Duplexer

Die Erfindung betrifft einen Duplexer, der insbesondere zur Trennung von Sende- und Empfangssignalen eines Mobilfunkban¬ des vorgesehen ist .

Aus der Druckschrift US 2001/0013815 Al ist ein Duplexer be¬ kannt, der mit akustischen Oberflächenwellen (SAW = Surface Acoustic Wave) arbeitet. Im Empfangs- und Sendefilter ist ein Balun durch eine mit Serienresonatoren verschaltete DMS-Spur realisiert .

Aus der Druckschrift US 2002/0140520 Al ist ein weiterer Du¬ plexer bekannt, bei dem das Empfangsfilter ein Reaktanzfilter in Laddertype-Bauweise ist. Das Empfangsfilter ist ausgangs- seitig mit einem Balun bzw. einem weiteren Glied zur Symmet- risierung der Laddertype-Anordnung verschaltet. Der Balun kann auch durch LC-Komponenten oder durch eine Anordnung von SAW- oder BAW-Resonatoren (BAW = BuIk Acoustic Wave) reali¬ siert werden. Die Verwendung von in verschiedenen Technolo¬ gien (SAW, BAW) ausgeführten Elementen in einer Filterschal¬ tung z. B. auf einem und demselben Basissubstrat ist aller¬ dings mit einem hohen Aufwand verbunden.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Duplexer anzugeben, der sich durch eine hohe Leistungsverträglichkeit auszeichnet.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Duplexer mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestal¬ tungen der Erfindung sind aus weiteren Ansprüchen zu entneh¬ men. Die Erfindung gibt einen Duplexer an, der einen Empfangspfad und einen Sendepfad ausweist. Diese Pfade sind an eine ge¬ meinsame Sende/Empfangs-Antenne anschließbar. Im Empfangspfad ist ein mit akustischen Oberflächenwellen arbeitendes Emp¬ fangsfilter angeordnet. Im Sendepfad ist ein mit akustischen Volumenwellen arbeitendes Sendefilter angeordnet .

Die SAW-Technologie hat gegenüber der Dünnschichttechnologie - FBAR-Technologie - den Vorteil, dass sie einfacher bei der Herstellung ist. Die SAW-Technologie hat allerdings bei Fil¬ terstrukturen, die zur Übertragung von HF-Signalen oberhalb von 1 GHz, insbesondere ab ca. 2 GHz geeignet sind, den Nach¬ teil einer geringen Leistungsverträglichkeit aufgrund einer geringen Fingerbreite. Die Ausführung des Sendefilters in einer Dünnschichttechnologie ist daher besonders vorteilhaft für Anwendungen bei ca. 2 GHz und darüber.

Das Sendefilter, das mit akustischen Volumenwellen arbeitet, hat den Vorteil einer geringen Einfügedämpfung im Durchlass- bereich.

Das Empfangsfilter ist vorzugsweise ein Bandpassfilter. Das Sendefilter ist vorzugsweise auch ein Bandpassfilter. Das Sendefilter kann aber auch ein Tiefpassfilter sein.

Die Filter sind vorzugsweise als zwei separate Chips ausge¬ führt. Der Chip, in dem das mit akustischen Oberflächenwellen arbeitende Empfangsfilter realisiert ist, wird als SAW-Chip bezeichnet. Der Chip, in dem das mit akustischen Volumenwel¬ len arbeitende Sendefilter realisiert ist, wird als BAW-Chip bezeichnet. Die Chips können in einer Variante für sich unge¬ naust sein. In einer anderen Variante können die Chips für sich gehaust sein. Der Sendeempfangspfad ist vorzugsweise in einem Trägersubstrat angeordnet, auf dem die Chips befestigt und mit dem sie elektrisch verbunden sind.

