Bei Koordinatenmessgeräten mit Bildverarbeitung ist es bisher erforderlich, alle oder die wesentlichen Bildverarbeitungsfunktionen durch manuelle Interaktion auszulösen. So erfolgt zum Beispiel das manuelle Speichern des Bildes nachdem das Koordinaten- messgerät in den optimalen Beleuchtungszustand und die richtige Position gebracht worden ist. Nachdem der Bildinhalt manuell abgespeichert wurde, erfolgte ebenfalls eine manuelle Auswahl der zur Messung des Objektes geeigneten geometrischen Strukturen durch Setzen von Fenstern, die den interessierenden Bereich (Area of lnterest) aus- wählen. Dabei ist zu berücksichtigen, dass die Auswahl im Allgemeinen anhand des subjektiven Eindrucks des Benutzers durchgeführt wird, was zu einer zeitaufwendigen und oft auch fehlerbehafteten Messung oder Programmierung führt.

Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zu Grunde, ein Verfahren zum Messen der Objektgeometrie der zuvor genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass die Messungen auch durch ungeübte Bedienpersonal schnell und fehlerfrei durchgeführt werden können.

Zur Lösung des Problems wird u. a. vorgeschlagen, dass bei einer Änderung des Bildinhaltes dieser automatisch nach den zur Messung des Objektes geeigneten geome- trischen Strukturen durchsucht wird und dass die geeigneten Strukturen markiert werden und zur weiteren Auswertung zur Verfugung stehen. Durch das Verfahren wird gegen- über dem Stand der Technik der Vorteil erreicht, dass eine zeitaufwendige Auswahl von für die Messung geeigneten geometrischen Strukturen durch einen Bediener entfällt. Die automatische Durchsuchung nach geometrischen Strukturen wird bei jeder Änderung des Bildinhaltes des optischen Sensors durchgeführt, so dass in dem dargestellten Bildinhalt stets aktualisiert die zur Messung geeigneten geometrischen Strukturen markiert sind.

Insbesondere ist vorgesehen, dass eine Änderung des Bildinhaltes dann erfolgt, wenn eine Änderung der optischen Vergrößerung und/oder der Position von mechanischen Achsen des Koordinatenmessgerätes und/oder der Lichtintensität erfolgt. Hierdurch wird der weitere Vorteil erreicht, dass ein Benutzer beispielsweise bei der Veränderung von Bildverarbeitungsfunktionen stets einen aktualisierten Bildinhalt mit markierten geome- trischen Strukturen zur Messung der Objektgeometrie vorfindet. Vorzugsweise wird die Änderung des Bildinhaltes durch ein Signal repräsentiert.

Insbesondere ist vorgesehen, dass das die Änderung der Bildinhaltes reprasentierende Signal durch eine Steuereinheit einer Zoomoptik des Koordinatenmessgerätes bei Ände- rung der optischen Vergrößerung erzeugt wird. Auch ist vorgesehen, dass das die Änderung der Bildinhaltes repräsentierende Signal durch eine Wechseleinheit wie Revol- verhalterung bei Änderung der optischen Vergrößerung durch Objektivwechse ! erzeugt wird.

In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass das die Änderung der Bildinhaltes repräsen- tierende Signal durch eine Antriebssteuerung wie CNC-Steuerung erzeugt wird, wenn ein Zählerstand zumindest einer Achse des Kordinatenmessgerätes nach einem Posi- tionswechsel länger als eine Totzeit konstant ist. Auch ist vorgesehen, dass das die Änderung der Bildinhaltes repräsentierende Signal durch eine Beleuchtungssteuerung erzeugt wird. wenn ein Lichtsollwert nach einer Beleuchtungsänderung länger als eine Totzeit in einem Toleranzbereich liegt. Auch kann ein zusätzlicher optischer Sensor das die Änderung der Bildinhaltes repräsentierende Signal liefern, wenn die Lichtverhält- nisse konstant sind und hieraus auf Änderung des Bildinhaltes geschlossen wird. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn die Objektgeometrie eine Gitterstruktur aufweist und bei Positionsänderung die Änderung der Lichtverhältnisse an sich konstant ist.

