以下、本発明に係る一実施形態を、図1から 図16を参照して説明する。
 本実施形態の圧電振動子1は、図1から図4に� ��すように、ベース基板2とリッド基板3とで2� ��構造の箱状に形成されており、内部のキャ� ��ティC内に圧電振動片4が収納されたセラミ� �クパッケージタイプの圧電振動子である。
 なお、図4においては、図面を見易くするた めに後述する励振電極15、引き出し電極19、20 、マウント電極16、17及び重り金属膜21の図示 を省略している。

 圧電振動片4は、図5から図7に示すように、� ��晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウ� ��等の圧電材料から形成された音叉型の振動� ��であり、所定の電圧が印加されたときに振� ��するものである。
 この圧電振動片4は、平行に配置された一対 の振動腕部10、11と、該一対の振動腕部10、11� ��基端側を一体的に固定する基部12と、一対� �振動腕部10、11の外表面上に形成されて一対� ��振動腕部10、11を振動させる第1の励振電極13 と第2の励振電極14とからなる励振電極15と、� ��1の励振電極13及び第2の励振電極14に電気的� ��接続されたマウント電極16、17とを有してい る。
 また、本実施形態の圧電振動片4は、一対の 振動腕部10、11の両主面上に、該振動腕部10、 11の長手方向Xに沿ってそれぞれ形成された溝 部18を備えている。この溝部18は、振動腕部10 、11の基端側から略中間付近まで形成されて� ��る。

 基部12の両側には、基部12の幅寸法を部分 的に短縮するように切り欠き部(以下、ノッ� �と称する)12aが形成されている。このノッチ1 2aは、一対の振動腕部10、11から適切な範囲離 れた位置に形成されている。このノッチ12aは 、一対の振動腕部10、11が振動した際に、振� �の垂直成分(厚み方向の成分)に起因する基部 12の撓みを抑えて、共振抵抗値のばらつきを� ��減するものである。このノッチ12aは、必須� ��ものではないが、高性能化を図ることがで� ��る点で形成することが好ましい。

 第1の励振電極13と第2の励振電極14とから� ��る励振電極15は、一対の振動腕部10、11を互� ��に接近又は離間する方向に所定の共振周波� ��で振動させる電極であり、一対の振動腕部1 0、11の外表面に、それぞれ電気的に切り離さ れた状態でパターニングされて形成されてい る。具体的には、図7に示すように、第1の励� ��電極13が、一方の振動腕部10の溝部18上と、� ��方の振動腕部11の両側面上とに主に形成さ� �、第2の励振電極14が、一方の振動腕部10の両 側面上と他方の振動腕部11の溝部18上とに主� �形成されている。

 また、第1の励振電極13及び第2の励振電極14� ��、図5及び図6に示すように、基部12の両主面 上において、それぞれ引き出し電極19、20を� �してマウント電極16、17に電気的に接続され� ��いる。そして圧電振動片4は、このマウント 電極16、17を介して電圧が印加されるように� �っている。
 なお、上述した励振電極15、マウント電極16 、17及び引き出し電極19、20は、例えば、クロ ム(Cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)やチタ ン(Ti)等の導電性膜の被膜により形成された� �のである。 

 また、一対の振動腕部10、11の先端には、 自身の振動状態を所定の周波数の範囲内で振 動するように調整(周波数調整)を行うための� ��り金属膜21が被膜されている。なお、この� �り金属膜21は、周波数を粗く調整する際に使 用される粗調膜21aと、微小に調整する際に使 用される微調膜21bとに分かれている。これら 粗調膜21a及び微調膜21bを利用して周波数調整 を行うことで、一対の振動腕部10、11の周波� �をデバイスの公称周波数の範囲内に収める� �とができる。

 このように構成された圧電振動片4は、図 2から図4に示すように、ベース基板2の後述す る一対のマウント層31、32に基部12が載置され た状態で図示しない導電性接着剤や金等のバ ンプ接続によりマウントされている。これに より、マウント電極16、17と一対のマウント� �31、32とが電気的に接続されている。

