Anregungskreis für Laεerεysteme, insbesondere für TE-Hochenergielaser, mit Einstellung der Vorionisieru

Die Erfindung bezieht sich auf einen Anregungεkreis für Laserεysteme, insbesondere für TE-Hochenergielaεe gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1.

Ein solcher Anregungskreis ist z.B. in der älteren Anmeldung P 31 28206.7 vom 16.07.1981 vorgeschlagen worden und - allerdings ohne Darstellung von Vorioni¬ sierungs-Einrichtungen - durch die DE-OS 29 32781 bekannt. Geeignete Vorionisierungs-Einrichtungen sind z.B. durch die DE-OS 30 35702 mit Gleitentladungs- strecken und durch die DE-OS 3035730 mit Vorioni- sierungs-Stäben bekannt. Für den Betrieb von TE-Laser- oder TE-Hochenergielaser-Systemen sind effektiv arbei¬ tende Vorionisierungs-Einrichtungen nach den vorge- nannten deutschen Offenlegungsschriften von besonderer Bedeutung. Der EinsatzZeitpunkt der Vorionisierung ist nämlich auf jedes Lasβrεystem, z.B. KrF, XeCl, XeF oder CO _t abzustimmen, und aus Kostengründen sollte die Vorionisierung mit möglichst geringem Aufwand bei geringem Energiebedarf betrieben werden können.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen An¬ regungskreis für Lasersysteme mit der Ihm zugeordne¬ ten Vorionisierungs-Einrichtung so auszubilden, daß er den vorerwähnten gestellten Anforderungen auf beson- ^•■• ders effektive Veise Rechnung trägt, d.h., bei dem der Aufwand an Schaltungsmaßnahmen klein gehalten werden kann.

ΓÖ o:

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Erfindungs emäß wird die gestellte Aufgabe bei einem Anregungskreis für Lasersysteme gemäß Gattungsbegriff durch die im Kennzeichen deε Anspruchε 1 angegebenen Merkmale in der Hauptsache gelöst. Die Erfindung ist sowohl für Gleitfunkenεtrecken als Vorionisierungs- Einrichtungen geeignet, als auch für Vorioniεierungε- Einrichtungen, die mit Zündelektroden arbeiten, welche mit einem geringen überεchlagabεtand, inεbeεondere achsparallel zu den langgestreckten Laser-Elektroden, -angeordnet, und zwar dabei insbesondere, als sogenannte Vorionisierungε-Stäbe je einer der einander gegenüber¬ liegenden Laser-Elektroden zugeordnet sind.

Vorteilhafte Weiterbildungen des Gegenstandes des An- spruchs 1 sind in den Unteransprüchen 2 bis 12 ange¬ geben. Dabei befassen sich die Gegenstände der An¬ sprüche 2, 3 _t 11 und 12 speziell mit HilfsSchaltungen und ihren Anschlüsεen bei Gleitfunkenstrecken, während die Gegenstände der Ansprüche 4, 7, 8, 9 und 10 Vor- ionisierungs-Stäbe und ihre Hilfsεchaltungen betref¬ fen. Die Gegenstände der Ansprüche 5 und 6 beziehen sich auf beide Arten der Vorionisierung.

Im folgenden wird anhand der Zeichnung, in der mehre- re Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt sind, diese noch näher erläutert. Darin zeigt in ver¬ einfachten Schaltbildern:

Fig. 1 die Hil sschaltung einer Vorioniεierungs- Einrichtung mit einer schematisch angedeuteten

Gleitfuhkenstrecke und einem Blümlein-Schalt¬ kreis; Fig. 2 ein Schaltbild für den Laser-Anregungskreis mit bei A, A* und A' sowie bei B anschließ- barer HilfεSchaltung nach Fig. 1 und mit Puls¬ aufladung für das pulεformende Netzwerk, wel-

chem eine Blümlein-Schaltung zugrunde liegt; Fig. 3 eine vereinfachte Hilfsschaltung nach Fig. 1 ohne den dort dargestellten Kondensator C«. ; Fig. 4 das pulsformende Netzwerk für den Laser mit Pulεaufladung in einer Auεführung alε Charge-