Ferner besteht die Möglichkeit, dass das die Änderung der Bildinhaltes repräsentierende Signal alternativ manuell durch eine Bedienperson, vorzugsweise durch einen Knopf- druck erzeugt wird. Dies ist besonders dann von Vorteil, wenn der Bediener beispiels- weise eine Aktualisierung des Bildinhaltes wünscht, ohne dass die zuvor genannten Änderungen betreffend optische Vergrößerung, Position der mechanischen Achsen oder Lichtverhältnisse, vorgenommen werden.

Um einem Bediener die Möglichkeit zu geben, bestimmte Messungen an der Objekt- geometrie vorzunehmen, ist vorteilhaft die Möglichkeit gegeben, dass der Bediener die markierten geometrischen Strukturen manuell selektieren kann, beispielsweise durch Steuerung eines Bildschirmzeigers mittels einer Eingabevorrichtung wie Maus, Touch- pad, Touchscreen und dgl..

Des Weiteren besteht die Möglichkeit, dass die erfndungsgemäß automatisch markierten geometrischen Strukturen bei erneuter Änderung des Bildinhaltes automatisch in eine Merkmalsliste übernommen werden. Dies ist besonders Sur die Programmierung von Prüfprogrammen von Bedeutung. Des Weiteren besteht vorteilhaft die Möglichkeit, dass die automatisch vorselektierten Elemente manuell gelöscht und durch den Bediener verändert werden können, wobei insbesondere ein interessierender Bereich aus der dargestellten Objektgeometrie beispielsweise eine Kontur durch den Bediener selbst definiert werden kann.

Bei einer besonders bevorzugten Verfahrensweise wird der Bildinhalt automatisch nach Regelgeometrieelementen wie Gerade und/oder Kreis durchsucht. Die automatische Durchsuchung nach Regelgeometrieelementen wie Gerade und Kreis hat den Vorteil, dass diese relativ einfach und schnell aus dem aufgenommenen Bildinhalt selektiert und markiert werden können, wobei diese Regelgeometrieelemente auch anschließend zur Messung der Objektgeometrie, d. h. zur weiteren Auswertung besonders geeignet sind.

Ein weiteres Verfahrensmerkmal mit eigenem erfinderischem Charakter besteht darin, dass zur Identifikation der zur Messung des Objektes geeigneten und relevanten geome- trischen Strukturen ein Vergleich der erfassten geometrischen Strukturen der Objekt- geometrie mit zumindest einem Regelgeometrieelement wie Kreis und/oder Gerade durchgeführt wird und dass diejenigen geometrischen Strukturen der Objektgeometrie markiert werden, die bezüglich des Regelgeometrieelementes eine geringste Formabwei- chung aufweisen.

Ein weiteres eigenerfinderisches Verfahren sieht vor, dass die Markierung der zur Messung des Objektes geeigneten geometrischen Struktur derart erfolgt, dass ein Bildverarbeitungsfenster (Area of Interest) automatisch, vorzugsweise optimiert auf die markierte/detektierte geometrische Struktur wie Geometrieelement oder Kontur ange- passt wird. Vorzugsweise erfolgt die optimierte Anpassung anhand einer vorgegebenen Teiletoleranz. Des Weiteren ist vorgesehen, dass die automatische Anpassung bezüglich Richtung und Proportion der markierten geometrischen Struktur durchgeführt wird.

Durch die Reduzierung auf ein Bildverarbeitungsfenster kann eine genauere Auswertung zur Messung der Objektgeometrie erfolgen. Zu der automatischen Anpassung bezüglich der Teiletoleranz ist anzumerken, dass eine individuelle Einstellung beispielsweise eines Messprogramms bei Bearbeitung von einer Vielzahl gleicher Objektgeometrien erfolgen kann, wobei die zu untersuchenden geometrischen Strukturen der Objektgeometrie, d. h. des Werkstückes möglicherweise Toleranzschwankungen unterliegen, so dass Ein- griffe durch eine Bedienperson möglichst ausgeschlossen werden.

