ReflexionsSpektrums

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Messlichtquelle zum Erzeugen von Messlicht mit einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung. Im Weiteren betrifft die

Erfindung eine Messanordnung zum Erfassen zumindest eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe und bevorzugt auch zum Durchführen einer Referenzmessung. Die Messanordnung dient insbesondere zur spektroskopischen Untersuchung von

Oberflächen in Produktionsprozessen, um beispielsweise Farbe oder Glanz der Oberflächen oder Schichtdicken zu bestimmen.

Die DE 10 2011 050 969 Al zeigt eine Vorrichtung zur

referenzierten Messung von reflektiertem Licht mit einem

Hohlkörper, der in seinem Inneren eine diffus streuende

Schicht aufweist und eine Lichtaustrittsöffnung besitzt. Die Vorrichtung ist von einer Messstellung in eine

Kalibrierstellung umschaltbar, wodurch die

Lichtaustrittsöffnung von einer ersten Detektionsachse in eine zweite Detektionsachse gebracht wird.

Aus der DE 10 2010 041 749 Al ist eine Messeinrichtung mit einem sich in einer Längsrichtung erstreckenden Hohlraum bekannt, der eine einer Probe zuzuwendende Öffnung und einer Vielzahl von in der Längsrichtung angeordneten Öffnungen aufweist. Eine weitere Öffnung dient zum Einkoppeln von Licht.

Die US 6,422,718 Bl, die DE 34 31 367 Al und die

DE 20 2008 012 222 Ul zeigen Messlichtquellen in verschiedenen

Ausführungsformen . Die US 2007/0171649 Al zeigt ein Beschilderungssystem zur Bereitstellung von Werbung oder dergleichen. In einer ersten Ausführung umfasst das Schild einen Hohlraum in einem Gehäuse mit einer diffus reflektierenden Innenfläche an der Rückseite des Gehäuses. Eine Schildtafel an der Vorderseite des Gehäuses weist eine Öffnung auf, um die Emission von Licht aus dem Hohlraum zu ermöglichen.

Aus der US 2008/0146909 Al ist eine optische

Übertragungsvorrichtung bekannt, welche eine Kammer mit einem Lichteintritt und mit einem Lichtaustritt umfasst. Innere Oberflächen der Kammer sind diffuse reflektierend ausgeführt. Das gesamte Licht einer Lichtquelle soll durch eine erste Öffnung in die Kammer eintreten und dort diffus reflektiert werden, bevor es die Kammer über eine zweite Öffnung verlässt.

Die DE 10 2013 219 830 Al lehrt ein optische Vorrichtung zur Reflexionsmessung unter diffuser Beleuchtung, die einen

Hohlkörper mit einer lichtstreuenden Oberfläche in seinem Inneren und mit einer Lichtaustrittsöffnung umfasst. Die

Lichtaustrittsöffnung besitzt eine rotationsasymmetrische Form.

Die DE 10 2014 215 193 Al zeigt eine Messanordnung zur

Erfassung eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe. Diese Messanordnung umfasst eine Lichtquelle und einen

Homogenisator zur Erzeugung einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung des Messlichtes. Die

Messanordnung umfasst weiterhin einen beweglichen Reflektor und einen Empfänger. Der Reflektor ist auf derselben Seite der die Probe wie die Lichtquelle angeordnet. Der Homogenisator ist bevorzugt durch eine Ulbricht-Kugel, durch eine Ulbricht- Röhre oder durch einen Kugel-Zylinder-Aufbau gebildet. Die Ulbricht-Kugel führt in dieser Messanordnung bei

Probenabstandsänderungen oder bei Probenverkippungen zu

Messfehlern der Absolutmessung von mehr als 1%, was für viele Anwendungen zu hoch ist. Außerhalb von Laborbedingungen, insbesondere bei Inline-Messungen in Produktionsprozessen sind Probenabstandsänderungen und Probenverkippungen jedoch nicht vermeidbar .

Die DE 10 2016 116 405 Al und die EP 3 290 904 A2 betreffen eine Messlichtquelle zum Erzeugen von Messlicht mit einer gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung. Die Messlichtquelle umfasst einen Hohlkörper mit einer diffus reflektierenden Innenfläche. Im Hohlkörper sind ein konkaver, hohlspiegelförmiger Beleuchtungsraum, ein rohrartiger

Lichtformungsraum und ein konkaver, hohlspiegelförmiger

Lichtaustrittsraum ausgebildet, die eine gemeinsame Achse aufweisen. Im Beleuchtungsraum ist eine Lichtquelle zum

