【發明名稱】

流體控制裝置及用於流體控制裝置之接頭

【發明所屬技術領域】

本發明為有 關一種流體控制裝置及其接頭 ， 尤指一種 可簡 易拆解和組裝 ， 以及彈性化模組與高密封性的流體控 制裝置 。

【先前技術】

流體控制裝置為半導體產業 中 常使用 的一種裝置 ， 其 目 的在於供給半導體製造過程中 ， 包括擴散 、 蝕刻 、 濺射 等過程所需的氣體 。 目 前流體控制裝置主要包括複數種設 備 ， 譬如減壓閥 、 壓力計 、 質量流量控制器 、 氣體過濾器 、 手動閥 、 第一截止閥 、 第二截止閥等 ， 並包括用於連接該 些流體控制設備之各式接頭 ， 以構成通路使流體得以順利 流通 。

即便流體控制裝置已廣泛地應用於半導體產業 ， 然仍 有缺陷待改善 。 舉例來說 ， 由於流體控制裝置中 包括多種 設備 ， 故在流體控制裝置的拆卸及組裝難易度即為一 待改 善之議題 ， 目 前已提出 的解決方案包括減少流體控制裝置 中所使用 的元件數量 ， 進而達到組裝容易 的效果 。

譬如 ， 美國專利公開號 20 1 5 0 75 6 60 的流體控制裝置 亦提出 组裝問題的改善方法 。 其裝置中 包括將複數個流體 控制機器 串 列配置成一列的上層 以及用 來連接上層之複數 個流體控制機器的通路塊的下層 ， 該些相鄰的通路塊之間 彼此藉由倒 II 字型配管連接 ， 不僅容易併用複數列用通路 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

塊及單列用通路塊 ， 也容易進行行列數的增減 。

除此之外 ， 流經流體控制裝置的流體之中有些帶有腐 蝕性 ， 是以 ， 除了 需改善流體控制裝置之元件抗腐蝕性外 、 亦得考量清潔維護之難易 。 再者 ， 流體在流體控制裝置中 流動時也常出現洩漏的問題 ， 特別當流動的氣體帶有危險 或人體危害的時候 ， 更是需要仔細避免流體外洩問題 。

有鑑於此 ， 亟需開發出 一種可改善上述缺陷的新穎性 流體控制裝置 ， 以滿足產業之需求 。

【發明 內容】

本發明 主要 目 的 ， 在於解決習知流體控制裝置不 易拆 解或組裝的問題 。

本發明另一 目 的 ， 在於改善習知用於流體控制裝置的 接頭中 ， 氣體通道容易有顆粒殘留且清洗不 易 的缺點 。

本發明又一 目 的 ， 在於降低氣體在流體控制裝置流動 的過程中泡漏的風險 。

為 了達到上述 目 的 ， 本發明一實施例 中提供一種包括 至少 兩個流體流通孔之用 於流體控制裝置之接頭 ， 其 包 括 ： 一第一單元 ， 具有一上表面 、 一與該上表面相對之下 表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該 上表面之第二流體流通孔以及一連通該第一流 體流通孔與 該第二流體流通孔且貫穿於設置該第一單元之 中的第一通 道 ； 以及一第二單元 ， 設置於該第一單元之下 ， 包括一 自 該第一單元的該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰 於該下表面之另一部分與該定位塊的第一凹陷 部 。 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

為 了達到上述 目 的 ， 本發明另一實施例 中提供一種包 括至少三個流體流通孔之用於流體控制裝置之 接頭 ， 其包 括 ： 一第一單元 ， 具有一上表面 、 一與該上表面相對之下 表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該 上表面之第二流體流通孔 、 以及一設置於該上表面之第四 流體流通孔 ， 該第一流體流通孔與該第四流體流通孔之間 設置有一第一通道以連通該第一流體流通孔與 該第四流體 流通孔 ； 一延伸單元 ， 該延伸單元係 自 該第一單元的一侧 端朝外突出 ， 該延伸單元包括一第三流體流通孔 ， 且該第 三流體流通孔和該第二流體流通孔之間設置有 一第二通道 以連通該第二流體流通孔與該第三流體流通孔 ； 以及一第 二單元 ， 設置於該第一單元之下 ， 包括一 自 該第一單元的 該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰於該下表面之 另一部分與該定位塊的第一凹陷部 。

本發明又一實施例提供一種至少 包括四個流體流通孔 之接頭 ， 包括 ： 一第一單元 ， 具有一上表面 、 一與該上表 面相對之下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該上表面之第二流體流通孔 、 一設置於該上表面 之第四流體流通孔 、 一設置於該上表面之第五流體流通孔 以及一設置於該上表面之第六流體流通孔 ， 其中 ， 該第一 流體流通孔與該第五流體流通孔之間設置有一 第一通道以 連通該第一流體流通孔與該第五流體流通孔 ， 該第二流體 流通孔與該第六流體流通孔之間設置有一第二 通道以連通 該第二流體流通孔與該第六流體流通孔 ； 一延伸單元 ， 該 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝外突出 ， 該延伸單元 包括一第三流體流通孔 ， 且該第三流體流通孔與該第四流 體流通孔之間設置有一第三通道以連通該第三 流體流通孔 與該第四流體流通孔 ； 以及 一第二單元 ， 設置於該第一 單元之下 ， 包括一 自 該第一單元的該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰於該下表面之另 一部分與該定位塊的 第一凹陷部 。

本發明再一實施例提供一種至少 包括六個流體流通孔 之接頭 ， 包括 ： 一第一單元 ， 具有一上表面 、 一與該上表 面相對之下表面 、 一設置於該上表面之第一流體流通孔 、 一設置於該上表面之第二流體流通孔 、 一設置於該上表面 之第四流體流通孔 、 一設置於該上表面之第五流體流通孔 以及一設置於該上表面之第六流體流通孔 ， 其中 ， 該第一 流體流通孔與該第五流體流通孔之間設置有一 第一通道以 連通該第一流體流通孔與該第五流體流通孔 ， 該第二流體 流通孔與該第六流體流通孔之間設置有一第二 通道以連通 該第二流體流通孔與該第六流體流通孔 ； 一延伸單元 ， 該 延伸單元係 自 該第一單元的一侧端朝外突出 ， 該延伸單元 包括一第三流體流通孔 ， 且該第三流體流通孔與該第四流 體流通孔之間設置有一第三通道以連通該第三 流體流通孔 與該第四流體流通孔 ； 以及 一第二單元 ， 設置於該第一 單元之下 ， 包括一 自 該第一單元的該下表面之一部分突出 的定位塊以及一相鄰於該下表面之另 一部分與該定位塊的 第一凹陷部 。 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

本發明還提供一種用於流體控制裝置之接頭 模組 ， 包 括 ： 複數個連接塊 ， 該連接塊係沿一轴向排列 ， 該連接塊 各包括一上半部以及一下半部 ， 該上半部包括至少一流體 入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連通該流體入口和該 流體出 口之間且朝一水平方向延伸的連接通道 ， 該下半部 具有一凹陷部及一遠離該凹陷部並沿該轴向延 伸突出 的舌 部 ， 其中 ， 該連接通道係高於該舌部的一上表面 ； 其中 ， 相鄰的該連接塊係透過該舌部容設於該凹陷部 內 而彼此連 接 。

本發明還提供一種用於流體控制裝置之接頭模 組 ， 包 括 ： 複數個連接塊 ， 該連接塊係沿一轴向排列 ， 該連接塊 各包括至少一流體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連 通該流體入口和該流體出 口之間且朝一水平方向延伸而和 該連接塊之一底面相距一高度的連接通道 ， 其中 ， 該連接 塊的一端形成一突出 的第一舌部 ， 另 一端形成一凹陷部 ， 相鄰的該連接塊係透過該第一舌部容設於該凹 陷部內 而彼 此連接 。

本發明還提供一種流體控制裝置 ， 包括 ：

一基座 ；

一設置於該基座上之接頭模組 ， 並包括 ：

一第一接頭 ， 包括 ：

一第一單元 ， 具有一第一上表面 、 一與該第一上表面 相對之第一下表面 、 一設置於該第一上表面之第一流體流 通孔 、 一設置於該第一上表面之第二流體流通孔以及 一連 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