Der Abstand zwischen dem SAW-Chip und dem BAW-Chip beträgt vorzugsweise mindestens λ/1000, wobei λ die Freiraumwellen¬ länge bei einer Mittenfrequenz des Bauelements ist. Die Mit¬ tenfrequenz ist typischerweise eine zwischen dem Sende- und dem Empfangsband des Duplexers angeordnete Frequenz.

Die räumliche und bauliche Trennung des Sende- und des Emp¬ fangspfades voneinander sorgt für eine verbesserte Isolation zwischen den Sende- und den Empfangssignalen. Zwischen dem SAW-Chip und dem BAW-Chip kann zusätzlich eine Schirmung aus Metall vorgesehen sein, die vorzugsweise auf Masse liegt.

Die in der Dünnschichttechnologie ausgeführten Bauelement- Strukturen zeichnen sich durch eine hohe Güte und eine hohe Leistungsverträglichkeit aus.

Das Trägersubstrat kann ein Keramiksubstrat mit verborgenen strukturierten Metalllagen sein, in denen die Strukturen des Sendeempfangspfades - z. B. Kapazitäten, Induktivitäten und/oder Widerstände - realisiert sind. Auf oder in dem Trä¬ gersubstrat können nichtlineare oder aktive Komponenten ange¬ ordnet sein: Dioden, Schalter, u. a. mikromechanische Schal¬ ter, Leistungsverstärker und rauscharme Verstärker. Das Trä¬ gersubstrat dient auch zum Ableiten der insbesondere im Sen¬ defilter entstehenden Wärme.

Das Trägersubstrat kann auch aus einem anderen Material her¬ gestellt sein, z. B. FR4, LCP (flüssigkristalline Polymere) oder Si. Die FBAR-Resonatoren können membranartige Dünnschichtresona¬ toren sein. Die FBAR-Resonatoren können alternativ auch einen akustischen Spiegel aufweisen.

Das Sendefilter kann in einer Variante der Erfindung mehrere BAW-Resonatoren aufweisen, die miteinander in Laddertype- Bauweise verschaltet sind.

Das Sendefilter weist in einer anderen Ausführungsform einen im Sendepfad angeordneten Resonatorstapel mit zwei überein¬ ander gestapelten Resonatoren auf. Die Resonatoren können eine gemeinsame Elektrode haben. In einer bevorzugten Varian¬ te ist zwischen den Resonatoren eine akustisch teilweise durchlässige Koppelschicht angeordnet, welche die Resonatoren galvanisch voneinander trennt.

Im Empfangspfad können neben dem Empfangsfilter weitere Schaltungen vorgesehen sein, die vorzugsweise mit dem Emp¬ fangsfilter in Serie geschaltet sind. Diese Schaltungen kön¬ nen SAW-BauelementStrukturen oder andere Elemente, u. a. BAW- Bauelementstrukturen aufweisen. Diese Schaltungen können z. B. einen Balun oder einen Impedanzwandler realisieren. Die im Empfangspfad angeordneten weiteren Schaltungen können z. B. aus Leiterbahnen gebildet sein, die in den Metalllagen des Trägersubstrats angeordnet sind. Die BAW-Bauelementstruktu- ren, die im Empfangspfad angeordnet sind, können z. B. auf dem BAW-Chip mit dem Sendefilter angeordnet sein.

Der Empfangspfad ist vorzugsweise ausgangsseitig symmetrisch bzw. in zwei Teilpfade aufgeteilt. Der Empfangspfad kann aus¬ gangsseitig auch unsymmetrisch sein. Das Empfangsfilter ist vorzugsweise unsymmetrisch/symmetrisch beschaltet . Das Sendefilter ist vorzugsweise mit zwei unsym¬ metrischen elektrischen Toren ausgebildet und in einem un¬ symmetrischen Sendepfad geschaltet. Der Sendepfad kann auch ausgangsseitig (antennenseitig) unsymmetrisch und eingangs- seitig symmetrisch ausgebildet sein.

