本発明の実施例について図面を参照しなが� ��説明する
 まず、本発明の概要について図1を参照しな がら説明する。図1は本発明による熱風加熱� �置においてノズルのサイズの変更を説明す� �ための簡略図である。

 熱風加熱装置は、作業対象の電子部品を� ��うための枠体としてノズルを有する。図1(a) に示すようにノズル2の内部は中空であり、� �の中に作業対象の電子部品4が収容されるよ� ��にノズル2を配置し、ノズル2の内部で上方� �ら熱風を作業対象の電子部品4に吹き付ける� ��とで、電子部品4を基板6に接合する部分で� �るはんだ付け部分のはんだ(熱熔融接合部材) を溶融する。

 ここで、図1(a)に示すノズル2の先端部2aの 口径は、電子部品4のサイズよりかなり大き� �なっている。したがって、ノズル2を電子部� ��4の上方に配置すると、ノズル2の先端部2aが 覆う領域は、電子装置4に近接した位置に実� �されている電子部品8の一部も覆ってしまう� ��図1(a)に示す状態でノズル2の内部に熱風を� �き込むと、電子部品8にも熱風が当たってし� ��い、電子部品8のはんだ付け部分のはんだま で溶融してしまったり、電子部品8が加熱さ� �て性能が劣化するなどの問題が生じるおそ� �がある。

 なお、周辺の電子部品10には、熱風を遮� �する遮断材12が一時的に設けられて、ノズル 2から出てくる熱風が電子部品10に当たらない ようにしている。遮断材12は、例えば断熱性� ��有するテープ状のシート材であり、作業対� ��の電子部品4の周囲の電子部品(図1(a)の場合� ��電子部品10)に一時的に取り付けられるよう� ��粘着材が片面に塗布されている。例えば耐� ��性を有するポリイミドフィルムに粘着テー� ��を貼り付けたようなシート材を遮断材12と� �て用いることができる。

 本発明が適用されたノズル2は、図1(b)に� �すように、ノズル2の先端部2aの口径を変更� �ることができるように構成されている。し� �がって、作業対象の電子部品4のサイズに合� ��ように先端部2aの口径を変更する(図1(b)の場 合は図1(a)に示す口径より小さくする)ことで� ��ノズル2の先端部2aで覆う領域が近接した電� ��部品8にかからないようにすることができる 。これにより、ノズル2の先端部2a全体を周囲 の電子部品8,10の内側に配置し、先端部2aで作 業対象の電子部品4だけを覆うことができる� �したがって、周囲の電子部品8にも、電子部� ��10と同様に遮断材12を取り付けることができ 、ノズル2から排出される熱風から周囲の電� �部品8,10を保護することができる。

 ノズル2の先端部2aの口径の変更は、作業� ��象の電子部品4のサイズに合わせて機械的に 自動で行うことができるため、ノズル2を交� �する必要はなく、面倒な交換作業を行う必� �はない。

 ここで、ノズル2を用いた電子部品4の温� �加熱は、電子部品4を基板から取り外す際に� ��われるだけでなく、電子部品4を取り外した 後に、代わりの電子部品を基板6に実装する� �にも行うことができる。すなわち、ノズル2� ��用いた温風加熱は、電子部品の取り外しだ� ��でなく取り付けの際のはんだ付けにも利用� ��ることができる。

 次に、ノズル2の先端部2aの口径を変更す� ��ための構成について説明する。図2はノズル 2の先端部2aの構造を示す簡略図であり、(a)は 先端部2aの斜視図、(b)は先端部2aの平面図で� �る。

 図2(a)、2(b)に示すように、ノズル2の先端� ��2aは、L字型の壁面部材14-1~14-4を4個、互いに 重なり合うように組み合わせて内側が四辺形 になるように構成される。壁面部材14-1~14-4の 各々は、横移動機構H1~H4により壁面部材の両� ��(L字型を構成する2つの面)に対して垂直な方 向に移動可能となるように構成されている。 例えば、壁面部材14-1は、横移動機構H1を駆動 することによりX方向及びY方向に移動可能で� ��る。他の壁面部材14-2~14-4も同様にX方向及び Y方向に移動可能である。また、壁面部材14-1~ 14-4の各々は、回転駆動機構R1~R4により壁面部 材の両面(L字型を構成する2つの面)が交わる� �を中心として僅かに回転可能となるように� �成されている。例えば、壁面部材14-1は回転� ��動機構R1により、R方向に回転可能となるよ� ��に構成されている。なお、図2において、駆 動機構H1~H4及び回転機構R1~R4は概念的に示す� �のである。

