以下、本発明の好適な実施形態について� ��図面を参照して詳細に説明する。なお、各� ��において同一又は相当要素には同一符号を� ��し、重複する説明を省略する。

(第1実施形態)
 図1は、本発明の第1実施形態に係る電子線� �を含む電子線照射装置の断面図である。図1� ��示すように、電子線照射装置11は、いわゆ� �バッチ式のものであり、例えば被照射物M1の 乾燥、殺菌又は表面改質等を行なうものであ る。この電子線照射装置11は、チャンバ110、� ��容容器120、電子銃130及び制御部140を備えて� ��る。

 チャンバ110は、電子銃130が取り付けられ� ��第1チャンバ部111と、収容容器120が取り付け られる第2チャンバ部112と、を有している。� �1チャンバ部111は、金属により円柱状に形成� ��れている。この第1チャンバ部111には、その 軸線方向(図示上下方法;以下「Z方向」という )に沿って延在する断面円形状の電子線通過� �113が設けられている。この電子線通過孔113� �、小径部113aと大径部113bとが連続された形状 とされている。

 第2チャンバ部112は、金属により台形板状 に形成され、第1チャンバ部111の小径部113a側� ��ボルトで固定されている。この第2チャンバ 部112には、電子線通過孔113に連通すると共に 、Z方向視において断面矩形状の電子線通過� �114が設けられている。また、この電子線通� �孔114は、外側(図示下側)に向かって末広がり の形状とされている。また、チャンバ110の電 子線通過孔113,114には、当該電子線通過孔113,1 14内を真空引きするための真空ポンプ(不図示 )が連結されている。

 収容容器120は、その内部に被照射物M1を� �容する。この収容容器120は、その外壁120aに� ��けられた連結口121に第2チャンバ部112が気密 に連結されている。これにより、収容容器120 の内部と電子線通過孔114とが互いに連通する ようになっている。また、収容容器120には、 収容容器120内を真空引きするため真空ポンプ (不図示)が連結されている。

 電子銃130は、電子線EB1をZ方向に出射する ものであり、ケース131、基部132及びコネクタ 133を有している。ケース131は、金属により直 方体状に形成され、第1チャンバ部111に気密� �連結されている。基部132は、ケース131内に� �容され、電子線通過孔113の大径部113b内に突� ��している。また、この基部132は、その先端� ��が電子線通過孔113の小径部113aに対向するよ うに配設されている。

 コネクタ133は、外部の電源装置(不図示)� �らカソード153(後述)に高電圧を供給するため のものである。このコネクタ133は、ケース131 の外壁131aにおいてZ方向に交差する方向(図示 左右方法;以下「X方向」という)側から差し込 まれ、基部132中に埋没されて固定されている 。コネクタ133の先端には、一対の内部配線134 ,134が接続されている。

 内部配線134,134は、コネクタ133の先端から 基部132の中心に向かってX方向に延在すると� �に、基部132の中心で折り曲げられて先端部� �で延在している。この内部配線134,134には、� ��部132の先端部に埋設されたソケット135,135を 介して、電子線放出ユニット150に連結されて いる。

 図2は、電子線放出ユニットを示す断面図 である。図2に示すように、電子線放出ユニ� �ト150は基部132の先端部に対して着脱自在に� �けられたものであり、各部材の消耗等に伴� �て交換が可能となっている。この電子線放� �ユニット150は、絶縁基体151と、給電導体152,1 52と、カソード(電子線源)153と、包囲部材156� �、蓋部材157と、を備えている。

 絶縁基体151は、例えばセラミック等の絶� ��性材料で形成されており、給電導体152,152と 、カソード153と、包囲部材156と、蓋部材157と を支持している。給電導体152,152は、例えば� �バール金属からなる略円柱状の給電用ピン� �あり、電子放出方向であるZ方向に突出する� ��うに絶縁基体151に貫通保持されている。こ� ��らの給電導体152,152の一端部は、ソケット135 ,135を介して内部配線134,134に電気的に連結さ� ��ている。給電導体152の他端部(先端部)は、� �の一部が切り欠かれたような半円柱状を呈� �ている。さらに、給電導体152の他端部には� �カソード153を連結するためのものとして、� �ソード153の支持部158a(後述)の軸線に沿った� �である平坦面152aが形成されている(図4参照)� ��換言すると、支持部158aと線接触又は面接触 するように、平坦面152aが給電導体152の他端� �に形成されている。

 カソード153は、電子線EB1となる電子を発� ��させて放出するものである。カソード153は� ��給電導体152,152の先端部に掛け渡されるよう に形成されている。このカソード153の周囲に は、いわゆるグリッドである中間電極154が設 けられている。中間電極154は、カソード153の 一端と電気的に接続されてカソード153の一端 と同電位になっている。この中間電極154は、 その中心側の開口に向かって傾斜した凹構造 によって、電子が集束するような電界を発生 させると共に、電子線放出ユニット150を基部 132に押さえ付けるように固定する。また、必 要に応じて、バイアス抵抗で誘起される所定 バイアス電圧を中間電極154に印加することで 、所望の電界を形成することができる。この カソード153の絶縁基体151側には、一方の給電 導体152に支持された反射板155が配設されてい てもよい。反射板155は、カソード153から放出 された電子をZ方向側に反射することで、電� �線EB1の線量を増加させることができる。

 また、絶縁基体151上には、給電導体152,152 の前端部を包囲する導電体からなる包囲部材 156が固定されている。包囲部材156の前端面に は、包囲部材156の開口を覆い塞ぐ導電体から なる薄板状の蓋部材157が配置されている。蓋 部材157には、長方形状のアパーチャ157a(図3参 照)が設けられている。このアパーチャ157aは� ��Z軸方向から見て、カソード153を含むように 構成されている。包囲部材156及び蓋部材157は 、中間電極154と接触され、中間電極154と同電 位とされている。

 図1に戻り、制御部140は、電子線照射装置 11の全体を制御するためのものであり、例え� ��CPU、ROM、及びRAM等で構成されている。

 次に、上述したカソード153について詳細� ��説明する。図3はカソードを示す一部断面拡 大図、図4はカソードの接続部分を示す拡大� �である。図3に示すように、カソード153は、� ��の字状のピン形状を呈しており、電位が供� ��される給電部材158と、この給電部材158に隙� ��なく巻き回され(密巻きされ)電子を放出す� �電子放出部材159と、を備えている。

