Elektrokeramisches Bauelement, insbesondere Vielschicht- piezoaktor

Die Erfindung betrifft ein Bauelement, insbesondere ein elektrokeramisches Bauelement wie einen Vielschichtpiezoaktor .

Elektrokeramische Bauelemente wie Piezoaktoren weisen eine keramische Matrix mit mindestens einer Innenelektrode auf, die im keramischen Körper angeordnet ist und an einer Oberfläche freigelegt ist. Der Piezoaktor kann in Form eines

Vielschichtpiezoaktors ausgebildet werden, der eine Vielzahl piezoelektrisch aktiver keramischer Lagen und metallischer Innenelektrodenlagen aufweist, die abwechselnd aufeinander gestapelt sind. Bei einem Vielschichtpiezoaktor weisen die Oberflächen eine Vielzahl streifenförmiger metallischer Innenelektroden und piezoelektrisch aktive keramische Bereiche auf. Ein solcher Piezoaktor wird beispielsweise als Betäti- gungselement in Einspritzventilen verschiedenster Motortypen für Kraftfahrzeuge eingesetzt.

Ein solcher Vielschichtaktor aus übereinander und alternierend zueinander gestapelten Schichten von WerkstoffSchicht und Elektrodenschicht weist üblicherweise, in Draufsicht be ^¬ trachtet, einen rechteckigen oder quadratischen Querschnitt auf. Er wird an zwei sich gegenüberliegenden Umfangsseiten elektrisch kontaktiert. Zur sog. vollflächigen Kontaktierung, bei der sich die Elektrodenschichten über die gesamte Fläche der Werk- stoffschichten erstrecken, so dass keine piezoelektrisch inaktiven bzw. passiven Bereichen vorhanden sind, schlägt die DE 102006003070 B3 vor, eine jeweilige Isolationsschicht auf einen jeweiligen von zwei geometrisch nicht zusammenhängenden Sta- pelumfangsbereichen des Stapels, aufzubringen. Dann wird die genaue Position einer jeweiligen der Elektrodenschichten entlang der Stapelumfangsbereiche ermittelt. Anschließend werden mittels Laserstrukturieren erste Kontaktlöcher durch die erste Isolationsschicht der Isolationsschichten hin zu jeder zweiten der Elektrodenschichten erzeugt sowie zweite Kontaktlöcher durch die zweite der Isolationsschichten hin zu den verbleibenden der Elektrodenschichten. Abschließend werden die Isolations ^¬ schichten im Wesentlichen ganzflächig mit einem elektrisch leitenden Material bedeckt, wobei die Kontaktlöcher ebenfalls mit dem elektrisch leitenden Material gefüllt werden. Als elektrisch leitendes Material wird beispielsweise ein Leitkleber verwendet . In der Praxis scheitert die Verwendung eines Leitklebers als elektrisch leitendes Material oft an der zu geringen Haftung des Leitklebers auf der Isolationsschicht. Zudem kann die Anbindung der in dem Leitkleber enthaltenen elektrisch leitfähigen Partikel an die sehr dünnen, freigelegten Oberflächen der Elektrodenschichten teilweise von unterschiedlicher Qualität, d.h. unterschiedlichem Übergangswiderstand, sein. Beides führt zu einer nicht zufriedenstellenden Zuverlässigkeit des Bau ^¬ elements . In der DE 10 2008 048 051 AI wird vorgeschlagen, einen Sammelkontakt, durch den die auf einer Oberseite freigelegten Kontaktlöcher elektrisch miteinander verbunden werden sollen, mittels zweier elektrischer Schichten auszubilden. Die erste, sehr dünne Schicht dient dazu, die mechanische Festigkeit der Verbindung zwischen den Innenelektroden und dem Sammelkontakt zu erhöhen und/oder den elektrischen Widerstand zu reduzieren. Diese Schicht dient somit im Wesentlichen als Haftvermittler, während die zweite Schicht des Sammelkontakts, welche über ^¬ wiegend zur Stromtragfähigkeit beiträgt, als flexibler Leit- kleber ausgebildet sein kann.