通該第一流體流通孔與該第二流體流通孔且 貫穿於該第一 單元之中的第一通道 ； 以及

一第二單元 ， 設置於該第一單元之下 ， 包括一 自 該第 一單元的該第一下表面之一部分突出 的第一定位塊以及一 相鄰於該第一下表面之另一部分與該第一定位 塊的第一凹 陷部 ； 以及

一第二接頭 ’ 包括 ：

一第三單元 ， 具有一第二上表面 、 一與該第二上表面 相對之第二下表面 、 一設置於該第二上表面之第三流體流 通孔 、 一設置於該第二上表面之第四流體流通孔以及 一連 通該第三流體流通孔與該第四流體流通孔且貫 穿於該第三 單元之中的第二通道 ； 以及

一第四單元 ， 設置於該第三單元之下 ， 包括一 自 該第 三單元的該第二下表面之一部分突出 的第二定位塊 、 一相 鄰於該第二下表面之另 一部分與該二定位塊的第二凹陷部 以及一遠離該第二凹陷部延伸的舌部 ， 其中 ， 該第一接頭 藉由該第二單元的該第一凹陷部容設該第四單 元的該舌部 而和該第二接頭彼此相鄰靠接 ； 以及

一流體控制件 ， 係透過該接頭模組而 緊固於該基座之 上 ， 且該流體控制件跨接於該第一接頭和該第二接 頭 。

本發明還提供一種流體控制裝置 ， 包括 ：

一沿一軸向延伸的基座 ；

一設置於該基座上方的流體控制件 ， 該流體控制件具 有 一 出 口 以及一入 口 ； \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭 模組 ’ 包 括 ：

複數個連接塊 ， 該連接塊係沿該軸向排列 ， 該連接塊 各包括 ：

一流體通道 ， 包括設置於該連接塊的一上表面的一流 體入口及一流體出 口 、 以及一連通該流體入口和該流體出 口的 II形連接通道 ；

一上舌部 ， 係突出形成於該連接塊的一端 ， 該上舌部 具有一貫穿該上舌部的一底面的第一固定孔 ； 以及

一下舌部 ， 係突出形成於該連接塊的另一端 ， 該下舌 部具有一貫穿該下舌部的一頂面的第二固定孔 ； 以及

一固定件 ， 穿設於該連接塊的該上舌部的該第一 固定 孔以及相鄰的該連接塊的該下舌部的該第二固 定孔 ；

其中 ， 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 ， 且該 流體控制件的該出 口與其中一連接塊的該流體入口連接 ， 該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體 出 口連接 。

本發明還提供一種流體控制裝置 ， 包括 ：

一沿一轴向延伸的基座 ；

一設置於該基座上方的流體控制件 ， 該流體控制件具 有 一 出 口 以及一入 口 ；

一設置於該流體控制件和該基座之間的接頭模 組 ’ 包 括 ：

複數個連接塊 ， 該連接塊係沿該軸向排列 ， 該連接塊 各包括 ： \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

一流體通道 ， 包括設置於該連接塊的一上表面的一流 體入口及一流體出 口 、 以及一連通該流體入口和該流體出 口的 II形連接通道 ；

一上舌部 ， 係突出形成於該連接塊的一端 ， 該上舌部 具有一貫穿該上舌部的一底面的第一固定孔 ； 以及

一下舌部 ， 係突出形成於該連接塊的另一端 ， 該下舌 部具有一貫穿該下舌部的一頂面的第二固定孔 以及一貫穿 該下舌部的一底面的第三固定孔 ； 以及

一上固定件 ， 穿設於該連接塊的該上舌部的該第一固 定孔以及相鄰的該連接塊的該下舌部的該第二 固定孔 ； 以 及

一下固定件 ， 穿設於該連接塊的該下舌部的該第三固 定孔以及該基座 ；

其中 ， 該流體控制件跨接於兩相鄰的該連接塊 ， 且該 流體控制件的該出 口與其中一連接塊的該流體入口連接 ， 該流體控制件的該入口與另一連接塊的該流體 出 口連接 。

是以 ， 本發明相較於習知技術所能達到的功效在於 ：

( 1 ) 本發明的流體控制裝置透過具有特定形狀之接 頭 連結 ， 該接頭可簡單地與相鄰接頭彼此疊合而具有簡 易拆 卸或組裝的優點 ， 進而解決習知流體控制裝置不 易拆解或 組裝的問題 ； 且基於上述接頭 ， 可以讓該流體控制裝置的 組態具有模組化的優點 ， 利用 不 同接頭的排列組合 ， 彈性 地和眾多流體控制件的組合 。

( 2 ) 本發明的接頭設計 ， 係使得當流體從一流體控制 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

件經過該接頭流動至相鄰的流體控制件時 ， 該流體僅經過 單一的接頭 中的流體通道 ， 而非複數個次通道彼此相接所 組成的流體通道 ； 換言之 ， 相鄰接頭之間的組裝 ， 並無設 計流體通道的接合 ， 據此降低流體通道的介面 ， 減少流體 外洩的可能而擁有 良好的密封性 。

( 3 ) 本發明之流體流通孔及 /或該些流體流通孔之間 的通道具有一鏡面之表面 ， 可有效改善流體流經時顆粒殘 留問題 。

【實施方式】

有關本發明的詳細說明及技術內容 ， 現就配合圖 式說 明如下 ： 本發明的流體控制裝置中 包括有複數個排成一列的流 體控制件 、 以及複數個對應該些流體控制件之接頭 ， 且每 一流體控制件與其接頭連接使流體得以在連通 的該流體控 制件及在接頭之間流動 。

本發明之流體控制裝置所包括的流體控制件並 無特別 之限制 ， 可視需求任意選用 。 於一具體實施例 中 ， 該流體 控制件係選自 由減壓閥 、 壓力計 、 質量流量控制器 、 過濾 器 、 手動閥 、 2 埠截止閥 、 3 埠截止閥 、 高潔淨調壓閥 、 壓 力傳感 器及其組合所組成之群組 。 更具體地 ， 可包括 ： 手 動閥 、 2 埠截止閥 、 3 埠截止閥 、 高潔淨調壓閥 、 壓力傳感 器 、 過濾器 、 2 埠截止閥 、 質量流量控制器 、 3 埠截止閥 、 以及 2 埠截止閥 。

而關於用於本發明流體控制裝置的接頭 ， 依據其所具 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

有的氣路流通口數量可分為 2 埠接頭 、 3 埠接頭 、 4埠以上 接頭 、 以及連接件 ， 下文中將就該些接頭進行說明 。 此外 ， 在這些接頭 中 ， 係包括有複數個單元 ， 該單元各包括有上 表面 、 下表面 、 第一側表面 、 第二侧表面 、 第三侧表面 、 及第四側表面等 ， 為敘述上之方便 ， 係將同一方位的表面 以相同名稱描述 ， 但冠以不同的標號 ， 藉此區隔 。

2 埠接頭

本發明之 2 埠接頭係指一接頭上有兩個流體流通孔 ， 其中一為流體入口 ， 另一為流體出 口 。

『 圖 1人』至『 圖 ^』係本發明 2 埠接頭之第一態樣 1&。

單元 11 以及一第二單元 12 , 該第一單元 11 設置於該第二 單元 12上 。

該第一單元 11 包括一第一定位塊 11^以及一第一舌部 11（3， 且該第一單元 11 還具有一上表面 111、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、 以及分別與該上表面 111 及該下表 面 112連接之一第一侧表面 113、 一第二側表面 114、 一第 三侧表面 115、 及一第四侧表面 116 ， 該第一侧表面 113與 該第三侧表面 115 對應設置 ， 而該第二側表面 114 與該第 四侧表面 116 對應設置 。 該第二單元 12 包括一第二定位塊 128 以及一第二凹陷部 121）， 該第二定位塊 128 自 該第一單 元 11 的該下表面 112 之一部分突出 ， 該第一單元 11 的該