 給電部材158は、タングステンで形成され� ��円形断面の線状を呈している。ここでは、� ��電部材158の径は、150μmとしている。この給� ��部材158は、コの字状に屈曲されて(曲げられ て)形成されている。具体的には、給電部材15 8は、Z方向に延在し且つ給電導体152に接続さ� ��る支持部158a,158aと、Z方向に直交する方向(� �まり、電子線放出ユニット150では蓋部材157� �前面に沿う方向(所定の方向))に延在する延� �部158bと、を有している。そして、給電部材1 58の略直角な角部である曲部(規制部)158c,158c� �介して、支持部158a,158a及び延在部158bが連続� ��ている。

 電子放出部材159は、タンタルで形成され� ��円形断面の線状を呈している。ここでは、� ��子放出部材159の径は、100μmとしている。つ� ��り、この電子放出部材159としては、その径� ��給電部材158の径よりも小さい(給電部材158の 径が電子放出部材159の径よりも大きい)もの� �用いられている。

 また、電子放出部材159は、給電部材158(支 持部158a,158a及び延在部158b)を覆うように当該� ��電部材158に設けられている。具体的には、� ��5(a)に示すように、電子放出部材159は、その 外周面S1のうち隣接する電子放出部材159の外� ��面(外面)S11が互いに接触するように、給電� �材158の一端から他端に向かって順次に巻き� �されている。そして、延在部158bを覆う電子� ��出部材159が、電子放出源の主要部として機� ��する。

 また、この電子放出部材159には、例えば� ��化水素系のガスによる炭化処理が施されて� ��てもよい。ここでは、電子放出部材159にお� ��て外周面S1のうち露出する外周面S12を含む� �定領域が、炭化タンタルとなっている。な� �、炭化処理として、炭素を付着(浸炭)させた 後に真空中にて通電させてもよい。

 また、図4に示すように、カソード153の端 部は、平坦面152aと対向する部分の全体が接� �部G1となるように給電導体152に連結されてい る。具体的には、例えば抵抗溶接やレーザ溶 接等によって平坦面152aにおける接合部G1領域 が溶融され、カソード153が埋入するように溶 接されて接合されている。つまり、給電導体 152が平坦面152aを有することで、カソード153� �、給電導体152に面状の接合部G1を介して接合 されている。これにより、カソード153にあっ ては、給電導体152に電気的にも強度的にも安 定して接続され、給電導体152に保持される。 さらに、接合部G1が小さい場合、通電時に接� ��部G1の抵抗(接触抵抗)が大きくなることによ り熱を発生し、接合部G1が溶融して給電導体1 52とカソード153とが互いに離れてしまうおそ� ��があるが、本実施形態においては接合部G1� �十分に大きく取れるため、安定な保持が可� �となる。

 次に、上述した電子線照射装置11の動作� �ついて説明する。

 まず、収容容器120の内部に被照射物M1を� �置し、この収容容器120の内部及び電子線通� �孔113,114内を真空ポンプで真空引きする。続� ��て、内部配線134,134、ソケット135,135及び給� �導体152,152を介してカソード153に電圧を印加� ��る。

 カソード153に電圧を印加することで、給� ��部材158が通電加熱され、この熱が電子放出� ��材159に伝わり、電子を放出可能な所定温度� ��で電子放出部材159が加熱される。そして、� ��部配線134の一方に高電圧を印加することで� ��電子放出部材159に電流が流れ、電子放出部� ��159から電子が放出される。具体的には、電� ��放出部材159には、給電導体152,152を介して電 流が流れると共に、給電部材158と電子放出部 材159との接触面を介して電流が流れる。これ により、電子放出部材159の露出する外周面S12 から電子を放出される。

 この放出された電子は、中間電極154で発� ��させられた電界により加速及び集束され、� ��子線EB1として電子銃130から出射される。そ� ��て、電子線EB1は、電子線通過孔113,114を順次 通過して被照射物M1に照射されることになる� ��

 ところで、図5(b)に示すように、電子放出 部材159がコイル状である従来のカソード153a� �は、電子放出部材159を流れる電流は、その� �き回される巻回方向(電子放出部材159の軸線� ��向、図示B1方向)に沿って電流が流れる。

 これに対し、本実施形態にあっては、図5 (a)に示すように、隣接する電子放出部材159の 外周面S11が互いに接触するように、電子放出 部材159が給電部材158に巻き回されている。よ って、電子放出部材159においては、巻回方向 に沿って電流が流れるだけでなく、巻き進む 方向(図示A1方向)に沿っても電流が流れるこ� �になる。その結果、電子放出部材159の通電� �を向上することが可能となる。なお、電子� �出部材159を構成するタンタルは、柔軟性が� �るため、隙間無く巻き回すことが比較的容� �であるのに加え、給電部材158を構成するタ� �グステンは、その融点温度が非常に高く、� �変形を起こし難いため、隣接する電子放出� �材159の外周面S11が互いに接触する状態を安� �に保持することができる。

 さらに、電子放出部材159の露出する外周� ��S2が電子放出面として機能することから、� �子放出部材159が線状であるため、電子放出� �S12が凹凸の連続するような波状曲面を呈す� �ことになる。よって、従来のカソード153aや� ��子放出面が平面で構成された電子源に比べ� ��、一定の平面面積に占める電子放出面S12の� ��積を増加することが可能となる。従って、� ��実施形態によれば、エミッション量ひいて� ��エミッション特性(電子放出能)を向上する� �とができる。

 また、本実施形態では、上述したように� ��給電部材158が延在部158bを有し、電子放出部 材159が延在部158bに巻き回されている。この� �合、電子放出源の主要部として機能する延� �部158bに巻き回された電子放出部材159にあっ� ��は、隣接する電子放出部材159の外周面S11が� ��いに確実に接触することになる。

 また、カソード153に電圧が印加され、給� ��部材158及び電子放出部材159が高温化された� ��き、タンタルの熱膨張率がタングステンの� ��膨張率よりも大きいことから、電子放出部� ��159がその巻き進む方向に移動してしまう(ズ レてしまう)おそれがある。これに対し、本� �施形態では、上述したように、曲部158cが延� ��部158bの両端に形成されている。よって、熱 膨張した電子放出部材159は、両端の曲部158c� �その巻き進む方向に沿う方向に挟み込まれ� �ように係止されることになる。そのため、� �膨張した電子放出部材159の移動を曲部158cで� ��制することができ、隣接する電子放出部材1 59の外周面S11が互いに確実に接触する状態を� ��適に維持することができる。

