Titel

Induktiver Positionssensor, insbesondere zur Erfassung mindestens einer

Rotationseigenschaft eines rotierenden Elements

Stand der Technik

Aus dem Stand der Technik sind zahlreiche Sensoren bekannt, welche mindestens eine Rotationseigenschaft rotierender Elemente erfassen. Beispiele derartiger Sensoren sind in Konrad Reif (Hrsg.): Sensoren im Kraftfahrzeug, 2. Auflage, 2012, Seiten 63-74 und 120-129 beschrieben. Beispielsweise kann eine Lage einer Nockenwelle einer Brennkraftmaschine relativ zu einer Kurbelwelle mit einem so genannten Phasengeber mittels eines Hall-Sensors bestimmt werden.

Beispielsweise für eine Realisierung einer Traktion in Elektrofahrzeugen werden häufig entweder Asynchronmaschinen oder Synchronmaschinen verwendet, welche jeweils aus einem ortsfesten Stator und einem sich drehenden Rotor bestehen. Der Stator trägt in der Regel drei, beispielsweise um 120°/p zueinander versetzte Wicklungsstränge, wobei p eine Anzahl von Polpaaren repräsentiert. Bei Asynchronmaschinen besteht der Rotor üblicherweise aus an Enden ringförmig kurzgeschlossenen elektrisch leitfähigen Stäben. Bei einer Drehung eines Rotorfeldes kann so in den Stäben eine Spannung induziert werden, welche einen Stromfluss hervorruft, welcher wiederum ein

Gegenmagnetfeld aufbaut und es zu einer rotatorischen Bewegung kommt. Die induzierte Spannung ist Null, wenn sich Rotorfeld und Stator gleich schnell drehen. Es stellt sich eine Drehzahldifferenz ein, welche als Schlupf bezeichnet wird und welche das Moment des Motors definiert. Bei Synchronmaschinen umfasst der Rotor einen Läufer, welcher eine Erregerspule trägt, in welchem ein Gleichstrom fließt und ein statisches Magnetfeld erzeugt. Alternativ dazu kann ein Permanentmagnet als Rotor verwendet werden. Es handelt sich dann um eine permanent erregte Synchronmaschine, welche aufgrund der leistungslosen Erregung einen höheren Wirkungsgrad aufweist und so für

Traktionsanwendungen geeigneter sein kann. Eine Drehzahl des Rotors kann prinzipbedingt identisch zur Drehzahl eines Erregerfelds sein. Das Drehmoment kann von einem Phasenversatz, also einer Winkeldifferenz zwischen Statorfeld und Rotor, abhängen. Zur Regelung des Moments, Ansteuerung eines Inverters und entsprechender Bereitstellung von Statorspulensignalen muss für

Asynchronmaschinen die Drehzahl des Rotors und für Synchronmaschinen eine Absolutwinkelstellung des Rotors bekannt sein. In beiden Fällen,

Synchronmaschinen und Asynchronmaschinen, ist insbesondere aus Gründen der funktionalen Sicherheit zusätzlich die Drehrichtung zu bestimmen. Die maximale Leistung der Maschine kann zudem durch eine Stator- und

Rotortemperatur begrenzt sein.

Um die Rotorlage zu ermitteln, ist es bekannt, so genannte Resolver zu verwenden. Bei diesem handelt es sich um einen elektromagnetischen

Messumformer, bei dem ein Rotorpaket drehzahlfest auf der Welle des Motors montiert ist. Kreisringförmig umlaufend sind auf einem Stator eine Erregerspule sowie mehrere Empfängerspulen montiert. Die Erregerspule wird mit einem Wechselspannungssignal beaufschlagt und durchsetzt die gesamte Anordnung mit einem elektromagnetischen Wechselfeld. Drehwinkelabhängig kann in einer ersten Empfängerspule eine sinusförmig amplitudenmodulierte Spannung induziert werden während in einer zweiten Empfängerspule eine cosinusförmig amplitudenmodulierte Spannung induziert wird. Die Bereitstellung des

Erregersignals sowie das Auslesen der Signale kann innerhalb der

Leistungselektronik bzw. dedizierten Bausteinen innerhalb eines Steuergerätes zur Motorregelung realisiert werden. Ein Resolver ist eine rein passive

Komponente und sämtliche Signalverarbeitung kann im Steuergerät, bzw. der Leistungselektronik, realisiert werden, so dass höchste Anforderungen an die funktionale Sicherheit gemäß ISO 26262 erfüllt werden können. Resolver benötigen jedoch relativ viel Bauraum, erfordern eine komplexe

Signalbereitstellung und -aufbereitung und müssen mit sehr geringen

mechanischen Toleranzen montiert werden, um eine ausreichend hohe

Genauigkeit zu erreichen. Aus diesen genannten Gründen können Systemkosten entsprechend hoch sein. Weiterhin kann es aus Platzgründen nicht möglich sein, auf den Stator des Resolvers ein redundantes Empfangsspulensystem zu montieren, um eine Verfügbarkeit des Sensors zu erhöhen. So kann ein Ausfall des Sensors zum„Liegenbleiben“ des Fahrzeugs führen.

Die Statortemperatur kann aufgrund der begrenzten Temperaturfestigkeit des Isolationslackes der Statorwicklungen bestimmend für die maximale Stromstärke in den Statorspulen, und damit für das abgegebene Drehmoment, sein. Es ist bekannt, zur Bestimmung der Temperatur einen Temperatursensor zu

verwenden, welcher in die Statorspulen gewickelt wird. Mittels Modellen kann auf eine Temperaturverteilung geschlossen werden. Die Rotortemperatur, welche vor allem bei Asynchronmaschinen kritisch sein kann, da im Käfigläufer permanent hohe Ströme fließen, wird bisher nicht ermittelt und lediglich über Modelle berechnet. Vor allem die fehlende Messinformation über die Rotortemperatur begrenzt die Performance der elektrischen Maschine und macht eine

Modellierung mit entsprechendem Aufwand und Ungenauigkeiten unabdingbar, siehe DE 10 2014 213 103.

Weiter bekannt zur kontaktlosen Messung einer Temperatur sind

Ferninfrarotsensoren nach dem bolometrischen Prinzip, welche jeweils integrierte spektral abgestrahlte Leistung eines Objektes detektieren. Aufgrund der

Absorption in der Atmosphäre liegt der auswertbare Wellenlängenbereich etwa zwischen 7 und 15 mhh. Gemäß dem Planck Gesetz emittiert ein Objekt Strahlung abhängig von seiner Temperatur und Oberflächenbeschaffenheit. Für einen beliebigen Körper gilt dabei für die spektrale Leistungsdichte

wobei h die Planck Konstante, c die Lichtgeschwindigkeit, k _ß die Boltzmann Konstante und T die Temperatur ist. Die Emissivität des Objekts, also wie effektiv eine Strahlung emittiert werden kann, wird über e berücksichtigt. Dieser Faktor kann als wellenlängenunabhängig angenommen werden. Eine Integration eines Sensors, basierend auf dem bolometrischen Prinzip, in der elektrischen

Maschine ist aufgrund schwieriger Zugänglichkeit nahezu unmöglich. Weiterhin müssten zusätzliche Leitungen zwischen dem Sensor und dem Steuergerät vorgesehen werden, um die Temperaturinformation zu übertragen. Darüber hinaus ist der Emissionskoeffizient des Objekts im Allgemeinen nicht bekannt und so ein Rückschluss auf eine absolute Objekttemperatur nicht eindeutig möglich. Eine absolute Objekttemperatur könnte zwar mit so genannten Multicolor Bolometern bestimmt werden, jedoch wird dazu eine kostenintensive Umsetzung benötigt.

Offenbarung der Erfindung

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wird daher ein induktiver

Positionssensor, insbesondere zur Erfassung mindestens einer

Rotationseigenschaft eines um mindestens eine Rotationsachse rotierenden Elements, vorgeschlagen. Unter einem„Sensor“ wird im Rahmen der

vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Vorrichtung verstanden, welche geeignet ist, mindestens eine Messgröße zu erfassen. Unter einem induktiven Positionssensor zur Erfassung mindestens einer Rotationseigenschaft wird dementsprechend ein Sensor verstanden, welcher eingerichtet ist, um die mindestens eine Rotationseigenschaft zu erfassen, beispielsweise zu messen, und welche beispielsweise mindestens ein elektrisches Signal entsprechend der erfassten Eigenschaft erzeugen kann, wie beispielsweise eine Spannung oder einen Strom. Auch Kombinationen von Eigenschaften können erfassbar sein. Unter einer„Rotationseigenschaff wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine Eigenschaft verstanden werden, welche die Rotation des rotierenden Elements zumindest teilweise beschreibt. Hierbei kann es sich beispielsweise um eine Winkelgeschwindigkeit, eine Drehzahl, eine

Winkelbeschleunigung, eine Winkelposition oder eine andere Eigenschaft handeln, welche eine kontinuierliche oder diskontinuierliche, gleichförmige oder ungleichförmige Rotation oder Drehung des rotierenden Elements zumindest teilweise charakterisieren kann. Beispielsweise kann es sich bei der

Rotationseigenschaft um eine Position, insbesondere eine Winkelposition, eine Drehzahl, eine Winkelbeschleunigung oder um eine Kombination von mindestens zwei dieser Größen handeln. Auch andere Eigenschaften und/oder andere Kombinationen von Eigenschaften können erfassbar sein. Unter einer „Winkelposition“ wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein Drehwinkel einer rotationsfähigen Vorrichtung, beispielsweise des rotierenden Elements oder eines Geberrads, bezüglich einer senkrecht auf der

Rotationsachse stehenden Achse verstanden. Insbesondere kann der induktive Positionssensor ein induktiver Rotorlagesensor oder Rotorpositionssensor sein. Unter einem„induktiven Positionssensor“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiger Sensor verstanden werden, der ein Signal entsprechend einer erfassten Eigenschaft erzeugen kann, insbesondere ein Messsignal, insbesondere ein elektrisches Messsignal, beispielsweise eine Spannung oder einen Strom, wobei eine Erzeugung des Messsignals auf einer Änderung eines magnetischen Flusses beruht. Insbesondere kann die erfasste Eigenschaft eine Position, beispielsweise eine Winkelposition umfassen.