 図3はノズル2の先端部2aの口径を大きくし た状態を示す図であり、(a)は先端部2aの斜視� ��、(b)は先端部2aの平面図である。壁面部材14 -1~14-4をX方向又はY方向に沿って外側に向けて 移動することにより、図2に示すように口径� �小さい状態から図3に示すように口径が大き� ��状態まで変化させることができる。例えば� ��L字型の壁面部材の一つの面の長さLを20mmと� ��ると、ノズル2の先端部2aの口径を、最小で� ��辺が約20mmの正方形から、最大で一辺が約40m mの正方形まで、変化させることができる。� �れにより、例えば、外形が一辺15mmの正方形� ��LSIから外形が一辺35mmのLSIまでを一つのノズ ルでカバーすることができる。

 壁面部材14-1~14-4を移動可能にするために� ��壁面部材14-1~14-4の重なり合う面の間には僅� ��な隙間があることが好ましい。ところが、� ��の隙間からノズル2内部に供給する熱風が漏 れ出てしまうおそれがある。熱風の漏れを無 くすためには、壁面部材14-1~14-4の各面の重な った部分における隙間を無くす必要がある。 このため、図2に示すように回転駆動機構R1~R4 が設けられる。

 図4に示すよう、回転駆動機構R1を駆動し� ��壁面部材14-1をR方向に僅かに回転させ、同� �に回転駆動機構R4を駆動して壁面部材14-4をR� ��向に僅かに回転させると、壁面部材14-1と壁 面部材14-4との互いに重なり合った先端部が� �接し、隙間を無くすことができる。他の壁� �部材も同様にR方向に僅かに回転させること� ��より、壁面部材14-1~14-4の重なり合う部分に� ��成される全ての隙間を無くすことができる� ��

 壁面部材14-1~14-4は加工性を考慮すると鋼� ��やアルミ板のような金属板を加工して作成� ��ることが好ましい。この場合、金属板は熱� ��導率が大きいため、ノズル2が内部に供給さ れる熱風により加熱され、輻射熱がノズル2� �周囲に放射されるおそれがある。このよう� �輻射熱によりノズルの周囲の部品が加熱さ� �ることが無いように、図5に示すように、壁� ��部材14-1~14-4の各面に断熱材16-1~16-4を貼り付� ��ることが好ましい。例えば、薄いシート状� ��ゴアテックス(登録商標)を断熱材として16-1~ 16-4、断熱材として壁面部材14-1~14-4の外側の� �に貼り付けることが好ましい。また、上述� �ように回転駆動機構R1~R4を駆動することによ り、壁面部材14-1~14-4の先端部が断熱材16-1~16-4 に当接することとなるので、断熱材16-1~16-4に 弾性を持たせておくことで、断熱材16-1~16-4を シール材としても用いることができる。これ により、ノズル2の先端部2aの外周部分からの 熱風の漏れをより効果的に防止することがで きる。

 なお、上述のノズル2は熱風加熱装置に用 いられる。ノズル2の上方から内部に熱風を� �給するが、熱風はノズル2の内壁面より小さ� ��供給管をノズル2の内部に挿入して供給管と ノズル2の内壁面との間に間隙を設けておき� �この間隙を熱風の排気通路としてもよい。

 次に、上述の本発明によるノズル構造を� ��用した熱風加熱装置を用いた、電子装置の� ��造装置について説明する。図6は本発明の一 実施例による電子装置の製造装置の概略構成 を示す図である。

 図6に示す電子装置の製造装置20は、電子� ��品を基板に実装して形成される電子装置を� ��造する製造装置である。製造装置20は、ベ� �ス22上に取り付けられた基板載置台24を有す� ��。電子部品が実装される基板は基板載置台2 4に載置される。製造装置20は、基板に電子部 品を実装する工程で用いられる。また、製造 装置20は、予め複数の電子部品が実装された� ��板から、電子部品のうちの一つを取り除く� ��程でも用いられる。

