Bei zahlreichen biotechnologischen, medizinischen, gentech- nischen und chemisch-technologischen Systemen ist es für die Erzielung bestimmter Zustände oder für den Ablauf bestimmter Prozesse erforderlich, daß mikroskopisch kleine Teilchen in freien Flüssigkeiten präzise gehaltert oder in vorbestimmter Weise bewegt werden. Zu den interessierenden kleinen Teilchen zählen z. B. biologische Zellen oder Teile von diesen, Latex- partikeln oder andere sogenannte Microbeads. Die Teilchen werden unter dem Einfluß elektrischer Felder in sogenannten Feldkäfigen in der Flüssigkeit bewegt ("offene"Feldkäfige) oder gehaltert ("geschlossene Feldkäfige"). Im gehalterten Zustand können die Teilchen beispielsweise vermessen oder untereinander zur Wechselwirkung gebracht werden (s. z. B. U.

Zimmermann et al."Electromanipulation of Cells"in CRC, Chapter 5, Seiten 259-328,1996).

Die Felder zur Beeinflussung der Teilchen werden durch Elektroden gebildet, die vorzugsweise mit den Methoden der Halbleitertechnologie gefertigt werden. Zur Bildung von Feld- käfigen wird eine Mehrzahl von Elektroden entweder zwei-oder dreidimensional so angeordnet und mit Potentialen beauf- schlagt, daß im von den Elektroden umgebenen Raum (sogenannter Innenraum) eine Feldverteilung gebildet wird, in der ein Teilchen gefangen (getrapt) oder gerichtet bewegt werden kann.

Die Elektrodenform und-anordnungen für Mikrosystemanwendungen wurden bislang lediglich in Bezug auf die Effektivität der Käfigbildung im Innenraum optimiert (s. S. Fiedler et al. in "Microsystem Technology"2,1-7,1995). Es ist bespielsweise bekannt, bei Feldkäfigen einer Größe von einigen Mikrometern bis zu einigen 100 Mikrometern Elektroden mit einer hyper- bolisch, sich zum Innenraum hin verjüngenden Streifenform auszubilden. Derartige einfache Elektrodenformen wurden bisher für optimal in Bezug auf die Feldkäfigbildung und in Bezug auf deren Optimierung durch eine verhältnismäßig einfache Berechenbarkeit der Feldgradienten betrachtet. Allerdings tritt bei den herkömmlichen Elektrodenanordnungen und-formen in nachteiliger Weise der folgende Effekt auf.

Bei geringen Teilchendichten in der Flüssigkeit (Suspension) können einzelne Teilchen (z. B. eine Zelle) über lange Zeit (Minuten bis Stunden) stabil im Feldkäfig gehalten werden. Bei höheren Teilchendichten hingegen treten im Lauf der Zeit weitere Teilchen in den Feldkäfig ein, was in der Regel unerwünscht ist. Diese Erscheinung ist zunächst überraschend, da der Käfig einen Potentialwall darstellt, der ein Einwandern von Teilchen in das Innere verhindern sollte. Es treten jedoch zusätzliche, zum Innenraum hin gerichtete Kräfte auf, die es den Teilchen erlauben, das Potential zu überwinden. Diese Kräfte werden durch eine Thermokonvektion (insbesondere Erwärmung in Elektrodennähe) verursacht.

Aufgrund dieser Erscheinung ist der Einsatzbereich von Feld- käfigen in Mikrosystemen auf verhältnismäßig geringe, in der Praxis häufig nicht akzeptable Teilchendichten beschränkt.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte Elektroden- anordnung zur Käfigbildung und verbesserte Feldkäfigelektroden für eine derartige Elektrodenanordnung anzugeben, mit denen größere Teilchenkonzentrationen als mit den herkömmlichen Mikrosystemen mit hoher Stabilität und Zuverlässigkeit gehandhabt bzw. bearbeitet werden können.

