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Title:
METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA DISPLAY PANEL, AND PLASMA DISPLAY PANEL
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/063530
Kind Code:
A1
Abstract:
A method for manufacturing a plasma display panel comprises the steps of arranging two substrates in opposition to each other and forming a plurality of pairs of bus electrodes with a space therebetween on the opposing surface of one substrate. Further, the method comprises the step of forming a plurality of division walls in such a manner that the walls extend with a space therebetween in a direction intersecting with the pair of bus electrodes on the opposing surface of the other substrate. The method comprises the steps of covering with a dielectric layer the pair of bus electrodes and the substrate on which the pair is formed and forming a plurality of grooves in such a manner that the grooves extend with a space therebetween in the direction intersecting with the pair of bus electrodes in the dielectric layer. The method comprises the step of forming an address electrode in the plurality of grooves.

Inventors:
SASAKI TAKASHI (JP)
MATSUSHITA MITSUHITO (JP)
UEMURA KAZUHIDE (JP)
Application Number:
PCT/JP2007/001233
Publication Date:
May 22, 2009
Filing Date:
November 12, 2007
Export Citation:
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Assignee:
HITACHI LTD (JP)
HITACHI PLASMA DISPLAY LTD (JP)
SASAKI TAKASHI (JP)
MATSUSHITA MITSUHITO (JP)
UEMURA KAZUHIDE (JP)
International Classes:
H01J9/02; H01J11/14; H01J11/26; H01J11/38
Foreign References:
JP2006302866A2006-11-02
JP2001202890A2001-07-27
JP2005290153A2005-10-20
JP2007109635A2007-04-26
Attorney, Agent or Firm:
FURUYA, Fumio et al. (19-5 Nishishinjuku 1-Chome,Shinjuku-k, Tokyo 23, JP)
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Claims:
 2つの基板を互いに対向させて配置する工程と、
 複数のバス電極対を一方の前記基板の対向面に間隔を置いて形成する工程と、
 複数の隔壁を他方の前記基板の対向面に前記バス電極対と交差する方向に間隔を置いて延在させて形成する工程と、
 誘電体層で前記バス電極対およびそれが形成された側の前記基板を覆う工程と、
 複数の溝を前記誘電体層に前記バス電極対と交差する方向に間隔を置いて延在させて形成する工程と、
 アドレス電極を前記複数の溝内に形成する工程と、
 を備えるプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 前記複数の溝を形成する工程は、
 レジストを塗布した前記誘電体層に、フォトエッチングによって前記複数の溝を形成することを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 前記アドレス電極は、光硬化性樹脂を含む金属材料を前記複数の溝に充填して形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項3に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 前記光硬化性樹脂は、紫外線硬化性樹脂であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項2に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 前記レジストは、前記アドレス電極の材料の充填後に除去されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 保護膜で前記アドレス電極と前記誘電体層とを覆う工程をさらに備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 別の誘電体層で前記アドレス電極と前記誘電体層とを覆う工程と、
 保護膜で前記別の誘電体層を覆う工程と、
 をさらに備えることを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において、
 前記誘電体層は低融点ガラスの誘電体層であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル製造方法。
 互いに対向させて配置する2つの基板と、
 一方の前記基板の対向面に、間隔を置いて形成された複数のバス電極対と、
 他方の前記基板の対向面に、前記バス電極対と交差する方向に間隔を置いて延在させて形成された複数の隔壁と、
 前記バス電極対およびそれが形成された側の前記基板を覆う誘電体層と、
 前記誘電体層に、前記バス電極対と交差する方向に間隔を置いて延在させて形成された複数の溝と、
 前記複数の溝内に形成されたアドレス電極と、
 を備えるプラズマディスプレイパネル。
Description:
プラズマディスプレイパネル製 方法およびプラズマディスプレイパネル

 本発明は、ディスプレイ装置に使用する ラズマディスプレイパネルの製造方法およ プラズマディスプレイパネルに関する。

 プラズマディスプレイパネル(以下、PDP) 、2枚の透明な基板を互いに対向させて、そ ぞれの透明な基板の対向面に、電極線や隔 等を形成して、画像の画素に対応するセル マトリックス状に形成し、各セルにおいて 電を発生させることで画像を表示するディ プレイ素子である。