Insbesondere kann es sich bei dem induktiven Positionssensor um einen induktiven Magnetsensor handeln. Auch andere Ausgestaltungen sind jedoch grundsätzlich möglich.

Der induktive Positionssensor kann insbesondere zum Einsatz in einem

Kraftfahrzeug eingerichtet sein, insbesondere für Traktionsanwendungen für elektrische Maschinen. Unter einem„rotierenden Element“ wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges Element verstanden, welches um mindestens eine Achse rotiert. Beispielsweise kann das rotierende Element eine Welle sein, beispielsweise eine Welle in einer Antriebsmaschine, beispielsweise eine Nockenwelle oder eine Kurbelwelle. Beispielsweise kann eine Winkelposition einer Nockenwelle oder eine Drehzahl einer Nockenwelle oder eine Winkelbeschleunigung einer Nockenwelle oder eine Kombination von mindestens zwei dieser Größen bestimmt werden. Auch andere Eigenschaften und/oder andere Kombinationen von Eigenschaften können erfassbar sein.

Der induktive Positionssensor umfasst:

- mindestens einen Schaltungsträger;

- mindestens eine Spulenanordnung, welche auf dem Schaltungsträger angeordnet ist, wobei die Spulenanordnung mindestens eine Erregerspule und mindestens zwei Empfängerspulen umfasst;

- mindestens eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC), welche auf dem Schaltungsträger angeordnet ist und welche eingerichtet ist, um ein Erregersignal für die Erregerspule bereitzustellen, wobei die

anwendungsspezifische integrierte Schaltung eingerichtet ist, um von den Empfängerspulen erzeugte Signale zu verarbeiten und als Ausgangssignale bereitzustellen. Der induktive Positionssensor weist mindestens ein

Mikrobolometer- Element auf, welches auf dem Schaltungsträger angeordnet ist.

Unter einem„Schaltungsträger“ kann eine Vorrichtung verstanden werden, auf welcher mindestens ein elektrisches Bauelement angeordnet werden kann. Der Schaltungsträger kann flexibel ausgestaltet sein. Insbesondere kann der

Schaltungsträger ein flexibles Material umfassen. Der Schaltungsträger kann insbesondere ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus: einer Leiterplatte, insbesondere einer Starrflex- Leiterplatte, beispielsweise einer gebogenen Starrflex- Leiterplatte; einer starren Leiterplatte, insbesondere einer starren Leiterplatte mit Einkerbungen; einer Leiterkarte; einer Platine und einer gedruckten Schaltung, insbesondere einem„printed Circuit board“ (PCB).

Der Schaltungsträger kann im Wesentlichen koaxial zu der Rotationsachse angeordnet sein. Der Schaltungsträger kann beispielsweise ein Geberrad oder ein Kreissegment des Geberrads eines weiter unten beschriebenen

Sensorsystems im Wesentlichen kreisförmig oder kreissegmentförmig umgeben. Unter dem Begriff„im Wesentlichen kreisförmig“ wird im Rahmen der

vorliegenden Erfindung grundsätzlich verstanden, dass das beschriebene Bauelement einen Krümmungsradius aufweist. Der Krümmungsradius kann innerhalb des Bauelements um einen Wert von 0 % bis 80 %, bevorzugt von 0 % bis 50 %, mehr bevorzugt von 0 % bis 20 % und besonders bevorzugt von 0 % bis 5 % variieren. Insbesondere kann der Krümmungsradius auch konstant sein. Alternativ oder zusätzlich kann der Schaltungsträger auch aus zwei oder mehr Segmenten zusammengesetzt sein, welche beispielsweise jeweils eben oder auch gekrümmt ausgestaltet sein können und welche beispielsweise miteinander verbunden sein können. Die Segmente können insgesamt dann ebenfalls koaxial zur Rotationsachse angeordnet sein, auch wenn die einzelnen Segmente dann beispielsweise tangential angeordnet sind. Weiterhin kann der Schaltungsträger in einem Gehäuse, insbesondere in einem Spritzgussgehäuse, angeordnet sein.

Unter einer„Spulenanordnung“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Vorrichtung verstanden werden, die mindestens eine Spule umfasst. Unter einer„Spule“ wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges Bauelement verstanden, welches eine Induktivität aufweist und geeignet ist, bei Stromfluss ein Magnetfeld zu erzeugen und/oder umgekehrt. Beispielsweise kann eine Spule mindestens eine vollständige oder teilweise geschlossene Leiterschleife oder Windung umfassen. Unter einer „Erregerspule“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine Spule verstanden werden, welche bei Anlegen einer elektrischen Spannung und/oder eines elektrischen Stroms einen magnetischen Fluss erzeugt. Die Erregerspule kann mindestens eine Erregerwindung aufweisen. Unter einer „Empfängerspule“ wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine Spule verstanden, welche eingerichtet ist, aufgrund einer induktiven Kopplung zwischen Erregerspule und Empfängerspule ein Signal zu erzeugen, welches abhängig ist von der induktiven Kopplung. Beispielsweise kann die Spulenanordnung ein Empfängerspulensystem aufweisen. Unter einem „Empfängerspulensystem“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Vorrichtung verstanden werden, welche mindestens zwei, bevorzugt mindestens drei, Empfängerspulen umfasst.

Die Erregerspule kann im Wesentlichen kreisförmig ausgestaltet sein.

Hinsichtlich des Begriffs„im Wesentlichen kreisförmig“ wird auf obige Definition verwiesen. Die Erregerspule und die Empfängerspulen können wie in DE 10 2017 210 655.7, eingereicht am 23.06.2017, beschrieben ausgestaltet sein. Die Empfängerspulen können die Rotationsachse in einer Umfangsrichtung im Wesentlichen vollständig umlaufen, wobei jede Empfängerspule durch eine Mehrzahl benachbarter Teilwindungen gebildet ist, wobei benachbarte

Teilwindungen bezüglich der Stromlaufrichtung gegensätzlich orientiert sind. Dabei ist jede Teilwindung bezüglich einer radialen Richtung, die sich von der Rotationsachse nach außen erstreckt, gebildet aus Abschnitten von wenigstens zwei nach links gekrümmten kreisbogenförmigen Leiterbahnen und aus

Abschnitten von wenigstens zwei nach rechts gekrümmten kreisbogenförmigen Leiterbahnen. Alle linksgekrümmten und alle rechtsgekrümmten Leiterbahnen weisen denselben Krümmungsradius auf. Alle linksgekrümmten Leiterbahnen und alle rechtsgekrümmten Leiterbahnen erstrecken sich zwischen zwei konzentrischen Kreisen um die Rotationsachse, einem ersten Kreis mit einem ersten Radius und einem zweiten Kreis mit einem zweiten Radius, wobei ein dritter Kreis gegeben ist, der konzentrisch zum ersten Kreis gelegen ist und einen dritten Radius aufweist, der sich aus dem Mittelwert des ersten Radius und des zweiten Radius ergibt, wobei eine erste rechtsgekrümmte Leiterbahn durch drei Punkte verläuft: durch einen ersten Punkt, der auf dem ersten Kreis liegt; durch einen zweiten Punkt, der auf dem dritten Kreis liegt und in Umfangsrichtung um ein Viertel des Messbereichs gegenüber dem ersten Punkt verdreht ist; und durch einen dritten Punkt, der auf dem zweiten Kreis liegt und in

Umfangsrichtung um die Hälfte des Messbereichs gegenüber dem ersten Punkt verdreht ist. Die weiteren rechtsgekrümmten Leiterbahnen ergeben sich aus der vorfolgenden rechtsgekrümmten Leiterbahn durch eine Drehung um die

Drehachse um die Hälfte des Messbereichs in Umfangsrichtung. Die

linksgekrümmten Leiterbahnen ergeben sich durch Spiegelungen der rechtsgekrümmten Leiterbahnen jeweils an einer Radiallinie, die sich von der Drehachse durch den Schnittpunkt der jeweiligen rechtsgekrümmten Leiterbahn mit dem dritten Kreis erstreckt. Eine Teilwindung einer Empfängerspule kann dabei als ein Teil der Empfängerspule definiert sein, der von Leiterbahnen der Empfängerspule umgeben ist, die sich nicht gegenseitig schneiden. Die

Orientierung einer Teilwindung bestimmt sich über einen Stromfluss durch die Empfängerspule. Gegenläufig orientierte Teilwindungen weisen bei einem Stromfluss durch die Empfängerspule jeweils gegenläufig Stromflüsse auf, d.h. bei einer Teilwindung mit einer ersten Orientierung läuft der Strom im

Uhrzeigersinn bzw. nach rechts durch die Teilwindung, bei einer Teilwindung mit einer zweiten, gegenläufigen Orientierung läuft der Strom gegen den

Uhrzeigersinn bzw. nach links durch die Teilwindung. Eine Teilwindung kann lediglich beispielhaft wie eine Raute mit gekrümmten Seitenflächen aufgebaut sein. Die vier Seitenflächen einer solchen Raute können z.B. durch je zwei Teilstücke zweier linksgekrümmter Leiterbahnen und zweier rechtsgekrümmter Leiterbahnen ausgebildet sein. Beispielsweise kann dabei die Stromlaufrichtung in wenigstens zwei Abschnitten der linksgekrümmten Leiterbahnen, die eine Teilwindung bilden, einander entgegengesetzt sein. Ebenso kann die

Stromlaufrichtung in wenigstens zwei Abschnitten der rechtsgekrümmten Leiterbahnen, die eine Teilwindung bilden, einander entgegengesetzt sein. Der Aufbau der Teilwindungen ist dabei so zu verstehen, dass eine gedachte gerade Linie, die von der Rotationsachse ausgeht und in radialer Richtung verläuft, eine nach links und eine nach rechts gekrümmte kreisbogenförmige Leiterbahn der Empfängerspule schneidet, wenn die gerade Linie durch das Innere der

Empfängerspule verläuft. Auf diese Weise kann z.B. auch erreicht werden, dass die Amplitude der in der Empfängerspule induzierten Wechselspannung bzw. das Messsignal im Wesentlichen als Sinusfunktion von dem Drehwinkel abhängt.