Diese Aufgabe wird durch eine Elektrodenanordnung bzw. eine Feldkäfigelektrode mit den Merkmalen der Patentansprüche 1 bzw. 10 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Die Erfindung basiert auf der Idee, neue Elektrodenformen und -anordnungen zu schaffen, mit denen einerseits thermokonvek- tive Strömungen vermindert oder unterdrückt und andererseits die Wirksamkeit des den Feldkäfig umgebenden Potentialwalls erhöht wird. Erfindungsgemäße Elektrodenanordnungen bestehen aus einer Mehrzahl von Feldkäfigelektroden, die jeweils einen End-oder Kopfbereich aufweisen, der über einen Zuleitungs- bereich mit einem elektrischen Potential beaufschlagbar ist.

Abweichend von den herkömmlichen Elektrodenformen mit glatten, stetig verlaufenden Rändern werden erfindungsgemäß die End- bereiche von Elektroden derart geformt, daß sowohl im Innen- raum (Feldkäfig) als auch im Außenraum stark inhomogene Feld- verläufe entstehen. Dabei ist Inhomogenität der Feldverläufe so stark bzw. sind die Feldgradienten so groß, daß außerhalb des Feldkäfigs ein Abschirmfeld gebildet wird. Das Abschirm- feld soll mindestens so stark sein, daß Kräfte auf die Teilchen wirken, die nach innen gerichtete Kräfte (z. B. durch Thermokonvektion) kompensieren. Zu diesem Zweck weist der Endbereich einer Elektrode Elektrodenabschnitte auf, die zumindest teilweise durch gerade oder schwach gekrümmte Ränder begrenzt sind, die unter vorbestimmten Winkeln aufeinander- stoßen. Die Ränder stoßen so aufeinander, daß eine unstetige Begrenzung (Bildung einer Ecke oder Spitze oder dgl.) entsteht. Damit werden an den Rändern des Endbereiches hohe Feldlinienkonzentrationen erzielt, die die gewünschten großen Feldgradienten ergeben.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird neben der genannten Formung des Endbereiches zur Bildung inhomogener Abschirmfelder der Zuleitungsbereich, über den der Endbereich mit einem Elektrodenanschluß verbunden ist, mit einer möglichst geringen Elektrodenoberfläche ausgeführt.

Vorzugsweise besitzt der Zuleitungsbereich eine Streifenform mit einer unter Berücksichtigung der elektrischen Leistung optimierten Streifenbreite. Die Gestaltung möglichst schmaler Zuleitungsbereiche führt zur Verringerung von Thermokonvek- tionen.

Erfindungsgemäß wird von den bisher verwendeten, mit Blick auf die Feldkäfigbildung optimierten Elektrodenformen abgewichen und stattdessen werden Elektroden bereitgestellt, deren End- bereiche die Bildung von Feldlinienkonzentrationen z. B. an Kanten oder Spitzen der Elektrodenränder erlauben.

Erfindungsgemäße Elektrodenanordnungen können im wesentlichen planar zweidimensional angeordnet sein, wobei dann die Teilchenhalterung oder-bewegung unter Zusammenwirkung des Feldkäfigs mit Teilen des Mikrosystems (mechanische Begrenzung) erfolgt. Ersatzweise können die Elektrodenanordnungen auch dreidimensionale Gebilde sein, in denen die Teilchen lediglich unter Wirkung der elektrischen Kräfte in den Feldkäfigen gehalten werden. Aber auch im Fall dreidimensionaler Systeme können mechanische Begrenzungen zum Zusammenwirken mit den Feldkäfigen vorgesehen sein.

Gemäß einer besonderen Ausführungsform der Erfindung werden nicht nur die Endbereiche der Elektroden, sondern auch die Zuleitungsbereiche mit Elektrodenabschnitten versehen, die die Bildung starker Feldgradienten ermöglichen. Dies erlaubt ins- besondere bei geeignet gestaltetem Zusammenwirken von benach- bart angeordneten Feldkäfigelektroden, daß offene und geschlossene Feldkäfige z. B. in Form eines Feldkäfigs mit Zuführungskanal kombiniert werden.

