Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Werkzeugmaschine zum Be- arbeiten und Härten von metallischen Werkstücken.

Aus der DE 197 49 939 C2 (entspricht US 6 684 500 Bl) ist eine Werkzeugmaschine zum Bearbeiten von Kurbelwellen bekannt, bei der die Kurbelwellen in einer Aufspannung spanend bearbeitet und anschließend ge- härtet werden. Zum Härten werden die Kurbelwellen mittels eines Lasers oder eines Induktors erwärmt. Nachteilig ist, dass die Kurbelwellen nach dem Abkühlen einen unerwünschten Verzug aufweisen, der die Bearbeitungsqualität beeinträchtigt und gegebenenfalls eine Nachbearbeitung erforderlich macht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein Verfahren zu schaffen, das ein einfaches Bearbeiten und Härten von metallischen Werkstücken mit einer hohen Bearbeitungsqualität ermöglicht. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Das zu bearbeitende Werkstück wird in einer Aufspannung spanend bearbeitet und gehärtet. Zum Härten wird das bearbeitete Werkstück in üblicher Weise erwärmt und anschließend mit einem kryoge- nen Kühlmedium abgeschreckt. Das kryogene Kühlmedium, das beim Auf- treffen auf das Werkstück eine sehr niedrige Temperatur von weit unter 0 °C (273, 15 K) hat, führt zu einer entsprechend schnellen Abkühlung des erwärmten Werkstückes, wodurch der Verzug gering ist und im Vergleich zu dem Stand der Technik deutlich reduziert wird. Hierdurch haben die gehärteten Werkstücke eine hohe Bearbeitungsqualität. Der geringe Verzug führt dazu, dass die gehärteten Werkstücke aufgrund des Verzugs überhaupt nicht mehr oder nur in geringem Umfang nachbearbeitet werden müssen. Durch das schnelle Abkühlen und das nicht mehr erforderliche Nachbearbeiten wird zudem die Bearbeitungszeit bzw. Taktzeit verkürzt. Da das kryogenen Kühlmedium verdampft, werden weder die Werkstücke noch die Werkzeugmaschine durch das kryogene Kühlmedium verschmutzt. Eine Entsorgung des kryogenen Kühlmediums ist nicht erforderlich. Das Erwärmen des Werkstücks erfolgt mittels einer Wärmeeinheit, die vorzugsweise als linear entlang des Werkstücks verfahrbarer Laser und/oder Induktor ausgebildet ist. Um einen kontinuierlichen Wärmeeintrag in das Werkstück zu erzielen, erfolgt das Erwärmen vorzugsweise bei rotierendem Werkstück durch Verfahren der Wärmeeinheit. Direkt an- schließend erfolgt das Abschrecken des erwärmten Werkstücks mittels einer linear entlang des Werkstücks verfahrbaren Abschreckeinheit. Die Abschreckeinheit dient zum Zuführen des kryogenen Kühlmediums zu dem erwärmten Werkstück und ist unmittelbar neben der Wärmeeinheit angeordnet. Zum kontinuierlichen und zielgerichteten Abkühlen des Werk- Stücks erfolgt das Abschrecken vorzugsweise bei rotierendem Werkstück.

Ein Verfahren nach Anspruch 2 gewährleistet ein schnelles und sauberes Abschrecken des Werkstücks. Als Kühlmedium ist flüssiger oder gasförmiger Stickstoff, flüssiger oder gasförmiger Sauerstoff, gasförmiger Was- serstoff, gasförmiges Helium, flüssiges oder gasförmiges Argon, gasförmiges Kohlendioxid und flüssiges oder gasförmiges Erdgas geeignet. Vorzugsweise wird Stickstoff verwendet. Ein Verfahren nach Anspruch 3 gewährleistet ein schnelles Abschrecken des Werkstücks.

Ein Verfahren nach Anspruch 4 gewährleistet einen geringen Verzug des Werkstücks, da beim Abschrecken die Wärme des Werkstücks im Wesentlichen nur durch Konvektion abgeführt wird. Das kryogene Kühlmedium kann entweder als Gas gespeichert und zu dem Werkstück geführt werden oder als Flüssigkeit gespeichert und erst während der Zufuhr zu dem Werkstück gasförmig werden.

Ein Verfahren nach Anspruch 5 ermöglicht äußerst niedrige Temperaturen des kryogenen Kühlmediums und ein dementsprechend schnelles Abschrecken des Werkstücks. Ein Verfahren nach Anspruch 6 gewährleistet ein einfaches und bauraum- optimiertes Speichern des kryogenen Kühlmediums.

