以下、本発明の実施の形態について、図1乃 至図9を参照しつつ説明する。
 なお、以下に説明する部材、配置等は本発� ��を限定するものではなく、本発明の趣旨の� ��囲内で種々改変することができるものであ� ��。
 最初に、本発明の実施の形態における静圧� ��ライド装置が用いられる研削装置の全体構� ��について、図1を参照しつつ説明する。
 本発明の実施の形態における研削装置Sは、 特に、その全体外観、寸法が従来装置に比し て非常に小型化されたもので、その正面側の 横幅は、従来の大凡1/3程度の細身となってい る(図1(A)参照)。また、研削装置Sの奥行きは� �従来とほぼ同程度であるが(図1(B)参照)、上� �のように正面横幅の縮小化が図られている� �めに、その設置スペースが従来に比して大� �に削減できるものとなっている。このよう� �小型化を可能としたのは、詳細は後述する� �、ワーク研削部分の構造にある。

 本発明の研削装置Sは、ワークの研削を行 う砥石などが配設される本体部201と、本体部 201の上方に配設されて研削量などを設定する 操作盤202と、操作盤202の設定データなどを基 に研削動作の制御等を行う電子回路が収納さ れて操作盤202の後方に配設される制御盤203と 、制御盤203の後方に配設され、後述する静圧 兼冷却用油の濾過を行う濾過装置204と、この 濾過装置204に積層されるよう設けられて静圧 兼冷却油の圧力を制御する油圧装置205と、こ の油圧装置205に積層されるように設けられる 冷却のため霧状に放出された静圧兼冷却油の 回収を行うミストコレクタ206とに大別されて 構成されたものとなっている。

 本体部201の正面ほぼ中央には、前面扉201a が開閉可能に設けてあり、その開閉によって 、内部に設けられたワーク保持用のチャック (図示せず)へ対するワークの取り付けや取り� ��しなどの作業が行えるようになっている。

 図2には、本体部201内に収納、配設される研 削装置Sの主要部の構成例が示されており、� �下、同図を参照しつつ、その構成例につい� �説明する。
 本体部201の底部側には、基台部としてのベ� ��ド1が設けられており、このベッド1に形成� �れた水平面であるスライド設置面2に、静圧� ��ライド装置としての第1及び第2のスライド� �101,102やワーク保持手段としてのワーク保持� ��103などが設けられるものとなっている。な� ��、ベッド1は、低熱膨張鋳物を用いて形成す るのが、熱変位を最小限に抑える観点から好 ましい。

 本発明の実施の形態におけるベッド1の平 面外観形状、すなわち、図2に示された本体� �201の主要部を上方向から見た場合の形状は� �矩形状に形成されたものとなっているが、� �の一つの辺に沿ってスライド設置面2より高� ��段部1cが形成されており、その頂部1dには、 第1乃至第3の砥石スピンドル21~23等が設けら� �る(詳細は後述)ものとなっている。

 スライド設定面2上には、第1のスライド� �101が設けられている。この第1のスライド部1 01は、スライド設定面2に接合されるように固 定して設けられた第1のベースプレート(ベー� ��部材)11と、この第1のベースプレート11に対� ��するように設けられた第1のテーブルプレー ト(テーブル部材)12と、第1のベースプレート1 1と第1のテーブルプレート12との間に設けら� �たリニアモータ13とに大別されて構成された ものとなっている。なお、図2においては、� �1のスライド部101は、その概略が示されたも� ��となっており、第1のスライド部101のより詳 細な構造については後述する。

