以下、本発明の実施例について図を参照� ��て説明する。

[実施例1]
 はじめに、本発明の実施例1について、図1A- 図1Dを用いて説明する。図1Aは、実施例1にお� ��るマイクロミラー素子の構成例を示す平面� ��、図1Bおよび図1Cは、実施例1におけるマイ� �ロミラー素子の構成例を示す断面図、図1Dは 、実施例1におけるマイクロミラー素子の構� �例を示す部分拡大した平面図である。図1Aで は、複数のマイクロミラー素子を紙面上下方 向(x方向)に配列してマイクロミラーアレイと した状態を示している。

 本実施例1におけるマイクロミラー素子は 、例えば、電極基板101と、電極基板101に対向 して配置されたミラー基板108とを備え、複数 のマイクロミラー素子が配置されるマイクロ ミラーアレイ領域を囲うように設けられた支 持構造体107により、電極基板101の上に所定距 離離間してミラー基板108が固定されている。 電極基板101とミラー基板108とは、互いに平行 な関係で配置されている。

 単結晶シリコンから構成された電極基板1 01には、配線102,配線103よりなる配線層と、配 線層を覆うように形成された層間絶縁層104と が形成されている。また、電極基板101の層間 絶縁層104の上には、1つのマイクロミラー素� �毎に、可動梁駆動電極105a,可動梁駆動電極105 b,ミラー駆動電極106a,及びミラー駆動電極106b� ��設けられている。これら、可動梁駆動電極1 05a,可動梁駆動電極105b,ミラー駆動電極106a,及� ��ミラー駆動電極106bにより1つ(1組)の電極部� �構成されている。

 可動梁駆動電極105a及び可動梁駆動電極105 bは、層間絶縁層104を貫通する貫通電極110に� �りいずれかの配線102に接続し、ミラー駆動� �極106a及びミラー駆動電極106bは、層間絶縁層 104を貫通する貫通電極111によりいずれかの配 線103に接続している。なお、上述では、各配 線を、層間絶縁層104により層間分離して配置 しているが、これに限らず、各電極形成面の 上に各配線を設けるようにしても良い。

 ミラー基板108は、上記マイクロミラーア� ��イ領域が開口する枠部181を備え、枠部181が� ��持構造体107の上に接続している。また、ミ� ��ー基板108の枠部181の内側には、一端が枠部1 81に固定された可動梁182a及び可動梁182bを備� �ている。可動梁182a及び可動梁182bは、各々の 一端が枠部181の内側の対向する2つの辺の各� �に固定され、上記2つの辺の対向する方向の� ��じ線上に、所定の距離離間して整列してい� ��。このように、可動梁182aおよび可動梁182b� �、一端が固定され、他端の側で対向して所� �の距離離間して1列に配置されている。図1A� �例では、y軸方向に平行な線上に、可動梁182a 及び可動梁182bが整列されている。また、可� �梁182a及び可動梁182bは、各々の他端が、ミラ ー基板108の法線方向に変位可能とされ、片持 ち梁構造とされている。

 また、可動梁182a及び可動梁182bの間には� �屈曲可能な一対の連結部109a,109bにより連結� �れてミラー183が配置されている。ミラー183� �、可動梁182a及び可動梁182bと1列に配列され� �可動梁182a及び可動梁182bの間に回動可能に配 置されている。また、連結部109a,109bは、可動 梁182a及び可動梁182bの各々の他端とミラー183� ��を連結している。可動梁182a及び可動梁182b� �接続する2つの辺の対向する方向の同じ線上� ��、可動梁182a,ミラー183,及び可動梁182bが、こ の順に整列している。これら可動梁182a,ミラ� ��183,可動梁182b,及び一対の連結部109a,109bで、1 つ(1組)の反射部を構成している。

 図1A,図1B,図1Cの例では、y軸方向に平行な� ��上に、可動梁182a,ミラー183,及び可動梁182bが 整列されている。また、ミラー183は、一対の 連結部109a,109bを通る第1回動軸を中心に回動� �能とされている。図1A,図1B,図1Cの例では、y� �に平行な第1回動軸を中心に回動可能とされ� ��いる。また、図1Aでは、可動梁182a,ミラー183 ,及び可動梁182bが整列(配列)されている方向� �垂直な方向に添って、複数のマイクロミラ� �素子が配置されてマイクロミラーアレイを� �成している。なお、ミラー183の表面には、� �やアルミニウムなどから構成された反射膜18 3aが形成され、例えば赤外領域の光を反射可� ��としている。

 上述した可動梁駆動電極105a,可動梁駆動� �極105b,及び1組のミラー駆動電極106a,106bと、� �れらに対となる可動梁182a,ミラー183,可動梁18 2b,及び一対の連結部109a,109bで、1つのマイク� �ミラー素子が構成されている。1つのマイク� ��ミラー素子においては、電極基板101(ミラー 基板108)の法線方向(z軸方向)に対向し、可動� �駆動電極105aと可動梁182aとが配置され、可動 梁駆動電極105bと可動梁182bとが配置され、1組 のミラー駆動電極106a,106bとミラー183とが配置 されている。

 可動梁駆動電極105a,可動梁駆動電極105bに� ��、可動梁182a,可動梁182bを駆動するための駆� ��電圧(駆動信号)が、配線102を介して供給さ� �る。また、ミラー駆動電極106a及びミラー駆� ��電極106bには、ミラー183を駆動するための駆 動電圧が、配線103を介して供給される。なお 、図では簡略化して示しているが、可動梁駆 動電極105aに接続する配線102と可動梁駆動電� �105bに接続する配線102とは異なり、ミラー駆� ��電極106aに接続する配線103とミラー駆動電極 106bに接続する配線103とは異なり、各々異な� �任意の駆動電圧を印加することが可能とさ� �ている。なお、可動梁182a,ミラー183,可動梁18 2b,及び一対の連結部109a,109bは、等電位とされ る。ここで、等電位とは、例えば接地電位と すればよい。