Ein Verfahren nach Anspruch 7 ermöglicht eine geringere Bearbeitungsbzw. Taktzeit. Das kryogene Kühlmedium kühlt die Schneide des Werk- zeugs wesentlich effektiver als herkömmliche Kühlmedien, wodurch höhere Schnittgeschwindigkeiten und eine entsprechend höhere Zerspanung sproduktivität sowie längere Werkzeugstandzeiten erzielbar sind. Dadurch, dass das kryogene Kühlmedium ohnehin zum Abschrecken des Werkstücks bereitgestellt wird, ist der Zusatzaufwand für die Kühlung des Werkzeugs beim Zerspanen gering. Nachdem das kryogene Kühlmedium verdampft, kann der gesamte Bearbeitungsprozess trocken, also ohne herkömmliche Kühlschmierstoffe durchgeführt werden. Die bearbeiteten Werkstücke sowie die Werkzeugmaschine sind somit absolut sauber. Da kein Kühlschmiermittel entsorgt werden muss, können entsprechende Kosten eingespart werden.

Ein Verfahren nach Anspruch 8 verkürzt die Bearbeitungszeit. Dadurch, dass das Zerspanen und Härten in einer Aufspannung erfolgt, können beide Prozessschritte parallel erfolgen. Während mittels einer Bearbeitungseinrichtung noch eine spanende Bearbeitung erfolgt, kann mittels der Wärmeeinheit bzw. der Abschreckeinheit das bearbeitete Werkstück bereits durch lokales Erwärmen und Abschrecken gehärtet werden. Das parallele

Zerspanen und Härten bietet sich insbesondere bei wellenförmigen

Werkstücken mit verhältnismäßig großen axialen Abmessungen an.

Ein Verfahren nach Anspruch 9 gewährleistet eine hohe Bearbeitungsqualität, da auch das Feinbearbeiten des Werkstücks in derselben Aufspannung erfolgt. Ein geringer Verzug des Werkstücks durch das Härten kann somit schnell und einfach nachbearbeitet werden. Darüber hinaus können weitere Prozessschritte zur Oberflächenbearbeitung einfach und schnell durchgeführt werden. Ein Verfahren nach Anspruch 10 gewährleistet eine kurze Bearbeitungszeit. Durch das kryogene Kühlmedium kann das zum Feinbearbeiten verwendete Werkzeug effektiver gekühlt werden, wodurch sich eine höhere Bearbeitungsgeschwindigkeit und -Produktivität sowie längere Werkzeugstandzeiten ergeben. Da das kryogene Kühlmedium zum Härten ohne- hin bereitgestellt wird, ist der Zusatzaufwand zum Kühlen des beim Feinbearbeiten verwendeten Werkzeugs gering. Da das kryogene Kühlmedium verdampft, ist sowohl das feinbearbeitete Werkstück als auch die Werkzeugmaschine absolut sauber. Eine Entsorgung von herkömmlichen Kühlschmiermitteln entfällt. Ein Verfahren nach Anspruch 11 verkürzt die Bearbeitungszeit, da das Feinbearbeiten parallel zu dem Härten des Werkstücks erfolgt. Die parallele Bearbeitung wird insbesondere dadurch ermöglicht, dass das Werkstück aufgrund des kryogenen Kühlmediums äußerst schnell abkühlt. Die parallele Bearbeitung bietet sich insbesondere bei wellenförmigen Werkstücken mit einer großen axialen Abmessung an.

Ein Verfahren nach Anspruch 12 gewährleistet eine hohe Bearbeitungsqua- lität. Dadurch, dass die Werkstückaufnahme gegenüber dem Grundgestell thermisch isoliert ist, kann ein thermischer Verzug in der Aufspannung minimiert werden, wodurch die auf das Werkstück wirkenden Kräfte infolge der Aufspannung während der gesamten Bearbeitung im Wesentlichen gleich bleiben. Durch die Aufspannung verursachte Verzüge des Werk- Stücks werden somit vermieden.

Ein Verfahren nach Anspruch 13 gewährleistet eine hohe Bearbeitungsqualität bei der Bearbeitung von wellenförmigen Werkstücken. Ein Verfahren nach Anspruch 14 gewährleistet eine hohe Bearbeitungsqualität. Axiale Ausdehnungen des eingespannten Werkstücks werden durch die federnde Lagerung kompensiert, sodass die auf das Werkstück wirkenden Kräfte infolge der Aufspannung während der gesamten Bearbeitung im Wesentlichen gleich bleiben.

