Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Positionierung eines Wafers mit einer Bezugsmarke in einer Vakuum- prozessanlage gemäss Anspruch 1.

Bei modernen Vakuumprozessanlagen werden kreisrunde, flache Substrate bzw. Werkstücke, die auch als Wafer bezeichnet werden, in solchen vollautomatisierten Vakuumprozesssyste- men oberflächenbehandelt, wie beispielsweise beschichtet, geätzt, gereinigt, thermisch behandelt etc. Um derartige Prozesse zu automatisieren und um mehrstufige Prozesse in verschiedenen Anlagenbereichen durchführen zu können, werden hierbei automatisierte Transportsysteme, eine Art Hand- ling-Roboter, eingesetzt. Insbesondere die Behandlung von Halbleiterwafer erfordert bei derartigen Prozessen eine sehr hohe Qualität der Behandlung, wie insbesondere hohe Reinheit, hohe Präzision und sorgfältiges Behandeln der Substrate. Wegen den erwähnt hohen Anforderungen weisen derartige Anlagen bevorzugt eine Schleusenkammer auf, wo die Wafer von atmosphärischer Umgebung in einen Vakuumraum verbracht werden und danach in eine Prozessstation oder in der Regel nacheinander in mehrere Prozessstationen, um die geforderte Oberflächenbearbeitung vornehmen zu können. Die Wafer werden hierbei mit Hilfe einer Transporteinrichtung in einer horizontalen Transportebene von der Schleusenkammer in die Prozesskammer gebracht, wobei nach Ablegen des Wafers in der Prozesskammer diese in der Regel abgeschlossen wird, um dort den Prozess unter den geforderten Vakuum- und Prozessbedingungen durchführen zu können. Auf die selbe Art und Weise wird, wenn mehrere Prozessschritte benötigt werden, der Wafer wieder aus der einen Prozesskammer her-

austransportiert und für den nächsten Prozessschritt in eine andere Prozesskammer transportiert. Besonders bevorzugte Anlagentypen sind hierbei sogenannte Clustersysteme. Bei derartigen Systemen wird die Schleusenkammer und die Pro- zesskammer bzw. mehrere Kammern um die im wesentlichen zentrale Transportkammer peripher angeordnet. Bei mehr als einer Schleusenkammer und insbesondere bei mehreren Prozesskammern werden diese Kammern in einer Art sternförmigen Anordnung um die zentral liegende Transportkammer angeordnet. Die Transporteinrichtung befindet sich dann in dieser zentral liegenden Transportkammer und hat Zugriff einerseits auf die mindestens eine Schleusenkammer und andererseits auf die Prozesskammern. Zwischen der Transportkammer und den übrigen Kammern wird üblicherweise und bevorzugt ein sogenanntes Schleusenventil angeordnet, um die Kammern gegeneinander beim Schleusenvorgang bzw. beim Prozessschritt gegeneinander abschotten zu können. Beim Transportvorgang eines Wafers greift dann die Transporteinrichtung entsprechend durch die offenen Schleusentore hindurch, um den Wa- fer am gewünschten Ort abzulegen.

Die Transporteinrichtung bewegt den Wafer translatorisch in einer Ebene und somit in zwei Bewegungsrichtungen. Bei den vorerwähnten bevorzugten Clustersystemen mit in der zentra- len Transportkammer angeordneten Transporteinrichtung ist diese üblicherweise als Vorrichtung ausgebildet welche um ein Rotationszentrum dreht und damit die eine rotierende Bewegungsrichtung bildet und welche eine weitere zweite translatorische Bewegung radial zu diesem Rotationszentrum von diesem Rotationszentrum weg und hin ausführen kann. Auf dieser Transporteinrichtung, beispielsweise einem in horizontaler Ebene drehbaren, in der Länge verstellbaren Armme-

