Die Erfindung betrifft ein Mikro-Elektro-Mechanisches System (MEMS) umfassend eine Sensorvorrichtung, welche einen Messumformer aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, eine physikalische Größe zu messen, wobei der Messumformer zum Messen der physikalischen Größe mechanisch bewegbar ist, wobei der Messumformer in einem ersten Zustand thermische Fluktuationen entsprechend einer effektiven Temperatur TI aufweist.

Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Herstellung eines Mikro-Elektro- Mechanischen Systems.

MEMS sind Bauteile oder Baugruppen deren kleinste Komponenten Größen im Bereich von wenigen Mikrometern aufweisen. Üblicherweise besteht ein MEMS aus einem oder mehreren Sensoren, Aktoren und einer Steuerungselektronik auf einem Substrat bzw. Chip. Die Sensoren eines MEMS sind beispielsweise Inertialsensoren, z.B. Beschleunigungs- oder Drehsensoren. Diese umfassen eine bewegbare Masse (einen Messumformer), welche über ein federndes Element an einem Rahmen oder einer Halterung befestigt ist. Modelliert werden derartige Sensoren als harmonischer Oszillator, mit einer Masse m, einer Feder konstante k, einem Qualitätsfaktor Q und einer Resonanzfrequenz W. Die Position der bewegbaren Masse wird üblicherweise kapazitiv oder mit piezoelektrischen Mitteln erfasst. Die MEMS Sensoren können in einem quasi-statischen oder einem resonanten Regime betrieben werden, wobei das quasi-statische Regime häufiger eingesetzt wird. In diesem Regime werden Signale gemessen, welche eine Frequenz unterhalb der Resonanzfrequenz W aufweisen. Um eine möglichst hohe Auflösung von MEMS Sensoren zu gewährleisten, ist eine möglichst sensitive Detektion der Auslenkung der bewegbaren Masse erforderlich. Die Messgenauigkeit bzw. die Auflösung des Sensors kann, unter anderem, durch eine Reduktion des thermischen Rauschens (bzw. der thermischen Fluktuationen) der bewegbaren Masse erhöht werden. Eine bekannte Möglichkeit zur Reduktion des thermischen Rauschens bzw. der thermischen Fluktuationen der bewegbaren Masse von Sensoren bilden sogenannte Cavity-optomechanische Beschleunigungssensoren, welche optische Resonatoren aufweisen. Diese sind beispielsweise gezeigt in „ Krause , A.G., Winger, M., Blasius , T.D., Lin, Q., Painter, O.: A high-resolution microchip optomechanical accelerometer. Nature Photonics 6(11), 768-772 (2012)“ . Bei diesen Sensoren ist es jedoch erforderlich, optischen Resonatoren auf den Sensoren aufzubringen, was zu einer signifikanten Erhöhung der Komplexität des technischen Aufbaus des Sensors führt. Opto-mechanische Systeme sind für Anwendung bei MEMS Sensoren somit nicht praktikabel.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, die Nachteile des Standes der Technik zu lindern bzw. zu beseitigen. Die Erfindung setzt sich daher insbesondere zum Ziel, ein MEMS zu schaffen, bei welchem die Messgenauigkeit auf einfache und praktikable Weise erhöht wird.

Diese Aufgabe wird durch ein MEMS mit den Merkmalen von Anspruch 1 und ein Verfahren mit den Merkmalen von Anspruch 15 gelöst. Bevorzugte Ausführungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Erfindungsgemäß weist das MEMS einen Hochfrequenz-Resonator auf, welcher mit der Sensorvorrichtung mechanisch gekoppelt ist, wobei durch die Kopplung der Hochfrequenz- Resonator mit dem Messumformer der Sensorvorrichtung wechselwirken kann, wobei der Hochfrequenz-Resonator als mechanischer Hochfrequenz-Resonator ausgebildet ist, wobei das Mikro-Elektro-Mechanische System einen Energiewandler aufweist, welcher mit dem Hochfrequenz-Resonator wirkverbunden ist, wobei der Energiewandler dazu eingerichtet ist, dass der Hochfrequenz-Resonator durch den Energiewandler in einen ersten Schwingungszustand anregbar ist, wobei der Hochfrequenz-Resonator im angeregten ersten Schwingungszustand eine Übergangsfrequenz aufweist, wobei durch die Wechsel ir kung des in der Übergangsfrequenz schwingenden Hochfrequenz-Resonators mit dem Messumformer der Sensorvorrichtung Energie von dem Messumformer auf den Hochfrequenz-Resonator derart übertragbar ist, dass der Messumformer nach dem Energieübertrag einen zweiten Zustand aufweist, in welchem der Messumformer thermische Fluktuationen entsprechend einer effektiven Temperatur T2, welche niedriger als TI ist, aufweist.

Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass thermische Fluktuationen bzw. thermisches Rauschen, durch die Wechselwirkung des Hochfrequenz-Resonators mit dem Messumformer reduziert wird. Die Reduktion der thermischen Fluktuationen erfolgt demnach durch die Wechselwirkung des Messumformers mit einem mechanischen Schwingungssystem. Dieses ist, im Unterschied zu opto-mechanischen Systemen, einfach und kostengünstig mit einem Messumformer koppelbar. Vorzugsweise ist der erste Schwingungszustand unterschiedlich zu dem zweiten Schwingungszustand. Insbesondere weist der erste Schwingungszustand eine andere Frequenz auf als der zweite Schwingungszustand. Die Übergangsfrequenz kann auch als Transferfrequenz bezeichnet werden und ist jene Frequenz, bei welcher Phononen von einer niedrigfrequenten Mode, welche der Messumformer aufweist, auf eine hochfrequente Mode, welche der Hochfrequenz-Resonator aufweist, übergehen. Die Übergangsfrequenz wird insbesondere derart gewählt, dass es zu einem Energietransfer von dem Messumformer auf den Hochfrequenz-Resonator kommt. Der Energietransfer bzw. der Phononentransfer führt zu einer „Kühlung" des Messumformers, oder anders aus gedrückt, zu einer Reduktion der thermischen Fluktuationen, welche durch eine effektive Temperatur charakterisiert sind. Durch die Reduktion der thermischen Fluktuationen wird das Rauschen der Sensorvorrichtung des MEMS reduziert und damit dessen Messgenauigkeit erhöht. Die Übergangsfrequenz ist vorzugsweise verschieden von der Resonanzfrequenz des Messumformers. Der Energiewandler kann zur Anregung ein piezoelektrisches Material bzw. piezoelektrische Dünnschichten aufweisen. Das piezoelektrische Material kann eine Dicke von beispielsweise 100 nm bis 50 pm aufweisen. Das piezoelektrische Material kann mittels einer Elektrodenstruktur mit Energie versorgt werden. Der Hochfrequenz- Resonator kann auch mittels einer kapazitiven Anregung angeregt werden.

Es kann vorgesehen sein, dass bei dem Energieübertrag von dem Messumformer zu dem Hochfrequenz-Resonator Phononen von ersten Moden zu zweiten Moden transferiert werden, wobei die ersten Moden niederfrequenter sind als die zweiten Moden, wobei der Messumformer die ersten Moden und der Hochfrequenz-Resonator die zweiten Moden aufweist. Durch den Phononentransfer kann eine Reduktion der effektiven Temperatur des Messumformers erreicht werden.

Es kann vorgesehen sein, dass der Energiewandler dazu eingerichtet ist, dass der Hochfrequenz-Resonator durch den Energiewandler in einen zweiten Schwingungszustand anregbar ist, wobei der Hochfrequenz-Resonator im angeregten zweiten Schwingungszustand eine Auslesefrequenz aufweist, welche vorzugsweise von der Übergangsfrequenz verschieden ist, wobei durch die Wechselwirkung des in der Auslesefrequenz schwingenden Hochfrequenz-Resonators mit dem Messumformer der Sensorvorrichtung eine Auslenkung des Messumformers mit dem Hochfrequenz- Resonator messbar ist. Die Auslesefrequenz kann auch gleich der Übergangsfrequenz sein. Die Anregung des Hochfrequenz-Resonators in den zweiten Schwingungszustand ist vorzugsweise eine Alternative zu der Anregung des Hochfrequenz-Resonators in den ersten Schwingungszustand. Das Mikro-Elektro-Mechanisches System ist vorzugsweise in zwei unterschiedlichen Betriebszuständen betreibbar, wobei in einem ersten Betriebszustand die Anregimg des Hochfrequenz-Resonators in der Übergangsfrequenz erfolgt. In einem zweiten Betriebszustand kann die Anregimg des Hochfrequenz-Resonators in der Auslesefrequenz erfolgen. Der erste Betriebszustand ist vorzugsweise zum Reduzieren der thermischen Fluktuationen des Messumformers vorgesehen und der zweite Betriebszustand ist vorzugsweise zum Messen der Position des Messumformers vorgesehen. Mit anderen Worten ist der zweite Betriebszustand insbesondere ein Zustand, in dem das MEMS ein cavity-assisted-readout ausführen kann.