 上記リッド基板3は、ソーダ石灰ガラスから なるものであり、図1、図3及び図4に示すよう に、板状に形成されている。そして、ベース 基板2が接合される接合面側には、圧電振動� �4が収まる矩形状の凹部3aが形成されている� �この凹部3aは、両基板2、3が重ね合わされた� ��きに、圧電振動片4を収容するキャビティC� �なるキャビティ用の凹部である。
 なお、本実施形態では、リッド基板3側にこ の凹部3aが形成されている場合を例に挙げて� ��明するが、ベース基板2側に形成されていて も構わないし、両方の基板2、3にそれぞれ形� ��されていても構わない。

 上記ベース基板2は、リッド基板3と同様に� �ーダ石灰ガラスからなるものであり、図1か� ��図4に示すように、リッド基板3に対して重� �合わせ可能な大きさで板状に形成されてい� �。このベース基板2の上面側(リッド基板3が� �合される側)には、同一の導電性材料(例えば 、アルミニウム)により接合層30と、一対のマ ウント層31、32と、一対の引き出し電極層33、 34とがパターニングされている。
 このうち接合層30は、リッド基板3に形成さ� ��た凹部3aの周囲を囲むようにベース基板2の� ��縁に沿って形成されている。一対のマウン� ��層31、32は、リッド基板3に形成された凹部3a 内に収まるように、それぞれ電気的に切り離 された状態で形成されている。一対の引き出 し電極層33、34は、一対のマウント層31、32と� ��合層30との間に凹部3a内から凹部3a外に引き� ��されるように形成されており、一対のマウ� ��ト層31、32を接合層30に対してそれぞれ電気� ��に繋げている。
 但し、一対の引き出し電極層33、34のうち、 他方の引き出し電極層34は、製造途中では接� ��層30に繋がっていたが、圧電振動子1が完成� ��た段階では途中で分断された状態となって� ��る。

 なお、本実施形態では、一方の引き出し� ��極層33が、凹部3a内に収まるように形成され ている。一方、他方の引き出し電極層34は、� ��部分が凹部3a内に収まるように形成された� �、残りの部分が凹部3a外で両基板2、3の間に� ��まれるように形成されている。そして、他� ��の引き出し電極層34のうち、両基板2、3の間 に挟まれた領域S1と接合層30との間の領域S2(� �線で図示している)は、製造途中では繋がっ� ��いたが、圧電振動子1が完成した時点では存 在しない部分である。これにより、上述した ように、他方の引き出し電極層34は、途中で� ��断された状態となっている。

 また、ベース基板2には、該ベース基板2を� �通する一対のスルーホール35、36が形成され� ��いる。このうち一方のスルーホール35は、� �合層30に開口が開くように形成され、他方の スルーホール36は、他方の引き出し電極層34� �途中に開口が開くように形成されている。
 より詳細に説明すると、一方のスルーホー� ��35は、一方の引き出し電極層33が繋がった付 近の接合層30に開口が開くように形成されて� ��り、開口の周囲が接合層30で囲まれる大き� �とされている。また、他方のスルーホール36 は、両基板2、3の間に挟まれた他方の引き出� ��電極層34の領域S1に開口が開くように形成さ れており、やはり開口の周囲が引き出し電極 層34で囲まれる大きさとされている。

 ベース基板2及びリッド基板3は、上述し� �接合層30を利用した陽極接合によって接合さ れている。つまり、ベース基板2上に形成さ� �た接合層30は、陽極接合によってリッド基板 3に強固に密着した状態となっている。この� �、両基板2、3の間に形成された他方の引き出 し電極層34の領域S1に関しても、陽極接合に� �ってリッド基板3に強固に密着した状態とな� ��ている。そのため、一対のスルーホール35� �36の開口の周囲は、それぞれ接合層30及び他� ��の引き出し電極層34によって、確実に封止� �れた状態となっている。

