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Patent Searching and Data


Title:
FUSE CIRCUIT
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/047834
Kind Code:
A1
Abstract:
A fuse circuit is provided with a fuse coupling a first node and a second node, a latch circuit and a diode coupling the second node and an input end of the latch circuit. Prescribed voltage is applied to the second node so that the diode becomes a backward bias state in a state where the first node is connected to first power potential, and the fuse can be cut.

Inventors:
ISHIDA HIDEKI (JP)
Application Number:
PCT/JP2007/069681
Publication Date:
April 16, 2009
Filing Date:
October 09, 2007
Export Citation:
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Assignee:
FUJITSU MICROELECTRONICS LTD (JP)
ISHIDA HIDEKI (JP)
International Classes:
H01L21/82; H01L21/822; H01L27/04
Foreign References:
JPH0468555A1992-03-04
JP2006319504A2006-11-24
JP2007149980A2007-06-14
JPS59105354A1984-06-18
JP2007235156A2007-09-13
Attorney, Agent or Firm:
ITOH, Tadahiko (Yebisu Garden Place Tower20-3, Ebisu 4-chom, Shibuya-ku Tokyo 32, JP)
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Claims:
 第1のノードと第2のノードとの間を結合するフューズと、
 ラッチ回路と、
 該第2のノードと該ラッチ回路の入力端との間を結合するダイオード
を含み、該第1のノードが第1の電源電位に接続された状態で、該ダイオードが逆方向バイアス状態となるように該第2のノードに所定の電圧を印加して該フューズを切断可能であることを特徴とするフューズ回路。
 第2の電源電位に接続される第3のノードと該ラッチ回路の該入力端との間を結合するトランジスタを更に含むことを特徴とする請求項1記載のフューズ回路。
 該第1のノードが該第1の電源電位に接続され、該第2のノードが特定の電位に固定されることなく、該第3のノードが該第2の電源電位に接続された状態で、該フューズの切断/非切断に応じたデータを該ラッチ回路に取り込むことを特徴とする請求項2記載のフューズ回路。
 該トランジスタはPMOSトランジスタであり、該第2の電源電位は該第1の電源電位よりも高く、該ダイオードのアノードは該ラッチ回路の該入力端に結合されカソードは該第2のノードに結合されることを特徴とする請求項2記載のフューズ回路。
 該トランジスタはNMOSトランジスタであり、該第2の電源電位は該第1の電源電位よりも低く、該ダイオードのアノードは該第2のノードに結合されカソードは該ラッチ回路の該入力端に結合されることを特徴とする請求項2記載のフューズ回路。
 該第2のノードに結合されるバイポーラトランジスタを更に含み、該所定の電圧は該バイポーラトランジスタを介して該第2のノードに印加されることを特徴とする請求項1記載のフューズ回路。
 該第2のノードに結合されるサイリスタを更に含み、該所定の電圧は該サイリスタを介して該第2のノードに印加されることを特徴とする請求項1記載のフューズ回路。
 該ラッチ回路はトランジスタ素子を含み、該ダイオードは該トランジスタ素子の寄生ダイオードであることを特徴とする請求項1記載のフューズ回路。
Description:
フューズ回路

 本発明は、一般に半導体集積回路に関し 詳しくはフューズ回路に関する。

 半導体記憶装置等の半導体装置において 、装置内部にフューズ回路を設け、このフ ーズ回路のフューズを工場出荷時に選択的 切断することにより、アドレス冗長、入出 インターフェース構成、リフレッシュ周期 を設定する。動作時には、半導体装置がこ フューズ情報を参照することにより、設定 れたアドレス冗長、入出力インターフェー 構成、リフレッシュ周期等に従った動作を う。

 フューズを切断する方法としては、レー ービームにより溶断する方法や高電圧を印 して大電流を流すことにより切断する方法 ある。図1は、高電圧印加によりフューズを 切断する従来のフューズ回路の一例を示す図 である。

