Als MeBelement eignet sich insbesondere ein mikromechanisches Bauelement, wie es z. B. aus der DE 43 38 891 AI bekannt ist. Bei dem aus der DE 43 38 891 AI bekannten MeBelement sind zwei temperaturempfindliche Widerstände auf getrennten Membranen integriert, die z. B. aus Siliziumoxid oder Siliziumnitrid bestehen kann und eine geringe Wärmeleitfähigkeit und eine geringe spezifische Wärmekapazität aufweist. Die beiden temperaturempfindlichen Widerstände sind durch einen Siliziumrahmen voneinander thermisch isoliert. Während einer der temperaturabhängigen Widerstände als eigentlicher Meßsensor arbeitet, dient der zweite temperaturempfindliche Widerstand als Sensor für die Temperatur des strömenden Mediums.

Aus der DE 36 27 465 C2 ist es als solches bekannt, ein MeBelement zum Messen der Luftmenge in einem Ansaugkanal gegenüber der Strömungsrichtung um einen vorgegebenen Winkel zu neigen, um das Anhaften von suspendierten Teilchen an dem MeBelement zu verringern. Ferner ist aus dieser Druckschrift bekannt, die dem Luftstrom

zugewandten und abgewandten Stirnflächen des Meßelements mit keilförmigen Vorsprüngen zu versehen, ebenfalls um das Anhaften von suspendierten Teilchen des Luftstroms zu vermindern. Die Ausbildung der keilförmigen Vorsprünge wird durch anisotropes Ätzen eines Siliziumsubstrats erzielt. Aus der DE 39 41 330 C2 ist es bekannt, die Oberfläche eines temperaturempfindlichen Meßelements um einen vorgegebenen Winkel gegenüber der Strömungsrichtung des zu messenden Mediums zu neigen. Da die Winkelabhängigkeit der MeBcharakteristik relativ grogs ist, wenn das Meßelement nur geringfügig gegenüber der Strömungsrichtung geneigt ist oder im Extremfall parallel zur Strömungsrichtung ausgerichtet ist, jedoch die Winkelabhängigkeit der Meßcharakteristik bei größeren Neigungswinkeln zwischen der Meßoberfläche des Meßelements und der Strömungsrichtung des Mediums geringer ist, ergibt sich nach der Lehre dieser Druckschrift ein relativ zuverlässiges und reproduzierbares Meßergebnis, wenn der Winkel zwischen der Strömungsrichtung des Mediums und der Meßoberfläche des MeBelements in einem Bereich zwischen 20° und 60° liegt.

Die bekannten MeBvorrichtungen haben jedoch den Nachteil, daß das Meßelement durch in dem strömenden Medium transportierte Schmutzpartikel, insbesondere Staubkörnchen, zerstört werden kann, wenn die Schmutzpartikel mit dem Meßelement kollidieren.

Insbesondere wenn mikromechanische Bauteile, wie sie beispielsweise in der DE 43 38 891 A1 beschrieben sind, als Meßelemente Verwendung finden, können die Schmutzpartikel auf der relativ dünn ausgebildeten Membran auftreffen und diese nachhaltig schädigen. Daher kann es zu einem erhöhten VerschleiB des Meßelements und zu einem vorzeitigen Ausfall kommen. Ferner können sich öl-oder fetthaltige Schmutzpartikel auf dem Meßelement insbesondere auf dessen Membran niederschlagen, die als Haftvermittler für Festkörperpartikel, z. B. Staub oder Sandkörner, dienen und das Meßelement nachhaltig verschmutzen. Durch die Verschmutzung ist die Wärmekopplung zwischen dem Meßelement und dem strömenden Medium gestört, so daB sich eine Verschiebung der Meßkennlinie gibt, was zwangsläufig zu Meßfehlern führt. Bei Verwendung der Meßvorrichtung zum Erfassen der Ansaugluft in dem Ansaugkanal einer Brennkraftmaschine kann es dabei z. B. zu einer fehlerhaften Ansteuerung der Brennstoffeinspritzventile und somit zu einer nicht optimalen Einstellung des Brennstoff- Luftgemisches kommen, so daß sich die Abgaswerte der Brennkraftmaschine mit zunehmender Verschmutzung des Meßelements verschlechtern.