 本発明の実施の形態において、第1のベース プレート11は、その全体外観形状が大凡長方� ��となっており、その長辺は、上述の段部1c� �反対側のベッド1の一辺とほぼ同じ長さに設� ��されたものとなっている。
 また、第1のテーブルプレート12は、その横� ��が第1のベースプレート11の短辺とほぼ同一� ��あるが、この短辺と直交する方向の辺の長� ��は、第1のベースプレート11の長辺の大凡1/3~ 2/3程度の長さとなっており、後述するように 第1のベースプレート11の長辺に沿っての往復 動が容易となるようにしてある。
 なお、この第1のテーブルプレート12は、リ� ��アモータ13の駆動力を受けて、後述する案� �部30によって第1のベースプレート11の長辺に 平行するように案内されて往復動するものと なっている。
 ここで、第1のテーブルプレート12が往復動� ��る方向を、便宜的にX軸方向とする(図2参照) 。

 そして、第1のテーブルプレート12には、第2 のスライド部102が載置されるように設けられ ている。
 この第2のスライド部102は、その基本的な構 造は、先の第1のスライド部101と同一のもの� �、第2のベースプレート(ベースプレート部材 )14と、この第2のベースプレート14に対向する ように設けられた第2のテーブルプレート(テ� ��ブル部材)15と、第2のベースプレート14と第2 のテーブルプレート15との間に設けられたリ� ��アモータ16とに大別されて構成されたもの� �なっている。なお、図2における第2のスライ ド部102は、先の第1のスライド部101同様、そ� �概略が示されたものとなっており、より詳� �な構造については後述する。

 本発明の実施の形態における第2のベースプ レート14は、その横幅、すなわち、X軸方向の 長さが第1のテーブルプレート12のX軸方向の� �さにほぼ等しく設定されている一方、X軸を� ��む水平面内においてX軸と直交する方向(以� �、この方向を便宜的に「Z軸方向」と称する) の長さは、第1のテーブルプレート12のZ軸方� �の長さよりもやや長目のものとなっている� � 
 一方、第2のテーブルプレート15は、その横� ��、すなわち、X軸方向の長さが第2のベース� �レート14のX軸方向の長さにほぼ等しく設定� �れている一方、Z軸方向の長さは、第2のベー スプレート14のZ軸方向の長さよりも短めに設 定されたものとなっている。
 そして、第2のテーブルプレート15は、リニ� ��モータ16の駆動力を受けて、Z軸方向で往復� ��せしめられるようになっている。

 さらに、第2のテーブルプレート15の上には� ��ワーク保持部103が載置されたものとなって� ��る。
 すなわち、ワーク保持部103は、図示されな� ��ワークを着脱可能に保持するチャック17と� �内部にモータ(図示せず)を有してチャック17� ��回転自在に保持する主軸18とから構成され� �ものとなっている。
 本発明の実施の形態においては、ベッド1に 形成された段部1c側に位置する第2のテーブル プレート15の縁からチャック17が段部1c方向へ 突出するように主軸18及びチャック17が、第2� ��テーブルプレート15上に固定されて設けら� �たものとなっている。

 また、第2のテーブルプレート15上におい� ��、ワーク保持部103の近傍には、ドレススピ� ��ドル19が固定されて設けられており、後述� �る第1乃至第3の砥石24~26のドレス作業が可能� ��なっている。

 一方、段部1cの頂部1dには、第1乃至第3の� ��石スピンドル21~23がX軸方向において適宜な� ��隔を隔てて固定されて設けられている。こ� ��ら第1乃至第3の砥石スピンドル21~23には、そ れぞれ第1の砥石24、第2の砥石25、第3の砥石26 が回転可能に取り付けられており、第1乃至� �3の砥石スピンドル21~23は、第1乃至第3の砥石 24~26が、ワーク保持部103に臨むように段部1c� �固設されたものとなっている。換言すれば� �第1乃至第3の砥石スピンドル21~23は、その軸� ��向がZ軸方向となるように設けられている。