Es kann vorgesehen sein, dass der Hochfrequenz-Resonator mit dem Messumformer der Sensorvorrichtung zumindest teilweise überlappt. Dadurch kann die Wechselwirkung zwischen dem Hochfrequenz-Resonator und dem Messumformer konstruktiv besonders einfach erzielt werden. Vorzugsweise weist der Hochfrequenz- Resonator und der Messumformer jeweils einen Überlappungsbereich auf, über welchen der Hochfrequenz- Resonator mit dem Messumformer überlappt. Durch den Überlappungsbereich kann eine mechanische Verbindung zwischen dem Hochfrequenz-Resonator und dem Messumformer hergestellt sein. Insbesondere kann der Hochfrequenz-Resonator den Messumformer an dem Überlappungsbereich kontaktieren.

Es kann vorgesehen sein, dass die Anregung des Hochfrequenz-Resonators durch den Energiewandler in einem Bereich mit einem unteren Grenzwert von im Wesentlichen mindestens 10 kHz, vorzugsweise 1 MHz, bevorzugt 100 MHz, besonders bevorzugt 1 GHz und mit einem oberen Grenzwert von im Wesentlichen höchstens 1000 GHz, vorzugsweise 100 GHz, bevorzugt 10 GHz erfolgt. Vorteilhafterweise werden diese Frequenzbereiche bei zahlreichen Sensoren, die in einer Vielzahl von technischen Gebieten eingesetzt werden, verwendet, wodurch das erfindungsgemäße MEMS ein besonders breites Anwendungsgebiet aufweist.

Es kann vorgesehen sein, dass der Energiewandler dazu eingerichtet ist, den Hochfrequenz- Resonator derart anzuregen, dass durch die Anregung mit dem Energiewandler an einer Oberfläche des Messumformers akustische Oberflächenwellen ausgebildet sind. Vorzugsweise weisen die akustischen Oberflächenwellen eine Frequenz auf, welche von der Resonanzfrequenz des Hochfrequenz- Resonators und/ oder der Resonanzfrequenz des Messumformers verschieden ist. Vorzugsweise sind die akustischen Oberflächenwellen an jener Oberfläche des Messumformers ausgebildet, welche sich beim Messen einer physikalischen Größe mit der Sensorvorrichtung mechanisch bewegt bzw. eine Positionsänderung erfährt. Vorzugsweise erfolgt die Anregung des Hochfrequenz- Resonators durch den Energiewandler im zweiten Betriebszustand, in welchem der Hochfrequenz-Resonator in den zweiten Schwingungszustand (in der Auslesefrequenz) anregbar ist, derart, dass die akustischen Oberflächenwellen eine Frequenz aufweisen, welche gleich der Resonanzfrequenz des Hochfrequenz-Resonators oder gleich der Resonanzfrequenz des Messumformers ist.

Es kann vorgesehen sein, dass der Energiewandler dazu eingerichtet ist, den Hochfrequenz- Resonator derart anzuregen, dass durch die Anregung mit dem Energiewandler in dem Messumformer Bulk-Moden ausgebildet sind. Vorzugsweise weisen die akustischen Bulk- Moden eine Frequenz auf, welche von der Resonanzfrequenz des Hochfrequenz-Resonators und/ oder der Resonanzfrequenz des Messumformers verschieden ist.

Es kann vorgesehen sein, dass die Sensorvorrichtung als Inertialsensor ausgebildet ist. Die Reduktion von thermischen Fluktuationen bzw. thermischen Rauschen ist bei Inertialsensoren von besonders großer Bedeutung. Der Inertialsensor kann beispielsweise einen Beschleunigungssensor, einen Vibrationssensor, einen Drehratensensor oder ein Gyroskop umfassen.

Es kann vorgesehen sein, dass die Sensorvorrichtung einen Beschleunigungssensor mit einer Testmasse umfasst.

