Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Doppelseitenbearbeitung flacher Werkstücke, umfassend eine obere Arbeitsscheibe und eine untere Arbeitsscheibe, wobei die Arbeitsscheiben zwischen ihren einander zugewandten Arbeitsflächen einen Arbeitsspalt zur Bearbeitung der Werkstücke bilden, und wobei zumindest eine der Arbeitsscheiben eine Mehrzahl von sich durch die Arbeitsfläche erstreckenden Bohrungen zur Zuführung eines flüssigen Arbeitsmittels in den Arbeitsspalt aufweist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zur Doppelseitenbearbeitung flacher Werkstücke, wobei die Vorrichtung eine obere Arbeitsscheibe und eine untere Arbeitsscheibe aufweist, wobei die Arbeitsscheiben zwischen ihren einander zugewandten Arbeitsflächen einen Arbeitsspalt zur Bearbeitung der Werkstücke bilden, und wobei zumindest eine der Arbeitsscheiben eine Mehrzahl von sich durch die Arbeitsfläche erstreckenden Bohrungen zur Zuführung eines flüssigen Arbeitsmittels in den Arbeitsspalt aufweist.

Derartige Vorrichtungen und Verfahren dienen beispielsweise zum Doppelseitenpolieren von Halbleiterscheiben (Wafern). Zum Polieren wird als Arbeitsmittel eine Polierflüssigkeit in den Arbeitsspalt eingebracht. Zu diesem Zweck ist beispielsweise aus DE 100 07 390 AI eine Zweischeibenpoliermaschine bekannt. Die darin beschriebene Polierscheibe besitzt eine Reihe von achsparallelen Durchbohrungen, die mit entsprechenden Durchbohrungen in der diese Polierscheibe tragenden Trägerscheibe ausgerichtet und mit Leitungen verbunden sind, über die ein Poliermittel zur Arbeitsfläche der Polierscheibe geleitet wird. Die Bohrungen sind in der oberen Arbeitsscheibe vorgesehen, wobei das Poliermittel durch Schwerkraftwirkung nach unten in den Polierspalt gefördert wird. Ein Problem besteht dabei darin, dass nicht immer eine gleichmäßige Poliermittelversorgung in dem Arbeitsspalt gewährleistet werden kann. Insbesondere kommt es in Bereichen der Polierscheibe, die bei der Bearbeitung häufig von Werkstücken überstrichen werden, zu einer Poliermittelverarmung. Dies kann das Polierergebnis beeinträchtigen.

Ausgehend von dem erläuterten Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art bereitzustellen, mit denen jederzeit eine ausreichende Arbeitsmittel Versorgung in dem Arbeitsspalt sichergestellt ist.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die Gegenstände der unabhängigen Ansprüche 1 und 10 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung sowie den Figuren.

Für eine Vorrichtung der eingangs genannten Art löst die Erfindung die Aufgabe dadurch, dass die Bohrungen für die Flüssigkeitszuführung in mehrere Gruppen zusammengefasst sind, wobei jede Gruppe von Bohrungen mit einer separaten druckbeaufschlagten Versorgungsleitung für das Arbeitsmittel verbunden ist, und wobei mindestens eine Druckregeleinrichtung vorgesehen ist, mit der der Arbeitsmitteldruck in den Versorgungsleitungen getrennt voneinander regelbar ist. Für ein Verfahren der eingangs genannten Art löst die Erfindung die Aufgabe dadurch, dass die Bohrungen in mehrere Gruppen zusammengefasst werden, wobei jeder Gruppe von Bohrungen druckbeaufschlagt Arbeitsmittel zugeführt wird, und wobei der Arbeitsmitteldruck des den Gruppen jeweils zugeführten Arbeitsmittels getrennt voneinander geregelt wird.

