[01] Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ultrapräzisen Bearbeitung einer Fresnellinse, die eine nicht-rotationssymmetrische optische Freiformoberfläche beschreibt. Die Fresnelstruktur kann dabei auf einer planaren bzw. beliebig gekrümmten Fläche überlagert sein.

[02] Auslegungsalgorithmen und Ray Tracing Programme, die für das Design von Optiken eingesetzt werden, ermöglichen die effiziente Gestaltung immer komplexerer Optiken, um funktionale Integration, verbesserte Abbildung, Effizienzsteigerung oder kleineren Gesamtbauraum zu realisieren. Als Auslegungsergebnis resultieren Freiformflächen, die anders als konventionelle sphärische bzw. asphärische Optiken keine Symmetrie entlang einer optischen Achse aufweisen. Im Weiteren soll die Freiformflächen- optik genau so definiert sein. Torische Linsen beispielsweise gehören somit auch zur Klasse der nicht rotationssymmetrischen Freiformflächen. [03] Abhängig von dem verwendeten Material einer Optik und dem zugehörigen Brechungsindex kann es gemäß dem Brechungsgesetz von Snellius notwendig sein, eine stark gewölbte Optik mit großem Volumen zu entwerfen, um eine große Umlenkung eines Lichtstrahls vornehmen zu können. Auch für Spiegel kann aus dem Optikdesign eine starke Wölbung resultieren, um gewisse optische Funktionalität zu realisieren. Um dennoch kompakt zu bauen bzw. Material zu sparen, ist die Fresnelisierung von Optiken mit Rotationsachse ein alt bekanntes Verfahren. Dabei wird das Profil der Optik in konzentrische Ringsegmente jeweils symmetrisch zur optischen Achse zerschnitten und stückweise in eine Ebene projiziert. Bekannte Beispiele sind Folien aus Overhead Projektoren bzw. Optiken aus Leuchttürmen.

BESTÄTIGUNGSKOPIE [04] Da diese Fresnellinsen, die aus Optiken mit einer Rotationsachse berechnet worden sind, ebenfalls rotationssymmetrisch sind, bietet sich Drehen als Fertigungsverfah- ren an, um derartige Optiken herzustellen. Nutzt man sogenannte Ultrapräzisionsmaschinen und monokristallinen Diamant als Schneidstoff, kann durch die Zerspanung mit geometrisch bestimmter Schneide direkt eine optisch funktionale Oberfläche hergestellt werden (Rauheiten < 10 nm Ra, Formhaltigkeit < 2 μπι). Dies ist von großer Bedeutung für die Effizienz einer FresneUinse, da diese maßgeblich durch zwei Einflussfaktoren bestimmt wird. Zum einen müssen die Flanken der FresneUinse eine möglichst geringe Rauheit und eine bestmögliche Formhaltigkeit aufweisen. Zum anderen darf die Ver- rundung im Nutgrund nur so gering ausgeprägt sein, wie gerade möglich, da sie einen Artefakt darstellt, welcher in der ursprünglichen nicht zerschnittenen Optik nicht vorkommt. Nach derzeitigem Stand der Technik sind Nutgrundverrundungen von < 10 μπι möglich, da Diamantwerkzeuge minimale Werkzeugradien von bis zu 1 μηι und kleiner aufweisen. [05] Um den Kompromiss zwischen möglichst glatter Fresnelflanke (Einfluss der kinematischen Rauheit bei kleinem Werkzeugradius) und scharf ausgeprägtem Nutgrund bestmöglich umzusetzen, werden oftmals auch Halbradiuswerkzeuge für die Fresnellinsenfertigung genutzt. Alternativ wird mit einer zusätzlichen Rotationsachse auf einer Ultrapräzisionsdrehmaschine das Diamantwerkzeug je nach Fresnelnut vom Winkel her so eingestellt, dass mit einer Außenflanke des Werkzeugs die Fresnelflanke geschnitten wird und somit die kinematische Rauheit umgangen wird. Derartig kleine Strukturausprägungen lassen sich über konventionelle Optikfertigung mit Polierschritten zur Einstellung geringstmöglicher Oberflächenrauheiten nicht realisieren.