Der induktive Positionssensor kann eine Anzahl von n Empfängerspulen umfassen, wobei n eine positive ganze Zahl ist. Die generierten sinusförmigen Signale der n Empfängerspulen können gegeneinander phasenversetzt sein. Beispielsweise können benachbarte sinusförmige Signale einen Phasenabstand von 2tt/(2h) und/oder 360°/(2n) für n=2 aufweisen. Weiterhin können beispielsweise benachbarte sinusförmige Signale einen Phasenabstand von 2tt/(h) und/oder 360°/(n) für n>3 aufweisen. Insbesondere können benachbarte sinusförmige Signale von genau zwei Empfängerspulen einen Phasenabstand von 90° aufweisen. Insbesondere können benachbarte sinusförmige Signale von genau drei Empfängerspulen einen Phasenabstand von 120° aufweisen.

Unter einer„anwendungsspezifischen integrierten Schaltung“ (ASIC) kann eine grundsätzlich beliebige elektronische Schaltung verstanden werden, welche als integrierter Schaltkreis realisiert wurde. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung ist eingerichtet, um ein Erregersignal für die Erregerspule

bereitzustellen. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann auf dem Schaltungsträger angeordnet sein und an genau eine Erregerspule und mindestens zwei Empfängerspulen angeschlossen sein. Unter ein„Erregersignal bereitzustellen“ kann verstanden werden, dass die anwendungsspezifische integrierte Schaltung eingerichtet ist, das Erregersignal zu erzeugen und/oder dass die anwendungsspezifische integrierte Schaltung eingerichtet ist, die Erregerspule mit dem Erregersignal zu beaufschlagen. Unter einem

„Erregersignal“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein elektrisches Signal verstanden werden, insbesondere mindestens eine Wechselspannung und/oder mindestens ein Wechselstrom. Das Erregersignal kann ein im

Wesentlichen sinusförmiges Erregersignal sein. Unter„sinusförmig“ wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Form verstanden, welche einen Verlauf einer Sinuskurve aufweist. Beispielsweise kann ein Verlauf einer vollständigen Sinuskurve umfasst sein oder lediglich ein Teil einer Sinuskurve. Unter em Wesentlichen sinusförmig“ können

Ausführungsformen verstanden werden mit einem vollständig sinusförmigen Verlauf, wobei Abweichungen denkbar sind, welche nicht mehr als 20 %, insbesondere nicht mehr als 10 % oder sogar nicht mehr als 5 % von dem absoluten Wert der Sinusform betragen. Unter einer„vollständigen Sinuskurve“ kann dabei insbesondere ein Verlauf einer Sinuskurve verstanden werden, welcher mindestens eine Periode umfasst. Hierbei kann die Sinuskurve im Nullpunkt oder einem beliebigen anderen Punkt der Sinuskurve beginnen. Die Sinusform kann beispielsweise auch abschnittsweise aus anderen Funktionen zusammengesetzt werden, so dass sich insgesamt eine näherungsweise Sinusform ergibt. Das Erregersignal kann eine Amplitude im Bereich von 0,1 V bis 10 V, bevorzugt von 5 V, aufweisen. Das Erregersignal kann eine Frequenz im Bereich von 1 MHz bis 10 MHz, bevorzugt 3,5 MHz aufweisen. Die

anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann mindestens eine

Oszillatorschaltung aufweisen. Die Oszillatorschaltung kann beispielsweise einen LC Oszillator treiben, bei welchem die Erregerspule und ein Kondensator als frequenzbestimmende Elemente wirken. Durch die Beaufschlagung der

Erregerspule mit dem Erregersignal kann ein elektromagnetisches Wechselfeld entstehen, welches in die Empfängerspulen koppelt und dort beispielsweise entsprechende Wechselspannungen und/oder Wechselströme induziert. Der induktive Positionssensor kann eingerichtet sein, um eine induktive Kopplung und/oder eine Änderung einer induktiven Kopplung zwischen der Erregerspule und der mindestens einen Empfängerspule zu erfassen. Die Erregerspule kann eingerichtet sein, um in Antwort auf die Beaufschlagung mit dem Erregersignal ein elektromagnetisches Wechselfeld zu erzeugen. Die Erregerspule und die Empfängerspulen können derart gekoppelt sein, dass das elektromagnetische Wechselfeld in den Empfängerspulen eine Wechselspannung induziert. Die Empfängerspulen können derart angeordnet sein, dass die Empfängerspulen bei einer Rotation des rotierenden Elements mit konstanter Winkelgeschwindigkeit um die Rotationsachse drehwinkelabhängige Signale generieren.

Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung ist eingerichtet, um von den Empfängerspulen erzeugte Signale zu verarbeiten und als Ausgangssignale, beispielsweise einer Auswerteeinheit, bereitzustellen. Unter„Verarbeiten“ kann grundsätzlich eine beliebige Operation einer Signalverarbeitung verstanden werden, um ein Ausgangsignal zu erzeugen, beispielsweise ein Auswerten, ein Filtern, ein Demodulieren. Die Signalverarbeitung kann digital und/oder analog erfolgen. Bevorzugt kann die Signalverarbeitung rein analog erfolgen. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann insbesondere eingerichtet sein, um durch Demodulation eines in den Empfängerspulen induzierten Signals mit einem Trägersignal, also einem Signal der Erregerspule auch Sendespule genannt, auf einen Betrag und eine Phase der Kopplung zu schließen. Der Betrag kann insbesondere kontinuierlich mit dem Drehwinkel variieren. Eine Phasenlage kann beispielsweise 0° oder 180° betragen. Die

anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann mindestens eine

Demodulationsvorrichtung aufweisen, welche eingerichtet ist, um die Signale der Empfängerspulen zu demodulieren. Das Demodulieren kann ein Multiplizieren mit dem Erregersignal umfassen. Beispielsweise kann durch eine Multiplikation des Betrags mit einer Kosinusfunktion ein vorzugsweise offsetfreies Sin/Cos- System entstehen, insbesondere bei Verwendung von zwei Empfängerspulen mit 90° Phasenversatz bezogen auf den Messbereich. Bei Verwendung von drei Empfängerspulen mit typischerweise 120° Phasenversatz bezogen auf den Messbereich kann insbesondere ein dreiphasiges Sinussignal entstehen, welches beispielsweise durch Anwendung der Clarke-Transformation in ein Sin/Cos-System überführt werden kann. Mit Hilfe der Arkustangens- Funktion kann dann auf den Drehwinkel geschlossen werden. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann mindestens einen Tiefpassfilter aufweisen. Der Tiefpassfilter kann eine Grenzfrequenz im Bereich von 50 kHz bis zu 500 kHz, bevorzugt 100 kHz, aufweisen. Die untere Grenzfrequenz kann deutlich geringer ausfallen, da lediglich Offsets kompensiert werden sollen, so dass beispielsweise 0,1 Hz ausreichend wäre. Beispielsweise kann die anwendungsspezifische integrierte Schaltung zunächst die Signale der Empfängerspulen demodulieren und anschließend mittels des Tiefpasses filtern.

Unter einem„Mikrobolometer- Element“ kann ein thermischer Sensor zur

Detektion von elektromagnetischer Strahlung verstanden werden. Das

Mikrobolometer- Element kann eingerichtet sein, um eine Temperatur des rotierenden Elements zu bestimmen. Das Mikrobolometer- Element kann eingerichtet sein zu einer Erfassung der absoluten Temperatur des rotierenden Elements. Das Mikrobolometer- Element kann mindestens ein Pixel,

insbesondere ein Pixelarray mit einer Vielzahl von Pixeln aufweisen. Jedes der Pixel kann einen Infrarotabsorber und ein temperatursensitives Bauelement aufweisen. Das Pixel kann ein Substratmaterial und einen Absorber,

insbesondere eine Absorberplatte, aufweisen. Der Absorber kann an einer Mehrzahl von Haltearmen über dem Substratmaterial haltend aufgenommen sein. Der Absorber kann beispielsweise eine einfache Si0 ₂ -Schicht umfassen. Der Absorber kann mindestens eine Antennenstruktur oder eine plasmonische Struktur aufweisen. Der Absorber kann ein Metamaterial- Perfect- Absorber sein. Eine Herstellung des Mikrobolometer- Elements kann basierend auf der

Bereitstellung einer thermisch isolierten Insel, welche den IR-Absorber und das temperatursensitives Bauelement umfasst, erfolgen. Die Haltearme können eingerichtet sein, die thermisch isolierte Insel mit einem Substrat zu verbinden. Das Mikrobolometer- Element kann ein thermoelektrisches Wandlerelement aufweisen, welches ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus: mindestens ein temperaturabhängiger Widerstand, mindestens ein Halbleiter-Bauelement, insbesondere eine Diode, mindestens einem Thermocouple. Die Haltearme können eingerichtet sein, um elektrische Zuleitungen für das thermoelektrische Wandlerelement bereitzustellen. Die Haltearme können eingerichtet sein, eine mechanische Stabilität zu gewährleisten. Das Verhältnis zwischen Länge und Querschnittsfläche der Haltearme kann im Design derart maximiert werden, dass eine bestmögliche thermische Isolation der Insel gewährleistet werden kann. Das Pixeldesign kann derart sein, dass ein Kompromiss zwischen Absorberfläche und thermischer Entkopplung, also Länge und/oder Querschnittsfläche der