Ein weiteres Verfahrensmerkmal mit eigenerfinderischem Charakter besteht darin, dass aus der Menge der vorselektierten geometrischen Strukturen diejenige automatisch selektiert wird, die am nähesten zur Mitte eines dargestellten Bildausschnittes liegt. Der Vorteil dieses Verfahrensmerkmals liegt darin begründet, dass bei der Messung von Objektgeometrien mit einer Vielzahl von gleichen geometrischen Strukturen wie beispielsweise eines Halbleiterchips mit geätzten Transistorstrukturen durch den Bedie- ner keine Nachbearbeitung der markierten geometrischen Strukturen erfolgen muss, denn erfindungsgemäß wird diejenige geometrische Struktur automatisch selektiert, die am nähesten zur Mitte eines Bildschirmausschnittes liegt und damit zur weiteren Aus- wertung, d. h. zur Messung zur Verfugung steht.

Ein weiteres eigenerfinderisches Verfahren zum Messen einer Objektgeometrie besteht darin, dass in Abhängigkeit von zu vermessenden Objektklassen und/oder einer Be- triebsart des Koordinatenmessgerätes Strategien zur Markierung der zur Messung des Objektes geeigneten geometrischen Strukturen ausgewählt bzw. festgelegt werden.

Objektklassen sind beispielsweise von dem Material des zu vermessenden Objektes abhängig, das aus Metal1, Kunststoff oder anderen Werkstoffen bestehen kann. Auch kann die Oberfläche des zu vermessenden Objektes unterschiedliche Reflektionseigen- schaften und Farben aufweisen, so dass insoweit die Erfassung der Objektgeometrie mittels des optischen Sensors unterschiedliche Qualitäten aufweisen kann. Auch hat die Betriebsart des Koordinatenmessgerätes, wie beispielsweise Auflichtbetrieb oder Durchlichtbetrieb Auswirkungen auf die Darstellung der Objektgeometrie. Strategien zur Durchsuchung des Bildinhaltes nach zur Messung des Objektes geeigneten geome- trischen Strukturen können beispielsweise verschiedene Bildfilter und/oder Konturfilter wie z. B. Dilation, Erosion oder Sobel (-Filter) sein. Dabei wird beispielsweise ein in Form eines Histogramms vorliegender Bildinhalt nach unterschiedlichen Algorithmen auf Konturübergänge untersucht.

Insbesondere ist wiederum durch einen eigenerfinderischen Vorschlag vorgesehen, dass bei automatischem Durchlauf mehrerer Objekte gleicher Art sowohl eine Bildverarbei- tungsalgorithmik, als auch das Bildverarbeitungsfenster um einen Mittelwert der jeweili- gen geometrischen Strukturen angeordnet wird. Auch hierdurch wird die Messung einer Objektgeometrie beschleunigt und Eingriffe durch eine Bedienperson vermieden.

Eine Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens, der ebenfalls ein eigenerfinde- rischer Gedanke zu Grunde liegt, ist darin zu sehen, dass in Abhängigkeit von den zur Messung des Objektes geeigneten geometrischen Strukturen zur Auswertung einer Form wie Kreis, Gerade oder dgl. oder des Maßes, wie Durchmesser, Abstand, Winkel oder dgl. auf verschiedene Verfahren wie Scanning oder punktweise Messung zurückgegrif- fen wird. Als Messverfahren zur Auswertung von Form und/oder Maß können bei- spielsweise Gesamtbildscanning-oder Einzelbildscanningverfahren angewendet werden.

Zur Messung von Maßen bietet sich die Punktmessung an. Um die Selektion der geometrischen Strukturen wie Kontur und/oder Geometrieelemente zu vereinfachen, werden vorhandene Soll-Dateien zum Vergleich herangezogen. In den Solldateien sind Soll-Strukturen bzw. Sollgeometrien gespeichert, die bei der Durchsuchung des Bild- inhaltes mit vorhandenen Ist-Geometrien verglichen werden, wobei vorzugsweise das Prinzip der geringsten Formabweichung zum Vergleich herangezogen wird.