Erfindungsgemäße Verfahren und Vorrichtungen können vorzugs- weise für die Korrelationspektroskopie, insbesondere zum Nachweis fluoreszierender Moleküle an der Oberfläche von Submikrometer-oder Mikrometer-Teilchen und/oder-Zellen, oder für pharmakologische, medizinisch-diagnostische und/oder evolutions-biotechnologische Anwendungen benutzt werden. Ins- besondere können als Nachweisverfahren die Methode der Fluoreszenz-Korrelationsspektroskopie (WO 94/16313) sowie andere, insbesondere konfokale Fluoreszenztechniken, wie in der Offenlegungsschrift WO 96/13744 und der europäischen Patentanmeldung 96116373.0 vorgeschlagen, eingesetzt werden.

Die letztgenannte Anmeldung schlägt ein Verfahren zur Analyse von Proben durch wiederholte Messung der Anzahl von Photonen pro definiertem Zeitintervall von elektromagnetischer Strahlung, insbesondere Licht, vor, welche von den Partikeln in der Probe emittiert, gestreut und/oder reflektiert wird, und Bestimmung der Verteilung der Anzahl von Photonen in den jeweiligen Zeitintervallen, wobei die Verteilung der molekularen Helligkeiten der Partikel aus der Verteilung der Anzahl von Photonen bestimmt wird.

Ausführungsformen der Erfindung werden im folgenden unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Es zeigen : Fig. 1 eine schematische Draufsicht auf eine planare Elektrodenanordnung gemäß einer ersten Aus- führungsform der Erfindung ; Fig. 2 eine schematische Perspektivansicht einer räumlichen Elektrodenanordnung, die aus zwei Elektrodenanordnungen gemäß Fig. 1 besteht ; Fign. 3A und 3B eine weitere Ausführungsform einer erfindungs- gemäßen Elektrodenanordnung sowie Gestaltungs- formen von erfindungsgemäßen Feldkäfig- elektroden ; Fign. 4A und 4B schematische Draufsichten auf Elektroden- anordnungen, bei denen erfindungsgemäß offene bzw. geschlossene Feldkäfige kombiniert sind ; und Fig. 5 einen typischen Feldlinienverlauf.

Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung im einzelnen charakterisiert. Dabei ist dem Fachmann erkennbar, daß Merkmale, die in Bezug auf bestimmte Ausführungsbeispiele genannt werden, ohne weiteres auch bei anderen Ausführungs- beispielen realisierbar sind. Eine Beschränkung auf bestimmte Kombinationen von Elektrodengeometrien oder-anordnungen besteht nicht.

Gemäß Fig. 1 umfaßt eine erfindungsgemäße Elektrodenanordnung 10 zur Bildung eines Feldkäfigs im Innenraum 11, in dem ein Teilchen aus der umgebenden und im Innenraum befindlichen Suspension 12 gehaltert werden soll, vier Elektroden 13a-13d.

Die Elektroden sind derart mit Potentialen beaufschlagbar, daß auf ein Teilchen 15 im Innenraum 11 abstoßende Polarisations- kräfte (sogenannte negative Dielektrophorese) wirken, so daß das Teilchen 15 im Feldminimum gefangen wird. Ein außerhalb des Innenraumes 11 befindliches Teilchen 16 hingegen wird daran gehindert, in den Innenraum 11 einzutreten. Jede Elektrode 13a-d besteht jeweils aus einem Endbereich 17a-d, der über einen Zuleitungsbereich 18a-d mit einem Elektroden- anschluß 14a-d verbunden ist. Jeder Endbereich umfaßt streifen- förmige Elektrodenabschnitte, die eine jeweils pfeilförmige Elektrodengeometrie bilden, die zum Innenraum 11 hin gerichtet ist. Die vom Innenraum weg weisenden Enden der Elektroden- abschnitte sind mit Spitzen versehen. Die dargestellte Form der Elektrodenendbereiche erlaubt die Ausbildung stark inhomogener Abschirmfelder außerhalb des Innenraums 11, d. h. in der übrigen Suspension 12. Die Zuleitungsbereiche 18a-d sind gegenüber den charakteristischen Ausmaßen der Elektroden- anschlüsse 14a-d und der Endbereiche 17a-d wesentlich ver- jüngt. Die Zuleitungsbereiche werden vorzugsweise durch Elektrodenstreifen gebildet, deren Breite kleiner oder gleich dem 1,5-fachen Durchmesser der zu manipulierenden Teilchen ist.