In einer Variante der Erfindung kann das Empfangsfilter ein- und ausgangsseitig je ein unsymmetrisches elektrisches Tor aufweisen, wobei ihm vorzugsweise ein Balun nachgeschaltet ist. In einer weiteren Variante der Erfindung kann das Emp¬ fangsfilter auch zwei symmetrische elektrische Tore aufwie¬ sen, wobei ihm vorzugsweise ein Balun vorgeschaltet ist.

Ein Balun kann als eine DMS-Spur oder ein entsprechend be- schalteter (siehe Fig. 16) Resonatorstapel ausgebildet sein.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei¬ spielen und der dazugehörigen Figuren näher erläutert . Die Figuren zeigen anhand schematischer und nicht maßstabsgetreu¬ er Darstellungen verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfin¬ dung. Gleiche oder gleich wirkende Teile sind mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Es zeigen schematisch

Figur 1 einen Duplexer gemäß Erfindung.

Figur 2 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur.

Figur 3 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die eingangs- seitig mit einem Serienresonator verschaltet ist.

Figur 4 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die ausgangs¬ seitig mit zwei Serienresonatoren verschaltet ist. Figur 5 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die ausgangs- seitig mit einem Zweitorresonator verschaltet ist.

Figur 6 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die eingangs- seitig mit einem Serienresonator und ausgangsseitig mit einem Zweitorresonator verschaltet ist.

Figur 7 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die mit einem Laddertype-Glied verschaltet ist.

Figur 8 das Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die mit einem Laddertype-Glied verschaltet ist.

Figur 9 ein Sendefilter mit BAW-Resonatoren in Laddertype- Bauweise.

Figur 10A ein Sendefilter mit einem Resonatorstapel, der BAW- Resonatoren umfasst.

Figur 1OB ein Ersatzschaltbild des Sendefilters mit dem Reso¬ natorstapel gemäß Figur 10A.

Figuren 11, IIA jeweils ein Sendefilter mit zwei hintereinander geschalteten Resonatorstapeln.

Figuren 12, 12A jeweils ein Sendefilter mit einem Resonatorstapel und zwei Parallelresonatoren.

Figuren 13, 13A jeweils ein Sendefilter mit einem Resonatorstapel, der mit Serienresonatoren sowie Parallelresonatoren verschaltet ist. Figuren 14, 14A jeweils ein Bauelement mit einem Duplexer gemäß Erfindung in einem schematischen Querschnitt.

Figur 15 ein Empfangsfilter mit einer DMS-Spur, die mit einem als BAW-Resonatorstapel realisierten Laddertype-Glied ver¬ schaltet ist .

Figur 16 ein Empfangsfilter mit einem Zweitorresonator und einem ihm vorgeschalteten Balun.

In Figur 1 ist ein Duplexer gemäß Erfindung mit einem Sende¬ pfad TX und einem Empfangspfad RX gezeigt . Der Empfangspfad RX teilt sich ausgangsseitig in zwei Teilpfade RXl und RX2 auf und ist zur Übertragung eines symmetrischen Signals ge¬ eignet. Der Duplexer weist ein im Empfangspfad angeordnetes Empfangsfilter 1 und ein im Sendepfad angeordnetes Sende- filter 2 auf. Das Empfangsfilter 1 arbeitet mit akustischen Oberflächenwellen. Das Sendefilter 2 arbeitet mit akustischen Volumenwellen.

Das Empfangsfilter 1 ist zwischen einem Antennenanschluss ANT und einem Empfangsausgang RX-OUT angeordnet. Das Empfangsfil¬ ter ist eingangsseitig (d. h. antennenseitig) unsymmetrisch ausgebildet. Ausgangsseitig ist dieses Filter symmetrisch ausgebildet. Das Empfangsfilter ist also gleichzeitig ein Balun.