Schließlich zeichnet sich das erfindungsgemäße Verfahren durch ein weiteres, eigen- erfinderisches Verfahrensmerkmal aus, wobei eine dem Bildinhalt zu entnehmende Bildverarbeitungskontur in einem Pixelraster mit zusätzlichen Informationen bezüglich einer Subpixel-Koordinate innerhalb des Pixels versehen wird. Hierdurch kann ins- besondere die Genauigkeit des Messverfahrens erhöht werden, da die Pixelraster oftmals Strukturen aufweisen, die größer sind als die zu vermessenden Strukturen. Dabei können die Konturen durch sogenannte Freeman-Ketten beschrieben werden, wobei zu jedem Byte der Freeman-Kette entsprechende Subpixel-Bytes hinzugefügt werden.

Bei Bildverarbeitungsoperatoren kann sowohl der Freeman-Code als auch die Subpixel- Information verarbeitet werden, wobei gegebenenfalls aus dem Freeman-Code und der Subpixel-Information absolute Koordinaten in Subpixel-Auflösung errechnet werden können. Auch besteht die Möglichkeit, dass die Subpixel-Information in getrennten Vektoren in x-und y-Richtung dargestellt werden.

Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen-für sich und/oder in Kombination-, sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung von den Zeichnungen zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.

Es zeigen : Fig.] eine rein schematische Darstellung eines Koordinatenmessgerätes zum Messen einer Objektgeometrie mit Bildverarbeitungseinheit und Anzeige- einheit ; Fig. 2 einen Ablaufplan eines Verfahrens zum Messen einer Objektgeometrie gemäß der Erfindung ; Fig. 3 die Darstellung einer Objektgeometrie als Bildinhalt durch eine Anzeige- einheit, wobei zur Messung des Objektes geeignete geometrische Struktu- ren markiert bzw. selektiert sind ; Fig. 4 den Bildinhalt einer Objektgeometrie, wobei ein Bildverarbeitungsfenster automatisch optimiert an eine detektierte geometrische Struktur angepasst ist ; Fig. 5 einen Bildinhalt einer Objektgeometrie, wobei ein Bildverarbeitungsfen- ster automatisch optimiert bezogen auf Richtung und Position an eine detektierte geometrische Struktur angepasst ist ; Fig. 6 einen Bildinhalt einer Objektgeometrie, wobei ein Bildverarbeitungsfen- ster automatisch optimiert bezogen auf eine Teiletoleranz an eine detek- tierte geometrische Struktur angepasst ist ; Fig. 7 eine Darstellung des Bildinhaltes eines zu vermessenden Objektes mit regelmäßiger Objektstruktur, wobei diejenige Struktur automatisch selek- tiert ist, die am nächsten zur Mitte eines Bildausschnittes liegt ; Fig. 8a)-c) verschiedene Strategien zur Extraktion geometrischer Strukturen aus einem vorgegebenen Bildinhalt ; Fig. 9 einen Entscheidungsbaum zur Wahl eines Messverfahrens in Abhängig- keit einer vorgegebenen Messaufgabe ; Fig. 10 einen Entscheidungsbaum zur Auswahl einer Kontur-und Merkmals- extraktion in Abhängigkeit von Werkstückklassen und Fig. I I a)-c) die Darstellung einer Objektkontur in einem Pixel-Array gemäß Freeman- Code mit Ergänzung einer Subpixel-Information Fig. 1 zeigt rein schematisch den Aufbau eines Koordinatenmessgerätes 10 zum Messen einer Objektgeometrie eines Objektes 12, wie beispielsweise einer Werkstückgeometrie oder einer Werkzeuggeometrie mittels eines optischen Sensors 14, der im beschriebenen Beispiel als Bildverarbeitungssensor wie Kamera ausgebildet ist und einen Bildinhalt beispielsweise in Grauwerten zur Verfügung stellt. Der optische Sensor 14 ist in x-, y- und z-Richtung mittels eines Positionierungssystems 16 verfahrbar, das über eine Achs- steuerung 18 gesteuert wird. Das Objekt 12 ist auf einer Objekthalterung 20 gelagert und kann beispielsweise rotierbar angeordnet sein.