Es kann vorgesehen sein, dass der Hochfrequenz-Resonator mit der Testmasse des Beschleunigungssensors zur Schwingungsübertragung gekoppelt ist. Durch die Reduktion des thermischen Rauschens der Testmasse des Beschleunigungssensors, ergibt sich der Vorteil, dass die Messgenauigkeit des Beschleunigungssensors erhöht werden kann.

Es kann vorgesehen sein, dass der Hochfrequenz-Resonator und die Testmasse einstückig ausgebildet sind und der Energiewandler mit der Testmasse derart wirkverbunden ist, dass der Energiewandler die Testmasse in der Übergangsfrequenz anregt und durch die Anregung in der Testmasse Bulk-Moden ausgebildet sind. Die Bulk-Moden können eine Frequenz aufweisen, welche von der Resonanzfrequenz des Hochfrequenz-Resonators und/ oder der Testmasse verschieden ist.

Es kann vorgesehen sein, dass die Sensorvorrichtung ein Gyroskop umfasst.

Es kann vorgesehen sein, dass die Sensorvorrichtung einen Cantilever für ein Rasterkraftmikroskop umfasst. Insbesondere ist der Messumformer als Cantilever ausgebildet. Die Sensorvorrichtung kann als Gravimeter ausgebildet sein.

Es kann vorgesehen sein, dass der Hochfrequenz-Resonator eine Oberfläche des Messumformers der Sensorvorrichtung kontaktiert. Durch den Kontakt kann eine einfache und direkte Energieübertragung von dem Messumformer zu dem Hochfrequenz-Resonator erfolgen, um das thermische Rauschen des Messumformers effizient zu reduzieren.

Es kann vorgesehen sein, dass der Messumformer beim Messen in eine Schwingung versetzt wird, welche niedriger als die Übergangsfrequenz ist. Es kann auch vorgesehen sein, dass der Messumformer beim Messen in eine Schwingung versetzt wird, welche niedriger als die Auslesefrequenz ist.

Erfindungsgemäß ist ein Verfahren zur Herstellung eines Mikro-Elektro-Mechanischen Systems vorgesehen, wobei das Verfahren die Folgenden Schritte aufweist:

Bereitstellen eines Substrats;

Herstellen einer ersten Mikro-Struktur auf dem Substrat, wobei die erste Mikro- Struktur eine Sensorvorrichtung umfasst, welche einen Messumformer aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, eine physikalische Größe zu messen, wobei der Messumformer zum Messen der physikalischen Größe mechanisch bewegbar ist,

Herstellen einer zweiten Mikro-Struktur auf zumindest einem Teilbereich der ersten Mikro-Struktur, wobei die zweite Mikro-Struktur einen Hochfrequenz-Resonator umfasst, welcher mit der Sensorvorrichtung mechanisch gekoppelt ist, wobei durch die Kopplung der Hochfrequenz-Resonator mit der Sensorvorrichtung wechselwirken kann, Bereitstellten eines Energiewandlers, welcher auf der ersten oder zweiten Mikro- Struktur oder auf dem Substrat angeordnet ist, wobei der Energiewandler mit dem Hochfrequenz- Resonator wirkverbunden und dazu eingerichtet ist, den Hochfrequenz- Resonator in einen ersten oder zweiten Schwingungszustand anzuregen, wobei der Hochfrequenz-Resonator in dem ersten Schwingungszustand eine Übergangsfrequenz aufweist, wobei durch die Wechselwirkung des angeregten Hochfrequenz-Resonators mit der Sensorvorrichtung Energie der Sensorvorrichtung auf den Hochfrequenz-Resonator übertragbar ist.

Die Wechselwirkung des angeregten Hochfrequenz- Resonators erfolgt insbesondere mit dem Messumformer der Sensorvorrichtung. Die einzelnen Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens werden mittels in der Halbleitertechnik üblichen Vorrichtungen und Werkzeugen durchgeführt, welche einem Fachmann auf dem Gebiet der Halbleitertechnik bekannt sind.

Es kann vorgesehen sein, dass das Substrat als Wafer aus gebildet ist. Der Wafer ist vorzugsweise ein Siliziumwafer.

Es kann vorgesehen sein, dass die erste und zweite Mikro-Struktur mit einem Fotolithografie-Verfahren hergestellt wird. Vorzugsweise ist auch die erste Mikro-Struktur mit einem Fotolithografie-Verfahren hergestellt.