 また、段部1cには、これら第1乃至第3の砥石 スピンドル21~13の近傍に、ワーク交換のため� ��ローディング装置104が設けられている。
 本発明の実施の形態におけるローディング� ��置104は、旋回シリンダ71と、上下シリンダ72 と、2つのエアチャック73,74を主たる構成要素 としてなるものである。
 段部1cに設けられた旋回シリンダ71は、水平 面内で回転可能となっているもので、この旋 回シリンダ71に上下シリンダ72が載置されて� �る。
 上下シリンダ72は、垂直方向での上下動が� �能となっており、この上下シリンダ72に第1� �び第2のエアチャック73,74が積層するように� �けられている。
 かかる構成により、旋回シリンダ71による� �回と、上下シリンダ72による上下動により、 チャック17に対して適切な位置でローディン� ��、アンローディング作業が行えるようにな� ��ている。

 また、本発明の実施の形態においては、� ��1のエアチャック73には、シート深さ測定用� ��第1の測定子75が、また、第2のエアチャック 74には、内径ポスプロ測定用の第2の測定子76� ��、それぞれ適宜な位置に取着されており、� ��ーディングの際に、それぞれ測定可能に構� ��されたものとなっている。

 かかる構成において、図示されないワーク� ��研削作業は、まず、チャック17にワーク(図� ��せず)を取着させ、操作盤202において、所望 する研削に応じた設定を行う。そして、図示 されない始動スイッチを押下することによっ て、第1のテーブルプレート12がX軸方向に、� �2のテーブルプレート15がZ軸方向に、制御盤2 03からの制御によって所望する研削に応じて� ��復動されながら、第1乃至第3の砥石24~26が適 宜選択され、研削が行われるものとなってい る。
 本発明の実施の形態においては、第1の砥石 24は内径研削に、第2の砥石25はシート研削に� ��第3の砥石26は端面研削に、それぞれ供され� ��ものとなっている。

 次に、静圧スライド装置としての第1及び第 2のスライド部101,102のより具体的な構成につ� ��て、図3乃至図9を参照しつつ説明すること� �する。
 まず、図3には、静圧スライド装置としての 第1のスライド部101の縦断面図が示されてい� �が、本発明の実施の形態においては、静圧� �ライド装置としての第2のスライド部102の構� ��も、基本的に第1のスライド部101と同一であ り、以下、第1のスライド部101の構成の説明� �以て、第2のスライド部102の構成の説明に代� ��ることとする。

 本発明の実施の形態において、第1のベース プレート11と第1のテーブルプレート12との間� ��は、第1のテーブルプレート12をX軸方向(図3� ��おいて紙面表裏方向)に案内する案内部30が� ��けられている。
 すなわち、本発明の実施の形態における案� ��部30は、第1のベースプレート11に固設され� �第1及び第2の基準ガイド部材31a,31bと、第1の� ��ーブルプレート12に固設された第1及び第2の 可動側ガイド部材32a,32bと、これら第1及び第2 の基準ガイド部材31a,31bと第1及び第2の可動側 ガイド部材32a,32bとの間に設けられた複数の� �圧パッド40とに大別されて構成されたものと なっている。

 第1及び第2の基準ガイド部材31a,31bは、第1の テーブルプレート12の往復動方向と直交する� ��向、すなわち、換言すれば、Z軸方向で適宜 な間隔を隔てて第1のベースプレート11に固設 されたものとなっている。
 本発明の実施の形態において、第1のベース プレート11は、Z軸方向の両側部近傍が、扁平 の段部34a,34bに形成されており、この扁平の� �部34a,34bに挟まれる部位は、平坦部35となっ� �いる(図3参照)。

 第1のベースプレート11は、少なくとも平坦� ��35が水平面となっている必要がある。
 第1及び第2の基準ガイド部材31a,31bは、この� ��坦部35の両側縁部分、すなわち、扁平の段� �34a,34bに隣接する側縁部分に沿って固設され� ��ものとなっている。
 本発明の第1及び第2の基準ガイド部材31a,31b� ��、大凡角柱状に形成された部材を用いてな� ��、その一面部分が山形に形成された山形部3 6となっている。そして、かかる第1及び第2の 基準ガイド部材31a,31bは、山形部36が、第1の� �ースプレート11の長手方向と直交する方向、 すなわち、Z軸方向において、外方へ向かう� �うに平坦部35に固設されたものとなっている 。