Tranεfer-Schaltkreis, ebenfalls mit den Schal¬ tungspunkten A, A* und A' sowie B; Fig. 5 ein Anregungεkreis mit Blümlein-Schaltkreis des pulsformenden Netzwerkes und Pulsaufladung so- wie einer anderen Ausführung der Vorionisle¬ rungs-Einrichtung mit Vorionisierungεεtäben; Fig. 6 eine zu Fig. 5 gleichartige Vorionisierungs- Einrichtung, jedoch mit einem pulsformenden Netzwerk als Charge-Tranεfer-Schaltkreis; Fig. 7 eine erεte Auεführung für die grundsätzliche Vorionisierungs-Einrichtung nach Fig. 5 und Fig. 6, wobei die in den Figuren 5 und 6 ge- εtrichelt eingerahmten Schaltungsteile näher ausgestaltet sind und der Anschluß der Hilfs- Schaltung an den Schaltungεpunkten A ^f und B erfolgt; Fig. 8 eine zweite Ausführung für die Vorionisierungs- Einrichtung mit Vorionisierungsεtäben nach Fig. 5 und Fig..6, in.entsprechender.Darstellung zu Fig. 7, wobei der hochspannungεεeitige An- εchluß der Hilfsschaltung an die Schaltungspunk¬ te A oder A* über eine Vorimpedanz erfolgt; Fig.8a eine dritte Ausführung für die Vorionisierungs- Einrichtung mit Vorionisierungsstäben, die im Vergleich zu Fig. 7 und Fig. 8 stark verein¬ facht ist, wobei der Anschluß ebenfalls an den Schaltungspunkten A oder A* und B erfolgt; Fig. 9 eine vierte Ausführung für die Vorionisierungs- Einrichtung mit Vorionisierungsstäben, bei der die den beiden Laser-Elektroden zugeordneten

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Hilfεεchaltungen alε Blümlein-Schaltkreis aus¬ geführt und hochspannungεεeitig an den Schal- tungεpunkten A oder A* über eine Vorimpedanz ebenso wie im Beispiel nach Fig. 8 angeschlos- 5 sen εind;

Fig.10 eine fünfte Ausführung für die Vorionisierungs- Einrichtung mit Vorionisierungεstäben, bei der der Anschluß der Hilfεschaltung an die Schal- tungεpuhkte A ^f und B deε Netzwerkes nach Fig.5 10 oder Fig. 6 erfolgt;

Fig.11 eine im Vergleich zu Fig. 10 weiter ausgestal- ^' tete HilfsSchaltung mit Blümlein-Schaltkreisen, bei der ebenso wie im Beispiel nach Fig. 10 der Anschluß an den Schaltungspunkten A' und B des 15 Netzwerkes nach Fig. 5 oder Fig. 6 erfolgt;

Fig.12 eine an die Hochspannung des Hauptkreises ange¬ schlossene und dessen Hochspannungsschalter mitbenutzende HilfsSchaltung für eine Gleitfun¬ kenstrecke, wobei der Haupt- bzw. Anregungs- 20 kreis in Blümlein-Schaltung auεgeführt iεt;

Fig.13 den Gegenstand nach Fig. 12, wobei die Hilfs¬ schaltung für die Gleitfunken trecke durch Parallelschaltung einer Zusatzkapazität zu -------- - einer- zweiten Blümlein-Schaltung ergänzt ist}

25, Fig.14 den Gegenstand nach Fig. 12, wobei jedoch der Hauptkreis bzw. der Anregungskreis ein puls¬ formendes Netzwerk aufweist, welches eine Charge-Transfer-Schaltung bildet; Fig.15 den Gegenstand nach Fig. 14, bei dem die Hilfs- 30 Schaltung für die Vorionisierungs-Einrichtung durch Parallelschalten einer Zusatzkapazität zu einer Blümlein-Schaltung ergänzt iεt; und Fig.16 ein Diagramm, in welchem über der Zeitachse t die verεchiedenen Zündeinεatzbereiche der Vor- 35 ioniεierungε-Einrichtungen aufgetragen εind.

Für den Betrieb von TE-Lasera ist eine effektive Vor- ioniεierungεvorrichtung, wie sie z.B. in P 3035702.9 und P 3035730.3 beschrieben wurde, von besonderer Bedeutung. Der Eiπsatzzeitpunkt der Vorionisierung ist 5 auf jedes Lasersyεtem, z.B. KrF, XeCl, XeF oder C0 ₂ , abzustimmen, und aus Kostengründen sollte die Vorioni¬ sierung mit möglichst geringem Aufwand bei geringem Energiebedarf betrieben werden können.