Erzeugen von Licht zumindest teilweise angeordnet. Die

Lichtquelle ist beispielsweise durch mindestens eine

Halogenlampe und/oder mindestens eine LED gebildet. Der

Lichtaustrittsraum weist einen Lichtaustritt auf. Der

Beleuchtungsraum und der Lichtaustrittsraum stehen sich mit ihren Hohlspiegelformen gegenüber und sind durch den

rohrartigen Lichtformungsraum verbunden. Im Hohlkörper ist eine diffus reflektierende Reflexionsscheibe zum Reflektieren des von der im Lichtaustrittsraum angeordneten Innenfläche des Hohlkörpers reflektierten Lichtes durch den Lichtaustritt nach außerhalb des Hohlkörpers angeordnet. Die EP 3 290 904 A2 zeigt zudem verschiedene Messanordnungen zum Erfassen eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe und zum Durchführen einer Referenzmessung. Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht ausgehend vom Stand der Technik darin, eine Messanordnung zum Erfassen eines Reflexionsspektrums, insbesondere eine dafür geeignete

Messlichtquelle zum Erzeugen von Messlicht mit einer

gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung zur Verfügung zu stellen, welche deutlich kompakter als eine

Ulbricht-Kugel ausführbar ist.

Die genannte Aufgabe wird gelöst durch eine Messlichtquelle gemäß dem beigefügten Anspruch 1 sowie durch eine

Messanordnung gemäß dem beigefügten nebengeordneten Anspruch 15.

Die erfindungsgemäße Messlichtquelle dient zum Erzeugen von Messlicht mit einer gleichmäßigen räumlichen

Beleuchtungsstärkeverteilung. Mit der erfindungsgemäßen

Messlichtquelle können beispielsweise spektrometrische

Untersuchungen von Oberflächen vorgenommen werden.

Die Messlichtquelle umfasst einen massiven Block, in welchem ein Beleuchtungsraum, ein Lichtformungsraum und ein

Lichtaustrittsraum ausgebildet sind. Der Beleuchtungsraum, der Lichtformungsraum und der Lichtaustrittsraum sind jeweils als ein Hohlraum im Block ausgebildet. Der Beleuchtungsraum, der Lichtformungsraum und der Lichtaustrittsraum besitzen jeweils eine diffus reflektierende Innenfläche zur Erzeugung bzw.

Weiterleitung von diffusem Licht. Der Beleuchtungsraum mündet in den Lichtformungsraum, sodass Licht vom Beleuchtungsraum in den Lichtformungsraum eintreten kann. Der Lichtformungsraum mündet in den Lichtaustrittsraum, sodass Licht vom

Lichtformungsraum in den Lichtaustrittsraum eintreten kann.

In dem Beleuchtungsraum ist mindestens eine Lichtquelle zum Erzeugen von Licht zumindest teilweise angeordnet. Die mindestens eine Lichtquelle ist jedenfalls so angeordnet, dass durch sie Licht in den Beleuchtungsraum strahlbar ist, wobei sich die mindestens eine Lichtquelle teilweise außerhalb des Beleuchtungsraumes befinden kann.

Der Lichtaustrittsraum weist einen Lichtaustritt auf, durch welchen Licht aus dem Lichtaustrittsraum nach außerhalb des Blockes treten kann. Das aus dem Lichtaustritt tretende Licht bildet das durch die Messlichtquelle erzeugbare Messlicht.

Eine Achse des Beleuchtungsraumes und eine Achse des

Lichtaustrittsraumes sind beabstandet zueinander angeordnet. Die Achse des Beleuchtungsraumes ist bevorzugt durch eine mittlere Achse des Beleuchtungsraumes gebildet. Die Achse des Lichtaustrittsraumes ist bevorzugt durch eine mittlere Achse des Lichtaustrittsraumes gebildet. Eine Achse des

Lichtaustrittes und die Achse des Lichtaustrittsraumes fallen bevorzugt zusammen. Der Beleuchtungsraum ist bevorzugt für eine Lichtausbreitung des diffusen Lichtes in einer ersten Lichtausbreitungsrichtung im Beleuchtungsraum ausgebildet, welche in der Achse des Beleuchtungsraumes liegt. Der

Lichtaustrittsraum ist bevorzugt für eine Lichtausbreitung des diffusen Lichtes in einer zweiten Lichtausbreitungsrichtung im Lichtaustrittsraum ausgebildet, welche in der Achse des

Lichtaustrittsraumes liegt. Die Achse des Beleuchtungsraumes und die Achse des Lichtaustrittsraumes sind so weit

beabstandet zueinander angeordnet, dass der Beleuchtungsraum und der Lichtaustrittsraum nebeneinander bzw. übereinander angeordnet sind.

Erfindungsgemäß ist der Lichtformungsraum für eine Umkehr einer Lichtausbreitungsrichtung des diffusen Lichtes

ausgebildet. Folglich erfährt das von dem Beleuchtungsraum in den Lichtformungsraum eintretende Licht bei seiner Ausbreitung durch den Lichtformungsraum eine Umkehr seiner

Lichtausbreitungsrichtung, sodass es mit einer umgekehrten Lichtausbreitungsrichtung vom Lichtformungsraum in den

Lichtaustrittsraum tritt.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Messlichtquelle besteht darin, dass sie sehr kompakt ausgeführt werden kann, da der Beleuchtungsraum und der Lichtaustrittsraum

nebeneinander bzw. übereinander angeordnet sein können und der Lichtformungsraum axial benachbart angeordnet sein kann.