Ein Nachteil des in der DE 102008048051 AI beschriebenen Aufbaus besteht darin, dass die erste, sehr dünne Schicht aufgrund der im Einsatz eines Vielschichtaktors auftretenden hohen Tempe- raturen in die keramische Matrix diffundieren kann. Dies hat über die Zeit zur Folge, dass die erste, sehr dünne Schicht ver ^¬ schwindet und die Funktion der Haftvermittlung dadurch reduziert oder sogar eliminiert ist. Dadurch ist die Gefahr eines Bau- teilausfalls aufgrund der hohen dynamischen Belastung sehr hoch, da dann die zweite, dickere Schicht sich von der keramischen Matrix soweit ablösen kann, dass kein elektrischer Kontakt zu zumindest einzelnen der Elektrodenschichten gegeben ist.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Bauelement, insbesondere ein piezoelektrisches Bauelement wie einen

Vielschichtaktor, anzugeben, der funktional und/oder baulich derart verbessert ist, dass die Wahrscheinlichkeit eines Ausfalls verringert ist.

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Bauelement gemäß den Merkmalen des Anspruches 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen.

Es wird ein Bauelement vorgeschlagen, das eine keramische Matrix, zumindest eine Innenelektrode, die in der keramischen Matrix angeordnet ist und an einer ersten Oberfläche freigelegt ist, zumindest einen elektrisch leitenden Sammelkontakt, der mit der Elektrode elektrisch verbunden ist, eine Isolationsschicht auf einer Oberfläche der keramischen Matrix, die zwischen dem Körper und dem Sammelkontakt angeordnet ist, wobei die Isolations ^¬ schicht mindestens eine Öffnung aufweist, die zumindest einen Teil der Innenelektrode freilegt, und eine weitere, elektrisch leitende Schicht, die zwischen der Innenelektrode und dem Sammelkontakt sowie zwischen der Isolationsschicht und dem Sammelkontakt angeordnet ist, umfasst. Das Bauelement zeichnet sich dadurch aus, dass die weitere Schicht als Multilayer-Schicht mit zumindest zwei Schichten ausgebildet ist, wobei die

Multilayer-Schicht als erste Schicht eine Stromkollektor ^¬ schicht, die an den Sammelkontakt grenzt, und als zweite Schicht eine Diffusionssperrschicht, die an die Isolationsschicht und die Innenelektrode grenzt, umfasst. Die mindestens zwei Schichten umfassende Multilayer-Schicht vereint eine Mehrzahl von Funktionen auf sich. Zum einen erfolgt eine Haftvermittlung zu dem Sammelkontakt sowie der keramischen Matrix bzw. der Isolationsschicht. Andererseits ist die Multilayer-Schicht elektrisch leitfähig, um einen Strom zwischen der zumindest einen Innenelektrode und dem Sammelkontakt zu leiten. Die Stromkollektorschicht weist eine Zusammensetzung auf, dass eine Diffusion aus der Multilayer-Schicht vermieden wird. Darüber hinaus wird durch die zweite Schicht eine Dif ^¬ fusionssperre in Richtung der keramischen Matrix bereitgestellt.

Durch die zuletzt genannte Funktionalität der Diffusions ^¬ sperrschichten kann sichergestellt werden, dass auch bei hohen Temperaturen, denen das Bauelement im Betrieb ausgesetzt ist, keine Diffusion der Materialien der Multilayer-Schicht in die keramische Matrix erfolgt. Dadurch bleibt die weitere Schicht dauerhaft erhalten, wodurch die Gefahr der eingangs beschriebenen Schwächung bzw . eines Bauelementausfalls eliminiert ist. Darüber hinaus weist die Diffusionssperrschicht eine gute Haftung zu der Isolationsschicht und der keramischen Matrix auf. Die Stromkollektorschicht, die an den Sammelkontakt grenzt, sorgt für eine gute Haftvermittlung zu dem Sammelkontakt. Darüber hinaus kann optional ein Schutz gegen Oxidation durch eine Passivierungsschicht bereitgestellt werden.