 図1のフューズ回路は、インバータ11、イ バータ12、PMOSトランジスタ14、NMOSトランジ タ15乃至17、及びフューズ18を含む。インバ タ11及び12は、その入力及び出力が互いにク ロスカップリングされており、ラッチ回路13 構成する。またNMOSトランジスタ15乃至17は 耐圧のトランジスタであり、高電圧が印加 れても破壊されることはない。

 フューズ18を切断するときには、信号SENSE をLOWにしてNMOSトランジスタ15及び16を非導通 態にし、制御信号CTLをHIGHにしてNMOSトラン スタ17を導通状態にする。この状態で、高電 圧VBLOWを端子19に印加することにより、フュ ズ18及びNMOSトランジスタ17を介して大電流を 端子19からグランドに流し、フューズ18を切 する。この際、NMOSトランジスタ15が非導通 態となっているので、高電圧VBLOWが端子19に 給されても、ラッチ回路13等に高電圧VBLOWが 印加されることがない。なお制御信号CTLのHIG H/LOWを選択することにより、フューズ18の切 /非切断を選択的に決定することができる。

 通常動作時には、端子19には何も電圧を 加せず、また制御信号CTLはLOWに固定してお 。初期状態において、PMOSトランジスタ14の ートにはLOWが印加されており、PMOSトランジ タ14は導通状態となっている。また信号SENSE をLOWにしてNMOSトランジスタ15及び16を非導通 態にしておく。この状態ではノードAの電位 がHIGHとなるので、ラッチ回路13はLOW出力デー タをラッチする。その後、PMOSトランジスタ14 のゲート電圧がHIGHに遷移して、PMOSトランジ タ14は非導通状態となる。この状態で、フ ーズ18の状態を読み出すために信号SENSEをHIGH にして、NMOSトランジスタ15及び16を導通状態 する。フューズ18が非切断の場合には、ノ ドAの電位はHIGHのままであり、ラッチ回路13 LOW出力データを維持する。フューズ18が切 されている場合には、ノードAの電位がLOWに り、ラッチ回路13はHIGH出力データをラッチ る。

 前述のように、NMOSトランジスタ15乃至17 高耐圧トランジスタである。近年のプロセ の微細化によりラッチ回路13を構成するトラ ンジスタやPMOSトランジスタ14の耐圧が低くな っているので、高耐圧のNMOSトランジスタ15を 設けることにより、これらの低い耐圧のトラ ンジスタを保護している。しかしこのような 構成では、低耐圧のトランジスタとは異なる 耐圧の保護用のトランジスタを設計して製造 するという手間がかかってしまう。また図1 構成では、フューズに大電流を流すために NMOSトランジスタ17のサイズを小さくするこ ができないという問題がある。

 図2は、高電圧印加によりフューズを切断す る従来のフューズ回路の別の一例を示す図で ある。図2のフューズ回路20は、フューズ21、 イリスタ素子22、抵抗素子23、及びインバー タ24を含む。制御端子25にトリガー電圧を印 すると、サイリスタ素子22が導通し、フュー ズ21に大電流が流れ、フューズ21が切断され 。通常動作時において、フューズ21が切断さ れている場合にはインバータ24の出力はHIGHに なり、フューズ21が非切断の場合にはインバ タ24の出力はLOWになる。この図2のようにサ リスタを用いる構成の場合、フューズ21を 断しなかったフューズ回路20においては、通 常動作時にサイリスタの制御端子にノイズが 混入するとサイリスタが導通状態となってし まうという問題がある。このようにノイズに よりサイリスタが導通してしまうと、フュー ズ21が意図に反して切断されてしまう。

特開2006-73553号公報

特開昭62-115742号公報

 以上を鑑みて本発明は、保護用の高耐圧 ランジスタを用いることなく低耐圧トラン スタを保護可能なフューズ回路を提供する とを目的とする。

 フューズ回路は、第1のノードと第2のノ ドとの間を結合するフューズと、ラッチ回 と、該第2のノードと該ラッチ回路の入力端 の間を結合するダイオードを含み、該第1の ノードが第1の電源電位に接続された状態で 該ダイオードが逆方向バイアス状態となる うに該第2のノードに所定の電圧を印加して フューズを切断可能であることを特徴とす 。

