Die Erfindung geht aus von einem hocheffizienten Leuchtstoff aus der Klasse der Nitridosilikate gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Es handelt sich dabei ins- besondere um Leuchtstoffe aus der Klasse der Oxinitridosilikate des Sr.

Stand der Technik Leuchtstoffe des Typs Oxinitridosilikat sind an sich unter der Kurzformel MSiON bekannt ; siehe beispielsweise"On new räre-earth doped M-Si-AI-O-N materials", J. van Krevel, TU Eindhoven 2000, ISBN 90-386-2711-4, Kap. 6. Sie sind dort mit Tb dotiert. Emission wir erreicht bei Anregung durch 365 nm oder 254 nm.

Ein neuartiger Leuchtstoff ist aus der noch unveröffentlichten EP-PA 02 021 117. 8 (Docket 2002P15736) bekannt. Er besteht aus Eu-oder Eu, Mn-koaktiviertem Oxi- nitridosilikat der Formel MSi202N2 (M = Ca, Sr, Ba).

Das Grundgerüst des Wirtsgitters ist aus"Phase Relationships in the Sr-Si-O-N sys- tem", W. H. Zhu et al., J. Mat. Sci. Lett. 13 (1994), S. 560-562, bekannt, wo es in Zusammenhang mit keramischen Werkstoffen diskutiert wird. Dabei wurde festge- stellt, dass diese Struktur in zwei Modifikationen, einer Niedertemperaturphase X1, und einer Hochtemperaturphase X2, vorkommt. Die Niedertemperaturphase, im folgenden NT abgekürzt, wird vornehmlich bei etwa 1300 °C erzeugt, während die Hochtemperaturphase, im folgenden HT abgekürzt, zunehmend mit höheren Tem- peraturen bis etwa 1600 °C erzeugt wird. Allerdings sind beide Phasen grundsätz- lich schwer zu trennen, da sie dieselbe Grundstruktur, aber unterschiedliche Gitter-

konstanten, besitzen. Die exakte Stöchiometrie beider Phasen kann von der Formel MSi202N2 abweichen.

Darstellung der Erfindung Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Leuchtstoff gemäß dem Oberbeg- riff des Anspruchs 1 bereitzustellen, dessen Effizienz möglichst hoch ist. Eine weite- re Aufgabe ist es, eine Lichtquelle mit diesem Leuchtstoff sowie eine Verfahren zur Herstellung dieses effektiven Leuchtstoffs anzugeben.

Diese Aufgaben werden durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1,13 bzw. 17 gelöst. Besonders vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den abhängi- gen Ansprüchen.

Bisher gibt es keinen grün emittierenden Leuchtstoff hoher Effizienz, der gleichzeitig unempfindlich gegen äußere Einflüsse ist und außerdem durch Blau-bzw. UV- emittierende LEDs gut anregbar ist.

Der aus EP-PA 02 021 117.8 bekannte Leuchtstoff MSi202N2 : Eu (M = Ca, Sr, Ba) ist im Falle der Sr-dominierten Ausführungsform mit M = Sr (, xy) BayCax mit 0 sx+y 0,5, im folgenden Sr-Sion genannt, nur schwer beherrschbar. Obwohl einzelne Ver- suchsbedingungen hervorragende Ergebnisse liefern, fehlt bislang eine Richtschnur, um zuverlässig gewünschte Ergebnisse zu erhalten. Hinzu kommt eine gewisse Neigung, dass sich bei hoher Temperaturbelastung die Effizienz des Leuchtstoffs verringert und der Farbort zu stark variiert. Bevorzugt sind insbesondere : y = 0 mit 0 sxs0, 3undx=OmitOsy<_0, 1.

Überraschenderweise hat sich nun gezeigt, dass sich die beiden Phasen in ihrer Eignung als Leuchtstoff grundlegend unterscheiden. Während die NT-Phase als Eu- dotierter Leuchtstoff nur bedingt zu gebrauchen ist, und eher orange-rot emittiert, zeigt die HT-Phase eine hervorragende Eignung als Leuchtstoff, der grün emittiert.