 従来のPDP製造方法では、バス電極対であ 維持電極および走査電極やアドレス電極を エッチングや印刷による電極形成方法を用 て基板に形成している。

 特許文献1では、バス電極対やアドレス電極 を一方の基板に形成する片側3電極構造のPDP おいて、バス電極対を覆う誘電体層にエッ ングによってアドレス電極を形成するため 、低融点ガラスの誘電体層ではエッチング 浸食を受けるために電極の形成が困難であ ことから、CVD法によるSiO 2 膜等で耐エッチング特性を持つ誘電体層を形 成するPDPを開示している。

特開2004-273265号公報

 しかしながら、特許文献1におけるCVD法に よる誘電体層は、耐エッチング特性という点 では優れている反面、CVD装置の設備コストや ラーニングコストがかかるとともに、CVD法に よる誘電体層の形成時間もかかるという問題 がある。

 また、エッチングによらない印刷による 極形成法でのアドレス電極の形成では、電 パターンを形成する印刷マスクの変形等に り電極の幅や位置の精度が出ず、PDPの高精 化が困難である。

 上記従来技術が有する問題に鑑み、本発 の目的は、短い製造時間で且つ低製造コス でPDPの製造を行う技術を提供することにあ 。

 本発明の他の目的は、低融点ガラスの誘 体層を用いるPDPにおいて、アドレス電極を 精細に形成する技術を提供することにある

 PDP製造方法は、2つの基板を互いに対向さ せて配置する工程と、複数のバス電極対を一 方の基板の対向面に間隔を置いて形成する工 程を有する。さらに、複数の隔壁を他方の基 板の対向面にバス電極対と交差する方向に間 隔を置いて延在させて形成する工程とを有す る。誘電体層でバス電極対およびそれが形成 された側の基板を覆う工程と、複数の溝を誘 電体層にバス電極対と交差する方向に間隔を 置いて延在させて形成する工程とを有する。 そして、アドレス電極を複数の溝内に形成す る工程を有する。

 代表的な実施例によれば、短い製造時間 且つ低製造コストでPDPの製造を行うことが きる。また、低融点ガラスの誘電体層を用 るPDPにおいて、アドレス電極を高精細に形 することができる。

本発明の一の実施形態におけるPDPの要 の分解斜視図である。 図1のPDP10におけるセルC1の電極構造の1 を示す図である。 図2のA-A’線に沿うPDP10の断面を示す図 ある。 本発明の一の実施形態に係るプラズマ ィスプレイパネル製造の工程の手順を示す である。 図1の前面基板部12にアドレス電極AEを 成する手順を示す図である。 図1に示したPDP10を用いて構成されるプ ズマディスプレイ装置の1例を示す分解斜視 図である。 図6に示した回路部60の概要を示す図で る。

 以下、本発明の実施形態について図面を いて説明する。

 図1~図3は、本発明の一の実施形態に係るP DP10を示す。図4は、本実施形態に係るプラズ ディスプレイパネル製造の工程の手順を示 。

 図1は、本発明の一の実施形態におけるプ ラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称す )10の要部を示している。図中の矢印D1は、第 1方向D1を示し、矢印D2は、第1方向D1に画像表 面に平行な面内で直交する第2方向D2を示し いる。PDP10は、画像表示面を構成する前面 板部12と、前面基板部12に対向する背面基板 14とにより構成されている。前面基板部12と 背面基板部14の間(より詳細には、背面基板部 14の凹部)に放電空間DSが形成される。

 前面基板部12は、ガラス基材FS(第1基板)上 (図では下側)に第1方向D1に沿って平行に形成 れ、第2方向D2に沿って交互に形成されたXバ ス電極Xb(第1バス電極)およびYバス電極Yb(第2 ス電極)を有している。Xバス電極Xbには、Xバ ス電極XbからYバス電極Ybに向けて第2方向D2に 在するX透明電極Xt(第1表示電極)が接続され いる。また、Yバス電極Ybには、Yバス電極Yb らXバス電極Xbに向けて第2方向D2に延在するY 透明電極Yt(第2表示電極)が接続されている。