Haltearme, des Pixels gefunden wird. Das Pixel kann eingerichtet sein, dass sich bei auf das Pixel treffender Infrarotstrahlung die Temperatur des thermisch isolierten Pixels erhöht. Die thermische Isolation des Pixels kann maßgeblich von einem Aufbau der Haltearme, insbesondere deren Länge und Querschnittsfläche abhängen. Das Mikrobolometer- Element kann eingerichtet sein, um mindestens ein temperaturabhängiges elektrisches Ausgangssignal zu erzeugen. Das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal kann beispielsweise ein Spannungssignal sein, welches proportional zur gemessenen Temperatur ist. Die Temperaturerhöhung des Pixels kann mit dem direkt auf dem Pixel platzierten thermoelektrischen Wandlerelement in das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal transformiert werden. Das Mikrobolometer-Element kann eingerichtet sein, um das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal über mindestens eine elektrische Zuleitung zu der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung zu übertragen, insbesondere zu leiten und/oder zu übermitteln. Die Haltearme können derart ausgestaltet sein, dass sie eine elektrische und mechanische Verbindung des Wandlerelementes zu weiteren Bauteilen, insbesondere zu der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung, bereitstellen. Die Haltearme können derart ausgestaltet sein, um die thermische Isolation der kompletten Pixelstruktur zu realisieren. Insbesondere können lange und dünne Haltearme verwendet werden. Die Haltearme können weiter derart ausgestaltet sein, dass ein Haltearm mindestens zwei elektrisch leitende

Schichten aufweist und ein anderer Haltearm vollständig aus einem Nichtleiter aufgebaut ist. Um eine Verkippung der thermisch isolierten Insel in Folge des Stresses in den Haltearmen zu kompensieren, können Verbindungspunkte zwischen Haltearmen und Insel symmetrisch zum Schwerpunkt der Insel angeordnet sein. Beispielsweise bei einer rechteckigen Inselform können Verbindungspunkte in diagonal gegenüberliegenden Ecken angeordnet sein. Die Haltearme können so dünn und so schmal wie möglich ausgestaltet werden, um eine thermische Ableitung so gering wie möglich zu halten. Um eine höhere mechanische Stabilität bei großen Längen der Haltearme zu gewährleisten, können die Haltearme bevorzugt ausgestaltet sein, dass deren Breiten nicht wesentlich größer sind als deren Höhen. Besonders bevorzugt kann die Höhe der Haltearme größer sein als die Breite. Unter einer Länge des Haltearms kann eine Abmessung oder Weglänge des Haltearms, beispielsweise entlang der Mäanderstruktur des Haltearms, in einer Ebene, beispielsweise bei einer Draufsicht auf das Pixel, verstanden werden. Unter einer Breite des Haltearms kann eine Abmessung in Richtung senkrecht zur Länge des Haltearms in derselben Ebene verstanden werden. Unter einer Höhe oder Dicke des

Haltearms kann eine Abmessung in Richtung senkrecht zur Länge und Breite des Haltearms verstanden werden. Die Querschnittsfläche des Haltearms kann durch die Breite und Dicke des Haltearms definiert sein. Mit dem beschriebenen Verfahren können Haltearme möglich sein, welche dünner sind als eine Dicke der Insel und des Absorbers. Unter einer Dicke der Insel kann eine Abmessung in der Richtung des Schichtaufbaus und somit senkrecht zu den einzelnen Schichtebenen der Insel verstanden werden. Dadurch kann eine Reduktion der thermischen Kopplung möglich sein. Die Haltearme können in einer

rechtwinkligen Spirale um die Insel oder können mäanderförmig auf zwei, bevorzugt den längeren, Seiten der Insel angeordnet sein. So kann gewährleistet werden, dass der zur Verfügung stehende Platz optimal für Absorption auf dem Absorber und thermische Entkopplung genutzt werden kann. In beiden Fällen können die Längen, Breiten und Dicken der Haltearme gemeinsam mit einer Fläche der Absorberstruktur derart ausgestaltet sein, dass ein Optimum der Temperaturerhöhung auf der Insel entsteht. Bevorzugt können alle Zuleitungen in einem ersten Haltearm übereinander, jeweils durch eine dünne isolierende Schicht voneinander getrennt, angeordnet werden. Ein zweiter Haltearm kann lediglich eingerichtet sein zu der oben beschriebenen mechanischen

Stabilisierung. Um dem Problem einer höheren thermischen Trägheit in Folge einer höheren thermischen Entkopplung der Insel entgegenzuwirken, kann die Insel mit Löchern versehen werden, durch die ein Ätzangriff auf das darunter liegende Silizium möglich ist. Dadurch kann sich die Masse der Insel verringern und auch eine Aufteilung des Siliziums in mehrere elektrisch voneinander isolierte Blöcke kann möglich sein, durch welche eingebrachte Wandlerelemente elektrisch getrennt werden können. Die Löcher können hinsichtlich ihrer lateralen Abmessungen derart ausgestaltet sein, dass die lateralen Abmessungen kleiner sind als die Wellenlänge der einfallenden Infrarotstrahlung, um die Absorption im Absorber nicht zu beeinflussen.

Die Temperaturmessung, insbesondere die Absoluttemperaturmessung, mit dem Mikrobolometer- Element kann durch eine Rotation des Geberrads eines weiter unten beschriebenen Sensorsystems erfolgen. Das Geberrad kann als so genannter Chopper für das Mikrobolometer- Element wirken. Das

Mikrobolometer- Element kann eingerichtet sein, periodisch die Temperatur des Geberrads erfassen, wenn ein Flügel vor dem Mikrobolometer-Element steht, und in der Zwischenzeit die Temperatur des aus Sicht des Mikrobolometer- Elements dahinter liegenden Bereiches (z.B. eines B-Lagers). Aus der

Drehwinkelinformation ist bekannt, wann der Flügel vor dem Mikrobolometer- Element ist und wann nicht. Zu Beginn der Laufzeit kann davon ausgegangen werden, dass beide Geberrad und dahinter liegender Bereich, dieselbe

Temperatur haben. Dieselbe Temperatur T kann somit gemäß wobei p _th . die spektrale Leistungsdichte, h die Planck Konstante, c die

Lichtgeschwindigkeit, k _ß die Boltzmann Konstante, T die gemessene Temperatur, und e die Emissivität ist, für zwei verschiedene Emissivitäten, nämlich des Geberrads so _ebemid und des dahinter liegenden Bereichs S _Berdch , bestimmt werden. Daraus kann wiederum die Emissivität so _ebemid des Geberrads bestimmt werden. So kann eine Absoluttemperaturinformation ableitbar sein. Ein„Einlernen“ des Mikrobolometer- Elements, also insbesondere eine Bestimmung der Emissivität cc _eberrad des Geberrads, kann beispielsweise bei einer Kalibrierung des induktiven Positionssensors bei einem Zusammenbau der Maschine erfolgen. Weiterhin können auch zur Laufzeit entsprechende Kalibrierungen vorgenommen werden. Die Bestimmung der Emissivität aus der gemessenen Temperatur des

Geberrads und des dahinter liegenden Bereichs kann beispielsweise mittels einer, weiter unten beschriebenen, externen Auswerteeinheit erfolgen.

Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann eingerichtet sein, mindestens eine Temperaturinformation in die Signale der Empfängerspulen zu kodieren. Unter einer Temperaturinformation kann eine beliebige Information über die mit dem Mikrobolometer- Element bestimmten Temperatur verstanden werden, insbesondere einen Wert oder eine Höhe der gemessenen Temperatur. Unter einer„Kodierung“ kann ein Versehen der Signale der Empfängerspulen mit beispielsweise mindestens einem temperaturabhängigen Signal, mindestens einem temperaturabhängigen Offset, mindestens einem temperaturabhängigen Verstärkungsfaktor verstanden werden. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann mindestens einen Verstärker aufweisen. Der Verstärker kann eingerichtet sein, um die Signale der Empfängerspulen, insbesondere die gefilterten Signale, zu verstärken. Unter„Verstärken“ kann eine Erhöhung einer Amplitude eines Signals verstanden werden. Der Verstärker kann eingerichtet sein, um die Amplituden der Signale der Empfängerspulen, insbesondere der gefilterten Signale, mit einem Verstärkungsfaktor zu verstärken, insbesondere zu multiplizieren. Unter einem„Verstärkungsfaktor“ kann eine positive reelle Zahl verstanden werden. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann eingerichtet sein, um das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal des Mikrobolometer- Elements, insbesondere des thermoelektrischen

Wandlerelements, zu erfassen. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung kann eingerichtet sein, um aus dem temperaturabhängigen elektrischen

Ausgangssignal mindestens einen Verstärkungsfaktor zu bestimmen. Der Verstärkungsfaktor kann proportional zu der mit dem Mikrobolometer- Element bestimmten Temperatur sein. Anschließend, nach der Verstärkung, können die Ausgangssignale von der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung, beispielsweise über mindestens eine elektrische Signalleitung, insbesondere ein Kabel, an eine Auswerteeinheit, insbesondere eine von dem Schaltungsträger getrennt ausgestaltete Auswerteeinheit, übertragen werden, so dass keine zusätzliche Signalleitung zwischen Mikrobolometer- Element und Auswerteeinheit notwendig ist.

Alternativ oder zusätzlich, kann die anwendungsspezifische integrierte Schaltung mindestens einen Addierer aufweisen, welcher eingerichtet ist, die Signale der Empfängerspulen, insbesondere die gefilterten Signale, mit einem Offset zu beaufschlagen. Unter einem Addierer kann ein elektronisches Bauteil verstanden werden, welches eingerichtet ist, die Signale der Empfängerspulen jeweils mit einem Offset zu beaufschlagen. Unter einer Beaufschlagung mit einem Offset kann eine Addition mit dem Offset und/oder eine Addition von Vielfachen des Offsets verstanden werden. Unter einem„Offset“ kann ein zu addierendes Signal, insbesondere ein Spannungssignal verstanden werden, welches abhängig von der mit dem Mikrobolometer- Element gemessenen Temperatur ist. Das zu addierende Signal kann direkt aus dem Mikrobolometer-Element stammen und kann eine Spannung, welche proportional zu gemessenen

Temperatur ist, repräsentieren. Aufgrund der geringen Dynamik der

Rotortemperatur kann der Offset durch Mittelwertbildung über einige zehn bis einige tausend Umdrehungen bestimmt werden und sich beispielsweise nur mit einer Updaterate von 0,1 Hz bis 10 Hz ändern. Vor der Beaufschlagung mit dem Offset können die Signale der Empfängerspulen verstärkt werden, beispielsweise von dem oben beschriebenen Verstärker der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung. Anschließend, nach der Addition, können die

Ausgangssignale von der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung, beispielsweise über mindestens eine elektrische Signalleitung, insbesondere ein Kabel, an eine Auswerteeinheit, insbesondere eine von dem Schaltungsträger getrennt ausgestaltete Auswerteeinheit, übertragen werden, so dass keine zusätzliche Signalleitung zwischen Mikrobolometer- Element und Auswerteeinheit notwendig ist.