Die erfindungsgemäße Bearbeitung kann materialabtragend sein. Die Vorrichtung kann z.B. eine Vorrichtung zum beidseitigen Polieren flacher Werkstücke sein. Die Arbeitsflüssigkeit kann entsprechend eine Polierflüssigkeit sein. Es kommen aber auch andere Bearbeitungsverfahren in Frage, beispielsweise Schleifen oder Läppen. Bei den erfindungsgemäß beispielsweise planparallel zu bearbeitenden Werkstücken kann es sich beispielsweise um Halbleiterscheiben (Wafer) handeln. Die Arbeitsscheiben können z.B. ringförmig sein. Entsprechend kann auch der Arbeitsspalt ringförmig sein. Mit einer oder beiden Arbeitsscheiben kann eine vertikale Antriebswelle verbunden sein. Sofern die Arbeitsscheiben jeweils von einer Trägerscheibe getragen werden, kann diese Verbindung durch die Trägerscheibe erfolgen. Mindestens eine dieser Antriebswellen kann von einem geeigneten Antrieb drehend angetrieben werden, so dass entsprechend die mit dieser Antriebswelle verbundene Arbeitsscheibe drehend bewegt wird. Zwischen den sich relativ zueinander drehenden Arbeitsscheiben werden die Werkstücke bearbeitet. In mindestens einer der Arbeitsscheiben, beispielsweise der oberen Arbeitsscheibe, sind Durchbohrungen vorgesehen. Natürlich können solche Durchbohrungen auch in beiden Arbeitsscheiben vorgesehen sein. Durch die Bohrungen der Arbeitsscheibe(n) können geeignete Druckleitungen, z.B. Druckschläuche oder Druckrohre, verlaufen, die das Arbeitsmittel zu dem Arbeitsspalt fördern.

Erfindungsgemäß wird die Vielzahl an vorgesehenen Bohrungen in mehrere, beispielsweise drei oder mehr, Gruppen eingeteilt. Den Gruppen ist jeweils eine druckbeaufschlagte Versorgungsleitung zugeordnet. In dem erwähnten Beispiel können dann also insgesamt drei oder mehr druckbeaufschlagte Versorgungsleitungen vorgesehen sein. Beispielsweise können bestimmte Arbeitsspaltzonen jeweils durch eine Gruppe Bohrungen mit Arbeitsmittel versorgt werden. Der Arbeitsmitteldruck ist der in den mit Arbeitsmittel befüllten Bohrungen oder Druckleitungen herrschende Druck. Er bestimmt die Durchflussrate von Arbeitsflüssigkeit aus den Bohrungen in den Arbeitsspalt. Die Erfindung ermöglicht eine separate Regelung des Arbeitsmitteldrucks und damit des Arbeitsmitteldurchflusses in den Arbeitsspalt für die einzelnen Versorgungsleitungen und damit für die einzelnen von diesen mit Arbeitsmittel versorgten Bohrungsgruppen bzw. Arbeitsspaltzonen. Dadurch kann die Versorgung mit Arbeitsmittel, beispielsweise mit einem Poliermittel, in flexibler Weise an die im Betrieb herrschenden Anforderungen angepasst werden. So kann der Arbeitsmitteldurchfluss z.B. abhängig von den Arbeitsparametern (rezeptgeführt) geregelt werden. Die Zonen bzw. Gruppen können so eingeteilt werden, dass die Bohrungen einer Zone im Betrieb der Vorrichtung weitgehend gleichen Betriebsbedingungen ausgesetzt sind. So können die Bohrungen einer Arbeitsspaltzone im Betrieb im Wesentlichen gleich häufig von Werkstücken überstrichen werden. Die Bohrungen können beispielsweise in bestimmten radialen Bereichen des Arbeitsspalts jeweils einer Gruppe zugeordnet werden. Es werden dann also Gruppen aus in ringförmigen Zonen liegenden Bohrungen gebildet. Durch die Zonen bzw. Gruppen kann dann jeweils durch eine für diese Zone gemeinsame Regelung des Drucks und damit des Durchflusses durch die Bohrungen die jeweils optimale Arbeitsflüssigkeitsversorgung gewährleistet werden. Insbesondere kann auf einen für jede Versorgungsleitung individuell vorgegebenen konstanten Arbeitsmitteldruck geregelt werden. Dadurch ist eine konstante Poliermittelversorgung in dem gesamten Arbeitsspalt möglich, obwohl die Bohrungen unterschiedlicher Zonen unterschiedlichen Betriebsbedingungen unterliegen. Natürlich können mehr als eine Regeleinrichtung vorgesehen sein, beispielsweise jeweils eine pro Versorgungsleitung bzw. Bohrungsgruppe. Es ist jedoch auch denkbar, eine gemeinsame Regeleinrichtung vorzusehen, die den Arbeitsmitteldruck in sämtlichen Versorgungsleitungen regelt.