Ein weiterer Nachteil bei der bekannten Meßvorrichtung besteht darin, daß die Meßgenauigkeit bei pulsierenden Strömungen in der zu messenden Leitung noch nicht optimal ist.

Vorteile der Erfindung Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung zum Messen der Masse eines in einer Leitung strömenden Mediums mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 hat demgegenüber den Vorteil, daß eine Beaufschlagung des Meßelements mit in dem strömenden Medium mitgeführten Schmutzpartikeln weitestgehend vermieden, zumindest aber verringert wird. Insbesondere die Membran eines als mikromechanisches Bauteil ausgebildeten Meßelements wird durch die erfindungsgemäße Maßnahme vor der Kollision mit in dem strömenden Medium mitgeführten Schmutzpartikeln weitestgehend geschützt, so daß die Lebensdauer des Meßelements wesentlich verlängert werden kann. Durch die Neigung der Meßkanal-Längsachse gegenüber der Leitungs-Längsachse entsteht in dem Meßkanal ein bezüglich der Flugbahnen von in dem strömenden Medium mitgeführten Partikeln abgeschatteter Bereich, in welchen die Schmutzpartikel nicht oder in wesentlich verringerter Anzahl eintreten. Durch die Anordnung des Meßelements in diesem Bereich wird die Gefahr der Kollision des Meßelements, insbesondere der dünnen und empfindlichen Membran des Meßelements mit den Schmutzpartikeln erheblich verringert.

Da ferner das Auftreffen von öl-oder fetthaltigen Schmutzpartikeln auf dem Meßelement verringert wird, wird einer Verschmutzung durch Anhaften von Staub oder anderen Festkörperpartikeln auf dem Meßelement, insbesondere auf der Oberfläche der Membran eines als mikromechanisches Bauteil ausgebildeten Meßelements, weitgehend verhindert.

Auf diese Weise wird einer Veränderung der Kennlinie entgegengewirkt und die Zuverlässigkeit des erzielten Meßergebnisses erhöht. Bei Verwendung der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung zum Erfassen der Ansaugluftmasse einer Brennkraftmaschine können daher die Abgaswerte der Brennkraftmaschine verbessert werden.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten MaBnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der in dem Hauptanspruch angegebenen Meßvorrichtung möglich.

Insbesondere ist es vorteilhaft, wenn auch die von der Auslaßöffnung aufgespannte Austrittsebene der Meßvorrichtung gegenüber der Leitungs-Längsachse um einen vorgegebenen Winkel geneigt ist. Durch diese Maßnahme wird die Dynamik bei einer pulsierenden Strömung des zu messenden Mediums wesentlich verbessert und es ergibt sich eine verbesserte Strömung des Mediums durch den Meßkanal und dem Umlenkkanal der Meßvorrichtung.

Das Meßelement kann in vorteilhafter Weise an einer in den Meßkanal ragenden Platte befestigt sein, deren stromaufwärtige Stirnseite durch eine oder mehrere Schrägflächen abgeschrägt ist. Durch diese Maßnahme wird das Anhaften von Schmutzpartikeln an der stromaufwärtigen Stirnseite der Platte verringert. Dabei ist die Meßplatte gegenüber der Hauptströmungsrichtung in dem Meßkanal vorzugsweise so ausgerichtet, daß das Medium auf der stromaufwärtigen Stirnseite mit einer Querströmungskomponente auftrifft, die in der Ebene der schneidenartigen Schrägfläche liegt. Durch diese Strömungskomponente werden an der Schrägfläche anhaftende Schmutzpartikel mit einer Kraftkomponente entlang der Schrägfläche beaufschlagt und somit von dem empfindlichen Bereich des Meßelements beseitigt. Durch diesen Selbstreinigungseffekt kann die Kennlinienstabilität des Meßelements zusätzlich verbessert werden.