 一方、第1及び第2の可動側ガイド部材32a,3 2bは、第1及び第2の基準ガイド部材31a,31b同様� ��大凡角柱状に形成された部材を用いてなり� ��その一面部分が先の第1及び第2の基準ガイ� �部材31a,31bの山形部36が遊嵌できるよう溝部37 を形成したものとなっている。

 そして、第1及び第2の可動側ガイド部材32 a,32bは、その溝部37がZ軸方向において第1のス ライド部101の内側を向くように、換言すれば 、第1及び第2の基準ガイド部材31a,31bの山形部 36に臨むように第1のテーブルプレート12の下� ��側(図3において紙面下側)においてX軸方向の 両側縁部分に固設されたものとなっている。

 なお、第1のリニアモータ13は、第1のコイ ル13aと、第1の永久磁石13bとに大別されてな� �公知・周知の構成を有してなるもので、上� �の第1の基準ガイド部材31a及び第1の可動側ガ イド部材32aと、第2の基準ガイド部材31b及び� �1の可動側ガイド部材32bとの間において、第1 のコイル13aが第1のテーブルプレート12の下面 側に、第1の永久磁石13bが第1のベースプレー� ��11に、それぞれ固着されたものとなってい� �。

 さらに、本発明の実施の形態においては、� ��部37の斜面部分に、次述するように静圧パ� �ド40が設けられている。
 以下、図4乃至図7を参照しつつ静圧パッド40 について説明する。
 まず、静圧パッド40の基本的な構成として� �、図4に示されたように、リセス41と、この� �セス41の周囲を囲むように形成されるランド 42とからなり(図4参照)、ランド42に対向する� �うに静圧を生じさせたい相手側部材、すな� �ち、本発明の実施の形態においては、第1及� ��第2の基準ガイド部材31a,31bが位置するもの� �なっている(図5(A)参照)。

 さらに、リセス41の底部には、後述する油� �50に連通する開口43が形成されており、開口4 3から所定圧で静圧液としての油を噴出させ� �ことで、第1の基準ガイド部材31aと第1の可動 側ガイド部材32aとの間、第2の基準ガイド部� �31bと第2の可動側ガイド部材32bとの間、それ� ��れにおいて静圧を生じせしめることができ� ��ようになっている。
 すなわち、図5(B)や図6(B)に示されたように� �リセス41と対向する第1及び第2の基準ガイド� ��材31a,31bとの間は、一定の圧力に保持される こととなる。
  なお、本発明の実施の形態においては、� �部37の斜面全体がランド42として機能するも� ��としてあるが、斜面からランド42が突設さ� �るようにしても良い(図7参照)。

 このように、第1の基準ガイド部材31aと第 1の可動側ガイド部材32aとの間、第2の基準ガ� ��ド部材31bと第2の可動側ガイド部材32bとの間 に、それぞれ静圧を生じせしめることによっ て、静圧軸受けが実現され、双方の部材は、 互いに、間隙を介して対向状態に保持される こととなる。

 上述した第1の基準ガイド部材31a及び第1の� �動側ガイド部材32aと、第2の基準ガイド部材3 1b及び第2の可動側ガイド部材32bは、鉛直方向 において第1のスライド部101の中心に対して� �称に配置されることが、第1のテーブルプレ� ��ト12の静的、動的バランスや動作精度の観� �から好ましい。
 また、同様に、静圧パッド40も、第1のスラ� ��ド部101の中心に対して対称に配置されるこ� ��が好ましい。このように、第1の基準ガイド 部材31a及び第1の可動側ガイド部材32aにおけ� �静圧パッド40と、第2の基準ガイド部材31b及� �第2の可動側ガイド部材32bにおける静圧パッ� ��40とが、対称に設けられることによって、� �1の基準ガイド部材31aと第1の可動側ガイド部 材32aとの間のクリアランス(図6(A)参照)、第2� �基準ガイド部材31bと第2の可動側ガイド部材3 2bとの間のクリアランスが、それぞれほぼ等� ��くなる。