 ここで、Xバス電極XbおよびYバス電極Ybは 金属材料等で形成された不透明な電極であ 、X透明電極XtおよびY透明電極Ytは、ITO膜等 形成された光を透過する透明電極である。 して、X電極XE(第1電極、維持電極)は、Xバス 電極XbおよびX透明電極Xtにより構成され、Y電 極YE(第2電極、走査電極)は、Yバス電極Ybおよ Y透明電極Ytにより構成され、X電極XEと対を している。X電極XEおよびY電極YEで構成され 電極対(より具体的には、X透明電極Xtおよび Y透明電極Yt間)で繰り返して放電(サステイン 電)を発生させる。

 また、透明電極XtおよびYtは、それぞれが 接続されるバス電極XbおよびYbとガラス基材FS との間に全面に配置されても良い。なお、バ ス電極XbおよびYbと同じ材料(金属材料等)で、 バス電極XbおよびYbと一体の電極が透明電極Xt およびYtの代わりに形成されても良い。

 電極Xb、Xt、Yb、Ytは、誘電体層DL1に覆わ ている。例えば、誘電体層DL1は、低融点ガ ス等の絶縁膜である。そして、誘電体層DL1( では下側)には、バス電極Xb、Ybに直交する 向(第2方向D2)に延在する複数の溝DIが設けら 、この溝DIの中にアドレス電極AEが設けられ ている。このように、この実施形態のPDP10は 前面基板部12に3電極(電極XE、YE、AE)を有し いる。

 また、アドレス電極AEおよび誘電体層DL1 、保護層PLに覆われている。例えば、保護層 PLは、放電を発生しやすくするために、陽イ ンの衝突による2次電子の放出特性の高いMgO 膜で形成される。なお、アドレス電極AEおよ 誘電体層DL1と保護層PLとの間に、アドレス 極AEを覆う誘電体層を誘電体層DL1とは別に形 成しても良い。この場合、アドレス電極AEを う誘電体層の表面が保護層PLに覆われる。

 放電空間DSを介して前面基板部12に対向す る背面基板部14は、ガラス基材RS上に、バス 極Xb、Ybに直交する方向(第2方向D2)に延在し 互いに平行に形成された隔壁(バリアリブ)BR 有している。隔壁BRの一部は、アドレス電 AEに対向している。換言すれば、アドレス電 極AEは、隔壁BRに隣接している。隔壁BRにより 、セルの側壁が構成される。さらに、隔壁BR 側面と、互いに隣接する隔壁BRの間のガラ 基材RS上とには、紫外線により励起されて赤 (R)、緑(G)、青(B)の可視光を発生する蛍光体PHr 、PHg、PHbが、それぞれ塗布されている。

 PDP10の1つの画素は、赤、緑および青の光 発生する3つのセルにより構成される。ここ で、1つのセル(一色の画素)は、後述する図2 示すように、バス電極Xb、Ybと隔壁BRとで囲 れる領域に形成される。このように、PDP10は 、画像を表示するためにセルをマトリックス 状に配置し、かつ互いに異なる色の光を発生 する複数種のセルを交互に配列して構成され ている。特に図示していないが、バス電極Xb Ybに沿って形成されたセルにより、表示ラ ンが構成される。

 PDP10は、前面基板部12および背面基板部14 、保護層PLと隔壁BRが互いに接するように貼 り合わせ、Ne、Xe等の放電ガスを放電空間DSに 封入することで構成される。

 図2は、図1に示したPDP10の概要を示してい る。なお、図2は、画像表示面側(図1の上側) ら見た電極Xb、Xt、Yb、Yt、AE、隔壁BRの状態 示している。上述したように、セルC1は、バ ス電極Xb、Ybと隔壁BRとで囲われる領域(図の 線で囲んだ領域)に形成される。すなわち、 像表示面側から見た場合、各セルC1の放電 間DSは、互いに隣接する隔壁BRの間に形成さ る。