Somit kann gleichzeitig eine gute Haftung und eine Unterdrückung von Diffusions- und/oder Migrationsvorgängen aus bzw. in die keramische Matrix unterdrückt werden, da die Multilayer-Schicht in ihrer Zusammensetzung auf eine geringe Migrationsneigung angepasst werden kann.

Die erste Schicht der Multilayer-Schicht, d.h. die Passivie ^¬ rungsschicht, ist gemäß einer zweckmäßigen Ausgestaltung dicker als die zweite Schicht der Multilayer-Schicht, d.h. der Dif ^¬ fusionssperrschicht. Dadurch kann durch geeignete Material ^¬ auswahl eine gute elektrische Leitfähigkeit der

Multilayer-Schicht und ein geringer Übergangswiderstand zu dem Sammelkontakt bereitgestellt werden.

Die erste Schicht der Multilayer-Schicht kann eine Schichtdicke zwischen 70 und 100 nm aufweisen. Demgegenüber kann die zweite Schicht der Multilayer-Schicht eine Schichtdicke zwischen 5 und 15 nm aufweisen. Die erste und die zweite Schicht können durch ein Vakuumabscheideverfahren wie PVD (Physical Vapor Deposi- tion) , Sputtern, Bedampfen oder Bogenentladung (Are), z.B. unmittelbar hintereinander, auf die mit der Isolationsschicht bedeckte keramische Matrix aufgebracht werden.

Die erste Schicht der Multilayer-Schicht kann aus einer Sil ^¬ ber-Palladium-Legierungbestehen. Hierdurch ist sichergestellt, dass eine gute Haftung an dem Sammelkontakt, welcher z.B. aus einer Leitkleberschicht besteht, gegeben ist. Darüber hinaus wird eine gute elektrische Leitfähigkeit sichergestellt.

Demgegenüber kann die zweite Schicht der Multilayer-Schicht Titan, und optional Palladium, umfassen. Durch diese Materialien ist sichergestellt, dass keine Diffusionsprozesse von der zweiten Schicht der Multilayer-Schicht in Richtung der kera ^¬ mischen Matrix stattfinden.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist die Schichtdicke des Sammelkontakts wesentlich größer als die Schichtdicke der Multilayer-Schicht .

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung kann die Multilayer-Schicht als dritte Schicht eine Antioxidationsschicht umfassen, die zwischen der ersten Schicht der Multilayer-Schicht und dem

Sammelkontakt angeordnet ist. Die dritte Schicht kann z.B. ein Edelmetall umfassen. Dadurch kann eine Oxidation vermieden werden, unabhängig davon, mit welcher Zeitverzögerung das Material des Sammelkontakts nach dem Erzeugen der Multi- layer-Schicht auf die Multilayer-Schicht aufgebracht wird. Die dritte Schicht kann als Passivierungsschicht angesehen werden.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist das Bauelement ein Vielschichtpiezoaktor, der eine Vielzahl von piezoelektrisch aktiven Lagen und eine Vielzahl von elektrisch leitenden In- nenelektrodenlagen aufweist. Die piezoelektrisch aktiven Lagen und die elektrisch leitenden Innenelektrodenlagen sind abwechselnd aufeinander in einer Stapelrichtung gestapelt, wobei sich die erste Oberfläche in der Stapelrichtung erstreckt und jede zweite Innenelektrodenlage einen Bereich der ersten Oberfläche bildet und mit dem Sammelkontakt elektrisch verbunden ist, wobei die weiteren Innenelektrodenlagen von dem Sammel- kontakt elektrisch isoliert sind.