 ベース24からは支持部26が垂直方向に延在 する。支持部26の上端からアーム部28が水平� �向に延在する。アーム部28の先端に、ノズル 支持部30が取り付けられる。ノズル支持部30� �、直線移動機構としてボールネジ機構32を介 してアーム部28の先端に取り付けられている� ��ボールネジ機構32の上方にノズル上下駆動� �モータ34が設けられ、ノズル上下駆動用モー タ34がボールネジ機構32を駆動することで、� �ズル支持部30を基板載置台24の上方で垂直方� ��に移動可能である。

 ノズル36は、先端部36aと先端部36aから上� �に延在する細長い管状の熱風供給管36bとを� �する。先端部36aが上述のノズル2の先端部2a� �相当し、その口径を変えることができる。� �風供給管36bがノズル支持部30により支持され ている。熱風供給管36bの先端には熱風供給ユ ニット38が設けられており、発生した200℃~300 ℃程度の温度の熱風を熱風供給管36bに供給す る。

 熱風供給管36bの内部に、後述する吸着パ� ��プが延在している(図6には示されていない)� ��吸着パイプの先端部は、ノズル36内で電子� �品を保持することのできるピックアップヘ� �ドを構成している。真空ポンプ等よりなる� �着ユニット40に接続された吸着パイプ接続管 42が、熱風供給管36bの壁面を貫通して熱風供� ��管36b内の吸着パイプに接続されている。し� ��がって、吸着ユニット40を駆動して吸引力� �発生させることにより、ノズル36内のピック アップヘッドで電子部品を吸着し保持するこ とができる。

 ノズル保持部30には、ノズル36の先端部36a の口径を変えるための調整機構が取り付けら れている。調整機構は、ノズル横幅調整機構 44(第1の調整機構)と、ノズル縦幅調整機構46(� ��2の調整機構)とを有する。ノズル横幅調整� �構44は、ノズル支持部30に取り付けられた横� ��向ノズル幅調整モータ48により駆動され、� �ズル36の先端部36aの横方向の幅(すなわち先� �部36aの対向する側壁の間の距離)を調整する� ��ノズル縦幅調整機構46は、ノズル支持部30に 取り付けられた縦方向ノズル幅調整モータ50� ��より駆動され、ノズル36の先端部36aの縦方� �の幅(すなわち先端部36aの対向する側壁の間� ��距離)を調整する。ここで、ノズル横方向は 図2におけるX方向に相当し、ノズル縦方向は� ��2におけるY方向に相当する。したがって、� �6では、紙面の左右方向がY方向に相当し、紙 面に垂直な方向がX方向に相当する。

 また、ノズル支持部30には、吸着パイプ� �下動作用モータ52が取り付けられ、熱風供給 管36b内の吸着パイプを駆動して上下動させる 。

 ここで、ノズル36の構造について説明す� �。上述のように、ノズル36は、口径を変更す ることのできる先端部36aと、熱風を供給する ための熱風供給管36bとを有する。熱風供給管 36bは、図7に示すように、フランジ36cを有す� �。フランジ36cより下側の部分は先端部36aの� �部に収容される。先端部36aの側面の構造は� �2に示す構造と同様であり、壁面部材60-1~60-4� ��りなる。なお、先端部36aはフランジ36を覆� �ような上面部材を有しているが(図8参照)、� �7においては省略されている。

 図8は先端部36aの上面を示す平面図であり 、(a)は壁面部材60-1~60-4を内側に寄せて口径を 最小にした状態を示し、(b)は壁面部材60-1~60-4 を外側に延して口径を最大にした状態を示す 。壁面部材60-1~60-4はそれぞれ上面部材62-1~62-4 を有している。上面部材62-1~62-4は互いに重な り合うように組み込まれ、上から見ると四角 い枠状の上面を形成する。

 図8(a)に示す状態では、枠状の上面は熱風 供給管36bのフランジ36cをちょうど覆うような 大きさとなる。したがって、フランジ36cは上 面部材62-1~62-4の下に隠れている。一方、図8(b )に示す状態では、枠状の上面は中央の空間� �フランジ36cの外形にほぼ等しくなるような� �きさとなる。したがって、フランジ36cの大� �分が上面部材62-1~62-4の内側で露出した状態� �なる。このように、壁面部材60-1~60-4が、図8( a)に示す状態と図8(b)に示す状態の間のどのよ うな位置にあっても、熱風供給管36bの外周と 先端部36aの側面との間には、フランジ36c及び 上面部材62-1~62-4の少なくとも一方が存在し、 熱風供給管36bの先端から出てノズル36の先端� ��36aの内側に入った熱風が上に逃げないよう� ��構造となっている。すなわち、フランジ36c� ��設けることにより、ノズル36の先端部36aに� �給された熱風が先端部36aの内部から過度に� �気されないような構造となっている。

