Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugs, Werkzeug, Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks, Werkstück Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugs für die Bearbeitung eines Werkstücks sowie ein Werkzeug. Daneben betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks sowie ein Werkstück. Die Erfindung befasst sich mit der Aufgabe, ein Werkstück, insbesondere ein metallisches Werkstück wie etwa ein Bau- teil, mit einer Topographie im unteren Mikro- und/oder im Nanometerbereich zumindest teilweise zu strukturieren. In dieser Größenordnung sind eine Vielzahl biologischer Ober- flächen strukturiert, die jeweils ganz eigene funktionelle Oberflächeneigenschaften hervorbringen, wie z.B. veränderte Benetzung (Lotus, Dornteufel), Farbeffekte (Schuppen der Schmetterlingsflügel), reduzierte Reibung (Haifisch-Haut), reduzierte Anhaftung/aktives Töten von Keimen und Krank- heitserregern (Flügel der Zikade und Libelle). Die Topogra- phien in dieser Größenordnung werden daher auch als biomi- metische Topographien bezeichnet. Viele dieser Oberflächen- eigenschaften werden neben der Topographie der Oberfläche selbst ebenso von der Oberflächenchemie beeinflusst. Im Rahmen der industriellen Oberflächenstrukturierung von Werkstücken mit Topographien in der genannten Größenordnung ist es derzeit nur möglich, die Werkstücke unmittelbar mit- tels mindestens zweier miteinander interferierender Laser- strahlen zu bearbeiten. Durch diese im Wesentlichen thermi- sche Bearbeitungsform erfährt die Oberfläche des Werkstücks bei der Bearbeitung neben der topographischen zusätzlich eine chemische Modifikation, die der gewünschten Funktion oder Weiterverarbeitung des Werkstücks entgegen wirken kann. Insofern kann die gewünschte Funktionalisierung der Werkstückoberfläche mittels der direkten Bearbeitung durch die interferierenden Laserstrahlen nicht immer gewährleis- tet werden, insbesondere im Falle metallischer Werkzeuge, da hier aufgrund der elektromagnetischen Absorptionseigen- schaften von Metallen die thermische Wirkung der Laser- strahlung besonders ausgeprägt ist. Die Aufgabe der Erfindung besteht daher darin, ein Verfah- ren zur Herstellung eines Werkzeugs zu entwickeln, mit dem eine verbesserte Oberflächentopographie des Werkstücks in der industriellen Anwendung herstellbar ist, insbesondere mit dem eine mikro- und/oder nanoskalige topographische Oberflächenfunktionalisierung des Werkstücks realisierbar wird, die erweiterte Gestaltungsmöglichkeiten bei reduzier- ter thermischer und chemischer Werkstückbeeinflussung im Vergleich zur unmittelbaren Bearbeitung mittels Laserinter- ferenz ermöglicht. Entsprechendes gilt für das mit dem ge- nannten Verfahren hergestellte Werkzeug, für das mit dem Werkzeug durchgeführte Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks und für das insofern bearbeitete Werkstück selbst. Die Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung eines Werkzeugs für die Bearbeitung eines Werkstücks gemäß Anspruch 1, durch ein Werkzeug gemäß An- spruch 12, durch ein Verfahren zur Bearbeitung eines Werk- stücks mittels des Werkzeugs gemäß Anspruch 15 und ein be- arbeitetes Werkstück gemäß Anspruch 22. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Werk- zeugs für die Bearbeitung eines Werkstücks sieht vor, dass ein metallischer Werkzeugrohling in einer Laserbearbei- tungsvorrichtung bereitgestellt wird und die Laserbearbei- tungsvorrichtung den Werkzeugrohling an einer Werkzeugober- fläche mittels Interferenz von mindestens zwei Laserstrah- len strukturiert, wobei die mindestens zwei Laserstrahlen zumindest zeitweise Pulsdauern von höchstens 15 ps aufwei- sen und wobei durch die Strukturierung auf der Werkzeug- oberfläche ein Werkzeugprofil mit mindestens einer Vertie- fung erzeugt wird. Das erfindungsgemäße Werkzeug ist nach dem erfindungsgemäßen Verfahren strukturiert. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bearbeitung eines Werk- stücks mittels eines Werkzeugs sieht vor, dass das Werkzeug nach dem erfindungsgemäßen Verfahren strukturiert ist, ins- besondere dass das Werkzeug ein erfindungsgemäßes Werkzeug ist. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bearbeitung des Werkstücks sieht weiter vor, dass das Werkstück mittels des Werkzeugs zumindest bereichsweise plastisch verformt wird und dabei mit einem Werkstückprofil versehen wird, das zu- mindest bereichsweise zu dem Werkzeugprofil korrespondiert. Das erfindungsgemäße Werkstück ist nach dem erfindungsgemä- ßen Verfahren bearbeitet. Die Erfindung basiert auf dem Grundgedanken, dass in Abkehr von der bereits bekannten unmittelbaren Strukturierung des Werkstücks mittels der interferierenden Laserstrahlung nun- mehr zunächst das Werkzeug durch die beschriebene Struktu- rierung hergestellt wird und dann, in einem nächsten Schritt, eine Strukturierung des Werkstücks selbst erfolgen kann. Wesentlicher Kern der Erfindung ist, dass eine Wech- selwirkung der Laserstrahlung mit der letztendlich zu strukturierenden Werkstückoberfläche vermieden wird, so dass die aus dem Stand der Technik bekannte, nachteilige chemische Modifikation der Werkstückoberfläche ausbleibt, gleichwohl deren gewünschte Funktionalität erhalten bleibt bzw. überhaupt erst gewährleistet werden kann. Die Erfin- dung erzeugt die Strukturierung der Werkstückoberfläche, insbesondere einer metallischen Substratoberfläche, bei- spielsweise im unteren Mikro- und/oder Nanometerbereich durch plastische Verformung, welche sich gerade nicht auf die Oberflächenchemie auswirkt. Somit wird lediglich die Topographie des metallischen Substrates modifiziert, ohne die grundlegende chemische Interaktion mit in Kontakt tre- tenden Stoffen, z.B. Benetzung durch Wasser oder Öle, zu beeinflussen. Die vorliegende Erfindung macht eine bis dato nicht realisierbare rein topographische Oberflächenfunktio- nalisierung für die industrielle Anwendung zugänglich, die sich insbesondere für eine Weiterverarbeitung der Oberflä- chen via Galvanisierung, PVD, etc. eignet. Untersuchungen der Anmelderin haben gezeigt, dass durch die im Rahmen der Erfindung erfolgte, im Wesentlichen plasti- sche Bearbeitung des Werkstücks keine nennenswerte chemi- sche Modifikation des Werkstücks stattfindet, wie sie bis- lang mit den bekannten Verfahren aus dem Stand der Technik zwingend einherging. Beispielsweise hat sich nach Studien der Anmelderin gezeigt, dass sich die Benetzungseigenschaf- ten eines erfindungsgemäß bearbeiteten Werkstücks deutlich von den Benetzungseigenschaften eines mittels direkter La- serinterferenzstrukturierung bearbeiteten Werkstücks unter- scheiden, was auf die Vermeidung einer chemischen Oberflä- chenmodifikation im Falle der Erfindung zurückzuführen ist. Ein weiterer Grundgedanke der Erfindung ist, dass durch die Verwendung von miteinander interferierender Laserstrahlen zur Herstellung des Werkzeugs durch dessen Strukturierung eine große Werkzeugoberfläche in kurzer Zeit bearbeitet werden kann, so dass im Ergebnis die Prozesseffizienz des erfindungsgemäßen Verfahrens verbessert ist. Insbesondere kann das Werkzeug in kurzer Bearbeitungszeit mit einer vollflächigen Oberflächenstrukturierung im Mikro- und/oder Nanometerskalenbereich versehen werden, was gegenüber ande- rer bestehender hochpräziser Bearbeitungsverfahren, wie fo- kussierter Laser- oder Ionenstrahlung, zu einer deutlich höheren Prozesseffizienz und damit niedrigeren Werkzeugkos- ten führt. Dieser Vorteil ist insbesondere im Vergleich ge- genüber einer Strukturierung des Werkzeugs mit lediglich einem einzigen Laserstrahl ersichtlich, der aufwändig die gesamte zu strukturierende Werkzeugoberfläche entlang ge- lenkt werden muss, was das Verfahren mühselig und langsam macht. Weitere Vorteile gegenüber der unmittelbaren Strukturierung der Werkstücke sind zudem insbesondere eine höhere Vielfalt an möglichen Topographiegeometrien der Werkstücke, bei- spielsweise durch partielles Abformen mit niedrigem Kon- taktdruck und Mehrfachprägen mit variabler Strukturierung des Werkzeugs, sowie der niedrigeren Prozesszeit für Struk- turen mit hoher Tiefe bzw. Aspektverhältnis. Insbesondere die letztgenannte Strukturform kann bei einem rein ablati- ven Laserverfahren mitunter zu sehr langen Prozesszeiten führen, während das Prägen diese in einem Hub realisieren kann. Da die Bearbeitung des Werkstücks durch das strukturierte Werkzeug und nicht mehr wie bei den bekannten Verfahren un- mittelbar mittels Laserstrahlung erfolgt, wird auch eine deutliche Verbesserung des Arbeitsschutzes in der industri- ellen Anwendung erzielt. Durch die erfindungsgemäße Verwendung von Laserpulsen mit einer zeitlichen Pulsdauer von höchstens 15 ps werden ther- mische Effekte bei der Wechselwirkung