 本発明の少なくとも1つの実施例によれば 、第1のノードが第1の電源電位に接続された 態で、ダイオードが逆方向バイアス状態と るように第2のノードに所定の電圧を印加し てフューズを切断することができる。ダイオ ードは逆方向バイアス状態となっているので 、高電圧が第2のノードに印加されても、ラ チ回路に高電圧が印加されることがない。 って、高耐圧トランジスタを用いることな 、低耐圧トランジスタを保護することがで る。

高電圧印加によりフューズを切断する 来のフューズ回路の一例を示す図である。 高電圧印加によりフューズを切断する 来のフューズ回路の別の一例を示す図であ 。 本発明によるフューズ回路の第1の実施 例の構成の一例を示す図である。 図3のダイオードの素子構造を説明する ための図である。 本発明によるフューズ回路の第2の実施 例の構成の一例を示す図である。 図5のバイポーラトランジスタの素子構 造を説明するための図である。 本発明によるフューズ回路の第3の実施 例の構成の一例を示す図である。 図7のサイリスタの素子構造を説明する ための図である。 本発明によるフューズ回路の第3の実施 例の構成の一例を示す図である。 図9のダイオードの素子構造を説明す ための図である。 図3においてインバータの寄生ダイオ ドを保護用ダイオードとして用いる場合の 子構造を説明するための図である。

符号の説明

30 フューズ回路
31 インバータ
32 インバータ
34 PMOSトランジスタ
35 ダイオード
36 フューズ
41 P基板
42 Nウェル
43 Pウェル

 以下に、本発明の実施例を添付の図面を いて詳細に説明する。

 図3は、本発明によるフューズ回路の第1 実施例の構成の一例を示す図である。図3の ューズ回路30は、インバータ31、インバータ 32、PMOSトランジスタ34、ダイオード35、及び ューズ36を含む。インバータ31及び32は、そ 入力及び出力が互いにクロスカップリング れており、ラッチ回路33を構成する。

 フューズ36を切断するときには、電源電 VDDよりも高い電圧VBLOWを端子39に印加するこ により、フューズ36を介して大電流を端子39 からグランドに流し、フューズ36を切断する この際、ダイオード35は逆方向バイアス状 となっているので、高電圧VBLOWが端子39に供 されても、ラッチ回路33等に高電圧VBLOWが印 加されることがない。

 このように図3のフューズ回路では、第1 ノードAと第2のノードBとの間を結合するよ にフューズ36を設け、第2のノードBとラッチ 路33の入力端Cとの間を結合するようにダイ ード35を設ける。第1のノードAが第1の電源 位(グランド電位)に接続された状態で、ダイ オード35が逆方向バイアス状態となるように 2のノードBに所定の電圧VBLOWを印加してフュ ーズ36を切断することができる。なおダイオ ド35のアノードはラッチ回路33の入力端Cに 合されカソードは第2のノードBに結合されて いる。

 通常動作時には、端子39には何も電圧を 加しない。またPMOSトランジスタ34のゲート はLOWが印加されており、PMOSトランジスタ34 導通状態となっている。フューズ36が切断さ れている場合には、ラッチ回路33の入力端Cの 電位はHIGHとなり、ラッチ回路33はLOW出力デー タをラッチする。フューズ36が非切断の場合 は、ラッチ回路33の入力端Cの電位がLOWにな 、ラッチ回路33はHIGH出力データをラッチす 。このように図3のフューズ回路では、第1 ノードAが第1の電源電位(グランド電位)に接 され、第2のノードBが特定の電位に固定さ ることなく、第3のノード(PMOSトランジスタ34 のソース)が第2の電源電位VDDに接続された状 で、フューズ36の切断/非切断に応じたデー をラッチ回路33に取り込むことができる。

 図4は、ダイオード35の素子構造を説明す ための図である。図4は、図3の回路を構成 る半導体素子の一部を示す図であり、図3と 一の構成要素は同一の番号で参照し、その 明は省略する。