In ähnlicher Weise sind die Stirnflächen der Begrenzungswandungen des Meßkanals an der Einlaßöffnung gegenüber der Hauptströmungsrichtung vorzugsweise so ausgerichtet, daß das Medium auf die Stirnflächen der Begrenzungswandungen des Meßkanals mit einer Querströmungskomponente auftrifft, die in der Ebene dieser Stirnflächen liegt. Auf diese Weise entsteht ebenfalls eine Kraftkomponente, die an den Stirnflächen anhaftende Schmutzpartikel beaufschlagt und somit selbstreinigend beseitigt.

Zeichnung Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung vereinfacht dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 in teilweiser Schnittdarstellung eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen MeBvorrichtung entsprechend einem ersten Ausführungsbeispiel, Fig. 2 in teilweiser Schnittdarstellung eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung entsprechend einem zweiten Ausführungsbeispiel und Fig. 3 eine schematische Darstellung der Strömungsverhältnisse an der stromaufwärtigen Stirnseite einer Platte, an welcher das Meßelement befestigt ist.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele Die Fig. 1 zeigt in teilweiser Schnittdarstellung eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Meßvorrichtung 1, die zur Messung der Masse eines strömenden Mediums, insbesondere der Ansaugluftmasse von Brennkraftmaschinen, dient.

Die Meßvorrichtung 1 erfaßt die Masse eines in einer Leitung 2 strömenden Mediums. Die Leitung 2 ist lediglich schematisch dargestellt und erstreckt sich zumindest im Bereich der Meßvorrichtung 1 entlang einer Leitungs-Längsachse 3. Die Leitung 2 kann z. B. eine Ansaugleitung einer Brennkraftmaschine sein, über die die Brennkraftmaschine Luft aus der Umgebung ansaugen kann. In den Ausführungsbeispielen der Figuren 1 und 2 strömt das Medium, z. B. die Ansaugluft, von rechts nach links durch die Leitung 2. Die Strömungsrichtung in der Leitung 2 ist durch einen Pfeil 6 gekennzeichnet.

Die Meßvorrichtung 1 hat vorzugsweise eine schlanke, sich radial in der Leitung 2 erstreckende, quaderförmige Gestalt und kann vorzugsweise in eine aus der Wandung 4 der Leitung 2 ausgenommene, in den Figuren nicht dargestellte Öffnung der Leitung 2, z.

B. steckbar eingeführt werden. Ein Befestigungsarm 5 der Meßvorrichtung dient der Befestigung der Meßvorrichtung 1 an der Wandung 4 der Leitung 2. Der Befestigungsarm 5 kann dabei eine in den Figuren nicht dargestellte, kragenförmige Erweiterung aufweisen, die gegenüber der Wandung 4 der Leitung 2 abgedichtet ist. Die Ausbildung der Meßvorrichtung 1 als in die Wandung 4 der Leitung 2 einsteckbares Steckmodul gestattet eine besonders einfache Montage und Wartung. In den Befestigungsarm 5 kann entsprechend einer bevorzugten Ausgestaltung eine elektronische Auswerteschaltung integriert sein und an einem aus der Wandung 4 der Leitung 2 herausragenden Abschnitt des Haltearms 5 können entsprechende Anschlüsse für die Stromversorgung der Meßvorrichtung 1 und zum Abgreifen des von der Meßvorrichtung 1 gewonnen Meßsignals vorgesehen sein.