Ein Verfahren nach Anspruch 15 gewährleistet eine hohe Bearbeitungsqualität. Durch das Nachstellen einer der Werkstückaufnahmen in Abhängigkeit der gemessenen Axialkraft können axiale Ausdehnungen des eingespannten Werkstücks einfach und schnell kompensiert werden, wodurch die auf das Werkstück wirkenden Kräfte infolge der Aufspannung während der gesamten Bearbeitung im Wesentlichen gleich bleiben.

Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zu Grunde, eine Werkzeugmaschi- ne zu schaffen, die ein einfaches Bearbeiten und Härten von metallischen Werkstücken mit einer hohen Bearbeitungsqualität ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch eine Werkzeugmaschine mit den Merkmalen des Anspruchs 16 gelöst. Die Vorteile der erfindungsgemäßen Werkzeug- maschine entsprechen den bereits beschriebenen Vorteilen des erfindungsgemäßen Verfahrens. Insbesondere kann die erfindungsgemäße Werkzeugmaschine entsprechend den Ansprüchen 2 bis 15 weitergebildet werden.

Weitere Merkmale, Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Werkzeugmaschine beim spanenden Bearbeiten eines metallischen Werkstücks,

Fig. 2 eine teilweise geschnittene Ansicht der Werkzeugmaschine in

Fig. 1,

Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung einer Bearbeitungs- und einer

Härteeinrichtung der Werkzeugmaschine in Fig. 1,

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht der Werkzeugmaschine in Fig. 1 beim Härten des bearbeiteten Werkstücks, Fig. 5 eine teilweise geschnittene Darstellung der Werkzeugmaschine in Fig. 4, und Fig. 6 eine perspektivische Darstellung der Werkzeugmaschine in

Fig. 1 beim Feinbearbeiten des gehärteten Werkstücks.

Eine Werkzeugmaschine 1 weist zur Herstellung von gehärteten wellenförmigen Werkstücken 2 aus Metall ein Grundgestell 3 auf, an dem drei Werkstückaufnahmen 4 bis 6, zwei Bearbeitungseimichtungen 7, 8 und eine Härteeinrichtung 9 angeordnet sind.

Die erste Werkstückaufnahme 4 ist als Werkstücksspindel ausgebildet und weist ein Spannfutter 10 auf, das mittels eines Spindelantriebsmotors 11 um eine parallel zu einer x-Richtung verlaufende Drehachse 12 dreh- antreibbar ist. Die Werkstückspindel 4 ist an einer Frontseite 13 des Grundgestells 3 angeordnet und parallel zu der x-Richtung linear verfahrbar. Hierzu sind an der Frontseite 13 erste x-Führungsschienen 14 in einer senkrecht zu der x-Richtung verlaufenden y-Richtung beabstandet vonein- ander angeordnet, auf denen mittels eines ersten x-Schlittens 15 die Werkstückspindel 4 gelagert ist. Der x-Schlitten 15 ist mittels eines ersten x- Antriebsmotors 16 entlang der x-Führungsschienen 14 linear verfahrbar.

Die zweite Werkstückaufnahme 5 ist mittels eines zweiten x-Schlitten 17 gegenüber zu der Werkstückspindel 4 auf den x-Führungsschienen 14 gelagert. Die Werkstückaufnahme 5 ist als Reitstock ausgebildet und weist einen spitz zulaufenden Werkstückhalter 18 auf, der konzentrisch zu der Drehachse 12 angeordnet und um diese drehbar in einem Gehäuse 19 gelagert ist. Der Werkstückhalter 18 ist mittels eines Federelements 20 federnd in dem Gehäuse 19 gelagert und in der x-Richtung gegen die Federkraft des Federelements 20 axial verlagerbar. Zur Messung einer Axialkraft auf den Werkstückhalter 18 ist zwischen diesem und dem Gehäuse 19 ein Kraftsensor 21 angeordnet, der gemessene Werte der Axialkraft an eine Steuereinrichtung 22 übermittelt. Zwischen dem Werkstückhalter 18 und dem Gehäuse 19 ist eine thermische Isolation 23 angeordnet, die den Werkstückhalter 18 gegenüber dem Gehäuse 19 thermisch isoliert.