Je nach Anwendung kann die dargestellte Elektrodenanordnung eine charakteristische Größe im Bereich von 1 ym bis 500 ym oder größer besitzen. Die Elektrodenanordnung wird vorzugs- weise mit planarer Halbleitertechnologie auf einem Halbleiter- substrat (Chip) gebildet und mit geeigneten Suspensionszu- führungen und Abdichtungen gegenüber der Umgebung versehen.

Alternativ zu der in Fig. 1 dargestellten planaren Elektroden- anordnung ist es auch möglich, einen Feldkäfig dreidimensional zu bilden. Dies wird durch eine Elektrodenanordnung gemäß Fig. 2 erreicht, die aus zwei Sub-Elektrodenanordnungen 21a, 21b besteht, die jeweils im wesentlichen einer Elektroden- anordnung gemäß Fig. 1 entsprechen können. Zwischen den Sub- Elektrodenanordnungen, die z. B. auf einem Silizium-oder Glassubstrat gebildet sind, ist eine Flüssigkeitsschicht 22 eingeschlossen, in der sich die zu manipulierenden (ein- zufangenden) Teilchen befinden.

Weitere Beispiele von Elektrodengestaltungen, die den Gegen- stand der Erfindung verkörpern, sind in den Fig. 3A und 3B dargestellt. Die planare Elektrodenanordnung gemäß Fig. 3A entspricht im wesentlichen der Elektrodenanordnung gemäß Fig. 1, wobei jedoch die Gestalt der Elektrodenendbereiche in diesem Fall nicht pfeilförmig ist, sondern die Form eines Halbkreisabschnitts besitzt. Die Halbkreisabschnitte, die die Endbereiche bilden, erstrecken sich im wesentlichen in Rich- tungen, die senkrecht auf einer Verbindungslinie zwischen der Mitte des Innenraumes und dem Elektrodenanschluß liegt. Mit anderen Worten, wird der Innenraum durch Bezugsebenen von den jeweiligen Elektroden getrennt, so erstreckt sich der End- bereich jeder Elektrode im wesentlichen in einer Richtung, die in einer zu der Bezugsebene parallelen Ebene liegt.

Zur wirksamen Abhaltung von Teilchen aus dem Außenraum und zur Unterdrückung von thermokonvektiven Lösungsströmungen sollte der Abstand 31 zwischen dem Elektrodenanschluß und dem End- bereich (d. h. die Länge des Zuleitungsbereiches) mindestens dem Abstand 33 zwischen zwei gegenüberliegenden Elektroden der Elektrodenanordnung entsprechen. Ferner ist die Breite 32 des Zuleitungsbereiches vorzugsweise kleiner oder gleich 1/4 des Abstandes 33. Die Elektrodenanschlüsse, die selbst durch Zuleitungen gebildet werden, besitzen in Bezug auf ihre Breite und Länge keine Beschränkungen. Es wird jedoch bevorzugt, zur Verringerung elektrischer Verluste die Elektrodenanschlüsse 35 mit Isolationsschichten zu versehen. Die Isolationssschichten besitzen vorzugsweise eine Dicke von rund 50 nm bis einige Hm.