 また、ベース基板2には、一対のスルーホ ール35、36内に導電性材料が埋め込まれ、該� �ース基板2の下面側に露出する外部電極37、38 が形成されている。この際、一方の外部電極 37は、接合層30に対して電気的に接続され、� �方の外部電極38は、他方の引き出し電極層34� ��電気的に接続された状態となっている。そ� ��結果、一方の外部電極37は、接合層30、一方 の引き出し電極層33、一方のマウント層31を� �して、圧電振動片4の第1の励振電極13に電気� ��に接続されている。また、他方の外部電極3 8は、他方の引き出し電極層34及び他方のマウ ント層32を介して、圧電振動片4の第2の励振� �極14に電気的に接続されている。

 このように構成された圧電振動子1を作動 させる場合には、ベース基板2に形成された� �部電極37、38に対して、所定の駆動電圧を印� ��する。これにより、圧電振動片4の第1の励� �電極13及び第2の励振電極14からなる励振電極 15に電流を流すことができ、一対の振動腕部1 0、11を接近・離間させる方向に所定の周波数 で振動させることができる。そして、この一 対の振動腕部10、11の振動を利用して、時刻� �、制御信号のタイミング源やリファレンス� �号源等として利用することができる。

 次に、上述した圧電振動子1を、図8に示� �フローチャートを参照しながら、ベース基� �用ウエハ40とリッド基板用ウエハ50とを利用� ��て一度に複数製造する製造方法について以� ��に説明する。

 初めに、圧電振動片作製工程を行って図5 から図8に示す圧電振動片4を作製する(S10)。� �体的には、まず水晶のランバート原石を所� �の角度でスライスして一定の厚みのウエハ� �する。続いて、このウエハをラッピングし� �粗加工した後、加工変質層をエッチングで� �り除き、その後ポリッシュ等の鏡面研磨加� �を行って、所定の厚みのウエハとする。続� �て、ウエハに洗浄等の適切な処理を施した� �、該ウエハをフォトリソグラフィ技術によ� �て圧電振動片4の外形形状でパターニングす� ��と共に、金属膜の成膜及びパターニングを� ��って、励振電極15、引き出し電極19、20、マ� ��ント電極16、17、重り金属膜21を形成する。� ��れにより、複数の圧電振動片4を作製するこ とができる。

 また、圧電振動片4を作製した後、共振周 波数の粗調を行っておく。これは、重り金属 膜21の粗調膜21aにレーザ光を照射して一部を� ��発させ、重量を変化させることで行う。な� ��、共振周波数をより高精度に調整する微調� ��関しては、マウント後に行う。これについ� ��は、後に説明する。

 次に、後にリッド基板3となるリッド基板 用ウエハ50を、陽極接合を行う直前の状態ま� ��作製する第1のウエハ作製工程を行う(S20)。� ��ず、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研� ��加工して洗浄した後に、図9に示すように、 エッチング等により最表面の加工変質層を除 去した円板状のリッド基板用ウエハ50を形成� ��る(S21)。次いで、リッド基板用ウエハ50の接 合面に、エッチング等により行列方向にキャ ビティ用の凹部3aを複数形成する凹部形成工� ��を行う(S22)。この時点で、第1のウエハ作製� ��程が終了する。

 次に、後にベース基板2となるベース基板用 ウエハ40を、陽極接合を行う直前の状態まで� ��製する第2のウエハ作製工程を行う(S30)。ま� ��、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨� ��工して洗浄した後に、エッチング等により� ��表面の加工変質層を除去した円板状のベー� ��基板用ウエハ40を形成する(S31)。
 次いで、図10に示すように、ベース基板用� �エハ40に、例えばブラスト加工により一対の スルーホール35、36を複数形成するスルーホ� �ル形成工程を行う(S32)。なお、図10に示す点� ��Mは、後に行う切断工程で切断する切断線を 図示している。この際、リッド基板用ウエハ 50を重ねた際に、凹部3aの内側ではなく、凹� �3aの外側に開口が開くようにスルーホール35� ��36を形成する。