凹成該第二凹陷部 121），該第二凹陷部 121）相鄰於該下表面 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

112 之另一部分與該第二定位塊 123 之間 ， 如 『 圖 』 所 示 。 其中該第二單元 12 具有一下表面 122 以及分別連接該 下表面 122之一第一侧表面 123、 一第二侧表面 124、 一第 三侧表面 125、 及一第四侧表面 126 ， 該第一侧表面 123與 該第三侧表面 125 對應設置 ， 而該第二側表面 124 與該第 四侧表面 126 對應設置 。

該第一單元 11 與該第二單元 12 具有相 同之寬度 1，該 第一單元 11 之長度 1 _^ 1 則大於該第二單元 12之長度 1 _^ 2，該 第一單元 11 與該第二單元 12 為一體成形之結構 ， 該第一 單元 11 的該第三侧表面 115 與該第二單元 12 的該第三侧 表面 125 切齊且成為一體成形之一面 。 同樣地 ， 該第一單 元 11 的該第二侧表面 114 與該第二單元 12 的該第二側表 面 124 為一體成形之一面 、該第一單元 11 的該第四侧表面 116 與該第二單元 12 的該第四侧表面 126 亦為一體成形之 一面 。

11 包括一第一定位銷孔 11113、 一第二定位銷孔 111113、 一 第一流體流通孔 11123、 一第二流體流通孔 11121）、 一第一 螺紋孔 111 11131）、一第三螺紋孔 1113〇 ' 一第四螺紋孔 1113（1、 一第一下螺紋孔 11213、 一第二下螺 紋孔 11211） 、 一 第 一 螺栓孔 11148 以及一 第 二螺栓孔 111413 。 其中 ， 該第一定位銷孔 11118 及該第二定位銷孔 111113設置於該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧， 且為一貫穿該上表面 111 以及該下表面 112之貫孔 。 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

該第一流體流通孔 11123 及該第二流體流通孔 1112 則分別設置於該上表面 111 靠近該第一側表面 113 以及該 第三侧表面 115 之一侧 ， 其中 ， 該第一流體流通孔 11123 係設置於該第一定位銷孔 11118 及第二定位銷孔 11111） 之 間 、 該第二流體流通孔 1112 則設置在第三螺紋孔 1113〇 及第四螺紋孔 1113（1之間 。 請參 『 圖 1£』， 於該第一流體流 通孔 1112& 及第二流體流通孔 11121） 之間設置有一第一通 道 11158 以連通該第一流體流通孔 11128 及第二流體流通 孔 11121）， 本實施例中 ， 該第一通道 11153係自該第一單元 11靠近該第二定位塊 123的一端延伸至該第一單元 11靠近 該第二凹陷部 121）的一端 ， 亦可視為 自該第一單元 11 靠近 該第三侧表面 115的一端延伸至該第一單元 11 靠近該第一 側表面 113 的一端 。 為了避免流體流經該第一通道 11158 時殘存其中 ， 可對該第一通道 11153 進行處理使之具有一 鏡面表面 。 上述之 「處理」， 舉例來說 ， 可先在該第一侧表 面 113 上設置一連通該第一通道 11158 之開 口並對該第一 通道 11158 進行一拋光處理使之具有一鏡面表面之後 ， 再 以焊接方式將該開口封堵起來 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 11131）、 該第三螺 紋孔 111 、該第四螺紋孔 1113（1、該第一下螺紋孔 11218 ' 以及該第二下螺紋孔 112^ 均為具有螺紋之盲孔 ， 即非貫 穿的孔洞 ， 其中 ， 該第一螺紋孔 11138 及該第二螺紋孔 111313設置在該上表面 111 靠近該第一側表面 113之一侧， 該第一螺紋孔 11133鄰近該第一定位銷孔 1111 ₃ ，該第二螺 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

紋孔 1113 鄰近該第二定位銷孔 111^ ； 而該第三螺紋孔 1113（：及該第四螺紋孔 11134設置在該上表面 111靠近該第 三侧表面 115 之一侧 ， 且該第三螺紋孔 1113〇 靠近該第二 側表面 114、 該第四螺紋孔 1113（1靠近該第四侧表面 116 ； 該第一下螺紋孔 11218 及該第二下螺紋孔 11211） 設置在該 下表面 112,且靠近該第一螺栓孔 11143以及該第二螺栓孔 11141）。

請參閱 『 圖 1å』， 本發明之一實施例中 ， 該第二流體流 通孔 11121） 包括一擴大部 11121、一台階面 11122 以及一通 道部 11123 ， 該擴大部 11121 的內徑大於該通道部 11123 ， 該台階面 11122 連接於該擴大部 11121 和該通道部 11123 之間並為一拋光鏡面 ， 藉此使該第二流體流通孔 111213 與 其他流體控制件連通時 ， 可以達到密封的效果 。 其餘實施 例與態樣中的流體流通孔 ， 結構同上 ， 以下將不贅述 。

該第一螺栓孔 1114 以及該第二螺栓孔 1114 則分別 設置於該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一側以及靠 近該第四侧表面 116 之一侧 。 更具體地 ， 該第一螺栓孔 11143 設置在靠近該第一螺紋孔 11138 與該第三螺紋孔 1113。之間； 而該第二螺栓孔 111413設置在靠近該第二螺紋 孔 11131）及該第四螺紋孔 1113（1之間。該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺检孔 11141） 均為一貫通該上表面 111 以及該 下表面 112 之貫孔 ， 且該第一螺栓孔 11148 以及該第二螺 栓孔 1114 之該貫孔中均設有一凸出部 ， 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 1114 之該貫孔具有不同之直徑 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

， 靠近該上表面 111 之直徑為 、 而靠近該 下表面 112之直徑為 2， 且 尺1 大於 2， 如 『圖 1?』所示 。

本發明 2 埠接頭之 ， 如 『圖 2』 所示 ， 該 2 埠接頭 除了其第三螺紋孔 1113〇 與第四螺紋孔 1113（1 之間的距 離 ，相較第一態樣 13 中第三螺紋孔 1113〇 以及第四螺紋孔 1113（1之間的距離更短以外，其餘配置和結構� ��上述之第一 態樣 18相同 。

『 圖 3人』至『圖 3å』為本發明 2 埠接頭之第三態樣 1〇。 該 2埠接頭 1〇具有一第一單元 11 以及一第二單元 12 , 該 第一單元 11 包括一第一定位塊 118 ' 一第一凹陷部 111）以 及一第一舌部 11（3，且該第一單元 11 還具有一上表面 111、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、以及分別與該上表面 111 及該下表面 112連接之一第一侧表面 113、 一第二侧表 面 114、 一第三側表面 115、 及一第四侧表面 116 ， 該第一 側表面 113 與該第三側表面 115 對應設置 ， 而該第二侧表 面 114與該第四侧表面 116對應設置 ； 而該第二單元 12 包 括一第二定位塊 128、 一第二凹陷部 1213 以及一第二舌部 12（： ， 該第二定位塊 128 自該第一單元 11 的該下表面 112 之一部分突出 ， 該第一單元 11 的該下表面 112之另一部分 則 因該第二定位塊 128 的設置而 內 凹成該第 二凹 陷部 121）， 該第二凹陷部 121）相鄰於該下表面 112之另一部分與 該第二定位塊 128之間 ， 如 『 圖 所示 。 而該第二舌部 12〇 自該第二定位塊 128朝遠離該第二凹陷部 121）的一側延 伸且突出於該第一單元 11 ， 該第二單元 12 具有一上表面 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

121 ' 一與該上表面 121 相對之下表面 122、 以及分別與該 上表面 121 及該下表面 122連接之一第一側表面 123、一第 二侧表面 124、 一第三侧表面 125 、 及一第四侧表面 126 ， 該第一侧表面 123 與該第三侧表面 125 對應設置 ， 而該第 二侧表面 124與該第四側表面 126對應設置 。

本實施例中 ， 該第一單元 11 與該第二單元 12 為一體 成形之結構 。 詳細來說 ， 該第一單元 11 與該第二單元 12

該第二單元 12 的該第二侧表面 124切齊形成一 å形平面 、 該第一單元 11 的該第四侧表面 116 與該第二單元 12 的該 第四側表面 126 亦切齊形成一 å形平面 。