Erfindungsgemäß wird somit jederzeit eine gleichmäßige und ausreichende Arbeitsmittelversorgung des Arbeitsspalts gewährleistet. Neben der Optimierung des Arbeitsergebnisses wird dadurch auch das Arbeitsmittel effektiver eingesetzt, so dass sich der Arbeitsmittelbedarf insgesamt verringert. Kratzer oder ähnliche Bearbeitungsfehler werden zuverlässiger vermieden. Ebenfalls können verhältnismäßig glatte Poliertücher verwendet werden. Wenn dies gewünscht ist, können Werkstücke beispielsweise von einer mit den Bohrungen versehenen oberen Arbeitsscheibe abgespült werden, indem der Arbeitsmitteldruck kurzzeitig stark erhöht wird. Ein unerwünschtes Anhaften der Werkstücke beim Abheben der oberen Arbeitsscheibe nach Prozessende wird so sicher vermieden. Auch ist es möglich, die dem Arbeitsspalt zugef hrte Arbeitsmittelmenge, beispielsweise eine Poliermittelmenge, gezielt zu variieren, um beispielsweise Bereiche mit erhöhter Prozesstemperatur zu kühlen. Dies optimiert das Arbeitsergebnis weiter.

Nach einer besonders praxisgemäßen Ausgestaltung können die Versorgungsleitungen jeweils einerseits mit einer gemeinsamen Hauptdruckversorgungsleitung und andererseits mit den Bohrungen einer Gruppe verbunden sein. Die Hauptversorgungsleitung steht mit einem Arbeitsmittelreservoir in Verbindung und kann z.B. eine Pumpe aufweisen, mit der die Arbeitsflüssigkeit durch die Hauptversorgungsleitung zu den einzelnen Versorgungsleitungen gepumpt wird. In den Versorgungsleitungen ist dann beispielsweise jeweils eine Druckregeleinheit angeordnet, mit der der Arbeitsflüssigkeitsdruck in der jeweiligen Versorgungsleitung unabhängig von den anderen Versorgungsleitungen geregelt werden kann. Auch ist es möglich, in den Versorgungsleitungen Durchflussmesseinrichtungen vorzusehen, deren Messsignale an entsprechenden Durchflussregeleinrichtungen anliegen, die aufgrund der Messsignale der Durchflussmesseinrichtungen den Flüssigkeitsdurchfluss regeln. Die Versorgungsleitungen können in an sich bekannter Weise Ringleitungen oder Ringkanäle sein, die mit einer Vielzahl von Zuführleitungen, beispielsweise Zuführschläuchen verbunden sind, die durch die Bohrungen der Arbeitsscheibe verlaufen. Solche druckdichten Ringleitungen dienen in besonders einfacher und zuverlässiger Weise zur Versorgung einer Vielzahl von mit diesen kommunizierenden Leitungen. Die gemeinsame Hauptdruckversorgungsleitung kann weiterhin durch eine der mindestens einen mit den Bohrungen versehenen Arbeitsscheibe zugeordnete vertikale Antriebswelle gefuhrt sein. Die vertikale Antriebswelle wird von einem Antrieb, beispielsweise einem Motor, drehend angetrieben. Dadurch wird die mit der Antriebswelle verbundene Arbeitsscheibe gedreht. Es ist also eine druckdichte Einkanal-Dreheinführung durch den Antriebsschaft vorgesehen, um das Arbeitsmittel auf die verschiedenen Versorgungsleitungen zu verteilen. In vorteilhafter Weise muss dabei nur eine Hauptdruckversorgungsleitung von dem feststehenden Maschinengehäuse in die sich drehenden Bauteile geführt werden. In diesem Fall ist es allerdings erforderlich, in der Arbeitsscheibe eine elektrische Ansteuerung für die Aufteilung der Hauptdruckversorgungsleitung in die einzelnen Versorgungsleitungen vorzusehen. Dies kann in bestimmten Anwendungsbereichen unerwünscht sein. Daher ist alternativ auch eine Mehrkanal-Dreheinführung möglich, bei der die Aufteilung in die einzelnen Versorgungsleitungen bereits vor der Antriebswelle erfolgt und durch die Antriebswelle entsprechend mehrere Leitungen geführt werden.