Hierdurch kann der Bauraum optimal genutzt werden.

Das mit der erfindungsgemäßen Messlichtquelle erzeugbare

Messlicht weist in seiner räumlichen

Beleuchtungsstärkeverteilung eine Abweichung von bevorzugt höchstens 0,2% auf. Hierdurch ist ein Inline-Einsatz der

Messlichtquelle bei einer Messung eines absoluten

Reflexionsspektrums möglich, da eine Probenabstandsvarianz, eine Probendickevariation und eine Probenverkippung

tolerierbar sind.

Das durch die Lichtquelle erzeugbare Licht wird im

Beleuchtungsraum, im Lichtformungsraum und im

Lichtaustrittsraum bevorzugt mindestens drei Mal reflektiert, bevor es aus dem Lichtaustritt tritt. Das durch die

Lichtquelle erzeugbare Licht wird im Beleuchtungsraum, im Lichtformungsraum und im Lichtaustrittsraum bevorzugt

mindestens vier Mal reflektiert, bevor es aus dem

Lichtaustritt tritt. Ein überwiegender Teil des durch die Lichtquelle erzeugbaren Lichtes wird im Beleuchtungsraum, im Lichtformungsraum und im Lichtaustrittsraum bevorzugt viele Mal reflektiert, bevor es aus dem Lichtaustritt tritt. Die erste Lichtausbreitungsrichtung und die zweite Lichtausbreitungsrichtung sind bevorzugt entgegengesetzt zueinander ausgerichtet. Die erste Lichtausbreitungsrichtung und die zweite Lichtausbreitungsrichtung weisen einen Winkel zueinander auf, welcher bevorzugt 180°±30° beträgt, weiter bevorzugt 180°±15° beträgt, und besonders bevorzugt 180° beträgt .

Der Lichtformungsraum verbindet den Beleuchtungsraum und mit dem Lichtaustrittsraum bevorzugt U-förmig bzw. V-förmig.

Die Achse des Beleuchtungsraumes und die Achse des

Lichtaustrittsraumes sind bevorzugt parallel zueinander angeordnet. Der Beleuchtungsraum und der Lichtaustrittsraum weisen bevorzugt eine gleiche axiale Position, d. h. eine gleiche Position in der axialen Richtung auf. Somit sind der Beleuchtungsraum und der Lichtaustrittsraum nebeneinander bzw. übereinander und ohne Versatz in der axialen Richtung

angeordnet. Insoweit bilden der Beleuchtungsraum, der

Lichtformungsraum und der Lichtaustrittsraum eine U-Form oder eine V-Form aus, wobei der Beleuchtungsraum und der

Lichtaustrittsraum die Schenkel der U-Form bzw. V-Form bilden.

Bei bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen

Messlichtquelle ist an einem Übergang von dem

Lichtformungsraum zu dem Lichtaustrittsraum ein

Homogenisatorelement angeordnet. Das Homogenisatorelement weist eine diffus reflektierende Beleuchtungsfläche auf. Das Homogenisatorelement ist zum Reflektieren des von der

Innenfläche des Lichtaustrittsraumes reflektierten Lichtes durch den Lichtaustritt nach außerhalb des Blockes

ausgebildet. Das Homogenisatorelement ist bevorzugt in der Achse des Lichtaustrittsraumes und senkrecht zu dieser Achse angeordnet. Das Homogenisatorelement steht in dieser Achse bevorzugt dem Lichtaustritt gegenüber. Schaut man von außen durch den Lichtaustritt in den Lichtaustrittsraum, so blickt man auf das Homogenisatorelement. Der Übergang vom

Lichtformungsraum zum Lichtaustrittsraum ist in einem bezogen auf die Achse des Lichtaustrittsraumes radial mittleren

Abschnitt bevorzugt durch das Homogenisatorelement visuell verdeckt, wobei ein radial äußerer Abschnitt einen

Lichtdurchtritt vom Lichtformungsraum in den

Lichtaustrittsraum bildet.

Das Homogenisatorelement besitzt bevorzugt die Form einer ebenen oder gewölbten Scheibe. Die gewölbte Scheibe ist bevorzugt sphärisch gewölbt.

Das Homogenisatorelement ist bevorzugt an einem Steg

angebracht, welcher in einer mittleren Ebene des

Lichtaustrittsraumes angeordnet ist. Die mittlere Ebene des Lichtaustrittsraumes bildet bevorzugt auch eine mittlere Ebene des Beleuchtungsraumes und/oder eine mittlere Ebene des

Lichtformungsraumes .