10 Fig. 1 zeigt die prinzipielle elektrische Verschaltung einer Vorioniεierungε-Einrichtung VE, wie sie in P 3035702.9 beschrieben ist. C _* , C ₂ sind Kondensa¬ toren eines Blümlein-Schaltkreises, G ist die Gleit¬ funkenstrecke mit den beiden Polen g und S ein Schalt-

15 element, z.B. eine Funkenstrecke. Die Schaltung ist über die Induktivität Ly oder einen Widerstand Ry (gestrichelt als Alternative dargestellt) an die Hoch- εpannungsversorgung HV angeschloεsen. Um Kosten zu sparen, soll die Spannungsversorgung des Laserkopfes

20 mitbenutzt werden. R ist eine hochohmige Impedanz, insbesondere ein Widerstand, der parallel zur Gleit¬ funkenstrecke G geschaltet ist. Hochohmig bedeutet hochoh ig im Vergleich zum Widerstand der gezündeten Gleitfuhkenstrecke G.

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In Fig. 2 ist das Schaltbild eines TE-Lasers darge¬ stellt, in dem als pulsformendes Netzwerk die Blümlein- Schaltung verwandt wird und eine Pulεaufladung der Kondensatoren durch die Hochspannung HV erfolgt, wie

30 sie bei Verwendung von Wasser als Dielektrikum erfor¬ derlichwird. Die Laserelektroden der Laεerkammer LK sind mit E _L bezeichnet, die parallel zur Laser-Ent¬ ladungsstrecke geschaltete hochohmige Impedanz, ins¬ besondere ein Widerstand,mit R _j , die Bandleiter-Kon-

35 densatoren mit Cp, C _R ; der Hochspannungεschalter mit S, , die Erdpotentialschiene des pulεformenden Netz-

werkeε PFN 1 mit B εowie die -am Eingang des pulεfoπnen- den Netzwerkes PFN1 -an dieses angeschlosεenen Schalt- kreiεelemente der Pulεladekapazität, des Pulεschalters und der Längsinduktivität mit Cp, S _p und Lp.

Zweckmäßigerweise läßt sich die Hochspannungsversorgung für die Vorionisierung an den Punkten A oder A* oder A ¹ abgreifen, wobei A am hochspannungsseitlgen Eingang von PFN1 zwischen Sp und Lp liegt, A* am hochliegen- den Verzweigungspunkt zum Hochspannungsschalter S, und zum einen Bandleiterkondensator C„ sowie A ¹ un¬ mittelbar an der Zuleitung der hochliegenden Laser- Elektrode E _L .

Wird der Punkt A als Anzapfpunkt für die Vorionisie¬ rung gewählt, so erfolgt die Aufladung der Kondensa¬ toren C. , C in Fig. 1, während die Kondensatoren C„ und Crr (Fig. 2) aufgeladen werden. Der Aufladevorgang erfolgt dabei nach den allgemein bekannten Geεetzmäs- εigkeiten, so daß zu jedem Zeitpunkt t _Q +t nach Schlies- sen des Schalters Sp (Zeitpunkt t _Q ) ein Spannimgswert U den Kondensatoren C. , C zuzuordnen ist.

Zum Zeitpunkt +S" ist die maximale Ladespannung der Kondensatoren C„ und C _κ erreicht, und durch Schließen des Schalters S, (Fig. 2) wird eine Spannung über den Elektroden E, der Laserkammer LK aufgebaut. Wird die Zündspannung des Schalters S erreicht, so bricht die Gleitfunkenstrecke G durch. Durch Variation der Zünd- Spannung des Schalters S läßt sich somit der Vorioni¬ sierungszeitpunkt, der vor dem Schließen des Schalters S _L liegt, variieren. Dies gilt sinngemäß auch für den Anschluß von HS 1 an A* ^* , wobei gegenüber dem Anschluß an A eine kleine Verzögerung der Zündung von S ein- tritt.