Nach einer weiteren Ausgestaltung kann sich der Querschnitt der Bohrungen oder der Querschnitt von in den Bohrungen geführten Flüssigkeitsleitungen im Bereich ihres in die Arbeitsfläche mündenden Endes verringern. Der Querschnitt kann sich beispielsweise um mehr als 50% verringern. Durch solche Querschnittsreduzierungen im Bereich der Mündung in den Arbeitsspalt baut sich bei ausströmendem Arbeitsmittel ein Staudruck auf, welcher auch bei freier Ausströmung die Aufrechterhaltung eines Mindestdrucks in der Versorgungsleitung gewährleistet. Es kommt insbesondere nicht zu einem Zusammenbruch des Arbeitsmitteldrucks, wenn einzelne oder mehrere Austrittsöffhungen freiliegen. Anders als beim Stand der Technik tritt das Poliermittel nicht nur durch die von Werkstücken freien Bohrungen aus, sondern kann grundsätzlich auch aus Bohrungen austreten, die von Werkstücken verdeckt werden. Insbesondere kommt es zu einem Flüssigkeitsaustritt, sofern der Druck in der Versorgungsleitung gleich oder größer als der spezifische Arbeitsdruck in dem Arbeitsspalt ist. Durch das Aufrechterhalten eines bestimmten Druckniveaus in den Versorgungsleitungen wird sichergestellt, dass an allen Austrittsöffnungen ein Durchfluss auftritt.

Da die Reibung zwischen dem Arbeitsbelag der Arbeitsscheiben und den Werkstücken abhängig von der Flüssigkeitsmenge ist, kann weiterhin eine Messeinrichtung zur Messung des von einem Drehantrieb auf mindestens eine mit mindestens einer der Arbeitsscheiben verbundene vertikale Antriebswelle aufgebrachten Drehmoments vorgesehen sein, wobei die Regeleinrichtung das von der Messeinrichtung gemessene Drehmoment mit einem Solldrehmoment oder einem Solldrehmomentbereich vergleicht und bei einer Abweichung des gemessenen Drehmoments von dem Solldrehmoment oder dem Solldrehmomentbereich den Arbeitsmitteldruck in zumindest einigen Versorgungsleitungen so verändert, dass das gemessene Drehmoment wieder das Solldrehmoment annimmt oder in dem Solldrehmomentbereich liegt. Es kann weiterhin vorgesehen sein, dass die Regeleinrichtung das gemessene Drehmoment mit einem vorgegebenen Grenzdrehmoment vergleicht. Wenn das gemessene Drehmoment das Grenzdrehmoment unterschreitet, verringert die Regeleinrichtung den Arbeitsmitteldruck in zumindest einigen Versorgungsleitungen so, dass das gemessene Drehmoment wieder einen Wert oberhalb des Grenzdrehmoments annimmt. Dieser Ausgestaltung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass bei einer Überversorgung des Arbeitsspalts mit Arbeitsflüssigkeit sich das von dem Antrieb zum Erreichen einer vorgegebenen Drehzahl aufzubringende Drehmoment sprunghaft verringert, ähnlich wie bei Aqua- planing. Dies führt zu einer unerwünschten Beeinträchtigung der Werkstückbearbeitung. Daher wird in einem solchen Fall die Arbeitsmittelversorgung durch eine Druckverringerung in den Versorgungsleitungen abgesenkt, bis das Drehmoment wieder in dem vorgegebenen Bereich liegt. Insbesondere kann der Druck dabei selbstverständlich in sämtlichen Versorgungsleitungen verändert, insbesondere verringert werden.