 なお、電子放出部材159の巻き回し程度が� ��年変化や使用頻度等により緩く(甘く)なる� �合があるため、隣接する電子放出部材159の� �周面S11が互いに確実に接触するように巻き� �された状態を維持するという上記効果は特� �有効である。さらに、曲部158cの形成に際し� ��は、給電部材158を曲げることで足り、別部� ��によって規制部を設ける必要がない。よっ� ��、かかる効果を、高温環境下でも規制部の� ��損や脱落のおそれなく安定に実現すること� ��できると共に、低廉且つ簡易に実現するこ� ��が可能である。

 また、本実施形態では、上述したように� ��給電部材158及び電子放出部材159が円形断面� ��線材であって、給電部材158の径が電子放出� ��材159の径よりも大きくなっている。そのた� ��、電子放出部材159を給電部材158に容易に巻� ��回すことができると共に、電子放出面S12の� ��積を一層増加することができる。

 ここで、従来のカソードでは、タングス� ��ンからなる合金で給電部材158と電子放出部� ��159とが区別無く一体に形成される場合があ� ��。この場合、エミッション量を増やすため� ��動作温度を高温(例えば、約2,300℃)にせざる を得ない。よって、カソードに局部的な消耗 が生じた場合、消耗部の抵抗値が大きくなる ことで消耗部が高温化し、高温化した消耗部 に電子放出が集中することでさらに局所的な 消耗が進展してしまう。そして、この場合、 最終的にはカソード本体が破断に到ることで 、カソードの寿命が短寿命となってしまうお それがあった。

 この点、本実施形態では、タングステン� ��らなる給電部材158にタンタルからなる電子� ��出部材159を巻き回してカソード153が形成さ� ��ることから、次の効果を奏する。すなわち� ��下表1に示すように、従来のカソードの電子 放出部として使用されていたタングステンに 比較して電子放出部材159の仕事関数が低下さ れるため、動作温度を約2,050℃に低下させる� ��とが可能となる。その結果、同じ動作温度� ��もエミッション量を増加することでき、エ� ��ッション特性を向上することが可能となる� ��また、同じエミッション量を得るための動� ��温度が低下されることから、給電部材158及� ��電子放出部材159の再結晶化を抑制できると� ��に、給電部材158からの電子放出が抑制され� ��ことで電子放出による給電部材158の消耗が� ��制されるため、カソード153自体の破断を抑� ��でき、カソード153の長寿命化が可能となる� ��動作温度が高い程、電子放出部材159の硬度� ��低下し脆くなる点からも、動作温度が低下� ��れる上記効果は特に有効である。

 また、本実施形態において、電子放出部� ��159に炭化処理が施されている場合、電子放� ��部材159に炭化タンタルが含まれることにな� ��。炭化タンタルは、仕事関数が一層小さく� ��つ融点が一層高いという特性(下表1参照)を� ��している。よって、カソード153の一層の長� ��命化が可能となる。さらに、炭化タンタル� ��、ガス被毒特性が高いため、真空度の低い� ��境下においてもカソード153を好適に使用す� ��ことができる。よって、被照射物の交換の� ��に真空排気を行うような場合に特に好まし� ��といえる。

[表1]
物性値   W(タングステン) Ta(タンタル) TaC( 炭化タンタル)
仕事関数(eV)  4.55     4.10        3.61
融点(℃)     3420     3020        3980

 また、本実施形態では、上述したように� ��電子放出部材159が給電部材158に密巻きされ� ��いることから、以下の効果をさらに奏する� ��すなわち、電子放出部材159の一部が破断し� ��場合でも、隣接する電子放出部材159の外周� ��S11を介しても通電しているため、電子放出� ��材159における電流の流れが遮断されること� ��なく、電子の放出を持続させることができ� ��。さらに、電子放出部材159の一部が破断し� ��としても、電子放出部材159が給電部材158に� ��き回された状態で保持されているため、電� ��放出部材159が脱落するのを防止することが� ��きる。給電部材158の露出面積を抑制でき、� ��電部材158の酸化反応を抑制できる。給電部� ��158に電子放出部材159が巻き回されているだ� ��なので、低コスト化が実現できる。

 また、上述したように、電子放出部材159� ��給電部材158に対して隙間無く密着するよう� ��巻き回されているため、電気抵抗が均一化� ��れ発生するジュール熱が均一になる結果、� ��子放出部材159の全体を均一に加熱すること� ��でき、電子放出部材159の各部から均一に電� ��を放出することができる。

 ここで、説明したカソード153と、カソー� ��153と同一構造ながら電子放出部材をタング� ��テンで形成した従来のカソードと、に関し� ��エミッション量と動作温度との関係を実測� ��て比較した。その結果、同じエミッション� ��が、カソード153では2,050℃のとき、従来の� �ソードでは2,300℃のときに得られることが確 認できた。これにより、動作温度の低減等の 上記効果を確認することができた。

 以上、本発明の好適な実施形態について� ��明したが、本発明は、上記実施形態に限定� ��れるものではない。例えば、上記実施形態� ��は、カソード153を電子線照射装置11に用い� �が、X線管(X線照射装置)に用いてもよい。

 図6は、本発明の一実施形態に係る電子線 源を含むX線管の断面図である。図6に示すよ� ��に、X線管160は、印加電圧が10keV程度の低電� ��用のものであり、円筒状のバルブ161を有し� ��いる。このバルブ161の基端には、ステム162� ��形成されている一方、バルブ161の開放端に� ��、出力窓163が形成されている。出力窓163に� ��、X線を発生させるためのターゲット164が蒸 着されている。ステム162には2本の給電導体15 2,152が固定され、これらの給電導体152,152の先 端部にはカソード153が掛け渡されている。カ ソード153は、給電導体152に抵抗溶接されてい る。また、カソード153を構成する給電部材は 、径が50μmの円形断面の線状のタングステン� ��コの字状のピン形状としたものであり、カ� ��ード153を構成する電子放出部材は、径が25μ mの円形断面の線状のタンタルを給電部材に� �き回したものであり、必要に応じて炭化処� �が施されている。

 このX線管160においても、上記効果と同様 な効果、すなわち、電子放出部材159の通電性 を向上させると共に電子放出面S12の面積を増 加させるという効果を奏する。また、このX� �管160では、電子放射の影響でカソード153の� �が細くなりカソード153が破断してしまうと� �うことを防止できる。