zwischen der Laser- strahlung und der Werkzeugoberfläche größtenteils vermie- den, was insbesondere die Entstehung von Schmelzen und thermisch induzierten Materialschäden, insbesondere Span- nungsrissen, verhindert. Es ist bekannt, dass bei kürzeren Pulsdauern thermische Effekte zunehmend vernachlässigt wer- den und das Werkzeug zunehmend mechanisch bearbeitet wird. Dieser Effekt wird daher auch als kalte Ablation bezeich- net. Unter diesem Gesichtspunkt kann vorgesehen sein, dass die zeitliche Pulsdauer der Laserstrahlen höchstens 10 ps beträgt, so dass noch weniger thermische Effekte auftreten. Daneben wird die Genauigkeit der Struktur verbessert. Aus dem gleichen Grund ist höchst vorzugsweise vorgesehen, dass die zeitliche Pulsdauer der Laserstrahlung höchstens 1 ps beträgt, wodurch eine noch bessere Oberflächenqualität der Werkzeugstrukturierung erhalten werden kann. Vorzugsweise ist eine zeitliche Pulsdauer zwischen 100 fs und 15 ps, insbesondere zwischen 100 fs und 1 ps vorgesehen. Weiterhin kann die Leistung der Laserstrahlung zwischen 1 W und 500 W betragen und/oder die Energie der Pulse der Laserstrahlung kann zwischen 10 µJ und 100 mJ betragen. Bei der erfin- dungsgemäßen Erzeugung der Strukturierung können zwischen 10 bis 1000 Einzelpulse in einem räumlichen Bereich überla- gert werden, um hohe Strukturaspektverhältnisse durch einen entsprechend hohen Materialabtrag zu erhalten. Weiterhin kann vorgesehen sein, dass zur Strukturierung des Werkzeugs genau zwei miteinander interferierende Laser- strahlen verwendet werden. Eine Weiterentwicklung der Er- findung sieht vor, dass drei miteinander interferierende Laserstrahlen verwendet werden, wodurch beispielsweise eine Strukturierung des Werkzeugs mit Vertiefungen in einem he- xagonalen Muster erzeugbar ist. Die Strukturierung weist in diesem Fall drei Achsen entlang der Oberfläche auf, entlang derer die Vertiefungen jeweils in einer lateralen Periode angeordnet sind, wobei im Sinne der Erfindung bei dem hexa- gonalen Muster die lateralen Perioden für die drei Achsen jeweils identisch sind. Daneben kann vorgehen sein, dass vier miteinander interferierende Laserstrahlen verwendet werden, um ein quadratisches Muster der Vertiefungen bei der Strukturierung des Werkzeugs zu erzeugen. Schließlich kann vorgesehen sein, dass höchstens neun miteinander in- terferierende Laserstrahlen verwendet werden. Das Werkzeug kann ein Stanz- oder Umformwerkzeug sein, wo- bei entsprechend die Bearbeitung des Werkstücks ein Stanz- oder Umformverfahren, insbesondere ein Prägeverfahren, sein kann. Vorzugsweise wird die mindestens eine Vertiefung mit einer Abmessung, insbesondere mit einer Tiefe gegenüber einem un- strukturierten Bereich der Werkzeugoberfläche zwischen 10 nm und 50 µm, insbesondere zwischen 100 nm und 15 µm, er- zeugt. In weiteren Ausführungsformen der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Abmessung der Vertiefung deren Länge in x- und/oder y-Richtung entspricht, wobei im Sinne der Erfindung bei mehreren Vertiefungen die y-Richtung der Versatzrichtung der Vertiefungen entspricht, während die x- Richtung senkrecht hierzu angeordnet ist. Die x- und die y- Richtungen stehen jeweils senkrecht zur Normale der Werk- zeugoberfläche und erstrecken sich damit jeweils entlang der Werkzeugoberfläche. Als Abmessung kann im Sinne der Er- findung auch eine Kombination der x- und der y-Richtung be- zeichnen, die insofern einer allgemein lateralen Richtung entspricht. Vorzugsweise werden zumindest zwei Vertiefungen mit im We- sentlichen identischen Abmessungen, insbesondere mit im We- sentlichen identischen Tiefen erzeugt. Im Sinne der Erfin- dung weisen zwei Abmessungen im Wesentlichen identische Ab- messungen auf, wenn deren Abweichungen nicht über die in vergleichbaren Verfahren übliche Bearbeitungstoleranz hin- ausgehen. Mindestens zwei benachbarte Vertiefungen können in einem Abstand von 10 nm bis 50 µm, insbesondere 100 nm bis 15 µm, angeordnet werden. Durch das insofern struktu- rierte Werkzeug lassen sich auf dem Werkstück Strukturgeo- metrien in der Größenordnung zwischen 10 nm und 50 µm, ins- besondere zwischen 100 nm und 15 µm, in einer industriell relevanten Prozessgeschwindigkeit bei gleichzeitig gewähr- leisteter Reproduzierbarkeit realisieren. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass zumindest eine Gruppe von Vertiefungen in einem periodischen Muster auf der Werkzeug- oberfläche erzeugt wird, da diese Struktur besonders ein- fach mittels der miteinander interferierenden Laserstrahlen erzeugbar ist. Im Kontext der vorliegenden Erfindung be- zeichnet die Periode den Abstand zwischen zwei identischen Strukturmerkmalen unterschiedlicher Vertiefungen des perio- dischen Musters, also beispielsweise den Abstand zwischen dem Beginn einer ersten Vertiefung des periodischen Musters und dem Beginn der benachbarten Vertiefung des gleichen pe- riodischen Musters. Alternativ oder zusätzlich kann die Pe- riode im Sinne der Erfindung den Abstand zwischen einem Mittelpunkt der ersten Vertiefung des periodischen Musters zu dem Mittelpunkt der hierzu benachbarten Vertiefung des gleichen periodischen Musters bezeichnen. Da die Vertiefun- gen des periodischen Musters lateral versetzt sind, wird im Sinne der Erfindung auch von der lateralen Periode gespro- chen, die wie bereits gesagt den Abstand wiederkehrender Strukturmerkmale benachbarter Vertiefungen des periodischen Musters bezeichnet. In einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Gruppe von Vertiefungen in dem periodischen Muster auf der Werkzeugoberfläche mit einer Periode zwischen 10 nm und 50 µm, insbesondere zwischen 100 nm und 15 µm, in mindestens einer Richtung entlang der Werkzeugoberfläche erzeugt wird. Ein periodische Struktu- rierung mit einer lateralen Periode in dieser Größenordnung ermöglicht die Ausbildung der eingangs erwähnten, vorteil- haften Oberflächenfunktionalitäten, mit der schließlich auch das Werkstück versehen werden soll. Die Gruppe von Vertiefungen in dem periodischen Muster kann darüber hinaus in verschiedenen Richtungen unterschiedliche Perioden auf- weisen, beispielsweise dann, wenn zur Strukturierung des Werkzeugs drei, vier oder mehr miteinander interferierende Laserstrahlen verwendet werden. In einer vorteilhaften Wei- terbildung weist die Gruppe von Vertiefungen in dem perio- dischen Muster in zwei verschiedenen Richtungen identische Perioden auf. Weiter kann vorgesehen sein, dass die Gruppe von Vertiefungen in dem periodischen Muster in drei unter- schiedliche Richtungen identische Perioden aufweist, was beispielsweise einer hexagonalen Anordnung der Vertiefungen entspricht. Die Gruppe von Vertiefungen ist beispielsweise als sinusförmige Linienstruktur ausgebildet, bei der Ver- tiefungen und Erhebungen jeweils in der gleichen lateralen Periode hintereinander angeordnet sind. Vorzugsweise wird zumindest eine Gruppe von Vertiefungen auf der Werkzeugoberfläche mit einem linearen Verlauf und/oder mit einer rechteckigen, bevorzugt quadratischen Grundform und/oder mit einer kreisförmigen Grundform er- zeugt. Die Grundform der Vertiefungen kann polygonal, ins- besondere hexagonal ausgestaltet sein. Als Spezialfall kön- nen die Vertiefungen als Linien ausgestaltet sein, die ins- besondere senkrecht zur Erstreckungsrichtung versetzt, und/oder mit einer definierten Periode, angeordnet sein können. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass zumindest zwei erste Ver- tiefungen, insbesondere eine erste Gruppe von Vertiefungen, mit einer ersten lateralen Periode zwischen 10 nm und 50 µm, insbesondere zwischen 100 nm und 15 µm, erzeugt wer- den und zumindest zwei zweite Vertiefungen, insbesondere eine zweite Gruppe von Vertiefungen, mit einer zweiten la- teralen Periode erzeugt werden, wobei insbesondere die zweite laterale Periode kleiner ist als die erste laterale Periode. Die erste laterale Periode kann zwischen 100 nm und 999 µm betragen. Die zweite laterale Periode kann aber auch größer als oder identisch zur ersten lateralen Periode sein. Die zweite Gruppe von Vertiefungen kann im mathemati- schen Sinne ähnlich zur ersten Gruppe von Vertiefungen aus- gestaltet sein, so dass die zweite Gruppe von Vertiefungen mittels mindestens einer mathematischen Ähnlichkeitstrans- formation, beispielsweise Verschiebung, Rotation, Streckung und/oder Skalierung, aus der ersten Gruppe von Vertiefungen resultiert. Vorzugsweise entspricht die zweite Gruppe von Vertiefungen einer Rotation der ersten Gruppe von Vertie- fungen um eine Achse senkrecht zur Werkzeugoberfläche von 90°. Alternativ oder zusätzlich kann vorgesehen sein, dass zu- mindest zwei erste Vertiefungen, insbesondere eine erste Gruppe von Vertiefungen, mit einer ersten