 図9は壁面部材60-3を示す図であり、(a)は� �面図、(b)は正面図、(c)は側面図である。図9� ��示すように壁面部材60-3は、上面部材62-3の� �周部分に2つの結合部64-3-1,64-3-2を有している 。結合部64-3-1,64-3-2は上面62-3に対して垂直上� ��に延在しており、後述のように結合部64-3-1� ��ノズル横幅調整機構44に接続され、結合部64 -3-2はノズル縦幅調整機構46に接続される。他 の壁面部材60-1,60-2,60-4も同様に、ノズル横幅� ��整機構44及びノズル縦幅調整機構46に接続さ れる結合部64-1-1,64-1-2,64-2-1,64-2-2,64-4-1,64-4-2(図 8(b)参照)を有している。

 次に、ノズル口径の調整機構について説� ��する。図10はノズル口径の調整機構が設け� �れた部分の正面図であり、図11はノズル口径 の調整機構が設けられた部分の側面図である 。

 ノズル横幅調整機構44は、2本のボールネ� ��70-1,70-2を有し、各ボールネジ70-1,70-2の先端� ��取り付けられた歯車72-1,72-2が対向した状態� ��、ノズル支持部30に取り付けられた横方向� �ズル幅調整モータ48の出力軸に取り付けられ た歯車74に係合している。横方向ノズル幅調� ��モータ48を駆動して歯車74が回転すると、ボ ールネジ70-1,70-2は互いに反対方向に回転し、 ボールネジ70-1,70-2に係合しているボールナッ ト76-1,76-2は互いに反対方向に移動する。

 ノズル36の先端部36の壁面部材60-1,60-2に設 けられた結合部64-1-1,64-2-1は、ボールナット76 -1に取り付けられて一体に移動する連結ステ� ��78-1に連結されている。したがって、連結ス テー78-1がX2方向に移動すると、壁面部材60-1,6 0-2もX2方向に移動する。一方、ノズル36の先� �部36の壁面部材60-3,60-4に設けられた結合部64- 3-1,64-4-1は、ボールナット76-2に取り付けられ� ��一体に移動する連結ステー78-2に連結されて いる。したがって、連結ステー78-2がX1方向に 移動すると、壁面部材60-3,60-4もX1方向に移動� ��る。

 以上のように、横方向ノズル幅調整モー� ��48を駆動することにより、壁面部材60-1,60-2� �X2方向に移動し、壁面部材60-3,60-4はX1方向に� ��動する。横方向ノズル幅調整モータ48を反� �回転させることにより、壁面部材60-1,60-2はX1 方向に移動し、壁面部材60-3,60-4はX2方向に移� ��する。これによりノズル36の先端部36aのX方� ��の幅を変えて調整することができる。

 なお、壁面部材60-1,60-2,60-3,60-4は、Y方向� �も移動可能とする必要がある。このため、� �合部64-1-1,64-2-1,64-3-1,64-4-1と連結ステー78-1,78- 2との接続は、Y方向に関して固定されていな� ��。したがって、壁面部材60-1,60-2,60-3,60-4は、 連結ステー78-1,78-2に対してY方向には移動可� �である。

 ノズル縦幅調整機構46は、2本のボールネ� ��80-1,80-2を有し、各ボールネジ80-1,80-2の先端� ��取り付けられた歯車82-1,82-2が対向した状態� ��、ノズル支持部30に取り付けられた縦方向� �ズル幅調整モータ50の出力軸に取り付けられ た歯車84に係合している。横方向ノズル幅調� ��モータ50を駆動して歯車84が回転すると、ボ ールネジ80-1,80-2は互いに反対方向に回転し、 ボールネジ80-1,80-2に係合しているボールナッ ト86-1,86-2は互いに反対方向に移動する。