 P基板41にNウェル42が設けられ、Nウェル42 にPウェル43が設けられている。図中にダイ ードの記号で模式的に示すように、P型領域 とN型領域との境界部分にダイオードが形成 れる。例えば図4においてダイオード35とし 示すように、Nウェル42とPウェル43との境界 分に発生するダイオードを、図3のダイオー 35として用いることができる。

 一般にCMOS半導体素子では、P型半導体とN 半導体とが1つの基板上に設けられるので、 図4に示すようなダイオードが設計上意図し 素子ではない寄生ダイオードとして形成さ ることがある。図3のダイオード35は、ダイ ード素子として意識的に生成したものであ てもよく、或いは他のトランジスタ等の素 の構造の一部として寄生的に発生したもの あってもよい。

 トランジスタの場合、絶縁耐圧の大きさ ゲート絶縁膜の厚さに依存するために、素 の微細化に伴い耐圧が小さくなってしまう それに対してダイオードの場合、図4に示す ようにP型領域とN型領域との境界部分に形成 れるので、素子が微細化されてもトランジ タ素子以上の耐圧が得られる。

 図5は、本発明によるフューズ回路の第2 実施例の構成の一例を示す図である。図5に いて、図3と同一の構成要素については同一 の番号で参照し、その説明は省略する。

 図5のフューズ回路30Aは、図3のフューズ 路30と比較して、第2のノードBに結合される イポーラトランジスタ51を更に含み、所定 電圧VBLOWは端子39からバイポーラトランジス 51を介して第2のノードBに印加される。バイ ポーラトランジスタ51のオン・オフは制御端 52に印加する制御信号により制御すること できる。このようにすれば、複数のフュー 回路30Aを共通の1つの端子39に接続し、端子39 に電圧VBLOWを印加しながら複数の制御端子52 印加する制御信号のHIGH/LOWをフューズ回路30A 毎に制御することにより、選択的にフューズ 回路30Aのフューズ36を切断することが可能と る。

 図6は、バイポーラトランジスタ51の素子 造を説明するための図である。図6は、図5 回路を構成する半導体素子の一部を示す図 あり、図5と同一の構成要素は同一の番号で 照し、その説明は省略する。

 P基板61にNウェル62が設けられ、Nウェル62 にPウェル63が設けられている。また更にPウ ェル63内にNウェル64が設けられている。図中 バイポーラトランジスタの記号で模式的に すように、N型領域62、P型領域63、及びN型領 域64によりバイポーラトランジスタが形成さ る。このバイポーラトランジスタを、図5の バイポーラトランジスタ51として用いること できる。

 一般にCMOS半導体素子では、P型半導体とN 半導体とが1つの基板上に設けられるので、 図6に示すようなバイポーラトランジスタが 計上意図した素子ではない寄生トランジス として形成されることがある。図5のバイポ ラトランジスタ51は、バイポーラトランジ タ素子として意識的に生成したものであっ もよく、或いは他のFETトランジスタ等の素 の構造の一部として寄生的に発生したもの あってもよい。

 FETトランジスタの場合、絶縁耐圧の大き がゲート絶縁膜の厚さに依存するために、 子の微細化に伴い耐圧が小さくなってしま 。それに対してバイポーラトランジスタの 合、図6に示すようにN型領域、P型領域、及 N型領域により構成されるN-P-N部分に形成さ るので、素子が微細化されてもFETトランジ タ素子以上の耐圧が得られる。

 図7は、本発明によるフューズ回路の第3 実施例の構成の一例を示す図である。図7に いて、図3と同一の構成要素については同一 の番号で参照し、その説明は省略する。

 図7のフューズ回路30Bは、図3のフューズ 路30と比較して、第2のノードBに結合される イリスタ71を更に含み、所定の電圧VBLOWは端 子39からサイリスタ71を介して第2のノードBに 印加される。サイリスタ71のオン・オフは制 端子72に印加する制御信号により制御する とができる。このようにすれば、複数のフ ーズ回路30Bを共通の1つの端子39に接続し、 子39に電圧VBLOWを印加しながら複数の制御端 72に選択的に所定のトリガー電圧を印加す ことにより、選択的にフューズ回路30Bのフ ーズ36を切断することが可能となる。