 また、上記実施形態では、給電部材158の� ��端から他端に亘る領域に、隣接する電子放� ��部材159の外周面S11が互いに確実に接触する� ��うに電子放出部材159を巻き回したが、これ� ��限定されるものではない。少なくとも電子� ��出源の主要部として機能する延在部158b(給� �部材158の少なくとも一部)に、隣接する電子� ��出部材159の外周面S11が互いに確実に接触す� ��ように巻き回しておけば、支持部158aが露出 するように電子放出部材を巻き回してもよい し、支持部158aに電子放出部材を巻き回さな� �てもよい。また、上記実施形態では、電子� �出部材159に炭化処理を施したが、この炭化� �理を施さない場合がある。

 また、上記実施形態では、給電部材158及� ��電子放出部材159の断面を円形としたが、こ� ��らの断面は、楕円形であってもよく、多角� ��であってもよい。また、給電部材158を線状� ��したが、薄板状であってもよい。

 また、上記実施形態では、給電部材158を� ��ングステンで、電子放出部材159をタンタル� ��形成したが、給電部材158をタングステンを� ��む合金(材料)で形成してもよく、また、電� �放出部材159をタンタルを含む合金で形成し� �もよい。

 また、上記実施形態では、カソード153の� ��部において平坦面152aと対向する部分が接合 部G1となるように、カソード153と給電導体152� ��を溶接によって直接接合したが(図4参照)、� ��7及び図8に示すように、パイプ181を用いて� �ソード153と給電導体152と接合してもよい。� �体的には、パイプ181は、円筒状の導電材料� �らなり、カソード153の端部と電気的に接続� �れるように当該カソード153の端部を覆って� �る。パイプ181を構成する導電材料は、ニッ� �ルやコバール等のカソード153を構成する材� �よりも融点の低い金属としている。そして� �接合の際、給電導体152と同様にパイプ181が� �融されている。これにより、給電導体152と� �ソード153とを一層強く接合することができ� �。

(第2実施形態)
 次に、本発明の第2実施形態に係る電子線照 射装置について説明する。図9は、本発明の� �2実施形態に係る電子線照射装置の断面図で� ��る。図9に示すように、電子線照射装置21は� ��いわゆるバッチ式のものであり、例えば被� ��射物M2の乾燥、殺菌又は表面改質等を行な� �ものである。この電子線照射装置21は、チャ ンバ210、収容容器220、電子銃230及び制御部240 を備えている。

 チャンバ210は、電子銃230が取り付けられ� ��第1チャンバ部211と、収容容器220が取り付け られる第2チャンバ部212と、を有している。� �1チャンバ部211は、金属により円柱状に形成� ��れている。この第1チャンバ部211には、その 軸線方向(図示上下方向;以下「Z方向」という )に沿って延在する断面円形状の電子線通過� �213が設けられている。この電子線通過孔213� �、小径部213aと大径部213bとが連続された形状 とされている。

 第2チャンバ部212は、金属により台形板状 に形成され、第1チャンバ部211の小径部213a側� ��ボルトで固定されている。この第2チャンバ 部212には、電子線通過孔213に連通すると共に 、Z方向視において断面矩形状の電子線通過� �214が設けられている。また、この電子線通� �孔214は、外側(図示下側)に向かって末広がり の形状とされている。このチャンバ210の電子 線通過孔213,214には、当該電子線通過孔213,214� ��を真空引きするための真空ポンプ(不図示)� �連結されている。

 収容容器220は、その内部に被照射物M2を� �容する。この収容容器220は、その外壁220aに� ��けられた連結口221に第2チャンバ部212が気密 に連結されている。これにより、収容容器220 の内部は、電子線通過孔214に連通するように 構成されている。また、収容容器220には、当 該収容容器220内を真空引きするための真空ポ ンプ(不図示)が連結されている。

 電子銃230は、電子線EB2をZ方向に出射する ものであり、ケース231、基部232及びコネクタ 233を有している。ケース231は、金属により直 方体状に形成され、第1チャンバ部211に気密� �連結されている。基部232は、ケース231内に� �容され、電子線通過孔213の大径部213b内に突� ��している。また、この基部232は、その先端� ��が電子線通過孔213の小径部213aに対向するよ うに配設されている。

 コネクタ233は、外部の電源装置(不図示)� �らカソード253(後述)に高電圧を供給するため のものである。このコネクタ233は、ケース231 の外壁231aにおいてZ方向に交差する方向(図示 左右方向;以下「X方向」という)側から差し込 まれ、基部232中に埋没されて固定されている 。コネクタ233の先端には、一対の内部配線234 ,234が接続されている。

 内部配線234,234は、コネクタ233の先端から 基部232の中心に向かってX方向に延在すると� �に、基部232の中心で折り曲げられて先端部� �で延在している。この内部配線234,234には、� ��部232の先端部に埋設されたソケット235,235を 介して、電子線放出ユニット250に連結されて いる。

 図10は、電子線放出ユニットを示す断面� �である。図10に示すように、電子線放出ユニ ット250は基部232の先端部に対して着脱自在に 設けられたものであり、各部材の消耗等に伴 って交換が可能となっている。この電子線放 出ユニット250は、絶縁基体251と、給電導体252 ,252と、カソード(電子線源)253と、包囲部材256 と、蓋部材257と、を備えている。

 絶縁基体251は、例えばセラミック等の絶� ��性材料で形成されており、給電導体252,252と 、カソード253と、包囲部材256と、蓋部材257と を支持している。給電導体252,252は、例えば� �バール金属からなる略円柱状の給電用ピン� �あり、電子放出方向であるZ方向に突出する� ��うに絶縁基体251に貫通されて保持されてい� ��。これらの給電導体252,252の一端部は、ソケ ット235,235を介して内部配線234,234に電気的に� ��結されている。給電導体252の他端部(先端部 )は、その一部が切り欠かれたような半円柱� �を呈している。さらに、給電導体252の他端� �には、カソード253を連結するためのものと� �て、カソード253の支持部258a(後述)の軸線に� �った面である平坦面252aが形成されている(図 12参照)。換言すると、支持部258aと線接触又� �面接触するように、平坦面252aが給電導体252� ��他端部に形成されている。