請參 『圖 3（：』、『圖 30』， 該第一單元 11 還包括一第一 定位銷孔 11113 ' 一第二定位銷孔 11111）、 一第一流體流通 孔 111 、一第二流體流通孔 111213、一第一螺紋孔 11138 ' 一第二螺紋孔 11131）、 一第三螺紋孔 1113〇、 一第四螺紋孔 1113（1 ' 一第一下螺紋孔 11218 ' 一第二下螺紋孔 11211）、 一第一螺栓孔 11143以及一第二螺栓孔 111413。

該第一定位銷孔 1111 & 和該第二定位銷孔 11111） 均為 貫穿該上表面 111 與該下表面 112 的貫孔 ， 該第一定位銷 孔 11118 介於該第一螺紋孔 11133與該第一侧表面 113 之 間 ， 該第二定位銷孔 1111 介於該第二螺紋孔 1113¾＞ 與該 第一側表面 113 之間 。 該第一流體流通孔 11128 及該第二 流體流通孔 11121） 分別設置於該上表面 111 靠近該第一侧 表面 113 以及該第三側表面 115 之一侧 。 該第一流體流通 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

孔 11123 及該第二流體流通孔 11121） 之間設置有一第一通 道 11153 連通該第一流體流通孔 111

孔 111213， 本實施例中 ， 該第一通道 111

11 靠近該第二定位塊 12 的一端延伸至該第一單元 11 靠近 該第二凹陷部 125 的一端 。 為 了避免流體流經該第一通道 11158 時殘存其中 ，可如前文所述地對該通道進行拋光處理 而使其具有一鏡面表面 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 11131）、 該第三螺 紋孔 111 、該第四螺紋孔 1113（1、該第一下螺紋孔 11218 ' 以及該第二下螺紋孔 112^ 均為具有螺紋之盲孔 ， 其中 ， 該第一螺紋孔 111 11131） 設置在該第一 單元 11 之該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 之一側 ； 該 第三螺紋孔 1113（： 設置在該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一侧 ， 而該第四螺紋孔 1113（1 則靠近該第四侧表面 116，本態樣中 ，該第一螺紋孔 111 、該第二螺紋孔 11131）、 以及該第二流體流通孔 1112 之排列略呈一等腰三角形之 頂點 ； 該第一下螺紋孔 11213 及該第二下螺紋孔 112113 設 置在該下表面 112，且靠近該第一螺栓孔 111

螺栓孔 11141）。

該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 11141） 均為貫 通該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 ， 該貫孔中均設 有一凸 出部 ， 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 111413之該貫孔具有不同之直徑 1?1及 1^2:靠近該上表面 111 之直徑為 、 而靠近該下表面 112 之直徑為 1?2 , 且 大 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

於 1?2（該螺栓孔之結構請參考 『圖 III』 ） 。 本態樣中 ， 該第 一螺栓孔 11143 係設置於該第一螺紋孔 1113 及該第三螺 紋孔 1113（： 之間 ， 該第二螺栓孔 11141» 則設置於該第二螺 紋孔 11131）及該第四螺紋孔 1113（1之間 。

該第二單元 12 還包括一第一定位銷孔 12113 ' 一第二 定位銷孔 121113、 一第一貫孔 12168、 一第二貫孔 12161）、 一第五螺紋孔 12136以及一第六螺紋孔 1213!。

該第一定位銷孔 1211 及該第二定位銷孔 12111） 設置 於該第二單元 12 之該上表面 121 靠近該第一單元 11 之一 侧 ， 且均為貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 。 該第五螺紋孔 12136 以及第六螺紋孔 1213 則是設置在該 第二單元 12 之該上表面 121 遠離該第一單元 11 之一側 ， 本態樣中 ， 該第五螺紋孔 12136 以及第六螺紋孔 1213 為 貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 ， 該第一貫孔 12163 及該第二貫孔 1216 則分別設置於該第一定位銷孔 12113 與該第五螺紋孔 12136 之間 、 以及該第二定位銷孔 121113與該第六螺紋孔 1213 !之間 。

本發明 2埠接頭之第四態樣 1（1， 如 『圖 4』 所示 。 該 2 埠接頭 1 和該 2埠接頭 1 <3之間的差異為 ， 該 2 埠接頭 1（1 不具有該第一定位銷孔 11118、 該第二定位銷孔 11111）、 該 第一下螺紋孔 11213以及該第二下螺紋孔 1121 b，且該第一 螺紋孔 11138 及該第三螺紋孔 11131） 彼此較靠近 ， 且相對 於該第一流體流通孔 11123 相互對稱設置 ， 此外 ， 該第一 螺紋孔 111 、該第三螺紋孔 111313以及該第一流體流通孔 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

11123排列於一虛擬直線上。其餘配置和結構� ��上述之第三 態樣 1（：相同 。

3埠接頭

本發明之 3 埠接頭係指一接頭上有三個可作為流體入 口或流體出 口之流通孔 ， 舉例來說 ， 實際使用 時可為一流 體入口及兩流體出 口 、 兩流體入口及一流體出 口 、 或者僅 使用其中兩個流通孔作為一流體入口及一流體 出 口 。

『圖 5人』至『圖 5 』為本發明 3 埠接頭之第一態樣 2&，

延伸單元 13， 該第一單元 11 包括一第一定位塊 118 ' 一第 一凹陷部 111）以及一第一舌部 11〇 , 該第一單元 11 具有一 上表面 111 、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、 以及分 別與該上表面 111 及該下表面 112 連接之一第一側表面 113、 一第二侧表面 114、 一第三侧表面 115、 及一第四侧 表面 116 ， 該第一侧表面 113 與該第三側表面 115 對應設 置 ， 而該第二側表面 114與該第四侧表面 116對應設置 。

該第二單元 12 包括一第二定位塊 12&、 一第二凹陷部 121）以及一第二舌部 12〇， 該第二定位塊 123 自該第一單元 11 的該下表面 112之一部分突出 ，該第一單元 11 的該下表 面 112 之另一部分則因該第二定位塊 123 的設置而內凹成 該第二凹陷部 121）， 該第二凹陷部 121）相鄰於該下表面 112

該第二舌部 12〇 自該第二定位塊 12 朝遠離該第二凹陷部 121）的一侧延伸而突出該第一單元 11 ， 該第二單元 12 亦具 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

有一上表面 121 、 一與該上表面 121 相對之下表面 122、 以 及分別與該上表面 121 及該下表面 122 連接之一第一侧表 面 123、 一第二側表面 124、 一第三侧表面 125、 及一第四 側表面 126，該第一側表面 123與該第三侧表面 125對應設 置 ， 而該第二側表面 124與該第四侧表面 126對應設置 。

該延伸單元 13係自該第一單元 11 和該第二單元 12靠 近該第二側表面 114、 124的一端朝外突出 ， 該延伸單元 13 包括一上表面 131 、 一與該上表面 131 相對之下表面 132、 以及分別與該上表面 131 及該下表面 132 連接之一第一侧 表面 133、 一第二側表面 134及一第三侧表面 135， 該第一 側表面 133與該第三侧表面 135對應設置 ， 該延伸單元 13

『圖 5人』所示。該延伸單元 13 的該第一侧表面 133和第一 單元 11 的該第二側表面 114 之間形成一弧狀的第一凹部 21 ； 該延伸單元 13 的該第三侧表面 135 和該第二單元 12 的該第二側表面 124之間亦形成一弧狀的第二凹部 22 ， 該 擋牆 137 和該第三侧表面 115 之間形成一弧狀的第三凹部 23 °

本實施例中 ，該第一單元 11、該第二單元 12與該延伸 單元 13 為一體成形之結構 ， 即 ， 該第一單元 11 與該第二 單元 12具有相同之寬度 。

該第一單元 11 還包括一第一定位銷孔 11118 ' 一第二 定位銷孔 11111）、 一第一流體流通孔 11128、 一第二流體流 通孔 111213、 一第一螺紋孔 11133 ' 一第二螺紋孔 11131）、 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