 またサイリスタ71には図5のバイポーラト ンジスタ51に比較して大きな電流を流すこ ができるので、フューズ36の切断目的のため には適している。通常動作時においてサイリ スタ71には電圧VBLOWが印加されていないので 制御端子72へのノイズによりラッチアップが 発生する恐れはない。

 図8は、サイリスタ71の素子構造を説明す ための図である。図8は、図7の回路を構成 る半導体素子の一部を示す図であり、図7と 一の構成要素は同一の番号で参照し、その 明は省略する。

 P基板81にNウェル82が設けられ、Nウェル82 にPウェル83及び84が設けられている。また にPウェル84内にNウェル85が設けられている 図中に点線で示すように、P型領域83、N型領 82、P型領域84、及びN型領域85によりサイリ タが形成される。このサイリスタを、図7の イリスタ71として用いることができる。

 一般にCMOS半導体素子では、P型半導体とN 半導体とが1つの基板上に設けられるので、 図8に示すようなサイリスタが設計上意図し 素子ではない寄生サイリスタとして形成さ ることがある。図7のサイリスタ71は、サイ スタ素子として意識的に生成したものであ てもよく、或いは他のFETトランジスタ等の 子の構造の一部として寄生的に発生したも であってもよい。

 FETトランジスタの場合、絶縁耐圧の大き がゲート絶縁膜の厚さに依存するために、 子の微細化に伴い耐圧が小さくなってしま 。それに対してサイリスタの場合、図8に示 すようにP型領域、N型領域、P型領域、及びN 領域により構成されるP-N-P-N部分に形成され ので、素子が微細化されてもFETトランジス 素子以上の耐圧が得られる。

 図9は、本発明によるフューズ回路の第3 実施例の構成の一例を示す図である。図9の ューズ回路30は、インバータ91、インバータ 92、NMOSトランジスタ94、ダイオード95、及び ューズ96を含む。インバータ91及び92は、そ 入力及び出力が互いにクロスカップリング れており、ラッチ回路93を構成する。

 フューズ96を切断するときには、電源電 VDDよりも低い負の電圧VBLOWを端子99に印加す ことにより、フューズ96を介して大電流を 1のノードAから端子99に流し、フューズ96を 断する。この際、ダイオード95は逆方向バイ アス状態となっているので、負電圧VBLOWが端 99に供給されても、ラッチ回路93等に高電圧 が印加されることがない。

 このように図9のフューズ回路では、第1 ノードAと第2のノードBとの間を結合するよ にフューズ96を設け、第2のノードBとラッチ 路93の入力端Cとの間を結合するようにダイ ード95を設ける。第1のノードAが第1の電源 位(電源電位VDD)に接続された状態で、ダイオ ード95が逆方向バイアス状態となるように第2 のノードBに所定の電圧VBLOWを印加してフュー ズ96を切断することができる。なおダイオー 95のアノードは第2のノードBに結合されカソ ードはラッチ回路93の入力端Cに結合される。

 通常動作時には、端子99には何も電圧を 加しない。またNMOSトランジスタ94のゲート はHIGHが印加されており、NMOSトランジスタ94 導通状態となっている。フューズ96が切断 れている場合には、ラッチ回路93の入力端C 電位はLOWとなり、ラッチ回路93はHIGH出力デ タをラッチする。フューズ96が非切断の場合 には、ラッチ回路93の入力端Cの電位がHIGHに り、ラッチ回路93はLOW出力データをラッチす る。このように図9のフューズ回路では、第1 ノードAが第1の電源電位VDDに接続され、第2 ノードBが特定の電位に固定されることなく 、第3のノード(NMOSトランジスタ94のソース)が 第2の電源電位(グランド電位)に接続された状 態で、フューズ96の切断/非切断に応じたデー タをラッチ回路93に取り込むことができる。

 図10は、ダイオード95の素子構造を説明す るための図である。図10は、図9の回路を構成 する半導体素子の一部を示す図であり、図9 同一の構成要素は同一の番号で参照し、そ 説明は省略する。

