在液晶显示器 （TFTXCD) 的生产过程中， 涂布在玻璃基板上的光刻胶 经曝光后需要进行显影才能得到需要的图形。

如图 1、 2所示， 目前高世代产线的显影装置中， 玻璃基板 3以相对于机 台 1一定的倾斜角度 （： Θ ) 的方式设置于显影槽中， 玻璃基板 3的倾斜方向 和倾斜角度保持不变， 用于喷洒显影液的喷嘴 2的倾斜方向和倾斜角度与玻 璃基板 3的倾斜方向和倾斜角度一致。 显影过程中位于倾斜面上方 （图 1中 玻璃基板 3的 a a边） 的玻璃基板 3接触的都是经啧嘴 2喷出的新液， 显影 液浓度较稳定， 上方的显影液与光刻胶反应后浓度变稀并向倾 斜面下方 （图 1 中玻璃基板 3的 b- b边） 流淌， 从而导致倾斜面下方 （图 I 中玻璃基板 3 的 b- b边） 的玻璃基板 3接蝕到的显影液浓度比上方的玻璃接触到的� �影液 浓度低。 因此， 会导致玻璃倾斜面上方（即 a- a边）的线宽比下方（即 b- b边) 的线宽窄，从而影响整张玻璃的线宽均匀性， 例如图 3所示， 线宽 m<线宽 II。

如图 4 iff示， 目前还有一种显影方式是采用机台 1带动玻璃基板 3旋转 的方式进行显影。 由于高世代产线的玻璃基板 3尺寸特别大， 旋转起来很容 易造成碎片， 所以该方式不适用于高世代的产线， 这种显影方式只能对应小 尺寸的玻璃基板 3。

因此， 在高世代的生产中， 对于一些线宽均匀性要求比较高的膜层 （如 彩膜基板的黑矩阵 BM、 阵列基板的各层膜）， 需要寻求具有更好的线宽均匀 性的显影装置来进行显影工艺。