Das Sendefilter 2 ist zwischen dem Antennenanschluss ANT und dem Sendeeingang TX-IN angeordnet. Das Sendefilter ist in diesem Beispiel eingangsseitig sowie ausgangsseitig unsymmet¬ risch ausgebildet. In Figur 2 ist ein Empfangsfilter 1 gezeigt, das eine ein- gangsseitig unsymmetrisch und ausgangsseitig symmetrisch be¬ schaltete DMS-Spur 5 mit drei Wandlern 51, 52, 53 aufweist. Die akustische Spur ist durch zwei akustische Reflektoren be¬ grenzt. Die Wandler sind in der akustischen Spur nebeneinan¬ der angeordnet und akustisch miteinander gekoppelt. Der Ein¬ gangswandler 52 ist zwischen zwei Ausgangswandlern 51 bzw. 53 angeordnet und elektrisch nicht mit diesen verbunden.

Der Eingangswandler 52 ist im Empfangspfad RX eingangsseitig angeordnet. Der Ausgangswandler 51 ist in einem Teilpfad RXl des symmetrischen Empfangspfades RX angeordnet. Der Ausgangs¬ wandler 53 ist im Teilpfad RX2 des Empfangspfads RX ange¬ ordnet.

Die DMS-Spur kann auch mehr als nur drei Wandler aufweisen, wobei die Ein- und Ausgangswandler in der akustischen Spur vorzugsweise abwechselnd angeordnet sind.

Das Empfangsfilter 1 kann, wie in Fig. 2 gezeigt, aus der DMS-Spur bestehen. Möglich ist aber auch, dass die DMS-Spur nur einen Teil des Empfangsfilters 1 bildet. In den Figuren 3 bis 8 sind weitere Varianten des Empfangsfilters mit einer DMS-Spur vorgestellt.

Figur 3 zeigt die DMS-Spur 5, die eingangsseitig mit einem Serienresonator SR verschaltet ist. Der Serienresonator ist ein mit akustischen Oberflächen arbeitender Resonator. Der Serienresonator SR ist mit dem Eingangswandler 52 der DMS- Spur (vgl. Fig. 2) in Serie geschaltet und im Empfangspfad RX angeordnet . In Figur 4 ist ein weiteres Empfangsfilter 1 vorgestellt, bei dem die DMS-Spur 5 ausgangsseitig mit zwei mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Serienresonatoren SRI und SR2 verschaltet ist. Der Serienresonator SRI ist mit dem Aus¬ gangswandler 51 (vgl. Fig. 2) in Reihe geschaltet und im Teilpfad RXl des Empfangspfades angeordnet. Der Serienreso¬ nator SR2 ist mit dem Ausgangswandler 52 in Reihe geschaltet und im Teilpfad RX2 des Empfangspfades angeordnet.

Es ist möglich, in der in Figur 4 vorgestellten Variante im unsymmetrischen Teil des Empfangspfades RX einen Serienreso¬ nator wie in Figur 3 anzuordnen.

In Figur 5 ist ein Empfangsfilter 1 mit der DMS-Spur 5 ge¬ zeigt, die ausgangsseitig mit einem Zweitorresonator in Serie geschaltet ist. Der Zweitorresonator stellt eine durch akus¬ tische Reflektoren begrenzte akustische Spur 4 mit zwei ne¬ beneinander angeordneten Wandlern 41 und 42 dar.

Der erste Ausgangswandler 51 der DMS-Spur ist mit dem in der akustischen Spur 4 angeordneten Wandler 41 in Serie geschal¬ tet. Diese Serienschaltung ist im Teilpfad RXl angeordnet. Der zweite Ausgangswandler 52 der DMS-Spur ist mit dem in der akustischen Spur angeordneten Wandler 42 in Serie geschaltet. Diese Serienschaltung ist im Teilpfad RX2 angeordnet .

In Figur 6 ist ein Empfangsfilter 1 gezeigt, bei dem die DMS- Spur 5 eingangsseitig wie in Figur 3 mit einem Serienresona¬ tor SR und ausgangsseitig wie in Figur 5 mit einem Zweitor¬ resonator 41, 42 verschaltet ist.