Häufig liegt eine Mischung beider Modifikationen vor, die breitbandig beide Emissio- nen erkennen lässt. Gewünscht ist daher, die HT-Phase möglichst rein, mit mindes- tens 50 % Anteil, bevorzugt mindestens 70 %, besonders bevorzugt mindestens 85% Anteil herzustellen.

Dafür ist ein Glühprozess erforderlich, der bei mindestens 1300 °C, aber nicht mehr als 1600 °C durchgeführt wird. Bevorzugt ist ein Temperaturbereich von etwa 1450 bis 1580 °C, da bei geringerer Temperatur zunehmend NT-Phase entsteht und bei höherer Temperatur der Leuchtstoff zunehmend schlechter verarbeitbar ist, und ab etwa 1600 °C als hart gesinterte Keramik oder Schmelze vorliegt. Der optimale Temperaturbereich hängt von der genauen Zusammensetzung und den Eigenschaf- ten der Ausgangsmaterialien ab.

Besonders wichtig für das Herstellen eines effizienten Leuchtstoffs des Typs Sr-Sion ist ein Ansatz der Ausgangsprodukte, der im wesentlichen stöchiometrisch ist unter Verwendung der Grundkomponenten SiO 2, SrCO 3 sowie Si 3 N 4. Sr steht hier bei- spielhaft stellvertretend für M. Die Abweichung sollte insbesondere 10 %, bevorzugt 5 %, des idealen stöchiometrischen Ansatzes nicht überschreiten, wobei auch die etwaige Zugabe eines Schmelzmittels, wie es oft üblich ist, dabei eingeschlossen ist. Besonders bevorzugt ist eine maximale Abweichung von 1 %. Hinzu kommt ein Vorläufer für den Europium-Beitrag der Dotierung, der beispielsweise als Oxid Eu 2 O 3 realisiert wird. Diese Erkenntnis steht im Gegensatz zu der bisherigen Vor- gehensweise, die Grundkomponente SiO 2 deutlich unterstöchiometrisch zu- zugeben. Besonders überraschend ist diese Erkenntnis auch deswegen, weil ande- re als Leuchtstoff empfohlene Sione wie Ba-Sion gemäß der Lehre von EP-PA 02 021 117.8 gerade im SiO 2-Unterschuss hergestellt werden sollen.

Ein entsprechender Ansatz für das Sr-Sion MSi202N2 verwendet daher 11 bis 13 <BR> <BR> Gew. -% SiO 2, 27 bis 29 Gew. -% Si 3 N 4, Rest SrCO 3. Ba-und Ca-Anteile an M werden entsprechend als Carbonat zugesetzt. Europium wird entsprechend der ge- wünschten Dotierung, beispielsweise als Oxid oder Fluorid, als Ersatz für SrCO 3 zugesetzt. Der Ansatz MSi202N2 meint dabei auch etwaige Abweichungen von der exakten Stöchiometrie, soweit sie hinsichtlich der Ladungserhaltung ausgeglichen sind.

Als besonders günstig hat sich erwiesen, dass die Ausgangskomponenten des Wirtsgitters, insbesondere Si 3 N 4, möglichst hohe Reinheit besitzen. Besonders bevorzugt ist daher Si 3 N 4, das aus der flüssigen Phase, ausgehend beispielswei- se von Siliziumtetrachlorid, synthetisiert ist. Als kritisch hat sich insbesondere die Verunreinigung mit Wolfram und Kobalt, erwiesen. Hier sollte die Verunreinigung möglichst gering sein, insbesondere sollte sie jeweils kleiner 100 ppm, insbesondere

kleiner 50 ppm, sein, bezogen auf diese Varläufersubstanzen. Des weiteren ist eine möglichst hohe Reaktivität vorteilhaft, sie lässt sich durch die reaktive Oberfläche (BET) quantifizieren. Diese sollte mindestens 6 m2/g betragen, vorteilhaft mindes- tens 8 mCg. Auch die Verunreinigung an Aluminium und Calcium, bezogen auf die- se Vorläufersubstanz Si 3 N 4, sollte möglichst unter 100 ppm liegen.