Abmessung zwi- schen 10 nm und 50 µm, insbesondere zwischen 100 nm und 15 µm, erzeugt werden und zumindest zwei zweite Vertiefun- gen, insbesondere eine zweite Gruppe von Vertiefungen, mit einer zweiten Abmessung erzeugt werden, wobei die zweite Abmessung insbesondere kleiner ist als die erste Abmessung. Wie bereits gesagt kann die Abmessung der Vertiefung im Sinne der Erfindung deren Tiefe entsprechen. Daneben kann vorgesehen sein, dass, zusätzlich zu den zwei- ten Vertiefungen, mindestens zwei dritte Vertiefungen, ins- besondere eine dritte Gruppe von Vertiefungen, mit einer dritten lateralen Periode und/oder einer dritten Abmessung erzeugt werden, wobei die dritte laterale Periode und/oder die dritte Abmessung insbesondere kleiner sind als die zweite laterale Periode und/oder die zweite Abmessung. In Weiterentwicklungen können bis zu zehn Gruppen von Vertie- fungen mit jeweils einer lateralen Periode und/oder einer Abmessung erzeugt werden, wobei insbesondere die laterale Periode und/oder die Abmessung einer Gruppe stets kleiner sind als die laterale Periode und/oder die Abmessungen der vorigen Gruppen. Vorzugsweise überlappt der Bereich der zweiten Vertiefun- gen, insbesondere der zweiten Gruppe von Vertiefungen, den Bereich der ersten Vertiefungen, insbesondere der ersten Gruppe von Vertiefungen zumindest teilweise. Entsprechendes gilt für gegebenenfalls erzeugte dritte Vertiefungen, ins- besondere die dritte Gruppe von Vertiefungen. Durch eine derartige Überlappung wird es möglich, Strukturen mit ver- schiedenen lateralen Perioden und/oder Abmessungen mitei- nander zu kombinieren, insbesondere im mathematischen Sinne aufzumodulieren, und das Werkzeug mit komplexen Oberflä- chenstrukturen zu versehen, die mit einer einfachen Struk- turierung nicht möglich sind. Dadurch werden die Möglich- keiten der Oberflächenfunktionalisierung des Werkzeugs, und damit auch die des Werkstücks, erweitert. Vorzugsweise erfolgen die Erzeugung der ersten Vertiefun- gen, insbesondere der ersten Gruppe von Vertiefungen, und die Erzeugung der zweiten Vertiefungen, insbesondere der zweiten Gruppe von Vertiefungen, in einem einzigen Arbeits- schritt oder in separaten Arbeitsschritten. Die Erzeugung der ersten Vertiefungen und der zweiten Vertiefungen in ei- nem einzigen Arbeitsschritt bewirkt eine Steigerung der Prozessgeschwindigkeit. Dagegen beinhaltet die Ausgestal- tung der Erzeugung der ersten Vertiefungen und der zweiten Vertiefungen in separaten Arbeitsschritten insbesondere, dass die Werkzeugoberfläche mit unterschiedlichen Interfe- renzmustern strukturiert wird. Beispielsweise kann vorgese- hen sein, dass das Werkzeug zwischen zwei Arbeitsschritten bewegt wird. Vorzugsweise kann vorgesehen sein, dass das Werkzeug zwischen zwei Arbeitsschritten rotiert, insbeson- dere um 90°, beispielsweise um eine Erstreckungsachse des Werkzeugs, rotiert wird, so dass besonders einfach Vertie- fungen beispielsweise als Kreuz-Strukturmuster und/oder so- genannte Penrose-Strukturmuster ausbildbar sind. Die Ver- tiefungen der zweiten Gruppe können senkrecht zu den Ver- tiefungen der ersten Gruppe angeordnet sein, so dass die laterale Periode der zweiten Gruppe von Vertiefungen senk- recht zu der lateralen Periode der ersten Gruppe von Ver- tiefungen angeordnet ist. Daneben kann die laterale Periode der zweiten Gruppe von Vertiefungen parallel zu der latera- len Periode der ersten Gruppe von Vertiefungen ausgerichtet sein oder einen Winkel zwischen 0° und 180° einschließen. Vorzugsweise erfolgt die Erzeugung der zweiten Gruppe von Vertiefungen durch eine in Abhängigkeit von dem zu struktu- rierenden Material des Werkzeugs gewählte Polarisation der Laserstrahlen, wodurch sich insbesondere laserinduzierte periodische Oberflächenstrukturierungen, insbesondere in einem gemeinsamen Arbeitsschritt mit der Ausbildung der ersten Gruppe von Vertiefungen, ausbilden lassen. Die late- rale Periode der zweiten Gruppe von Vertiefungen entspricht beispielsweise höchstens der verwendeten Wellenlänge der Laserstrahlen. Die Polarisation der Laserstrahlen kann li- near ausgerichtet sein, wobei der Polarisationsvektor im Wesentlichen senkrecht zu der Erstreckungsrichtung der la- serinduzierten periodischen Oberflächenstrukturierungen und/oder parallel zu der den laserinduzierten periodischen Oberflächenstrukturierungen zugeordneten lateralen Periode angeordnet ist. Daneben kann die Richtung des Polarisati- onsvektors der Laserstrahlen unter einem Winkel zwischen 0° und 180° relativ zu der lateralen Periode der ersten Gruppe von Vertiefungen ausgerichtet sein, so dass durch die Aus- richtung des Polarisationsvektors der Laserstrahlen die An- ordnung der zweiten Gruppe von Vertiefungen insbesondere relativ zu der ersten Gruppe von Vertiefungen einstellbar ist. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass die ersten Ver- tiefungen, insbesondere die erste Gruppe von Vertiefungen, mittels Interferenz der mindestens zwei Laserstrahlen er- zeugt werden, wobei die zweiten Vertiefungen, insbesondere die zweite Gruppe von Vertiefungen, mittels Interferenz von mindestens zwei Laserstrahlen und/oder mittels eines einzi- gen Laserstrahls erzeugt werden. Dies bedeutet, dass die ersten Vertiefungen stets mit den miteinander interferie- renden Laserstrahlen erzeugt werden, während dies für die Erzeugung der zweiten Vertiefungen nicht notwendigerweise der Fall sein muss. Die Erzeugung der zweiten Vertiefungen mittels eines einzigen Laserstrahls kann dann sinnvoll sein, wenn die Anzahl der zweiten Vertiefungen verglichen mit der Anzahl der ersten Vertiefungen klein ist und/oder wenn der Bereich der zweiten Vertiefungen verglichen mit dem Bereich der ersten Vertiefungen klein ist. Falls auch die zweiten Vertiefungen mittels miteinander interferieren- der Laserstrahlen erzeugt werden, kann vorgesehen sein, dass sich die Anzahl der miteinander interferierenden La- serstrahlen im Vergleich mit der Erzeugung der ersten Ver- tiefungen unterscheidet oder zu diesen identisch ist. Vorzugsweise werden der Werkzeugrohling vor der Strukturie- rung und/oder das Werkzeug nach der Strukturierung be- schichtet, beispielsweise mit einer Hartstoffschicht, ins- besondere mit einer Kohlenstoffschicht. Höchst vorzugsweise wird als Beschichtung eine amorphe Kohlenstoffschicht ver- wendet. Nach der Strukturierung des Werkzeugs kann eine weitere Oberflächenfunktionalisierung erfolgen, beispiels- weise mittels thermischer Verfahren und/oder durch chemi- sche Gasphasenabscheidung (CVD) und/oder durch physikali- sche Gasphasenabscheidung (PVD), um beispielsweise die Oberfläche des Werkzeugs zu glätten, indem ungewollte Sub- strukturen oder Rauigkeiten entfernt werden. In einer wei- teren Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass die Werk- zeugoberfläche vor der Strukturierung poliert wird. Das Werkzeug weist vorzugsweise zumindest eine Komponente aus einem Hartmetall auf, das eine Mehrzahl von Hartstoff- partikeln und eine Bindermatrix aufweist. Hartmetalle sind Metallmatrix-Verbundwerkstoffe, die auch als Hartmetall- Komposit-Werkstoffe bezeichnet werden. Die im Hartmetall vorhandenen Hartstoffpartikel weisen mindestens ein Mit- glied aus der Gruppe Diamant, Nitrid, Carbid, Oxid auf und weisen eine vergleichsweise hohe Härte, jedoch eine ver- gleichsweise niedrige Zähigkeit auf. Zur besseren Verar- beitbarkeit werden die Hartstoffpartikel daher in eine Bin- dermatrix eingebettet, die mindestens ein Mitglied aus der Gruppe Kobalt, Nickel, Molybdän oder eine Kombination ent- hält und die die Duktilität des resultierenden Hartmetalls erhöht. Hartmetalle sind härter als reine Metalle, Legie- rungen und gehärtete Stähle und weisen daher eine höhere Verschleißfestigkeit auf, was auch für das Werkzeug mit ei- ner Komponente aus Hartmetall gilt. Im Sinne der Erfindung kann der metallische Werkzeugrohling eine Komponente aus einem Hartmetall-Komposit aufweisen o- der aus dieser bestehen, das beispielsweise einen Keramik- Metall-Verbund aufweist. Vorzugsweise weist der Werkzeug- rohling eine Komponente aus Wolframcarbit-Cobalt-Hartmetall (WC-Co) auf, das optional Komponenten aus Vanadiumcarbid (VC), Chromcarbid (Cr ₃ C ₂ ) und/oder Tantal-Niob-Carbid ent- halten kann. Das Werkzeug kann eine Beschichtung aus einem Hartmetallwerkstoff und/oder Diamant und/oder amorphem Koh- lenstoff aufweisen. Alternativ oder zusätzlich weist das Werkzeug vorzugsweise zumindest eine Komponente aus einem thermisch behandelten Werkzeugstahl auf. Durch die Wahl der thermischen Behand- lung können die Eigenschaften des Werkzeugstahls auf den Einsatz des Werkzeugs angepasst werden. Beispielsweise weist das Werkzeug eine Komponente aus vergütetem Werkzeug- stahl auf. Das Werkzeug kann