In Figuren 7, 8 ist ein Empfangsfilter mit der DMS-Spur 5 gemäß Figur 2 gezeigt, die im Empfangspfad RX eingangsseitig mit einem Laddertype-Glied in Serie geschaltet ist. Das Laddertype-Glied besteht aus einem Serienresonator SR und einem Parallelresonator PR. Die Resonatoren SR und PR arbeiten vorzugsweise mit akustischen Oberflächenwellen. Möglich ist aber auch, dass das Laddertype-Glied aus BAW- Resonatoren besteht.

In Figur 7 ist der Parallelresonator PR dem Serienresonator SR nachgeschaltet. In Figur 8 ist der Parallelresonator PR dem Serienresonator SR vorgeschaltet . Prinzipiell können im Empfangspfad beliebig viele Serienresonatoren oder Parallel- resonatoren angeordnet bzw. der DMS-Spur 5 vorgeschaltet sein.

Figur 9 zeigt ein Sendefilter 2 , das in einer Laddertype-Bau¬ weise realisiert ist und mehrere Resonatoren aufweist. Alle Resonatoren in der hier dargestellten Anordnung arbeiten mit akustischen Volumenwellen (BAW) .

Im Sendepfad TX sind mehrere Serienresonatoren angeordnet. An den Sendepfad TX sind zwei Querzweige angeschlossen, die zur Masse führen und jeweils einen Parallelresonator umfassen. Im TX-Signalpfad sowie in den Querzweigen sind darüber hinaus Impedanzen Zl bis Z4 vorgesehen, die beispielsweise durch die Induktivitäten der elektrischen Anschlüsse eines Gehäuses ge¬ bildet sein können.

Figur 10A zeigt einen mit akustischen Volumenwellen arbei¬ tenden Resonatorstapel 6, der gemäß einer weiteren Variante Teil des Sendefilters 2 ist. Der Resonatorstapel 6 umfasst einen ersten Resonator Rl, einen darunter angeordneten zweiten Resonator R2 und eine Koppelschicht Kl, durch die die beiden Resonatoren Rl, R2 akustisch miteinander gekoppelt sind. Der erste Resonator weist eine piezoelektrische Schicht PSl, die zwischen Elektroden El und E2 angeordnet ist. Der Resonator R2 weist eine piezoelektrische Schicht PS2 auf, die zwischen den Elektroden E3 und E4 angeordnet ist. Zwischen dem Resonatorstapel 6 und einem Basissubstrat BS ist ein akustischer Spiegel AS angeordnet .

Figur 1OB zeigt ein elektrisches Ersatzschaltbild eines Sen¬ defilters mit dem Resonatorstapel 6 gemäß der Figur 10A.

Der Resonatorstapel 6 kann das komplette Sendefilter 2 bil¬ den. Das Sendefilter kann neben dem Resonatorstapel 6 weitere Elemente aufweisen, siehe Figuren 11 bis 13.

In Figur 11 ist ein Sendefilter mit zwei elektrisch mitein¬ ander in Reihe verschalteten Resonatorstapeln gezeigt.

Im Sendepfad TX ist neben dem ersten Resonatorstapel 6 ein weiterer Resonatorstapel 6' angeordnet, bei dem zwischen den Resonatoren Rl' und R2' eine akustisch teilweise durchlässige weitere Koppelschicht K2 angeordnet ist.

Die Resonatoren Rl1 und R2 ' sind durch die Koppelschicht K2 akustisch miteinander gekoppelt . Eine zur Koppelschicht Kl gewandte Elektrode E3 des ersten Resonatorstapeis 6 ist elektrisch mit einer zur Koppelschicht K2 gewandten Elektrode E3' des zweiten Resonatorstapels 6' verbunden.