 アドレス電極AEは、各セルC1内を通って第 2方向に延在し、セルC1の両側に配置された隔 壁BRの一方(図では、セルC1の左側)の隔壁BRに 接して配置されている。この実施形態では アドレス電極AEの一部は、隔壁BR上に位置し ている。

 透明電極Xtは、各セルC1内に配置され、バ ス電極Xbからバス電極Ybに向けて突出し、先 に向かうにつれて幅が狭くなる形状に形成 れている。図の例では、透明電極Xtは、辺SD1 0(第1辺)、SD12(第1斜辺)、SD14、SD16からなる台 形状に形成されている。すなわち、この実 形態では、透明電極Xtは、アドレス電極AEか 離れて位置する隔壁BR(他方の隔壁、図では 右側の隔壁BR)に沿う辺SD10(第1辺)と、辺SD10 対して斜めに対向する辺SD12(第1斜辺)とを有 ている。

 透明電極Ytは、各セルC1内に配置され、バ ス電極Ybからバス電極Xbに向けて突出し、先 に向かうにつれて幅が狭くなる形状に形成 れている。図の例では、透明電極Ytは、辺SD2 0(第2辺)、SD22(第2斜辺)、SD24、SD26からなる台 形状に形成されている。すなわち、この実 形態では、透明電極Ytは、アドレス電極AEに う辺SD20(第2辺)と、透明電極Xtの辺SD12に対向 する辺SD22(第2斜辺)とを有している。換言す ば、透明電極Yt(走査電極YE)は、辺SD20がアド ス電極AEに対向し、辺SD22が透明電極Xt(維持 極XE)に対向する。尚、本発明において、透 電極Xt,Ytの形状は副次的なもので上記形状 限定されるものではない。

 これにより、アドレス電極AEと透明電極Yt 間に電圧を印加することにより、着目するセ ルC1の放電空間DSでアドレス放電を発生させ ことができる。また、透明電極Xtと透明電極 Yt間に電圧を印加することにより、アドレス 電により選択されたセルC1の放電空間DSでサ ステイン放電を発生させることができる。な お、透明電極Xt、Ytでは、バス電極Xb、Ybに対 て斜めに延在する辺SD12、22が互いに対向す ため、セルC1の第1方向D1の幅が狭い場合で 、対向部を長くできる。これにより、この 施形態では、透明電極Xt、Yt間で放電を発生 せる最低電圧(放電開始電圧)を低くでき、 ステイン放電を発生させるために必要な電 を低くできる。

 ここで、サステイン放電を発生させるた に必要な電圧を高くすることなく、誤放電 防止するために、第2方向D2に沿って互いに 向する辺を有する透明電極Xt、Ytが、本発明 の過程で考えられた。しかし、この場合、各 透明電極Xt、Ytは、根本から先端まで同じ幅 細く形成されるため、根本から断線するお れがある。例えば、透明電極Xt、Ytの根本か 断線した場合、透明電極Xt、Ytとして機能す る部分(バス電極Xb、Ybと接続している部分)が 小さくなり、あるいは、透明電極Xt、Ytとし 機能する部分がなくなり、PDP10は正常に動作 しない。

 なお、透明電極Xt、Ytの先端付近から断線 した場合、残りの部分(バス電極Xb、Ybと接続 ている部分)が大きいため、この残りの部分 が透明電極Xt、Ytとして正常に機能し、PDPが 常に動作することもある。したがって、根 から先端まで同じ幅で細く形成された透明 極Xt、Ytを有するPDPでは、根本から断線する それがあるため、製造歩留まり、あるいは 信頼性が低下する。これに対し、この実施 態では、透明電極Xt、Ytの根本が広いため、 透明電極Xt、Ytの根本から断線することを防 できる。これにより、この実施形態では、PD Pの製造歩留まり、あるいは、PDPの信頼性を 上できる。