Bei Abweichung von der oben angegebenen Verfahrensführung in bezug auf stö- chiometrischen Ansatz und Temperaturführung entstehen als unerwünschte Fremd- phasen in zunehmendem Maße Nitridosilikate MxSiyNz wie etwa M2Si5N8, wenn die SiO2-Zugabe zu niedrig angesetzt wird, so dass ein Stickstoffüberschuss ent- steht. Obwohl diese Verbindung an sich ein bemerkenswerter Leuchtstoff ist, ist sie in Zusammenhang mit der Synthese des Sr-Sions genauso wie andere Nitridosilika- te äußerst störend, weil diese Fremdphasen die grüne Strahlung des Sr-Sions ab- sorbieren und evtl. in die bekannte rote Strahlung der Nitridosilikate umwandeln.

Umgekehrt entstehen bei zu hoher SiO 2-Zugabe Sr-Silikate wie beispielsweise Sr2Si04 weil ein Sauerstoffüberschuss entsteht. Beide Fremdphasen absorbieren die nutzbare grüne Emission oder führen zumindest zu Gitterdefekten wie Leerstel- len, die die Effizienz des Leuchtstoffs stark beeinträchtigen. Als Anhaltspunkt dient die Richtschnur, dass der Anteil der Fremd phasen möglichst unter 15 %, bevorzugt sogar unter 5 %, liegen soll. Dies korrespondiert im XRD-Spektrum des synthetisier- ten Leuchtstoffs mit der Forderung, dass beim XRD-Ablenkwinkel 2 t3 im Bereich 25 bis 32° die Intensität aller Fremdphasenpeaks kleiner als 1/3, bevorzugt kleiner als %, besonders bevorzugt kleiner als 1/5, der Intensität des die HT-Modifikation kennzeichnenden Hauptpeaks bei etwa 31, 8° sein soll. Dies gilt vor allem für die Fremdphasen vom Typ SrxSiyNz, insbesondere Sr2Si5N8.

Im Falle einer optimierten Verfahrensführung lässt sich zuverlässig eine Quantenef- fizienz von 80 bis deutlich über 90 % erzielen. Dagegen wird bei unspezifischer Ver- fahrensführung die Effizienz typisch im Bereich von höchstens 50 bis 60 % Quan- teneffizienz liegen.

Erfindungsgemäß lässt sich somit ein Leuchtstoff herstellen, der ein Oxinitridosilikat der Formel MSi202N2 (M = Ca, Sr, Ba) darstellt, das mit zweiwertigem Eu aktiviert ist, unter evtl. weiterer Zugabe von Mn als Koaktivator, wobei der Leuchtstoff über- wiegend oder allein, also zu mehr als 50 % des Leuchtstoffs, bevorzugt zu mehr als 85% des Leuchtstoffs, aus der HT-Phase besteht. Diese HT-Modifikation zeichnet

sich dadurch aus, dass sie breitbandig anregbar ist, nämlich in einem weiten Be- reich von 50 bis 480 nm, insbesondere 150 bis 480 nm, besonders bevorzugt von 250 bis 470 nm, dass er eine extrem hohe Stabilität gegen äußere Einflüsse besitzt, also bei 150°C an Luft keine messbare Degradation zeigt, und dass er eine extrem gute Farbortstabilität unter wechselnden Bedingungen zeigt. Weitere Pluspunkte sind seine geringe Absorption im Roten, was besonders bei Leuchtstoffmischungen vorteilhaft ist. Dieser Leuchtstoff wird im folgenden oft Sr-Sion : Eu genannt. Ein Ü- berwiegen der HT-Modifikation ist u. a. daran erkennbar, dass der kennzeichnende Peak der NT-Modifikation im XRD-Spektrum bei etwa 28, 2 ° eine Intensität von we- niger als 1 : 1, bevorzugt weniger als 1 : 2, im Vergleich zum Peak mit höchster Inten- sität aus der Dreiergruppe der Reflexe der HT-Modifikation, die im XRD-Spektrum bei 25 bis 27° liegen, aufweist. Die hier aufgeführten XRD-Spektren beziehen sich jeweils auf eine Anregung durch die bekannte Cu-Ka Linie.