Die dritte Werkstückaufnahme 6 ist als Lünette ausgebildet und bezogen auf die y-Richtung unterhalb des Werkstücks 2 angeordnet. Die Lünette 6 ist an einem dritten x-Schlitten 24 befestigt, der mittels eines dritten x- Antriebsmotors 25 auf zweiten x-Führungsschienen 26 parallel zu der x- Richtung linear verfahrbar ist. Die x-Führungsschienen 26 sind in der y- Richtung beabstandet voneinander und unterhalb der x-Führungsschienen 14 an der Frontseite 13 angeordnet. Die x-Führungsschienen 14 und 26 verlaufen parallel zueinander.

Die Bearbeitungseimichtungen 7, 8 dienen zur spanenden Bearbeitung des eingespannten Werkstücks 2. An einer Oberseite 27 des Grundgestells 3 sind dritte x-Führungsschienen 28 angeordnet, die in einer senkrecht zu der x- und y-Richtung verlaufenden z-Richtung voneinander beabstandet sind und parallel zu der x-Richtung verlaufen. Auf den x-Führungsschienen 28 ist ein vierter x-Schlitten 29 gelagert und mittels eines vierten x- Antriebsmotors 30 parallel zu der x-Richtung linear verfahrbar. An einer Frontseite 31 des x-Schlittens 29 sind erste y-Führungsschienen 32 angeordnet, die in der x-Richtung beabstandet voneinander sind und parallel zu der y-Richtung verlaufen. Auf den y-Führungsschienen 32 ist ein erster y- Schlitten 33 gelagert, der mittels eines y- Antriebsmotors 34 parallel zu der y-Richtung linear verfahrbar ist. An dem y-Schlitten 33 ist ein erster Werk- zeugrevolver 35 mit einer Vielzahl von Werkzeugen 36 befestigt. Der Werkzeugrevolver 35 weist ein Gehäuse 37 auf, in dem ein Revolverantriebsmotor 38 angeordnet ist, mittels dem eine Revolverscheibe 39 um eine Drehachse 40 drehantreibbar ist. Die Drehachsen 12 und 40 verlaufen parallel zueinander und parallel zu der x-y-Ebene.

Zum Zuführen eines kryogenen Kühlmediums 41 weist die Bearbeitungseinrichtung 7 eine Zuführleitung 42 auf, die von einem Speicherbehälter 43 zu dem jeweils in Eingriff mit dem Werkstück 2 befindlichen Werkzeug 36 führt. Die Zuführleitung 42 führt beispielsweise durch die Revolverscheibe 39 und das in Eingriff befindliche Werkzeug 36 unmittelbar zu der Schneide des Werkzeugs 36. Der Speicherbehälter 43 ist thermisch isoliert und mittels eines Kühlaggregats 44 kühlbar. Das kryogene Kühlmedium 41 ist mittels einer ersten Förderpumpe 68 durch die Zuführleitung 42 zu dem Werkzeug 36 transportierbar.

Die zweite Bearbeitungseimichtung 8 ist entsprechend der ersten Bearbei- tungseimichtung 7 ausgebildet und weist einen fünften x-Schlitten 45 auf, der auf den x-Führungs schienen 28 mittels eines fünften x- Antriebsmotors 46 parallel zu der x-Richtung linear verfahrbar ist. An einer Frontseite 47 des x-Schlittens 45 sind zweite y-Führungs schienen 48 angeordnet, auf denen ein zweiter y-Schlitten 49 mittels eines zweiten y- Antriebsmotors 50 parallel zu der y-Richtung linear verfahrbar ist. An dem y-Schlitten 49 ist ein zweiter Werkzeugrevolver 51 angeordnet, der dem ersten Werkzeugre- volver 35 zugewandt ist. Der Werkzeugrevolver 51 weist ein Gehäuse 52 auf, in dem ein Revolverantriebsmotor 53 gelagert ist. Mittels des Revolverantrieb smotors 53 ist eine Revolverscheibe 54 mit Werkzeugen 55 um eine Drehachse 56 drehantreibbar. Die Drehachse 56 ist deckungsgleich zu der Drehachse 40 angeordnet. Zur Zuführung des kryogenen Kühlmediums 41 zu der Schneide des in Eingriff befindlichen Werkzeugs 55 ist eine zweite Zuführleitung 57 zwischen dem Speicherbehälter 43 und dem

Werkzeug 55 angeordnet. Die Zuführleitung 57 verläuft beispielsweise durch die Revolverscheibe 54 und das in Eingriff befindliche Werkzeug 55. Das kryogene Kühlmedium 41 wird mittels einer zweiten Förderpumpe 69 von dem Speicherbehälter 43 zu dem Werkzeug 55 transportierbar.