 本発明の実施の形態においては、静圧パッ� ��40への所定圧を有する油の供給のために、� �1のテーブルプレート12と第1及び第2の可動側 ガイド部材32a,32bに油路50が形成されている。
 すなわち、まず、第1のテーブルプレート12� ��おいては、その内部に、第1のテーブルプレ ート12の往復動方向と直交する方向、すなわ� ��、Z軸方向において、連絡用油路50aが第1の� �ーブルプレート12の側部近傍まで形成されて いる(図3及び図7参照)。この連絡用油路50aは� �X軸方向の静圧パッド40の数に応じて設けら� �たものとなっている。
   そして、連絡用油路50aのいずれか一端側 は、第1のテーブルプレート12の外面に開口し て、外部の油圧装置205と接続できるようにな っている(図7参照)。

 ここで、本発明の実施の形態における油圧� ��置205の構成について、図7を参照しつつ説明 する。
 まず、静圧用の油(静圧液)と、研削の際の� �却のための油と、砥石スピンドル冷却用の� �は、通常は、別々のものを用いるが、本発� �の実施の形態においては、濾過の精度を上� �ることで、一つの油を静圧用と、研削作業� �おける冷却用と、砥石スピンドル冷却用と� �兼用できるようにしてあり、タンク61には、 かかる静圧用と冷却用とを兼ねた静圧兼冷却 液としての静圧兼冷却用油62が貯蔵されるよ� ��になっている。
 なお、静圧兼冷却油用62としては、切削油� �スピンドル油等の冷却油が用いられるが、� �圧兼冷却液としては油以外の例えば、冷却� �を用いるようにしても良い。
 油圧装置205には、この静圧兼冷却液として� ��静圧兼冷却用油62を吸引、加圧する電動油� �ポンプ63が設けられており、加圧された静圧 兼冷却用油62は、チェックバルブ64を介して� �キュムレータ65に一時蓄積されるようになっ ている。そして、静圧兼冷却用油62は、この� ��キュムレータ65からフィルタ66を介して連絡 用油路50aへ供給されるようになっている。

 なお、チェックバルブ64とアキュムレー� �65との間には、リリーフバルブ67が接続され� ��おり、この箇所の圧力が所定圧力、例えば� ��2MPaを越える際には、静圧兼冷却用油62をタ� ��ク61へ戻すことができるようになっている� �また、リリーフバルブ67が接続された箇所に は、圧力計68も接続されており、この箇所の� ��力を外部から確認できるものとなっている� ��

 再び油路50の説明に戻れば、油路50を構成す る上述の連絡用油路50aは、第1のテーブルプ� �ート12の側部近傍まで形成されているが、こ の部位で、第1のテーブルプレート12の下面側 に向かって直交するように曲折されて、第1� �テーブルプレート12の下面に開口する垂直連 絡路50bとなっている(図3及び図7参照)。
 そして、第1及び第2の可変側ガイド部材32a,3 2bにおいては、上述の垂直連絡路50bに連続す� ��ように垂直方向(図3において紙面上下方向)� ��ガイド部材側垂直連絡路50cが、第1のテーブ ルプレート12に接合される面と反対側の面近� ��まで形成されている(図3及び図7参照)。