In Figuren IIA, 12A und 13A sind im TX-Signalpfad sowie in den Querzweigen Impedanzen ZlO bis Z16 vorgesehen, die z. B. durch die Induktivitäten der elektrischen Anschlüsse eines Gehäuses gebildet sein können. Die Impedanzen ZlO bis Z16 können auch Kapazitäten sein. In Figur 12 ist ein weiteres Sendefilter mit einem Resonator¬ stapel gezeigt, der mit weiteren BAW-Resonatoren verschaltet ist. Zwischen dem Sendepfad TX und Masse ist ein- und aus- gangsseitig jeweils ein Querzweig mit einem darin angeordne¬ ten, mit akustischen Volumenwellen arbeitenden Parallelreso¬ natoren R3, R4 vorgesehen.

Figur 13 zeigt ein weiteres Sendefilter mit einem Resonator¬ stapel, der ein- und ausgangsseitig mit einem Laddertype- Glied in Serie verschaltet ist.

Die Serienresonatoren R5, R6 sind BAW-Resonatoren, die im Sendepfad TX angeordnet sind. Der Serienresonator R5 und der Parallelresonator R3 bilden zusammen ein eingangsseitig an¬ geordnetes Laddertype-Glied. Der Serienresonator R6 und der Parallelresonator R4 bilden zusammen ein ausgangsseitig an¬ geordnetes Laddertype-Glied. Der Resonatorstapel 6 kann prin¬ zipiell mit einer beliebigen Anzahl von Laddertype-Gliedern verschaltet werden.

In Figur 14 ist ein Bauelement mit einem Duplexer gemäß Er¬ findung im schematischen Querschnitt gezeigt. Auf einem Trä¬ gersubstrat 3 ist ein SAW-Chip CHI sowie ein BAW-Chip CH2 in Flipchip-Bauweise montiert. Die Chips CHI, CH2 sind mittels Bumps BU auf dem Trägersubstrat 3 befestigt und elektrisch mit diesem verbunden. Das Trägersubstrat 3 weist mehrere dielektrische Lagen auf, zwischen denen Metalllagen 32 mit strukturierten Leiterbahnen ausgebildet sind. Die Leiter¬ bahnen realisieren verborgene elektrische Strukturen, die insbesondere einen Teil der Duplexerschaltung realisieren können. Die Metalllagen sind elektrisch miteinander sowie mit den Chips CHI, CH2 und Außenanschlüssen 33 mittels Durchkon- taktierungen 31 verbunden.

Die Chips CHI, CH2 sind vorzugsweise die sogenannten nackten Chips. Möglich ist aber auch, dass diese Chips als gehäuste Bauelemente zur Verfügung stehen und mittels der SMD-Technik (Surface Mounted Design) mit dem Trägersubstrat elektrisch und mechanisch verbunden sind. Das Trägersubstrat 3 bildet vorzugsweise einen Teil eines Gehäuses, welches in einer Variante beide Chips CHI und CH2 in einem gemeinsamen Hohl¬ raum oder in separaten Hohlräumen umschließt .

Ein derart (modular mit zwei voneinander unabhängigen Chips) gebildetes Bauelement bzw. Modul hat den Vorteil, dass auf¬ grund der räumlichen Trennung zwischen den Chips CHI, CH2 das Übersprechen zwischen dem Empfangspfad und dem Sendepfad ge¬ ring ist . Die Verwendung eines gemeinsamen Trägersubstrats 3 hat dabei den Vorteil, dass die Schnittstellen zwischen der Antenne, dem Empfangsfilter und dem Sendefilter im Modul ver¬ borgen und daher für spätere Anwendungen bezüglich der elek¬ trischen Anpassung „gut definiert" sind. Eine gute Impe¬ danzanpassung reduziert die Signalverluste.

In Figur 14A ist ein weiteres Bauelement mit einem Duplexer gemäß Erfindung gezeigt. Auf der Oberfläche des Trägersub- strats 3 ist der SAW-Chip CHI sowie der BAW-Chip CH2 montiert und elektrisch mit diesen mittels Bonddrähte verbunden.