Bei gleicher Aktivatorkonzentration zeigt dieser Leuchtstoff ein anderes Emissions- verhalten als die NT-Variante gleicher Stöchiometrie. Die Halbwertsbreite der HT- Variante ist im Falle der optimierten HT-Variante wesentlich geringer als bei der einfachen fremdphasen-und defekthaltigen Mischung und liegt im Bereich 70 bis 80 nm, während die einfache Fremdphasen-bzw. defekthaltige Mischung eine Halb- wertsbreite von etwa 110 bis 120 nm zeigt. Die dominante Wellenlänge ist bei der HT-Modifikation generell kürzer, typisch 10 bis 20 nm kürzer, als bei einer deutlich fremdphasenhaltigen Probe. Hinzu kommt, dass die Effizienz der hochreinen HT Modifikation typisch um mindestens 20 % höher, teilweise deutlich noch höher, als bei der NT-dominierten oder hoch fremdphasenhaltigen Mischung liegt.

Ein kennzeichnendes Merkmal eines ausreichend geringen Anteils der NT- Modifikation und Fremdphasen ist eine Halbwertsbreite (FWHM) der Emission von weniger als 90 nm. Denn je geringer der Anteil an Fremdphasen, desto geringer ist der Anteil der spezifischen orange-roten Emission der fremdphasenreichen Modifi- kation, insbesondere der Nitridosilikat-Fremdphasen Sr-Si-N-Eu wie vor allem Sr2Si5N8 : Eu.

Hilfreich zur Charakterisierung sind neben der verringerten Halbwertsbreite die oben angegebenen typischen Reflexe im XRD-Spekrum, die die andere Kristallstruktur verdeutlichen.

Der vorherrschende Peak im XRD-Spektrum der HT-Modifikation ist der Peak bei etwa 31, 7°. Weitere prominente Peaks sind die drei Peaks etwa gleicher Intensität zwischen 25 und 27° (25,3 und 26,0 und 26, 3°), wobei der Peak mit kleinster Ablen- kung der intensivste ist. ein weiterer intensiver Peak ist 12, 6°.

Dieser Leuchtstoff ist vor allem grün emittierend mit einer Dominanzwellenlänge im Bereich 555 bis 565 nm.

Auch eine geringfügige Beimengung der Gruppe AIO als Ersatz der Gruppe SiN im Molekül des Oxinitridosilikats der Formel MSi202N2 ist möglich, insbesondere bis maximal 30 % des SiN-Anteils.

Beide Phasen des Sr-Sion : Eu können analog zu den zwei strukturell unterschiedli- chen Wirtsgittermodifikationen kristallisieren und jeweils über die Ansatzstöchio- metrie SrSi202N2 : Eu hergestellt werden. Geringe Abweichungen von dieser Stö- chiometrie sind möglich. Die mit Eu dotierten Wirtsgitter lumineszieren überra- schenderweise beide bei Anregung im Blauen oder UV, allerdings je nach Wirtsgit- termodifikation mit anderer Emissionsfarbe. Die NT-Modifikation zeigt eine orange- farbene Emission, die HT-Modifikation eine grüne Emission bei etwa Adom = 560 nm mit prinzipiell deutlich höherer Effizienz. Je nach Dotiergehalt und Dotiermaterial (Eu oder Eu, Mn) sowie den relativen Anteilen der HT-und NT-Modifikation lässt sich eine gewünschte Eigenschaft des Leuchtstoffs genau einstellen.

Ein Vorzug der HT-Phase ist die über einen sehr weiten Spektralbereich gleichmä- ßig gute Anregbarkeit bei nur wenig variierender Quanteneffizienz.

Außerdem hängt die Lumineszenz der HT-Modifikation in einem weiten Tempera- turbereich nur schwach von der Temperatur ab. Damit ist erstmals ein grün emittie- render Leuchtstoff, bevorzugt für LED-Anwendungen, gefunden, der ohne besonde- re Maßnahmen zur Stabilisierung auskommt. Dies zeichnet ihn besonders gegen die bisher als aussichtsreichste Kandidaten angesehenen Leuchtstoffe für diese Aufgabe aus, nämlich Thiogallat-Leuchtstoffe oder Chlorosilikate.