Die Aufteilung der Winkel- und Temperaturmessung ist nur schematisch und nicht einschränkend zu verstehen. Es ist möglich, beide Bestimmungen in einem Bauteil durchzuführen oder weitere Bausteine einzusetzen, beispielsweise zum Kodieren der Temperaturinformation in das Signal der Empfängerspulen.

Der induktive Positionssensor kann mindestens ein Kontaktelement aufweisen. Der induktive Positionssensor kann mit der Auswerteeinheit mittels des

Kontaktelements verbindbar sein. Das Kontaktelement kann ausgewählt sein aus der Gruppe bestehend aus: mindestens eine Bohrung für Rammkontakte, mindestens ein aufgelöteter Stecker, mindestens ein Kontaktpad. Der induktive Positionssensor kann eine Verpackung aufweisen, insbesondere um den induktiven Positionssensor mit einem Spanschutz zu versehen. Die Verpackung kann mindestens ein Verbindungselement aufweisen. Der induktive

Positionssensor kann mittels des Verbindungselements an einer weiteren Vorrichtung befestigbar sein. Diese kann durch eines oder mehrere der

Verfahren Direct-injection-molding, Transfermolden mit Duroplast,

Thermoplastspritzen oder durch Vergießen realisiert werden. Die Verpackung kann alle Komponenten des induktiven Positionssensors ganz oder teilweise umgeben. Sie kann bevorzugt Bohrungen bzw. Aussparungen aufweisen, durch welche der induktive Positionssensor mit einer Schraubverbindung

beispielsweise an einem B- Lagerschild der weiteren Vorrichtung befestigt werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann der induktive Positionssensor auch mit Clips, einer Klebverbindung oder weiteren Verfahren, beispielsweise am B- Lagerschild, angebracht werden.

In einem weiteren Aspekt wird ein Sensorsystem zur Bestimmung mindestens einer Rotationseigenschaft eines um mindestens eine Rotationsachse rotierenden Elements vorgeschlagen. Das Sensorsystem weist mindestens einen erfindungsgemäßen induktiven Positionssensor nach einer der oben oder weiter unten beschriebenen Ausführungsformen auf. Dementsprechend kann für Definitionen und optionale Ausgestaltungen weitgehend auf die Beschreibung des induktiven Positionssensors verwiesen werden. Das Sensorsystem weist mindestens ein mit dem rotierenden Element verbindbares Geberrad auf. Das Sensorsystem weist mindestens eine Auswerteeinheit auf.

Unter einem„System“ kann eine beliebige Vorrichtung verstanden werden, welche mindestens zwei Komponenten aufweist. Unter einem„Geberrad“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich ein beliebiges mit dem rotierenden Element verbindbares Bauelement verstanden werden, das eingerichtet ist, bei Verbindung mit dem rotierenden Element pro Umdrehung des rotierenden Elements mindestens ein messbares Signal, insbesondere eine Magnetfeldänderung, zu bewirken. Das Geberrad kann beispielsweise permanent oder reversibel mit dem rotierenden Element verbunden oder verbindbar sein oder kann auch einstückig mit dem rotierenden Element ausgebildet oder in das rotierende Element integriert sein. Das Geberrad kann ein Geberradprofil aufweisen. Unter einem„Geberradprofil“ kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine Gesamtheit von Profilelementen und von Zwischenräumen, die zwischen den Profilelementen angeordnet sind, verstanden werden. Unter einem„Profilelement“ des Geberrads kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung grundsätzlich eine beliebige Ausformung der Kontur des Geberrads verstanden werden, insbesondere eine Ausbuchtung,

beispielsweise eine stiftförmige, eine zahnförmige oder eine zackenförmige Ausbuchtung, oder eine Einkerbung oder eine Aussparung, beispielsweise ein Loch. Das Geberrad kann beispielsweise ausgestaltet sein, um je nach seiner Stellung Bereiche einer Empfängerspulenstruktur„abzuschatten“. Dadurch kann eine Kopplung zwischen einer Sendespulenstruktur und den Empfängerspulen drehwinkelabhängig beeinflusst werden. Ein typischer Wertebereich eines Kopplungsfaktors kann beispielsweise -0,3 bis +0,3 betragen. Unter einem Koppelfaktor kann dabei insbesondere ein Amplitudenverhältnis zwischen einem Empfangssignal und einem Sende- oder Erregersignal verstanden werden. Der Koppelfaktor kann insbesondere sinusförmig mit dem Drehwinkel verlaufen.

Die Spulenanordnung kann das Geberrad oder mindestens ein Kreissegment des Geberrads im Wesentlichen kreissegmentförmig oder kreisförmig umgeben. Insbesondere kann die Spulenanordnung, insbesondere die auf dem

Schaltungsträger angeordnete Spulenanordnung, in mindestens einer

Winkelposition des Geberrads mindestens ein Profilelement und mindestens einen Zwischenraum zwischen zwei Profilelementen des Geberrads abdecken.

Das Sensorsystem, insbesondere der induktive Positionssensor, kann

eingerichtet sein, eine induktive Kopplung und/oder eine Änderung einer induktiven Kopplung zwischen der Erregerspule und der mindestens einen Empfängerspule zu erfassen. Insbesondere kann das Sensorsystem eingerichtet sein, die durch eine Bewegung und/oder eine Position des Geberrades bewirkte induktive Kopplung und/oder die durch eine Bewegung und/oder eine Position des Geberrades bewirkte Änderung der induktiven Kopplung zwischen der Erregerspule und den Empfängerspulen zu erfassen. Hierfür weist das

Sensorsystem die Auswerteeinheit auf. Insbesondere kann die Auswerteeinheit mindestens eine Auswerteschaltung aufweisen. Insbesondere kann die

Auswerteschaltung eingerichtet sein, die Signale des Positionssensors auszuwerten. Bei der Auswerteschaltung kann es sich beispielsweise um einen Prozessor handeln. Die Auswerteeinheit kann insbesondere getrennt von dem Schaltungsträger ausgestaltet sein und kann mit dem Schaltungsträger über mindestens eine Verbindung, beispielsweise ein Kabel, verbindbar sein. Unter „einer Auswerteeinheit“ kann dabei allgemein eine elektronische Vorrichtung verstanden sein, welche eingerichtet ist, um von dem induktiven Positionssensor, insbesondere dem ASIC und/oder dem ersten und/oder zweiten weiteren elektronischen Bauelement erzeugte Signale auszuwerten. Beispielsweise können zu diesem Zweck eine oder mehrere elektronische Verbindungen zwischen dem induktiven Positionssensor und der Auswerteeinheit vorgesehen sein. Die Auswerteeinheit kann beispielsweise mindestens eine

Datenverarbeitungsvorrichtung umfassen, beispielsweise mindestens einen Computer oder Mikrocontroller. Die Datenverarbeitungsvorrichtung kann einen oder mehrere flüchtige und/oder nicht flüchtige Datenspeicher aufweisen, wobei die Datenverarbeitungsvorrichtung beispielsweise programmtechnisch eingerichtet sein kann, um den induktiven Positionssensor anzusteuern. Die Auswerteeinheit kann weiterhin mindestens eine Schnittstelle umfassen, beispielsweise eine elektronische Schnittstelle und/oder eine Mensch-Maschine- Schnittsteile wie beispielsweise eine Eingabe-/Ausgabe-Vorrichtung wie ein Display und/oder eine Tastatur. Die Auswerteeinheit kann beispielsweise zentral oder auch dezentral aufgebaut sein. Auch andere Ausgestaltungen sind denkbar.

Das Geberrad kann rotationssymmetrisch ausgestaltet sein. Das Geberrad kann eine identische Anzahl an elektrisch leitfähigen Flügeln und elektrisch nicht oder weniger leitfähigen Flügeln und/oder Aussparungen aufweisen. Die elektrisch leitfähigen Flügel können einen ersten Öffnungswinkel a und die elektrisch nicht oder weniger leitfähigen Flügel und/oder die Aussparungen einen zweiten Öffnungswinkel ß aufweisen. Eine Summe des ersten und des zweiten

Öffnungswinkel kann einem vollen Winkelmessbereich des induktiven

Positionssensors entsprechen. Der erste und der zweite Öffnungswinkel können identisch oder verschieden sein. Das Geberrad kann an dem rotierenden

Element mittels einer Schraub- und/oder Klebeverbindung befestigt sein.

Die Auswerteeinheit ist eingerichtet ist, um aus Signalen der Empfängerspulen auf eine Winkelposition F des Geberrads zu schließen. Das Sensorsystem kann insbesondere eingerichtet sein, um aus der durch die Bewegung und/oder durch eine Position des Geberrads bewirkten Änderung der induktiven Kopplung zwischen der Erregerspule und den Empfängerspulen eine absolute oder relative Winkelposition des rotierenden Elements zu bestimmen. Unter einer„relativen Winkelposition“ kann dabei grundsätzlich eine Position bezüglich einer durch die Empfängerspulen definierten Periode verstanden werden. Insbesondere kann die Auswerteschaltung derart eingerichtet sein, um mindestens ein Quotientensignal mindestens zweier Signale mindestens zweier Empfängerspulen zu generieren. Beispielsweise kann für die Berechnung der Winkelposition F aus zwei von zwei Empfängerspulen generierten Signalen die Gesetzmäßigkeit tan(D = sin(D / cos(D verwendet werden. Beispielsweise kann für die Berechnung der Winkelposition F aus drei von drei Empfängerspulen generierten Signalen die Clarke- Transformation verwendet werden.