Die Bohrungen können in Gruppen zusammengefasst sein, in Abhängigkeit davon wie oft sie im Betrieb der Vorrichtung von den zu bearbeitenden Werkstücken verdeckt werden. Auf dieser Grundlage kann der Arbeitsmitteldruck in den Versorgungsleitungen der Gruppen jeweils umso höher eingestellt werden, je häufiger die Bohrungen einer jeweiligen Gruppe im Betrieb der Vorrichtung von den zu bearbeitenden Werkstücken verdeckt werden. Es werden für die verschiedenen Gruppen also unterschiedliche Solldruckwerte für die jeweilige Versorgungsleitung vorgegeben, wobei die Solldruckwerte abhängig von der im Betrieb zu erwartenden Häufigkeit der Verdeckung der Bohrungen durch die zu bearbeitenden Werkstücke gewählt werden. Erfindungsgemäß können in an sich bekannter Weise Läuferscheiben mit mindestens einer, insbesondere einer Mehrzahl von Aufnahmen, vorgesehen sein, in denen die zu bearbeitenden Werkstücke schwimmend gehalten werden. Die Läuferscheiben werden drehend in dem Arbeitsspalt angetrieben, wobei sich die in ihnen gehaltenen Werkstücke entlang zykloidischer Bahnen in dem Arbeitsspalt bewegen. Bei der Werkstückbearbeitung ergeben sich dadurch unterschiedliche Aufenthaltswahrscheinlichkeiten in radialer Richtung des Arbeitsspalts. So kann die Aufenthaltswahrscheinlichkeit der Werkstücke in Randbereichen des Arbeitsspalts und insbesondere am inneren Rand höher sein, als beispielsweise in der Mitte. Diesem Sachverhalt wird durch die vorgenannte Ausgestaltung Rechnung getragen. So können Bohrungen in bestimmten Ringzonen des Arbeitsspalts in einer Gruppe zusammengefasst werden, wobei jeder der Ringzonen eine bestimmte Aufenthaltswahrscheinlichkeit für die Werkstücke zugeordnet wird. Je höher diese Aufenthaltswahrscheinlichkeit für eine dieser Ringzonen bzw. Gruppen ist, desto größer ist auch der Sollarbeitsmitteldruck für die dieser Gruppe zugeordnete Versorgungsleitung. Die Regelung kann dabei derart erfolgen, dass sich insgesamt eine möglichst homogene Verteilung des Arbeitsmittels in dem gesamten Arbeitsspalt ergibt.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann insbesondere mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung durchgeführt werden. Entsprechend ist die Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignet.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand von Figuren näher erläutert. Es zeigen schematisch:

Fig. 1 einen Teil einer erfindungsgemäßen Vorrichtung in einer vertikalen

Schnittansicht,

Fig. 2 eine vergrößerte Darstellung eines Ausschnitts aus einer Ansicht gemäß

Fig. 1 nach einem weiteren Ausführungsbeispiel,

Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung des Ausschnitts B aus Fig. 2, und

Fig. 4 ein Schaltschema zur Veranschaulichung der erfindungsgemäßen Regelung.