Die schmale Ausführung des Zuleitungsbereiches 35 besitzt den folgenden Vorteil. Eine breite Streifenelektrode bewirkt, daß ein über dieser in der Teilchensuspension befindliches Teilchen einem im wesentlichen homogenen elektrischen Feld ausgesetzt ist, in dem es leicht lateral, d. h. auch in Richtung des Feldkäfigs, durch eine Flüssigkeitsströmung ver- schoben werden kann. Dieser Nachteil breiter Elektroden- streifen wird durch die erfindungsgemäße Realisierung von schmalen Elektrodenabschnitten überwunden.

Neben dem Zuleitungsbereich können auch die Endbereiche der Feldkäfigelektroden mit schmalen Streifen ausgeführt sein, wie es in Fig. 3B anhand der Endbereiche 34a-d (Pfeilform, Doppelpfeilform, T-Profil-Form,"Antennenform") beispielhaft dargestellt ist.

Die in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Elektrodenanordnungen umfassen jeweils vier bis acht gleichartige Elektroden. Es ist jedoch auch möglich, die Erfindung mit einer anderen Anzahl von Elektroden und mit verschiedenen Elektrodengestaltungen innerhalb einer Elektrodenanordnung zu realisieren. Eine Feldkäfiganordnung in einem Mikrosystem umfaßt im weitesten Sinne (gegebenenfalls in Zusammenwirkung mit mechanischen Begrenzungsmitteln) mindestens eine Feldkäfigelektrode, mit der ein suspendiertes Teilchen manipuliert wird. Wird eine Mehrzahl von Elektroden verwendet, so sind diese möglichst symmetrisch in Bezug auf einen Innenraum, in dem der Käfig gebildet wird, angeordnet. Die Anordnung kann beispielsweise in quadratischer Form, in Form eines regelmäßigen Vielecks oder in Kreisform erfolgen. Es sind jedoch auch asymmetrische Anordnungen möglich.

In den Fig. 4A und 4B sind Mikrosysteme illustriert, die die Kombination eines Feldkäfigs 43 mit einem durch zwei Feld- käfigelektroden geformten Zuführungskanal (Fig. 4A) bzw. eine Sortiervorrichtung 48, die hier als offener Feldkäfig auf- gefaßt wird, mit einem Zuführungskanal (Fig. 4B) umfaßt. Die Fig. 4A und 4B zeigen jeweils eine Hälfte der entsprechenden Mikrosysteme. Das Gesamtsystem wird jeweils durch ein Struktur- element mit der dargestellten Elektrodenanordnung und ein zweites Strukturelement mit einer identischen, spiegelbildlich orientierten Elektrodenanordnung (unten mit einem Strich am Bezugszeichen versehen) gebildet. Beide Strukturelemente sind unter Verwendung von Abstandshaltermitteln genau ausgerichtet mit den strukturierten Oberflächen zueinanderweisend montiert.

Der Zwischenraum zwischen beiden Strukturelementen wird von der Teilchensuspension durchströmt. Der Zwischenraum (d. h. der senkrechte Abstand der Elektrodenanordnungen) ist etwa so groß wie der Feldkäfig 43 breit ist.

Gemäß Fig. 4A besitzen zwei Feldkäfigelektroden des Feldkäfigs 43 eine modifizierte Gestaltung der Zuleitungsbereiche 41a und 41b, die selbst Feldkäfigelektroden für einen offenen Feld- käfig bilden. Die Zuleitungsbereiche bilden einen Zuführungs- kanal, über den Teilchen in vorbestimmter Weise entlang des Weges b zum Feldkäfig 43 geführt werden. Hingegen werden Teilchen auf den Wegen a am Feldkäfig 43 vorbeigeführt (hierzu können zusätzlich nicht dargestellte mechanische Trennmittel vorgesehen sein). Zur gesteuerten Führung der Teilchen zum Feldkäfig 43 sind die Zuleitungsbereiche 41a und 41b jeweils mit fischgrätenartig zur Mitte des Zuführungskanals hinweisend angeordneten Elektrodenendbereiche bildenden Streifen- elektroden 44 versehen.