chanismus, wird dann der zu transportierende Wafer im Endbereich dieses Armes abgelegt. Eine derartige Anordnung kann dann ohne weiteres auch über grossere Wegdistanzen, beispielsweise in Grössenordnungen von 1 m oder mehr, ei- nen Wafer von einer Schleusenkammer in die Transportkammer und von dort wiederum in die Prozesskammern hinein- und hinaustransportieren und durch die entsprechenden geöffneten Schleusentüren hindurch greifen. Der Wafer wird zu Beginn des Transportzyklus an Atmosphäre auf der Transport- Vorrichtung so präzise wie möglich und immer in der selben Position abgelegt, um diesen danach auch präzise an eine vorbestimmte Position transportieren zu können. Sowohl das Ablegen des Wafers auf der Transportvorrichtung wie auch die Transportvorrichtung selbst ist aber mit einer bestimm- ten Ungenauigkeit bzw. mit Toleranzfehlern behaftet. Weitere Ungenauigkeiten bzw. Verschiebungen der Waferposition auf der Transportvorrichtung können auch in der Prozessstation erfolgen durch Einwirkungen in der Prozesskammer. Aus diesem Grund muss die genaue Position des Wafers erfasst bzw. gemessen werden zur Kontrolle der korrekten Waferposition und / oder um entsprechende Korrekturen für die Positionierung vornehmen zu können. Üblicherweise werden dazu mehrere Sensoren verwendet. Diese Sensoren werden in bekannter Weise unmittelbar im Bereich der Endposition also in der Prozesskammer, wo der Prozess präzise statt finden soll, angeordnet und danach dort auf die Soll-Position endpositioniert. Die Verwendung von mehreren Sensoren und der hohe elektronische Aufwand zusammen mit dem Positionierungsvorgang mit der Transporteinrichtung führt zu sehr grossen Aufwendungen und ausserdem ist damit , je höher der Aufwand der getrieben werden muss, auch die Systemzuverlässigkeit bzw. die Betriebssicherheit der Vakuumprozessanlage

verringert. Dies kann zu Anlagenbetriebsausfällen führen, zu erhöhtem Unterhaltsaufwand und auch zu erhöhten Ausschüssen bei der Produktion von teuren Halbleiterwafern.

Es wurden deshalb immer wieder Lösungen gesucht, einfachere Transportsysteme mit vereinfachtem Positionierverfahren zu realisieren, um den Aufwand zu verringern und die Zuverlässigkeit zu erhöhen. Aus der US 6,760,976 Bl ist ein Verfahren zur Zentrierung eines Halbleiterwafers bekannt gewor- den, bei dem anstelle von mehreren Positioniersensoren ein einzelner Sensor eingesetzt wird. Das Verfahren geht davon aus, dass ein kreisrunder Wafer eingesetzt wird, bei dem der Durchmesser bekannt ist und durch Anfahren der Wafer- kante an den Sensor mindestens zwei Punkte erfasst werden und mit diesen Messergebnissen zusammen mit dem bekannten Waferdurchmesser das tatsächliche Lagezentrum des Wafers ermittelt werden kann. Auf Grund dieser ermittelten Zentrumslage des Wafers kann dann eine Korrektur erfolgen und der Wafer mit der Transporteinrichtung in die gewünschte Soll-Position für den nachfolgenden Prozessschritt gefahren werden. Dieses Verfahren lässt sich anwenden bei kreisrunden Wafersubstraten, bei welchen die Peripherie eine kreisrunde geschlossene Linie aufweist und nicht gestört ist. Halbleiterwafer, wie sie heute verwendet werden, benötigen an der Kreisperipherie eine sogenannte Bezugsmarke, beispielsweise einen sogenannten Fiat welcher der zirkulären Positionserkennung für die Ausrichtung der Bauteile auf dem Wafer und des Wafer selbst dient. Sobald ein Wafer dieser Art bearbeitet werden muss, führt das vorerwähnte Verfahren zu Fehlern bzw. Versagen, wenn vom Sensor Kantenbereiche erfasst werden, die von der kreisrunden Form abweichen.

Dieses Verfahren ist deshalb für Wafer mit Bezugsmarken nicht einsetzbar.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, die vorerwähnten Nachteile des Standes der Technik zu beseitigen. Insbesondere besteht die Aufgabe darin, ein Verfahren zur Positionierung eines Wafers mit einer Bezugsmarke in einer Vakuumprozessanlage durchführen zu können, welches mit hoher Zuverlässigkeit und hoher Präzision arbeitet und eine wirtschaftliche Realisierung ermöglicht.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäss durch ein Verfahren zur Positionierung eines kreisrunden Wafers, der eine Bezugsmarke an der Waferperipherie enthält, nach Anspruch 1 ge- löst. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte Ausführungsformen.