 次いで、ベース基板用ウエハ40の接合面に� �図11に示すように、接合層30と、一対のマウ� ��ト層31、32と、一対の引き出し電極層33、34� �を同一の導電性材料によりパターニングす� �パターニング工程を行う(S33)。なお、図11に� ��す点線Mは、後に行う切断工程で切断する切 断線を図示している。
 特に、接合層30を形成する際、一方のスル� �ホール35の開口の周囲を覆った状態で該開口 上を通過するように導電性材料をパターニン グする。これにより、一方のスルーホール35� ��開口の周囲は、接合層30で囲まれた状態と� �る。しかも、スルーホール形成工程後にパ� �ーニングを行っているので、一方のスルー� �ール35の内面に接合層30が若干入り込んだ状� ��となっている(後述する図14及び図16参照)。

 また、一方の引き出し電極層33に関しては� �スルーホールに関係なく一方のマウント層31 を接合層30に直接電気的に繋がるようにパタ� ��ニングする。そして、他方の引き出し電極� ��34に関しては、他方のスルーホール36の開口 の周囲を覆った状態で該開口上を通過した後 に、他方のマウント層32と接合層30とが電気� �に繋がるようにパターニングする。つまり� �上述した領域S2を介して領域S1と接合層30と� �繋がるように他方の引き出し電極層34を形成 しておく。これにより、この工程を行った時 点で、接合層30、一対のマウント層31、32及び 一対の引き出し電極層33、34は、全て電気的� �繋がった状態となっている。この時点で、� �2のウエハ作製工程が終了する。
 なお、他方のスルーホール36の開口の周囲� �、他方の引き出し電極層34の領域S1によって� ��まれた状態となる。しかも、スルーホール� ��成工程後にパターニングを行っているので� ��他方のスルーホール36の内面に他方の引き� �し電極層34が若干入り込んだ状態となってい る(後述する図14及び図16参照)。

 次に、作製した複数の圧電振動片4を一対の マウント層31、32に対してそれぞれマウント� �せた後、両ウエハ40、50を重ね合わせて凹部3 aと両ウエハ40、50とで囲まれるキャビティC内 に圧電振動片4を収納する重ね合わせ工程を� �う(S40)。
 まず、作製した複数の圧電振動片4をベース 基板用ウエハ40に形成された各凹部3a内に収� �させた状態で、一対のマウント層31、32にマ� ��ントするマウント工程を行う(S41)。具体的� �は、圧電振動片4の基部12を各凹部3a内に形成 された一対のマウント層31、32に載置した後� �導電性接着剤やバンプ接続等によりマウン� �する。これにより、圧電振動片4は、一対の� ��ウント層31、32に機械的に支持されると共に 、マウント電極16、17と引き出し電極層33、34� ��が電気的に接続された状態となる。

 圧電振動片4のマウントが終了した後、ベ ース基板用ウエハ40に対してリッド基板用ウ� ��ハ50を重ね合わせる。そして、図示しない� �準マーク等を指標としながら、両ウエハ40、 50を正しい位置にアライメントする(S42)。こ� �により、圧電振動片4が、ベース基板用ウエ� ��40に形成された凹部3aと両ウエハ40、50とで� �まれるキャビティC内に収容された状態とな� ��。

 重ね合わせ工程後、重ね合わせた2枚のウ エハ40、50を図示しない陽極接合装置に入れ� �所定の温度雰囲気で所定の電圧を印加して� �極接合する接合工程を行う(S50)。具体的には 、接合層30とリッド基板用ウエハ50との間に� �定の電圧を印加する。すると、接合層30とリ ッド基板用ウエハ50との界面に電気化学的な� ��応が生じ、両者がそれぞれ強固に密着して� ��極接合される。これにより、圧電振動片4を キャビティC内に封止することができ、ベー� �基板用ウエハ40とリッド基板用ウエハ50とが� ��合した図12に示すウエハ体60を得ることがで きる。なお、図12においては、図面を見易く� ��るために、ウエハ体60を分解した状態を図� �している。また、接合層30、マウント層31、3 2、引き出し電極19、20の図示は、省略してい� ��。