Zur Steuerung des optischen Sensors 14 ist eine Steuereinheit 22 vorgesehen, mit der beispielsweise eine Änderung der optischen Vergrößerung durchgeführt werden kann.

Ferner ist eine Steuereinrichtung 24 zur Änderung einer Lichtintensität vorgesehen, der das Objekt 12 bei einer Messung ausgesetzt ist. Des Weiteren ist eine an sich übliche Steuereinheit 26 zur Steuerung und Überwachung der weiteren Funktionen des Koor- dinatenmessgerätes 10 vorgesehen.

Zur Verarbeitung der von dem optischen Sensor 14 aufgenommenen Bilder ist eine Bildverarbeitungseinheit 28 mit dem Koordinatenmessgerät 10 verbunden, an der eine Anzeigeeinheit 30 zur Darstellung eines der Objektgeometrie entsprechenden Bildinhal- tes 32 angeschlossen ist. Die Bildverarbeitungseinheit 28 umfasst zumindest einen Ver- gleicher 34, einen Bildspeicher 36, eine Speichereinheit 38 für vorgegebene Regelgeo- metrien sowie eine Speichereinheit 40 für vorgegebene Soll-Daten.

Fig. 2 zeigt den Ablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens. Gemäß eines ersten Ver- fahrensschrittes 42 wird der optische Sensor 14 mittels des Positionierungssystems 16 in eine Position zur Messung des Objektes 12 verfahren. Die Belichtung des Objektes sowie die notwendige Vergrößerung sowie weitere notwendige Einstellungen werden durch die Steuereinheiten 22 und 24 automatisch bzw. von einer Bedienperson manuell eingestellt.

In einem weiteren Verfahrensschritt 44 wird der durch den optischen Sensor 14 aufge- nommene Bildinhalt in einen Bildspeicher 36 eingelesen und gespeichert. Sodann erfolgt in einem nächsten Verfahrensschritt 46 eine Überprüfung, ob sich der Bildinhalt des optischen Sensors 14 ändert Sofern eine Änderung des Bildinhaltes erkannt wird, erfolgt eine automatische Durchsuchung des Bildinhaltes nach den zur Messung des Objektes geeigneten geometrischen Strukturen in einem Verfahrensschritt 48. In einem Verfahrensschritt 50 werden sodann die geeigneten Strukturen markiert, d. h. beispiels- weise durch farbliche Geraden, Kreise oder ähnliche Strukturen hervorgehoben oder beispielsweise mittels eines angepassten Fensters markiert. In einem Verfahrensschritt 52 werden die so markierten/selektierten geometrischen Strukturen zur weiteren Aus- wertung zur Verfügung gestellt, d. h. beispielsweise abgespeichert.

Die Erfassung der Änderung des Bildinhaltes gemäß Verfahrensschritt 46 kann auf verschiedene Arten durchgeführt werden. In bevorzugter Ausführungsform wird auf- grund einer Änderung der optischen Vergrößerung und/oder der Position einer mechani- schen Achse des Positionierungssystems 16 und/oder einer Änderung der Lichtintensität auf die Änderung des Bildinhalts geschlossen. Dabei ist vorgesehen, dass die Steuer- einheit 22 zur Steuerung der Zoomoptik des optischen Sensors 14 ein Signal beispiels- weise über eine Busleitung 54 an die Bildverarbeitungseinheit 28 weiterleitet, so dass entsprechend ein neuer Bildinhalt eingelesen werden kann, der sodann gemäß Ver- fahrensschritt 48 automatisch nach geometrischen Strukturen durchsucht werden kann.