一第三螺紋孔 1113〇、 一第四螺紋孔 1113（1、 一第一下螺紋 孔 1121 、 一第二下螺紋孔 1121 ¾＞、 一第一螺栓孔 11148以 及一第二螺栓孔 111413。 該延伸單元 13 還包括一第三流體 流通孔 1312 、 一第五螺紋孔 13138 以及一第 六螺紋孔 131315。

其中 ， 該第一定位銷孔 11118 以及該第二定位銷孔 11111） 均設置於該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 之一 侧 ， 且為一貫穿該上表面 111 以及該下表面 122之貫孔 。

該 第 一 流體流通孔 11128 以及該第 二流體流通孔 1112 分別設置於該上表面 111靠近該第一側表面 113以及 該第三侧表面 115之一側 ， 該第三流體流通孔 1312設置於 該上表面 131 靠近該第二側表面 134 之一侧 。 於該第一流 體流通孔 11123 及該第二流體流通孔 1112¾） 之間設置有一 第一通道 11153 以令該第一流體流通孔 11123 及該第二流 體流通孔 1112 之間得以連通 ； 並且 ， 於該第二流體流通 孔 11121）與該第三流體流通孔 1312之間還設置有一第二通 道 111513 以令該第二流體流通孔 11121） 及該第三流體流通 孔 1312之間得以連通 ， 其中 ， 該第一通道 11153與該第二 通道 111513彼此相接連通且延伸之方向彼此垂直。換 言之， 該第一流體流通孔 11123 透過該第一通道 11158 與該第二 通道 11155 而和該第二流體流通孔 11121） 與該第三流體流 通孔 1312連通 。 為了避免流體流經該些通道時殘存其中 ， 於本態樣中 ， 該些通道均經處理而具有一鏡面表面 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 1113¾＞、 該第三螺 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

紋孔 111 1113（1、 該第五螺紋孔 13138 ' 該第六螺紋孔 131313、該第一下螺紋孔 11213及該第二下螺 紋孔 112^ 均為具有螺紋之盲孔 。 其中 ， 該第一螺紋孔 11133及該第二螺紋孔 11131）設置在該第一單元 11 之該上 表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧 ， 且該第一定位銷 孔 11113以及該第二定位銷孔 11111）亦設置在該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 之一侧 ； 該第三螺紋孔 1113（： 設置 在該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一側 ， 而該第四 螺紋孔 1113（1則設置在該上表面 111 靠近該第四侧表面 116

在該延伸單元 13 的該上表面 131 上靠近該第二側表面 134 之一側 ， 且該第三流體流通孔 1312 設置在該第五螺紋孔 13133及該第六螺紋孔 131313之間 。該第一下螺紋孔 11213 及該第二下螺紋孔 112113設置在該下表面 112，且靠近該第 一螺栓孔 11143以及一第二螺栓孔 11141）。

該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 11141） 均為貫 通該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 。 與前述之該螺 栓孔結構相同（請搭配參考 『 圖 III』 ） ， 該貫孔中均設有一 凸出部 ， 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 111 之該貫孔具有不同之直徑 及 1^2:靠近該上表面 111 之直 112之直徑為 尺2,且 大於 2。 本態樣中 ， 該第一螺栓孔 11143 之設置係設置於該第一螺 紋孔 11133 及該第三螺紋孔 1113〇 之間 ， 該第二螺栓孔 111413則設置於該第二螺紋孔 11131）及該第四螺紋孔 1113（1 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

之間 。

該第二單元 12 還包括一第三定位銷孔 1211（：、 一第四 定位銷孔 1211（1 ' 一第一貫孔 12168 ' 一第二貫孔 121613、

該第三定位銷孔 1211〇 及該第四定位銷孔 1211（1 設置 於該第二單元 12 之該上表面 121 靠近該第一單元 11 之一 側 ， 且均為貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 。 該第七螺紋孔 1213^ 以及該第八螺紋孔 1213 則是設置在 該第二單元 12之該上表面 121 遠離該第一單元 11 之一侧， 本態樣中 ， 該第七螺紋孔 1213 以及該第八螺紋孔 12131: 亦為貫穿該上表面 121 以及該下表面 122 之貫孔 。 而該第 一貫孔 12163 及該第二貫孔 12161） 則分別設置於靠近該第 三定位銷孔 1211（：與該第七螺紋孔 、以及靠近該第四 定位銷孔 1211（1與該第八螺紋孔 1213 。

本發明 3埠接頭之第二態樣 ， 如 『圖 6』 所示 。 該 3 埠接頭 21），除了該第一單元 11 的該上表面 111 與第一態樣 不同之外 ， 其餘配置和結構均相同 。 於該 3庳接頭 213 中 ， 其第一單元 11 之該上表面 111 不 包括該第一定位銷孔 11113 以及該第二定位銷孔 11111） ， 且該第一螺紋孔 11133 及該第二螺紋孔 11135 的位置移動使兩者和該第一流體流 通孔 11128排列於一虛擬直線上 。

4埠及 4埠以上接頭

本發明所稱之「 4埠及 4埠以上接頭」係指一接頭上有 四個或四個以上的流體流通孔 ， 作為流體入口 或流體出 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

口 ， 然並無特定之方向 。

『 圖 7人』 至 『 圖 7（：』 為本發明 4埠以上接頭之第一態 11 更包括一第四流體流通孔 1112〇 之外 ， 其餘結構與前述之該 3 埠接頭 28相 同 ， 故下文中僅 針對其流體流通孔之結構進行說明 而不再多 贅述其他結 構 。

第二流體流通孔 11121） 分別設置於該上表面 111 靠近該第 一侧表面 113 以及該第三侧表面 115 之一侧 ， 該第四流體 流通孔 1112（3 則設置於該第一流體流通孔 11123 與該第二 流體流通孔 11121）之間並靠近該第二流體流通孔 11121），於 一實施例中 ， 該第一流體流通孔 111

111213、 以及該第四流體流通孔 1112（：於該上表面 111 排列 在一虛擬直線上 。 該第三流體流通孔 1312設置於該延伸單 元 13 的該上表面 131 上靠近該第二侧表面 134之一側 ， 且 該第三流體流通孔 1312設置在該第五螺紋孔 13138及該第 六螺紋孔 131313之間 。

該第一流體流通孔 11128 及該第四流體流通孔 1112〇 之間設置有一第一通道 11158 以連通該第一流體流通孔 11123 及該第四流體流通孔 111 於該第二流體流通孔 1112 與該第三流體流通孔 1312 之間亦設置有一第二通道 11155 以連通該第二流體流通孔 1112 及該第三流體流通 孔 1312 。 不 同於 3 埠接頭之通道設計 ， 本態樣中 ， 該第一 通道 11158 與該第二通道 111513 彼此不連通 ， 故形成 4 璋 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

的結構 ， 此外 ， 該第一通道 11153 與該第二通道 11151） 延 伸之方向彼此垂直 。 為 了避免流體流經該些通道時殘存其 中 ， 於本態樣中 ， 該些通道均經處理而具有一鏡面表面 。

本發明 4埠以上接頭之第二態樣 31）， 如 『圖 8』 所示 。 在該 4 埠以上接頭 31） 中 ， 除了該第一單元 11 的該上表面 111 與第一態樣不同之外 ， 其餘配置和結構均相同 。於第二 態樣中 ，在其第一單元 11 之該上表面 111 不設置該第一定 位銷孔 11118以及該第二定位銷孔 11111），且該第一螺紋孔 11133 及該第二螺紋孔 1113 的位置移動使兩者和該第一 流體流通孔 11128排列於一虛擬直線上 。