Die Meßvorrichtung 1 kann z. B. einstückig aus Kunststoff als Kunststoff-Spritzgußteil hergestellt sein. Die Meßvorrichtung 1 weist einen Strömungskanal 7 auf, der in Art einer Bypass-Leitung parallel zu dem Hauptströmungsquerschnitt 8 der Leitung 2 angeordnet ist.

Der Strömungskanal 7 der Meßvorrichtung 1 gliedert sich in einen Meßkanal 9, der sich von einer Einlaßöffnung 10 bis zu einem sich in Strömungsrichtung an den Meßkanal 9 anschließend, S-förmig ausgebildeten Umlenkkanal 11 erstreckt. Der Meßkanal 9 nimmt ein Meßelement 12 auf und verjüngt sich in Strömungsrichtung ausgehend von der Einlaßöffnung 10 in Richtung auf den Umlenkkanal 11 zunehmend. Der Umlenkkanal 11

weist hingegen einen im wesentlichen gleichförmigen, rechteckförmigen Strömungsquerschnitt auf und fuhrt das durch den Strömungskanal 7 der Meßvorrichtung 1 strömende Medium zu einer Auslaßöffnung 13. Eine Trennwand 14 trennt den Meßkanal 9 von dem Umlenkkanal 11. An die Trennwand 14 schließt sich ein im Querschnitt abgerundeter Körper 15 an, der dem anströmenden Medium einen nur geringen Strömungswiderstand entgegenstellt. Die Auslaßöffnung 13 befindet sich an einer Oberfläche 16 der Meßvorrichtung 1, die der innenseitigen Oberfläche der Wandung 4 der Leitung 2 gegenüberliegt.

Das Meßelement 12 ist vorzugsweise als mikromechanisches Bauteil ausgebildet, wie dies beispielsweise in der DE 43 38 891 A1 vorgeschlagen wird. Das Meßelement weist in an sich bekannter Weise zumindest eines vorzugsweise aber zwei temperaturempfindliche Widerstandselemente auf, die auf einer dielektrischen Membran, z. B. aus Siliziumoxid oder Siliziumnitrid ausgebildet sind. Die Widerstandselemente sind voneinander z. B. durch einen Siliziumrahmen getrennt. Die dielektrische Membran hat dabei den Vorteil einer nur geringen Wärmekapazität und einer relativ geringen thermischen Leitfähigkeit, so daß das Ansprechverhalten des Meßelements relativ kurz ist.

Das Meßelement 12 besitzt in den in Fig. 1 und 2 dargestellten, bevorzugten Ausführungsbeispielen einen plattenförmigen Trägerkörper auf Siliziumbasis, mit einem durch Ausätzen entstandenen membranförmigen Sensorbereich mit einer äußerst geringen Dicke und mehrere, ebenfalls durch Ausätzen entstandene Widerstandsschichten. Diese Widerstandsschichten bilden wenigstens einen temperaturabhängigen Meßwiderstand und beispielsweise einen Heizwiderstand. Vorzugsweise befindet sich in der Mitte der Membran der Heizwiderstand, der mit Hilfe eines Temperaturfühlers auf eine Übertemperatur geregelt wird. Stromauf und stromab des vom Heizwiderstand gebildeten Heizbereichs befinden sich zwei, zum Heizbereich symmetrisch angeordnete Meßwiderstände. Der Trägerkörper des Meßelements 12 ist in eine Aussparung einer zum Beispiel aus Metall bestehenden Aufnahme bündig in dieser untergebracht und zum Beispiel durch Klebung gehalten. Diese Aufnahme wird im folgenden als Platte 18 bezeichnet. Die Platte 18 ragt in den Meßkanal 9 hinein, so daß das Meßelement 12 von dem durch den Strömungskanal 7 der Meßvorrichtung 1 strömenden Medium umströmt wird.