 また、各セルC1の透明電極Ytでは、アドレ ス放電を発生させるアドレス電極AEに対向す 辺SD20は、アドレス放電を発生させないアド レス電極AE(図では、着目するセルC1の右側の ルC1のアドレス電極AE)に対向する辺SD24より い。これにより、この実施形態では、着目 るセルC1において、透明電極YtとセルC1内の ドレス電極AE間の放電開始電圧を、透明電 Ytと着目するセルC1に隣接するセルC1内のア レス電極AE間の放電開始電圧より低くできる 。この結果、この実施形態では、第1方向D1に 互いに隣接する2つのセルC1において、一方の セルC1でアドレス放電を発生させるとき(アド レス期間)に、一方のセルC1の透明電極Ytと他 のセルC1のアドレス電極AE間で誤放電が発生 することを防止できる。

 さらに、透明電極Ytは、アドレス電極AE側 に配置されている。したがって、第1方向D1に 互いに隣接する2つのセルC1において、一方の セルC1の透明電極Ytとアドレス電極AE間の距離 W1は、一方のセルC1の透明電極Ytと他方のセル C1のアドレス電極AE間の距離W2より短い。この ため、この実施形態では、一方の透明電極Yt アドレス電極AE間の放電開始電圧を、一方 透明電極Ytと他方のセルC1のアドレス電極AE の放電開始電圧より低くできる。

 この結果、この実施形態では、第1方向D1 互いに隣接する2つのセルC1において、一方 セルC1でアドレス放電を発生させるときに 一方のセルC1の透明電極Ytと他方のセルC1の ドレス電極AE間で誤放電が発生することを確 実に防止できる。なお、上述したように、辺 SD20を辺SD24より長くすることにより、アドレ 放電を発生させない透明電極Ytとアドレス 極AE間の誤放電を防止できるため、透明電極 Ytは、距離W1と距離W2とが同じになるように配 置されても良い。

 図3は、図2のA-A’線に沿うPDP10の断面を示 している。

 アドレス電極AEは、自身とアドレス放電 発生させる透明電極Ytが配置されているセル C1の放電空間DS上に一部が位置し、自身とア レス放電を発生さない透明電極Ytが配置され ているセルC1の放電空間DS上には位置してい い。すなわち、着目するセルC1のアドレス電 極AEと透明電極Yt間の電界は、隔壁BRを介さず に発生し、着目するセルC1のアドレス電極AE 着目するセルC1に隣接するセルC1の透明電極Y t間の電界は、隔壁BRを介して発生する。

 これにより、着目するセルC1の透明電極Yt とアドレス電極AE間の放電開始電圧を、着目 るセルC1のアドレス電極AEと着目するセルC1 隣接するセルC1の透明電極Yt間の放電開始電 圧より低くできる。この結果、着目するセル C1のアドレス電極AEと着目するセルC1に隣接す るセルC1の透明電極Yt間の誤放電を防止でき 。

 以下、図4に沿って、PDP製造方法について 説明する。

 PDP10は、画像表示面を構成する前面基板 12と、前面基板部12に対向する背面基板部14 から構成される。前面基板部12と背面基板部 14のそれぞれは、ガラス、石英、セラミック の透明な基材に電極、誘電体層または隔壁 が配置されている。なお、背面基板部14は ずしも透明でなくても良いが、本実施形態 は、透明な基材としてガラス基材を用いる

 図4が示すように、前面基板部12の工程と 面基板部14の工程とは平行して行われる。 下において、まず前面基板部12の工程から説 明する。

 ステップS1では、前面基板部12のガラス基 材FSの対向面に、一対のバス電極Xbとバス電 Ybとが、透明電極Xtと透明電極Ytとともに、D1 方向に沿って平行に延在して、D2方向に複数 んで形成される。バス電極Xbおよびバス電 Ybには、Ag、Au、Cu、Crまたはそれらの組み合 せからなるCr-Cu-Cr等の積層体である金属材 による不透明電極が用いられる。一方、透 電極Xtおよび透明電極Ytには、例えば、ITO膜 の透明電極が用いられる。

 バス電極Xb、バス電極Yb、透明電極Xtおよ 透明電極Ytの形成には、公知の手法が用い 行われる。

 例えば、バス電極Xbおよびバス電極Ybは金 属材料をスパッタや印刷で形成し、透明電極 Xtおよび透明電極YtはITO膜等をスパッタで形 する。その後、フォトエッチング法等によ 電極を所定の形状に形成する。これにより 透明電極Xtとバス電極Xbとで構成される維持 極XEと、透明電極Ytとバス電極Xbとで構成さ る走査電極YEとがガラス基材FSの対向面側に 形成される。