Die Erfindung wird nun nachfolgend beispielsweise und mit schematischen Figuren näher erläutert. Es zeigen:

Fig. Ia ein Wafer, der auf der Halterung einer Transporteinrichtung abgelegt ist in schräger dreidimensionaler Ansicht mit Blick auf die Bezugsmarke des Wafers und in Richtung der einen Bewegungs- richtung

Fig. Ib die Anordnung entsprechend Fig. Ia in Aufsicht

Fig. 2a ein Wafer mit Bezugsmarke und Darstellung der zu- gehörigen in die eine, radiale Transportrichtung projektierten Waferzone und mit den resultierenden freien Zonen

Fig. 2b ein Wafer entsprechend der Fig. 2a mit den Zonen, die sich ergeben bei Verwendung der Transporteinrichtung für verschieden grosse Wafer, wie hier für zwei unterschiedliche Waferdurchmesser

Fig. 3a Messwerte von mehreren Wafer-Ist-Positionen und deren Abweichung von der Soll-Position bei Falscheinstellung des Transportsystems in Polardar- Stellung

Fig. 3b Darstellung der Messwerte entsprechend Fig. 3a abhängig von der Zeit

Fig. 4a Messwerte von mehreren Wafern mit Darstellung der Abweichung von der Soll-Position bei Verschieben des Wafer auf der Transporteinrichtung durch Verkleben bzw. Haften an Abschirmeinrichtungen in Polardarstellung

Fig. 4b Darstellung der Messwerte entsprechend der Fig. 4a im zeitlichen Verlauf

Fig. 5a Messwerte von mehreren Wafern mit Darstellung der Verschiebung von der Soll-Position bei Verschiebefehlern durch eine elektrostatische Halterung, in Polardarstellung

Fig. 5b Darstellung der Messwerte entsprechend Fig. 5a im zeitlichen Verlauf

Kreisförmige bzw. scheibenförmige flache Substrate wie insbesondere Halbleiterwafer 3, beispielsweise Siliziumwafer, weisen üblicherweise eine sogenannte Bezugsmarke 6, oft auch Fiat genannt, auf, mit welcher der scheibenförmige Wa- fer 3 für eine zirkuläre Positionierung bzw. in seiner Drehlage bezogen auf das Zentrum der kreisrunden Waferperi- pherie, erfasst werden kann. Ein solcher Fiat wird üblicherweise als kleiner segmentartiger Abschnitt an der Wa- ferperipherie ausgebildet, so dass Der grösste Anteil der Waferkante als kreisrunde Peripherie verbleibt. Diese grösstenteils kreisrunde Scheibe kann somit an diesem Fiat in seiner Drehlage erkannt bzw. ausgerichtet werden. Eine Bezugsmarke 6 kann beispielsweise auch als Einkerbung an der Waferkante ausgebildet sein.

Solche Halbleiterwafer 3 sind in der Regel einige Zehntel mm dick und weisen Durchmesser auf im Bereich von einigen cm bis einige zehn cm, wie beispielsweise typischerweise üblich im Bereich von etwa 10 bis 30 cm Durchmesser. An die Bearbeitung solcher Wafer 3 in Vakuumprozessanlagen werden sehr hohe Anforderungen gestellt. Insbesondere müssen derartige Wafer 3 sehr präzise im Bereich der Prozessstationen für die Bearbeitung positioniert werden. Die Positionierung mit auftretenden Abweichungen von der Soll-Position müssen auch laufend erfasst werden, um Prozessfehler mit Aus- schussfolgen vermeiden zu können. In Vakuumprozessanlagen zur Bearbeitung von Halbleiterwaferoberflachen werden in der Regel mehrere Prozessschritte nacheinander ausgeführt, wobei dieser Vorgang höchst automatisiert abläuft. Wegen der Empfindlichkeit derartiger Wafer 3 werden diese üblicherweise in einer horizontalen Ebene transportiert, wobei die Ebene der Waferscheibe in der Regel im Wesentlichen