 上述した本実施例1におけるマイクロミラ ー素子は、電極基板101とミラー基板108とを、 支持構造体107を介して貼り合わせることで形 成されている。この中で、ミラー基板108は、 例えば、SOI(Silicon On Insulator)基板から形成で きる。SOI基板は、シリコンからなる厚い基体 部の上に埋め込み絶縁層を介して薄いシリコ ン層(SOI層)を備えたものであり、SOI層を加工� ��ることで、枠部181,可動梁182a及び可動梁182b, 連結部109a,109b,及びミラー183などの板状の構� �体が形成できる。これら構造体を加工した� �、基体部,埋め込み絶縁層などを除去すれば� ��い。また、反射膜183aは、所望とする金属を 例えばスパッタ法や蒸着法などにより堆積す ることで形成すればよい。

 一方、電極基板101は、よく知られたLSI集� ��回路など半導体装置の製造方法を用いるこ� ��で形成可能である。また、主表面の結晶方� ��が(100)面の単結晶シリコン基板を、水酸化� �リウムなどのアルカリ溶液でエッチング加� �し、シリコン基板に所定の深さの凹部を形� �することで、支持構造体107を備える電極基� �を形成するようにしても良い。よく知られ� �いるように、単結晶シリコンは、(111)面が、 (100)面や(110)面に比べて著しくアルカリによ� �エッチング速度が小さい。この現象を利用� �ることで、角錐台とした支持構造体を形成� �ることが可能である。

 なお、個別に用意した支持構造体を用い� ��ようにしても良い。例えば、半田バンプや� ��っきなどにより形成した支持構造体を用い� ��ようにしても良い。また、電極基板101にお� ��て、配線102及び配線103に接続する複数の素� ��から構成された集積回路を備えるようにし� ��この集積回路により、各電極に印加される� ��動電圧を制御する制御回路を構成しても良� ��。また、ミラー部と電極部とを表面マイク� ��マシーニングにより、ビルドアップして一� ��的に形成する製造方法であっても良い。

 次に、上記マイクロミラー素子の動作に� ��いて説明する。まず、可動梁駆動電極105bに 所定の駆動電圧を印加することで、発生した 静電引力により可動梁182bに対して電極基板10 1の側に引き寄せる力を加えれば、図1Cに示す ように、可動梁182bが、枠部181に支持されて� �る一端を支点としてたわみ(変形し)、可動梁 182bの他端が電極基板101の側に引き寄せられ� �ように変位する。この結果、ミラー183は、� �結部109aを支点として連結部109bの側が電極基 板101の側に引き寄せられ、ミラー183は、電極 基板101に平行な状態ではなくなり、y軸方向� �傾いた状態となる。なお、図1Bは、各電極に 電圧が印加されていない初期状態を示してい る。

 図1Cに示す状態は、マイクロミラー素子� �配列方向(x軸方向)に平行なミラー183の中央� �を通る第2回動軸を中心に、ミラー183が回動� ��ていることになる。この回動動作は、可動� ��駆動電極105aに所定の駆動電圧を印加するこ とで、前述同様に可動梁182aの他端を電極基� �101の側に引き寄せることでも行え、この場� �は、第2回動軸を中心に、上述した場合とは� ��対方向にミラー183を回動させることになる� ��例えば、ミラー183による反射光の投影先を� ��図31に示すように等間隔で配列された複数� �ポート間で切り替える場合について例示す� �。この場合、可動梁駆動電極105aに印加する� ��動電圧を、図3Aに示すように変化させるこ� �で、図3Bの斜視図に示すようにミラー183の第 2回動軸を中心とした可動動作の回動角度を� �御すればよい。

 ところで、ミラー183の第2回動軸を中心と した回転角度は、ミラー183の両端に接続され た連結部109a及び連結部109bの中央部間を結ぶy 軸方向の長さと、可動梁182a又は可動梁182bが� ��極基板101の側に引き寄せられた際の連結部1 09a及び連結部109bの中央部の沈み込み量との� �係で決定される。例えば、連結部109a及び連� ��部109bの中央部間の長さが500μmで、沈み込み 量が13μmの場合、ミラー183の回転角度θ=tan-1(1 3/500)≒1.5°となる。ここで、沈み込み量は、� ��動梁駆動電極105a又は可動梁駆動電極105bに� �動電圧を印加して発生する静電引力と可動� �182a又は可動梁182bのz軸方向のばね定数によ� �て定まる反発力とのつりあいによって決定� �れる。少ない静電引力でミラー183をより大� �く回転させるためには、可動梁駆動電極及� �可動梁の面積をより大きくすることが有効� �あり、幅(x軸方向)が一定の場合は、長さ(y軸 方向)をより大きくすることが有効である。� �えば、可動梁182a又は可動梁182bの長さに対す る一対の連結部109a,109bの中央部間の長さの比 は、2対1程度とすることが好適である。

 上述した第2回動軸による回動は、第2回� �軸がz軸方向に移動しながら行われるものと� ��る。これに対し、可動梁182a及び可動梁182b� �z軸方向に異なる側に変位させることで、第2 回動軸を移動させることなく、ミラー183を第 2回動軸を中心に回動させることができる。� �えば、可動梁駆動電極105a及び可動梁駆動電� ��105bに所定のバイアス電圧が印加された状態 より、可動梁駆動電極105a及び可動梁駆動電� �105b印加する駆動電圧を制御することで、可� ��梁182a及び可動梁182bをz軸方向に異なる側に� ��位させればよい。