Generell kann dieser Leuchtstoff von einer ganzen Reihe von Lichtquellen effizient angeregt werden : insbesondere von LED-Chips (beispielsweise vom Typ InGaN), die UV oder blau im Bereich 300 bis 480 nm als Primärstrahlung emittieren ; des weiteren von allen Arten von Lampen, insbesondere Hg-Niederdruck-und Hoch-

drucklampen, sowie UV-und VUV-Strahler zwischen etwa 50, bevorzugt mindes- tens 150 nm, und 400 nm, beispielsweise Excimerstrahler. Bei 160 nm ist die Quan- teneffizienz immer noch etwa 50% der maximalen Quanteneffizienz.

Dieser Leuchtstoff eignet sich besonders gut für die Anwendungen bei vollfarbtaug- lichen Lumineszenzkonversions-LEDs sowie Lumineszenzkonversions-LEDs mit beliebig einstellbaren Farben auf Basis eine UV-Blau primär emittierenden LED.

Die Sionverbindungen mit M = (Sr, Ba), bevorzugt ohne Ba oder mit Ba-Anteil bis zu 10 %, stellen effiziente Leuchtstoffe mit einem weiten Bereich der Emissionsmaxima dar. Diese liegen meist kurzwelliger als bei reinem Sr-Sion, bevorzugt zwischen 520 und 565 nm. Der erreichbare Farbraum lässt sich außerdem durch geringe Beiga- ben (bevorzugt bis 30 mol-%) an Ca und/oder Zink erweitern ; dadurch werden die Emissionsmaxima eher in den langwelligeren Bereich, verglichen mit reinem Sr- Sion, verschoben, sowie durch partiellen Ersatz (bis 25 mol-%) von Si durch Ge und/oder Sn.

Eine weitere Ausführungsform ist die Teilsubstitution von M, insbesondere Sr, durch drei-oder einwertige lonen wie La3+ oder Li+. Bevorzugt ist ein Anteil dieser lonen von maximal 20 mol-% des M.

Bevorzugt lässt sich der erfindungsgemäße Leuchtstoff für Lumineszenzkonversi- ons-LED zur Erzeugung von weißem Licht einsetzen, sei es mit blauer Primärstrah- lung wobei Sr-Sion als Grünkomponente zusammen mit SrS : Eu2+, als Rotkompo- nente eingesetzt werden kann, aber auch mit UV-Primärstrahlung, wobei mittels bekannter blau und rot emittierender Leuchtstoffe sowie einem erfindungsgemäß grün emittierenden Leuchtstoff weißes Licht erzeugt wird. Kandidaten für die blaue Komponente sind hier an sich bekannt, beispielsweise eignen sich BaM- gAI, 0Or7 : Eu2+ (bekannt als BAM) oder Ba5SiO4 (Cl, Br) 6 : Eu2+ oder CaLa2S4 : Ce3+ oder auch (Sr, Ba, Ca) 5 (P04) 3Cl : Eu2+ (bekannt als SCAP). Als grüne Komponente eignet sich der erfindungsgemäße Leuchtstoff. Zur roten Emission lässt sich ein Rotleucht- stoff einsetzen. Gut geeignet sind ( (Y, La, Gd, Lu) 202S : Eu3+, oder auch (Ca, Sr) 2Si5N8 : Eu2+.

Figuren Im folgenden soll die Erfindung anhand zweier Ausführungsbeispiele näher erläutert werden. Es zeigen : Figur 1 ein Emissionsspektrum eines ersten Oxinitridosilikats ; Figur 2 das Reflektionsspektrum dieses Oxinitridosilikats ; Figur 3 ein Spektrum der Anregbarkeit von Sr-Sion als Funktion der Anre- gungswellenlänge ; Figur 4 das Temperaturverhalten von Sr-Sion ; Figur 5 XRD-Spektren verschiedener Leuchtstoffe vom Typ Sr-Sion ; Figur 6 u. 11 ein Halbleiterbauelement, das als Lichtquelle für weißes Licht dient ; Figur 7 ein Emissionsspektrum zweier Leuchtstoffe mit und ohne Fremdpha- sen.

Figur 8-10 ein Emissionsspektrum weiterer Oxinitridosilikate Beschreibung der Zeichnungen Ein konkretes Beispiel für den erfindungsgemäßen Leuchtstoff ist in Figur 1 gezeigt.