parallel zur Transportebene verläuft oder mit dieser zusammenfällt. Der Wafer 3 wird bei dieser Transportweise auf eine Transporteinrichtung 2, 20, 21 abgelegt und liegt somit nur mit seinem eigenen Gewicht auf einer Waferhalterung 10 auf. Hierdurch werden mit der Halterung nur Bereiche der Waferrückseite berührt und eine Berührung der empfindliche zu bearbeitenden Frontseite vermieden. Ein eigentliches Festhalten des Wafers, beispielsweise an seiner Peripherie, kann damit vermieden werden und die empfindliche Waferober- fläche kann dadurch vor allem auch im empfindlichen Kantenbereich geschont werden. In derartigen Vakuumprozessanlagen werden Wafer 3 über eine Schleusenkammer in den Vakuumbereich eingeschleust und dann von dieser Schleusenkammer in die entsprechenden Transportkammern mit Hilfe einer Trans- porteinrichtung 2, 20, 21 in die Prozesskammer transportiert, wo sie mit entsprechenden Vakuumprozessen bearbeitet werden, wie beispielsweise Beschichtungs- und / oder Ätzprozesse. Um einen weiteren Prozessschritt durchführen zu können, wie beispielsweise eine zweite Beschichtung, ohne den Wafer 3 aus der Anlage herausbringen zu müssen, wird der Wafer 3 mit der Transporteinrichtung in die nächste Prozesskammer geführt, dort abgelegt und dann bearbeitet. Je nach Anforderung und Ausbildung der Vakuumprozessanlage können auf diese Art und Weise mehrere Prozessschritte au- tomatisch nacheinander durchgeführt werden. Besonders bevorzugte Vakuumprozessanlagen sind sogenannte Clustersyste- me . Derartige Anlagen weisen eine im wesentlichen zentral liegende Transportvakuumkammer auf, in welcher eine Transporteinrichtung 2, 20, 21 angeordnet ist für die Aufnahme und Bewegung eines Wafers 3 in einer Transportebene, wobei an dieser mindestens zwei Prozesskammern oder mehrere Kammern angeordnet sind und die Wafer nacheinander in diese

Prozesskammer hineintransportiert werden zur Bearbeitung. An der im Wesentlichen zentral angeordneten Transportkammer ist mindestens eine weitere Kammer angeordnet, welche eine Vakuumschleuse bildet. Die Schleusenkammer und die Prozess- kammer wird mit Elementen zur Abschottung der verschiedenen Vakuumatmosphären wie beispielsweise mit Schleusen versehen, welche es ermöglichen den Wafer 3 mit Hilfe der Transporteinrichtung in die entsprechenden Kammern einzubringen. Hierbei greift die Transporteinrichtung durch diesen Be- reich hindurch. Und entfernt sich wieder aus diesem Bereich, wenn der Wafer abgelegt worden ist zum Bearbeiten und / oder Einschleusen in das System. Bei derartigen Anlagen wird eine Transporteinrichtung in der zentral liegenden Transportkammer der Vakuumprozessanlage derart angeordnet, dass sie auf die verschiedenen peripher angeordneten Kammern zugreifen kann. Die Transporteinrichtung 2, 20, 21 wird hierbei bevorzugt als Transportarm 21 ausgebildet, welcher um ein Rotationszentrum 20 mit vertikaler Achse in der Transportkammer angeordnet rotieren kann und hierbei in radialer Richtung von diesem Zentrum 20 hin oder weg bewegt werden kann wie dies in Fig. Ib mit den Richtungspfeilen beim Transportarm 21 dargestellt ist. Die Transporteinrichtung 2 mit daran angeordnetem Transportarm 21, welcher die radiale Auslenkung ermöglicht, kann auf verschiedene Art und Weise wie beispielsweise als scherenartiges Auslegersystem oder als balgförmiges, linear radial bewegliches System ausgebildet sein. Für die Rotationsbewegung um das Rotationszentrum 20 und die radiale Bewegung der Transporteinrichtung 2, 20, 21 werden in bekannter Weise gesteuerte Antriebe verwendet wie beispielsweise elektronisch gesteuerte Elektromotorantriebe, welche eine präzise Steuerung und Positionierung ermöglichen.