Bei einem Vielschichtpiezoaktor erstreckt sich die erste Oberfläche in Stapelrichtung. Jede zweite Innenelektrodenlage bildet einen Bereich der ersten Oberfläche und ist mit dem Sammelkontakt elektrisch verbunden, wobei die weiteren Innenelektrodenlagen von dem Sammelkontakt elektrisch isoliert sind. Der Vielschichtpiezoaktor weist somit zwei Gruppen von Innenelektroden auf, die mit unterschiedlichen voneinander elektrisch isolierten Sammelkontakten isoliert sind. Benach- barte Innenelektroden des Stapels sind voneinander elektrisch isoliert und unabhängig voneinander steuerbar.

Insbesondere sind die piezoelektrisch aktiven Lagen vollaktiv. Die Innenelektroden erstrecken sich somit nahezu vollständig über die Fläche bis zu den Randseiten der benachbarten piezoelektrisch aktiven Lagen.

Alternativ können die piezoelektrisch aktiven Lagen nicht piezoelektrisch aktive Bereiche aufweisen. In diesem Beispiel erstrecken sich dann die Innenelektroden nicht bis zum Rand der piezoelektrisch aktiven Lagen.

Typischerweise wird sich jede zweite Innenelektrode zu der Randseite der ersten Oberfläche und nicht zu der Randseite einer zweiten gegenüberliegenden Oberfläche der piezoelektrisch aktiven Lage erstrecken. Dieser unbedeckte Bereich der piezoelektrisch aktiven Lage sieht eine elektrische Isolation der Innenelektrode des Sammelkontakts vor, der auf der zweiten Oberfläche angeordnet ist. Die zweite Gruppe von Innenelektroden streckt sich zum Rand der zweiten Oberfläche und nicht zum Rand der ersten Oberfläche der piezoelektrisch aktiven Lage hin. Wenn das Bauelement eine zweite Oberfläche aufweist, die ge ^¬ genüber der ersten Oberfläche angeordnet ist und eine Vielzahl der abwechselnden piezoelektrischen Lagen und elektrisch leitenden Innenelektrodenlagen aufweist, sind die Innenelektrodenlagen, die nicht mit dem Sammelkontakt auf der ersten Oberfläche elektrisch verbunden sind, mit einem zweiten Sammelkontakt auf der zweiten Oberfläche elektrisch verbunden. Der erste Sammelkontakt ist von dem zweiten Sammelkontakt elektrisch isoliert .

Bei einem vollaktiven Stapel kann die zweite Oberfläche auch eine elektrisch isolierende Schicht mit Öffnungen aufweisen, wobei eine Öffnung jede zweite Innenelektrodenlage auf der zweiten Oberfläche freilegt, die nicht mit dem Sammelkontakt auf der ersten Oberfläche elektrisch verbunden ist. In dieser Weise werden zwei Gruppen von Innenelektroden vorgesehen, die unabhängig voneinander steuerbar und die abwechselnd in dem Stapel in Stapelrichtung angeordnet sind.

Die Erfindung wird nachfolgend näher anhand eines Ausfüh ^¬ rungsbeispiels in der Zeichnung erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische, detaillierte Ansicht eines

Vielschichtpiezoaktors nach einem Ausführungsbei ^¬ spiel der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht eines ersten Ausführungs ^¬ beispiels einer in dem Vielschichtaktor eingesetzten Multilayer-Schicht , und

Fig. 3 eine vergrößerte Ansicht eines zweiten Ausfüh ^¬ rungsbeispiels einer in dem Vielschichtaktor eingesetzten Multilayer-Schicht.