 ところで、陽極接合を行う際、図13及び図14 に示すように、接合層30と一対の引き出し電� ��層33、34とは、電気的に接続されているので 、電圧を印加した際に一対の引き出し電極層 33、34にも電圧が印加される。よって、他方� �引き出し電極層34の領域S1は、接合層30と同� �に、陽極接合によってリッド基板用ウエハ50 に対して強固に密着する。そのため、一対の スルーホール35、36は、共に開口の周囲が確� �に封止されるので、該スルーホール35、36を� ��してキャビティC内の気密が損なわれること がない。
 特に、接合層30と一対の引き出し電極層33、 34とがパターニング工程によって予め電気的� ��接続されているので、スルーホール35、36の 内面に成膜された導電膜を介して電圧を印加 していた従来の方法のように、キャビティC� �の封止が不確実になる恐れがない。つまり� �スルーホール35、36の存在に影響されること� ��く陽極接合を行えるので、接合を確実に行� ��ことができる。
 しかも、接合層30に電圧を印加するだけで� �ベース基板用ウエハ40に形成された全ての一 対の引き出し電極層33、34に電圧を印加でき� �ので、ウエハにうねり等があったとしても� �ベース基板用ウエハ40とリッド基板用ウエハ 50とを全面に亘って均一に接合することがで� ��る。そのうえ、従来に比べて電圧印加が簡� ��で短時間で行うことができるので、製造効� ��を向上することができる。

 上述した陽極接合が終了した後、接合層30� �他方の引き出し電極層34との電気的な繋がり を途中で分断する分断工程を行う(S51)。つま� ��、図15及び図16に示すように、他方の引き出 し電極層34のうち、他方のスルーホール36の� �口と接合層30との間における領域S2にレーザ� ��Lを照射して、この領域S2の部分を切断する� ��これにより、他方の引き出し電極層34は、� �中で切り離され、接合層30との電気的な繋が りが分断される。この工程を行うことで、他 方の引き出し電極層34及び他方のマウント層3 2は、接合層30から電気的に独立した状態とな る。
 なお、レーザ光Lを照射した際、領域S2が蒸� ��することで分断が行われるが、蒸発した成� ��は図15に示す矢印のように、両ウエハ40、50� ��間に形成された微小な隙間に拡散する。こ� ��により、分断を確実且つスムーズに行うこ� ��ができる。

 次いで、導電性材料により一対のスルーホ� ��ル35、36を塞いで外部電極37、38を形成する� �部電極形成工程を行う(S52)。具体的には、ス パッタ法により導電性材料をスルーホール35� ��36内に成膜させた後、メッキ法により成膜� �た導電性材料を成長させる。この際、ベー� �基板用ウエハ40の下面側に露出するように外 部電極37、38を形成する。特に、スルーホー� �35、36の開口は、それぞれ接合層30及び他方� �引き出し電極層34に囲まれているので、この 工程を行うことで、外部電極37、38をそれぞ� �接合層30と他方の引き出し電極層34とに電気� ��に接続されることができる。
しかも、図16に示すように、一方のスルーホ� ��ル35内に接合層30の一部が入り込み、他方の スルーホール36内に他方の引き出し電極層34� �一部が入り込んでいる。そのため、外部電� �37と接合層30、外部電極38と他方の引き出し� �極層34との導通をより確実にすることができ る。