Zum Transportieren wird der Wafer 3 am Endbereich der arm- förmigen Transporteinrichtung, an der vom Rotationszentrum 20 abgewandten Armseite, auf einer daran angeordneten Wa- ferhalterung 10 in vorgegebener definierter Position gegenüber der Halterung 10 abgelegt. Die abzulegenden Wafer 3 müssen immer in derselben Position auf der Waferhalterung 10 abgelegt werden. Die Wafer werden diesbezüglich entsprechend ihrer Bezugsmarke 6 auf der Halterung 10 ausgerichtet und immer wieder gleich abgelegt. Somit ist auch die Lage des Waferzentrums 12 definiert, da der Wafer 3 kreisrund ist und dieser einen vorbekannten Waferdurchmesser aufweist. Neben dem Waferzentrum 12, welches die Soll-Position des Wafer 3 darstellt, ist auch die Waferkante bzw. die Wa- ferperipherie festgelegt. Beim Ablegen des Wafer 3 auf die Halterung 10 können bereits gewisse Ungenauigkeiten auftreten. Zusätzlich ist auch die Transporteinrichtung 2, 20, 21 mit gewissen Toleranzen behaftet. Weitere Probleme entstehen, wenn der Wafer beispielsweise in der Prozesskammer durch bestimmte Einflüsse beim Ablegen und wieder Aufnehmen gegenüber der ursprünglichen Soll-Position 12 leicht verschoben wird. Um derartige Fehler bzw. Abweichungen von der Soll-Position des Waferzentrum 12 feststellen zu können und entsprechende Korrekturmassnahmen vornehmen zu können, muss die tatsächliche Ist-Position des Wafers erfasst und kontrolliert bzw. mit der Soll-Position verglichen werden. Hierzu dient ein einzelner Sensor 1, der Positionspunkte an der Waferkante detektiert, wie dies in Fig. 1 schematisch dargestellt ist. Hierzu kann beispielsweise ein optischer Sensor 1 verwendet werden, der unterhalb oder vorzugsweise oberhalb des Wafers angeordnet ist und berührungslos beim Verschwenken des Wafers in der Transportebene das erschei-

nen der Kante des Wafers 3 erfasst. Für die Erfassung der Ist-Position des Waferzentrum 12 werden zwei Detektions- punkte 4, 5 an der Waferkante erfasst. Durch Bewegen des Wafers 3 unter dem Sensor 1 in die eine Bewegungsrichtung, beispielsweise Rotieren um das Rotationszentrum 20, wird ein erster Detektionspunkt 4 bzw. 5 ermittelt und durch Bewegen des Wafer 3 in radialer Richtung hin oder weg vom Rotationszentrum 20 entlang der Detektionslinie 23 wird ein zweiter Detektionspunkt 5 ermittelt. Da der Wafer 3 kreis- rund ist und der Durchmesser des Wafer 3 bekannt ist, kann somit mit Verwendung der Positionserfassung der Transporteinrichtung 2, 20, 21 in Kombination mit dem Detektions- signal des Sensor 1 die wahre Position des Wafers 3 bzw. des Waferzentrums 12 ermittelt werden. Erfindungsgemäss muss hierbei darauf geachtet werden, dass die zu detektie- rende Waferkante ausschliesslich auf den kreisrunden Bereich des Wafer 3 begrenzt wird. Der Kantenbereich der Bezugsmarke 6 muss für diesen Messvorgang vermieden werden. Ausserdem muss dafür gesorgt werden, dass die Waferhalte- rung 10 nicht den zu messenden Bereich stört, wenn der Sensor auf der Seite der Halterung angeordnet ist. Die Bezugsmarke 6 eines Wafer 3 ist üblicherweise als segmentartiger Abschnitt der Waferscheibe ausgebildet, kann beispielsweise aber auch kerbförmig ausgebildet sein.

Die Bezugsmarke 6 wird bevorzugt symmetrisch zur Achse der einen Bewegungsrichtung angeordnet, wodurch die Breite der Bezugsmarke in Bewegungsrichtung projiziert auf der Oberfläche des Wafer 3 eine unerlaubte Zone 22, wie in Fig. 2a schraffiert dargestellt, definiert. An sich könnte die Bezugsmarke 6 auch asymmetrisch zu dieser einen Bewegungsrichtung angeordnet werden auf der Halterung 10 der Trans-

porteinrichtung, dies würde dann aber zu komplizierteren Bereichen führen, welche die unerlaubte Zone 22 bilden, weil in diesem Fall die Projektionen von zwei überlagerten Bewegungsrichtungen berücksichtigt werden müssten. Bei der bevorzugten Transporteinrichtung mit Rotationszentrum 20 und mit um diesem drehenden radial beweglichem Transportarm 2, 21 wird der Wafer 3 mit seiner Bezugsmarke 6 bevorzugt, derart auf der Halterung abgelegt, dass die Bezugsmarke 6 gegen das Rotationszentrum 20 gerichtet ist und im weiteren bevorzugt symmetrisch zur Achse der radialen Transportrichtung des Transportarm 21 abgelegt ist, wie dies in Fig. Ib schematisch dargestellt ist.