Der Beleuchtungsraum weist bevorzugt mindestens einen

Lichteintritt auf, in welchem die mindestens eine Lichtquelle zumindest teilweise angeordnet ist. Der mindestens eine

Lichteintritt ist bevorzugt durch eine Öffnung des Blockes gebildet, in welcher die mindestens eine Lichtquelle

angeordnet ist.

Der Beleuchtungsraum weist bevorzugt zwei der Lichteintritte auf, nämlich einen ersten Lichteintritt und einen zweiten Lichteintritt. Der erste Lichteintritt und der zweite

Lichteintritt sind bevorzugt nebeneinander angeordnet. In jedem der Lichteintritte ist mindestens eine der Lichtquellen angeordnet. In einem oder beiden der Lichteintritte können jeweils auch mehrere der Lichtquellen angeordnet sein. Auch kann der Beleuchtungsraum mehr als zwei der Lichteintritte aufweisen. Die mehr als zwei Lichteintritte können in zwei benachbarten Gruppen angeordnet sein.

Die beiden Lichteintritte bzw. die beiden Gruppen der

Lichteintritte stellen zwei Kanäle für die Beleuchtung dar.

Die zweikanalige Beleuchtung erlaubt beispielsweise die

Auswahl aus unterschiedlichen Beleuchtungsspektren. Durch die zweikanalige Beleuchtung kann u. a. auch einer thermischen Überlastung der Messlichtquelle vorgebeugt werden. Die beiden Kanäle können abwechselnd genutzt werden. Bezogen auf die mittlere Ebene des Lichtaustrittsraumes, welche bevorzugt auch die mittlere Ebene des Beleuchtungsraumes und des

Lichtformungsraumes bildet, ist der massive Block mit dem Beleuchtungsraum, dem Lichtformungsraum und dem

Lichtaustrittsraum bevorzugt symmetrisch ausgebildet.

Eine Verbindungslinie zwischen den beiden Lichteintritten bzw. eine Verbindungslinie zwischen den beiden Gruppen der

Lichteintritte ist bevorzugt senkrecht zu der mittleren Ebene des Lichtaustrittsraumes angeordnet.

Bei bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen

Messlichtquelle sind im ersten Lichteintritt bzw. in der ersten Gruppe der Lichteintritte und im zweiten Lichteintritt bzw. in der zweiten Gruppe der Lichteintritte jeweils eine Halogenlampe und mehrere LEDs angeordnet, welche die

Lichtquellen der Messlichtquelle bilden. Hierbei handelt es sich bevorzugt um jeweils eine Halogenlampe und mehrere LEDs, bevorzugt mindestens vier LEDs und weiter bevorzugt mindestens 10 LEDs. Alternativ bevorzugt ist im ersten Lichteintritt bzw. in der ersten Gruppe der Lichteintritte mindestens eine

Halogenlampe angeordnet, welche eine der Lichtquellen bildet, wohingegen im zweiten Lichteintritt bzw. in der zweiten Gruppe der Lichteintritte mehrere LEDs angeordnet sind, welche weitere der Lichtquellen der Messlichtquelle bilden. Im zweiten Lichteintritt bzw. in der zweiten Gruppe der

Lichteintritte sind bevorzugt mindestens vier LEDs und weiter bevorzugt mindestens 10 LEDs angeordnet.

Die mehreren LEDs, insbesondere die mindestens vier LEDs weisen in ihrer Summe ein Emissionsspektrum auf, welches bevorzugt den sichtbaren Bereich des Lichtes und weiter bevorzugt den Bereich von 340 nm bis 1.100 nm und nochmals weiter bevorzugt den Bereich von 340 nm bis 1.620 nm abdeckt.

Die mindestens eine Lichtquelle kann auch durch eine

Blitzlampe, durch eine Xenon-Blitzlampe, durch eine

Deuteriumlampe, durch einen IR-Strahler, durch eine

weißleuchtende LED, durch eine UV-Kathode oder durch eine UV-LED gebildet sein. Die Lichtquelle kann auch einen oder mehrere Lichtwellenleiter umfassen, über welchen bzw. über welche das Licht in den Beleuchtungsraum strahlen kann.

Insoweit kann beispielsweise die Halogenlampe außerhalb des Beleuchtungsraumes angeordnet sein. Jedenfalls mündet der Lichtwellenleiter bzw. münden die Lichtwellenleiter als Teile der Lichtquelle in den Beleuchtungsraum, sodass die

Lichtquelle teilweise im Beleuchtungsraum angeordnet ist.

Das Homogenisatorelement weist im Falle der zweikanaligen Beleuchtung bevorzugt zwei seitliche Erweiterungen auf, um zu verhindern, dass Licht aus den beiden Kanälen, welches nur wenige Male reflektiert wurde, in den Lichtaustrittsraum gelangt. Eine Verbindungslinie zwischen den seitlichen

Erweiterungen ist bevorzugt senkrecht zu der mittleren Ebene des Lichtaustrittsraumes angeordnet.