Das Sensorsystem kann eingerichtet sein, mindestens eine Temperatur des um die Rotationsachse rotierenden Elements zu bestimmen. In der Auswerteeinheit können die Ausgangssignale des ASIC bevorzugt digitalisiert und

weiterverarbeitet werden. Die Auswerteeinheit kann mindestens einen

Subtrahierer aufweisen. Der Subtrahierer kann eingerichtet sein, um mindestens einen Offset von Ausgangssignalen des induktiven Positionssensors zu bestimmen und daraus die Temperatur des rotierenden Elements abzuleiten. Der Subtrahierer kann eingerichtet sein, den Offset anschließend von dem jeweiligen Ausgangssignal zu subtrahieren. Die Bestimmung des Offsets kann durch Mittelwertbildung über eine ganzzahlige Anzahl an Perioden, durch Auswertung der 0. Harmonischen einer Fouriertransformation oder über min/max Schätzer erfolgen. Der Subtrahierer kann mindestens eine elektronische Schaltung, beispielsweise mindestens einen Operationsverstärker und/oder mindestens einen Differenzverstärker, zur Durchführung der Bestimmung und Subtraktion des Offsets aufweisen und/oder die Auswerteeinheit kann programmtechnisch ausgestaltet sein zur Durchführung der Bestimmung und Subtraktion des Offsets. Alternativ oder zusätzlich kann die Auswerteeinheit mindestens einen Dividierer aufweisen, wobei der Dividierer eingerichtet ist, um mindestens einen

Verstärkungsfaktor von Ausgangssignalen des induktiven Positionssensors zu bestimmen und daraus die Temperatur abzuleiten. Beispielsweise anschließend, können die Signale mit einem oder mehreren Verstärkern um

Verstärkungsfaktoren verstärkt werden, derart dass die Amplituden möglichst identisch sind. Die Auswerteinheit kann mindestens einen Verstärker aufweisen, welcher eingerichtet ist, um die Ausgangssignale, insbesondere die um den Offset subtrahierten Ausgangssignale, zu normalisieren. Die Auswerteeinheit kann mindestens einen Dividierer aufweisen, welcher eingerichtet ist, mindestens ein Quotientensignal aus den Ausgangsignalen der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung zu bestimmen. Unter einem Dividierer kann ein

elektronisches Bauteil verstanden werden, welches eingerichtet ist, die

Ausgangssignale, insbesondere die normalisierten Ausgangssignale, zu dividieren. Unter einem Quotientensignal kann hierbei ein Ergebnis der Division der Ausgangssignale verstanden werden. Die Division kann eine Division der Ausgangssignale, insbesondere der Offset-subtrahierten Ausgangssignale, und/oder eine Division von Vielfachen der Ausgangssignale, insbesondere der Offset-subtrahierten Ausgangssignale, und/oder eine Division von

Linearkombinationen der Ausgangssignale, insbesondere der Offset- subtrahierten Ausgangssignale, umfassen.

Die Auswerteeinheit kann mindestens eine Arkusfunktionseinheit aufweisen, welche eingerichtet ist, um die Rotationseigenschaft des um die Rotationsachse rotierenden Elements durch Bestimmen eines Arkustangens des

Quotientensignals zu bestimmen. Unter einer Arkusfunktionseinheit kann eine Vorrichtung verstanden werden, beispielsweise ein elektronisches Bauteil und/oder ein Prozessor, welches eingerichtet ist, einen Arkustangens des Quotientensignals zu bestimmen. Beispielsweise kann bei einer Verwendung von zwei Empfängerspulen eine der Empfängerspulen ein Signal sin F und die andere Empfängerspule ein Signal cos F generieren, wobei F die Winkelposition ist. Wie oben ausgeführt kann die Berechnung von F durch Bestimmen von ί3hF = eΐhF/ooeF und Bestimmen des Arkustangens erfolgen.

Die Auswerteeinheit kann weitere Module aufweisen, wie beispielsweise mindestens einen Filter, welcher eingerichtet ist, die Ausgangssignale der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung zu filtern.

Das Sensorsystem kann ein einzelnes Geberrad oder auch eine Vielzahl Geberräder umfassen. Insbesondere kann das Sensorsystem zwei Geberräder umfassen. Insbesondere können die mindestens zwei Geberräder bezüglich der Rotationsachse zueinander versetzt angeordnet sein, also beispielsweise mit einem axialen Versatz. Die mindestens zwei Geberräder können gleiche oder insbesondere auch unterschiedliche Geberradprofile aufweisen.

In einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zur Bestimmung mindestens einer Temperatur und mindestens einer

Rotationseigenschaft eines um mindestens eine Rotationsachse rotierenden Elements vorgeschlagen. Das Verfahren umfasst die Verwendung mindestens eines Sensorsystems. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte, bevorzugt in der angegebenen Reihenfolge. Das Verfahren kann, zusätzlich zu den genannten Verfahrensschritten, auch weitere Verfahrensschritte umfassen. Die Verfahrensschritte sind:

Aufnehmen mindestens zweier induktiver Signale mittels der

Empfängerspulen eines induktiven Positionssensors des Sensorsystems; Erzeugen mindestens eines temperaturabhängigen elektrischen

Ausgangssignals mittels eines Mikrobolometer-Elements des induktiven Positionssensors;

Bestimmen zweier kombinierter Signale aus jeweils einem induktiven Signal und dem temperaturabhängigen elektrischen Ausgangssignal; Auswertung der kombinierten Signale und Ermittlung der

Rotationseigenschaft und Temperatur mittels der kombinierten Signale.

Das Verfahren erfolgt unter Verwendung eines Sensorsystems gemäß der vorliegenden Erfindung, also gemäß einer der oben genannten

Ausführungsformen oder gemäß einer der unten noch näher beschriebenen Ausführungsformen. Dementsprechend kann für Definitionen und optionale Ausgestaltungen weitgehend auf die Beschreibung des Sensorsystems und des induktiven Positionssensors verwiesen werden. Auch andere Ausgestaltungen sind jedoch grundsätzlich möglich. Unter einem kombinierten Signal, auch als Ausgangssignal des ASIC bezeichnet, kann eine Kombination der Signale der Empfängerspulen und des temperaturabhängigen elektrischen Ausgangssignals des Mikrobolometer-Elements verstanden werden, beispielsweise durch die oben beschriebene Addition der Signale der Empfängerspulen jeweils mit einem Offset und/oder durch die oben beschriebene Verstärkung mit mindestens einem Verstärku ngsf aktor.

Ferner wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Computerprogramm vorgeschlagen, das bei Ablauf auf einem Computer oder Com puter- Netzwerk das erfindungsgemäße Verfahren in einer seiner Ausgestaltungen ausführt. Weiterhin wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Computerprogramm mit Programmcode- Mitteln vorgeschlagen, um das erfindungsgemäße Verfahren in einer seiner Ausgestaltungen durchzuführen, wenn das Programm auf einem Computer oder Computer- Netzwerk ausgeführt wird. Insbesondere können die Programmcode- Mittel auf einem computerlesbaren Datenträger gespeichert sein. Außerdem wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Datenträger vorgeschlagen, auf dem eine Datenstruktur gespeichert ist, die nach einem Laden in einen Arbeits- und/oder Hauptspeicher eines Computers oder

Computer- Netzwerkes das erfindungsgemäße Verfahren in einer seiner

Ausgestaltungen ausführen kann. Auch wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein Computerprogramm-Produkt mit auf einem maschinenlesbaren Träger gespeicherten Programmcode-Mitteln vorgeschlagen, um das

erfindungsgemäße Verfahren in einer seiner Ausgestaltungen durchzuführen, wenn das Programm auf einem Computer oder Computer- Netzwerk ausgeführt wird. Dabei wird unter einem Computer-Programmprodukt das Programm als handelbares Produkt verstanden. Es kann grundsätzlich in beliebiger Form vorliegen, so zum Beispiel auf Papier oder einem computerlesbaren Datenträger und kann insbesondere über ein Datenübertragungsnetz verteilt werden.

Schließlich wird im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein moduliertes

Datensignal vorgeschlagen, welches von einem Computersystem oder

Computernetzwerk ausführbare Instruktionen zum Ausführen eines Verfahrens nach einer der beschriebenen Ausführungsformen enthält.

Vorteile der Erfindung

Die vorgeschlagene Vorrichtung und das vorgeschlagene Verfahren weisen gegenüber bekannten Vorrichtungen und Verfahren zahlreiche Vorteile auf.

Insbesondere ist es möglich, ein EMV robustes Sensorkonzept bereitzustellen. Weiter kann ein einfaches und kostengünstiges Geberrad verwendet werden.

Das Geberrad kann als so genannter Chopper für den Temperatursensor wirken, so dass eine Absoluttemperaturinformation ohne Nutzung eines Multicolor Bolometerprinzips umgesetzt werden kann. Das Messprinzip zeigt weiter keinen Einfluss von Fremdmagnetfeldern, beispielsweise in Folge von hohen Strömen innerhalb von Kabeln, die in Sensornähe angeordnet sind. Das Messprinzip ist aufgrund einer hohen Trägerfrequenz praktisch nicht drehzahlbegrenzt. Keine zusätzliche Signalleitungen für eine Übertragung der Temperaturinformation werden benötigt, da diese im Drehwinkelsignal kodiert wird.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Weitere optionale Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele, welche in den Figuren schematisch dargestellt sind. Es zeigen:

Figur 1 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen Sensorsystems;

Figur 2 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines induktiven Positionssensors;

Figur 3 ein Ausführungsbeispiel eines Geberrads;

Figur 4 einen erfindungsgemäßen Aufbau eines ASICs;

Figur 5 Signalformen des erfindungsgemäßen Sensorsystems;

Figur 6 ein Ausführungsbeispiel einer Auswerteeinheit; und

Figur 7A und B Signalformen für zwei Temperaturen.