Erfindungsgemäß ist eine mittig durch den Meßkanal 9 verlaufende Meßkanal-Längsachse 19 gegenüber der Leitungs-Längsachse 3 um einen vorgegebenen Winkel a geneigt. Der Meßkanal 9 weist durch diese Maßnahme einen abgeschatteten Bereich 20 auf, der sich außerhalb der entlang der Leitungs-Längsachse 3 parallelen Projektion der Einlaßöffnung

10 des Meßkanals 9 befindet. In Fig. 1 und 2 befindet sich der abgeschattete Bereich oberhalb der unterbrochenen Linie 21. Die unterbrochene Linie 21 symbolisiert eine Flugbahn eines Schmutzpartikels mit relativ großer Masse, der in dem durch die Leitung 2 strömenden Medium mitgeführt wird. Derartige Partikel können dem Meßelement 12, insbesondere dessen Membran bei Ausbildung des Meßelement 12 als mikromechanisches Bauteil, erheblich schaden. Durch die erfindungsgemäße Ausbildung wird jedoch eine Kollision eines schädigenden Schmutzpartikels mit dem Meßelement 12 wirkungsvoll verhindert. Die zu einer Schädigung des Meßelements 12 fuhrenden Schmutzpartikel werden im Eingangsbereich des Meßkanals 9 aufgrund ihrer relativ hohen trägen Masse nur unwesentlich in Richtung auf die Meßkanal-Längsachse 19 umgelenkt. Die Flugbahn 21 der schädigenden Schmutzpartikel verläuft daher wesentlich geradlinig.

Schmutzpartikel, deren Flugbahn oberhalb der unterbrochenen Linie 21 in Fig. 1 und 2 verläuft, treten nicht in die Einlaßöffnung 10 des Meßkanals 1 ein, sondern treffen auf der Oberfläche 22 der Meßvorrichtung 1 auf. In dem abgeschatteten Bereich 20 des Meßkanals 9 der sich in den Figuren 1 und 2 oberhalb der unterbrochenen Linie 21 befindet, befinden sich daher nahezu keine schädigenden Schmutzpartikel. Erfindungsgemäß wird weiter vorgeschlagen, das Meßelement 12 in diesem abgeschatteten Bereich 20 anzuordnen.

Vorzugsweise ist das Meßelement 12 in der Nähe der Mitte des Meßkanals 9 anzuordnen, wo die größte Strömungsgeschwindigkeit herrscht und daher die größte Meßempfindlichkeit zu erzielen ist.

Entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform, weist die Platte 18 an ihrer stromaufwärtigen Stirnseite 23 zumindest eine schneidenartig abgeschrägte Schrägfläche 24 auf. Vorzugsweise ist eine derartige Schrägfläche 24 auch auf der gegenüberliegenden Seite der stromaufwärtigen Stirnseite 23 ausgebildet, so daß die Platte 18 sich an der Stirnseite 23 entgegen der Hauptströmungsrichtung in Art einer Messerschneide verjüngt.

Die Hauptströmungsrichtung des Meßkanals 9 ist in Fig. 1 und 2 durch den Pfeil 25 veranschaulicht. Die schneidenartige Abschrägung hat den Vorteil, daß sich an den verschmutzungsempfindlichen Vorderkanten der Platte 18 kein Strömungsstaupunkt bildet, an dem das abströmende Medium abgebremst wird und Schmutzpartikel an der Stirnseite 23 der Platte 18 ablagern kann. Grundsätzlich ist es auch möglich, die Platte 18 und das Meßelement 12 einstückig auszubilden, insbesondere wenn das Meßelement 12 als mikromechanisches Bauteil auf einem Siliziumsubstrat gefertigt ist. Die Schrägfläche 24 bzw. die beidseitig vorgesehenen Schrägflächen können dabei z. B. durch anisotropes Ätzen des Siliziumsubstrats in einfacher Weise realisiert werden.