Die Messlichtquelle umfasst bevorzugt eine Linse, welche außerhalb des Blockes vor dem Lichtaustritt angeordnet ist. Durch die Linse wird der Strahl des aus dem Lichtaustritt austretenden Messlichtes vergrößert, um größere Flächen ausleuchten zu können. Ein besonderer Vorteil der

erfindungsgemäßen Messlichtquelle besteht darin, dass sie klein ausgeführt werden kann, was dazu führt, dass auch der Lichtaustritt klein ist. Der kleine Lichtaustritt kann für einige Anwendungen zu klein sein. Durch die Linse kann der Strahl des aus dem Lichtaustritt austretenden Lichtes

vergrößert werden.

Bei bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen

Messlichtquelle weist der massive Block die Grundform eines Quaders oder eines Würfels auf, der zwei abgeschrägte Kanten aufweist, welche Außenflächen des Lichtformungsraumes bilden.

Bei bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen

Messlichtquelle umfasst der massive Block mindestens zwei Teilblöcke, welche fest miteinander verbunden sind.

Insbesondere im Falle der zweikanaligen Beleuchtung umfasst der massive Block bevorzugt drei der Teilblöcke, welche fest miteinander verbunden sind. Eine Verbindungsebene zwischen einem ersten der drei Teilblöcke und einem mittleren zweiten der drei Teilblöcke schneidet den ersten Lichteintritt. Eine Verbindungsebene zwischen dem mittleren zweiten der drei Teilblöcke und einem dritten der drei Teilblöcke schneidet den zweiten Lichteintritt. Die Verbindungsebene zwischen dem ersten Teilblock und dem zweiten Teilblock und die Verbindungsebene zwischen dem zweiten Teilblock und dem dritten Teilblock sind bevorzugt parallel zueinander

ausgerichtet. Die Verbindungsebene zwischen dem ersten

Teilblock und dem zweiten Teilblock und die Verbindungsebene zwischen dem zweiten Teilblock und dem dritten Teilblock sind bevorzugt parallel zu der mittleren Ebene des

Lichtaustrittsraumes angeordnet. Der Lichtaustritt ist

bevorzugt in dem mittleren zweiten Teilblock ausgebildet. Das Homogenisatorelement und ggf. der Steg sind bevorzugt in dem mittleren zweiten Teilblock ausgebildet.

Bei bevorzugten Ausführungsformen der erfindungsgemäßen

Messlichtquelle besteht der Block bzw. bestehen die Teilblöcke aus Polytetrafluorethylen (PTFE) . Dieses Material ist sehr gut diffus reflektierend. Der Beleuchtungsraum, der

Lichtformungsraum und der Lichtaustrittsraum weisen eine diffus reflektierende Oberfläche mit einem Reflexionsgrad auf, welcher im gesamten Lichtspektrum bevorzugt mindestens 96% und besonders bevorzugt mindestens 98% beträgt.

Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Messlichtquelle besteht darin, dass sie klein ausgeführt werden kann. Der Block weist entsprechend Außenkanten auf, deren Längen

bevorzugt nicht mehr als 90 mm, weiter bevorzugt nicht mehr als 70 mm betragen. Zwischen dem Beleuchtungsraum, dem

Lichtformungsraum und dem Lichtaustrittsraum weist das

Material des massiven Blockes, insbesondere das

Polytetrafluorethylen, eine Wandstärke auf, welche bevorzugt nicht mehr als 12 mm und weiter bevorzugt nicht mehr als 10 mm beträgt. Diese Wandstärke beträgt bevorzugt mindestens 6 mm.

Die erfindungsgemäße Messanordnung dient zum Erfassen eines absoluten Reflexionsspektrums einer Probe. Die Messanordnung dient beispielsweise für eine Inline-Messung in einem

Produktionsprozess für große beschichtete Flächen, wie

Glasscheiben oder Folien zur Prüfung der Oberfläche. Für das Erfassen des absoluten Reflexionsspektrums ist eine

Referenzprobe bevorzugt nicht erforderlich. Die Messanordnung erlaubt daher bevorzugt auch eine Referenzmessung eines verwendeten Messlichtes.

Die Messanordnung umfasst zunächst die erfindungsgemäße

Messlichtquelle zum Erzeugen des Messlichtes mit einer

gleichmäßigen räumlichen Beleuchtungsstärkeverteilung.

Die Messanordnung umfasst weiterhin einen optischen Empfänger zum Empfangen von Licht, welcher zu der Messlichtquelle gegenüberliegend angeordnet ist. Bei dem zu empfangenden Licht handelt es sich um das Messlicht der Messlichtquelle, nachdem es einen Weg über die Probe oder über einen Referenzweg genommen hat. Eine Eintrittsöffnung des Empfängers und eine Austrittsöffnung der Messlichtquelle sind abgesehen von einem Versatz aufeinander zu gerichtet. Der optische Empfänger ist bevorzugt auf einer Achse des Beleuchtungsraumes angeordnet.