Entsprechend dem in Fig. Ib dargestelltem Beispiel ergeben sich dann, wie in Fig. 2a dargestellt ist Zonen 7, 22 auf der Waferoberfläche, die bestimmt werden durch die Bezugsmarke 6 des Wafer 3 und die eine radiale Bewegungsrichtung durch die Projektion der Bezugsmarke 6 welche eine unerlaubte schraffierte Zone 22 darstellt, die von der Bezugs- marke 6 bis auf die gegenüberliegende periphere Kante des Wafers 3 reicht. Die daraus sich ergebenden seitlich zur unerlaubten Zone 22 beiden segmentartigen freien Zonen 7 weisen somit ausschliesslich Kantenbereiche auf, die auf einer Kreislinie liegen. Erfindungsgemäss wird die Trans- porteinrichtung 2, 20, 21 mit dem darauf abgelegten Wafer 3 derart gegenüber dem an vorbestimmter Position angeordnetem Sensor 1 positioniert und geführt, dass beim Erfassen der Waferkante ausschliesslich die beiden Detektionspunkte 4, 5 an der Waferperipherie der sogenannten freien Zonen 7 de- tektiert und für die Positionserfassung ausgewertet werden. Die Toleranzbänder der Ungenauigkeit der Transporteinrichtung selbst und der ungenauigkeit der Waferablage auf der

Halterung 10 werden mit Vorteil zusätzlich berücksichtigt bei der Festlegung der Grösse der Fläche dieser freien Zonen 7, beispielsweise durch überlagern der zugehörigen Flächen, was in den Figuren nicht dargestellt ist. Der Sensor 1 für die Erfassung der beiden Detektionspunkte 4, 5 an der Waferkante wird mit Vorteil in der Transportkammer im Einschleusbereich vor der Prozesskammer angeordnet. Es ist von Vorteil, den Wafer, nach dem er in er Prozesskammer bearbeitet worden ist, aus dieser herauszutransportieren in die Zwischenkammer, dann zu vermessen und aus den Messergebnissen die Trendanalyse zu erstellen und dann entsprechend den Ergebnissen, wenn ein bestimmter Abweichungsgrad ermittelt worden ist, entsprechende Korrekturmassnahmen zu ergreifen, wie vorzugsweise die Nachführung der Positionierung zur Präzisierung der Positionierung und / oder beispielsweise aber auch andere geeignete Massnahmen am System bei den nächsten Transport- und / oder Prozessschritten.

Die Vakuumprozessanlage mit der Transporteinrichtung kann auch universell ausgelegt werden zur Verarbeitung von Wa- fern 3 mit verschieden grossen Durchmessern. Um die freien erlaubten Zonen 7 für die erfinderische Positionierungseinrichtung festlegen zu können, wird in diesem Fall der grösste zu bearbeitende Wafer 3 und der kleinste zu bear- beitende Wafer 8 in Projektion übereinander gelegt betrachtet und an den beiden Bezugsmarken 6 ausgerichtet, wie dies in Fig. 2b dargestellt ist. Die sich ergebende freie Zone für die Anordnung der zulässigen Messpositionen ergibt sich dann aus den gebildeten freien Zonen 9 der sogenannten Überlappungszone, die durch den kleinsten zu bearbeitenden Wafer 8 bestimmt wird. Die Waferhalterung 10 sollte auch hier, wie bereits erwähnt, unterhalb der verbotenen Zone 22

angeordnet sein. Um eine hohe Messgenauigkeit zu erreichen, ist es sinnvoll, die Messpunkte weit auseinander liegend zu wählen, wobei aber dieser Abstand nicht grösser als der Wa- ferdurchmesser sein kann.