Soweit nichts anderes angegeben ist, bezeichnen in den Figuren gleiche Bezugszeichen gleiche Gegenstände. In Fig. 1 ist ausschnittsweise eine erfindungsgemäße Vorrichtung 10 zur Doppelseitenbearbeitung flacher Werkstücke gezeigt. In dem Beispiel handelt es sich um eine Doppelseitenpoliermaschine zum planparallelen Polieren von Halbleiterwafern. Die Vorrichtung besitzt in dem gezeigten Beispiel drei von einem Polierflüssigkeitsreservoir kommende Versorgungsleitungen 36, die jeweils über ein Anschlussstück 22 und eine Mehrkanal-Dreheinfuhrung 18 durch eine vertikale Antriebswelle 20 der Vorrichtung geführt sind. Mittels einer in Figur 1 nicht näher dargestellten Pumpe kann Polierflüssigkeit aus dem Flüssigkeitsreservoir durch die Versorgungsleitung 36 gefördert werden. Die Versorgungsleitungen 36 bilden in dem gezeigten Beispiel jeweils eine Ringleitung 36 mit Abgängen zu der jeweiligen Gruppe von Bohrungen. Die Versorgungsleitungen 36 können durch Versorgungsschläuche gebildet sein. Weiterhin sind nicht näher dargestellte Druckregeleinrichtungen vorgesehen, die jeweils dazu ausgebildet sind, den Arbeitsmitteldruck in einer der Versorgungsleitungen 36 zu regeln, wie dies unten noch näher erläutert werden wird.

Die Vorrichtung 10 besitzt darüber hinaus in an sich bekannter Weise eine obere und untere ringförmige Trägerscheibe sowie eine mit der oberen und unteren Trägerscheibe jeweils verbundene ringförmige obere bzw. untere Arbeitsscheibe. In Fig. 1 sind lediglich die obere Trägerscheibe 38 sowie die mit dieser verbundene obere Arbeitsscheibe 40 gezeigt. Die obere Trägerscheibe 38 ist ringförmig ausgebildet. Die Vorrichtung 10 besitzt eine weitgehend symmetrisch zu der oberen Träger- und Arbeitsscheibe 38, 40 ausgebildete, nicht dargestellte untere Trägerscheibe und Arbeitsscheibe. Zwischen ihren einander zugewandten ringförmigen Arbeitsflächen, von denen in Fig. 1 die Arbeitsfläche der oberen Arbeitsscheibe 40 bei dem Bezugszeichen 46 dargestellt ist, begrenzen die Arbeitsscheiben einen ringförmigen Arbeitsspalt. Der grundsätzliche Aufbau einer solchen Doppelseitenpoliermaschine mit oberen und unteren Arbeitsscheiben ist an sich bekannt und beispielsweise in DE 100 07 390 AI beschrieben.