Die Messanordnung ist dazu ausgebildet, parallel zu einer Oberfläche der Probe angeordnet zu werden. Insbesondere ist die Achse des Lichtaustrittsraumes parallel zur Oberfläche der Probe anzuordnen, nämlich mit einem Versatz zur Oberfläche der Probe .

Die Messanordnung umfasst ersten Spiegel, der auf einer Achse des Lichtaustrittes der Messlichtquelle angeordnet ist und zum Reflektieren des aus dem Lichtaustritt austretenden

Messlichtes der Messlichtquelle ausgerichtet ist. Der erste Spiegel ist bevorzugt starr angeordnet. Der erste Spiegel weist bevorzugt eine sphärische Wölbung auf. Zwischen dem Lichtaustritt und dem ersten Spiegel ist bevorzugt die

beschriebene Linse zur Vergrößerung des Strahles des aus dem Lichtaustritt austretenden Messlichtes angeordnet.

Die Messanordnung umfasst zudem einen zweiten Spiegel, der auf einer Achse des optischen Empfängers angeordnet ist und zum Reflektieren von reflektiertem Messlicht auf den optischen Empfänger ausgerichtet ist. Der zweite Spiegel ist bevorzugt starr angeordnet. Der zweite Spiegel ist bevorzugt auf der Achse des Beleuchtungsraumes angeordnet. Der zweite Spiegel ist bevorzugt zwischen dem Beleuchtungsraum und dem optischen Empfänger angeordnet.

Die Messanordnung umfasst bevorzugt einen dritten Spiegel, der in mindestens zwei Stellungen stellbar ist, wofür der dritte Spiegel schwenkbar ist. Der dritte Spiegel ist bevorzugt in mindestens drei Stellungen stellbar. Der dritte Spiegel ist bevorzugt zwischen dem ersten Spiegel und dem zweiten Spiegel angeordnet. In einer ersten Stellung des dritten Spiegels ist dieser dazu ausgerichtet, einen Strahlengang vom ersten

Spiegel zum optischen Empfänger zu richten. In einer zweiten Stellung des dritten Spiegels ist dieser dazu ausgerichtet, Messlicht, welches von dem zweiten Spiegel auf den optischen Empfänger gerichtet ist, freizugeben. In einer dritten

Stellung des dritten Spiegels ist dieser dazu ausgerichtet, von der Probe reflektiertes Messlicht zum optischen Empfänger zu richten. Die Messanordnung umfasst bevorzugt einen vierten Spiegel .

Der optische Empfänger ist bevorzugt durch einen optischen Sensor, wie insbesondere ein Spektrometer, oder zumindest durch einen optischen Eingang des optischen Sensors gebildet. Beispielsweise kann der optische Empfänger durch eine

Eingangsoptik gebildet sein, an welche ein Lichtwellenleiter angeschlossen ist, der zu einem Spektrometer führt.

Die Messlichtquelle, der optische Empfänger, der erste

Spiegel, der zweite Spiegel und ggf. der dritte Spiegel bilden bevorzugt einen Messkopf. Der Messkopf umfasst ein Gehäuse, in welchem die Messlichtquelle, der Empfänger, der erste Spiegel, der zweite Spiegel und ggf. der dritte Spiegel angeordnet sind. Das Gehäuse weist eine Messöffnung auf, durch welche das vom ersten Spiegel reflektierte Messlicht nach außen treten kann und durch welche das von der Probe reflektierte Messlicht nach innen insbesondere zum zweiten Spiegel treten kann.

Bevorzugt sind mehrere der Messköpfe nebeneinander angeordnet, um ein Messsystem auszubilden. Mit dem Messsystem können

Messdaten engmaschig über die gesamte Breite einer Probe spurweise erhoben werden.

Die Messlichtquelle der erfindungsgemäßen Messanordnung ist bevorzugt durch eine der beschriebenen bevorzugten

Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Messlichtquelle gebildet. Im Übrigen weist die erfindungsgemäße Messanordnung bevorzugt auch weitere Merkmale auf, die im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Messlichtquelle und deren bevorzugten Ausführungsformen angegeben sind.

Weitere Einzelheiten und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter

Ausführungsformen der Erfindung, unter Bezugnahme auf die Zeichnung. Es zeigen: Fig. 1: eine seitliche Ansicht einer bevorzugten

Aus führungs form einer erfindungsgemäßen

Messlichtquelle ; Fig. 2: die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer

Ansicht von oben;

Fig. 3: die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer

ersten Querschnittsansicht;

Fig. 4: die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer

zweiten Querschnittsansicht;

Fig. 5: die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer

dritten Querschnittsansicht;

Fig. 6: die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer

perspektivischen Schnittansicht ; Fig. 7: eine vereinfachte Schnittansicht einer bevorzugten

Aus führungs form einer erfindungsgemäßen Messanordnung während einer Bypass-Messung;

Fig. 8: die in Fig. 7 gezeigte Messanordnung während einer

Transmissionsmessung;