Durch den Anschluß der Vorionisierungseinrichtung am Punkt A ¹ (Fig. 2) erfolgt die Aufladung der Kondensa¬ toren C. , C ₂ (Fig. 1) während die Spannung an die Laserelektroden angelegt wird. Die Gleitfunkenstrecke G (Fig. 1) bricht bei dieser Variante nach Zünden des Schalters S,. durch, wobei denέeitpunkt durch Einstel¬ len der Zündspannung des Schalters S vorgegeben werden kann. - Bei der SchaltungsVariante einer Hilfsschaltun HS 2 riach Fig. 3 ist im Vergleich zu Fig. 1 die Kapa- zität C.. weggelasεen; dabei entspricht C der Kapazität C _p und R.. der Impedanz R . Die Steuerung des Einsatz¬ zeitpunktes der Vorionisierung erfolgt bei dieser Hil sschaltung HS 2 entsprechend zur HilfsSchaltung HS nach Fig. 1.

Wird als pulsformendes Netzwerk für den Laserkreis eine Charge-Transfer-Schaltung PFN 2, wie sie in Fig.4 dargestellt ist, verwandt, so lassen sich die beschrie benen Maßnahmen zur Vorionisierungssteuerung sinnge- maß anwenden. Gleiche Teile zu Fig. 2 tragen die glei¬ chen Bezugszeichen.

Auch für die Vorionisierungsanordnung, ^" die in

P 3035 730.3 beschrieben wurde,- erden im ^** "folgenden ^* - Möglichkeiten angegeben, den EinsatzZeitpunkt frei zu wählen und die Vorionisierung bei geringem Energiever¬ brauch zu verstärken. Fig. 5 zeigt das pulsformende Netzwerk PFN 1 nach Fig. 2 und im übrigen den Schalt¬ kreis für die Vorionisierung entsprechend P 3035730. 3, wobei als PFN für den Laserkreis eine Blümlein- Schaltung eingesetzt und der Einfachheit halber nur je eine Hilfselektro e h der Vorionisierungs-Einrich¬ tung VE, H gezeichnet ist, die einer Laserelektrode E, zugeordnet ist.

Fig. 6 zeigt dieεelbe grundεätzliche Anordnung der Vor- ioniεierungε-Einrichtung VE, H mit einem Charge-Trans- ferkreis als pulsformendes Netzwerk PFN 2 des Laεers, wobei gleiche Teile wieder gleiche Bezugεzeichen tra- gen, vgl. auch Fig. 4.

Um die Maßnahmen zur Verbesserung der Vorionisierung zu erläutern, werden die Teile der Schaltungen in Fig. 5 und Fig. 6 betrachtet, die in dem gestrichelten Kasten gezeichnet sind. Die im folgenden beschriebenen Maßnahmen sind sowohl für den Blümlein- als auch für den Charge-Transfer-Kreis als pulsformendes Netzwerk PFN 1 bzw. PFN 2 für die Laseranregung anwendbar.

Fig. 7 zeigt anhand einer HilfsSchaltung HS 3, die aus zwei, für jede Elektrode E, gleichartigen Hilfsεchal- tungshälften besteht eine Möglichkeit, die es erlaubt, den Zündzeitpunkt der Vorionisierung herauszuschieben. In die Zuleitungen der Innenleiter der Zündelektroden bzw. Vorionisierungsεtäbe h werden jeweils kleine Fun¬ kenstrecken F, z.B. Überspannungsabieiter, eingefügt, die durch kleine Kapazitäten C überbrückt sein kön¬ nen. Vor Durchbrechen der Funkenstrecke F ¹ bleibt — das Potential des Innenleiters aufgrund der kapaziti- ven Kopplungen der Innenleiter der Zündelektrode mit der benachbarten Elektrode E, (siehe Überschlagab¬ stand ü)nahezu auf dem Potential der benachbarten Elektrode, so daß sich eine Potentialdifferenz an beiden Elektroden der Funkenstrecke F ausbildet. Erst bei Durchbrechen der Funkenstrecke liegt die volle Po¬ tentialdifferenz zwischen Innenleiter der Zündelektro¬ de h und der benachbarten Elektrode E, .an. Durch Vari¬ ation der Durchbruchspannung der Funkenstrecke F läßt sich der Zeitpunkt der Vorionisierung verschieben. 5 Diese Hilfsεchaltung HS 3 wird direkt an den Schal¬ tungspunkt A' angeschlosεen, vgl. Fig. 5 und Fig. 6.