zumindest bereichsweise an der Werkzeug- oberfläche eine Hartstoffschicht, vorzugsweise eine Kohlen- stoffschicht, höchst vorzugsweise eine tetraedrische, was- serstofffreie Kohlenstoffschicht aufweisen. Insbesondere weist die Werkzeugoberfläche eine amorphe Kohlenstoff- schicht auf, die auch als DLC (Diamond-like carbon) oder diamantähnlicher Kohlenstoff bezeichnet wird. Alternativ oder zusätzlich kann die Kohlenstoffschicht eine Graphit- schicht und/oder eine Diamantschicht aufweisen. Durch die Ausbildung einer Kohlenstoffschicht an der Werkzeugoberflä- che kann die Oberfläche des Werkzeugs weiter funktionali- siert werden, insbesondere können für tribologische Anwen- dungen die Reibungs- und Verschleißeigenschaften des Werk- zeugs optimiert werden. Das erfindungsgemäße Verfahren zur Bearbeitung des Werk- stücks kann vorsehen, dass die plastische Verformung des Werkstücks dadurch erfolgt, dass das Werkzeug auf das Werk- stück gedrückt bzw. gepresst wird, insbesondere mit einer benutzerdefinierten Einpresstiefe und/oder mit einem benut- zerdefinierten Einpressdruck. Das dadurch entstehende Werk- stückprofil wird insofern mittels Pressen, Drücken oder Prägen erzeugt. Das erfindungsgemäße Werkzeug kann in einer industriellen Presse integriert sein. Durch die einfache Prozessgestaltung über die Einstellung des Einpressdruckes können die Strukturtiefe und/oder die Strukturgeometrie des Werkstückprofils sehr einfach und effizient variiert wer- den, was insbesondere für tribologische Anwendungen von ho- hem Interesse ist. Daneben lassen sich durch die Einstel- lung des Einpressdrucks variable Aspektverhältnisse bei der Strukturierung des Werkstücks bei vernachlässigbar verän- derten Prozesszeiten realisieren. Das Werkstückprofil ist insbesondere zumindest teilweise mathematisch ähnlich, bei- spielsweise zumindest teilweise komplementär zum Werkzeug- profil ausgebildet, was im Sinne der Erfindung umfasst, dass das Werkstückprofil zumindest einem teilweisen Nega- tivabdruck des Werkzeugprofils entspricht. Insbesondere ist das Werkstückprofil eine zumindest teilweise, insbesondere vollständige Abformung des Werkzeugprofils. Da die Bearbei- tung des Werkstücks anhand der Geometrie der Strukturierung des Werkzeugs erfolgt, können auf unterschiedlichen Werk- stückmaterialien im Wesentlichen identische Strukturen er- zeugt werden. Vorzugsweise wird das zu bearbeitende Werk- stück dem Werkzeug zugeführt, insbesondere mittels einer Bandführung. Eine vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung kann vorse- hen, dass das Werkstück, zumindest in dem dem Werkzeug zu- geordneten Bereich, in einem einzigen Bearbeitungsschritt plastisch verformt wird, wodurch das Werkstückprofil mit einer zum Werkzeugprofil zumindest bereichsweise komplemen- tären Struktur versehen wird. Die vollständige Bearbeitung des Werkstücks kann erfolgen, indem das Werkzeug sukzessive nach einem Bearbeitungsschritt relativ zur Werkstückober- fläche lateral verfahren wird und abermals das Werkstück mit einem Bearbeitungsschritt bearbeitet. Vorzugsweise wird das Werkstück mittels des Werkzeugs in mindestens zwei Bearbeitungsschritten plastisch verformt, wobei in einem ersten Bearbeitungsschritt das Werkzeug das Werkstück entlang einer Bearbeitungsachse mit einer ersten Bearbeitungstiefe plastisch verformt und wobei in einem zweiten Bearbeitungsschritt das Werkzeug das Werkstück ent- lang der Bearbeitungsachse mit einer zweiten Bearbeitungs- tiefe plastisch verformt und wobei insbesondere sich die erste Bearbeitungstiefe von der zweiten Bearbeitungstiefe unterscheidet. Die zweite Bearbeitungstiefe ist insbesonde- re kleiner als die erste Bearbeitungstiefe. Es können meh- rere Bearbeitungsschritte mit entsprechenden Bearbeitungs- tiefen vorgesehen sein, wobei die Bearbeitungstiefe eines Bearbeitungsschrittes insbesondere kleiner ist als die Be- arbeitungstiefe des vorhergehenden Bearbeitungsschrittes. Die Bearbeitungsachse ist vorzugsweise senkrecht zur Werk- stückoberfläche ausgerichtet. Durch die mehrfache Bearbei- tung des Werkstücks mit unterschiedlichen Bearbeitungstie- fen, die beispielsweise Einpresstiefen entsprechen, sind komplexe Werkstücktopographien herstellbar, die mit einem einzigen Bearbeitungsschritt nicht fertigbar sind. In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung kann die zweite Bear- beitungstiefe identisch mit der ersten Bearbeitungstiefe sein. Es kann vorgesehen sein, dass bei zwei Bearbeitungs- schritten das gleiche Werkzeug verwendet wird, wobei das Werkzeug zwischen den beiden Bearbeitungsschritten in Translation und/oder in Rotation bewegt wird. Vorzugsweise wird das Werkzeug zwischen den beiden Rotationsschritten um 90°, insbesondere um eine Erstreckungsachse des Werkzeugs, bewegt. In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird das Werkzeug in Translation, insbesondere zwischen den Be- arbeitungsschritten sukzessive über den gesamten zu struk- turierenden Bereich des Werkstücks bewegt. Hierfür kann beispielsweise eine geeignete Werkzeugführung ausgebildet sein. Vorzugsweise werden der erste Bearbeitungsschritt mit einem ersten Werkzeug und der zweite Bearbeitungsschritt mit ei- nem zweiten Werkzeug durchgeführt, wobei das erste Werkzeug und/oder das zweite Werkzeug mit dem erfindungsgemäßen Ver- fahren hergestellt wurden. Vorzugsweise wurden beide Werk- zeuge mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt. In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass sich die Strukturierungen der Werkzeugoberflächen der Werkzeuge voneinander zumindest bereichsweise unterschei- den. Durch die Bearbeitung des Werkstücks mittels zweier unterschiedlicher Werkzeuge, insbesondere mit zwei unter- schiedlichen oder auch identischen Bearbeitungstiefen, sind komplexe Oberflächentopographien herstellbar wie etwa Ober- flächentopographien, die Kombinationen, insbesondere im ma- thematischen Sinne Modulationen von Topographien unter- schiedlicher Größenordnungen entsprechen. Daneben können weitere Bearbeitungsschritte mit Werkzeugen vorgesehen sein, wobei die Werkzeuge vorzugsweise mit dem erfindungs- gemäßen Verfahren hergestellt wurden. Vorzugsweise weist das zweite Werkzeug eine periodische Struktur mit einer lateralen Periode auf, die insbesondere kleiner ist als die laterale Periode der periodischen Struktur des ersten Werkzeugs, was im Sinne der Erfindung die Dimensionen der Struktur als auch deren lateralen Peri- ode umfasst. Damit ist insbesondere vorgesehen, dass die periodische Struktur des zweiten Werkzeugs eine kleinere laterale Periode aufweist als die periodische Struktur des ersten Werkzeugs. Die laterale Periode der periodischen Struktur des zweiten Werkzeugs kann daneben auch größer als oder identisch zur lateralen Periode der periodischen Struktur des ersten Werkzeugs sein. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass sich der Einpressdruck eines Bearbeitungsschrittes von dem Einpressdruck eines an- deren Bearbeitungsschrittes unterscheidet, um beispielswei- se auch mit der Strukturierung eines einzigen Werkzeugs das Werkstück mit einer komplexen Oberflächentopographie zu versehen. Der verwendete Einpressdruck beträgt vorzugsweise zwischen 100 MPa und 100.000 MPa, wobei der konkret verwen- dete Einpressdruck in Abhängigkeit der mechanischen Festig- keit des zu bearbeiteten Werkstücks zu wählen ist. In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist der Einpressdruck eines Bearbeitungsschrittes identisch zu dem Einpressdruck eines anderen Bearbeitungsschrittes. Vorzugsweise wird das Werkstück mittels einer vibrierenden Bewegung des Werkzeugs, insbesondere entlang der Bearbei- tungsachse, plastisch verformt. Die Frequenz der Vibration beträgt vorzugsweise zwischen 20 kHz bis 10 GHz und liegt damit im Ultraschallbereich. Erkenntnisse der Anmelderin haben gezeigt, dass durch die Vibration des Werkzeugs wäh- rend des Pressverfahrens die Rückfederung des Werkstück- werkstoffs reduziert wird, so dass die Abformung der Struk- turierung des Werkzeugs auf das Werkstück verbessert wird. Vorzugsweise wird das Werkstück mittels des Werkzeugs bei einer Temperatur von höchstens 1200°C, insbesondere frei von einem äußeren Wärmeeintrag, bearbeitet. Vorzugsweise weist das erfindungsgemäße Werkstück eine Strukturierung auf, die zumindest teilweise ähnlich, insbe- sondere mindestens teilweise komplementär ausgestaltet ist zu der Strukturierung des Werkzeugs. Das Werkstück weist insbesondere eine Komponente aus Mes- sing (CuZn) auf mit insbesondere einem Zinkgehalt von im Wesentlichen 30% (CuZn30), die eine besonders ausgeprägte plastische Verformbarkeit aufweist. Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und aus der nachfolgenden Beschreibung, in der ein Ausführungsbeispiel der Erfindung im Einzelnen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert ist. Dabei zeigen: Fig. 1 eine schematisch dargestellte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Her- stellung eines Werkzeugs sowie ein erfin- dungsgemäßes Werkzeug, Fig. 2 eine schematisch dargestellte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Bear- beitung eines Werkstücks und ein erfin- dungsgemäßes Werkstück, Fig. 3 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Werkzeugs sowie ein erfindungsgemäßes Werk- zeug, Fig. 4 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Bearbeitung eines Werkstücks und ein erfindungsgemäßes Werk- stück, Fig. 5 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Werkzeugs sowie ein erfindungsgemäßes Werk- zeug, Fig. 6 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Bearbeitung eines Werkstücks und ein erfindungsgemäßes Werk- stück, Fig. 7 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Werkzeugs sowie ein erfindungsgemäßes Werk- zeug, Fig. 8 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Bearbeitung eines Werkstücks und ein erfindungsgemäßes Werk- stück, Fig. 9 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Werkzeugs sowie ein erfindungsgemäßes Werk- zeug, Fig. 10 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Bearbeitung eines Werkstücks und ein erfindungsgemäßes Werk- stück, Fig. 11 bis 14 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Herstellung eines Werkzeugs, des erfindungsgemäßen Werkzeugs, sowie eine weitere Ausgestaltung des erfin- dungsgemäßen Verfahrens zur Bearbeitung ei- nes Werkstücks und des erfindungsgemäßen Werkstücks, Fig. 15, 16 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Bearbeitung eines Werkstücks und des erfindungsgemäßen Werks- stücks und Fig. 17, 18 eine weitere Ausgestaltung des erfindungs- gemäßen Verfahrens zur Bearbeitung eines Werkstücks und des erfindungsgemäßen Werks- stücks. Fig. 1 zeigt eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Ver- fahrens zur Herstellung eines Werkzeugs 10 anhand drei Ab- bildungen des Werkzeugs 10. In Fig. 1 ist in der linken Darstellung das Werkzeug 10 in noch unbearbeiteten Zustand als Werkzeugrohling 11 angeordnet, der im gezeigten Ausfüh- rungsbeispiel im Wesentlichen ein Zylinder aus einem Wolf- ramcarbid-Cobalt-Hartmetall (WC-Co) ist und via Funkenero- sion hergestellt wurde. Die spätere Bearbeitung eines Werk- stücks 12 soll durch die Deckfläche 13 des Werkzeugs 10 er- folgen, so dass die Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 mit einer in Fig. 1 nicht gezeigten Beschichtung aus einem amorphen Kohlenstoff versehen ist, der auch als diamantähn- licher Kohlenstoff (DLC) bezeichnet wird. Zur erfindungsgemäßen Herstellung des Werkzeugs 10 wird der Werkzeugrohling 11 in einer Laserbearbeitungsvorrichtung 14 bereitgestellt, die in der mittigen Darstellung von Fig. 1 aus Übersichtsgründen nur schematisch gezeigt ist. Die La- serbearbeitungsvorrichtung 14 weist ein Optik-Modul 15 auf, das einen einfallenden Laserstrahl im gezeigten Ausfüh- rungsbeispiel der Fig. 1 in zwei Teilstrahlen 17, 18 auf- teilt und in Richtung der zu strukturierenden Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 als Werkzeugoberfläche 13 richtet. Je nach Anwendung können bis zu neun Laserstrahlen als Teilstrahlen verwendet werden. Im gezeigten Ausführungsbei- spiel wird gepulste Laserstrahlung mit zeitlichen Pulsdau- ern von 1 ps, damit ultrakurze Pulse, und mit einer Pulse- nergie von 100 µJ verwendet. Die zwei in Richtung des Werk- zeugrohlings 11 gelenkten Teilstrahlen 17, 18 sind zueinan- der derart in einem endlichen Winkel ausgerichtet, dass die Teilstrahlen 17, 18 in einem Interferenzbereich 19 mitei- nander interferieren. Der Werkzeugrohling 11 ist in der La- serbearbeitungsvorrichtung 14 derart angeordnet, dass der Interferenzbereich 19 im Wesentlichen auf der Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 als Arbeitsfläche angeordnet ist. Das durch die interferierenden Teilstrahlen 17, 18 ausge- bildete Interferenzmuster ist im Wesentlichen abhängig von dem Winkel, den die Teilstrahlen 17, 18 einschließen, deren Polarisation und der Wellenlänge der verwendeten Laser- strahlung, so dass durch eine Änderung dieser Parameter das Interferenzmuster bedarfsgemäß angepasst werden kann. Durch die auftreffenden, miteinander interferierenden Teilstrah- len 17, 18 wird die Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 strukturiert, wobei die Strukturierung im Wesentlichen den Intensitätsmaxima des Interferenzmusters entspricht. Durch den Einsatz von ultrakurz gepulster Laserstrahlung erfolgt die Strukturierung des Werkzeugs 10, damit dessen Herstel- lung, im Wesentlichen rein ablativ, das heißt ohne Wärme- einbringung in die Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11, da die Pulsdauer der Laserstrahlung derart kurz ist, dass keine thermische Wechselwirkung der Laserstrahlung mit dem Material des Werkzeugrohlings 11 erfolgt. Insofern wird diese Art der Bearbeitung auch als kalte Ablation bezeich- net. Hierdurch lassen sich vergleichsweise feine Struktur- muster im Mikro- und/oder Nanoskalenbereich bei gleichzei- tiger Vermeidung einer thermischen Werkzeugschädigung rea- lisieren. Durch die miteinander interferierenden Teilstrah- len 17, 18 bilden sich im Interferenzbereich 19 topographi- sche Strukturen im genannten Bereich aus, so dass eine Strukturierung der Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 erzeugt wird. Zur Strukturierung werden im gezeigten Aus- führungsbeispiel 50 Pulse überlagert. Falls eine Strukturierung des Werkzeugrohlings 11 über den Interferenzbereich 19 der Teilstrahlen 17, 18 hinaus ge- wünscht ist, kann der Werkzeugrohling 11 relativ zum Inter- ferenzbereich 19 verfahren werden, was Bewegungen in Trans- lation und/oder Rotation einschließt und durch die in Fig. 1 grau dargestellten Pfeile verdeutlicht ist. Hierzu ist die Laserbearbeitungsvorrichtung 14 derart ausgebildet, dass der Interferenzbereich 19 der Teilstrahlen 17, 18, der insofern einem Fokusbereich entspricht, relativ zu der zu strukturierenden Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 be- weglich ist. Beispielsweise erfolgt dies durch eine Auslen- kung der beiden Teilstrahlen 17, 18 mittels mit Servomoto- ren angesteuerten Spiegeln im Sinne einer F-Theta-Optik (in Fig. 1 nicht gezeigt). Alternativ oder zusätzlich dazu kann der Werkzeugrohling 11 beispielsweise durch in Fig. 1 nicht gezeigte Linearführungen in Translation bewegt werden. Durch eine entsprechende Führung ist auf diese Weise auch eine Rotation des Werkzeugrohlings 11 relativ zur Laserbe- arbeitungsvorrichtung insbesondere um seine Erstreckungs- achse möglich. Durch die Bewegung des Interferenzbereichs 19 relativ zur Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 ist eine Strukturierung der Deckfläche 13 über den Interferenz- bereich 19 hinaus möglich, indem die Deckfläche 13 mittels der interferierenden Teilstrahlen 17, 18 sukzessive bear- beitet, insbesondere teil- oder vollflächig abgerastert wird. Im Ausführungsbeispiel der Fig. 1 führt die Strukturierung zu einem Werkzeugprofil 20 des Werkzeugs 10, damit zu einer Oberflächentopographie, mit linienförmigen Strukturelemen- ten 21, die aus Übersichtsgründen stark vergrößert auf der rechten Darstellung in Fig. 1 gezeigt sind. Das Werkzeug- profil 20 der Deckfläche 13 des Werkzeugs 10 senkrecht zur Erstreckungsrichtung der Strukturelemente 21 entspricht nä- herungsweise einem sinusförmigen Verlauf, bei dem jeweils gleich groß ausgeformte Vertiefungen 22 und Erhebungen 23 in einem festen Abstand ∆d, der im Sinne der Erfindung als laterale Periode bezeichnet wird, hintereinander angeordnet sind und wobei zwischen den Vertiefungen 22 und Erhebungen 23 jeweils ein stetiger Übergang besteht; dies wird in Fig. 1 durch durchgezogene Linien verdeutlicht. Die laterale Pe- riode ∆d zwischen einer Vertiefung 22 und einer hierzu be- nachbarten Vertiefung 22 beträgt im gezeigten Ausführungs- beispiel 10 µm. Die Erhöhungen 23 sind in der gleichen la- teralen Periode ∆d angeordnet. Das in Fig. 1 rechts darge- stellte Werkzeug 10 ist auf seiner Deckfläche 13 vollflä- chig mit linienförmigen Strukturelementen 21 versehen und somit fertig bearbeitet. Das in Fig. 1 rechts dargestellte, fertig bearbeitete Werk- zeug 10 wird anschließend als Prägewerkzeug bzw. Prägestem- pel in einer in Fig. 2 nicht dargestellten Prägevorrichtung verwendet und dem zu bearbeitenden Werkstück 12 gegenüber gestellt, so dass die Deckfläche 13 des Werkzeugs 10 dem Werkstück 12 zugewandt ist. Im Ausführungsbeispiel der Fig. 2 ist das Werkstück 12 ein Blech aus Messing (CuZn30). In- dem das Werkzeug 10 mit dem bereits erwähnten Werkzeugpro- fil 20 mit einem Anpressdruck von 1.500 MPa auf das Werk- stück 12, damit entlang einer senkrecht zur Werkstückober- fläche 13 angeordneten Bearbeitungsachse 24, gepresst wird, erfolgt eine zumindest partielle Abformung des Werkzeugpro- fils 20 auf das Werkstück 12 als plastische Verformung, wo- bei das Werkstück 12 mit einem Werkstückprofil 25 versehen wird, das zumindest bereichsweise zu dem Werkzeugprofil 20 korrespondiert, insbesondere zumindest teilweise komplemen- tär zu diesem ausgebildet ist. In der linken Darstellung der Fig. 2 ist die Bearbeitungsachse 24 durch einen großen grauen Pfeil verdeutlicht. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist eine vollflächige Strukturierung des Werkstücks 12 ge- wünscht, wobei die strukturierte Deckfläche 13 des Werk- zeugs 10 wesentlicher kleiner ist als die zu strukturieren- de Oberfläche des Werkstücks 12. Daher wird das Werkzeug 10 nach diesem Bearbeitungsschritt relativ zum Werkstück 12 bewegt, woraufhin eine erneute Prägung mit dem genannten Anpressdruck erfolgt. Anschließend wird dieser Vorgang so- lange wiederholt, bis das Werkstück 12 vollflächig struktu- riert ist. Dieser Vorgang wird auch als Stitching bezeich- net und ist in der linken Darstellung durch die kleinen grauen Pfeile verdeutlicht. Das fertig strukturierte Werk- stück 12 ist in Fig. 2 rechts dargestellt, woraus ersicht- lich ist, dass das Werkstückprofil 25 zumindest teilweise komplementär zum Werkzeugprofil 20 ausgebildet ist, indem das Werkstückprofil 25 Vertiefungen 22 aufweist, die in der gleichen lateralen Periode ∆d angeordnet sind wie die Ver- tiefungen 22 des Werkzeugprofils 20. Fig. 3 zeigt eine weitere Möglichkeit zur Herstellung eines Werkzeugs 10 mit einem Werkzeugprofil 20, das sich von je- nem des Ausführungsbeispiels der Fig. 1 unterscheidet. Hierzu wird das Werkzeug 10 als Werkzeugrohling 11 mittels der Laserbearbeitungsvorrichtung 14 zunächst ähnlich zum Ausführungsbeispiel der Fig. 1 auf seiner Deckfläche 13 vollflächig mit einem Werkzeugprofil 20 mit linienförmigen Strukturelementen 21 als erste Vertiefungen 22 versehen, so dass diesbezüglich zur Vermeidung von Wiederholungen auf die vorstehenden Äußerungen verwiesen wird. Im Unterschied zum Ausführungsbeispiel der Fig. 1 beträgt die Pulsenergie der Laserstrahlung 80 µJ und zur Strukturierung werden 20 Einzelpulse überlagert. Das dadurch erhaltene, erste Werk- zeugprofil 20 der dritten Darstellung von Fig. 3 ähnelt qualitativ dem Werkzeugprofil 20 gemäß Fig. 1, weist jedoch im Gegensatz zu dieser eine kleinere laterale Periode ∆d von 6 µm auf. Nach dieser ersten Strukturierung wird das Werkzeug 10 im Übergang von der in Fig. 3 dritten Darstel- lung zur vierten Darstellung um 90° um seine Erstreckungs- achse A gedreht und abermals in der Laserbearbeitungsvor- richtung 14 bereitgestellt, so dass anschließend eine wei- tere, vollflächige Strukturierung der Deckfläche 13 mit den gleichen Parametern der ersten Strukturierung erfolgt. Im Ergebnis weist das in Fig. 3 rechts gezeigte Werkzeug 10 ein Werkzeugprofil 20 mit einer säulenförmigen Strukturie- rung mit Erhebungen 23 auf, die in einer ersten Richtung R ₁ mit einer ersten lateralen Periode ∆d von 6 µm hintereinan- der angeordnet sind, und die außerdem in einer zweiten Richtung R ₂ , die senkrecht zur ersten Richtung R ₁ angeord- net ist, mit einer zweiten lateralen Periode ∆d von eben- falls 6 µm hintereinander angeordnet sind. Da zwei benach- barte Erhebungen 23 des Werkzeugprofils 20 jeweils von ei- ner Vertiefung 22 getrennt sind, weist das Werkzeugprofil 20 erste Vertiefungen 22 entlang der ersten Richtung R ₁ auf, die in der ersten lateralen Periode ∆d angeordnet sind, sowie zweite Vertiefungen 22 entlang der zweiten Richtung R ₂ , die in der zweiten lateralen Periode ∆d ange- ordnet sind, wobei in Fig. 3 nur eine laterale Periode ∆d eingezeichnet ist. Der Bereich der zweiten Vertiefungen 22 überlappt den Bereich der ersten Vertiefungen 22 und die ersten Vertiefungen und die zweiten Vertiefungen 22 werden in separaten Arbeitsschritten erzeugt. Das in Fig. 3 rechts gezeigte Werkzeug 10 wird als Präge- stempel dem zu bearbeitenden Werkstück 12 gemäß Fig. 4 ge- genüber gestellt, wobei die Deckfläche 13 dem Werkstück 12 zugewandt ist. Die Bearbeitung des Werkstücks 12 durch das Werkzeug 10 erfolgt durch einen Anpressdruck von 1.200 MPa entlang der Bearbeitungsachse 24, so dass das säulenförmige Werkzeugprofil 20 teilweise komplementär auf das Werkstück 12 abgeformt wird mit dem Ergebnis, dass das Werkstück 12 ein Werkstückprofil 25 mit Vertiefungen 22 aufweist, die, ähnlich zu den Erhebungen 23 des Werkzeugs 10, in zwei zu- einander senkrecht angeordneten Richtungen R ₁ , R ₂ jeweils in einer lateralen Periode ∆d von 6 µm hintereinander ange- ordnet sind. Die vollflächige Bearbeitung des Werkstücks 12 erfolgt wie bereits in Zusammenhang mit Fig. 2 beschrieben im Sinne des Stitchings, was durch die grauen Pfeile in der linken Darstellung der Fig. 4 verdeutlicht ist. Die rechte Darstellung der Fig. 4 zeigt das vollflächig mit dem Werk- zeug 10 bearbeitete Werkstück 12 mit dem bereits erwähnten Werkstückprofil 25. Im Ausführungsbeispiel der Fig. 5 erfolgt die Strukturie- rung des Werkzeugs 10 als Werkzeugrohling 11 ähnlich zum Ausführungsbeispiel der Fig. 3 in zwei Bearbeitungsschrit- ten. Zunächst wird der zylindrische Werkzeugrohling 11 aus einem Wolframcarbid-Cobalt-Hartmetall (WC-Co) in der Laser- bearbeitungsvorrichtung 14 bereitgestellt, die die Deckflä- che 13 des Werkzeugrohlings 11 in einem ersten Bearbei- tungsschritt mit einer ersten Gruppe von Vertiefungen 22 strukturiert. Dieser erste Bearbeitungsschritt erfolgt durch Laserstrahlung mit einer Pulsdauer von 100 fs und ei- ner Pulsenergie von 20 µJ, wobei drei Teilstrahlen 17, 18, 26 miteinander interferieren und zehn Einzelpulse überla- gert werden. Danach wird die Laserbearbeitungsvorrichtung 14 relativ zum Werkzeugrohling 11 derart bewegt, dass er- neut eine Strukturierung erfolgt, bis die gesamte Deckflä- che 13 des Werkzeugrohlings 11 strukturiert ist und das in der mittigen Darstellung von Fig. 5 gezeigte Werkzeugprofil 20 ausgebildet ist. Aufgrund der genannten Strukturierungs- parameter weist das Werkzeugprofil 20 nach der Strukturie- rung des Werkzeugs 10 eine periodische Anordnung von Ver- tiefungen 22 auf, die auch Senken genannt werden, wobei das Werkzeugprofil 20 drei Achsen entlang der Deckfläche 13 des Werkzeugs 10 aufweist, entlang derer die Vertiefungen 22 in der jeweils gleichen lateralen Periode ∆d angeordnet sind, wobei die laterale Perioden ∆d der Vertiefungen 22 jeweils 1 µm betragen. Im Sinne der Erfindung wird diese Anordnung von Vertiefungen 22 auch als hexagonale Anordnung bezeich- net. Das vollflächig strukturierte Werkzeug 10 nach dem ersten Arbeitsschritt ist in der mittigen Darstellung von Fig. 5 gezeigt, wobei die Dimensionen der Vertiefungen 22 aus Übersichtsgründen nicht maßstabsgetreu sondern stark vergrößert dargestellt sind. In einem nachfolgenden Arbeitsschritt wird das Werkzeugpro- fil 20 mit einer weiteren Strukturierung versehen, deren Bereich den Bereich der ersten Strukturierung überlagert. Hierzu werden die Parameter der Laserbearbeitungsvorrich- tung 14 geändert, so dass die zweite Strukturierung mittels Laserstrahlung mit einer Pulsdauer von 100 fs, einer Puls- energie von 30 µJ und durch zwei miteinander interferieren- de Laserstrahlen 17, 18 erfolgt, wobei die Strukturierung durch eine Überlagerung von zehn Pulsen erfolgt, bevor die Laserbearbeitungsvorrichtung 14 relativ zum Werkzeug 10 in bereits genannter Weise bewegt wird, um das Werkzeug 10 vollflächig zu strukturieren. Die zweite Strukturierung des Werkzeugs bewirkt eine Ausbildung von linienförmigen Struk- turelementen 21 als Vertiefungen 22, die in einer lateralen Periode ∆d von 2 µm hintereinander angeordnet sind. Durch die Überlagerung der ersten Strukturierung mit den hexago- nal angeordneten Vertiefungen 22 in einer – ersten – late- ralen Periode ∆d von 1 µm mit der zweiten Strukturierung mit linienförmigen Strukturelementen 21 in einer – zweiten – lateralen Periode von 2 µm weist das Werkzeugprofil 20 eine periodische, gleichzeitig aber auch hierarchische Strukturierung auf, die in der rechten Darstellung der Fig. 5 gezeigt ist, und die als dominantes Element die linien- förmigen Vertiefungen 22 gemäß der zweiten Strukturierung aufweist, wobei in den nicht im Rahmen der zweiten Struktu- rierung bearbeiteten Bereichen die hexagonale Anordnung der Vertiefungen 22 gemäß der ersten Strukturierung mit einer im Vergleich zur zweiten Strukturierung kleinerer lateralen Periode ∆d ausgebildet ist. Nachdem das Werkzeugprofil 20 mit der