 次いで、接合されたウエハ体60を図10及び図 11に示す切断線Mに沿って切断して小片化する 切断工程を行う(S53)。その結果、互いに陽極� ��合されたベース基板2とリッド基板3との間� �形成されたキャビティC内に圧電振動片4が封 止された、図1に示す表面実装型の圧電振動� �1を一度に複数製造することができる。
 その後、個々の圧電振動子1の周波数を微調 整して所定の範囲内に収める微調工程を行う (S54)。具体的に説明すると、両外部電極37、38 に電圧を印加して圧電振動片4を振動させる� �そして、周波数を計測しながらリッド基板3� ��通して外部からレーザ光を照射し、重り金� ��膜21の微調膜21bを蒸発させる。これにより� �一対の振動腕部10、11の先端側の重量が変化� ��るので、圧電振動片4の周波数を、公称周波 数の所定範囲内に収まるように微調整するこ とができる。

 続いて、内部の電気特性検査を行う(S55)� �即ち、圧電振動片4の共振周波数、共振抵抗� ��、ドライブレベル特性(共振周波数及び共振 抵抗値の励振電力依存性)等を測定してチェ� �クする。また、絶縁抵抗特性等を併せてチ� �ックする。そして、最後に圧電振動子1の外� ��検査を行って、寸法や品質等を最終的にチ� ��ックする。これをもって圧電振動子1の製造 が終了する。

 特に、上述した製造方法によれば、キャ� ��ティC内が確実に封止され、スルーホール35� ��36を利用して外部電極37、38と圧電振動片4と の導通を図ることができる圧電振動子1を効� �良く製造することができる。従って、信頼� �が高く高品質化な圧電振動子1を製造するこ� ��ができるうえ、低コスト化を図ることがで� ��る。

 次に、本発明に係る発振器の一実施形態に� ��いて、図17を参照しながら説明する。
 本実施形態の発振器100は、図17に示すよう� �、圧電振動子1を、集積回路101に電気的に接� ��された発振子として構成したものである。� ��の発振器100は、コンデンサ等の電子部品102� ��実装された基板103を備えている。基板103に� ��、発振器用の上記集積回路101が実装されて� ��り、この集積回路101の近傍に、圧電振動子1 の圧電振動片4が実装されている。これら電� �部品102、集積回路101及び圧電振動子1は、図� ��しない配線パターンによってそれぞれ電気� ��に接続されている。なお、各構成部品は、� ��示しない樹脂によりモールドされている。

 このように構成された発振器100において、� ��電振動子1に電圧を印加すると、該圧電振動 子1内の圧電振動片4が振動する。この振動は� ��圧電振動片4が有する圧電特性により電気信 号に変換されて、集積回路101に電気信号とし て入力される。入力された電気信号は、集積 回路101によって各種処理がなされ、周波数信 号として出力される。これにより、圧電振動 子1が発振子として機能する。
 また、集積回路101の構成を、例えば、RTC(リ アルタイムクロック)モジュール等を要求に� �じて選択的に設定することで、時計用単機� �発振器等の他、当該機器や外部機器の動作� �や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等� �提供したりする機能を付加することができ� �。

 上述したように、本実施形態の発振器100� ��よれば、信頼性が高く高品質化されている� ��共に低コスト化された圧電振動子1を備えて いるので、発振器100自体の高品質化及び低コ スト化を図ることができる。さらにこれに加 え、長期にわたって安定した高精度な周波数 信号を得ることができる。

 次に、本発明に係る電子機器の一実施形� ��について、図18を参照して説明する。なお� �子機器として、上述した圧電振動子1を有す� ��携帯情報機器110を例にして説明する。始め� ��本実施形態の携帯情報機器110は、例えば、� ��帯電話に代表されるものであり、従来技術� ��おける腕時計を発展、改良したものである� ��外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する� ��分に液晶ディスプレイを配し、この画面上� ��現在の時刻等を表示させることができるも� ��である。また、通信機として利用する場合� ��は、手首から外し、バンドの内側部分に内� ��されたスピーカ及びマイクロフォンによっ� ��、従来技術の携帯電話と同様の通信を行う� ��とが可能である。しかしながら、従来の携� ��電話と比較して、格段に小型化及び軽量化� ��れている。