 ステップS2では、ステップS1において形成さ れた維持電極XEおよび走査電極YEとともに、 れらが形成された側のガラス基材FSを覆うよ うに誘電体層DL1が形成される。誘電体層DL1は 、600 ℃以下のガラス転移温度を持ち、ガラ 組成がPbO-SiO 2 -B 2 O 3 やPbO-P 2 O 5 -SnF 2 等である低融点ガラスのペーストをガラス基 材FSに塗布し焼成による脱泡・透明化によっ 形成される。また、低融点ガラスのシート 添付して焼成する方法もある。

 ステップS3では、ステップS2において形成 された誘電体層DL1にレジストRGを塗布して、 ドレス電極AEを形成する溝DIのフォトマスク を用いてパターン露光を行う(図5(a))。図5(a) 、D2方向から見た、前面基板部12に塗布され レジストRGにパターン露光を行う様子を示 。本実施形態では、アドレス電極AEが形成さ れる露光された部分のレジストが現像液によ って取り除かれる。

 なお、本実施形態の図2において、アドレ ス電極AEは、後述するステップS10にて背面基 部14に形成される隔壁BRのうち、一方の隔壁 BRに隣接するかまたは一部が隔壁BRと重なる 置に形成される。

 ステップS4では、ステップS3においてレジ ストRGが除去された部分の誘電体層DL1にエッ ングによって、溝DIを形成する。ここで、 電体層DL1に溝DIを形成するのは、後述するス テップS5で金属材料のペーストを用いて形成 れるアドレス電極AEが、要求される電極の や位置に形成されるように、且つステップS6 でレジストRGを剥離する際に、アドレス電極A Eが一緒に剥離しないように防止するためで る。図5(b)は、エッチングによって、溝DIが 成された前面基板部12のD2方向から見た断面 一部を示す。本実施形態では、例えば、低 度のNaOH等のエッチング液を用いてエッチン グを行う。また、エッチングの時間は、溝DI 深さが3~5μmになるように調節するのが好適 ある。エッチングにより形成された溝DIの 面はガラス基材FSや誘電体層DL1に比べて表面 粗さが大きく、光が拡散される。しかし、こ の溝DIは元々不透明なアドレス電極AEを設け 領域であるため、蛍光体発光による可視光 透過には影響を与えない。また、アドレス 極AEの金属面によるガラス基材FS側から見た 反射を緩和させる働きを有し、PDP10の表示 への、周辺背景の映り込みを緩和すること できる。

 ステップS5では、ステップS4において形成 された溝DIに、紫外線硬化性樹脂を含む金属 料のペーストを、アドレス電極AEの電極パ ーンの印刷マスクを用いスクリーン印刷等 手法により充填する。図5(c)は、図5(b)の溝DI 金属材料のペーストを充填した状態を示す なお、この際、レジストRG表面に金属材料 付着、残留しても後述のレジスト剥離によ 、共に除去されるため、形成されるアドレ 電極AEの幅や位置は金属材料の塗布精度では なく、溝DIの形成精度によって決まる。その 、紫外線を照射して、金属材料のペースト 硬化させる。

 ステップS6では、誘電体層DL1に残ってい レジストRGを剥離する。ただし、剥離液でレ ジストを溶解させて剥離すると、耐エッチン グ特性が優れていない低融点ガラスの誘電体 層DL1までも溶解し白色化する。その白色化に より、前面基板部12に画像表示する可視光の 過率が下がってしまう。そこで、本実施形 では、剥離液によるレジストRGの溶解では く、レジストを軟化させる膨潤までにとど 、後はジェットシャワー等による水洗でレ ストRGを取り除く手法を用いる。なお、前面 基板部12の白色化は剥離液の種類や時間によ 異なるため、若干の透過率の低下を許容し ジェットシャワーを用いることなく、水洗 より、レジストRGを除去する方法もある。 の際のPDP10の輝度低下に関しては、PDP10表面 設けるフィルタの透過率設計により、対応 ることができる。