Die Führung der Teilchen durch den Zuführungskanal erfolgt unter vorbestimmter Ansteuerung der im Gesamtsystem zur Verfügung stehenden Zuführbereiche bzw. Elektroden 41a, 41b, 42a, 42b und den jeweiligen Gegenelektroden (nicht dar- gestellt) 41a', 41b', 42a'und 42b'. Alle Elektroden werden mit einem geeignet gewählten Wechselpotential der Frequenz f angesteuert, wobei zur gezielten Teilchenführung zwischen den Elektroden die folgende Phasenverschiebung realisiert wird : 41a : 0°, 41a' : 180°, 41b : 180°, 41b' : 0°, 42a : 180°, 42a' : 0°, 42b : 0° und 42b' : 180°. Die Potentialamplituden liegen vor- zugsweise im Bereich 0,1 V bis 100 V und können vom Fachmann anwendungsabhängig gewählt werden.

Gemäß Fig. 4B führt ein Zuführungskanal, der durch die Elektroden 45a und 45b gebildet wird, Teilchen entlang des Weges b zu einer Sortiereinrichtung 48 mit den Elektroden 46a und 46b. Hier bildet der Zuführungskanal zur Sortier- einrichtung selbst einen offenen Feldkäfig, in dem die Elektroden mit Elektrodenabschnitten versehen sind, die zur Bildung von starken Feldinhomogenitäten eingerichtet sind. Die Elektrodenabschnitte 47a und 47b sind zusätzlich zur Ablenkung von Teilchen entlang der Wege a vorgesehen.

Zur Teilchenführung stehen wiederum vier Elektroden 45a, 45b, 46a, 46b und die entsprechenden (nicht dargestellten) Gegen- elektroden 45a', 45b', 46a', 46b'zur Verfügung. Die Ansteue- rung der Elektroden zur Realisierung des Pfades b erfolgt, indem die Elektroden 45a, 45a', 45b, 45b', 46b, 46b'mit Wechselpotentialen beaufschlagt werden und die Elektroden 46a und 46a'potentialfrei sind. Die eingestellte Phasenlage lautet : 45a : 0°, 45a' : 180°, 45b : 180°, 45b' : 0°, 46b : 0°, 46b' : 180°. Falls die Teilchen nicht auf dem Pfad b (dargestellt), sondern an den Elektroden 46a, 46a' vorbeigeführt werden sollen, wären die Elektroden 46b, 46b' potentialfrei und die Elektroden 46a, 46a'mit 46a : 180°, 48a' : 0° anzusteuern.

Erfindungsgemäß wird auch ein Verfahren zur Handhabung der beschriebenen Elektrodenanordnungen, insbesondere zur Ein- bringung von Teilchen in Feldkäfige, angegeben. Die Einführung eines oder mehrerer zur manipulierender Teilchen ist dadurch gekennzeichnet, daß eine Suspensionsströmung durch die Elektrodenanordnung geführt wird, während diese so angesteuert wird, daß mit der Suspensionsströmung geführte Teilchen auf- gehalten werden. Bei einer Elektrodenanordnung gemäß Fig. 1 wird die Suspension beispielsweise in einer Richtung geführt, die bei der Darstellung von links unten nach rechts oben ausgerichtet ist. Hierzu bilden die jeweils benachbarten Elektrodenabschnitte der Elektrodenendbereiche 17d und 17c bzw. 17a und 17b (gegebenenfalls in Zusammenwirkung mit zusätzlichen, entsprechenden Elektrodenabschnitten bei einer dreidimensionalen Anordnung gemäß Fig. 2) einen Kanal, durch den die Suspension geführt wird. Während dieser Strömungsphase werden die Elektroden 13a und 13b so angesteuert, daß Teilchen, die mit der Strömung geführt werden, auf einen Potentialwall stoßen. Gleichzeitig sind die Elektroden 13c und 13d abgeschaltet. Sobald während des Durchströmschrittes, z. B. mit einer optischen Beobachtungsvorrichtung erfaßt wird, daß sich ein Teilchen im Innenraum 11 befindet, werden die Elektroden 13c und 13d zur Schließung des Feldkäfigs und zur Abschirmung weiterer nachströmender Teilchen eingeschaltet.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Elektroden- anordnung und der erfindungsgemäßen Verfahrensweise besteht darin, daß diese Abtrennung gegebenenfalls nachströmender Teilchen durch die sofortige Ausbildung inhomogener Abschirm- felder sehr wirksam ist.