Fig. 1 zeigt eine schematische detaillierte Ansicht eines Vielschichtaktors 1, der eine Vielzahl von Innenelektrodenlagen 2, 2' und eine Vielzahl von piezoelektrisch aktiven Lagen 3 aufweist. Der Vielschichtaktor 1 dient beispielsweise als Betätigungselement in einem Einspritzventil eines Kraftfahr ^¬ zeugmotors. Die Innenelektrodenlagen 2, 2' und die piezoe ^¬ lektrisch aktiven Lagen 3 sind abwechselnd aufeinander in einer Stapelrichtung 4 gestapelt und bilden einen mehrlagigen Körper 5. Der mehrlagige Körper 5 kann als Werkstoffverbünd bezeichnet werden, der aus einer keramischen Matrix und Innenelektroden in Form der Innenelektrodenlagen besteht.

Die Innenelektrodenlagen 2 bestehen in einer dem Fachmann bekannten Weise jeweils aus einem elektrisch leitenden Material, insbesondere einem Metall oder einer Legierung wie Sil ^¬ ber-Palladium (Ag-Pd) . Die piezoelektrisch aktiven Lagen 3 bestehen aus einem Material, das den piezoelektrischen Effekt aufweist, d.h. beim Anlegen eines elektrischen Feldes verformt sich das Material mechanisch. Diese mechanische Verformung erzeugt eine nutzbare Dehnung und/oder Kraft an den in Fig. 1 nicht dargestellten Endflächen, so dass sich der Stapel in Stapelrichtung 4 dehnen oder zusammenziehen kann. Dadurch kann der Stapel als Aktor verwendet werden.

Die piezoelektrisch aktiven Lagen bestehen aus einer Keramik, insbesondere PZT (Blei-Zirkonat-Titanat ) . Die Innenelektro ^¬ denlagen 2, 2' erstrecken sich über die gesamte Fläche der benachbarten piezoelektrisch aktiven Lagen 3 sowie zu den Randseiten des Stapels und bilden dort einen Teil 23 der

Oberfläche 7 des Körpers 5 des Piezoaktors 1. Der Teil 23 der Innenelektrode 2 ist an der Oberfläche 7 freigelegt und folglich frei von der keramischen Matrix des Körpers. Diese Anordnung des Vielschichtpiezoaktors wird als vollaktiver Piezoaktorstapel bezeichnet.

Ein elektrischer Kontakt zu den jeweiligen Innenelektroden 2, die in dem Körper 5 angeordnet sind, erfolgt mit Sammelkontakten, wobei in Fig. 1 lediglich ein Sammelkontakt 8 dargestellt ist. Der Sammelkontakt 8 ist auf einer Randseite des Körpers 5 angeordnet. Der andere, nicht dargestellte Sammelkontakt ist auf der gegenüberliegenden Randseite des Körpers 5 angeordnet. Der Sammelkontakt 8 und der andere Sammelkontakt sind elektrisch voneinander isoliert.

Jede Innenelektrode 2 ist mit dem Sammelkontakt 8 elektrisch verbunden, während jede Innenelektrode 2' mit dem nicht dar ^¬ gestellten anderen Sammelkontakt 8 verbunden ist, so dass zwei Gruppen von Innenelektroden 13, 14 vorgesehen sind, die elektrisch voneinander isoliert sind. Jede zweite Innenelektrode

2 in der Stapelrichtung 4 ist mit dem ersten Sammelkontakt 8 elektrisch verbunden und bildet somit die erste Gruppe 13 von

Innenelektroden 2. Der andere, zweite Sammelkontakt ist mit dem Innenelektroden 2 ' elektrisch verbunden, die die zweite Gruppe 14 von Innenelektroden 2' bilden. Benachbarte Innenelektroden 2, 2 ' in der Stapelrichtung 4 gehören zu unterschiedlichen Gruppen 13, 14. Eine Spannung wird zwischen den benachbarten Innenelektroden 2, 2' des Stapels 1 angelegt, so dass die zwischen den Innenelektroden 2 , 2' angeordneten piezoelektrisch aktiven Lagen

3 mechanisch reagieren. Um einen Kurzschluss zwischen den zwei Gruppen 13, 14 von

Innenelektroden 2, 2' sowie zwischen der Sammelelektrode 8 und der anderen, nicht dargestellten Sammelelektrode zu vermeiden, ist eine elektrisch isolierende Schicht 15 auf den Randseiten (dargestellt ist lediglich die Isolationsschicht 15 auf der Randseite 9) des Körpers 5 mit den Sammelkontakten 8 angeordnet.