Des Weiteren ist vorgesehen, dass beispielsweise über eine Wechseleinheit 56 wie Revolver bei Änderung der optischen Vergrößerung durch Objektivwechsel ein Signal an die Bildverarbeitungseinheit 28 weitergeleitet wird. Auch ist vorgesehen, dass die Achssteuerung 18 ein Signal zum Erkennen der Änderung des Bildinhaltes liefert, wenn ein Zählerzustand der Achsen nach erfolgter Positionsänderung länger als eine Totzeit konstant ist. Ferner ist vorgesehen, dass die Belichtungssteuerung 24 ein Signal liefert, wenn ein Lichtsollwert länger als eine Totzeit in einem Toleranzbereich liegt. Hierfür kann ein zusätzlicher Sensor 58 vorgesehen sein, der ein Signal liefert, wenn die Lichtverhältnisse konstant sind und hieraus auf Änderung des Bildinhaltes geschlossen werden kann.

Unabhängig davon besteht auch die Möglichkeit, dass die Änderung des Bildinhaltes alternativ manuell beispielsweise durch Knopfdruck einer Bedienperson festgestellt werden kann, nämlich dann, wenn die Bedienperson eine Aktualisierung des dargestell- ten Bildinhaltes wünscht, ohne dass die zuvor erwähnten Änderungen eingetroffen sind.

Zum Verfahrensschritt 48 ist zu erwähnen, dass zur Markierung/ldentifikation der messtechnisch relevaten geometrischen Strukturen ein Vergleich der Konturen/geogra- fischen Elemente des eingelesenen Bildinhaltes mit in der Speichereinheit 38 abgelegten Regelgeometrieelementen wie Kreis und Gerade erfolgt, wobei als Kriterium die geringste Formabweichung herangezogen wird. Mit anderen Worten wird an die aufgenommenen und vorzugsweise in Grauwerten in einer 2D-Matrix dargestellten Bildelemente eine Anpassung vordefinierter Regelgeometrieelemente vorgenommen und bei einer Übereinstimmung oder nahezu Übereinstimmung, erfolgt in Abhängigkeit des Kriteriums der geringsten Formabweichung, eine Markierung der ausgewählten geogra- fi sehen Struktur.

In Fig. 3 ist rein beispielhaft die Objektgeometrie 32 des Objektes 12 auf der Anzeige- einheit 30 dargestellt. Die automatisch selektierten geometrischen Strukturen, im dargestellten Ausführungsbeispiel Geraden und Kreise, sind durch gestrichelte Markie- rungen 60,62,64,66,68,70 dargestellt, die beispielsweise auch farblich gegenüber der Kontur des Objektes abgehoben sein können. Im beschriebenen Aufiihrungsbeispiel wurde der Bildinhalt 32 automatisch nach vorgegebenen Regelgeometrieelementen Gerade und Kreis durchsucht, die sodann automatisch markiert wurden. Die so mar- kierten geometrischen Strukturen können sodann ausgewertet werden, d. h. beispiels- weise Bestimmung eines Radius R der Kreisstrukturen 68,70, Bestimmung eines Winkels a zwischen den Geraden 60,66 oder Bestimmung eines Abstandes D zwischen den Geraden 60, 62.

Alternativ besteht auch die Möglichkeit, dass die automatisch vorgeschlagenen geome- trischen Strukturen bzw. Konturen und Elemente manuell durch eine Bedienperson selektiert werden. Dabei ist vorgesehen, dass die markierten geometrischen Strukturen beispielsweise über einen Bildschirmzeiger durch Steuerung einer Maus selektiert werden. Dadurch kann die Messung der Objektgeometrien auf gewünschte Bereiche eingeschränkt werden. Auch besteht die Möglichkeit, dass die automatisch vorselektier- ten Elemente bzw. Konturen bei erneuter Veränderung des Bildinhaltes beispielsweise durch Verfahren der Positioniereinheit 16, durch Änderung der Belichtung oder der Zoomeinstellung automatisch in eine Merkmalsliste übernommen werden, so dass diese für eine weitere Messung gespeichert und übernommen werden können. Auch können die automatisch vorselektierten Elemente durch die Bedienperson verändert und gelöscht werden oder ein interessierender Bereich aus der Kontur kann durch den Bediener selbst definiert werden.