Es handelt sich um die Emission des Leuchtstoffs SrSi2N202 : (5 % Eu2+) in HT- Modifikation, bei dem der Eu-Anteil 5 mol-% der von Sr besetzten Gitterplätze aus- macht. Das Emissionsmaximum liegt bei 540 nm, die mittlere Wellenlänge (domi- nante Wellenlänge) bei 560 nm. Der Farbort ist x=0,357 ; y=0,605. Die Anregung erfolgte bei 460 nm, die FWHM ist 76 nm.

Die Herstellung erfolgt in der Weise, dass zunächst die Ausgangsstoffe SrC03, Si3N4 und Si02 in exakter Stöchiometrie miteinander gemischt werden und die Mi- schung anschließend im Ofen bei 1500 °C unter N2 und H2 reduzierend über 8 Std. geglüht wird. Dabei wird ein stöchiometrischer Ansatz genommen, mit 12,05 Gew. -<BR> % SiO 2,28, 10 Gew. -% Si 3 N 4 sowie 56,27 Gew. -% SrCO 3 zuzüglich 3,53 Gew. -% Eu 20 3. Damit ersetzen 5 mol-% Eu als Aktivator das Kation Sr.

Figur 2 zeigt das diffuse Reflexionsspektrum dieses Leuchtstoffs. Es zeigt ein aus- geprägtes Minimum im Bereich unter 440 nm und eine ausreichende Absorption bis 470 nm, das somit die gute Anregbarkeit in diesem Bereich demonstriert.

Figur 8 zeigt ein Beispiel für einen hocheffizienten grün emittierenden Leuchtstoff.

Es handelt sich um die Emission des Leuchtstoffs SrSi2N202 : (10 % Eu2+) in HT- Modifikation, bei dem der Eu-Anteil 10 mol-% der von Sr besetzten Gitterplätze ausmacht. Das Emissionsmaximum liegt bei 545 nm, die mittlere dominante Wellen- länge bei 564 nm (Adom). Der Farbort ist x=0,393 ; y=0,577 Die Anregung erfolgte bei 460 nm. Die FWHM ist 84 nm.

Fig. 3 zeigt ein Spektrum der Anregbarkeit von Sr-Sion mit 10 % Eu als Funktion der Wellenlänge. Die Anregbarkeit ist proportional dem Produkt aus Absorbierter Ener- gie und Quanteneffizienz. Es zeigt sich, dass das erfindungsgemäße Sr-Sion über einen sehr weiten Wellenlä. ngenbereich von 250 bis 470 m eine Anregbarkeit von über 50 % hat.

Fig. 4 zeigt das Temperaturverhalten dieses Leuchtstoffs. Die Temperaturlöschung ist erstaunlich gering und beträgt maximal 12 % bei sehr hoher Temperaturbelas- tung von 125 °C verglichen mit Raumtemperatur.

Die unterschiedliche Struktur verschieden hergestellter Leuchtstoffe ist in Figur 5 erläutert. Dort sind XRD-Spektren, also Röntgendiffraktogramme, von vier Leucht- stoffen des Typs Sr-Sion vorgestellt. Figur 5a zeigt ein XRD-Spektrum einer stark überwiegenden NT-Modifikation. Charakteristisch ist der starke Peak bei etwa 28, 2°.

Diese Probe erzielt eine Quanteneffizienz von etwa 10 % der HT-Modifikation, die Herstellung erfolgte mit wenig reaktivem Ausgangsmaterial bei etwa 1300°C Glü- hung. Figur 5b zeigt ein XRD-Spektrum für eine Mischung mit mehr als 50 % HT- Anteil gegenüber dem NT-Anteil. Hier treten die XRD-Reflexe der HT-Modifikation bei etwa 31, 7° und der Tripel-Reflex im Bereich bei 25 bis 27° zunehmend in den Vordergrund gegenüber dem prominenten NT-Reflex bei 28, 2°. Die Quanteneffi- zienz im Vergleich zur HT-Modifikation beträgt etwa 70 %. Die Herstellung erfolgte bei etwa 1400 °C. In Figur 5c ist eine Probe gezeigt, bei der die Fremdphasen nicht sorgfältig ausgeschlossen wurden. Deutlich erkennbar ist vor allem der dem Nitrido- silikat zuzuordnende Peak bei etwa 31, 2°, der etwa 50 % der maximalen Peakhöhe des Charakteristischen Peaks der HT-Phase bei 31, 7° ausmacht. Obwohl hier die NT-Modifikation stark unterdrückt ist, erreicht diese Probe nicht mehr als 40 % der Quanteneffizienz von reiner HT-Modifikation. Schließlich zeigt Figur 5d ein XRD- Spektrum für annähernd reines HT, deren Quanteneffizienz als Norm (100 %) für die anderen Proben diente. Fremdphasen und NT-Modifikation sind hier stark unter-