Ausführungsformen der Erfindung

In Figur 1 ist ein Ausführungsbeispiel eines Sensorsystems 110 zur Bestimmung mindestens einer Rotationseigenschaft eines um mindestens eine

Rotationsachse 112 rotierenden Elements 114 gezeigt. Das Sensorsystem 110 kann insbesondere zum Einsatz im Kraftfahrzeug eingerichtet sein. Insbesondere kann das Sensorsystem 110 zur Erfassung mindestens einer

Rotationseigenschaft einer Nockenwelle eingerichtet sein. Beispielsweise kann das Sensorsystem 110 eingerichtet sein, eine Winkelposition der Nockenwelle zu erfassen. Dementsprechend kann es sich bei dem rotierenden Element 114 beispielsweise um eine Welle handeln. Im dargestellten Fall einer permanent erregten Synchronmaschine kann die Welle einen Permanentmagneten 116 tragen. Zylinderförmig um diesen Permanentmagneten 116 kann ein

Statorspulenpaket 118 angeordnet sein. Ein Abtrieb kann in negativer z-Richtung angeordnet sein und ist nicht weiter dargestellt. Auf der dem Abtrieb

entgegengesetzten Seite kann ein B- Lager 120 angeordnet sein, welches die Achse 114 aufnimmt. Das Sensorsystem 110 weist mindestens einen induktiven Positionssensor auf 124. Das B-Lager 120 kann mit einem B-Lagerschild 122 verbunden sein, welches den induktiven Positionssensor 124 hält. Das

Sensorsystem 110 weist mindestens ein mit dem rotierenden Element 114 verbindbares Geberrad 126 auf. Zwischen B-Lager 120 und induktiven

Positionssensor 124 kann das Geberrad 126 angeordnet sein, welches mit der Welle verbunden ist und sich mit dieser mit dreht. Es kann davon ausgegangen werden, dass das Geberrad 126 dieselbe Temperatur wie der Permanentmagnet 116 aufweist. Das Sensorsystem 110 weist mindestens eine Auswerteeinheit 130 auf. Beispielsweise über ein Kabel 128 kann der induktive Positionssensor 124 mit der Auswerteeinheit 130 verbunden sein. Die Auswerteeinheit 130 kann eine Spannungsversorgung des induktiven Positionssensors 124 bereitstellen. Die Auswerteeinheit 130 kann Ausgangssignale des induktiven Positionssensors 124 empfangen und aus diesen eine Rotorposition und Rotortemperatur berechnen.

Das Sensorsystem 110 kann, neben den in Figur 1 dargestellten Elementen, weiterhin ein oder mehrere zusätzliche Elemente umfassen, beispielsweise ein oder mehrere in den Figuren nicht dargestellte weitere Funktionselemente, wie beispielsweise Elektroden, Elektrodenzuleitungen und Kontakte, mehrere Schichten, Heizelemente oder andere Elemente.

Eine Detailansicht des induktiven Positionssensors 124 zeigt Figur 2. Der induktive Positionssensor 124 umfasst mindestens einen Schaltungsträger 132. Der Schaltungsträger 132 kann beispielsweise eine Leiterplatte aufweisen, welche im Wesentlichen kreisringförmig das rotierende Element 114 umläuft und dabei bevorzugt einen Winkelbereich von 360° abdeckt. Der induktive

Positionssensor 124 umfasst mindestens eine, hier nicht dargestellte,

Spulenanordnung 134, welche auf dem Schaltungsträger 132 angeordnet ist. Die Spulenanordnung 134 umfasst mindestens eine Erregerspule 136 und mindestens zwei Empfängerspulen 138, siehe beispielsweise Figur 4. Der induktive Positionssensor umfasst mindestens eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC) 140, welche eingerichtet ist, um ein Erregersignal für die Erregerspule 136 bereitzustellen. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 ist eingerichtet, um von den Empfängerspulen 138 erzeugte Signale zu verarbeiten und als Ausgangssignale, beispielsweise der

Auswerteeinheit 130, bereitzustellen. Der induktive Positionssensor 124 weist mindestens ein Kontaktelement 142 auf, an welchem das Kabel 128 befestigt werden kann. Das Kontaktelement 142 kann eine Bohrung für Rammkontakte, ein aufgelöteter Stecker oder Pads sein, mit denen das Kabel 128 mit dem Schaltungsträger 132 durch einen Lötprozess verbunden werden kann.

Der induktive Positionssensor 124 kann eine Verpackung 144 aufweisen. Die Verpackung 144 kann erlauben den induktiven Positionssensor 124 mit einem Spanschutz zu versehen und eine ausreichend hohe mechanische Festigkeit zu gewährleisten. Die Verpackung 144 kann durch eines oder mehrere der

Verfahren Direct-injection-molding, Transfermolden mit Duroplast,

Thermoplastspritzen oder durch Vergießen realisiert werden. Die Verpackung 144 kann alle Komponenten des induktiven Positionssensors 124 ganz oder teilweise umgeben. Die Verpackung 144 kann mindestens ein

Verbindungselement 146, bevorzugt Bohrungen und/oder Aussparungen, aufweisen, durch die der induktive Positionssensor 124, beispielsweise mit einer Schraubverbindung 146 am B-Lagerschild 122 befestigt werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann der induktive Positionssensor 124 auch mit Clips, einer Klebverbindung oder weiteren Verfahren am B-Lagerschild 122 angebracht werden.

Der induktive Positionssensor 124 weist mindestens ein Mikrobolometer- Element 148 auf, welches auf dem Schaltungsträger 132 angeordnet ist. Auf der dem Geberrad 126 zugewandten Seite des induktiven Positionssensors 124 kann das Mikrobolomenter- Element 148 angeordnet sein. Der induktive Positionssensor 124 kann eine Optik 150 aufweisen. Das Mikrobolomenter- Element 148 kann mit der in die Verpackung 144 integrierten Optik 150 radial innerhalb der radialen Ausdehnung des Geberrads 126 angeordnet sein. Sollte die Verpackung 144 des induktiven Positionssensors 124 im Ferninfrarotbereich transparent sein, kann das Mikrobolomenter- Element 148 auch komplett von der Verpackung 144 umschlossen werden. Das Kabel 128 kann zur Spannungsversorgung des ASICs 140 und des Mikrobolomenter- Elements 148 sowie dem Übertragen der

Empfängerspulensignale zu der Auswerteeinheit 130 dienen.

Ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel eines Geberrads 126 ist in Figur 3 dargestellt. Das Geberrad 126 kann rotationssymmetrisch ausgestaltet sein. Das Geberrad 126 kann eine identische Anzahl an elektrisch leitfähigen Flügeln 152 mit einem ersten Öffnungswinkel a und elektrisch nicht oder weniger leitfähigen Flügeln und/oder Aussparungen 154 mit einem zweiten Öffnungswinkel ß aufweisen. Eine Summe des ersten und des zweiten Öffnungswinkels kann einem vollen Winkelmessbereich d des induktiven Positionssensors 124 entsprechen. Der erste und der zweite Öffnungswinkel können identisch oder verschieden groß sein. Bevorzugt kann eine Ausgestaltung mit a = ß sein, wobei a dem halben Winkelmessbereich d entspricht. In einer weiteren Ausführungsform kann a auch kleiner sein, solange die Bedingung a + ß = d erfüllt ist. Der Winkelmessbereich kann mit einer Polpaarzahl der

Synchronmaschine p gemäß d=360°/r korrelieren und für die Anzahl n der elektrisch leitfähigen Flügel 152 kann gelten: n = p = 360°/d. Die Befestigung des Geberrads 126 an dem rotierenden Element 114 kann über eine Schraub- und/oder Klebverbindung und/oder mit einem Längspressverfahren erfolgen.

Das Mikrobolometer- Element 148 kann eingerichtet sein, um eine Temperatur des rotierenden Elements 114 zu bestimmen. Das Mikrobolometer-Element 148 kann eingerichtet sein zu einer Erfassung der absoluten Temperatur des rotierenden Elements 114. Das Mikrobolometer- Element 148 kann eingerichtet sein, mindestens ein temperaturabhängiges elektrisches Ausgangssignal 170 zu erzeugen. Das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal 170 kann beispielsweise ein Spannungssignal sein, welches proportional zur gemessenen Temperatur ist. Das Mikrobolometer- Element 148 kann eingerichtet sein, um das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal 170 über mindestens eine elektrische Zuleitung zu der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung 140 zu übertragen, insbesondere zu leiten und/oder zu übermitteln. Die

Temperaturmessung, insbesondere die Absoluttemperaturmessung, mit dem Mikrobolometer- Element 148 kann durch eine Rotation des Geberrads 126 erfolgen. Das Geberrad 126 kann als so genannter Chopper für das

Mikrobolometer- Element 148 wirken. Das Mikrobolometer- Element 148 kann eingerichtet sein, periodisch die Temperatur des Geberrads 126 erfassen, wenn ein Flügel 152 vor dem Mikrobolometer- Element 148 steht, und in der

Zwischenzeit die Temperatur des aus Sicht des Mikrobolometer-Elements 148 dahinter liegenden Bereiches (z.B. des B-Lagers 120). Aus der

Drehwinkelinformation ist bekannt, wann der Flügel 152 vor dem Mikrobolometer- Element 148 ist und wann nicht. Zu Beginn der Laufzeit kann davon

ausgegangen werden, dass beide Geberrad 126 und dahinter liegender Bereich dieselbe Temperatur haben. Dieselbe Temperatur T kann somit gemäß

wobei p _th . die spektrale Leistungsdichte, h die Planck Konstante, c die

Lichtgeschwindigkeit, k _ß die Boltzmann Konstante, T die gemessene Temperatur, und e die Emissivität ist, für zwei verschiedene Emissivitäten, nämlich des Geberrads Bo _eben-ad und des dahinter liegenden Bereichs S _Berdch , bestimmt werden. Daraus kann wiederum die Emissivität Bo _eben-ad des Geberrads 126 bestimmt werden. So kann eine Absoluttemperaturinformation ableitbar sein. Ein „Einlernen“ des Mikrobolometer- Elements 148, also insbesondere eine

Bestimmung der Emissivität so _eben-ad des Geberrads 126, kann beispielsweise bei einer Kalibrierung des induktiven Positionssensors 124bei einem

Zusammenbau der Maschine erfolgen. Weiterhin können auch zur Laufzeit entsprechende Kalibrierungen vorgenommen werden. Die Bestimmung der Emissivität aus der gemessenen Temperatur des Geberrads 126 und des dahinter liegenden Bereichs kann beispielsweise mittels der Auswerteeinheit 130 erfolgen.