Typische Ansteuerprotokolle für die Manipulation von lebenden Zellen suspendiert in physiologischen Lösungen und für 3 bis 100 jUm großen Beads (Latex, Sephadex etc.) sind Zellen : (konkret : tierische Fibroblasten, Durchmesser 15 ßm) Ansteueramplituden : 2,5 bis 8 V nutzbare Frequenzen : 1 MHz oder 1 GHz (üblicherweise 5 oder 10 MHz) Signalform : Sinussignale, Rechtecksignale Schaltgeschwindigkeit Zu-und Abschaltung der Elektroden : 1 As bis 1 s Dauer der Feldapplikation : 1 ms bis Minuten Funktionsfähigkeit der Grundelemente in Abhängigkeit von der Strömungsgeschwindigkeit der Lösung im System : Fischgrätensystem (Fig. 4A, 4B) : bis zu 400 ym/s Feldkäfig (Fig. 1,2,3) : bis zu 50-100 Hm/s Weiche (Fig. 4B, 46a, 46b) : bis zu 1000 ßm/s Mikrobeads : (konkret : Latex, Durchmeser 15 : Zm) Ansteueramplituden : 2,5 bis 15 V nutzbare Frequenzen : 10 kHz bis 100 MHz (üblicherweise 100 bis 1 MHz) Signalform : Sinussignale, Rechtecksignale Schaltgeschwindigkeit Zu-und Abschaltung der Elektroden : 1 As bis 1 s Dauer der Feldapplikation : 1 ms bis Minuten Funktionsfähigkeit der Grundelemente in Abhängigkeit von der Strömungsgeschwindigkeit der Lösung im System : Fischgrätensystem (Fig. 4A, 4B) : bis zu 2000 Um/s Feldkäfig (Fig. 1,2,3) : bis zu 80 ym/s Weiche (Fig. 4B, 46a, 46b) : bis zu 2000 ym/s.

Die oben unter Bezug auf Fig. 1 beispielhafte Verfahrensweise kann unter Verwendung des erläuterten Prinzips auch bei anderen Elektrodenanordnungen und-geometrien durchgeführt werden, wobei jeweils mit einer Zwei-Schritt-Prozedur die Elektroden zunächst so angesteuert werden, daß sich ein Potentialwall quer zu einer Suspensionsströmung ausbildet und sobald das oder die gewünschten Teilchen im Innenraum angelangt sind, die Elektroden so angesteuert werden, daß sich der Feldkäfig in gewünschter Weise schließt.

Die erfindungsgemäßen Elektrodenanordnungen und-verfahren können zur Vermessung, Manipulation, Konzentrierung, Aggregat- bildung, Immobilisierung, Charakterisierung oder Identi- fizierung von Mikropartikeln, Zellen, Viren, Makromolekülen und anderen flüssigen oder festen Körpern einer Größe von 1 nm bis zu 500 Hm verwendet werden.

Fig. 5 zeigt einen beispielhaften Feldlinienverlauf in einem erfindungsgemäß gebildeten Feldkäfig aufgrund einer modifi- zierten Pfeilelektrodenanordnung. Dargestellt sind die Äquipotentiallinien (E2rms, zeitlich gemittelt, also das Potential für die dielektrophoretische Kraft). Deutlich erkennbar sind die asymmetrische Feldverteilung im Käfig wie auch außerhalb und die zugrundegelegte Pfeilelektrodenform.