Fig. 8 beschreibt eine HilfsSchaltung HS 4, die es erlaubt, vor Schließen des Schalter S, des puls formenden Netzwerkes PFN 1 bzw. PFN 2 vorzuionisieren. Über eine Impedanz .Ry.. , die als Kondensator, Induktivi 5 tat oder ohmscher Widerstand ausgebildet ist, wird vom Punkt A* der Pulsaufladevorrichtung der Kondensator C' geladen. Sobald die Zündspannung der Funkenstrecke F überεchritten ist, liegt zwischen dem Innenleiter der Zündelektrode h und der. benachbarten Elektrode E, eine

10 hohe Potentialdifferenz, die die Vorionisierung be¬ wirkt. Hierbei liegt parallel zur Entladungsstrecke h - E, die hochohmige Impedanz R _p , und zu dieser Pa¬ rallelschaltung ist die Reihenschaltung aus C' und F parallelgeschaltet, wobei die Zuleitung der Pulsspan-

15 nung über Ry«. -an der Verbindungsstelle zwischen C ^» und F erfolgt. Statt A* kann auch A als Anschlußpunkt gewählt werden, falls der Zündimpuls für VE noch eher kommen soll. Die beiden Hälften der Hilfsschaltung HS entsprechenden im übrigen der Schaltung HS 2. Eine Va-

20 riation der Schaltung nach Fig. 8 besteht darin, den Innenleiter der Zündelektrode h direkt mit den Punk¬ ten A* der ^' A zu verbinden (Fig. 8a).

Fig. 9 zeigt eine Variante der HilfsSchaltung HS 4 nac •25 Fig. 8. Diese HilfsSchaltung HS 6 erlaubt eine höhere

Potentialdifferenz zwischen Innenleiter der Zündelektr .de h und benachbarter Elektrode Er zu erzielen, wobei auch bei der _^ Anordnung in Fig. 9 die Vorionisierung- vor Schließen des Schalters S _L erfolgt. Die Hilfssch-al 30 tungshälften sind als Blümlein-Schaltkreise ausgeführt; die den Schaltungselementen R _Q , C , C _p und S nach Fig. 1 entsprechenden Schaltungselεmente sind mit R-,, C _p , CJ und F bezeichnet.

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Die in Fig. 10 dargestellte Hilfεεchaltung HS 7 erlaubt die Vorioniεierung auf einen Zeitpunkt nach Schließen des Schalterε S~ einzuεtellen. Nach Schließen des Schalters Sγ wird über eine Impedanz Ry, (Kapazität, Induktivität oder ohmscher Widerstand) die Kapazität C-1 geladen bis die Funkenstrecke F durchbricht. Da¬ raufhin liegt eine entsprechende Potentialdifferenz zwischen dem Innehleiter der Zündelektrode h und der benachbarten Elektrode E,. Ein Vergleich mit Fig. 8 zeigt, daß bei der Hilfsεchaltung HS 7 die Schaltungs¬ elemente R^, F., Ci und Ry _* den Schaltungselementen ^ F, CI und Ry«. nach Fig. 8 (HS 4) entsprechen, wobei je¬ doch die die Vorschalt-Impedanz Ry-, enthaltenden Lei¬ tungen nicht an A oder A*, sondern an A'bzw B gelegt sind.

Eine im Vergleich zu HS 7 höhere Spannung zu erzielen erlaubt die in Fig. 11 dargestellte Hilfsschaltung HS 8.

In Fig. 11 liegt den Hilfsschaltungshälften der Vorio¬ nisierungs-Einrichtung VE, H wieder eine Blümlein- Schaltung zugrunde, wie sich durch einen Vergleich mit Fig. 9 ergibt. Dadurch läßt sich die Spannung, die zwi¬ schen der Zündelektrode H und der zugehörigen Laser- Elektrode E, jeweils aufbaut, praktisch verdoppeln. Die den Schaltungselementen R,, Ci , C , F und Ry ₂ nach Fig. 9 entsprechenden Schaltungselemente sind in Fig. 11 mit Rc, C , Ci, F und Ry^ bezeichnet. Die Zweige mit Ry» sind statt Anschlusses -an A oder A* sinnge- maß zu Fig. 10 an A' oder B angeschlossen.