Zu dem Verfahrensmerkmal 50, d. h. der Markierung/Anzeige der selektierten geome- trischen Strukturen ist anzumerken, dass die Markierung/Selektierung auf unterschied- liche Weise durchgeführt werden kann. Alternativ zu der zuvor erwähnten Markierung durch Geraden bzw. Kreise kann gemäß eines eigenerfinderischen Vorschlags ein Bild- bearbeitungsfenster (Area of Interest) automatisch und optimiert auf die selektierte geometrische Struktur bzw. Geometrieelement/Kontur angepasst werden. Beispiele sind in den Fig. 4 bis 6 dargestellt.

Wird beispielsweise gemäß Fig. 4 in einem ersten Bildinhalt die Kontur des Kreises 68 dargestellt, wird automatisch und optimiert auf die detektierte Kreiskontur ein Bildver- arbeitungsfenster 72 angepasst, wodurch eine sehr genaue Auswertung erfolgen kann.

Ändert sich der Bildinhalt beispielsweise durch Verfahren des optischen Sensors 14, so erfolgt wiederum eine automatische und optimierte Anpassung auf das nunmehr selek- tierte Geometrieelement/Kontur, die gemäß Fig. 5 als Gerade erkannt wird. Es werden Bildbearbeitungsfenster 74,76 angepasst, die entsprechend Richtung und Proportion an die selektierten Geraden 64,66 angepasst werden.

Auch besteht die Möglichkeit, dass ein Bildverarbeitungsfenster 78 anhand einer vorgegebenen Teiletolerenaz A automatisch und optimiert an das detektierte Geometrie- element 68 wie Kreis angepasst wird, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist. Dabei liegt der Kreis mit dem Durchmesser R beispielsweise in einem Toleranzberiech zwischen R-A und R+A, so dass das Bildverarbeitungsfenster 78 an den größeren Radius R+A ange- passt wird. Dies ist insbesondere beim Ablauf eines Messprogramms für eine Serie von gleichen Objekten von Vorteil, da dadurch Eingriffe durch eine Bedienperson weitge- hend ausgeschlossen werden können.

Fig. 7 zeigt den Bildinhalt 80 einer Objektgeometrie mit regelmäßigen geometrischen Strukturen 82, wie beispielsweise bei einem Halbleiterchip, das geätzte Strukturen auf seiner Oberfläche aufweist. Zur Vereinfachung der Auswertung der markierten geome- trischen Strukturen kann gemäß eines Verfahrensmerkmals vorgesehen sein, dass aus der Menge der vorselektierten geometrischen Strukturen 82 diejenige geometrische Struktur 84 automatisch selektiert wird, die am nächsten im Zentrum 86 eines Bildschirmaus- schnittes 88 liegt. Durch die beschriebene Verfahrensmaßnahme wird der Vorteil erreicht, dass keine zusätzlichen Selektionen notwendig werden. Auch ist vorgesehen, dass bei der automatischen Messung mehrerer Objekte 12 gleicher Art eine Bildverarbeitungsalgorithmik und ein Bildverarbeitungsfenster um den Mittel- punkt der jeweiligen Geometrieelemente angeordnet werden.