hierarchischen Struk- turierung gemäß der rechten Darstellung von Fig. 5 versehen ist, wird das Werkzeug 10 einem zu prägenden Blech aus Mes- sing (CuZn30) als Werkstück 12 gegenüber gestellt. An- schließend wird das Werkstück 12 mit dem Werkzeug 10 unter einem Anpressdruck von 3.500 MPa entlang der Bearbeitungs- achse 24 beaufschlagt, wobei das Werkzeug 10 als Prägestem- pel mit einer Frequenz im Ultraschallbereich vibriert wird, um den Abformprozess zu optimieren. Dadurch erfolgt eine vollständige Abformung des Werkzeugprofils 20 auf das Werk- stück 12, das damit ein zum Werkzeugprofil 20 komplementä- res Werkstückprofil 25 aufweist. Aufgrund der gegen die Oberfläche des Werkstücks 12 kleineren Oberfläche des Werk- zeugs 10 erfolgt die vollflächige Strukturierung des Werk- stücks 12 durch ein sukzessives Bewegen des Werkzeugs 10 relativ zum Werkstück 12 im Sinne des bereits genannten Stitchings, was in der linken Darstellung der Fig. 6 durch die grauen Pfeile dargestellt ist. Das fertige, vollflächig strukturiere Werkstück 12 ist in Fig. 6 rechts gezeigt, wo- bei das Werkstückprofil 25 wie bereits erwähnt komplementär zu dem Werkzeugprofil 20 ausgestaltet ist. Fig. 7 zeigt eine weitere Ausgestaltung des Verfahrens zur Herstellung des Werkzeugs 10 durch die Strukturierung eines zylindrischen Werkzeugrohlings 11 aus einem Wolframcarbid- Cobalt-Hartmetall (WC-Co), bei dem dieser ähnlich zu den vorigen Ausführungsbeispielen in der Laserbearbeitungsvor- richtung 14 bereitgestellt wird. Die Strukturierung erfolgt mittels linear polarisierter Laserstrahlung mit einer Puls- dauer von 5 ps und einer Pulsenergie von 50 µJ, wobei zur Strukturierung 200 Pulse überlagert werden. Gemäß der lin- ken Darstellung von Fig. 7 geht hervor, dass die Struktu- rierung mittels zweier miteinander interferierender Teil- strahlen 17, 18 erfolgt, wobei die lineare Polarisation P der Teilstrahlen 17, 18 jeweils so gewählt ist, dass die Polarisationsebene parallel zu der zu strukturierenden Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 angeordnet ist. Durch die Strukturierung des Werkzeugrohlings 11 weist das Werk- zeugprofil 20 sinusförmige, linienförmige Strukturelemente 21 als Gruppe von Vertiefungen 22 auf, die in einer latera- len Periode ∆d von 6 µm hintereinander angeordnet sind, ähnlich zu dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1. Im Ausführungsbeispiel der Fig. 7 wird diese – primäre – Strukturierung durch eine weitere – sekundäre – Strukturierung überlagert, die sich aufgrund der Polarisie- rung der miteinander interferierenden Teilstrahlen 17, 18 ausbildet. Diese sekundäre Strukturierung entsteht aufgrund der vorstehend beschriebenen linearen Polarisation der Teilstrahlen 17, 18 und bewirkt die zusätzliche Erzeugung von ebenfalls linienförmigen Strukturelementen 21 als eine weitere Gruppe von Vertiefungen 22 auf, die Strukturgrößen, insbesondere eine laterale Periode ∆d, aufweisen, die in etwa höchstens der Wellenlänge der verwendeten Laserstrah- lung entspricht. Die Vertiefungen 22 der sekundären Struk- turierung sind im Wesentlichen unter einem Winkel von 0° relativ zur linearen Polarisation der Teilstrahlen 17, 18 und unter einem Winkel von 90° relativ zu den Vertiefungen 22 der primären Strukturierung angeordnet. Die Erstre- ckungsrichtungen der linienförmigen Strukturelemente 21 der sekundären Strukturierung sind daher im Wesentlichen senk- recht zur Polarisation der Teilstrahlen 17, 18 angeordnet. Die Erzeugung der ersten Gruppe von Vertiefungen 22 als primäre Strukturierung und der zweiten Gruppe von Vertie- fungen 22 erfolgt in einem einzigen Arbeitsschritt durch die bereits erwähnte Überlagerung von 200 Pulsen und auf- grund der Polarisation der Teilstrahlen 17, 18. Das Werk- zeug 10 wird in der bereits erwähnten Weise vollflächig strukturiert; das vollflächig strukturierte Werkzeug 10 ist in der rechten Darstellung von Fig. 7 gezeigt. Mit dem gemäß Fig. 7 hergestellten Werkzeug 10 wird an- schließend gemäß der linken Darstellung von Fig. 8 ein Blech aus Messing (CuZn30) als Werkstück 12 bearbeitet, in- dem das Werkzeug 10 als Prägestempel mit einem Anpressdruck von 2.000 MPa entlang der Bearbeitungsachse 24 auf das Werkstück 12 gepresst wird, wobei zeitgleich hierzu das Werkzeug 10 mit Frequenzen im Ultraschall-Bereich entlang der Bearbeitungsachse 24 vibriert wird, um den Abformpro- zess zu optimieren. Das Werkzeugprofil 20 wird dadurch nicht in seiner vollständigen Höhe, sondern nur teilweise als hierzu komplementäre Struktur auf das Werkstückprofil 25 abgeformt, wobei das Werkstückprofil 25 die primäre Strukturierung mit den in einer lateralen Periode ∆d von 6 µm hintereinander angeordneten linienförmigen Struktu- relementen 21 und auch die hiermit überlagerte sekundäre Strukturierung mit den zur ersten Strukturierung senkrecht angeordneten linienförmigen Strukturelementen 21 mit Abmes- sungen aufweist, die im Wesentlichen kleiner als die Wel- lenlänge der Laserstrahlung sind. Nach Kenntnis der Anmel- derin ist die Erzeugung dieser – überlagerten – Strukturie- rung als Werkstückprofil 25 auf Messing (CuZn30) nicht mit einer unmittelbaren Bearbeitung mittels Laserstrahlung mög- lich sondern nur mit dem vorstehend beschriebenen Abform- prozess, da bei letzterem keine Schmelzdynamiken bei der Erzeugung der Strukturierung auf dem Werkstückprofil erfol- gen. Die Bearbeitung des Werkstücks 12, mithin die Erzeu- gung der überlagerten Strukturierung auf dem Werkstückpro- fil 25 erfolgt mit einem einzigen Anpress- oder Präge- schritt. Die vollflächige Strukturierung des Werkstücks 12 erfolgt anschließend im Sinne des Stitchings wie dies be- reits beschrieben wurde. Das vollflächig strukturierte Werkstück 12 ist in Fig. 8 rechts gezeigt. Fig. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfin- dung, bei dem der Werkzeugrohling 11 analog zum Ausfüh- rungsbeispiel der Fig. 7 strukturiert wird, insbesondere ebenfalls mit Laserstrahlung mit einer Pulsdauer von 5 ps und einer Pulsenergie von 50 µJ. Die Strukturierung erfolgt mittels zweier miteinander interferierender Teilstrahlen 17, 18, wobei die lineare Polarisation P der Teilstrahlen 17, 18 jeweils so gewählt ist, dass die Polarisationsachsen der Teilstrahlen 17, 18 abermals jeweils einen Winkel von 0° relativ zu der zu strukturierenden Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 einschließen; die Polarisationsachsen der Teilstrahlen 17, 18 sind daher jeweils parallel zur Deckfläche 13 des Werkzeugrohlings 11 und außerdem senk- recht zu den Polarisationsachsen der Teilstrahlen 17, 18 im Ausführungsbeispiel der Fig. 7 ausgerichtet. Analog zum Ausführungsbeispiel der Fig. 7 erfolgt die Strukturierung des Werkzeugrohlings 11 durch eine Überlagerung von 200 La- serpulsen. Das vollflächig strukturierte Werkzeug 10 ist in Fig. 9 rechts dargestellt, wobei dessen Werkzeugprofil 20 eine primäre Strukturierung mit einer ersten Gruppe von si- nusförmigen, linienförmigen Strukturelementen 21 als Ver- tiefungen 22 aufweist, die in einer lateralen Periode ∆d von 6 µm angeordnet sind und insofern der primären Struktu- rierung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 7 entspricht. Aufgrund der linearen Polarisation P der Teilstrahlen 17, 18 weist das Werkzeugprofil 20 eine sekundäre Strukturie- rung mit linienförmigen Strukturelementen 21 auf, die die primäre Struktur überlagern und die in der Größenordnung von höchstens der verwendeten Wellenlänge ausgebildet sind. Bedingt durch die Ausrichtung der linearen Polarisations- vektoren P der Teilstrahlen 17, 18 ist die sekundäre Struk- turierung mit den linienförmigen Strukturelementen 21 als Vertiefungen 22 parallel zur Erstreckungsrichtung der pri- mären Strukturierung und damit senkrecht zu der sekundären Strukturierung des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 7 ange- ordnet. Die Strukturierung des Werkzeugrohlings 11, ein- schließlich der primären und sekundären Strukturierung, er- folgt in einem einzigen Arbeitsschritt. Fig. 9 zeigt rechts das vollflächig strukturierte Werkzeug 10. Mit dem gemäß Fig. 9 hergestellten Werkzeug 10 wird gemäß Fig. 10 das Werkstück 12, hier exemplarisch ein Blech aus Messing (CuZn30) bearbeitet und strukturiert, wobei die Strukturierung durch einen Anpressdruck des Werkzeugs 10 auf das Werkstück von 2.000 MPa entlang der Bearbeitungs- achse 24 und einer gleichzeitigen Vibration des Werkzeugs 10 entlang der Bearbeitungsachse 24 mit einer Vibrations- frequenz im Ultraschall-Bereich erfolgt. Hierdurch erfolgt eine partielle Abformung des Werkzeugprofils 20 auf das Werkstückprofil 25, wobei das Werkstückprofil 25 eine zum Werkzeugprofil 20 komplementär ausgebildete Struktur auf- weist, so dass diesbezüglich auf die vorstehende