Bei den in den Fig. 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen sind der Meßkanal 9, die Platte 18 mitsamt dem Meßelement 12 und der Umlenkkanal 11 als integrales Meßmodul

ausgebildet. In den dargestellten Ausführungsbeispielen ist daher nicht nur die Meßkanal- Längsachse 19 um den vorgegebenen Winkel a gegenüber der Leitungs-Längsachse 3 geneigt, sondern das gesamte Meßmodul einschließlich des Umlenkkanals 11. Es kann daher ein konventionelles und in der Serienfertigung herstellbares Meßmodul zum Einsatz kommen, wobei lediglich der Neigungswinkel a so einzustellen ist, daß das Meßelement 12 in dem abgeschatteten Bereich 20 des Meßkanals 9 liegt. Durch die Neigung des gesamten Meßmoduls gegenüber der Leitungs-Längsachse 3 wird gleichzeitig auch die durch die Auslaßöffnung 13 aufgespannte Austrittsebene 17 gegenüber der Leitungs- Längsachse 3 geneigt. Die Auslaßöffnung 13 befindet sich daher im Lee der in der Leitung 2 herrschenden Strömung des Mediums, d. h. auf der der Anströmung des Mediums abgewandten Seite. Dies hat zusätzliche Vorteile, da sich eine wesentlich gleichmäßigere Strömung durch den Strömungskanal 7 der Meßvorrichtung 1 ergibt und insbesondere eine größere Dynamik bei einer pulsierenden Strömung des Mediums in der Leitung 2 erzielt wird. Sofern in der Leitung 2 eine Rückströmung entgegen der durch den Pfeil 6 angedeuteten Strömungsrichtung auftritt, befindet sich die Auslaßöffnung 13 auf der der Rückströmung zugewandten Seite und kann als Einlaßöffnung für die Rückströmung dienen, so daß durch die Meßvorrichtung 1 auch eine derartige Rückströmung grundsätzlich erfaßt werden kann.

Fig. 2 zeigt ein gegenüber dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel geringfügig variiertes zweites Ausführungsbeispiel. Bereits beschriebene Elemente sind mit übereinstimmenden Bezugszeichen bezeichnet, so daß insoweit auf eine wiederholende Beschreibung verzichtet werden kann.

Ein Unterschied des in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiels gegenüber dem in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel besteht zunächst darin, daß der Befestigungsarm 5 in der Leitung 2 radial ohne axiale Richtungskomponente geführt ist und daher die Wandung 30 des Strömungskanals 7 gegenüber dem Befestigungsarm 5 abgewinkelt ist.

Ein weiterer Unterschied besteht darin, daß die stromaufwärtige Stirnseite 23 der Platte 18 gegenüber der durch den Pfeil 25 veranschaulichten Hauptströmungsrichtung des Mediums in dem Meßkanal 9 so ausgerichtet ist, daß das Medium auf der stromaufwärtigen Stirnseite 23 mit einer Querströmungskomponente auftrifft, die in der Ebene der Schrägfläche 24 liegt. Zur besseren Veranschaulichung der Strömungsverhältnisse an der Stirnseite 23 der Platte 18 ist in Fig. 3 die Platte 18 mit dem Meßelement 12 vergrößert dargestellt. Eingezeichnet ist ferner die Hauptströmungsrichtung des Mediums in dem Meßkanal 9. Die Hauptströmungsrichtung im Anströmbereich der Stirnseite 23 der Platte 18 erfolgt im wesentlichen parallel zu der Meßkanal-Längsachse 19. Die

Hauptströmungsrichtung ist in Fig. 3 durch den Pfeil 31 veranschaulicht. Beim Auftreffen auf der Stirnseite 23 der Platte 18 wird die Hauptströmung in zwei in Fig. 3 durch die Pfeile 32 und 33 dargestellten Strömungskomponenten vektoriell aufgeteilt. Der Pfeil 32 veranschaulicht dabei eine Querströmungskomponente, die in der Ebene der Schrägfläche 24 liegt. Diese Querströmungskomponente übt auf an der Schrägfläche 24 anhaftenden Schmutzpartikel eine in Fig. 3 nach oben gerichtete Kraftkomponente aus, die den Schmutzpartikel entlang der Schrägfläche 25 quer zur Hauptströmungsrichtung 31 bewegt.