Die Härteeinrichtung 9 ist parallel zu der y-Richtung linear verfahrbar an dem x-Schlitten 29 angeordnet. Hierzu sind an einer Stirnseite 58 des x- Schlittens 29 dritte y-Führungsschienen 59 in z-Richtung beabstandet voneinander befestigt. Auf den y-Führungsschienen 59 ist ein dritter y- Schlitten 60 gelagert und mittels eines dritten y- Antriebsmotors 61 linear verfahrbar. Die Härteeinrichtung 9 umfasst eine U-förmige Wärmeeinheit 62 und eine Abschreckeinheit 63, die nebeneinander an dem y-Schlitten 60 befestigt sind. Die Wärmeeinheit 62 ist als Induktor ausgebildet, sodass das Werkstück 2 mittels Induktion erwärmbar ist. Die Abschreckeinheit 63 umfasst eine Zuführleitung 64 zum Zuführen des kryogenen Kühlmediums 41 und eine Absaugleitung 65 zum Abführen des kryogenen Kühlmediums 41 nach dem Abschrecken des Werkstücks 2. Die Zuführleitung 64 führt von dem Speicherbehälter 43 bis unmittelbar zu dem Induktor 62. Das kryogene Kühlmedium 41 ist mittels einer dritten Förderpumpe 66 von dem Speicherbehälter 43 durch die Zuführleitung 64 zu dem Werkstück 2 transportierbar. Die Absaugung erfolgt mittels einer vierten Förderpumpe 67. Vorzugsweise wird das abgesaugte kryogene Kühlmedium 41 wieder in den Speicherbehälter 43 transportiert.

Die Antriebsmotoren 11, 16, 25, 30, 34, 38, 46, 50, 53 und 61 sowie die Förderpumpen 66 bis 69 sind an die Steuereinrichtung 22 angeschlossen und mittels dieser ansteuerbar. Nachfolgend ist das Bearbeiten und Härten des Werkstücks 2 mittels der Werkzeugmaschine 1 beschrieben. Das Werkstück 2 wird zunächst zwischen der Werkstückspindel 4 und dem Reitstock 5 eingespannt und mittels der Lünette 6 unterstützend gelagert. Anschließend wird das Werkstück 2 mittels der Werkstückspindel 4 drehangetrieben und mittels der Bearbeitungseinrichtung 7 und/oder der Bearbeitungseimichtung 8 spanend bearbeitet. Die in Eingriff mit dem Werkstück 2 befindlichen Werkzeuge 36 und/oder 55 werden mittels des kryogenen Kühlmediums 41 gekühlt. Hier- zu wird das Kühlmedium 41 mittels der Förderpumpen 68, 69 durch die Zuführleitungen 42, 57 zu den Schneiden der Werkzeuge 36, 55 transportiert. Die Werkzeuge 36, 55 werden während des Zerspanens in üblicher Weise mittels der Schlitten 29, 33, 45 und 49 linear verfahren. Das Zerspanen ist in den Fig. 1 bis 3 veranschaulicht.

Parallel zum Zerspanen wird das Werkstück 2 mittels der Härteeimichtung 9 gehärtet. Hierzu wird das Werkstück 2 während des Zerspanens mittels der Wärmeinheit 62 bzw. des Induktors lokal auf die Austenitisie- rungstemperatur erwärmt und anschließend mittels der Abschreckeinheit 63 abgeschreckt. Da das Werkstück 2 während des Härtens um die Drehachse 12 rotiert, wird dieses gleichmäßig erwärmt und abgeschreckt. Zum Abschrecken wird das kryogene Kühlmedium 41 mittels der Förderpumpe 66 durch die Zuführleitung 64 zu dem Werkstück 2 transportiert und nach dem Auftreffen auf das Werkstück 2 mittels der Förderpumpe 67 über die Absaugleitung 65 wieder abgesaugt. Durch das kryogene Kühlmedium 41 wird das Werkstück 2 äußerst schnell abgekühlt, wodurch der Verzug des Werkstücks 2 gering gehalten wird. Die Härteeimichtung 9 wird während des Härtens mittels der Schlitten 29 und 60 in üblicher Weise linear verfah- ren. Alternativ kann das Härten erst nach dem Zerspanen des Werkstücks 2 beginnen. Das Härten ist in den Fig. 4 und 5 veranschaulicht.