本發明 ，如『圖 9 』至『圖 9 』 所示 。於該 4埠以上接頭 3。 中具有一第一單元 11 、 一 第二單元 12 以及一延伸單元 13。 該第一單元 11 具有一上 表面 111 、 一與該上表面 111 相對之下表面 112、 以及分別 與該上表面 111 及該下表面 112連接之一第一側表面 113、 一第二側表面 114、 一第三侧表面 115 、 及一第四側表面 116， 該第一侧表面 113與該第三侧表面 115對應設置 ， 而 該第二侧表面 114 與該第四侧表面 116 對應設置 。 本態樣 中 ， 該第二單元 12 包括一第二定位塊 128以及一第二凹陷 部 121），該第二定位塊 128 自該第一單元 11 的該下表面 112 之一部分突出 ， 該第一單元 11 的該下表面 112之另一部分 則 因該第二定位塊 128 的設置而 內 凹成該第 二凹 陷部 121）， 該第二凹陷部 121）相鄰於該下表面 112之另一部分與 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

元 12 具有一下表面 122 、 以及與該下表面 122連接之一第 一侧表面 123、 一第二侧表面 124、 一第三侧表面 125、 及 一第四侧表面 126， 該第一侧表面 123與該第三侧表面 125 對應設置 ， 而該第二侧表面 124 與該第四侧表面 126 對應 設置 。

該延伸單元 13係自該第一單元 11 和該第二單元 12靠 近該第二側表面 114、 124 的一側端朝外突出 ， 於本實施例 中 ， 該侧端係和該第一定位塊 11 該第二定位塊 128 突出 的端部相異 ， 該延伸單元 13 包括一上表面 131 、 一與該上 表面 131 相對之下表面 132、以及分別與該上表面 131 及該 下表面 132 連接之一第一側表面 133、 一第二侧表面 134 及一第三側表面 135 ， 該第一侧表面 133 與該第三侧表面 135對應設置 。 該延伸單元 13 的該第一侧表面 133和該第 一單元 11 的該第二侧表面 114之間形成一弧狀的第一凹部 21 ； 該延伸單元 13 的該第三侧表面 135 和該第一單元 11 的該第二侧表面 114 之間形成亦形成一弧狀的第二凹部 22，該第三側表面 135和該第二單元 12的該第二侧表面 124 之間形成一弧狀的第三凹部 23。

本實施例中 ，該第一單元 11、該第二單元 12與該延伸 單元 13 為一體成形之結構 。 本實施例中 ， 該第二單元 12 之面積小於該第一單元 11，使該第一單元 11 的該第三侧表 面 115與該第二單元 12的該第三侧表面 125切齊成為一平 坦面 。

該第一單元 11 還包括一第一定位銷孔 11113 ' 一第二 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

定位銷孔 11111）、 一第一流體流通孔 11123、 一第二流體流 通孔 111213、 一第四流體流通孔 1112〇、 一第五流體流通孔 1112（1、 一第六流體流通孔 1112 、 一第一螺紋孔 11138 ' 一第二螺紋孔 11131）、 一第三螺紋孔 1113〇、 一第四螺紋孔 1113（1、 一第七螺紋孔 11136、 一第八螺紋孔 1113 、 一第 九螺紋孔 111 一第十螺紋孔 1113 、 一第一下螺紋孔 11213 ' 一第二下螺紋孔 11211）、 一第一螺栓孔 11143 以及 一第二螺栓孔 111 。 該延伸單元 13 還包括一第三流體流 通孔 1312、一第五螺紋孔 13133 以及一第六螺紋孔 13131）。 其中 ， 該第一定位銷孔 11118 以及該第二定位銷孔 1111 b 均設置於該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧 ， 且 為一貫穿該上表面 111 以及該下表面 112之貫孔 。

該第一流體流通孔 1112 、 該第二流體流通孔 11125 分別設置於該上表面 111 靠近該第一侧表面 113 以及該第 三侧表面之一側 ， 該第三流體流通孔 1312設置在該延伸單 元 13 的該上表面 131 上靠近該第二侧表面 134之一側 ， 該 第四流體流通孔 1112〇 則設置於該第一流體流通孔 11123 與該第二流體流通孔 11121）之間，該第五流體流通孔 1112（1 則設置於該第一流體流通孔 11128 與該第四流體流通孔 111 ，該第六流體流通孔 11126則設置於該第四流體 流通孔 1112（3 與該第二流體流通孔 11121） 之間 ， 使得該第 一流體流通孔 11123、 該第二流體流通孔 11121）、 該第四流 體流通孔 111 1112（1、 以及該第六流 體流通孔 11126排列在一虛擬直線上 。 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

於該第一流體流通孔 11123 及第五流體流通孔 1112（1 之間設置有一第一通道 11153 以連通該第一流體流通孔 11128 及該第五流體流通孔 1112（1 ； 於該第二流體流通孔 11125 與該第六流體流通孔 11126 之間設置有一第二通道 11155 以連通該第二流體流通孔 1112 及該第六流體流通 孔 1112 ₆ ； 此外 ， 該第三流體流通孔 1312 與該第四流體流 通孔 111 1115〇 以連通該第三流 體流通孔 1312 及該第四流體流通孔 1112（3。 本態樣中 ， 該 第一通道 11153、該第二通道 11151）、以及該第三通道 1115〇 彼此不連通 ， 故形成 6埠的結構 ， 此外 ， 該第一通道 11158 與該第二通道 1115 延伸之方向彼此平行 ， 而該第一通道 11153與該第三通道 1115〇延伸之方向彼此垂直。且為了避 免流體流經該些通道時殘存其中 ， 於本態樣中 ， 該些通道 均經處理而具有一鏡面表面 。

該第一螺紋孔 11133、 該第二螺紋孔 11131）、 該第三螺 紋孔 1113〇 ' 該第四螺紋孔 1113（1 ' 該第五螺紋孔 13138 ' 該第六螺紋孔 131313、 該第七螺紋孔 11136、 該第八螺紋孔 1113 、 該第九螺紋孔 1113 、 該第十螺紋孔 1113 、 該第 一下螺紋孔 11213及該第二下螺紋孔 112^ 均為具有螺紋 之盲孔 。

其中 ， 該第一螺紋孔 111 11131） 設 置在該第一單元 11 之該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一側 ， 且該第一螺紋孔 11138 及該第二螺紋孔 11131） 與 該上表面 111 靠近該第一側表面 113 之一侧之間分別設置 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

該第一定位銷孔 11118 以及該第二定位銷孔 111113。

該第三螺紋孔 1113（： 以及該第九螺紋孔 11138 均設置 在該上表面 111 靠近該第二侧表面 114 之一侧 ， 該第五螺

該上表面 131 上靠近該第二侧表面 134 之處 。 更具體地 ， 該第三螺紋孔 1113〇 設置在靠近該第一凹部 21 、 該第九螺 紋孔 1113 則是設置靠近該第二凹部 22 。 且該第三流體流 通孔 1312 設置在該第五螺紋孔 13138 及該第六螺紋孔 13135之間 。

該第七螺紋孔 11136 以及該第八螺紋孔 1113f 設置在 該第一單元 11 靠近該第三侧表面 115 之一側 ， 使該第二流 體流通孔 11121） 設置於該第七螺紋孔 11136 以及該第八螺 紋孔 1113 ! 之間 。

而該第四螺紋孔 1113（1 以及該第十螺紋孔 1113}1 則靠 近該第四側表面 116，且設置於該第二螺紋孔 11131） 以及該 第八螺紋孔 111 ， 其中 ， 該第四螺紋孔 1113（1 靠近 該第二螺紋孔 111313 設置 ， 而該第十螺紋孔 1113 靠近該 第八螺紋孔 111 。 該第一下螺紋孔 1121& 及該第二 下螺紋孔 11211）設置在該下表面 112,且靠近該第一螺栓孔 11143 以及一第二螺栓孔 11141）。

該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 11141） 均為貫 通該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 ， 該貫孔中均設 有一凸 出部 ， 使該第一螺栓孔 11143 以及該第二螺栓孔 111413之該貫孔具有不同之直徑 及 1^2:靠近該上表面 111 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

之直徑為 而靠近該下表面 112 之直徑為 1?2 , 且 大 於 2（請參考圖 III）。 本態樣中 ， 該第一螺栓孔 11143之設 置係設置於該第一螺紋孔 111 1113（： 之 間 ， 該第二螺栓孔 11141） 則設置於該第二螺紋孔 11131） 及 該第四螺紋孔 1113（1之間 。