 本発明の実施の形態においては、連絡用油� ��50aと垂直連絡路50bとの交差部分から垂直連� ��路50bが開口する第1のテーブルプレート12の� ��面側に至る部分においては、内部にT字路の 通路51aが形成されてなる分配栓51が用いられ� ��いる(図3及び図8参照)。
 この分配栓51は、第1のテーブルプレート12� �上面側、すなわち、第2のスライド部102が載� ��される側の面から分配栓51挿入のために連� �用通路50aへ向かって穿設された挿入穴52へ埋 設されるようになっている(図3参照)。なお、 気密性を保持するため、第1のテーブルプレ� �ト12の上面側の適宜な位置に第1のOリング53a� ��環装される一方、第1のテーブルプレート12� ��下面側に臨む端部近傍において第2のOリン� �53bが環装されるようになっている(図8(B)参照 )。

 一方、第1及び第2の可動側ガイド部材32a,32b� ��おいては、第2の垂直連絡路50cに対して直交 するようにして、かつ、先に述べたリセス41� ��連通するリセス連絡路50dが形成されている( 図3及び図7参照)。
 本発明の実施の形態においては、このリセ� ��連絡路50dにオリフィス部材54が埋設された� �のとなっている(図3参照)。
 すなわち、本発明の実施の形態におけるオ� ��フィス部材54は、全体外観形状がほぼ円柱� �の基部54aと、この基部54aから延設されたオ� �フィス管54bとに大別されて構成されたもの� �なっている(図9参照)。

 基部54aには、その軸方向(図9において紙面� �右方向)に対して直交する方向に貫通路54cが� ��成されており、このオリフィス部材54が第1� ��び第2の可動側部材32a,32bに埋設された際に� �第1及び第2の可動側部材32a,32b内に形成され� �いる第2の垂直連絡路50cと連通できるように� ��っている(図3参照)。
 そして、オリフィス管54bは、貫通路54cに直� ��して連通し、その先端部分がリセス41に臨� �ようにして設けられている(図9(B)参照)。こ� �オリフィス管54bは、貫通路54cに比して十分� �径の小さなものとなっており、この部分で� �静圧兼冷却用油62の油圧の変動を抑圧してリ セス41へ噴出可能にしてある。
 すなわち、本発明の実施の形態のように一� ��の油圧源(タンク61)から複数の静圧バッド40� ��対して静圧油の供給を行う構成にあっては� ��いずれかの静圧パッド40において間隙が何� �かの原因により大きくなり、これを放置す� �と、その部分における静圧油量が他の静圧� �ッド40における静圧油量より大となり、最悪 時には、他の静圧パッド40への静圧油の供給� ��滞る状態に至る虞がある。そこで、各静圧� ��ッド40につながる静圧油の供給路途中に、� �れぞれオリフィス管54bを設けることにより� �特定の静圧パッド40の油量だけが突出して大 となるようなことを抑圧し、静圧力の補償作 用が行われるようにしたものである。

 なお、基部54aの外周においては、貫通路54c� ��挟むようにして2箇所で基部用Oリング55a,55b� ��環装されるようになっている(図9(B)参照)。
 また、本発明の実施の形態においては、第1 のテーブルプレート12の長手軸方向、すなわ� ��、X軸方向の両端部に位置するリセス連通路 50dにあっては、その途中、特に、オリフィス 管54bが通る部分の適宜な位置において、リセ ス連通路50dに対して直交するように連通し、 第1のテーブルプレート12の端面に開口する圧 力計接続用通路50eが形成されており、外部に 設けられた圧力計56が接続可能となっている( 図7参照)。そして、圧力計56によってリセス41 の静圧が確認できるようになっている。本発 明の実施の形態においては、この圧力計56に� ��けるリセス41の静圧は、大凡1MPa程度に設定� ��れたものとなっている。

 しかして、上記構成における静圧パッド40� �作用について説明すれば、まず、研削作業� �開始に伴い、制御盤203の制御によって油圧� �置205も始動され、電動油圧ポンプ63により静 圧兼冷却油62の圧送が開始される。
 電動油圧ポンプ63から圧送された静圧兼冷� �油62は、第1及び第2のテーブルプレート11,15� �連絡用油路50aに流入し、垂直連絡路50b、第2� ��垂直連絡路50c及びリセス連絡路50dを介して� ��セス41へ流出せしめられることとなる。こ� �際、リセス連絡路50dにおいては、オリフィ� �管54bによるオリフィスを通過することで、� �圧兼冷却油62の油圧はより上昇してリセス41� ��流出せしめられるものとなっている。