本发明提供一种显影装置及显影方法， 其可以保证玻璃基板各个方向接 触到的显影液浓度保持一致， 从而提高显影后的线宽均匀性。

本发明提供方案如下：

本发明实施例提供了一种显影装置， 包括：

用于喷洒显影液的啧嘴；

用于承载玻璃基板的机台；

用于控制所述喷嘴和所述机台向所述机台的预 定方向倾斜预定角度且在 预设时间内维持该倾斜角度的倾斜控制器。

优选地， 所述倾斜控制器包括：

可伸缩器件；

所述可伸缩器件分别与所述喷嘴和所述机台连 接。

优选地， 所述倾斜控制器包括四个所述可伸縮器件；

所述四个可伸縮器件分别与所述喷嘴和所述机 台连接于预设位置处。 优选地， 所述预设位置处为所述喷嘴和所述机台的边角 处。

优选地， 所述玻璃基板的中心与所述机台的中心对齐。

优选地， 所述倾斜控制器包括：

摆动器件；

所述摆动器件与所述机台固定连接。

优选地， 所述喷嘴与所述机台通过连接器件固定连接。

本发明实施例还提供了一种显影方法， 包括：

在一倾斜循环周期中， 倾斜控制器控制机台和喷嘴， 向所述机台的第一 方向倾斜预定角度， 并在预设时间内维持该倾斜角度；

按预设的倾斜方向顺序， 所述倾斜控制器控制所述机台和所述喷嘴， 依 次向所述机台的其他方向倾斜预定角度， 并在预设时间内维持该倾斜角度。

优选地， 所述显影方法还包括：

根据工艺要求， 设定倾斜循环周期。

优选地， 所述显影方法还包括：

在一倾斜循环周期中， iff述喷嘴持续喷洒显影液。

优选地， 所述显影方法还包括：

在一倾斜循环周期中， iff述喷嘴间歇喷洒显影液。 优选地， 所述显影方法还包括：

所述喷嘴以完全覆盖所述玻璃基板的方式喷洒 显影液。

从以上所述可以看出， 本发明提供的显影装置及显影方法， 通过设置用 于喷洒显影液的喷嘴； 用于承载玻璃基板的机台； 用于控制所述喷嘴和所述 机台向所述机台的预定方向倾斜预定角度且在 预设时间内维持该倾斜角度的 倾斜控制器； 在一倾斜循环周期中， 倾斜控制器控制机台和喷嘴， 向所述机 台的第一方向倾斜预定角度， 并在预设时间内维持该倾斜角度； 按预设的倾 斜方向顺序， 所述倾斜控制器控制所述机台和所述喷嘴， 依次向所述机台的 其他方向倾斜预定角度， 并在预设日寸间内维持该倾斜角度， 从而可以保证玻 璃基板各个方向接触到的显影液浓度保持一致 ， 认而提高显影后的线宽均匀 性。 附图说明

图 1为现有技术示意图一；

图 2为现有技术示意图二；

图 3为现有技术示意图≡ _;

图 4为现有技术示意图四；

图 5为本发明实施例提供的显影装置结构示意图� �；

图 6为本发明实施例提供的显影装置结构示意图� �；

图 7为本发明实施例提供的显影方法流程示意图� �

图 8为本发明实施例提供的显影方法实现过程状� �示意图一；

图 9为本发明实施例提供的显影方法实现过程状� �示意图二；

图 10为本发明实施例提供的显影方法实现过程状� ��示意图

图 II为本发明实施例提供的显影方法实现过程状� ��示意图四；

图 12为本发明实施例提供的显影方法实现结果示� ��图。

为使本发明实施例的目的、 技术方案和优点更加清楚， 下面将结合本发 明实施例的 图， 对本发明实施例的技术方案进行清楚.、 完整地描述。 显然, 所描述的实施例是本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于所描 述的本发明的实施例， 本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提 下所获 得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。

除非另作定义， 此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发 明所属领 域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。 本发明专利申请说明书以及权 利要求书中使用的 "第一 "、 "第二" 以及类似的词语并不表示任何顺序、 数 量或者重要性， 而只是用来区分不同的组成部分。 同样， "一个"或者 "一" 等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在 至少一个。 "连接"或者"相连" 等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连 接，而是可以包括电性的连接, 不管是直接的还是间接的。 "上"、 "下"、 "左"、 "右"等仅用于表示相对位置 关系， 当被描述对象的绝对位置改变后， 则该相对位置关系也相应地改变。

本发明实施例提供了一种显影装置， 如附图 5所示， 该显影装置具体可 以包括：

用于喷洒显影液的喷嘴 2 ;

用于承载玻璃基板 3的机台 1 ;

用于控制喷嘴 2和机台 1向机台 1的预定方向倾斜预定角度且在预设时 间内维持该倾斜角度的倾斜控制器。

根据本发明实施例提供的显影装置， 通过倾斜控制器控制机台 1带动显 影液喷嘴 2和玻璃基板 3在一定的倾斜循环周期内、 以机台 1的中心 （或者 是玻璃基板 3的中心） 为基准向机台 1 的各方向 （例如四条边方向） 倾斜摆 动的方式来完成显影， 该显影装置可以使玻璃基板 3各部分接触到的显影液 浓度保持一致， 从而提高了显影后的线宽均匀性。

在本发明一具体实施例中， 玻璃基板 3的中心， 可与机台 1的中心对齐， 同时， 喷嘴 2喷洒显影液的范围需要完全覆盖玻璃基板 3， 从而可确保显影 液均匀的覆盖在玻璃基板 3上， 即本发明实施例中可以设置有多个喷嘴 2。

为了实现对机台 1和喷嘴 2的倾斜控制， 在一可选实施例中， 如附图 5 所示， 倾斜控制器具体可以包括：

可伸缩器件 5 ;

可伸縮器件 5分别与喷嘴 2和机台 1连接。 这样， 随着可伸缩器件 5的上下伸缩， 可带动喷嘴 2和机台 1作为一个 整体， 同时向机台 1 的预定方向倾斜预定角度， 并在预设时间内可使喷嘴 2 和机台 1维持该倾斜角度。