Die präzise Auswertungsmöglichkeit durch das vorliegende Positionierungsverfahren erlaubt nun zusätzlich verschiedene Betriebszustände in der Vakuumprozessanlage und insbesondere in der Prozesskammer zu ermitteln. Mit Hilfe von entsprechenden Analysen der Ergebnisse können einerseits ganz bestimmte Vorgänge zugeordnet und festgestellt werden und es können zusätzlich Trendanalysen durchgeführt werden. Der sichere Betrieb einer derartigen Prozessanlage kann dadurch ganz wesentlich gesteigert werden. Beispielsweise können rechtzeitig Korrekturmassnahmen ergriffen werden, wodurch die Qualität der Produktion erhalten bleibt bei längerer Produktionszeit und andererseits kann rechtzeitig erkannt werden, wenn präventiv Unterhaltsarbeiten notwendig werden, bevor Ausschuss produziert wird oder gar Schäden an der Prozessanlage entstehen. Werden beispielsweise mehrere Waferpositionen nacheinander ausgewertet und es wird festgestellt, dass die Soll-Position 12 des Wafer 3 regelmässig um einen ähnlichen Betrag des Verschiebevektors 11 verschoben wird und der Betrag des Vektors in etwa in der selben Grössenordnung liegt, wie dies in Fig. 3a in Polardarstellung dargestellt ist, dann kann daraus gefolgert werden, dass der Wafer 3 an einem bestimmten Anlagenteil, beispielsweise in der Prozessstation, berührt bzw. touchiert und dadurch eine Verschiebung der Waferposition auftritt. In diesem Fall ist die Verschiebelänge bzw. der Verschiebeweg des Verschiebevektors in etwa gleich gross über die An-

zahl der Messwerte bzw. über die Zeit, wie dies in Fig. 3b schematisch aufgezeigt ist.

In Fig. 4a ist ein weiteres Beispiel dargestellt, bei wel- chem in Polardarstellung mehrere Messwerte einer Verschiebung der Soll-Position des Waferzentrum 12 dargestellt sind, wobei die Verschieberichtung in etwa die selbe ist und sich innerhalb einer bestimmten Bandbreite des Vektorwinkels 15 aufhält, wobei die Verschiebungsweglänge unter- schiedlich ist. In Fig. 4b ist dargestellt, dass sich diese Verschiebungslänge über den Verlauf der Zeit und die Anzahl der Messwerte 24 vergrössert. Dieses Verhalten ist beispielsweise typisch für das Haften bzw. partielle Verkleben des Wafer 3 an einer Abschirmung, wie sie in Beschichtungs- prozessstationen benötigt wird. Das bei der Beschichtung immer stärker aufwachsende Material an Abschirmungen oder Blenden führt dazu, dass ein Wafer beispielsweise durch eine Art anlöten daran haften kann und sich dieser mit dem immer stärkeren Aufwachsen der Schicht weiter weg ver- schiebt. Die Auswertung der Messresultate ermöglicht beispielsweise das erkennen des Zeitpunktes wann Anlagenbetrieb unterbrochen werden muss, um die Abschirmung zu reinigen oder zu ersetzen. Das rechtzeitige erkennen dieses Betriebszustandes ermöglicht beispielsweise die Vermeidung von Produktionsausschuss .

In der Polardarstellung der Fig. 5a sind Messwerte 24 gezeigt, die sich statistisch in alle Richtungen verteilen mit unterschiedlichen Verschiebelängen 11 des Wafers 3. Die Verschiebelängen 11 über die Zeit dargestellt in Fig. 5b zeigen auf, dass die Verschiebelänge mit der Zeit zunimmt. Dies ist ein typisches Problem welches bei sogenannten

elektrostatischen Waferhalterungen auftritt. Das Problem verstärkt sich im Laufe der Betriebszeit und die Performance der Haltewirkung sinkt. Auch aus diesem Beispiel können entsprechende Massnahmen rechtzeitig abgeleitet werden bei Überschreiten eines vorgegebenen Masses. Wie die dargestellten Beispiele zeigen, kann durch einfaches Messen des Verschiebevektors 11, also sowohl durch Messen der Vektorrichtung wie auch dessen Länge, mit mehreren Messungen über die Zeit, die Ursache ermittelt werden welche die fehler- haften Vorgänge auslösen. Es können somit gezielt und präzise die entsprechend notwendigen Korrekturmassnahmen abgeleitet und ergriffen werden.