 カソード253は、電子線EB2となる電子を発� ��させて放出するものである。カソード253は� ��給電導体252,252の先端部に掛け渡されるよう に形成されている。このカソード253の周囲に は、いわゆるグリッドである中間電極254が設 けられている。中間電極254は、その中心側の 開口に向かって傾斜した凹構造によって、電 子が集束するような電界を発生させ、さらに 、バイアス抵抗で誘起される所定バイアス電 圧を印加することで、所望の電界を形成する ことができると共に、電子線放出ユニット250 を基部232に押さえ付けるように固定する。ま た、必要に応じて、カソード253と電気的に接 続してカソード253と同電位にしてもよい。

 また、絶縁基体251上には、給電導体252,252 の前端部を包囲する導電体からなる包囲部材 256が固定されている。包囲部材256の前端面に は、包囲部材256の開口を覆い塞ぐ導電体から なる薄板状の蓋部材257が配置されている。蓋 部材257には、円形状のアパーチャ257a(図11参� �)が設けられている。このアパーチャ257aは、 Z軸方向から見て、カソード253を含むように� �成されている。包囲部材256及び蓋部材257は� �中間電極254と接触され、中間電極254と同電� �とされている。

 図9に戻り、制御部240は、電子線照射装置 21の全体を制御するためのものであり、例え� ��CPU、ROM、及びRAM等で構成されている。

 次に、上述したカソード253について詳細� ��説明する。図11はカソードを示す一部断面� �、図12はカソードの接続部分を示す拡大図で ある。図11に示すように、カソード253は、い� ��ゆるヘアピン型のものであり、尖頭部253xを 有する略逆V字のピン形状を呈している。こ� �カソード253は、図12に示すように、給電導体 252の平坦面252aにカソード253の端部が接合部G2 を介して接合され保持されている。このカソ ード253は、電位が供給される給電部材258と、 この給電部材258に隙間なく巻き回され(密巻� �され)電子を放出する電子放出部材259と、を� ��えている。

 給電部材258は、タングステンで形成され� ��円形断面の線状を呈している。ここでは、� ��電部材258の径は、150μmとしている。この給� ��部材258は、略逆V字に屈曲されて(曲げられ� �)形成されている。具体的には、給電部材258� ��、二つ折りされるようにして尖った尖部258b と、この尖部258bの両端に連続され裾拡がり� �裾部258aと、を含んで構成されている。

 電子放出部材259は、タンタルで形成され� ��おり、円形断面の線状を呈している。ここ� ��は、電子放出部材259の径は、100μmとしてお� ��、給電部材258の径よりも小さくなっている( 給電部材258の径が電子放出部材259の径よりも 大きくなっている)。この電子放出部材259は� �給電部材258の少なくとも一部を覆うように� �該給電部材258に巻き回されている。また、� �子放出部材259は、炭化処理が施されており� �炭化タンタルをさらに含んでいる(詳しくは� ��後述)。そして、尖部258bを覆う電子放出部� �259が、電子放出源の主要部として機能する� �

 この電子線照射装置21を用いて電子線EB2� �被照射物M2に照射する場合、被照射物M2が配� ��された収容容器220内及び電子線通過孔213,214 内を真空とした状態で、内部配線234,234、ソ� �ット235,235及び給電導体252,252を介してカソー ド253に電圧を印加する。これにより、給電部 材258が通電加熱され、この熱が電子放出部材 259に伝わり、電子を放出可能な所定温度まで 電子放出部材259が加熱される。

 続いて、内部配線234,234の何れか一方に高 電圧を印加することで、給電導体252,252を介� �て電子放出部材259に電流が流れると共に、� �電部材258と電子放出部材259との接触面を介� �て電子放出部材259に電流が流れる。これに� �り、電子放出部材259の外周面S2のうち露出す る外周面S22から電子が放出されることになる 。そして、放出された電子が電子線EB2として 電子銃230から出射され、出射された電子線EB2 が電子線通過孔213,214を順次通過して被照射� �M2に照射される。

 次に、上述したカソード253の製造方法に� ��いて、図13に基づいて詳細に説明する。

 まず、図13(a)に示すように、タンタルか� �なり線状を呈する線材259Pを、タングステン� ��らなり線状を呈する基材258Pに当該基材258P� �覆われるように巻き回す。具体的には、隣� �する線材259Pの外周面が互いに接触するよう� ��、基材258Pの一端から他端に向かって線材259 Pを隙間なく巻き回す。ここでは、基材258Pの� ��を0.15mmとし、線材259Pの径を0.10mmとしている 。また、線材259Pを基材258Pに密着するように� ��き回している。

 続いて、図13(b)に示すように、所定の長� �(例えば18mm)に切断し、基材258Pに線材259Pが巻 きまわされてなる棹状の複合構造体253Pを形� �する。

 続いて、図13(c)に示すように、複合構造� �253Pを屈曲させ、当該複合構造体253Pを所定の 形状(ここでは略逆V字状)に成型する(成形工� �)。このとき、その屈曲部において、主な電� ��放出部となる尖頭部253xの先端部分にまで確 実に通電可能にすべく、複合構造体253Pの対� �する部分同士が互いに接触しないように成� �する。

 その後、図13(d)に示すように、無酸素雰� �気中(窒素雰囲気)にて、絶縁基体251に固定し た給電導体252の複合構造体253Pの端部を、平� �面252aと対向する部分全体が接合部G2となる� �うに平坦面252aに当接し、この当接した部分� ��例えば抵抗溶接やレーザ等による電気溶接� ��施す。これにより、平坦面252aにおける接合 部G2領域が溶融され、カソード253が埋入する� ��うに溶接されて接合される。その結果、面� ��の接合部G2を介して複合構造体253Pが給電導� ��252に電気的に接合される。このように複合� ��造体253Pと給電導体252とを接合することで、 複合構造体253Pを給電導体252に電気的にも強� �的にも安定して接続でき、複合構造体253Pを� ��電導体252で好適に保持できる。さらに、接� ��部G2が小さい場合、通電時に接合部G2の抵抗 (接触抵抗)が大きくなることにより熱を発生� ��、接合部G2が溶融して給電導体252と複合構� �体253P(カソード253)とが離れてしまうおそれ� �あるが、本実施形態においては接合部G2を十 分に大きく取れるため、安定な保持が可能と なる。

 続いて、複合構造体253Pの線材259Pに炭化� �理を施す(炭化工程)。すなわち、まず、複合 構造体253Pを保持した絶縁基体251を真空装置23 内に収容する。具体的には、給電導体252にお いて複合構造体253Pが連結された側と反対側� �先端252bが、真空装置23外の大気中に露出す� �ように、複合構造体253Pを保持した絶縁基体2 51を真空装置23内に収容する。そして、この� �端252bに通電加熱用電源25を電気的に接続す� �。