 次に、本実施形態の携帯情報機器110の構� ��について説明する。この携帯情報機器110は� ��図18に示すように、圧電振動子1と、電力を� ��給するための電源部111とを備えている。電� ��部111は、例えば、リチウム二次電池からな� ��ている。この電源部111には、各種制御を行� ��制御部112と、時刻等のカウントを行う計時� ��113と、外部との通信を行う通信部114と、各� ��情報を表示する表示部115と、それぞれの機� ��部の電圧を検出する電圧検出部116とが並列� ��接続されている。そして、電源部111によっ� ��、各機能部に電力が供給されるようになっ� ��いる。

 制御部112は、各機能部を制御して音声デ� ��タの送信及び受信、現在時刻の計測や表示� ��、システム全体の動作制御を行う。また、� ��御部112は、予めプログラムが書き込まれたR OMと、該ROMに書き込まれたプログラムを読み� ��して実行するCPUと、該CPUのワークエリアと� ��て使用されるRAM等とを備えている。

 計時部113は、発振回路、レジスタ回路、� ��ウンタ回路及びインターフェース回路等を� ��蔵する集積回路と、圧電振動子1とを備えて いる。圧電振動子1に電圧を印加すると圧電� �動片4が振動し、該振動が水晶の有する圧電� ��性により電気信号に変換されて、発振回路� ��電気信号として入力される。発振回路の出� ��は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回� ��とにより計数される。そして、インターフ� ��ース回路を介して、制御部112と信号の送受� ��が行われ、表示部115に、現在時刻や現在日� ��或いはカレンダー情報等が表示される。

 通信部114は、従来の携帯電話と同様の機能� ��有し、無線部117、音声処理部118、切替部119� ��増幅部120、音声入出力部121、電話番号入力� ��122、着信音発生部123及び呼制御メモリ部124� ��備えている。
 無線部117は、音声データ等の各種データを� ��アンテナ125を介して基地局と送受信のやり� ��りを行う。音声処理部118は、無線部117又は� ��幅部120から入力された音声信号を符号化及� ��複号化する。増幅部120は、音声処理部118又� ��音声入出力部121から入力された信号を、所� ��のレベルまで増幅する。音声入出力部121は� ��スピーカやマイクロフォン等からなり、着� ��音や受話音声を拡声したり、音声を集音し� ��りする。

 また、着信音発生部123は、基地局からの呼� ��出しに応じて着信音を生成する。切替部119� ��、着信時に限って、音声処理部118に接続さ� ��ている増幅部120を着信音発生部123に切り替� ��ることによって、着信音発生部123において� ��成された着信音が増幅部120を介して音声入� ��力部121に出力される。
 なお、呼制御メモリ部124は、通信の発着呼� ��御に係るプログラムを格納する。また、電� ��番号入力部122は、例えば、0から9の番号キ� �及びその他のキーを備えており、これら番� �キー等を押下することにより、通話先の電� �番号等が入力される。

 電圧検出部116は、電源部111によって制御� ��112等の各機能部に対して加えられている電� ��が、所定の値を下回った場合に、その電圧� ��下を検出して制御部112に通知する。このと� ��の所定の電圧値は、通信部114を安定して動� ��させるために必要な最低限の電圧として予� ��設定されている値であり、例えば、3V程度� �なる。電圧検出部116から電圧降下の通知を� �けた制御部112は、無線部117、音声処理部118� �切替部119及び着信音発生部123の動作を禁止� �る。特に、消費電力の大きな無線部117の動� �停止は、必須となる。更に、表示部115に、� �信部114が電池残量の不足により使用不能に� �った旨が表示される。