Bei den Ausführungsbeiεpielen mit Gleitfunkenstrecke G nach den Figuren 12 bis 15 εind jeweils die L, C-Werte L _2Q » C _2Q des Hilfskreises, welcher zur Ankopplung der Gleitfunkenstrecke G an den Hauptkreis dient, klein

bzw. sehr klein gegenüber den L, C-Werten im Haupt- entladungskreiε deε Lasers, d.h. gegenüber den C-Werte der Bandleiterkondensatoren C _χ und Cp und gegenüber de L-Werten der Impedanz ^ und gegenüber sonstigen im Hauptentladungskreis _. enthaltenen Induktivitäten, die sich insbesondere aus der Eigeninduktivität deε Laser¬ kopfes, der Zuleitungen und der Bandleiterkondensato¬ ren ergeben und die durch die Ersatzinduktivität L«.«-. symbolisiert sind. Aufgrund der kleineren LC-Werte der HilfsSchaltung HS 9 arbeitet die Vorionisierungs- Einrichtung nach Fig. 12 schneller als die Hauptent- ladüng. Dies trifft auch zu für das Ausführungsbei¬ spiel nach Fig. 13, bei der die HilfsSchaltung HS 10 eine Blümlein-Schaltung ist. Ry« _j0 ist eine parallel zu Gleitfunkenstrecke G, g geschaltete Impedanz bzw. ein

Widerstand, der hochohmig im Vergleich zum Widerstands wert der gezündeten Gleitfunkenstrecke F, g ist. Die Hilfsschaltung HS 9 nach Fig. 12 ist ein in Reihe zur Gleitfunkenstrecke geschalteter Serienresonanzkreis, der an den Schaltungspunkt A* angeschlossen ist. In

Fig. 13 ist die HilfsSchaltung HS 9 zur HilfsSchaltung HS 10, einer Blümlein-Schaltung, durch die Parallel¬ kapazität C-, _Q ergänzt, wobei die «Anschlußstelle der Hilfsεchaltung bezüglich' *-das innere ^* 'Ende e ~-l - ^,Λ "' ^* duktivität L _2Q ist und ihr äußeres Ende an die Ver¬ zweigung L«. _Q - S, angeschlossen ist.

Weitere Variationen zeigen Fig. 14, bei der dem Haupt¬ entladungskreis eine Charge-Transfer-Schaltung zugrunde liegt. Die HilfsSchaltung nach Fig, 14, die derjenigen ^' nach Fig. 12 entspricht, ist gemäß Fig. 15 zu einer Blümlein-Schaltung entsprechend der Fig. 13 ergänzt.

Man erkennt aus Fig. 12 bis 15 _f daß das Schaltelement Sγ der pulεformenden Netzwerke PFN 1 (Blümlein-Schal¬ tung) bzw. PFN 2 (Charge-Transfer- reis) als Schalt-

element der Vorionisierungε-Hilfsschaltungen HS 9 biε HS 12 mitbenutzt ist. Die zum zeitgerechten Zünden der Gleitfunkenstrecken G erforderlichen Bemeεεungen der Schaltungseiemente I^π» ^C 20* ^C 10 ^" ^er Hilfs chaltungen HS 9 biε HS 12 sind in Relation zu den Schaltungsele- menten I _Q» p, C _κ des Hauptkreises durch Ungleichungen angegeben. Diese HilfsSchaltungen εind inεbeεondere für CO _p -Laεer geeignet, bei denen ein nicht so schnel¬ les Ansprechen der Vorionisierungs-Einrichtungen wie z.B. bei Excimer-Lasern erforderlich ist.

Fig. 16 zeigt noch ^' ein Diagramm zur Illustration des möglichen Einsatzzeitpuhktes der Zündung der Vorioni- εierungε-Einrichtungen VE in Abhängigkeit vom Anschluß ihrer Hil sSchaltungen an die Schaltungspunkte A, A* oder A'. Alles Nähere geht aus den Erklärungen des Diagramms hervor. Als vorteilhaft hat es sich erwiesen, wenn die Vorionisierungεstäbe h aufweisenden Vorioni¬ sierungs-Einrichtungen VE, H, HS 3 bis HS 8 nach dem Prinzip der Koronaentladung arbeiten und hierzu aus einem stabfδrmigen, elektrisch leitenden Elektroden¬ kern und einem isolierenden dielektrischen Mantel be¬ stehen.

12 Patentansprüche 16 Figuren