drückt, was einer exakten stöchiometrischen Herstellung mit Glühung bei etwa 1500 °C und hoher Reinheit und Reaktivität der Ausgangsmaterialien geschuldet ist.

Der Aufbau einer Lichtquelle für weißes Licht auf RGB-Basis ist in Figur 6 explizit gezeigt. Die Lichtquelle ist ein Halbleiterbauelement mit einem Chip 1 des Typs In- GaN mit einer Peakemissionswellenlänge im UV von beispielsweise 405 nm, das in ein lichtundurchlässiges Grundgehäuse 8 im Bereich einer Ausnehmung 9 eingebet- tet ist. Der Chip 1 ist über einen Bonddraht 14 mit einem ersten Anschluss 3 und direkt mit einem zweiten elektrischen Anschluss 2 verbunden. Die Ausnehmung 9 ist mit einer Vergussmasse 5 gefüllt, die als Hauptbestandteile ein Epoxidgießharz (80 bis 90 Gew. -%) und Leuchtstoffpigmente 6 (weniger als 20 Gew.-%) enthält. Ein erster Leuchtstoff ist das als erstes Ausführungsbeispiel vorgestellte grün emittie- rende Oxinitridosilikat, der zweite ist ein blau emittierender Leuchtstoff, hier insbe- sondere BAM, der dritte ist ein rot emittierendes Nitridosilikat vom Typ (Ca, Sr) 2Si5N8 : Eu, hier unter Einschluss der reinen Sr und Ca-Variante sowie Mi- schungen aus Sr und Ca. Die Ausnehmung hat eine Wand 17, die als Reflektor für die Primär-und Sekundärstrahlung vom Chip 1 bzw. den Pigmenten 6 dient.

Fig. 9 zeigt ein Beispiel der Emission für ein Misch-Sion MSi202N2 zEu10% bei dem M = (10 % Ca und Rest Sr). Anregung 460 nm ; Farbort x/y 0,397/0, 576 ; dom. Wel- lenlänge 564 nm FWHM = 84 nm ; Quanteneffizienz ca. 70 %.

Fig. 10 zeigt ein Beispiel der Emission für ein Misch-Sion MSi202N2 zEu10% bei dem M = (10 % Ba und Rest Sr). Anregung 460 nm ; Farbort x/y 0,411/0, 566 ; dom.

Wellenlänge 566 nm FWHM = 86 nm ; Quanteneffizienz ca. 67 %.

In einem weiteren Ausführungsbeispiel Fig. 11 wird wieder als das Leuchtstoffpig- ment eine Mischung aus derartigen drei Leuchtstoffen für RGB-Mischung verwen- det. Jedoch sind diese auf den Wänden 9 eines äußeren Gehäuses angebracht, das mehrere LEDs vom Typ Lumineszenzkonversions-LED enthält.

Erstaunlicherweise hat sich gezeigt, dass ein besonders effizienter Leuchtstoff her- stellbar ist, wenn streng darauf geachtet wird, dass die Ausgangsmaterialien, vor allem Si3N4, wenig Verunreinigungen enthalten. Besonders kritisch sind hier Verun- reinigungen an W, Co, AI und Ca.

Der Ersatz der Gruppe SiN in MSi202N2 durch AIO-Gruppen ist deswegen möglich, weil Al3+ und Si4+ vergleichbare lonengrößen haben und beide Gruppen vergleich- bare Bindungslängen aufweisen.