 その後、真空装置23内と大気系とをバル� �にて遮断し、真空装置23内を真空ポンプ24で� ��空にした後、この真空装置23内に炭化水素� �のガス(例えば、エチレンガス等)を導入する 。なお、この炭化水素系ガスに加えて、複合 構造体253Pの表面を還元させる還元剤として� �水素ガス、金属素材蒸発を抑制するための� �ガス(例えば、アルゴン等)を導入してもよい 。

 これと共に、通電加熱用電源25で複合構� �体253Pを所定の時間だけ通電加熱し、複合構� ��体253Pの動作温度を例えば2,000℃以上とする� ��その結果、線材259Pが炭化される(炭化反応� �域が形成される)。ここでは、線材259Pにおい て露出する外周面を含む所定領域を、炭化タ ンタルに炭化させている。これにより、炭化 処理の施された線材259Pが電子放出部材259と� �て形成され、基材258Pを給電部材258とする複� ��構造体253Pがカソード253として形成されるこ ととなる。

 なお、通電加熱用電源25で通電加熱され� �複合構造体253Pの温度は、2000℃から2500℃の� �が好ましく、2200℃程度がより好ましい。こ� ��は、通常、2000℃から複合構造体253Pの炭化� �応が生じ、温度を上げる程に炭化反応の生� �速度が速まるということが一般的であるが� �高温(2500℃以上)すぎると基材258Pのタングス� ��ンの再結晶化が促進され、脆くなるためで� ��る。また、本実施形態では、所望な炭化反� ��領域の深さを得るべく、通電加熱用電源25� �おける通電時間の長さが適宜調整されてい� �。

 以上、本実施形態では、タンタルの線材2 59Pを基材258Pに巻き回した後、この線材259Pに� ��化処理を施している。よって、炭化タンタ� ��が含まれた線材259Pを、基材258Pに巻き回す� �うに設けることが可能となる。すなわち、� �温耐性に優れたタングステンの基材258Pに、� ��事関数の小さい炭化タンタルを含む線材259P を安定して固定することが可能となる。従っ て、本実施形態によれば、電子放射効率が高 く且つ長寿命なカソード253を得ることができ る。

 また、本実施形態では、上述したように� ��線材259Pを巻き回した後であって炭化処理を 施す前に、線材259Pが巻き回された基材258P(複 合構造体53P)を所定の形状に成型している。� �って、複合構造体253Pの成型の際に、硬度が� ��く加工が困難な炭化タンタルが線材259Pに含 まれていないため、複合構造体253Pの成型を� �易に行なうことができる。

 また、上述したように、給電部材258と電� ��放出部材259との接触面を介して電子放出部� ��259に電流が流れることから、この接触面に� ��化物が存在すると、電気抵抗値が増加して� ��ミッション量が低下するという問題がある� ��この点、本実施形態では、線材259Pを基材258 Pに巻き回した後に線材259Pに炭化処理を施す� ��とで、給電部材258及び電子放出部材259を形� ��する。よって、給電部材258と電子放出部材2 59との接触面に炭化物が付着することを抑制� ��き、かかる問題を防止することができる。

 また、本実施形態では、上述したように� ��電子放出部材259が給電部材258に巻き回され� ��いることから、以下の効果を奏する。すな� ��ち、電子放出部材259の一部が破断したとし� ��も、電子放出部材259が給電部材258に保持さ� ��るため、電子放出部材259が脱落するのを防� ��することができる。給電部材258に電子放出� ��材259が巻き回されているだけなので、低コ� ��ト化が実現できる。

 また、本実施形態では、上述したように� ��基材258P及び線材259Pが円形断面を呈し、基� �258Pの径が線材259Pの径よりも大きくなってい るため、線材259Pを基材258Pに容易に巻き回す� ��とができる。さらに、線材259Pを基材258Pに� �着するように巻き回していることから、電� �放出部材259の全体を給電部材258で均一に加� �することができ、電子放出部材259から均一� �電子を放出することができる。

 また、本実施形態では、線材259Pにタンタ ルひいては炭化タンタルを含むため、次の効 果を奏する。すなわち、下表2に示すように� �従来のカソードの電子放出部材に使用され� �いたタングステンに比較して、電子放出部� �259の仕事関数が低下されるため、動作温度� �低下させることが可能となる。よって、同� �動作温度でもエミッション量を増加するこ� �でき、エミッション特性を向上することが� �能となる。また、同じエミッション量を得� �ための動作温度が低下され、電子放出部材25 9の再結晶化が抑制され、カソード253の長寿� �化が可能となる。動作温度が高い程、電子� �出部材259の硬度が低下し脆くなる点からも� �動作温度が低下される上記効果は特に有効� �ある。さらに、電子放出部材259の融点が上� �するため(下表2参照)、電子放出部材259の消� �を抑制することができ、このことからも、� �ソード253の長寿命化が可能となる。さらに� �炭化タンタルは、ガス被毒特性が高いため� �真空度の低い環境下においてもカソード253� �好適に使用することができる。よって、被� �射物の交換の度に真空排気を行なうような� �合に特に好ましいといえる。

[表2]
物性値   W(タングステン) Ta(タンタル) TaC( 炭化タンタル)
 仕事関数(eV) 4.55     4.10         3.61
 融点(℃)    3420     3020         398 0

(第3実施形態)
 次に、本発明の第3実施形態に係る電子線照 射装置について説明する。

 図14は、本発明の第3実施形態に係る電子� ��照射装置のカソードを示す一部断面図であ� ��。図14に示すように、本実施形態の電子線� �射装置270が上記第2実施形態の電子線照射装� ��21と異なる点は、カソード253を有する電子� �放出ユニット250(図11参照)に代えて、コの字� ��のピン形状のカソード273を有する電子線放� ��ユニット271を備えている点である。

 カソード273は、給電部材278と、この給電� ��材278に隙間なく巻き回された電子放出部材2 79とを備えている。

 給電部材278は、電位が供給されるもので� ��り、タングステンで形成されている。また� ��給電部材278は、円形断面の線状を呈してい� ��。この給電部材278は、コの字状に屈曲され� ��(曲げられて)形成されている。具体的には� �給電部材278は、Z方向に延在し且つ給電導体2 52に接続される支持部278a,278aと、Z方向に直交 する方向(つまり、電子線放出ユニット271で� �蓋部材257の前面に沿う方向)に延在する延在� ��278bと、を有し、給電部材278の略直角な角部 である曲部278c,278cを介して、支持部278a,278a及 び延在部278bが連続している。