Die elektrisch isolierende Schicht 15 weist Öffnungen 16 auf, die die Oberfläche 23 der Innenelektrodenlagen 2 freilegen, die einen Teil der Oberfläche 7 des Körpers 5 bildet. Insbesondere legen die Öffnungen 16 der elektrisch isolierenden Schicht 15 die erste Gruppe 13 von Innenelektroden 2 auf der Randseite 9 und die zweite Gruppe 14 von Innenelektroden 2' auf der anderen, nicht dargestellten, gegenüberliegenden Randseite frei. Auf der Randseite 9 ist die zweite Gruppe 14 von Innenelektroden 2' von der elektrisch isolierenden Schicht 15 abgedeckt und von dem darauf angeordneten ersten Sammelkontakt 8 elektrisch isoliert. Auf der zweiten gegenüberliegenden Randseite ist die erste Gruppe 13 von Innenelektroden 2 von der elektrisch isolierenden Schicht 15 abgedeckt und von dem darauf angeordneten anderen Sammelkontakt elektrisch isoliert. Der Sammelkontakt 8 besteht aus zwei Schichten 19, 20. Die Schicht 20 stellt eine Strom tragende Schicht des Sammelkontakts 8 dar, welche beispielsweise durch einen Leitkleber gebildet ist. Demgegenüber dient die Schicht 19, die nachfolgend unter Be ^¬ zugnahme auf die Figuren 2 und 3 näher erläutert werden wird, dazu, eine Haftvermittlung zwischen der Strom tragenden Schicht 20 des Sammelkontakts 8 und der isolierenden Schicht 15 sowie den freigelegten Oberflächen 23 des Körpers 5 herzustellen. Die elektrisch leitende Schicht 19 ist somit in den Öffnungen 16 der elektrisch isolierenden Schicht 15 sowie auf der im Querschnitt trapezförmigen isolierenden Schicht 15, d.h. vollflächig auf der Randseite 9 angeordnet und steht in direktem Kontakt und in elektrischer Verbindung mit der freigelegten Innenelektrode 2, die innerhalb der Öffnung 16 angeordnet ist. Die erste und die zweite elektrisch leitende Schicht 19, 20 erstrecken sich somit über die gesamte Randseite 9 des

Vielschichtpiezoaktors 1 und in den Öffnungen 16 der elektrisch isolierenden Schicht 15. Dabei ist die erste Schicht 19 direkt auf der Oberfläche 22 der elektrisch isolierenden Schicht 15 sowie in den Öffnungen 16 angeordnet. Die zweite Schicht 20 ist auf der ersten Schicht 19 angeordnet. Die erste und die zweite Schicht 19, 20 verbinden die Innenelektroden 2 der ersten Gruppe 13 von Innenelektroden 2 elektrisch miteinander. Wie erwähnt, dient die leitende Schicht 19 als Haftvermittler, um die mechanische Festigkeit der Verbindung zwischen dem Sammelkontakt 8 und der isolierenden Schicht 15 sowie dem Körper 5 des Piezoaktors 1 zu verbessern. Sie hat jedoch aufgrund ihres Aufbaus, der nachfolgend beschrieben wird, weitere Funktionen.

Erfindungsgemäß ist die erste Schicht 19, wie dies in einem ersten Ausführungsbeispiel in Fig. 2 dargestellt ist, als Multi- layer-Schicht 30 ausgebildet. Dabei umfasst die Multi- layer-Schicht 30 zwei Schichten 30A, 30B, wobei die erste Schicht 30A eine Stromkollektorschicht ist, die an die Schicht 20 des Sammelkontakts 8 grenzt und die Haftung zu dieser übernimmt. Die zweite Schicht 30B ist ebenfalls eine Haftvermittlungsschicht, die eine geringere Dicke als die erste Schicht 30A aufweist und an die isolierende Schicht 15 und die Oberfläche 23 des Körpers 5 grenzt.