 また、ミラー駆動電極106a及びミラー駆動 電極106bに印加する電圧を制御することで、� �2の斜視図に示すように、一対の連結部109a,10 9bを通る第1回動軸を中心に、ミラー183を回動 させることができる。例えば、ミラー駆動電 極106aに対してミラー駆動電極106bの方により� ��い電圧が印加し、ミラー183が、第1回動軸を 中心に、ミラー駆動電極106bの側に傾斜する� �うに制御することができる。従来のマイク� �ミラー素子は、連結部を略固定端として設� �された素子であったが、本実施例1における� ��イクロミラー素子では、連結部109a,109bを積� ��的に動かすことで、1対の連結部で2軸の回� �を実現している。なお、上述では、第1回動� ��に線対称に、一対のミラー駆動電極106a及び ミラー駆動電極106bを備えるようにしたが、� �れに限らず、ミラー駆動電極は、いずれか� �方のみでも、ミラー183を回動させることは� �能であり、ミラー駆動電極は、1つであって� ��良い。

 なお、ミラー183は静電引力により駆動し� ��おり、反射部と電極部との間の距離とこれ� ��の間に存在している気体(空気)の誘電率、� �射部と電極部との間に印加されている電圧� �ミラーや可動梁などの構造体の面積と剛性� �どがパラメータとなり、変形状態、すなわ� �ミラーの回転角度が決定される。従って、� �求される仕様を満たすように上述したパラ� �ータを決定することが、マイクロミラー素� �を設計することになり、要求仕様によって� �構造体の材料と大きさ、形状などが適宜決� �される。特に、連結部109a,109bの形状に関し� �は、図4に示すつづら折り構造が適用可能な� ��合もある。また、これ以外の形状であって� ��良い。例えば、つづら折りの長い部分(x軸� �向)に、この延在方向とは異なる方向に凹凸� ��交互に並んだ複数の屈曲部を備える連結部� ��用いるようにしても良い(文献2:特許第3831346 号公報参照)。

 次に、連結部109a,109bについて説明する。� ��えば連結部109aは、x軸方向又はy軸方向と直� ��する断面が略矩形の形状を有し、図1Dの平� �図に示すように、略四角形を回動軸に対称� �形成した略H字状の平面形状を有する。連結� ��109aは、15個の部分191a,部分192a,部分193a,部分1 94a,部分195a,部分196a,部分197a,部分198,部分191b,� �分192b,部分193b,部分194b,部分195b,部分196b,及び� ��分197bから構成され、部分191aが可動梁182aに� ��続し、部分191bがミラー183の一端に接続し、 可動梁182aにミラー183を回動可能に連結して� �る。

 なお、連結部109aが連結する一方の接続点 と他方の接続点とを結ぶ方向を「回動軸方向 」又は「y軸方向」、連結部109aの幅方向、す� ��わち連結部109aを含む平面内においてy軸方� �と直交する方向を「x軸方向」、連結部109aの 厚さ方向すなわちy軸方向及びx軸方向に直交� ��る方向を「z軸方向」、連結部109aに連結す� �ミラー183が回動する方向、すなわちy軸回り� ��方向を「回動方向」又は「R方向」という。

 連結部109aの平面形状についてより詳細に 説明する。図1Dに示すように、連結部109aは、 部分191a~197a,191b~197b,198が連続して接続される� ��とにより平面視略H字状の形状を構成してい る。部分191a~部分191bは、各々平面視略矩形の 梁の形状を有し、以下に示すように設けられ ている。なお、以下において、各部分の距離 とは、連結部109aを線状にしたとき各部分に� �応する線分の長さ、言い換えると、各部分� �連結する方向に沿った各部分の中心線の長� �のことを意味する。

 部分191aは、可動梁182aに接続された一端� �らy軸方向の正の方向に距離L1だけ延在する� �うに形成されている。部分192aは、部分191aの 他端に接続された一端からx軸方向の正の方� �に距離L2だけ延在するように形成されている 。部分193aは、部分192aの他端に接続された一� ��からy軸方向の負の方向に距離L3(L1>L3)だけ 延在するように形成されている。部分194aは� �部分193aの他端に接続された一端からx軸方向 の正の方向に距離L2だけ延在するように形成� ��れている。部分195aは、部分194aの他端に接� �された一端からy軸方向の正の方向に距離L4(L 4>L3)だけ延在するように形成されている。

 部分196aは、部分195aの他端に接続された� �端からx軸方向の負の方向に距離L2だけ延在� �るように形成されている。部分197aは、部分1 96aの他端に接続された一端からy軸方向の負� �方向に距離L5(L4>L5>L3、(L4-L3)>L5)だけ延� ��するように形成されている。部分198は、部� ��197aの他端に接続された一端からx軸方向の� �の方向に距離L6(L6≒2L2)だけ延在するように� �成されている。部分197bは、部分198の他端に� ��続された一端からy軸方向の負の方向に距離 L5だけ延在するように形成されている。部分1 96bは、部分197bの他端に接続された一端からx� ��方向の負の方向に距離L2だけ延在するよう� �形成されている。