 P基板101にNウェル102が設けられ、Nウェル1 02内にPウェル103が設けられている。また更に Pウェル103内にNウェル104が設けられている。 中にダイオードの記号で模式的に示すよう 、P型領域とN型領域との境界部分にダイオ ドが形成される。例えば図10においてダイオ ード95として示すように、Nウェル104とPウェ 103との境界部分に発生するダイオードを、 9のダイオード95として用いることができる

 図9のダイオード95は、ダイオード素子と て意識的に生成したものであってもよく、 いは他のトランジスタ等の素子の構造の一 として寄生的に発生したものであってもよ 。いずれのダイオードの場合であっても、 10に示すようにP型領域とN型領域との境界部 分に形成されるので、素子が微細化されても トランジスタ素子以上の耐圧が得られる。

 図11は、図3においてインバータ31の寄生 イオードを保護用ダイオード35として用いる 場合の素子構造を説明するための図である。 図11は、図3の回路を構成する半導体素子の一 部を示す図であり、図3と同一の構成要素は 一の番号で参照し、その説明は省略する。

 P基板111にN型拡散領域112及び113とNウェル1 14とが設けられ、Nウェル114内にP型拡散領域11 5及び116が設けられている。P基板111に設けら たN型拡散領域112及び113とゲート117とがNMOS ランジスタ120を構成する。またNウェル114に けられたP型拡散領域115及び116とゲート118と がPMOSトランジスタ121を構成する。NMOSトラン スタ120のチャネルとPMOSトランジスタ121のチ ャネルとは直列接続され、図3のインバータ31 を構成する。NMOSトランジスタ120とNMOSトラン スタ121との間の接続ポイントが、図3のラッ チ回路33の入力端Cに対応する。

 PMOSトランジスタ121において、P型領域115 N型領域114との境界部分にダイオードが形成 れる。この寄生ダイオードを、図3のダイオ ード35として用いることができる。このよう 寄生ダイオードを用いることにより、ダイ ード素子を別個に作成する必要がなくなり 回路面積を削減することが可能となる。

 なおフューズ36の切断時に高電圧VBLOWを印 加すると、図3においてノードCはVDD+Vth(閾値 圧)程度の電圧となり、インバータ32はLOWを 力する。これによりインバータ31の入力がLOW となるので、図11においてゲート117及び118がL OWとなる。このときNウェル114は高電圧VBLOWと っているので、ゲート117がLOWになると、PMOS トランジスタ121に高電圧が印加されることに なる。従って、PMOSトランジスタ121について 、高耐圧トランジスタとして設計及び製造 る必要がある。

 但しこの場合であっても、他のトランジ タ(例えばNMOSトランジスタ120)はダイオード3 5に保護されているので高耐圧トランジスタ する必要はない。即ち、保護用の高耐圧ト ンジスタを用いることなく低耐圧トランジ タ(120)を保護する構成が実現されている。

 通常時において、図3の端子39には何も電 を印加しない。またPMOSトランジスタ34のゲ トにはLOWが印加されており、PMOSトランジス タ34は導通状態となっている。フューズ36が 断されている場合には、ラッチ回路33の入力 端Cの電位はHIGHとなる。図11において、この 力端CのHIGHに引きずられてNウェル114もHIGHに る。従って、ラッチ回路33は正常に動作す 。

 図3においてフューズ36が非切断の場合に 、ラッチ回路33の入力端Cの電位がLOWになり インバータ32はHIGHを出力する。このHIGHがイ ンバータ31に入力されるので、図11において ート117がHIGHになり、NMOSトランジスタ120が導 通する。これによりインバータ31の出力がLOW なるので、Nウェル114の電位がLOWであっても 、ラッチ回路33はそのHIGH出力を維持すること ができる。従って、ラッチ回路33は正常に動 する。

 以上、本発明を実施例に基づいて説明し が、本発明は上記実施例に限定されるもの はなく、特許請求の範囲に記載の範囲内で 々な変形が可能である。