Fig. 9: die in Fig. 7 gezeigte Messanordnung während einer

Reflexionsmessung; und

Fig. 10 die in Fig. 7 gezeigte Messanordnung während einer

Dunkelmessung; . Fig. 1 zeigt eine seitliche Ansicht einer bevorzugten

Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Messlichtquelle. Die Messlichtquelle umfasst einen massiven Block 01 aus PTFE. Der Block 01 besteht aus einem ersten Teilblock 02, einem zweiten Teilblock 03 und einem dritten Teilblock 04, welche fest miteinander verbunden oder monolithisch ausgebildet sind. Der Block 01 weist zwei nebeneinander angeordnete Lichteintritte 06 auf, in welchen jeweils eine Lichtquelle 07 (gezeigt in Fig. 6) angeordnet ist. Der Block 01 weist zudem einen

Lichtaustritt 08 auf, aus welchem das von der Messlichtquelle erzeugte Licht austritt.

Es sind weiterhin Schnittmarken AA für eine in Fig. 3 gezeigte Querschnittsansicht und Schnittmarken BB für eine in Fig. 4 gezeigte Querschnittsansicht dargestellt.

Fig. 2 zeigt die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer Ansicht von oben. Es sind Schnittmarken CC für eine in Fig. 5 gezeigte Querschnittsansicht dargestellt.

Fig. 3 zeigt die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer ersten Querschnittsansicht AA. In dieser Querschnittsansicht ist das Innere des Blockes 01 dargestellt, nämlich ein

Beleuchtungsraum 11, ein Lichtformungsraum 12 und ein

Lichtaustrittsraum 13, welche jeweils durch einen Hohlraum im Block 01 gebildet sind. Der Beleuchtungsraum 11, der

Lichtformungsraum 12 und der Lichtaustrittsraum 13 weisen eine diffus reflektierende Oberfläche mit einem Reflexionsgrad im gesamten Lichtspektrum von mindestens 98% auf. Der

Lichteintritt 06 bildet einen Eingang in den Beleuchtungsraum

11. Der Beleuchtungsraum 11 mündet in den Lichtformungsraum

12. Der Lichtformungsraum 12 mündet in den Lichtaustrittsraum

13. Der Lichtformungsraum 12 stellt eine U-förmige Verbindung zwischen dem Beleuchtungsraum 11 und dem Lichtaustrittsraum 13 dar. Hierdurch sind der Beleuchtungsraum 11 und der

Lichtaustrittsraum 13 raumsparend übereinander angeordnet. Der Lichtformungsraum 12 ist seitlich neben dem Beleuchtungsraum

11 und dem Lichtaustrittsraum 13 angeordnet.

Fig. 4 zeigt die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer zweiten Querschnittsansicht BB . In dieser Querschnittsansicht sind wiederum der Beleuchtungsraum 11, der Lichtformungsraum

12 und der Lichtaustrittsraum 13 dargestellt, wobei diese im Vergleich zu den Darstellungen in Fig. 3 einen kleineren

Querschnitt aufweisen. In dieser Querschnittsansicht ist ein Homogenisatorelement 14 in Form einer sphärischen Scheibe dargestellt, welches sich im Lichtaustrittsraum 13 befindet und gegenüber dem Lichtaustritt 08 (gezeigt in Fig. 3) angeordnet ist.

Fig. 5 zeigt die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer dritten Querschnittsansicht CC . In dieser Querschnittsansicht sind u. a. die Lichteintritte 06 und der Lichtaustritt 08 dargestellt .

Fig. 6 zeigt die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle in einer perspektivischen Schnittansicht. In dieser perspektivischen Schnittansicht sind die räumlichen Ausdehnungen des

Beleuchtungsraumes 11, des Lichtformungsraumes 12 und des Lichtaustrittsraumes 13 dargestellt. In den beiden

Lichteintritten 06 ist jeweils eine der beiden Lichtquellen 07 angeordnet, welche bei der gezeigten Ausführungsform

beispielhaft durch Halogenlampen gebildet sind. Durch die zwei Lichtquellen 07 ergibt sich eine zweikanalige Ausführung der Messlichtquelle. Entsprechend weisen der Beleuchtungsraum 11, der Lichtformungsraum 12 und der Lichtaustrittsraum 13 eine entsprechende Ausdehnung senkrecht zu der hier gezeigten

Querschnittsebene auf, d. h. der Beleuchtungsraum 11, der Lichtformungsraum 12 und der Lichtaustrittsraum 13 sowie die Messlichtquelle in ihrer Gesamtheit weisen eine erhöhte Breite für die zweikanalige Ausführung auf.

In dieser perspektivischen Schnittansicht ist zudem das

Homogenisatorelement 14 dargestellt. Das Homogenisatorelement 14 weist zwei seitliche rechteckförmige Erweiterungen 17 auf, die verhindern, dass Licht aus den beiden Kanälen, welches nur wenige Male reflektiert wurde, in den Lichtaustrittsraum 13 gelangt. Das Homogenisatorelement 14 wird durch einen Steg 18 im mittleren zweiten Teilblock 03 gehalten.