連接件

連接件作為連接上述 2埠、 3埠及 4埠以上接頭接頭以 及管體之用途 ，於本發明 中 ， 係以以下兩種態樣舉例說明 。

請搭配 『圖 10八』 至 『 圖 10（：』， 係為本發明連接件之 第一態樣 48， 該連接件 48 具有一第一單元以及一第二單 元 。

該第一單元具有一上表面 111、一與該上表面 111 相對 之下表面（圖未示） 、 以及分別與該上表面 111 及該下表面 連接之一第一侧表面 113、 一第二侧表面 114、 一第三侧表 面 115、及一第四侧表面（圖未示），該第一侧表 面 113與該 第三側表面 115 對應設置 ， 而該第二侧表面 114 與該第四 侧表面（圖未示）對應設置 。

該第一單元之該上表面 111 包括一第一貫孔 11168' - 第二貫孔 111613、 以及一第一流體流通孔 11128 其中 ， 該 第一流體流通孔 11128 設置於該第一貫孔 11168 與該第二 貫孔 1116b之間 。

本態樣中 ， 該第一貫孔 11168 以及該第二貫孔 1116 分別貫穿該上表面 111 以及該下表面（圖未示） ， 而該第一 流體流通孔 1112 _¾ 則是具有一位於該第二侧表面 114 之開 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

口端 1141 。

該第二單元則為一具中空管狀結構之元件 ， 包括一內 表面 127 以及一外表面 128’且該第二單元之一端連通該第 一流體流通孔 11123之該開口端 1141 。

本發明連接件之第二態樣 41），如『 圖 11人』至『圖 1；^』 所示 。 該連接件 4 中僅包括一第一單元 ， 該第一單元具有 一上表面 111 、 一與該上表面 111 相對之下表面 112。 於該 第一單元 11 之該上表面 111 包括一第一貫孔 11168 ' 一第 二貫孔 11161）、 以及一凹槽 1117 , 該凹槽 1117設置於該第 一貫孔 11168與該第二貫孔 1116b之間 。

本態樣中 ， 該第一貫孔 11168 以及該第二貫孔 1116 分別為貫穿該上表面 111 以及該下表面 112 之貫孔 ， 而該 凹槽 1117 則具有一凸出使該凹槽 1117 具有不同之直徑 ： 靠近該上表面 111 之直徑大於靠近該下表面 112之直徑 。

流體控制裝置

以本發明來說 ， 該流體控制裝置主要包括一基座 、 複 數個連接塊以及複數個流體控制件，該連接塊 係自 前述之 2 埠接頭 、 3 埠接頭 、 4埠以上接頭至少選擇兩者彼此鄰接 。 接下來 ， 將透過具體實施例說明如何將該些接頭與設備 結 合而組成本發明的流體控制裝置。 惟先說明的是， 前述之 2 埠接頭 、 3埠接頭 、 4埠以上接頭 、 以及連接件彼此之間的 組合並沒有特定的順序 ， 本領域人士可依照實際需求從中 選用適當的組合 。

舉例來說 ， 欲將一過濾器經由該些接頭組裝於本發明 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

之流體控制裝置時 ， 可將該過濾器與兩種相 同或不 同 態樣 的 2 埠接頭連接、亦可選擇使該過濾器與一 2 璋接頭及一 3 埠接頭連接 ； 另一實施例 中 ， 如欲將一 2 埠截止閥經由該 些接頭組裝於本發明之流體控制裝置時 ， 則兩接頭的其中 一者可選用該 2 埠接頭 、 另一者可為 2 埠接頭 、 3 埠接頭 、 4 璋以上接頭 、 或者是連接件 ； 又一實施例 中 ， 如欲將一 3 埠截止閥經由該些接頭組裝於本發明之流體控 制裝置時 ， 則兩接頭的其中一者可選用該 3 埠接頭 、 另一者可為 2 埠 接頭 、 3 埠接頭 、 4 埠以上接頭 、 或者是連接件 。 或於一實 施例中 ， 該 2 埠接頭之第四態樣 1 (1係適合用在複數個接頭 中的端部 ， 即該 2 埠接頭之第四態樣 1 (1 的一側與另一個接 頭連接 ， 但另一侧則無 。

請參閱 『 圖 1 2人』 至 『 圖 1 2 (：』 ， 係本發明的流體控制 裝置一實施例 ， 該流體控制裝置包括一基座 20 、 複數個連 接塊以及複數個流體控制件 ， 該連接塊包括一 2 埠接頭 1 (1、 一 2 埠接頭 1〇 以及一 4 埠以上接頭 33， 該流體控制件 包括一進氣件 1〇3 、 一手動閥 1 04 以及一第一 2 璋截止閥 1 0 5 ， 該連接塊設置於該基座 2 0 上 ， 該連接塊彼此疊接橫 向組裝 ， 而該流體控制件設置於該連接塊上 ， 此外 ， 該流 體控制裝置還包括複數個密封板 30 ,該密封板 3 0 放置於該 流體控制件和該連接塊之間 ， 該密封板 30 具有複數個流體 通過孔 3 1 、 複數個定位孔 32 以及設置於該流體通過孔 3 1 的墊片 33 。

該基座 20 之材質可為金屬 ， 包括複數個定位槽 2 1。 有 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

關該連接塊的組裝 ， 請參閱 『 圖 12（：』， 並以該 2 埠接頭 和該 2 璋接頭 1（1 來說明 ， 該 2 埠接頭 1（： 的該第二單元 12 的該第二舌部 12（： 設置於 2 埠接頭 1（1 的該第二單元 12 的 該第二凹陷部 121），使將 2 埠接頭 1（1 的該第二單元 12 的該 第三側表面 125 抵頂於該 2 埠接頭 1〇 的該第二單元 12 的 該第一侧表面 123 。 該 2 璋接頭 1（1 的該第一定位銷孔 12113 、 該第二定位銷孔 12111） 、 該第一貫孔

二貫孔 12161） 、 該第五螺紋孔 12136 以及該第六螺紋孔 1213［ 分別對準該 2 埠接頭 11118 ' 該第二定位銷孔 11111）、 該第一下螺紋孔 11213、 該第二下 螺紋孔 11211） 、 該第 一螺栓孔 11148 以及該第二螺栓孔 111413。

其中 ， 兩第一固定件 4（）3 係分別貫穿該第一定位銷孔 12118和該第一定位銷孔 11118之間，以及該第二定位銷孔 121113 和該第二定位銷孔 1111 之間 ， 而使該 2 埠接頭 1（1 和該 2 埠接頭 1〇彼此定位 ； 兩第二固定件 401）分別從該基 座 20 的該定位槽 21， 而穿設於該第一貫孔 12163和該第一 下螺紋孔 1121 & 之間 ， 以及該第二貫孔 12161） 和該第二下 螺紋孔 11211） 之間 ， 使該 2 埠接頭 2 埠接頭 1（1和 該基座 20 彼此固定 ； 兩第三固定件 40〇 分別貫穿該第一螺 栓孔 111 12136 之間 ， 以及該第二螺栓 孔 1114 和該第六螺紋孔 1213! 之間 ， 使該 2 埠接頭 該 2 埠接頭 1 彼此鎖固 。 四個第四固定件 40（1 穿過該手動 閥 104 的穿孔 、 該密封板 30 的該定位孔 32 而鎖固於該 2 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

埠接頭 1〇 的該第三螺紋孔 1113〇 ' 該第四螺紋孔 1113 以 及該 2璋接頭 1 的該第三螺紋孔 1113（： 以及該第四螺紋孔 1113（1。 於本實施例 中 ， 該第一固定件 4（^係一插銷 ， 而該 第二固定件 401）、 該第三固定件 40〇 ' 該第四固定件 40（1係 一螺栓 。 此外 ， 複數個第五固定件 406 穿過該進氣件 103 的穿孔而鎖固於該 2璋接頭 1（1的該第一螺紋孔 111