In Figur 15 ist ein als DMS-Spur 5 ausgeführtes Empfangsfil¬ ter 1 gezeigt, das mit einem mit akustischen Volumenwellen arbeitenden Resonatorstapel 6 verschaltet ist. Im Resonator¬ stapel 6 sind die Resonatoren SR und PR übereinander ange¬ ordnet. Der Serienresonator SR ist im Empfangspfad RX ein- gangsseitig angeordnet. Der Parallelresonator PR ist in einem Querzweig angeordnet, der zwischen dem Empfangspfad RX und Masse verläuft. Die Resonatoren SR, PR sind akustisch sowie elektrisch miteinander gekoppelt.

In Figur 16 ist ein als ein Resonatorfilter bzw. Zweitorre¬ sonator ausgebildetes Empfangsfilter 1 gezeigt, bei dem die in verschiedenen Teilpfaden RXl, RX2 des Empfangspfades ange¬ ordneten Wandler 41, 42 in einer akustischen Spur angeordnet und akustisch miteinander gekoppelt sind. Das Empfangsfilter ist hier symmetrisch/symmetrisch beschaltet und eingangssei- tig elektrisch mit dem symmetrischen Tor eines Baluns verbun¬ den. Der Balun stellt einen Resonatorstapel 6 gemäß Figur 10A dar. Die Resonatoren Rl und R2 sind durch die Koppelschicht Kl elektrisch voneinander isoliert. Der Resonator R2 bildet das symmetrische Tor. Der Resonator Rl ist in einem an den Empfangspfad RX angeschlossenen Querzweig angeordnet.

Die Erfindung ist nicht auf die hier gezeigten Ausführungs- beispiele beschränkt. Die vorgestellten Elemente können in beliebiger Anzahl und Anordnung miteinander kombiniert wer¬ den.

Auf dem Trägersubstrat können neben dem SAW-Chip und BAW-Chip weitere Komponenten (z. B. Schalter, Dioden, Spulen, Konden¬ satoren, Widerstände, weitere Chips) angeordnet sein. Das Empfangsfilter kann ein- und ausgangsseitig unsymmetrisch sein. Das Empfangsfilter kann gleichzeitig einen Impedanz¬ wandler realisieren, wobei seine Ausgangsimpedanz (z. B. 50 bis 200 Ohm) vorzugsweise höher als seine Eingangsimpedanz (z. B. 50 Ohm) gewählt wird. Das Sendefilter kann gleich¬ zeitig einen Impedanzwandler realisieren, wobei seine Aus¬ gangsimpedanz (z. B. 50 Ohm) vorzugsweise höher als seine Eingangsimpedanz (z. B. 10 bis 50 Ohm) gewählt wird. Bezugszeichenliste

ANT Antennenanschluss TX-IN Sendeeingang RX-OUT Empfangsausgang RX Empfangspfad RXl, RX2 Telpfade des Empfangspfads RX TX Sendepfad TR Sendeempfangspfad 1 Empfangsfilter 2 Sendefilter 3 Trägersubstrat 31 Durchkontaktierung 32 Metalllage 33 Anschluss 4 akustische Spur eines Zweitorresonstors 41, 42 Wandler, die in der akustischen Spur 4 angeordnet sind CHI Chip mit dem Empfangsfilter 1 CH2 Chip mit dem Sendefilter 2 BU Bumps 5 DMS-Spur 51, 53 Ausgangswandler der DMS-Spur 52 Einganswandler der DMS-Spur 6 Resonatorstapel BS Basissubstrat AS akustischer Spiegel El bis E4 Elektroden PSl, PS2 piezoelektrische Schicht Kl, K2 Koppelschicht Rl, R2 übereinander angeordnete BAW-Resonatoren Rl", R2^ übereinander angeordnete BAW-Resonatoren R3, R4 Parallelresonatoren (BAW) SR, SRI, SR2 Serienresonatoren (SAW) PR Parallelresonator (SAW) Zl bis Z4 Impedanz