Im Rahmen dieser Beschreibung sind die Begriffe „oben", „unten", „horizontal", „vertikal" als Angaben der Ausrichtung zu verstehen, wenn das Mikro-Elektro-Mechanisches System in normaler Benutzungsstellung angeordnet ist.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels, auf das sie jedoch nicht beschränkt sein soll, noch weiter erläutert. In den Zeichnungen zeigt:

Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen MEMS; und

Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen MEMS.

Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemäßen MEMS 1, mit einer Sensorvorrichtung 2, welche einen Messumformer 3 aufweist, welcher dazu eingerichtet ist, eine physikalische Größe zu messen. Der Messumformer 3 ist zum Messen der physikalischen Größe mechanisch bewegbar, wobei der Messumformer 3 in einem ersten Zustand thermische Fluktuationen entsprechend einer effektiven Temperatur TI aufweist. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel der der Messumformer 3 eine Membran.

Das MEMS 1 umfasst einen Hochfrequenz-Resonator 4, welcher mit der Sensorvorrichtung 2 mechanisch gekoppelt ist, wobei durch die Kopplung der Hochfrequenz-Resonator 4 mit dem Messumformer 3 der Sensorvorrichtung 2 wechselwirken kann. Der Hochfrequenz- Resonator 4 ist als mechanischer Hochfrequenz-Resonator 4 ausgebildet. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Hochfrequenz-Resonator 4 durch Bragg-Spiegel 5 gebildet, zwischen welchen akustische Oberflächenwellen 6 ausgebildet werden, wobei diese akustischen Oberflächenwellen 6 an der Oberfläche des Messumformers 3 (der Membran) ausgebildet sind.

Das MEMS 1 weist einen Energiewandler 7 auf, welcher mit dem Hochfrequenz-Resonator 4 wirkverbunden und dazu eingerichtet ist, den Hochfrequenz-Resonator 4 in einen ersten Schwingungszustand anzuregen, wobei der Hochfrequenz-Resonator 4 im angeregten ersten Schwingungszustand eine Übergangsfrequenz aufweist. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel ist der Energiewandler 7 ein Interdigitaler Transducer.

Durch die Wechselwirkung des in der Übergangsfrequenz schwingenden Hochfrequenz- Resonators 4 mit dem Messumformer 3 der Sensorvorrichtung 2 ist Energie von dem Messumformer 3 auf den Hochfrequenz- Resonator 4 derart übertragbar, dass der Messumformer 3 nach dem Energieübertrag einen zweiten Zustand aufweist, in welchem der Messumformer 3 thermische Fluktuationen entsprechend einer effeküven Temperatur T2 aufweist. Die Temperatur T2 ist niedriger als TI. Der Messumformer 3 weist somit, durch die Wechselwirkung mit dem Hochfrequenz-Resonator 4, geringere thermische Fluktuationen bzw. ein verringertes thermisches Rauschen auf.

Bei dem Energieübertrag von dem Messumformer 3 zu dem Hochfrequenz-Resonator 4 Phononen von ersten Moden (am Messumformer) zu zweiten Moden (am Hochfrequenz- Resonator) transferiert werden, wobei die ersten Moden niederfrequenter sind als die zweiten Moden. Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen MEMS 1, wobei der Messumformer 3 als schwingfähiger Balken ausgebildet ist. Der Messumformer 3 ist aus einem piezoelektrischen Material gebildet und der Energiewandler 7 umfasst zwei Elektroden, wobei eine Elektrode vertikal über und eine Elektrode vertikal unter dem Messumformer 3 angeordnet ist. Die Elektroden des Messumformers 7 sind dazu eingerichtet, das piezoelektrische Material zur Schwingung anregen. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel werden in dem Messumformer 3 Bulk-Moden ausgebildet. Die untere Elektrode des Energiewandlers ist auf einem Substrat 8 aufgebracht.

In diesem Ausführungsbeispiel sind der Hochfrequenz- Resonator 4 und der Messumformer 3 einstückig ausgebildet und der Energiewandler 7 ist mit dem Messumformer 3 derart wirkverbunden, dass der Energiewandler 7 den Messumformer 3 anregt, wobei durch die Anregung in dem Messumformer 3 Bulk-Moden mit der Übergangsfrequenz oder der Auslesefrequenz ausgebildet sind.