Figur 4 zeigt einen erfindungsgemäßen Aufbau eines ASIC 140. Beispielsweise kann das ASIC 140 genau an eine Erregerspule 136 und mindestens zwei Empfängerspulen 138 angeschlossen sein. Mit einem nicht näher dargestellten Block 156 kann ein im Wesentlichen sinusförmiges Erregersignal 158 bereitgestellt werden, welches die Erregerspule 136 speist. Beispielsweise kann es sich bei dem Block 156 um eine Oszillatorschaltung handeln, welche einen LC Oszillator treibt, bei welchen die Erregerspule 136 sowie mindestens ein nicht dargestellter Kondensator als frequenzbestimmende Elemente wirken. Die Amplitude des Erregersignals 158 kann im Bereich von 0,1 V und 10 V, bevorzugt 5 V betragen, bei Frequenzen im Bereich von 1 MHz und 10 MHz, bevorzugt 3,5 MHz.

Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 kann mindestens eine Demodulationsvorrichtung 160 aufweisen, welche eingerichtet ist, um die Signale 162, 164 der Empfängerspulen 138 zu demodulieren, insbesondere synchron. Das Demodulieren kann ein Multiplizieren mit dem Erregersignal 158 umfassen. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 kann mindestens einen Tiefpassfilter 166 aufweisen. Der Tiefpassfilter 166 kann eine Grenzfrequenz im Bereich von 50 kHz bis zu 500 kHz, bevorzugt 100 kHz, aufweisen.

Beispielsweise kann die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 zunächst die Signale 162, 164 der Empfängerspulen 138 demodulieren und anschließend mittels des Tiefpasses 166 filtern. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 kann weiter mindestens einen Verstärker 168 aufweisen. Der Verstärker 168 kann die gefilterten Signale verstärken. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 kann eingerichtet sein, mindestens eine Temperaturinformation in die Signale 162, 164 der

Empfängerspulen 138 zu kodieren. Die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 kann den mindestens einen Verstärker 168 oder einen weiteren Verstärker 168 aufweisen. Der Verstärker 168 kann eingerichtet sein, um die Signale 162, 164, insbesondere die gefilterten Signale, zu verstärken. Der Verstärker 168 kann eingerichtet sein, um die Amplituden der Signale 162, 164 der Empfängerspulen 138, insbesondere der gefilterten Signale, mit einem Verstärkungsfaktor zu verstärken, insbesondere zu multiplizieren. Die

anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 kann eingerichtet sein, um das temperaturabhängige elektrische Ausgangssignal 170 des Mikrobolometer- Elements 148 zu erfassen. Das Mikrobolometer- Element 148 kann zur

Übertragung des temperaturabhängigen elektrischen Ausgangssignals 170 mindestens eine Verbindung zu dem ASIC, insbesondere mindestens eine elektrische Zuleitung, aufweisen. Die anwendungsspezifische integrierte

Schaltung 140 kann eingerichtet sein, um aus dem temperaturabhängigen elektrischen Ausgangssignal 170 mindestens einen Verstärkungsfaktor zu bestimmen. Der Verstärkungsfaktor kann proportional zu der mit dem

Mikrobolometer- Element 148 bestimmten Temperatur sein. Anschließend, nach der Verstärkung, können erzeugte Ausgangssignale 172, 174 von der

anwendungsspezifischen integrierten Schaltung 140 über das Kabel 128 an die Auswerteeinheit 130 übertragen werden, so dass keine zusätzliche Signalleitung zwischen Mikrobolometer- Element 148 und Auswerteeinheit 130 notwendig ist.

Alternativ oder zusätzlich, kann die anwendungsspezifische integrierte Schaltung 140 mindestens einen Addierer 176 aufweisen, welcher eingerichtet ist, die Signale 162, 164 der Empfängerspulen 138, insbesondere die gefilterten Signale, mit einem Offset 178 zu beaufschlagen. Der Offset 178, insbesondere ein zu addierendes Signal, kann direkt aus dem Mikrobolometer-Element 148 stammen und kann eine Spannung, welche proportional zu gemessenen Temperatur ist, repräsentieren. Aufgrund der geringen Dynamik der Rotortemperatur kann der Offset 178 durch Mittelwertbildung über einige zehn bis einige tausend

Umdrehungen bestimmt werden und sich beispielsweise nur mit einer Updaterate von 1 Hz bis 10 Hz ändern. Vor der Beaufschlagung mit dem Offset 178 können die Signale der 162, 164 Empfängerspulen 138 verstärkt werden, beispielsweise von dem oben beschriebenen Verstärker 168. Anschließend, nach der Addition, können die Ausgangssignale 172, 174 von der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung 140 über das Kabel 128 an die Auswerteeinheit 130 übertragen werden, so dass keine zusätzliche Signalleitung zwischen

Mikrobolometer- Element 148 und Auswerteeinheit 130 notwendig ist.

Beispielhafte Signalverläufe als Funktion des Drehwinkels für eine kontinuierliche Drehbewegung sind in Figur 5 dargestellt. Bei erfindungsgemäßer Ausgestaltung der Empfängerspulen 138 sowie des Geberrads 126 ergeben sich als Funktion des Drehwinkels ein demoduliertes sinusförmiges Signal 174 sowie ein demoduliertes cosinusförmiges Signal 172. Beide Signale weisen einen Offset 178 auf, der die Temperatur des Rotors repräsentiert.

Figur 6 zeigt eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Auswerteeinheit 130. In der Auswerteeinheit 130 können die Ausgangssignale 172, 174 digitalisiert und weiterverarbeitet werden. Die Auswerteeinheit 130 kann mindestens einen Subtrahierer 180 aufweisen. Der Subtrahierer 180 kann eingerichtet sein, um den mindestens einen Offset 178 von den

Ausgangssignalen 172, 174 zu bestimmen und daraus die Temperatur des rotierenden Elements 114 abzuleiten. Der Subtrahierer 180 kann eingerichtet sein, den Offset 178 anschließend von dem jeweiligen Ausgangssignal 172, 174 zu subtrahieren. Die Bestimmung des Offsets 178 kann durch Mittelwertbildung über eine ganzzahlige Anzahl an Perioden, durch Auswertung der 0.

Harmonischen einer Fouriertransformation oder über min/max Schätzer erfolgen. Der Subtrahierer 180 kann mindestens eine elektronische Schaltung,

beispielsweise mindestens einen Operationsverstärker und/oder mindestens einen Differenzverstärker, zur Durchführung der Bestimmung und Subtraktion des Offsets aufweisen und/oder die Auswerteeinheit 130 kann

programmtechnisch ausgestaltet sein zur Durchführung der Bestimmung und Subtraktion des Offsets 178.

Die Auswerteeinheit 130 kann mindestens einen Verstärker 182 aufweisen, welcher eingerichtet ist, die Ausgangsignale 172, 174 zu normalisieren. Der Verstärker 182 kann eingerichtet sein, um die Ausgangsignale 172, 174 der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung 140 derart zu normalisieren, dass Amplituden der Ausgangssignale 172, 174 im Wesentlichen identisch sind. Beispielsweise über das Kabel 128 kann das ASIC 140 mit der Auswerteeinheit 130 verbunden sein. Beispielsweise kann die Auswerteeinheit 130 derart ausgestaltet sein, dass die Ausgangssignale 172, 174 zunächst zu dem

Subtrahierer 180 und anschließend als Offset-subtrahierte Ausgangssignale 184, 186 zu dem Verstärker 182 übermittelt werden. Auch andere Reihenfolgen sind jedoch denkbar.

Die Auswerteeinheit 130 kann mindestens einen Dividierer 188 aufweisen, welcher eingerichtet ist, mindestens ein Quotientensignal aus den

Ausgangsignalen 184, 186 zu bestimmen. Die Division kann eine Division der Ausgangssignale und/oder eine Division von Vielfachen der Offset-subtrahierten Ausgangssignale 184, 186, und/oder eine Division von Linearkombinationen der Ausgangssignale 184, 186 umfassen. Die Auswerteeinheit 130 kann mindestens eine Arkusfunktionseinheit 190 aufweisen, welche eingerichtet ist, um die

Rotationseigenschaft des um die Rotationsachse 112 rotierenden Elements 114 durch Bestimmen eines Arkustangens des Quotientensignals zu bestimmen. Beispielsweise kann bei einer Verwendung von zwei Empfängerspulen 138 eine der Empfängerspulen 138 ein Signal sin F und die andere Empfängerspulel38 ein Signal cos F generieren, wobei F die Winkelposition ist. Wie oben ausgeführt kann die Berechnung von F durch Bestimmen von ί3hF = eΐhF/ooeF und Bestimmen des Arkustangens erfolgen. Die Auswerteeinheit 130 kann weitere Module aufweisen, wie beispielsweise mindestens einen Filter, welcher eingerichtet ist, die Ausgangssignale 172, 174 der anwendungsspezifischen integrierten Schaltung 140 zu filtern.

Figur 7A zeigt Signalformen für eine erste Temperatur TI, wobei die Amplitude S der Ausgangssignale 172, 174 als Funktion des Winkels/360° aufgetragen sind. Figur 7B zeigt entsprechende Signalformen für eine zweite Temperatur T2. Die Signale in Figur 7B weisen gegenüber Figur 7A den Offset 178 auf, aus welchem, wie oben beschrieben, die Temperatur des rotierenden Elements 114 bestimmt werden kann.