 部分195bは、部分196bの他端に接続された� �端からy軸方向の正の方向に距離L4だけ延在� �るように形成されている。部分194bは、部分1 95bの他端に接続された一端からx軸方向の正� �方向に距離L2だけ延在するように形成されて いる。部分193bは、部分194bの他端に接続され� ��一端からy軸方向の負の方向に距離L3だけ延� ��するように形成されている。部分192bは、部 分193bの他端に接続された一端からx軸方向の� ��の方向に距離L2だけ延在するように形成さ� �ている。部分191bは、部分192bの他端に接続さ れた一端からy軸方向の正の方向に距離L1だけ 延在するように形成されている。

 ここで、連結部109aのy軸方向に形成され� �部分191a,193a,195a,197a,197b,195b,193b,191bの長さの� �計は、無負荷状態における可動梁182aとミラ� ��183との間隔(連結部109aの全長)よりも長く、� ��つ、x軸方向に形成された部分192a,194a,196a,198 ,196b,194b,192bの長さの合計よりも長い。上記長 さの合計とは、各部分をその長手方向、言い 換えるとy軸方向又はx軸方向に沿って一列に� ��結した長さを表す。なお、部分192aと部分194 a及び部分194bと部分192bは、各々同じ長さに形 成されているが、異なる長さに形成するよう にしてもよい。同様に、部分191aと部分191bも� ��なる長さに形成するようにしてもよい。

 また、部分191a~部分191bの各々の長さは、� ��行に形成された部分と離間しているのであ� ��ば、例えば全ての部分の長さが異なるよう� ��し、また、部分191aと部分191bの軸線が一致� �ないようにするなど、適宜自由に設定する� �とができる。従って、少なくとも、部分191a� ��部分197b、部分192aと部分198、部分197aと部分1 91b、及び、部分198と部分192bは、各々互いに� �間するように形成される。

 このような形状を有する連結部109aは、ば ね定数などの特性を決定するパラメータとし て、連結部109aの全長及び幅、また、y軸方向� ��平行に形成された部分の長さの合計、x軸方 向と平行に形成された部分の長さの合計、連 結部109aの厚さなどがある。また、上記パラ� �ータとして、y軸に平行な部分間の間隔、及� ��全長に対するy軸方向に平行な部分(部分195a� ��は部分195b)の長さの比もある。

 上述した平面視略H字状の形状とした連結 部109a,109bによれば、R方向のばね定数を小さ� �設定する場合、つづら折り形状を有する連� �部よりも各軸方向のばね定数を大きくする� �とができる。これは、連結部のR方向のばね� ��数は、回動軸方向、すなわちy軸方向に形成 された部分の長さに大きく依存するからであ る。このy軸方向に形成された部分とは、例� �ば図1Dにおける部分191a,193a,195a,197a,197b,195b,193 b,191bに相当する。

 MEMSのような微小な構造体において、R方� �のばね定数の大小は、連結部のたわみより� �連結部のねじれに大きく起因する。このた� �、従来のつづら折り形状の連結部のように� �連結部をたわませて回動させることを想定� �て形成された連結部では、折り返し部等の� �さを長くして各軸方向のばね定数が大きい� �まR方向のばね定数を小さくしようとしても� ��これを実現することができなかった。また� ��従来のつづら折り形状の連結部では、y軸方 向の長さに限界がある、すなわち、連結部全 体の長さよりも長くすることができないため 、R方向のばね定数を広い範囲で適宜自由に� �定することが困難であった。

 これに対して、連結部109a,109bは、y軸方向 を複数回往復する略H字状の形状とすること� �より、y軸方向の部分の長さを長くして、連� ��部109a,109bがy軸回りにねじれやすくする、す なわち、R方向のばね定数が小さくなるよう� �している。これにより、x軸,y軸,及びz軸方向 のばね定数を、つづら折りの連結部よりも低 下させることなく、R方向のばね定数を広い� �囲で適宜自由に設定することができる。特� �、軸線が連結部109a,109bのy軸方向と平行に形� ��された部分の長さの合計を、軸線がx軸方向 と平行に形成された部分の長さの合計よりも 長く形成すれば、各軸のばね定数を大きくす ることができ、R方向のばね定数をより広い� �囲で適宜自由に設定することができる。

 また、平面視略H字状の形状とした連結部 109a,109bでは、限られたx軸方向の間隔内に、y� ��方向に平行な部分をより多く配設すること� ��可能であり、より多くの軸線でねじれを生� ��させることができるので、R方向のばね定数 をより小さくすること可能である。なお、上 述したように、平面視略H字状の形状とした� �結部を用いることで、R方向のばね定数が容� ��に制御可能となるが、図4に示すように、つ づら折りの形状を有するトーションばねより 連結部409を構成するようにしても良いことは いうまでもない。

 なお、上述では、複数のマイクロミラー� ��子を等間隔で配列しているが、これに限る� ��のではない。例えば、経路を切り替える対� ��の各光信号が、周波数間隔が一定となるよ� ��に分波されている場合、各マイクロミラー� ��子(ミラー183)の間隔は、一定ではなく、光� �号の周波数に関係した式で算出される間隔� �なる。これに対し、経路を切り替える対象� �各光信号が、波長間隔が一定となるように� �波されている場合は、一般的に各マイクロ� �ラー素子(ミラー183)の間隔を一定としている 。

 また、ミラー183の幅(x軸方向),長さ(y軸方� ��)及びミラー183のx軸方向の配列間隔は、経� �を切り替える対象の各光信号の波長間隔、� �信号の通過帯域あるいは透過帯域、光信号� �ビームの仕様・設計によって決定すればよ� �。例えば、光信号の周波数間隔を100GHzとし� �通過帯域(0.5dB帯域幅)60GHzを実現するために� �、ミラー183の上でのビーム半径が20μmの場合 、ミラー183のx軸方向の配列間隔を100μm、幅� �85μmとすればよい。