Die Materialzusammensetzung der ersten Schicht 30A ist derart, dass eine Diffusion aus der Multilayer-Schicht 30 vermieden wird. Insbesondere besteht die erste Schicht aus Silber-Palladium (Ag-Pd) . Ihre Dicke beträgt zwischen 70 bis 100 nm. Gleichzeitig dient die erste Schicht 30A innerhalb der Multilayer-Schicht als Stromkollektor. Die Materialzusammensetzung der zweiten Schicht 30B ist derart, dass eine Diffusionssperre in die keramische Matrix gegeben ist. Insbesondere besteht die zweite Schicht 30B aus Titan. Ihre Dicke beträgt zwischen 5 und 15 nm.

In einer zweiten Ausgestaltungsvariante, die in Fig. 3 gezeigt ist, kann auf der von der zweiten Schicht 30B abgewandten Seite der ersten Schicht 30A eine dritte Schicht 30C vorgesehen sein. Die dritte Schicht 30C weist eine wesentlich geringere Dicke als die erste Schicht 30A der Multilayer-Schicht 30 auf. In dieser Ausgestaltungsvariante übernimmt die dritte Schicht 30C die Haftvermittlung zu der Schicht 20, da die dritte Schicht 30C an die Schicht 20 des Sammelkontakts 8 grenzt. Die dritte Schicht 30C übernimmt darüber hinaus die Funktion einer Passivierung und eines Oxidationsschutzes . Sie besteht insbesondere aus Gold, deren Dicke in der Größenordnung der zweiten Schicht 30B liegen kann. Die erste Schicht 30A bildet weiter die Stromkollek ^¬ torschicht .

Die primäre Funktion der Multilayer-Schicht 30 besteht somit darin, eine Haftvermittlung für die Schicht 20 zu der iso- lierenden Schicht 15 und dem keramischen Körper 5 in den Öffnungen 16 bereitzustellen. Darüber hinaus weist die Multilayer-Schicht 30 durch die erste Schicht 30A auch eine hohe Leitfähigkeit auf, um die elektrische Anbindung der Schicht 20 an Innenelektroden 2 zu verbessern. Durch die Diffusionssperrschicht (zweite Schicht 30B) kann sichergestellt werden, dass auch bei hohen Temperaturbelastungen keine Diffusion des Materials der

Schichten 19 in die keramische Matrix 5 erfolgt. Dadurch kann die Dauerhaftigkeit des Bauelements über einen langen Zeitraum sichergestellt werden. Die optional vorsehbare dritte Schicht 30C bietet einen Oxidationsschutz , so dass einerseits ein geringer elektrischer Widerstand zwischen der

Multilayer-Schicht 30 und der Schicht 20 gegeben ist und an- dererseits auch die Haftungseigenschaften nicht nachteilig beeinflusst werden können.

Das Aufbringen der Schichten der Multilayer-Schicht 30 kann beispielsweise durch ein Vakuumabscheideverfahren wie PVD (Physical Vapor Deposition) oder Sputtern oder Bedampfen oder eine Bogenentladung erfolgen. Das Aufbringen erfolgt vorzugsweise direkt hintereinander, beispielsweise in einer ge ^¬ meinsamen Fertigungsvorrichtung. In die Schicht 20 des Sammelkontakts 8 kann darüber hinaus ein flexibles Kontaktierungselement eingebracht werden, so dass eine zusätzliche Redundanz für die Stromleitung zu den Innenelektroden 2 erreicht wird. Ein solches flexibles Kontaktie ^¬ rungselement kann beispielsweise ein gestanztes metallisches Bauteil sein, welches in Draufsicht eine mäanderförmige Struktur aufweist .