該第二螺紋孔 11131）。

請續參照 『 圖 13』， 為本發明一實施例之流體控制裝置 示意圖 。

該流體控制裝置包括一基座 20 、 一接頭模組 1 、 以及 一流體控制件模組 100。該流體控制件模組 100 包括複數個 流體控制件 ， 本實施例 中欲設置於該流體控制裝置之流體 控制件 ， 由一氣體進入的方向往該氣體離開的方向 ， 依序 為 ： 一進氣件 103、一手動閥 104、一第一 2 淳截止閥 105 、 一第一 3 埠截止閥 1063 、 一高潔淨調壓閥 107 、 一壓力傳 感器 108、 一過濾器 109、 一第二 2 埠截止閥 1051）、 一質量 流量控制器 110 ' 一第二 3 库截止閥 10613 、 以及一第三 2 埠截止閥 105〇 。

參 『 圖 13』， 該接頭模組 1 包括複數個連接塊 ， 該連接 塊係沿一軸向排列 ， 該連接塊各包括一上半部 II 以及一下 半部 ［ ， 該上半部 11 包括至少一流體入口 、 至少一流體出 口 、 以及至少一連通該流體入口和該流體出 口之間且朝一 水平方向延伸的連接通道 （：，該下半部

遠離該凹陷部並沿該轴向延伸突出 的舌部 ， 本實施例 中 ， \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

該連接通道 0係高於該舌部的一上表面 ？， 且該連接通道 0 和該連接塊之一底面相距一高度 ， 相鄰的該連接塊係透過 該舌部容設於該凹陷部內 而彼此連接 。 該上半部 11 具有一

且和該上固定孔對應的下固定孔 ， 相鄰的該連接塊透過至 少 一 固 定件穿設於該上固 定孔以及該下 固 定孔而彼此固 定 ， 例如 『 圖 1 2（：』 中 ， 該第三固定件 40（： 分別貫穿該第一 螺栓孔 1 1 1 43和該第五螺紋孔 1 2 1 36之間。於本實施例中 ， 該流體入口 、 該流體出 口 以及該連接通道 0 係形成一貫設 於單一該連接塊內的 II形通道 。

或者 ， 該接頭模組 1 包括複數個連接塊 ， 該連接塊係 沿一軸向排列 ， 該連接塊各包括至少一流體入口 、 至少一 流體出 口 、 以及至少一連通該流體入口和該流體出 口之間 且朝一水平方向延伸而和該連接塊之一底面相 距一高度的 連接通道 ， 其中 ， 該連接塊的一端形成一突出 的第一舌部 ， 另一端形成一凹陷部 ， 相鄰的該連接塊係透過該第一舌部 容設於該凹陷部內 而彼此連接 ， 於本實施例 中 ， 該舌部的 突出 方向平行於該軸向 。 該第一舌部具有一縱向貫穿的第 一 固 定孔 ， 該連接塊的該另 一端還形成一 突 出 的 第二舌 部 ， 且該第二舌部具有一縱向貫穿的第二固定孔 ， 相鄰的 該連接塊係透過一 固定件穿設於該第一 固定孔以及該第二 固定孔而彼此固定 。 於本實施例 中 ’ 該流體入口 、 該流體 出 口以及該連接通道 0 係形成一貫設於單一該連接塊內的 II形通道 。 該流體控制件設置於該基座 20 和該接頭模組 1 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

上方 ， 該流體控制件具有一 出 口 0 以及一入口 I ， 該出 口 0 以及該入口 I 分別連接至該連接塊的該流體入口 以及相鄰 的該連接塊的該流體出 口 。

有關該固定孔 、 該固定件 、 該流體入口 、 該流體出 口 、 該凹陷部以及該舌部等結構特徵 ， 請參 『 圖 1八』 至 『 圖 9 ?』 所示 。

該接頭模組 1 使該流體控制件得以 緊固於該基座 2 0 上 ， 其包括複數個接頭 。『 圖 1 2』 所使用 的接頭 ， 由一氣體 進入的方向往該氣體離開的方向 ，依序為 ：該 2 埠接頭 1 (1、 該 2 埠接頭 1 <3、 該 4埠以上接頭 38、 該 2 埠接頭 1 、 該 2 埠接頭 1 (1 、 該 2 埠接頭 1 (1、 該 2 埠接頭 1 (1、 該 2 埠接頭 1 8、 該 2 埠接頭 1 8、 該 4 埠以上接頭 3 、 以及該 4埠以上 接頭 313 ， 於本發明 中 ， 該些接頭透過其第一單元與相鄰接 頭之第二單元而彼此疊合 ， 達到簡單組裝及拆卸的 目 的 。 除此之外 ， 氣體能夠在該些接頭及流體控制件之間流動 ， 從而降低氣體外洩之風險 。

以上已將本發明做一詳細說明 ， 惟以上所述者 ， 僅爲 本發明的一較佳實施例而 已 ， 當不能限定本發明實施的範 圍 。 即凡依本發明 申請範圍所作的均等變化與修飾等 ， 皆 應仍屬本發明的專利涵蓋範圍 內 。

【圖式簡單說明】 指定代表圖為 ： 圖 1 3 。

『 圖 1人』 ， 為本發明 2 埠接頭之第一態樣之立體圖 。

『 圖 』， 為本發明 2 埠接頭之第一態樣之左侧視圖 。

『 圖 1 (：』 ， 為本發明 2 埠接頭之第一態樣之仰視圖 。 \¥0 2019/112512 卩（：17802017/050596

『圖 1 0』， 為本發明 2埠接頭之第一態樣之俯視圖 。

『圖 1 』， 為 『 圖 1人』 之 1^-13剖視圖 。

『圖 2』， 為本發明 2埠接頭之第二態樣之立體圖 。

『圖 3人』， 為本發明 2埠接頭之第三態樣之立體圖 。 『圖 38』， 為本發明 2埠接頭之第三態樣之左侧視圖 。 『圖 3（：』， 為本發明 2埠接頭之第三態樣之仰視圖 。 『圖 31）』， 為本發明 2埠接頭之第三態樣之俯視圖 。 『圖 3£』， 為 『 圖 3人』 之 0（：剖視圖 。

『圖 4』， 為本發明 2埠接頭之第四態樣之立體圖 。

『圖 5人』， 為本發明 3埠接頭之第一態樣之立體圖 。 『圖 56』，為本發明 3埠接頭之第一態樣之另一視角立 體圖 。

『 圖 5（：』， 本發明 3 埠接頭之第一態樣之左側視圖 。 『 圖 5 I） 』， 為本發明 3埠接頭之第一態樣之仰視圖 。 『 圖 5å』， 為本發明 3埠接頭之第一態樣之俯視圖 。

『 圖 6』， 為本發明 3埠接頭之第二態樣之立體圖 。

『 圖 7 』， 為本發明 4 埠以上接頭之第一態樣之立體 圖 。

『 圖 8』，為本發明 4璋以上接頭之第二態樣之立體圖。 \¥02019/112512 卩（：17802017/050596

『圖 9 』， 為本發明 4 埠以上接頭之第三態樣之立體 圖 。

『圖 96』，為本發明 4埠以上接頭之第三態樣之左侧視 圖 。

『 圖 9（：』， 為本發明 4 埠以上接頭之第三態樣之仰視 圖 。

『 圖 90』， 為本發明 4 庳以上接頭之第三態樣之俯視 圖 。

『 圖 9å』， 為 『 圖 9人』 之 11-11剖視圖 。

『 圖 9F』， 為 『 圖 9人』 之 I - 1 剖視圖 。

『 圖 10八』， 為本發明連接件之第一態樣之立體圖 。

『 圖 10（：』， 為 『圖 10 』 之 ]（-]｛剖面圖 。

『 圖 11人』， 為本發明連接件之第二態樣之立體圖 。

『 圖 11：8』， 為 『圖 11 』 之 1 _^ -：1剖面圖 。

『 圖 12人』， 為本發明一實施例之流體控制裝置之立體 圖 。

『 圖 126』， 為本發明一實施例之流體控制裝置另一視 角之立體圖 。

『 圖 12（：』， 為本發明一實施例之流體控制裝置之分解 圖 。

『 圖 13』， 為本發明另一實施例之流體控制裝置示意 圖 。