[06] Weist die zu fresnelisierende Optik keine Rotationssymmetrie auf, gilt dasselbe für die resultierende Fresnelstruktur. Da oftmals auch nur Teilsegmente einer Optik sich fresnelisieren lassen, existiert auch keine geschlossene Kontur entlang derer geschnitten werden könnte. Das ultrapräzise Drehen einer fresnelisierten Freiformfläche ist somit nicht möglich. Außerdem bestehen im Stand der Technik keine CAD/CAM Programme, um derartige Oberflächen in ausreichender Qualität als verwertbares CNC Maschinenprogramm zu erstellen.

[07] Alternativ wird das Laser- bzw. Elektronenstrahlschreiben zur Herstellung derartig fresnelisierter Freiformflächen verwendet. Das Elektronenstrahlschreiben wird weit verbreitet eingesetzt, um Mikro- und Nanostrukturen (binär) in eine Oberfläche einzubringen. Anders als bei der kontinuierlich wirkenden Diamantzerspanung wird durch einen Puls des Elektronstrahls ein sehr geringes Volumen aus einem Polymer oder Lack verdampft. Wird aus prozesstechnischer Sicht die Kombination aus zu bearbeitendem Material, Eigenschaft des Elektronenstrahls bzw. Laserstrahls und der Bahnführung des Elektronenstrahls (Überlappung der Einzelpulse) richtig gewählt, lassen sich durch dieses Verfahren nicht nur binäre Strukturen (Näpfchen) sondern auch sogenannte 2.5 D bis 3D Geometrien herstellen.

[08] Trotz Prozessoptimierung der oben beschriebenen Parameterbereiche erreicht das Elektronen- bzw. Laserstrahlschreiben nicht die Fresnellinsenqualität (glatte, präzise Flanke, minimaler Nutgrundradius), die durch Diamantdrehen bei Fresnellinsen mit Rotationsachse möglich ist. Weiterhin werden die Verfahren Elektronen- bzw. Laserstrahlschreiben i.d.R. für Fresnelstrukturen mit Tiefen < 100 μπι eingesetzt. Bei Strukturtiefen im Bereich von 500 μπι werden die Verfahren aufwändig, da mit einem sehr geringen Pulsüberlapp eine große Fläche bearbeitet und ein deutlich erhöhter Material- abtrag realisiert werden muss. Weiterhin sind diese Verfahren in der Regel für die Strukturierung in der Ebene. Die Überlagerung fresnelisierter Freiformflächen auf gekrümmten Oberflächen ist ohne Maschinenanpassungen ebenfalls nicht möglich.

[09] Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren vorzustellen, mit dem die Diamantzerspanung mit dem Vorteil der oben beschriebenen guten Oberflächenqualität auf Fresnelflanken und der gleichzeitig erzielbaren geringen Nut- grundverrundung ermöglicht wird, um nicht rotationssymmetrische, fresnelisierte, re- fraktive oder reflektive Freiformoptiken herzustellen. [10] Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 9. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind den jeweiligen Unteransprüchen, der Beschreibung und den Figuren zu entnehmen. [ 1 1] Die Kombination der Verfahren Drehen und Hobeln bei der Bearbeitung mit einem Diamantwerkzeug ermöglicht es, die für die Herstellung von fresnelisierten Freiformoberflächen benötigten Oberflächenqualitäten bereitzustellen.

[12] Dabei ist es vorteilhaft, wenn kumulativ oder alternativ ein Fast Tool Drehen verwendet wird. Dies ermöglicht ein hochdynamisches Zustellen des Diamantwerk- zeugs abhängig von der jeweiligen Werkzeugposition auf dem Bauteil. Zusätzlich kann mit dem Werkzeug gefräst werden, um eine nicht rotationssymmetrische Fresnellinse herzustellen.

[13] Bei der Durchführung des Verfahrens ist eine synchrone Interpolation von zwei oder vorzugsweise sogar mehr als zwei 2 Achsen auf der verwendeten Ultrapräzisions- maschine vorteilhaft. Die in der Figur 6 dargestellte Anordnung der Achsen ist nur ein Beispiel und es ist für den Fachmann nachvollziehbar, dass je nach Anwendungsfall die Anordnung der Achsen individuell ausgewählt werden muss.