 ノズル36の先端部36の壁面部材60-2,60-3に設 けられた結合部64-2-2,64-3-2は、ボールナット86 -1に取り付けられて一体に移動する連結ステ� ��88-1に連結されている。したがって、連結ス テー88-1がY2方向に移動すると、壁面部材60-2,6 0-3もY2方向に移動する。一方、ノズル36の先� �部36の壁面部材60-1,60-4に設けられた結合部64- 1-2,64-4-2は、ボールナット86-2に取り付けられ� ��一体に移動する連結ステー88-2に連結されて いる。したがって、連結ステー88-2がY1方向に 移動すると、壁面部材60-1,60-4もY1方向に移動� ��る。

 以上のように、縦方向ノズル幅調整モー� ��50を駆動することにより、壁面部材60-2,60-3� �Y2方向に移動し、壁面部材60-1,60-4はY1方向に� ��動する。横方向ノズル幅調整モータ50を反� �回転させることにより、壁面部材60-2,60-3はY1 方向に移動し、壁面部材60-1,64-4はY2方向に移� ��する。これによりノズル36の先端部36aのY方� ��の幅を変えて調整することができる。

 なお、壁面部材60-1,60-2,60-3,60-4は、X方向� �も移動可能とする必要がある。このため、� �合部64-1-1,64-2-1,64-3-1,64-4-1と連結ステー88-1,88- 2との接続は、X方向に関して固定されていな� ��。したがって、壁面部材60-1,60-2,60-3,60-4は、 連結ステー88-1,88-2に対してX方向には移動可� �である。

 以上のような構成のノズル横幅調整機構4 4及びノズル縦幅調整機構46により、ノズル36� ��先端部36aの横幅及び縦幅を任意に調整する� ��とができる。図12に示すように、連結ステ� �78-1をX1方向に、連結ステー78-2をX2方向に最� �に移動することで、先端部36aの横方向の幅� �最小となり、また、連結ステー88-1をY1方向� �、連結ステー88-2をY2方向に最大に移動する� �とで、先端部36aの縦方向の幅は最小となる� �これにより、ノズル36の先端部36の口径を最� ��とすることができる。一方、図13に示すよ� �に、連結ステー78-1をX2方向に、連結ステー78 -2をX1方向に最大に移動することで、先端部36 aの横方向の幅は最大となり、また、連結ス� �ー88-1をY2方向に、連結ステー88-2をY1方向に� �大に移動することで、先端部36aの縦方向の� �は最大となる。これにより、ノズル36の先端 部36の口径を最大とすることができる。

 次に、製造装置20を用いた電子部品の取� �外し方法について、図14乃至図20を参照しな� ��ら説明する。この電子部品の取り外しは、� ��リント基板組立体のような電子装置から電� ��部品を取り外す工程であり、電子装置の製� ��工程に含まれる。

 ここでは、電子部品としてLSI92をプリン� �基板94から取り外すこととする。まず、図14� ��示すように、ノズル36の先端部36aの口径(縦� ��及び横幅)を、取り外すべきLSI92の外形に合� ��せる。ノズル36の先端部36aの口径は、当初� �小の横幅及び縦幅L1となっているものとし、 LSI92の外形に合わせて横幅及び縦幅L2となる� �うに上述の幅調整機構を駆動して横幅及び� �幅を調整する。

 なお、ノズル36の熱風供給管36bの内側に� �、吸着パイプ90が延在しており、吸着パイプ 90は図6に示す吸着パイプ接続管42を介して吸� ��ユニット40に接続されている。吸着パイプ90 の下端部はピックアップヘッドとなっており 、吸着ユニット40を駆動することで電子部品� ��吸着パイプ90の下端部に吸着し、保持する� �とができる。

 ノズル36の先端部36aの口径の調整が完了� �たら、LSI92が実装されているプリント基板94� ��基板載置台24に載置し、図15に示すように、 LSI92がノズル36の先端部36aの真下になるよう� �プリント基板94の位置を調整する。基板載置 台24をXY移動ステージとして水平方向に移動� �能としてもよい。あるいは、ノズル36を水平 方向に移動可能にする機構をアーム部28に設� ��てもよい。

 次に、図16に示すように、ノズル36を下降 させて、先端部36aをプリント基板94に接触さ� ��る。このとき、取り外すべきLSI92はノズル36 の先端部36aの内側に収容される。