In Fig. 1 ist weiter zu erkennen, dass durch die obere Arbeitsscheibe 40 eine Mehrzahl von axialen Durchbohrungen 48 vorgesehen ist, die jeweils mit entsprechenden Durchbohrungen 50 in der oberen Trägerscheibe 38 fluchten. Durch die Bohrungen erstrecken sich jeweils Druckrohre 52. In Fig. 1 ist weiter zu erkennen, dass die ringförmigen Versorgungsleitungen 36 jeweils in Verbindung mit den oberen Öffnungen der Druckrohre 52 stehen. Die Ausgestaltung der Bohrungen 48, 50 bzw. der Druckrohre 52 soll anhand der vergrößerten Darstellungen in den Figuren 2 und 3 näher erläutert werden. Im Unterschied zu dem Ausfuhrungsbeispiel nach Fig. 1 ist bei dem Ausfuhrungsbeispiel nach den Fig. 2 und 3 eine größere Zahl von Versorgungsleitungen 36, Durchbohrungen 48, 50 und Druckrohren 52 vorgesehen. Davon abgesehen unterscheiden sich die Ausfuhrungsbeispiele nicht. In den Figuren 2 und 3 ist zu erkennen, dass die Druckrohre 52 an ihrem oberen Ende jeweils über einen Anschluss 54 mit den Ringleitungen 36 in Verbindung stehen. Die Druckrohre 52 bestehen beispielsweise aus einem Kunststoff. In die Bohrungen 50 bzw. 48 in der oberen Trägerscheibe 38 bzw. der oberen Arbeitsscheibe 40 ist jeweils eine metallische Hülse 58 eingesetzt. Im Bereich ihres in die Arbeitsfläche 46 mündenden Endes dichtet eine Ringdichtung 60 die Druckrohre 52 gegenüber der Hülse 58 ab. Weiterhin ist in Fig. 3 zu erkennen, dass die Druckrohre 52 an ihrem unteren Ende eine erhebliche Querschnittsreduzierung 62 von mehr als 50% aufweisen. Die Austrittsöffhung 64 der Druckrohre 52 besitzt damit einen erheblich kleineren Durchmesser als der Hauptbereich 66 der Druckrohre 52.

Wie insbesondere in den Figuren 1 und 2 zu erkennen ist, sind Bohrungen 48, 50 in unterschiedlichen radialen Abständen zu den Arbeits- und Trägerscheiben angeordnet. Die obere Arbeitsscheibe und damit auch die sie tragende obere Trägerscheibe besitzt mehrere kreisförmig in unterschiedlichen radialen Abständen zu der durch die vertikale Antriebswelle 20 verlaufenden zentralen Drehachse der Arbeitsscheibe 40 und Trägerscheibe 38 verlaufende Reihen von axialen Bohrungen. Die Bohrungen eines radialen Abstands werden jeweils zu einer Gruppe zusammengefasst und von einer Ringleitung 36 mit Poliermittel versorgt.

Die Funktion der erfindungsgemäßen Vorrichtung soll anhand des schematischen Schaltbildes in Fig. 4 weiter erläutert werden. Über eine Pumpe 68 wird Poliermittel aus einem mit der Pumpe 68 über ein Rückschlagventil 70 verbundenes nicht dargestelltes Poliermittelreservoir in die Versorgungsleitungen 36 gefordert. Von dort wird das Poliermittel weiter zu den Druckregeleinrichtungen 35 gefordert. In den Versorgungsleitungen 36 befindet sich weiterhin jeweils ein Zweiwegeventil 72 zum An- und Abschalten der durch die Versorgungsleitungen 36 jeweils versorgten Versorgungkreise. Mit den Druckregeleinrichtungen 35 kann der Poliermitteldruck in jeder der Ringleitungen 36 separat auf einen bestimmten Wert geregelt werden. Weiterhin befindet sich in den Versorgungsleitungen 36 jeweils ein Durchflussmesser 74. Eine solche Regelung bzw. Durchflusssteuerung ist dem Fachmann an sich bekannt und soll daher nicht näher erläutert werden. Die zu bearbeitenden Werkstücke können beispielsweise in an sich bekannter Weise in Läuferscheiben gehalten werden, so dass sie sich in dem Arbeitsspalt entlang zykloidischer Bahnen bewegen. Dabei ergeben sich unterschiedliche Aufenthaltswahrscheinlichkeiten der Werkstücke in dem Arbeitsspalt während der Bearbeitung. Insbesondere werden die unterschiedlichen radialen Gruppen von Bohrungen in der oberen Arbeitsscheibe 40 im Betrieb unterschiedlich häufig von Werkstücken verdeckt. Dies kann erfindungsgemäß berücksichtigt werden, indem die voraussichtlich häufiger verdeckten radialen Bereiche von Bohrungen durch die ihnen jeweils zugeordnete Ringleitung 36 und die entsprechende Druckregeleinrichtung 35 mit einem höheren Arbeitsmitteldruck beaufschlagt werden.