Beschrei- bung des Werkzeugprofils 20 gemäß Fig. 9 verwiesen wird. Die vollflächige Bearbeitung des Werkstücks 12 erfolgt im Wege des bereits beschriebenen Stitchings, was durch die grauen Pfeile in der rechten Darstellung der Fig. 10 ge- zeigt ist. Das vollflächig bearbeitete Werkstück 12 ist in Fig. 10 rechts dargestellt. Die Fig. 11 bis 14 zeigen eine weitere Ausgestaltung der Erfindung. Gemäß Fig. 11 wird hierbei ein Werkzeugrohling 11 aus einem Wolframcarbid-Cobalt-Hartmetall (WC-Co) analog zum Ausführungsbeispiel der Fig. 1 mit einem Werkzeugprofil 20 mit linienförmigen Strukturelementen 21 als Vertiefungen 22 mit einer lateralen Periode ∆d von 10 µm versehen. Mit dem insofern hergestellten Werkzeug 10 erfolgt anschließend in einem ersten Bearbeitungsschritt eine vollflächige Strukturierung eines Blechs aus Messing (CuZn30) als Werk- stück 12, wie dies bereits in Zusammenhang mit Fig. 2 be- schrieben wird, wobei abweichend vom Ausführungsbeispiel der Fig. 2 nun ein Anpressdruck von 1.000 MPa entlang der Bearbeitungsachse 24 verwendet wird. Das vollflächig struk- turierte Werkstück 12 ist in Fig. 12 rechts dargestellt. Nach der vollflächigen Strukturierung des Werkstücks 12 wird das Werkzeug 10 gemäß Fig. 13 um 90° um seine Erstre- ckungsachse A derart gedreht, dass die linienförmigen Strukturelemente 21 nun senkrecht zu den Strukturelementen 21 des Werkstücks 12 ausgerichtet sind. Dies ist in der rechten Darstellung der Fig. 13 gezeigt. In dieser Ausrich- tung wird das Werkzeug 10 in einem zweiten Bearbeitungs- schritt mit einem Anpressdruck von 1.000 MPa entlang der Erstreckungsachse 24 auf das Werkstück 12 beaufschlagt, so dass sich eine überlagerte Strukturierung des Werkstücks 12 als Werkstückprofil 25 ausbildet, das im gezeigten Ausfüh- rungsbeispiel als Schachbrettmuster erkennbar ist. Fig. 14 zeigt links das noch nicht vollständig mit dem zweiten Be- arbeitungsschritt strukturierte Werkstück 12. Die vollflä- chige Strukturierung des Werkstücks 12 erfolgt durch das bereits erläuterte Stitching; das vollflächig strukturierte Werkstück 12 ist in Fig. 14 rechts gezeigt. Die – überla- gerte – Strukturierung des Werkstückprofils 25 wird daher durch ein einziges Werkzeug 10 mit einer einzigen, primären Strukturierung in zwei aufeinander folgende Bearbeitungs- schritten erhalten, wobei das Werkzeug 10 zwischen den Be- arbeitungsschritten um 90° um seine Erstreckungsachse A ge- dreht wird. Die Fig. 15 und 16 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung, bei der von einem vollflächig strukturierten Werkzeug 10 gemäß Fig. 1 ausgegangen wird und das in der linken Darstellung von Fig. 15 gezeigt ist. Das Werkzeug- profil 20 weist insofern linienförmige Strukturelemente 21 als Vertiefungen 22 mit einer Tiefe von 10 µm gegenüber dem unstrukturierten Bereich der Deckfläche 13 auf, wobei die Vertiefungen 22 in einer lateralen Periode ∆d von 10 µm hintereinander angeordnet sind. Ein Blech aus Messing (CuZn30) wird als Werkstück 12 mit dem insofern hergestell- ten Werkzeug 10 mit einem ersten Anpressdruck von 1.500 MPa entlang der Bearbeitungsachse 24 beaufschlagt, was in der mittigen Darstellung von Fig. 15 gezeigt wird. Hierdurch erfolgt eine nicht vollständige Abformung des Werkzeugpro- fils 20 auf das Werkstückprofil 25, wobei nur die Hälfte der Strukturtiefe des Werkzeugprofils 20, die im Sinne der Erfindung als Bearbeitungstiefe bezeichnet wird, abgeformt wird. Die Bearbeitungstiefe entspricht daher nicht der vollständigen Tiefe der Vertiefungen 22 des Werkzeugprofils 20. Im Ergebnis weist das Werkstückprofil 25 vergleichswei- se scharfkantigen Plateaus mit einer Breite von jeweils 5 µm auf, die von Gräben als Vertiefungen von 5 µm Breite und 5 µm Tiefe voneinander getrennt sind. Nach Kenntnis der Anmelderin ist ein derartiges Werkstückprofil 25 nicht durch unmittelbare Strukturierung mittels Laserstrahlung herstellbar, da die dabei auftretenden Schmelzdynamiken zu einer Abrundung des Werkstückprofils führen und dieses be- einträchtigen. Die vollflächige Strukturierung des Werk- stücks 12 erfolgt mittels Stitching; das vollflächig struk- turierte Werkstück 12 ist in Fig. 15 rechts gezeigt. Fig. 16 verdeutlicht eine weitere Ausgestaltung der Bear- beitung eines Blechs aus Messing (CuZn30) als Werkstück 12 mit dem in Fig. 15 links gezeigten Werkstück 12, wobei die Strukturierung des Werkstücks 12 mit einem im Vergleich mit dem Verfahren der Fig. 15 größeren Anpressdruck von 3.500 MPa entlang der Bearbeitungsachse 24 und einer gleichzeitigen Vibration des Werkzeugs 10 als Prägestempel mit Frequenzen im Ultraschall-Bereich entlang der Bearbei- tungsachse 24 erfolgt. Hierdurch wird eine vollständige Ab- formung des Werkzeugprofils 20 auf das Werkstückprofil 25 erhalten, so dass die vollständige Strukturtiefe von 10 µm des Werkzeugprofils 20 abgeformt wird. Die Bearbeitungstie- fe des Verfahrens gemäß Fig. 16 ist damit, bedingt durch den größeren Anpressdruck, größer als die Bearbeitungstiefe des Verfahrens gemäß Fig. 15. Das Werkstückprofil 25 weist im Ergebnis eine Struktur mit sinusförmigen, linienförmigen Strukturelementen 21 auf, die eine Tiefe von 10 µm und eine laterale Periode ∆d von 10 µm aufweisen. Das Werkstückpro- fil 25 ist insofern korrespondierend, insbesondere komple- mentär zum Werkzeugprofil 20. Die vollflächige Strukturie- rung des Werkstücks 12 erfolgt mittels Stitching und ist im Ergebnis in Fig. 16 rechts gezeigt. Die Fig. 17 und 18 veranschaulichen eine weitere Ausgestal- tung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Bearbeiten eines Werkstücks 12, das exemplarisch ein Blech aus Messing (CuZn30) ist. Das hierfür verwendete Werkzeug 10 ist in Fig. 17 links angeordnet und weist ein Werkzeugprofil 20 mit einer vollflächigen Strukturierung mit säulenförmigen Erhebungen 23 auf, wobei zwischen zwei benachbarten Erhe- bungen 23 eine Vertiefung 22 als Strukturelement 21 ausge- bildet ist. Die Vertiefungen 22 selbst sind in zwei zuei- nander senkrecht ausgerichteten Richtungen periodisch hin- tereinander angeordnet. Insofern entspricht das Werkzeug- profil jenem des Ausführungsbeispiels gemäß Fig. 3. Quanti- tativ und im Unterschied zum Ausführungsbeispiel der Fig. 3 weisen die Vertiefungen 23 jeweils eine Tiefe von 10 µm ge- genüber dem unstrukturierten Bereich des Werkstücks 10 auf und sind in lateralen Perioden ∆d von jeweils 10 µm hinter- einander angeordnet. Das Werkzeug 10 wird gemäß der mittigen Darstellung von Fig. 17 als Prägestempel mit einem – vergleichsweise gerin- gen – Anpressdruck von 1.200 MPa entlang der Bearbeitungs- achse 24 auf das Werkstück 12 gedrückt, so dass wie bereits beschrieben nur eine partielle Abformung des Werkzeugpro- fils 20 auf das Werkstückprofil 25 erfolgt. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel wird das Werkzeugprofil 20 nur bis zur Hälfte der Strukturgeometrie von 10 µm abgeformt, was inso- fern der Bearbeitungstiefe entspricht. Dies führt dazu, dass das Werkstückprofil 25 scharfkantige Vertiefungen 22 mit einem Durchmesser von 5 µm aufweist, wobei die Vertie- fungen 22 in einem kubischen periodischen Muster angeordnet sind. Nach Kenntnis der Anmelderin sind derartige Werk- stückprofile 22, insbesondere dessen scharfkantige Vertie- fungen 22 nicht mittels direkter Laserstrukturierung her- stellbar. Die vollflächige Bearbeitung des Werkstücks 12 erfolgt durch Stitching, wie dies bereits beschrieben wur- de. Das vollflächig bearbeitete Werkstück 12 ist in Fig. 17 rechts gezeigt. In Fig. 18 wird ein weiteres Blech aus Messing (CuZn30) als Werkstück 12 mit dem Prägestempel als Werkzeug 10 gemäß Fig. 17 bearbeitet und strukturiert, wobei im Unterschied zu Fig. 17 ein vergleichsweise großer Anpressdruck von 3.500 MPa entlang der Bearbeitungsachse 24 mit einer zu- sätzlichen Vibration des Werkzeugs 10 während des Prägevor- gangs mit Frequenzen im Ultraschall-Bereich verwendet wird, um eine möglichst vollständige Abformung des Werkzeugpro- fils 20 auf das Werkstückprofil 25 zu erhalten. Im vorlie- genden Ausführungsbeispiel erfolgt die Abformung des Werk- zeugprofils 20 bis zur vollständigen Strukturtiefe von 10 µm, so dass im Ergebnis das Werkzeugprofil 25 eine säu- lenförmige Topographie aufweist, deren Vertiefungen 22 eine Tiefe von 10 µm aufweisen und in zwei zueinander senkrech- ten, lateralen Perioden ∆d von jeweils 10 µm hintereinander angeordnet sind. Das Werkstückprofil 25 ist damit komple- mentär zu dem Werkzeugprofil 20 ausgestaltet. Die vollflä- chige Bearbeitung des Werkstücks 12 erfolgt mittels Stit- ching, wie dies bereits beschrieben wurde und in Fig. 18 in der linken Darstellung durch die grauen Pfeile angedeutet ist. Das vollflächig bearbeitete Werkstück 12 ist in Fig. 18 rechts gezeigt.