 また、上述ではミラー183の形状を平面視� ��形としたが、これに限るものではない。例� ��ば、図5の平面図に示すように、マイクロミ ラー素子の配列方向に対向しているミラー183 の辺(側面)が、隣り合うマイクロミラー素子� ��側に凸とされた平面形状のミラー583を用い� ��ようにしても良い。言い換えると、ミラー5 83は、連結部109a及び連結部109bに近づくほど� �が狭くなる平面形状とされている。図5の例� ��は、6角形としている。

 このようにすることで、分波した各波長� ��光をミラー間にはみ出させることなく、隣� ��合うミラー同士の間隔の狭い領域を小さく� ��ることが可能となり、ミラー同士の固着を� ��制しやすくなる。分波した各波長の光は、� ��形又は楕円形のビームになるため、上述し� ��ようなミラーの形状とすることにより、ミ� ��ーの中央でビームを反射する際に、隣り合� ��ミラー間の間隙によるビームのケラレによ� ��損失を低減することが可能となる。さらに� ��隣り合うミラー同士が最も近くなる箇所が� ��1点になるため、製造上、ミラー同士を分離 した構造が形成しやすくなる。

 また、図6の平面図に示すように、平面形 状が、一対の連結部109a,109bを通る第1回動軸� �に長軸が配置される楕円とされたミラー683� �用いるようにしても良い。このように楕円� �することによっても、前述同様に、ミラー� �士の固着を抑制しやすくなる。また、楕円� �することで角がない状態としているので、� �ラー回動のときに電極部の側に接触するこ� �が抑制できるようになり、回動範囲をより� �きくとれるようになる。

 ところで、実使用においては、上述した� ��1回動軸及び第2回動軸による回動において� �いずれかの駆動電極に対して過大な電圧が� �加され、可動梁や連結部の復元力よりも大� �な静電引力(駆動力)が発生すると、連結部の 側の可動梁の先端部やミラーの先端部が、駆 動電極に接触(衝突)するプルイン(Pull-in)現象� ��おきてしまい、問題となる。例えば、この� ��うなプルイン現象(接触)で、ミラーの先端� �が電極に融着して固定され、また、可動梁� �電極とが固着し、光信号の切り替え動作が� �可能になる場合がある。

 上述した問題を回避するためには、例え� ��、図7A,図7Bに示すように、可動梁182a及び可� ��梁182bの連結部109a及び連結部109bの側に連結� ��を挟むように延在する可動梁延在部701を設� ��、同様に、ミラー182の連結部109a及び連結部 109bの側に連結部を挟むように延在するミラ� �延在部702を設け、加えて、電極基板101(層間� ��縁層104)の上に支承部703を設ければよい。支 承部703は、可動梁駆動電極105a,可動梁駆動電� ��105b,ミラー駆動電極106a,及びミラー駆動電極 106bより高く形成する。

 このようにすることで、例えば、可動梁1 82aに対して大きな静電引力が加わり電極基板 101の側に引き寄せられても、可動梁延在部701 が支承部703に接触し、可動梁182aが可動梁駆� �電極105aに接触することがない。この結果、� ��述した融着や固着による問題が回避される� ��うになる。なお、使用部703の電位は、ミラ� ��182および可動梁182a,182bと同電位とすること� ��望ましく、例えば接地電位とすることが望� ��しい。また、延在部は、可動梁及びミラー� ��いずれか一方に備わる構造であっても良い� ��

 次に、ミラー駆動電極106a及びミラー駆動 電極106bによるミラー183の駆動におけるクロ� �トークについて説明する。前述したように� �マイクロミラー素子は、狭い間隔で配列さ� �る。このため、図8Aの断面図に示すように、 マイクロミラー素子のミラー駆動電極106bに� �る静電引力が、当該マイクロミラー素子の� �ラー183に対してだけでなく、この隣のマイ� �ロミラー素子のミラー183にも影響する。こ� �ように、隣り合うミラー183の間で電気的干� �(クロストーク)が発生する場合がある。

 上述の問題に対し、図8Bの断面図に示す� �うに、隣り合うマイクロミラー素子のミラ� �駆動電極106bとミラー駆動電極106aとの間に、 ミラー183と同電位(等電位)とされた素子間電� ��801を設ければよい。素子間電極801により、� ��ラー駆動電極106a及びミラー駆動電極106bに� �る隣のマイクロミラー素子のミラー183への� �ロストークの影響を低減させることができ� �。

 次に、上述したクロストークの影響を低� ��するための素子間電極の形成例について説� ��する。例えば、図9A,図9B,図9Cに示すように� �1つのマイクロミラー素子において対となる� ��ラー駆動電極106a及びミラー駆動電極106bの� �囲を取り囲むように、素子間電極904が形成� �れているようにすればよい。また、このよ� �に素子間電極904を形成する場合、素子間電� �904に接続して支承部903を設け、支承部903を� �属などの導電性材料より構成すればよい。� �のようにすることで、支承部903における電� �の蓄積が発生しない。なお、図9Aは、3つの� �イクロミラー素子が配列している部分を示� �平面図、図9Bは、部分断面図、図9Cは、ほぼ1 つのマイクロミラー素子に対応した領域にお ける各電極が形成されている状態を示す平面 図である。