而在一具体实施例中， 本发明实施例所涉及的显影装置内具体可设置 有 如附图 5所示的四个可伸缩器件 5 , 这四个可伸缩器件 5可分别与喷嘴 2和 机台 1连接于预设位置处， 例如喷嘴 2和机台 1的边角处， 从而实现对喷嘴 2和机台 1的倾斜控制。

而在另一可选实施例中， 如附图 6所示， 倾斜控制器具体可以包括： 摆动器件 6;

摆动器件 6与机台 1固定连接。

这样， 随着摆动器件 6向机台 1各方向的摆动， 可使机台 1实现向各个 方向倾斜预定角度， 且在预设时间内可控制机台 1维持该倾斜角度。

同时， 为了实现喷嘴 2和机台 1作为一个整体同时倾斜， 在此实施例中， 喷嘴 2可与机台 1通过至少一个连接器件 7固定连接。

另外， 本发明实施例所涉及的倾斜控制器， 还可以采用其他实现方式， 实现对机台 1和喷嘴 2的倾斜控制。

本发明实施例所提供的显影装置， 除了上述器件之外， 还可以包括能够 确保显影装置正常运作的其他器件， 例如电机、 显影槽等等。

另外， 本发明实施例还提供了一种显影方法， 如附图 7所示， 该方法具 体可以包括以下步骤：

步骤 71， 在一倾斜循环周期中， 倾斜控制器控制机台 I和喷嘴 2， 向机 台 1的第一方向倾斜预定角度 Θ , 并在预设时间内维持该倾斜角度；

步骤 72， 按预设的倾斜方向顺序， 倾斜控制器控制机台 1和喷嘴 2, 依 次向机台 I的其他方向倾斜预定角度， 并在一预设时间内维持该倾斜角度。

根据本发明实施例提供的显影方法， 通过倾斜控制器控制机台 1带动显 影液喷嘴 2和玻璃基板 3在一定的倾斜循环周期内、 以机台 i的中心 （或者 是玻璃基板 3的中心） 为基准向机台 I 的各方向 （例如四条边方向） 倾斜摆 动的方式来完成显影， 该显影方法可以使玻璃基板 3各部分接触到的显影液 浓度保持一致， 从而提高了显影后的线宽均匀性。 本发明实施例中， 可根据工艺要求， 例如光刻胶的显影时间等， 设定倾 斜循环周期。

同时， 本发明实施例所涉及的倾斜方向顺序， 可以顺时针各方向， 也可 以是逆时针各方向， 还可以是先左右、 后前后， 或者先前后、 后左右的倾斜 方向顺序， 只需保证机台 1的各个方向均实现倾斜即可。

而且， 本发明实施例中， 在一倾斜循环周期中， 喷嘴 2可持续喷洒显影 液。 而为了节省成本， 喷嘴 2也可间歇性的喷洒显影液， 例如， 只有在倾斜 控制器控制喷嘴 2和机台 1倾斜一定角度后开始啧洒， 而在喷嘴 2和机台 1 向另一方向倾斜过程中， 可停止喷洒。

为了便于对本发明实施例提供的技术方案的理 解， 下面以本发明实施例 提供的显影方法应用于如附图 6 所示的本发明实施例提供的显影装置中为 例， 进行详细的说明。

在显影过程中， 机台 1带动玻璃基板 3和喷嘴 2以一定的倾斜角度（ Θ ) 依次向机台 1的四条边的方向倾斜摆动， 具体可如附图 8 1所示：

首先， 如附图 8所示， 倾斜控制器控制机台 I和喷嘴 2向机台 1 的 a- b 边所在方向倾斜， 即机台 1 的 a- b边向下倾斜， 这个方向玻璃接触的显影液 浓度较低， 机台 I的 c- d边向上倾斜， 这个方向的玻璃接触的显影液为新液， 保持该姿态显影一定 H寸间。