 ステップS7では、アドレス電極AEを焼成し 、紫外線硬化性樹脂を蒸発させる。

 ステップS8では、アドレス電極AEと誘電体 層DL1を覆うように、別の誘電体層DL2を形成す る。誘電体層DL2は、誘電体層DL1と同じ素材の 低融点ガラスを用い、低融点ガラスのペース トを誘電体層DL1に塗布し焼成によって脱泡・ 透明化して形成される。なお、誘電体層DL2は 、主にアドレス電極AEを形成するために形成 た溝DIによる凹凸を平滑化するために形成 れる。したがって、誘電体層DL2は、誘電体 DL1より薄い5~10μm程度の厚さにして良い。な 、この誘電体層DL2は必ずしも必要ではない 図1および図3は、このステップS8の工程を省 略して誘電体層DL2を形成しなかったPDP10であ 。

 ステップS9では、誘電体層DL2(または誘電 層DL1とアドレス電極)を保護層PLで覆う。保 層PLは、放電を発生しやすくするため、例 ば、陽イオンの衝突による2次電子の放出特 の高いMgO膜を用いることが好適である。以 で前面基板部12の工程は終了する。なお、 テップS1からステップS2のステップには異物 除去工程や検査工程等は省略して示した。

 次に背面基板部14の工程を説明する。

 ステップS10では、背面基板部14のガラス 材RSに、隔壁BRをガラス基材RSと一体に形成 る。隔壁BRは、D2方向に延在し間隔をおいて 成される。これにより、図2に示すように、 維持電極XEおよび走査電極YEと隣接する隔壁BR とで囲まれるセルC1がマトリックス状に形成 れる。

 ステップS11では、隔壁BRの側面と、隣接 る隔壁BRの間のガラス基材RSとには、紫外線 より励起されて赤(R)、緑(G)、青(B)の可視光 発生する蛍光体PHr、蛍光体PHgおよび蛍光体P Hbがそれぞれ塗布されている。これにより、 、緑および青の光を発生する3つのセルC1か なる画像で言うところの1つの画素が構成さ れる。なお、図示していないが、維持電極XE よび走査電極YEに沿って形成されるセルC1に より、表示ラインが構成される。

 ステップS12では、前面基板部12と背面基 部14とは、保護層PLと隔壁BRとが互いに接す ように、図示していないが、画像表示領域 外周部においてシール剤を用いて貼り合わ られる。さらに、図示していないが、ガラ 基材RSにおける画像表示領域の外周部に形成 される排気空間には、排気孔が設けられてい る。この排気孔を用い、PDP10の放電空間DSを 空状態に設定し、Ne-Xe混合ガス等の放電ガス を封入する。

 以上によって、本実施形態における製造 法によるPDPが製造される。

 図6は、上記の方法によって製造されるPDP 10を用いて構成されるプラズマディスプレイ 置(以下、PDP装置)の一例を示す。PDP装置は PDP10、PDP10の画像表示面16側(光の出力側)に設 けられる光学フィルタ20、PDP10の画像表示面16 側に配置される前筐体30、PDP10の背面18側に配 置される後筐体40およびベースシャーシ50、 ースシャーシ50の後筐体40側に取り付けられ PDP10を駆動するための回路部60、およびPDP10 ベースシャーシ50に貼り付けるための両面 着シート70を有している。回路部60は、複数 部品で構成され破線の箱で示している。詳 い説明は後述する。光学フィルタ20は、前 体30の開口部32に取り付けられる保護ガラス( 不図示)に貼付される。なお、光学フィルタ20 に電磁波遮蔽機能を持たせることもある。ま た、光学フィルタ20は、保護ガラスではなく PDP10の画像表示面16側に直接貼付されても良 い。