 このようにして静圧兼冷却油62が非常に高� �油圧でリセス41に放出されることで、第1の� �準ガイド部材31aと第1の可動側ガイド部材32a� ��間、第2の基準ガイド部材31aと第2の可動側� �イド部材32aの間、のそれぞれにおいて静圧� �作用し、それぞれ微少間隔に保持されるこ� �となる。
 これによって、第1のテーブルプレート12の� ��復動、第2のテーブルプレート15の往復動に� ��いて、円滑な動きが確保されるものとなっ� ��いる。
 なお、本発明の実施の形態においては、オ� ��フィス部材54は、第1、第2の可動側ガイド部 材32a、32bに対して水平方向で取り付け、取り 外しが可能となっているので、装置全体の組 み立てを終えた際に、リセス41における圧力( 静圧)を実測し、各々の静圧が不均一な場合� �、該当するオリフィス部材54のオリフィス管 54bの内径を変えたものと交換し、所望する静 圧とすることが可能となっている。

 次に、本発明の実施の形態における研削装� ��Sによるワークの研削作業について、図2を� �照しつつ概括的に説明する。
 まず、ワーク(図示せず)の内径の加工、ド� �スは、第2のスライド部102によりZ軸方向の往 復動を与えつつ、第1のスライド部101によるX� ��方向の移動をワークに与えることにより切� ��みを行う。
 また、シートの加工、ドレスは、第1のスラ イド部101のX軸方向における移動と、第2のス� ��イド部102のZ軸方向における移動との補間動 作により任意の角度を形成することができる 。
 さらに、端面の加工、ドレスは、第2のスラ イド部102によりZ軸方向での切込みを行い、� �1のスライド部101によりX軸方向において、加 工時又はドレスジ時におけるX軸方向とZ軸方� ��の補間動作をさせることで、直線のみなら� ��、曲線の研削作業ができるものとなってい� ��。

 本発明の実施の形態においては、第1及び第 2の基準ガイド部材31a,31bのそれぞれの山形部3 6のそれぞれの斜面部分、すなわち、全体と� �て4つの面において静圧軸受けが形成されて� ��第1のテーブルプレート12と第1及び第2の基� �ガイド部材31a,31bを往復動可能に支持でき、� ��来に比して、静圧軸受けを形成する面の数� ��少なくて済み、それに伴い、構造の簡素化� ��図られたものとなっている。
 また、上述のような構成であるため、従来� ��比して、静圧スライド装置としての小型軽� ��化が図られ、それによって静圧の大きさが� ��来に比して大幅に小さなものとなっている� ��
 さらに、本発明の実施の形態においては、� ��来と異なり、各静圧パッド40毎に、オリフ� �ス管50bを設ける構成とした事により、個々� �オリフィス管50bの径を定めることができ、� �れによって各静圧パッド40の静圧を容易に一 定とすることができ、第1のテーブルプレー� �12(又は第2のテーブルプレート15)と第1及び第 2の基準ガイド部材31a,31bをバランス良く安定� ��往復動せしめ、しかも、静圧軸受けとして� ��十分な剛性が確保されるものとなっている� ��

 なお、本発明の実施の形態においては、� ��圧スライド装置をワークの移動手段として� ��いた例を示したが、勿論、このような用途� ��限定されるものではなく、砥石を移動可能� ��構成した研削装置などにおいて、その砥石� ��移動手段として用いても良く、また、ドレ� ��サを備える研削装置においては、ドレッサ� ��移動手段として用いるようにしても好適で� ��る。