 電子放出部材279は、電子を放出するもの� ��り、タンタルで形成されている。また、電� ��放出部材279は、円形断面の線状を呈してい� ��。この電子放出部材279は、給電部材278(支持 部278a,278a及び延在部278b)を覆うように当該給� ��部材278に巻き回されている。具体的には、� ��16に示すように、電子放出部材279は、その� �周面S2のうち隣接する外周面(外面)S21が互い� ��接触するように、給電部材278の一端から他� ��に向かって順次に巻き回されている。そし� ��、延在部278bを覆う電子放出部材279が、電子 放出源の主要部として機能する。

 また、電子放出部材279は、炭化処理が施� ��れており、炭化タンタルをさらに含んでい� ��。ここでは、電子放出部材279において外周� ��S2のうち露出する外周面S22を含む所定領域� �、炭化タンタルになっている(詳しくは、後� ��)。

 次に、上述したカソード273の製造方法に� ��いて、図15に基づいて詳細に説明する。

 まず、上記第2実施形態と同様に、タング ステンからなる線状の基材に、タンタルから なる線状の線材を巻き回す。具体的には、隣 接する線材の外周面が互いに接触するように 、基材の一端から他端に向かって線材を隙間 なく巻き回す。これにより、所定の長さ(例� �ば20mm)以上の長さを有する長尺棹状の複合構 造体を形成する。なお、タンタルは、柔軟性 があるため、隙間無く巻き回すことが比較的 容易であるのに加え、タングステンは、その 融点温度が非常に高く、熱変形を起こしにく いため、隙間無く巻き回した状態を安定に保 持することができる。

 続いて、図15(a)に示すように、複合構造� �273Pにおける線材に対し炭化処理を施す(炭化 工程)。すなわち、複合構造体273Pを真空装置2 3内に収容し、この複合構造体273Pの両端部を� ��リップ等の保持手段26で保持し、そして、� �持手段26に通電加熱用電源25を電気的に接続� ��る。その後、真空装置23内と大気系とをバ� �ブにて遮断し、真空装置23内を真空ポンプ24� ��真空にした後、この真空装置23内に炭化水� �系のガスを導入する。これと共に、通電加� �用電源25により保持手段26を介して複合構造� ��273Pを通電加熱する。その結果、線材が炭化 される。

 続いて、図15(b)に示すように、複合構造� �273Pを切断して屈曲し、複合構造体273Pを所定 の形状(ここでは略コの字状)に成型する(成型 工程)。そして、この成型した複合構造体273P� ��、接合部G2を介して電子線放出ユニット250� �給電導体252に電気溶接する。これにより、� �合構造体273Pがカソード273として形成される� ��とになる。

 以上、本実施形態においても、上記効果� ��同様な効果、すなわち、電子放射効率が高� ��且つ長寿命なカソード273を得ることができ� ��という効果を奏する。

 また、上述したように、電子放出部材279� ��、隣接する電子放出部材279の外周面S21が互� ��に接触するように給電部材278に巻き回され� ��いる。そのため、以下の効果を奏する。す� ��わち、電子放出部材279においては、電子放� ��部材279が巻き回される巻回方向(電子放出部 材279の軸線方向)に沿って電流が流れるだけ� �なく、図16に示すように、電子放出部材279が 巻き進む方向(図示A2方向)に沿っても電流が� �れることになる。よって、電子放出部材279� �通電性を向上することができる。

 さらに、電子放出部材279の露出する外周� ��S22が電子放出面として機能することから、� ��子放出部材279が線材であるため、電子放出� ��S22が凹凸の連続するような波状曲面を呈す� ��ことになる。よって、従来のカソードや電� ��放出面が平面で構成されたカソードに比べ� ��、一定の平面面積に占める電子放出面S22の� ��積を増加することが可能となる。これらに� ��り、エミッション量ひいてはエミッション� ��性(電子放出能)を向上することができる。

 ここで、カソード273に電圧が印加され、� ��電部材278及び電子放出部材279が高温化され� ��とき、タンタルの熱膨張率がタングステン� ��熱膨張率よりも大きいことから、電子放出� ��材279がその巻き進む方向に移動してしまう( ズレてしまう)おそれがある。これに対し、� �実施形態では、上述したように、曲部278cが� ��在部278bの両端に形成されるように給電部材 278が屈曲されている。よって、熱膨張した電 子放出部材279は、その巻き進む方向に沿う方 向に、両端の曲部278cで挟み込まれるように� �止されることになる。そのため、熱膨張し� �電子放出部材279の移動を曲部278cで規制する� ��とができ、隣接する電子放出部材279の外周� ��S21が互いに確実に接触する状態を好適に維� ��することができる。そのため、曲部278cは、 電子放出部材279の巻き進む方向に沿う方向に 当該電子放出部材279が移動するのを規制する 規制部として機能するといえる。

 なお、電子放出部材279の巻き回し程度が� ��年変化や使用頻度等により緩く(甘く)なる� �とがあるため、隣接する電子放出部材279の� �周面S21が互いに確実に接触するように巻き� �された状態を維持するという上記効果は特� �有効である。さらに、曲部278cの形成に際し� ��は、給電部材278を曲げることで足り、別部� ��によって規制部を設ける必要がない。よっ� ��、かかる効果を、高温環境下でも規制部の� ��損や脱落のおそれなく安定に実現すること� ��できると共に、低廉且つ簡易に実現するこ� ��が可能である。

(第4実施形態)
 次に、本発明の第4実施形態に係る電子線照 射装置について説明する。

 図17は、本発明の第4実施形態に係る電子� ��照射装置のカソードを示す一部断面図であ� ��。図17に示すように、本実施形態の電子線� �射装置290が上記第3実施形態の電子線照射装� ��270と異なる点は、電子放出部材279が給電部� ��278に隙間なく巻き回されたカソード273を有� ��る電子線放出ユニット271(図14参照)に代えて 、電子放出部材279が給電部材278に隙間B2を空� ��て巻き回された(疎巻きされた)カソード293� �有する電子線放出ユニット291を備えている� �である。