这里需要说明的是， 本发明实施例中， 倾斜控制器控制机台 1 和喷嘴 2 向各方向倾斜后的维持时间， 即显影时间可以相同， 也可以不同， 具体可根 据实际生产需要而任意设定。 同样， 对于向各个方向倾斜的角度也可以相同 或不同。

对应于本发明实施例中如附图 5所示的显影装置，可通过控制设置于 a- b 边处的两个伸缩器件 5向下运动， 控制设置于 C- d边处的两个伸缩器件 5向 上运动， 以实现机台 1的 a- b边向下倾斜， 机台 1的 c- d边向上倾斜； 或者， 单独控制设置于 a- b边处的两个伸缩器件 5向下运动，同样也可以实现机台 1 的 a- b边向下倾斜， 机台 1的 c- d边向上倾斜。

而对应于本发明实施例中如附图 6所示的显影装置， 可通过控制摆动器 件 6向机台 1的 a- b边所在方向摆动， 以实现机台 1的 a- b边向下倾斜， 机台 I的 c d边向上倾斜， 详见附图 8。

后续步骤中， 倾斜控制器控制机台 1和喷嘴 2的倾斜过程与上述描述类 似， 可参见 ^图 9-11所示， 后续将不再赘述。

随后， 如附图 9所示， 倾斜控制器控制机台 1和啧嘴 2向机台 1 的 od 边所在方向倾斜， 即机台 1 的 C- d边向下倾斜， 这个方向玻璃接触的显影液 浓度较低， 机台 1的 a b边向上倾斜， 这个方向的玻璃接触的显影液为新液， 保持该姿态显影一定时间；

接着， 如附图 10所示， 倾斜控制器控制机台 1和啧嘴 2向机台 1的 b c 边所在方向倾斜， 即机台 1 的 b- c边向下倾斜， 这个方向玻璃接触的显影液 浓度较低， 机台 1的 a d边向上倾斜， 这个方向的玻璃接触的显影液为新液， 保持该姿态显影一定时间；

最后， 如附图 11所示， 倾斜控制器控制机台 1和喷嘴 2向机台 1的 a-d 边所在方向倾斜， 即机台 1 的 a- d边向下倾斜， 这个方向玻璃接触的显影液 浓度较低， 机台 1的 b e边向上倾斜， 这个方向的玻璃接触的显影液为新液， 保持该姿态显影一定时间。

至此完成一个显影循环即倾斜循环周期。

根据工艺要求， 后续可执行多次上述循环进行显影。

这样就可以保证玻璃基板 3各个方向接触到的显影液浓度保持一致， 从 而提高显影后的线宽均匀性。如图 12所示， 采用本发明实施例提供的显影方 法生成的玻璃基板 3中的线宽 m'与 n'宽度基本相等。

而且， 本发明实施例提供的显影方法， 可以使薄膜玻璃基板 3在一个显 影槽中即可完成显影处理过程。

对于一些生产节拍较快的生产线， 可以配置多台本发明实施例提供的显 影装置以加快生产速度。 每块玻璃基板 3在其中一台显影装置中完成显影排 出后直接进入到下游的清洗单元。

从以上所述可以看出， 本发明实施例提供的显影装置及显影方法， 通过 设置用于啧洒显影液的啧嘴； 用于承载玻璃基板的机台； 用于控制所述啧嘴 和所述机台向所述机台的预定方向倾斜预定角 度且在预设时间内维持该倾斜 角度的倾斜控制器； 在一倾斜循环周期中， 倾斜控制器控制机台和喷嘴， 向 所述机台的第一方向倾斜预定角度， 并在预设时间内维持该倾斜角度； 按预 设的倾斜方向顺序， 所述倾斜控制器控制所述机台和所述喷嘴， 依次向机台 的其他方向倾斜预定角度， 并在预设时间内维持该倾斜角度， 从而可以保证 玻璃基板各个方向接触到的显影液浓度保持一 致， 从而提高显影后的线宽均 匀性。

以上所述仅是本发明的优选实施方式， 应当指出， 对于本技术领域的普 通技术人员来说， 在不脱离本发明原理的前提下， 还可以做出若干改进和润 饰， 这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。