Fig. 7 zeigt eine vereinfachte Schnittansicht einer

bevorzugten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen

Messanordnung während einer Bypass-Messung. Die Messanordnung weist die in Fig. 1 gezeigte Messlichtquelle auf, umfassend u. a. den Block 01 mit dem Beleuchtungsraum 11, dem

Lichtformungsraum 12 und dem Lichtaustrittsraum 13 sowie den Lichteintritten 06 und dem Lichtaustritt 08. Die

Messlichtquelle umfasst zudem eine Linse 20 zur Vergrößerung des Strahles des aus dem Lichtaustritt 08 austretenden

Messlichtes. Die Messanordnung umfasst einen ersten Spiegel 21, auf welchen das durch die Linse 20 hindurchgetretene

Messlicht fällt. Der erste Spiegel 21 ist sphärisch gewölbt und fest angeordnet. Die Messanordnung umfasst zudem einen zweiten Spiegel 22, welcher auf einen optischen Empfänger 23 gerichtet ist. Vor dem optischen Empfänger 23 sind Linsen 24 angeordnet, welche das reflektierte Messlicht bündeln. Die Messanordnung umfasst zudem einen dritten Spiegel 26, welcher in seiner Ausrichtung verstellbar ist und in einer ersten Stellung 27, in einer zweiten Stellung 28, in einer dritten Stellung 29 und in einer vierten Stellung 31 dargestellt ist.

Eine Probe (nicht dargestellt) ist in einer Probenebene 32 anzuordnen .

Die Messanordnung umfasst weiterhin einen Schwarzstandard 33 und einen Gegenspiegel 34, welche unter der Probenebene 32 angeordnet sind.

Es ist ein Strahlengang 36 des Messlichtes dargestellt, welcher bei der Bypass-Messung auftritt, um eine 100%-Weiß- Messung vornehmen zu können, wodurch die Messanordnung auf 100%-Weiß der Messlichtquelle abgeglichen werden kann.

Demzufolge dient die erste Stellung 27 des dritten Spiegels 26 zur Bypass-Messung.

Fig. 8 zeigt die in Fig. 7 gezeigte Messanordnung während einer Transmissionsmessung. Es ist ein Strahlengang 37 des Messlichtes dargestellt, welcher bei dieser

Transmissionsmessung auftritt. Der Strahlengang 37 durchläuft die Probe (nicht dargestellt) in der Probenebene 32 und wird am Gegenspiegel 34 und am zweiten Spiegel 22 reflektiert. Der dritte Spiegel 26 befindet sich in seiner zweiten Stellung 28, wodurch er den Strahlengang 37 freigibt. Demzufolge dient die zweite Stellung 28 des dritten Spiegels 26 zur

Transmissionsmessung .

Fig. 9 zeigt die in Fig. 7 gezeigte Messanordnung während einer Reflexionsmessung. Es ist ein Strahlengang 38 des

Messlichtes dargestellt, welcher bei dieser Reflexionsmessung auftritt. Der Strahlengang 38 wird von der Probe (nicht dargestellt) in der Probenebene 32 und am dritten Spiegel 26 reflektiert, welcher sich in seiner dritten Stellung 29 befindet. Demzufolge dient die dritte Stellung 29 des dritten Spiegels 26 zur Reflexionsmessung. Fig. 10 zeigt die in Fig. 7 gezeigte Messanordnung während einer Dunkelmessung. Es ist ein Strahlengang 39 dargestellt, welcher symbolisiert, dass der optische Empfänger 23 über den dritten Spiegel 26, welcher sich in dritten Stellung 29 befindet, auf den Schwarzstandard 33 gerichtet ist. Demzufolge dient die dritte Stellung 29 des dritten Spiegels 26 auch zur Dunkelmessung .

Bezugs zeichenli ste

01 massiver Block

02 erster Teilblock

03 zweiter Teilblock

04 dritter Teilblock

05

0 6 Lichteintritt

07 Lichtquelle

08 Lichtaustritt

09

10

11 Beleuchtungsraum

12 Lichtformungsraum

13 Lichtaustrittsraum

14 Homogenisatorelement

15

1 6

17 seitliche Erweiterung

1 8 Steg

1 9

20 Linse

21 erster Spiegel

22 zweiter Spiegel

23 optische Empfänger

24 Linsen

25

2 6 dritter Spiegel

27 erste Stellung

2 8 zweite Stellung

2 9 dritte Stellung 30

31 vierte Stellung

32 Probenebene

33 Schwarzstandard

34 Gegenspiegel

35

36 Strahlengang bei Bypass-Messung

37 Strahlengang bei Transmissionsmessung

38 Strahlengang bei Reflexionsmessung

39 Strahlengang bei Dunkelmessung