Parallel zu dem Härten erfolgt das Feinbearbeiten bzw. Nachbearbeiten des gehärteten Werkstücks 2. Beim Feinbearbeiten kann das Werkstück 2 beispielsweise spanend bearbeitet oder die Oberfläche des Werkstücks 2 anderweitig verbessert werden. Das Feinbearbeiten erfolgt mittels der ersten Bearbeitungseimichtung 7 und/oder der zweiten Bearbeitungseimichtung 8. Die zum Feinbearbeiten in Eingriff mit dem Werkstück 2 befindlichen Werkzeuge 36, 55 werden mittels des kryogenen Kühlmediums 41 gekühlt. Hierzu wird das kryogene Kühlmedium 41 mittels der Förderpumpen 68, 69 von dem Speicherbehälter 43 zu den Schneiden der Werkzeuge 36, 55 transportiert. Alternativ kann das Feinbearbeiten erst beginnen, wenn das Härten bereits abgeschlossen ist. Das Feinbearbeiten ist in Fig. 6 veran- schaulicht.

Durch das kryogene Kühlmedium 41 werden beim Zerspanen und/oder beim Feinbearbeiten des Werkstücks 2 die Schneiden der in Eingriff befindlichen Werkzeuge 36, 55 im Vergleich zu herkömmlichen Kühlmedien effektiver gekühlt, wodurch die Schnittgeschwindigkeit und die Bearbeitungsproduktivität erhöht wird. Dadurch, dass das kryogene Kühlmedium 41 spätestens nach dem Abschrecken verdampft ist, ist das Werkstück 2 sowie die gesamte Werkzeugmaschine 1 sauber. Ein Entsorgen des Kühlmediums 41 wie bei herkömmlichen Kühlmedien entfällt.

Während des gesamten Herstellungsvorgangs wird mittels des Kraftsensors 21 die auf das Werkstück 2 wirkende Axialkraft gemessen. Axiale Ausdehnungen des eingespannten Werkstücks 2 werden in gewissen Grenzen mittels des Federelements 20 kompensiert. Übersteigt die gemessene Axi- alkraft trotz der federnden Lagerung eine gewisse Grenze, so wird die Werkstückspindel 4 und/oder der Reitstock 5 in der x-Richtung nachjustiert. Zur Vermeidung von starken Temperaturschwankungen am Federelement 20 bzw. dem Kraftsensor 21 ist der Werkstückhalter 18 mittels der Isolation 23 thermisch abgeschirmt. Dadurch, dass das Zerspanen, Härten und Feinbearbeiten des Werkstückes 2 in einer Aufspannung erfolgt, wird einerseits eine hohe Bearbeitungsqualität und andererseits eine geringe Bearbeitungs- bzw. Taktzeit erreicht. Als kryogenes Kühlmedium 41 wird vorzugsweise Stickstoff verwendet. Der Stickstoff 41 wird als Flüssigkeit bei einer Temperatur unterhalb von dessen Siedepunkt (-195,79 °C bzw. 77,36 K) in dem Speicherbehälter 43 gespeichert. Der Stickstoff 41 kann während des Transports durch die Zuführleitungen 42, 57 und 64 bis zum Auftreffen auf das Werkstück 2 bzw. die Werkzeuge 36, 55 flüssig bleiben. Alternativ kann der Stickstoff 41 bis zum Auftreffen auf das Werkstück 2 bzw. dem Austreten aus den Werkzeugen 36, 55 gasförmig werden und eine Temperatur oberhalb des Siedepunkts, jedoch vorzugsweise unterhalb von -180 °C (93, 15 K) annehmen. Als kryogenes Kühlmedium 41 kann prinzipiell mindestens ein Medium aus der Gruppe Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff, Helium, Argon, Kohlendioxid und Erdgas verwendet werden. Das kryogene Kühlmedium 41 kann flüssig und/oder gasförmig sein. Das kryogene Kühlmedium 41 weist beim Auftreffen auf das Werkstück 2 beim Zerspanen, Härten und/oder Feinbearbeiten eine Temperatur von weniger als -60 °C (213,15 K), insbesondere von weniger als -120 °C (153, 15), insbesondere von weniger als - 150 °C (123, 15), und insbesondere von weniger als -180 °C (93, 15) auf. Die herzustellenden Werkstücke 2 können beispielsweise Wellen, Zahnräder, Ritzelwellen, Kurbelwellen, Nockenwellen, Schaltwellen und/oder Flanschteile sein. Das Zerspanen und Feinbearbeiten kann durch Drehen, Drehfräsen, Kaltwalzen, Verzahnen, Bohren, Kurbelwellenfräsen, No- ckenwellenfräsen und/oder Schleifen erfolgen.