 また、図10A,図10B,図10Cに示すように、平� �視、平行とされた対辺のうちマイクロミラ� �素子の外側の辺が短くされた台形に、ミラ� �駆動電極1006a及びミラー駆動電極1006bが形成� ��れ、この電極形状に沿うように、素子間電� ��1004が形成されているようにしても良い。図 10A,図10B,図10Cに示す例では、ミラー駆動電極1 006a及びミラー駆動電極1006bは、平面視等脚台 形とされている。なお、ミラー駆動電極1006a� ��びミラー駆動電極1006bは、台形に限るもの� �はなく、1組のマイクロミラー素子の形成領� ��内において、外側(隣のマイクロミラー素子 の側)に行くほど第1回動軸方向の長さが小さ� ��なるように形成され、素子間電極1004がより 内側にまで入り込めるようにされていればよ い。

 このように、マイクロミラー素子形成領� ��の外側(隣のマイクロミラー素子の側)の角� �面取りされたミラー駆動電極1006a及びミラー 駆動電極1006bによれば、素子間電極1004をより ミラー183の側に進入さて形成することができ 、ミラー183の側に入り込んだ支承部1003が形� �可能となる。この結果、ミラー183に延在部� �設けることなく、電極基板101側に引き寄せ� �れたミラー183の端部を、支承部1003に接触さ� ��ることができるので、ミラー183に延在部を� ��けることなく、前述した固着の問題を解消� ��ることができる。なお、図10Aは、3つのマイ クロミラー素子が配列している部分を示す平 面図、図10Bは、部分断面図、図10Cは、ほぼ1� �のマイクロミラー素子に対応した領域にお� �る各電極が形成されている状態を示す平面� �である。

 次に、他の形態の可動梁について説明す� ��。例えば、図11Aの平面図及び図11Bの断面図� ��示すように、可動梁182aに、開口部1101を設� �るようにしても良い。このように開口部1101� ��設けることで、開口部1101を設けた領域の可 動梁182aのばね定数を小さくすることができ� �。このようにばね定数を小さくすることで� �開口部を設けていない場合に比較して、同� �の可動梁182aの変形量(変位量)をより少ない� �動電圧により実現できるようになる。なお� �これは、図1A,図1B,図1Cに示す可動梁182bにつ� �ても同様である。

 また、図12A,図12Bに示すように、ミラー基 板108との固定端側の幅を細くした可動梁1200a� ��用いるようにしても良い。可動梁1200aは、� �定端側の幅が狭くされた梁部1201aと、細い梁 部1201aと連結部109aとの間の梁部1202aとから構� ��されている。図12Aでは、梁部1202aの領域に� �応するように、可動梁駆動電極1205aを備える 。固定端側の幅を細くしたので、ばね定数が 小さくなり、細くしていない場合に比較して 、同様の可動梁1205aの変形量(変位量)をより� �ない駆動電圧により実現できるようになる� �このため、より面積の小さな可動梁駆動電� �1205aにより、同様の変形量が得られるように なる。また、図12Bに示すように、可動梁1200a� ��全域に対応する可動梁駆動電極1215aを設け� �ようにしても良い。この場合、より低い駆� �電圧で、同様の変形量が得られるようにな� �。なお、上述のことは、ミラーを挟んで対� �している一方の可動梁についても同様であ� �。

[実施例2]
 次に、本発明の実施例2について、図13A-図13 Cおよび図14を用いて説明する。図13Aは、実施 例2におけるマイクロミラー素子の構成例を� �す平面図、図13Bおよび図13Cは、実施例2にお� ��るマイクロミラー素子の構成例を示す断面� ��である。図13Aでは、複数のマイクロミラー� ��子を紙面上下方向(x方向)に配列してマイク� ��ミラーアレイとした状態を示している。

 本実施例2におけるマイクロミラー素子は 、まず、各々の可動梁駆動電極105aおよび可� �梁駆動電極105bに、壁電極115aおよび壁電極115 bを備えるようにしたところに特徴がある。� �なくとも可動梁184aが変位する領域を挟むよ� ��に、2つの壁電極115aが配置されている。同� �に、少なくとも可動梁184bが変位する領域を� ��むように、2つの壁電極115bが配置されてい� �。また、壁電極115aは、可動梁駆動電極105aに 電気的に接続し、壁電極115bは、可動梁駆動� �極105bに電気的に接続している。なお、壁電� ��115a,壁電極115bは、可動梁駆動電極105a,可動� �駆動電極105bに直接接触している必要はなく� ��例えば、層間絶縁層104の下の配線層で電気� ��に接続されているようにしてもよい。

 ここで、各々の可動梁駆動電極105aに対向 する可動梁184aは、壁電極115aで挟まれている� ��域において可動梁駆動電極105aの側に変位可 能となる範囲の幅とされている。同様に、各 々の可動梁駆動電極105bに対向する可動梁184b� ��、壁電極115bで挟まれている領域において可 動梁駆動電極105bの側に変位可能となる範囲� �幅とされている。従って、可動梁184aおよび� ��動梁184bは、例えば、ミラー183より幅が狭く 形成されている。

 なお、他の構成は、前述した実施例1と同 様である。

 本実施例2においては、例えば、2つ壁電� �115aが、可動梁184a,ミラー183,及び可動梁184bが 配列されている方向(y軸方向)における可動梁 駆動電極105aの2つの側部に接続している。ま� ��、壁電極115aは、y軸方向に延在している。� �って、マイクロミラー素子の配列方向の断� �では、可動梁駆動電極105aと2つの壁電極115a� �で、可動梁184aの側が開放したコの字状の形� ��を構成している。可動梁駆動電極105aに所定 の駆動電圧を印加することで引き寄せられる 可動梁184aは、2つの壁電極115aの間に入り込む ことになる。これらのことは、可動梁駆動電 極105bの領域においても同様である。