 次に、図17に示すよう、熱風供給管36bか� �熱風を先端部36aの内側に供給する。この熱� �により、LSI92を接合していたはんだは加熱さ れる。そして、図18に示すように、熱風を供� ��しながら吸着パイプ90を下降させてLSI92の背 面に接触させる。次に、図19に示すように、� ��風を供給しながら、吸着ユニット40を駆動� �て吸着パイプ90によりLSI92を吸着する。熱風� ��供給し続けていると、LSI92を接合している� �んだは溶融温度に達し、LSI92は移動可能とな る。

 LSI92を接合しているはんだが溶融したら� �図20に示すように、吸着パイプ90と共にノズ� ��36を上昇させる。このとき、LSI92は吸着パイ プ90に吸着されたままで、プリント基板94か� �離れる。以上により、LSI92をプリント基板94� ��ら取り外す工程は終了する。取り外したLSI9 2は、LSI92の下にトレイ等を置いてから吸着ユ ニット40の駆動を停止することで、トレイに� ��容することができる。

 LSI92をトレイに置いた後、ノズル36の先端 部36aの口径を初期状態と同様に最小にしてお くか、あるいは、次の工程で扱う電子部品の 形状に合わせた口径となるように調整しても よい。例えば、次の工程でLSI92より小さい電� ��部品を扱う場合は、その電子部品がノズル� ��下に移動してくるまでの間に、先端部36aの� ��径を小さくして、次の工程に備えることも� ��きる。このように、取り扱う電子部品の大� ��さが異なっても、ノズルを交換する必要は� ��く、製造工程内で他の工程を行っている間� ��ノズルの先端部の口径を適当なサイズに変� ��することができる。

 次に、製造装置20を用いた電子部品の実� �方法について、図21乃至図32を参照しながら� ��明する。この電子部品の実装は、プリント� ��板組立体のような電子装置に電子部品を実� ��する工程であり、電子装置の製造工程に含� ��れる。

 ここでは、上述の取り外し工程でLSI92を� �り外した部分に、新たにLSI92を実装すること とする。まず、図21に示すように、ノズル36� �先端部36aの口径(縦幅及び横幅)を、実装すべ きLSI92の外形に合わせる。ノズル36の先端部36 aの口径は、当初最小の横幅及び縦幅L1となっ ているものとし、LSI92の外形に合わせて横幅� ��び縦幅L2となるように上述の幅調整機構を� �動して横幅及び縦幅を調整する。

 次に、図22に示すように、実装すべきLSI92 が収容された部品トレイ96をノズル36の下に� �置する。あるいは、ノズル36を部品トレイ96� ��上に移動することとしてもよい。そして、� ��23に示すように、吸着パイプ90を下降させて 実装すべきLSI92の背面に接触させ、LSI92を吸� �する。続いて、図24に示すように、吸着パイ プ90と共にノズル36を上昇させる。

 次に、図25に示すように、LSI92を実装すべ きプリント基板94をノズル36の真下に配置す� �。あるいは、ノズル36をプリント基板94の真� ��に移動することとしてもよい。そして、図2 6に示すように吸着パイプ90を下降させてLSI92� ��プリント基板94の実装位置に載置する。そ� �後、図27に示すように、吸着を停止してから 吸着パイプ90を上昇させる。

 次に、図28に示すようにノズル36を下降さ せて、先端部36aによりLSI92を包囲する。そし� ��、図29に示すように、先端部36aの内側に熱� �を供給する。LSI92に予め設けられていたはん だが熱風により溶融したら、熱風の供給を停 止する。続いて、図31に示すようにノズル36� �上昇させる。その後、図32に示すように、プ リント基板94をノズル36の下から移動する。� �るいは、ノズル36を移動することとしてもよ い。

 プリント基板94からノズル36を離した後、 ノズル36の先端部36aの口径を初期状態と同様� ��最小にしておくか、あるいは、次の工程で� ��う電子部品の形状に合わせた口径となるよ� ��に調整してもよい。例えば、次の工程でLSI9 2より小さい電子部品を扱う場合は、その電� �部品がノズルの下に移動してくるまでの間� �、先端部36aの口径を小さくして、次の工程� �備えることもできる。このように、取り扱� �電子部品の大きさが異なっても、ノズルを� �換する必要はなく、製造工程内で他の工程� �行っている間にノズルの先端部の口径を適� �なサイズに変更することができる。

 本発明は上述の具体的に開示された実施� ��に限られず、本発明の範囲を逸脱すること� ��く様々な変形例、改良例がなされるであろ� ��。