 具体的には、図17に示すように、電子放� �部材279は、その外周面S2のうち隣接する外周 面(外面)S21の間に隙間B2が形成されるように� �給電部材278の一端から他端に向かって順次� �巻き回されている。換言すると、電子放出� �材279は、給電部材278の少なくとも一部を覆� �ように当該給電部材278に設けられている。

 このカソード293においても、上記第3実施 形態のカソード273と同様な製造方法により製 造される。すなわち、カソード293を製造する 場合、タングステンからなる線状の基材に、 タンタルからなる線状の線材を巻き回すこと で長尺棹状の複合構造体を形成し、この複合 構造体に炭化処理を施し、その後、複合構造 体を所定の形状に成型する。

 以上、本実施形態では、上記効果と同様� ��効果、すなわち、電子放射効率が高く且つ� ��寿命なカソード293を得ることができるとい� ��効果を奏する。また、この場合、電子放出� ��材279を給電部材278に容易に巻き回すことが� ��きる。

 また、本実施形態では、炭化処理により� ��タンタルと共にタングステンも炭化される� ��、炭化タングステンの硬度が炭化タンタル� ��硬度に比べて低いことから、炭化タンタル� ��疎巻きされてなる本実施形態の複合構造体� ��あっては、炭化タンタルが密巻きされたも� ��に比べ、屈曲等の加工部における炭化タン� ��ルの占める割合が小さく、また、加工自由� ��が高いものとなる。そのため、本実施形態� ��よれば、成型時の加工性を向上することが� ��きる。特に、小形のカソードを大量に作成� ��る場合には、複合構造体を一つ一つ成型し� ��後に炭化するよりも、長尺の複合構造体を� ��化した後に個別に成型するほうが好ましい� ��よって、この場合には、加工性の高い本実� ��形態は、特に有効である。

 以上、本発明の好適な実施形態について� ��明したが、本発明は、上記実施形態に限定� ��れるものではない。例えば、上記実施形態� ��は、カソード(電子線源)253,273,293を電子線照 射装置21,270,290に用いたが、X線管(X線照射装� �)に用いてもよい。

 図18は、本発明の他の実施形態に係るX線� ��の断面図である。図18に示すように、X線管2 60は、印加電圧が10keV程度の低電力用のもの� �あり、円筒状のバルブ261を有している。こ� �バルブ261の基端には、ステム262が形成され� �いる一方、バルブ261の開放端には、出力窓26 3が形成されている。出力窓263には、X線を発� ��させるためのターゲット264が蒸着されてい� ��。ステム262には2本の給電導体252,252が固定� �れ、これらの給電導体252,252の先端部にはカ� ��ード253が掛け渡されている。カソード253は� ��給電導体252に抵抗溶接されている。

 このX線管260によれば、電子放射の影響で カソード253の径が細くなりカソード253が破断 してしまうということを防止できる。

 また、上記第2実施形態では、成型工程の 後に炭化工程を実施したが、炭化工程の後に 成形工程を実施してもよく、上記第3,4実施形 態では、炭化工程の後に成型工程を実施した が、成形工程の後に炭化工程を実施してもよ い。なお、炭化処理としては、炭素を付着(� �炭)させた後に真空中にて通電させる場合も� ��る。

 また、上記実施形態では、基材及び線材� ��断面を円形としたが、これらの断面は、楕� ��形であってもよく、多角形であってもよい� ��また、上記実施形態では、基材を線状とし� ��が、薄板状であってもよい。

 また、上記実施形態では、給電部材258,278 をタングステンで、電子放出部材259,279をタ� �タルで形成したが、給電部材をタングステ� �を含む合金(材料)で形成してもよく、また、 電子放出部材をタンタルを含む合金で形成し てもよい。

 また、上記実施形態では、カソード253,273 ,293の端部において平坦面252aと対向する部分� ��接合部G2となるように、カソード253と給電� �体252とを溶接によって直接接合したが、金� �パイプを用いてカソード253,273,293と給電導体 252と接合してもよい。例えば、上記第3実施� �態にて例示すると、図19及び図20に示すよう� ��、パイプ281を用いてカソード273と給電導体2 52と接合する場合がある。具体的には、パイ� ��281は、円筒状の導電材料からなり、カソー� ��273の端部と電気的に接続されるように当該� ��ソード273の端部を覆っている。パイプ281を� ��成する導電材料は、ニッケルやコバール等� ��カソード273を構成する材料よりも融点の低� ��金属としている。そして、接合の際、給電� ��体252と同様にパイプ281が溶融されている。� ��れにより、給電導体252とカソード273とを一� ��強く接合させることができる。

 また、上記第2実施形態におけるヘアピン 型のカソード253において、主な電子放出部と なる尖頭部253xの形状を鋭利にすれば、輝度(� ��定単位領域あたりの電子放出量)が更に上が るため、尖頭部253xに電界研磨等の研磨処理� �施して当該尖頭部253xの形状を鋭利にした後� ��炭化処理を施してもよい。

(変形例)
 以上、各実施形態において、本発明の電子� ��源を電子線照射装置に適用する例を用いて� ��明したが、本発明の電子線源は、X線管を用 いたX線発生装置等の各種用途にも適用する� �とが可能である。

 図21は、本発明の電子線源を備えるX線管� ��配置されたX線発生装置の分解斜視図である 。また、図22は、図21に示したX線発生装置のX XII-XXII線に沿った断面図である。X線発生装置 301は、四角柱形状のケース本体部304と、平板 状の前面パネル305と、平板状の背面パネル306 とからなる保護ケース302を有する。保護ケー ス302には、取り付け用ベース307がネジ止めさ れている。保護ケース302内には、軟X線を発� �させて静電気の除去等に利用されるX線管308� ��配置されている。このX線管308には、図6に� �したX線管160と同様な構成を適用することが� ��能である。

 保護ケース302内には、回路基板320上に搭� ��された電圧発生部321が収容されている。こ� ��電圧発生部321は、高電位をステムピン315に� ��給して、X線管308を駆動させるためのもので ある。電圧発生部321の高電圧発生部位から延 びた配線321aは、X線管308のステムピン315に結� ��され、X線管308には、ステムピン315を覆う円 筒状のキャップ319が固定されている。X線管30 8は、アルミからなる前面パネル305に固定さ� �て、保護ケース302に固定されている。X線管3 08は、出力窓を保持する出力窓保持部312を有� ��る。当該出力窓の内面側に蒸着されたター� ��ットに電子ビームを衝突させることにより� ��X線を発生することが可能となる。