 また、本実施例2においても、以下に説明 するように、前述した実施例と同様に動作す る。まず、可動梁駆動電極105bに所定の駆動� �圧を印加することで、発生した静電引力に� �り可動梁184bに対して電極基板101の側に引き� ��せる力を加えれば、図13Cに示すように、可� ��梁184bが、枠部181に支持されている一端を支 点として変形し、可動梁184bの他端が電極基� �101の側に引き寄せられるように変位する。� �の結果、ミラー183は、連結部109aを支点とし� ��連結部109bの側が電極基板101の側に引き寄せ られ、ミラー183は、電極基板101に平行ではな くなり、y軸方向に傾く。なお、図13Bは、各� �極に電圧が印加されていない初期状態を示� �ている。

 図13Cに示す状態は、マイクロミラー素子� ��配列方向(x軸方向)に平行なミラー183の中央� ��を通る第2回動軸を中心に、ミラー183が回動 していることになる。この第2回動軸による� �動は、第2回動軸がz軸方向に移動しながら行 われるものとなる。これに対し、可動梁184a� �び可動梁184bをz軸方向に異なる側に変位させ ることで、第2回動軸を移動させることなく� �ミラー183を第2回動軸を中心に回動させるこ� ��ができる。例えば、可動梁駆動電極105a及び 可動梁駆動電極105bに所定のバイアス電圧が� �加された状態より、可動梁駆動電極105a及び� ��動梁駆動電極105b印加する駆動電圧を制御す ることで、可動梁184a及び可動梁184bをz軸方向 に異なる側に変位させればよい。

 また、ミラー駆動電極106a及びミラー駆動 電極106bに印加する電圧を制御することで、� �14の斜視図に示すように、一対の連結部109a,1 09bを通る第1回動軸を中心に、ミラー183を回� �させることができる。例えば、ミラー駆動� �極106aに対してミラー駆動電極106bの方により 高い電圧が印加し、ミラー183が、第1回動軸� �中心に、ミラー駆動電極106bの側に傾斜する� ��うに制御することができる。

 上述したように、本実施例2においても、 前述した実施例1と同様に、ミラー183の2軸の� ��動動作が行える。加えて、本実施例2では、 壁電極115aおよび壁電極115bを備えるようにし� ��ので、以下に説明するように、隣接配置さ� ��ているマイクロミラー素子との間のクロス� ��ークを抑制することができるようになる。

 以下、壁電極115aおよび壁電極115bについ� �、より詳細に説明する。マイクロミラー素� �は、隣接するマイクロミラー素子との間隔� �狭くして配置されるため、可動梁駆動電極10 5aを単純な平行平板電極とした場合、静電引� ��が当該マイクロミラー素子の可動梁182に対� ��てだけでなく、この隣のマイクロミラー素� ��の可動梁182にも影響を与え、その位置が変� ��してしまうことがある。この結果、隣り合� ��ミラー183の間で電気的干渉(クロストーク)� �発生する場合がある。

 例えば、図15Aに示すように、図中左端の� ��動梁182aに対向する可動梁駆動電極105aには� �動電圧を供給していない場合であっても、� �央の可動梁182aに対向する可動梁駆動電極105a に駆動電圧を供給すると、この中央の可動梁 駆動電極105aが左端の可動梁182aに電気的に作� ��し、左端の可動梁182aが可動梁駆動電極105方 向に引き付けられることがある。

 これに対し、可動梁駆動電極105aに接続す る壁電極115aを設けると、図15Bに示すように� �マイクロミラー素子毎に可動梁を駆動する� �めの電界を分離することができる。壁電極11 5aにより、可動梁駆動電極105aから、これに隣 接する可動梁184aへ向かう電気力線はほとん� �遮蔽され、クロストークの影響を抑制する� �とができる。このようなクロストークの抑� �は、壁電極115a,壁電極115bの高さが、初期状� �での可動梁184a,可動梁184bの高さ方向の位置� �ほぼ同じ程度である場合が最も効果的であ� �。

 次に、クロストーク抑制の効果について� ��明する。以下では、3つのマイクロミラー素 子が配列されたマイクロミラーアレイにおい て、中央のマイクロミラー素子の可動梁駆動 電極のみに駆動電圧を供給した場合の中央の マイクロミラー素子のミラーの回転状態(単� �駆動)と、3つのマイクロミラー素子の可動梁 駆動電極に駆動電圧を供給した場合の中央の マイクロミラー素子のミラーの回転状態(同� �駆動)とを比較する。いずれにおいても可動� ��駆動電極には同一の駆動電圧を供給する。� ��た、壁電極を用いない場合を条件1とし、壁 電極を備える場合を条件2とし、上述したよ� �にミラーの回転状態を調べる(比較する)。

 この調査の結果、図16Aに示すように、条� ��1の場合は、駆動電圧を高くすると、単独駆 動(実線)に比較して同時駆動(点線)の方が大� �な回転角度となる。これは、各可動梁が、� �身の可動梁駆動電極のみならず、隣接する� �イクロミラー素子の可動梁駆動電極にも引� �寄せられることにより、可動梁の変位が大� �くなり、結果としてミラーの回転角が大き� �なることに起因する。

 これに対し、条件2の場合は、単独駆動(� �線)と同時駆動(点線)とで、駆動電圧を高く� �ても、ミラーの回転状態にほとんど差は発� �しない。このように、壁電極を用いること� �、隣接するマイクロミラー素子の可動梁駆� �電極からの電気的干渉が無視できる程度に� �減されるようになる。この結果、隣り合う� �イクロミラー素子の間隔を狭くして配置す� �ことができ、かつ、クロストークを抑制す� �ことができるようになる。