In Fig. 8 und 9 sind verschiedene Verfahren dargestellt, die in Abhängigkeit von den zu messenden Geometriemerkmalen wie Form oder Maß bei dem erfindungsgemäßen Verfahren verwendet werden können. So ist in Fig. 8 beispielsweise ein Einzelscanning- Verfahren dargestellt, mit dem sowohl Formmerkmale als auch Maße einer Kontur 90 ermittelt werden können. Hierbei wird die Kontur 90 mit einem einzigen Scam-Vorgang erfasst. Bei den in Fig. 9 dargestellten Verfahren handelt es sich um eine Punktmessung, die üblicherweise zur Bestimmung von Maßen wie Durchmesser, Abstand und Winkel verwendet wird. Dabei ist vorgesehen, dass eine Kontur 92 wie Kreiskontur einer Bohrung durch mehrere Einzelmessungen 94,96,98,100 bestimmt wird. Dazu werden die Einzelmessungen 94-100 ausgewertet und mathematisch in Beziehung gesetzt, um beispielsweise Maße eines Objektes wie Durchmesser zu bestimmen. Ferner ist in Fig.

9 ein Scanning-Verfahren dargestellt, mit dem eine Kontur 102 durch sich überlappende Einzelbilder 104 erfasst wird. Auch dieses Verfahren kann sowohl zur Bestimmung von Form als auch Maß verwendet werden. Wie bereits zuvor erwähnt, kann zum Durch- suchen des Bildinhaltes nach zur Messung geeigneten geometrischen Strukturen Regel- geometrien wie Kreise oder Geraden verwendet werden, die in einem Speicher 38 hinterlegt sind. Auch besteht die Möglichkeit, zur Selektion der Kontur bzw. Geome- trieelemente in einem Speicher 40 vorhandene Solldateien zum Vergleich heranzuziehen, so dass bestimmte, vorher ausgesuchte Strukturen auf einfache Weise selektiert werden können.

Eine weitere Verbesserung des Verfahrens zur Messung des Objektes 12 wird dadurch erreicht, dass die Strategien zur Kontur-und Merkmalsextraktion wie beispielsweise Binarisierungsmoden l, 2 oder 3 wie in Fig. 10 dargestellt, in Abhängigkeit von Objekt-bzw. Werkstückklassen, d. h. in Abhängigkeit von deren Werkstoff wie Metall, Kunststoff oder Glas sowie deren Oberflächenbeschaffenheit wie hell oder dunkel und/oder in Abhängigkeit der eingestellten Betriebsart des Koordinatenmessgerätes wie beispielsweise Auflichtverfahren oder Durchlichtverfahren festgelegt sind.

Fig. 11 zeigt ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens, wonach eine in einem Pixelraster 96 dargestellte Kontur 98 des Objektes 12 mittels eines Freeman-Codes beschrieben ist.

Fig. I lb zeigt ein einzelnes Pixel 100 mit den Koeffizienten für die Freeman-Codierung.

In Fig. I I a sind Koeffizienten beispielhaft eingetragen. Die übliche Freeman-Codierung ist jedoch mit dem Nachteil behaftet, dass ein Pixel eines üblichen Pixel-Arrays 96 in der Regel eine Ausdehnung von 5 bis 10 pm aufweist und somit bei Messung von Strukturen'5pm eine hohe Messunsicherheit auftritt. Insoweit besteht die Forderung, auch Informationen über den Verlauf der Kontur innerhalb eines Pixels 98 zu erhalten.

Hierzu wird vorgeschlagen, dass die Bildverarbeitungskontur im Pixelraster mit zusätzli- chen Informationen zur Subpixel-Koordinate innerhalb des Pixel versehen werden. Dazu ist vorgesehen, dass die Konturen 98 in sogenannte Freeman-Ketten, in Fig. I I c darge- stellt, geschrieben werden und zu jedem Byte 102 der Freeman-Kette entsprechende Subpixel-Bytes 104 hinzugefügt werden. Bei anschließenden Bildverarbeitungsoperato- ren wie beispielsweise Zoomen, Autokontrast oder Bildkorrekturfiltern kann sowohl der Freeman-Code 102 als auch die Subpixel-Information 104 verarbeitet werden. Die aus dem Freeman-Code und der Subpixel-lnformation berechnete absolute Koordinate kann in Subpixel-Auflösung errechnet werden. Auch kann die Subpixel-Information in getrennten Vektionen in x-und y-Richtung dargestellt werden.