 図7は、PDP10を駆動するための回路部60の 要を示している。回路部60は、バス電極Xbに 通のパルスを印加するXドライバXDRV、バス 極Ybに選択的にパルスを印加するYドライバYD RV、アドレス電極AEに選択的にパルスを印加 るアドレスドライバADRV、ドライバXDRV、YDRV ADRVの動作を制御する制御部CNTおよび電源部P WRを有している。ドライバXDRV、YDRV、ADRVは、P DP10を駆動する駆動部として動作する。電源 PWRは、ドライバYDRV、XDRV、ADRVに供給する電 電圧Vsc、Vs/2、-Vs/2、Vsa等を生成する。

 制御部CNTは、画像データR0-7、G0-7、B0-7に づいて使用するサブフィールドを選択し、 ライバYDRV、XDRV、ADRVに制御信号YCNT、XCNT、AC NTを出力する。ここで、サブフィールドは、P DP10の1画面を表示するための1フィールドが分 割されたフィールドであり、サブフィールド 毎にサステイン放電の回数が設定されている 。そして、画素を構成するセルC1毎に、使用 るサブフィールドを選択することにより、 階調の画像が表示される。

 このように本実施形態は、低融点ガラス 誘電体層DL1にフォトエッチングで形成した DIにアドレス電極AEを形成することにより、 従来のCVD法による誘電体層にアドレス電極AE エッチングにより形成する方法よりも、短 製造時間で且つ低製造コストでPDP10を製造 ることが可能となる。

 また、本実施形態では、低融点ガラスの 電体層DL1に形成された溝DIに、紫外線硬化 樹脂を含んだ金属材料のペーストをスクリ ン印刷等の手法で充填することにより、ア レス電極AEの幅や位置の形成に対する高精細 化が可能となる。

 なお、本実施形態では、ステップS3にお るアドレス電極AEを形成する溝DIのフォトマ クを用いたパターン露光後の現像において アドレス電極AEが形成される露光された部 のレジストRGを取り除くとしたが、本発明は これに限定されない。アドレス電極AEが形成 れる以外の部分を露光して、露光されなか たアドレス電極AEが形成される部分のレジ トRGを現像液によって取り除いても良い。

 なお、本実施形態では、誘電体層DL2を形 するステップS8を含めて説明したが、本発 はこれに限定されない。ステップS8の工程を 省略し、図1および図3が示すように、アドレ 電極AEおよび誘電体層DL1覆うように直接保 膜PLを形成しても良い。これにより、製造コ ストを削減することが可能となる。

 なお、本実施形態では、溝DIに金属材料 ペーストをアドレス電極AEの電極パターンの 印刷マスクを用いてスクリーン印刷等により 充填したが、本発明はこれに限定されない。 例えば、インクジェット方式を用いて溝DIに 属材料のペーストを充填しても良いし、ま は、レジストRGと溝DIとを覆うように金属材 料のペーストを塗布して溝DIに充填し、紫外 照射による硬化後、溝DIに入らずに残った 属材料をステップS6におけるレジストRGの剥 とともに取り除いても良い。

 なお、本実施形態では、透明電極Xtおよ 透明電極Ytの形は、台形形状としたが、本発 明はこれに限定されない。例えば、透明電極 Xtおよび透明電極Ytは、長方形の形状をして 行き違いになるように互いにD2方向に突出さ せても良い。すなわち、透明電極Xtおよび透 電極Ytの形状は、PDP10に対して要求される性 能に応じて適宜決めることが好適である。

 なお、本実施形態では、隔壁BRのみによ セル構造(ストレートリブ)のPDPの製造方法に ついて述べたが、本発明はこれに限定されな い。各セルC1において放電による紫外線が他 セルC1に漏れないために、各セルC1のD1方向 境界に沿ってさらに隔壁を形成するセル構 (ボックスリブ)のPDPに対しても適用可能で る。

 なお、本発明は、その精神またはその主 な特徴から逸脱することなく他の様々な形 実施することができる。そのため、上述し 実施形態はあらゆる点で単なる例示にすぎ 、限定的に解釈されてはならない。本発明 、特許請求の範囲によって示されるもので って、本発明は明細書本文には何ら拘束さ ない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲 属する変形や変更は、全て本発明の範囲内 ある。

 本発明は、低コストで高精細化が要求さ るプラズマディスプレイパネルに適用でき 。