 即ち、電圧検出部116と制御部112とによって� ��通信部114の動作を禁止し、その旨を表示部1 15に表示することができる。この表示は、文� ��メッセージであっても良いが、より直感的� ��表示として、表示部115の表示面の上部に表� ��された電話アイコンに、×(バツ)印を付ける ようにしても良い。
 なお、通信部114の機能に係る部分の電源を� ��選択的に遮断することができる電源遮断部1 26を備えることで、通信部114の機能をより確� ��に停止することができる。

 上述したように、本実施形態の携帯情報� ��器110によれば、信頼性が高く高品質化され� ��いると共に低コスト化された圧電振動子1を 備えているので、携帯情報機器110自体の高品 質化及び低コスト化を図ることができる。さ らにこれに加え、長期にわたって安定した高 精度な時計情報を表示することができる。

 次に、本発明に係る電波時計の一実施形態� ��ついて、図19を参照して説明する。
 本実施形態の電波時計130は、図19に示すよ� �に、フィルタ部131に電気的に接続された圧� �振動子1を備えたものであり、時計情報を含� ��標準の電波を受信して、正確な時刻に自動� ��正して表示する機能を備えた時計である。� �
 日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)� �に、標準の電波を送信する送信所(送信局)が あり、それぞれ標準電波を送信している。40k Hz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播� �る性質と、電離層と地表とを反射しながら� �播する性質とを併せもつため、伝播範囲が� �く、上述した2つの送信所で日本国内を全て� ��羅している。

 以下、電波時計130の機能的構成について詳� ��に説明する。
 アンテナ132は、40kHz若しくは60kHzの長波の標 準電波を受信する。長波の標準電波は、タイ ムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しく� ��60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。 受信された長波の標準電波は、アンプ133によ って増幅され、複数の圧電振動子1を有する� �ィルタ部131によって濾波、同調される。
 本実施形態における圧電振動子1は、上記搬 送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数� �有する水晶振動子部138、139をそれぞれ備え� �いる。

 更に、濾波された所定周波数の信号は、検� ��、整流回路134により検波復調される。続い� ��、波形整形回路135を介してタイムコードが� ��り出され、CPU136でカウントされる。CPU136で� ��、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報� ��読み取る。読み取られた情報は、RTC138に反� ��され、正確な時刻情報が表示される。
 搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水 晶振動子部138、139は、上述した音叉型の構造 を持つ振動子が好適である。

 なお、上述の説明は、日本国内の例で示� ��たが、長波の標準電波の周波数は、海外で� ��異なっている。例えば、ドイツでは77.5KHzの 標準電波が用いられている。従って、海外で も対応可能な電波時計130を携帯機器に組み込 む場合には、さらに日本の場合とは異なる周 波数の圧電振動子1を必要とする。

 上述したように、本実施形態の電波時計1 30によれば、信頼性が高く高品質化されてい� ��と共に低コスト化された圧電振動子1を備え ているので、電波時計130自体の高品質化及び 低コスト化を図ることができる。さらにこれ に加え、長期にわたって安定して高精度に時 刻をカウントすることができる。

 なお、本発明の技術範囲は上記実施の形� ��に限定されるものではなく、本発明の趣旨� ��逸脱しない範囲において種々の変更を加え� ��ことが可能である。

 例えば、上記実施形態では、一方のスルー� ��ール35を開口が接合層30に開くように形成し たが、図20及び図21に示すように、他方のス� �ーホール36と同様に、開口が一方の引き出し 電極層33の途中に開くように一方のスルーホ� ��ル35を形成しても構わない。この場合には� �分断工程の際に、他方の引き出し電極層34と 同様に、スルーホール35の開口が形成されて� ��る領域S1と接合層30との間の領域S2にレーザ� ��Lを照射して、この領域S2の部分を切断すれ� ��良い。この場合であっても、上記実施形態� ��同様の作用効果を奏することができる。
 但し、上述した実施形態のように、一方の� ��ルーホール35を接合層30側に形成することで 、一方の引き出し電極層33の長さを極力短く� ��ることができる。よって、コンパクトに設� ��でき、圧電振動子1の小型化を図ることがで きる。