Dadurch entsteht ein Selbstreinigungseffekt der schneidenartigen Schrägfläche 24, da auf der Schrägfläche 24 anhaftende Schmutzpartikel durch die Querströmungskomponente entweder gelöst und beseitigt, oder aber in den seitlichen Endbereich der schneidenartigen Schrägfläche 24 geschoben werden, wo sie auf die Kennlinie des Meßelements 12 keinen wesentlichen Einfluß hat. Eine Verschiebung der Kennlinie des Meßelements 12 durch an der Platte 12 anhaftende Schmutzpartikel wird durch diese Maßnahme daher weiter verringert und die Zuverlässig und Meßgenauigkeit der erfindungsgemäßen Meßvorrichtung 1 weiter erhöht.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Platte 18 in dem Meßkanal 9 so ausgerichtet, daß der Neigungswinkel der Platte 18 in dem Meßkanal 9 dem Neigungswinkel a entspricht, den die Kanal-Längsachse 19 gegenüber der Leitungs- Längsachse 3 entnimmt. Die Platte 18 ist daher zumindest mit ihrer stromaufwärtig gelegenen Stirnseite 23 bezüglich der Leitungs-Längsachse 3 radial bzw. senkrecht zu dieser positioniert. Dies ist jedoch nicht zwangsläufig erforderlich. Die Platte 18 kann vielmehr auch in dem Meßkanal 9 um einen von dem Winkel a abweichenden Winkel geneigt sein, wobei der optimale Neigungswinkel der Platte 18 in den Meßkanal 9 in Abhängigkeit von der Strömungsgeschwindigkeit des Mediums, dem Öffnungsquerschnitt des Meßkanals 9 und weiteren Parametern zu optimieren ist.

An der Einlaßöffnung 10 ist eine ähnliche Maßnahme vorgesehen, um auch dort das Anhaften von Schmutzpartikeln weitestgehend zu vermeiden. Der Meßkanal 9 weist zwei senkrecht zu der Zeichenebene der Fig. 2 zueinander versetzte Begrenzungswandungen auf. In Fig. 2 ist lediglich die hintere Begrenzungswandung 35 zu erkennen. Die Begrenzungswandung 35 hat an der Einlaßöffnung 10 eine Stirnfläche 34. Eine entsprechende Stirnfläche ist an der zweiten senkrecht zur Zeichenebene versetzten Begrenzungswandung des Meßkanals 9 an der Einlaßöffnung 10 ausgebildet. Bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Stirnflächen 34 der Begrenzungswandungen 35 nicht senkrecht zu der durch den Pfeil 25 veranschaulichten Hauptströmungsrichtung des Meßkanals 9 ausgerichtet. Die Stirnflächen 34 sind vielmehr so geneigt, daß das Medium auf die Stirnflächen 34 der Begrenzungswandungen 35 des

Meßkanals 9 mit einer Querströmungskomponente auftrifft, die in der Ebene der Stirnflächen 34 liegt. Dadurch wird der bereits bezüglich der Platte 18 beschriebene Selbstreinigungseffekt erzielt und Schmutzpartikel, die an den Stirnflächen 34 anhaften, werden gelöst und beseitigt oder zumindest entlang der Stirnflächen 34 bis zu einem der Enden der Stirnflächen 34 verschoben.

Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. Der Meßkanal 9 und der Umlenkkanal 7 können auch in anderer Weise ausgebildet sein, wenn dies für den entsprechenden Anwendungsfall zweckdienlich ist. Die erfindungsgemäße Meßvorrichtung 1 eignet sich sowohl zur Messung der Masse von gasförmigen als auch flüssigen strömenden Medien.