��が、粗面に形成された上記垂直面127aに摺接 或いは貼着して下方へ押し下げられるから、 粘着テープ2の切断箇所の上流側の端部が離� �テープ8から剥離される。

 それによって、粘着テープ2の切断箇所の 上流側の端部がハーフカット部に残留する残 留部分2aと連続していたとしても、その残留� ��分2aから確実に分断されるから、所定長さ� �切断された粘着テープ2を基板Wに貼着後、離 型テープ8を剥離するとき、上記粘着テープ2� ��端部が離型テープ8によって捲られるのが防 止される。

 図9A,図9B,図9Cはこの発明の第4の実施の形� ��を示す。この実施の形態の切断装置を構成� ��るカッタ27の断面形状は第1、第2の実施の形 態と同様、楔形であるが、カッタ27を駆動す� ��駆動手段が第1、第2の実施の形態と異なる� �

 すなわち、上記駆動手段は上記カッタ27� �図9Aに矢印Xで示す粘着テープ2の長手方向に� ��う水平方向(X方向)及び矢印Zで示す上下方向 であるZ方向に駆動するX・Z駆動源41である。� ��のX・Z駆動源41は、上記カッタ27を図9BにS1で 示す下降した初期位置からS2で示す+Z方向の� �昇位置に駆動して離型テープ8をハーフカッ� ��する状態で粘着テープ2を切断する。

 ついで、S3で示す-X方向、つまり粘着テー プ2の送り方向の上流側に向かってわずかに� �動した後、S4で示す-Z方向である下降方向に� ��動してから、S1で示す+X方向に駆動して初期 位置に戻すようになっている。

 このように、上記カッタ27が粘着テープ2� ��切断した後、-X方向に駆動されると、粘着� �ープ2の切断箇所の上流側に位置する端部が� ��記カッタ27の側面によって-X方向に押圧され る。ついで、カッタ27は-Zで示す方向に下降� �る。

 カッタ27が-Z方向に下降すると、上記粘着 テープ2の切断箇所の上流側の端部は、図9Cに 示すようにカッタ27との接触抵抗によって離� ��テープ8から剥離されるから、離型テープ8� �ハーフカット部に残留する粘着テープ2の残� ��部分2aに対して確実に分離される。

 したがって、所定長さに切断された粘着� ��ープ2を基板Wに貼着した後、その粘着テー� �2から離型テープ8を剥離する際、剥離端とな る上記粘着テープ2の切断時における上流側� �端部が離型テープ8のハーフカット部に残留� ��る残留部分2aによって捲られることなく、� �型テープ8を粘着テープ2から剥離することが できる。

 上記各実施の形態においては、粘着テー� ��2を所定の長さで切断する際、図10Aに示すよ うに粘着テープ2を狭い間隔で2箇所に切断線S を形成し、一対の切断線Sの間の部分を図10B� �示すように除去し、所定寸法で切断された� �着テープ2間に中抜き部42を形成するように� �てもよい。

 このような場合であっても、上述した第1 乃至第4の実施の形態のようにして離型テー� �8のハーフカット部に残留する粘着テープ2の 残留部分2aを、粘着テープ2の搬送方向下流側 に位置する端部と分離することで、離型テー プ8の剥離を確実に行うことが可能となる。

 上述した第2乃至第4の実施の形態におい� �も、第1の実施の形態と同様、粘着テープ2を 基板Wに貼着した後、離型テープ8を剥離する� ��、一対の離型ローラ10a,10bが離型テープ8の� �方向に対して角度βで傾斜していることによ って、基板Wに貼着された粘着テープ2を基板W から捲れ上がらせることなく、離型テープ8� �剥離することが可能となる。

 第1の実施の形態では第1、第2の離型ロー� ��10a,10bの軸線Oを上記離型テープ8の幅方向に� ��行な直線Lに対して図6にβで示す所定の角度 で傾斜して配置したが、図11Aに示すように一 対の離型ローラ10a,10bを、これらの軸線が離� �テープ8の幅方向に沿う直線と平行になるよ� ��配置する。つまり、第1、第2の離型ローラ10 a,10bの軸線Oを基板Wが載置されたステージ5のY 方向(図11Aに示す)に沿う移動方向と平行にな� ��よう配置する。

 そして、粘着テープ2を加圧ツール13によ� ��て基板Wに貼着した後、離型テープ8の剥離� �開始する前に、図11Bに示すようにステージ5� ��基板Wとともにθ駆動源6cによって水平方向� �角度βで回転させる。

 それによって、粘着テープ2に貼着された 離型テープ8は一対の離型ローラ10a,10bの軸線O に対して基板Wとともに角度βで傾斜する。し たがって、その状態で離型ローラ10a,10bを駆� �機構16によって図1に示す-X方向に駆動すれば 、離型テープ8は基板Wに貼着された粘着テー� ��2の幅方向一端から他端に向かって徐々に剥 離されるから、粘着テープ2を基板Wから捲れ� ��がらせることなく、離型テープ8を剥離する ことができる。

 つまり、離型ローラ10a,10b或いは離型テー プ8のいずれかを傾斜させる、つまり離型ロ� �ラ10a,10bと離型テープ8を相対的に角度βで傾� ��させ、その状態で粘着テープ2から離型テー プ8を剥離すれば、粘着テープ2の幅方向の一� ��から他端に向かって徐々に剥離することが� ��きるから、剥離時に離型テープ8が粘着テー プ2に加える引張力が低減し、粘着テープ2の� ��くれ上りを防止することが可能となる。

 また、離型テープ8を粘着テープ2から剥� �するときに、幅方向の一端から徐々に剥離� �れることになるから、幅方向全体を同時に� �離する場合に比べて粘着テープ2の単位面積� ��たりに加わるに引張り力が増大する。

 そのため、一対の離型ローラ10a,10bの駆動 にともない粘着テープ2の離型テープ8に残留� ��た残留部分2aが確実に切断されるから、そ� �ことによっても粘着テープ2が基板Wから捲く れ上がるのが防止される。

 離型ローラ10a,10bと離型テープ8を相対的� �角度βで傾斜させておけば、粘着テープ2を� �断する切断装置を構成するカッタは第1乃至� ��4の実施の形態に示された構造以外のもので あっても差し支えない。つまり、切断装置に よって粘着テープ2を切断したときに、粘着� �ープ2と離型テープ8に残留する粘着テープ2� �残留部分2aが確実に分断されていなくとも、 粘着テープ2を基板Wから捲れあがらせること� ��く、離型テープ8を剥離することが可能であ る。

 また、離型ローラ10a,10bと離型テープ6の� �方を逆方向に傾けることで、これら両者を� �対的に傾斜させるようにしてもよい。

 また、粘着テープ2を切断するとき、離型 テープ6をハーフカットするようにした例を� �げて説明したが、離型テープ6をハーフカッ� ��しない場合であっても、粘着テープを切断� ��るとき粘着テープがカッタによって強く押� ��されてその一部が離型テープ6に付着残留す るから、そのような場合であってもこの発明 を適用することで、基板に貼着された粘着テ ープ2が捲くれ上ることなく、離型テープ6を� ��離することが可能となる。