[14] Dadurch wird das beliebige Führen eines Diamantwerkzeugs auf einer Oberfläche entlang einer Kontur mit rotativer Orientierungsanpassung ermöglicht. Das heißt, je nach Drehwinkellage des Werkzeugs relativ zum Werkstück können Werkzeug und Werkstück derart zueinander geschwenkt und oder verschoben werden, dass eine nicht rotationssymmetrische Struktur auf der Oberfläche des Werkstücks entsteht.

[15] Dabei wird vorzugsweise ein monokristallines Diamantwerkzeug mit einem Werkzeugradius kleiner 50 μπι oder ein entsprechendes Halbradiuswerkzeug verwen- det. [16] Um Werkzeug und Werkstück mittels einer Steuerung präzise relativ zueinander zu führen, werden verwertbare Fertigungsdaten aus den Optik Designdaten (CAD Daten bzw. Polynombeschreibungen, bzw. Punktewolken) generiert, um Fertigungsprogramme mit höchster Stützpunktdichte zu berechnen.

[17] Insbesondere werden für die Bearbeitung auf der Basis von Fertigungsdaten Werkzeugbahnen mit Stützpunkt- oder Bahnabständen von weniger als 40 μπι oder sogar von weniger als 20 oder 10 μπι berechnet.

[18] Ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens wird anhand der Figuren, die nur als Ausführungsbeispiel dienen, erläutert. Es zeigt:

Figur 1 eine stark gewölbte Optik 1, die symmetrisch zur Rotationsachse 2 ausgebildet ist,

Figur 2 eine Fresnelisierung der in Figur 1 gezeigten Optik,

Figur 3 eine Draufsicht auf die in Figur 2 gezeigte fresnelisierte Optik,

Figur 4 ein Beispiel einer Freiformoptik,

Figur 5 eine Fresnelisierung der in Figur 4 gezeigten Optik und

Figur 6 eine Vorrichtung zur Herstellung fresnelisierter Freiformflächen.

[19] Die Figuren 1 und 2 zeigen, wie das zur Achse 2 rotationssymetrische Profil der Optik 1 in konzentrische Ringsegmente 3 zerschnitten werden kann und dadurch stückweise in eine Ebene 4 projiziert wird. Dieses Verfahren ist als Fresnelisierung von Optiken mit Rotationsachse bekannt. Eine Draufsicht auf eine derart fresnelisierte Optik 5 ist in Figur 3 dargestellt.

[20] Die in Figur 4 gezeigte Optik 6 weist keine Rotationssymmetrie auf. Auch eine derartige bogenförmige Oberfläche 7 kann jedoch, wie in Figur 5 gezeigt, entsprechend auf eine Ebene 8 fresnelisiert werden, indem jeweils Teilstücke auf die Ebene projiziert werden.

[21] Eine Vorrichtung zur Bearbeitung derartiger Freiformoberflächen zeigt Figur 6. Dort ist ein Werkstück 9 in ein Futter 10 zentral oder dezentral eingespannt, wobei das Futter auf einer Drehachse 1 1 drehbar ist. Diese Drehachse 11 ist in einem Block 12 gelagert, der in Richtung der Y-Achse 13 und der X-Achse 14 verschiebbar ist. In Richtung der Z- Achse 15 ist ein Werkzeug 16 lateral verschiebbar gelagert. Dieses Werkstück 16 ist außerdem um die Achse 17 schwenkbar, um am Werkstück 9 nicht nur Dreh- sondern auch Hobelarbeiten zu verrichten. [22] Selbstverständlich müssen die Achsen nicht orthogonal zueinander angeordnet sein und es sind beliebige Kombinationen von rotatorischen und translatorischen Achsen denkbar. Dabei sollten zumindest zwei und vorzugsweise mehr als zwei, wie beispielsweise drei, vier oder fünf Achsen derart gesteuert zueinander bewegbar sein, dass jede einzelne Bewegungskomponente synchron in Abhängigkeit einer oder mehrerer weiterer Komponenten durchgeführt wird.