 また、壁電極を備えることで、次に示す� ��うに、駆動電圧に対して、より線形的にミ� ��ーの回転角を制御することができるように� ��る。図16Bの点線で示すように、壁電極を用� ��ない場合は、ある駆動電圧を超えると、ミ� ��ーの回転角(変化率)が急激に増大している� �これは、可動梁と可動梁駆動電極と間の静� �引力が急激に増大し、可動梁の復元力との� �衡がくずれ、可動梁が可動梁電極に衝突し� �しまうプルイン現象である。

 これに対し、壁電極を用いる場合、点線� ��示す急激な変化が起きる電圧が可動梁電極� ��供給されても、図16Bの実線に示すように、� ��激な変化が起きておらず、プルイン現象は� ��生しない。また、駆動電圧に対するミラー� ��回転角度変化率の線形性も向上している。

 この効果について検討する。まず、図15B� ��示すように、可動梁駆動電極105aからの静電 引力を受けた可動梁184aは、2つの壁電極115aに 囲われた領域(溝)の内部にもぐりこむこのよ� ��に変位する。この状態で、可動梁182aは、壁 電極115aの上部から、図面上方に引き上げら� �るような静電引力も受ける。このような、� �ルイン現象が発生する方向とは逆方向の力� �作用することにより、プルイン現象が抑制� �れ、変化率の線形性が向上して回転角(可動� ��182aの位置)の制御性が向上するものと考え� �れる。

 次に、壁電極115aおよび壁電極115bの形成� �ついて簡単に説明する。まず、配線層およ� �配線層を覆うように形成された層間絶縁層10 4が表面に形成された電極基板101(単結晶シリ� ��ン基板)の所望の位置に、平板構造の可動梁 駆動電極105aおよび可動梁駆動電極105bを形成� ��る。これら電極は、例えばチタンを下地層� ��して、金を蒸着あるいはスパッタすること� ��より形成することができる。あるいは、蒸� ��ないしはスパッタによる金の薄膜をシード� ��とし、公知のフォトリソグラフィ技術によ� ��樹脂膜(レジスト)で形成したパターンを鋳� �として金めっきをすることで、各電極を形� �してもよい。

 次いで、平板構造の可動梁駆動電極105aお よび可動梁駆動電極105bの所望の領域が開口� �るレジストパターンを形成し、このレジス� �パターンを鋳型として可動梁駆動電極105aお� ��び可動梁駆動電極105bの一部に金をめっきす る。このように、可動梁駆動電極105aおよび� �動梁駆動電極105bの一部をシード層としてめ� ��き膜を形成することで、壁電極115aおよび壁 電極115bが形成できる。

 ところで、壁電極は、例えば図17Aに示す� ��うに、下壁電極1701aと上壁電極1702aとの多段 にしてもよい。このような構造とすることで 、より高い壁電極がより容易に形成できるよ うになる。

 また、図17B,図17Cのように、高さ方向に異 なる厚さの壁電極1703aおよび壁電極1704aを用� �るようにしてもよい。図18の模式的な断面図 に示すように、可動梁駆動電極105aより離れ� �上部に行くほど、内側に入り込むように厚� �された壁電極1703aを用いることで、壁電極170 3aの上端部より可動梁184の上面に対してより� ��い静電引力を作用させることができるよう� ��なる。この結果、可動梁184aが下方に変位し た際に、より強い引き戻しが得られるように なり、「可動梁の制御性の向上」あるいは「 プルイン現象の抑制」という効果をより高め ることができるようになる。

 また、可動梁駆動電極および壁電極は、� ��動梁の全域に対応して配置する必要はなく� ��可動梁の可動端により近い領域に配置され� ��ようにしてもよい。可動梁は片持ち梁構造� ��あり、可動端に印加される静電引力が、可� ��端の変位に最も大きく作用するため、可動� ��駆動電極および壁電極は、可動端に近い領� ��に部分的に配置されるようにしてもよい。

 この場合、図19Aの平面図に示すように、� ��のより細い支持側部分1901aと幅のより広い� �動端側部分1902aとから可動梁1900aを構成し、� ��動端側部分1902aに対向して可動梁駆動電極10 5aおよび壁電極115aが形成されているようにし てもよい。また、図19Bの平面図に示すように 、幅のより広い支持側部分1911aと幅のより細� ��可動端側部分1912aとから可動梁1910aを構成し 、可動端側部分1912aに対向して可動梁駆動電� ��105aおよび壁電極115aが形成されているよう� �してもよい。このように、可動梁の幅を支� �側部分と可動端側の部分とで変化させるこ� �により、可動梁のばね定数を任意の値に設� �することができる。

[実施例3]
 次に、本発明の実施例3について図20,図21,図 22を参照して説明する。なお、すでに説明し� ��実施例と重複する記載については、適宜省� ��している。図20は、本実施例3に係るマイク� ��ミラー素子およびこれらを配列したマイク� ��ミラーアレイの構成を示す斜視図である。� ��20では、2つの可動梁とミラーとが配列され� ��方向(y軸方向)に垂直な方向(x軸方向)に、複� ��のマイクロミラー素子が配列された状態を� ��している。また、図21は、2つの可動梁とミ� ��ーとが配列された方向の断面を示す断面図� ��ある。また、図22は、マイクロミラー素子� �配列された方向の断面を示す断面図である� �

 本実施例3では、前述した実施例2に加え� �隣接するマイクロミラー素子の間の可動梁18 4aおよび可動梁184bの上側に、可動梁184aおよ� �可動梁184bとは離間した上部素子間電極112aお よび上部素子間電極112bを備えるようにした� �のである。また、上部素子間電極112aおよび� ��部素子間電極112bは、隣り合う壁電極115aお� �び壁電極115bの上に共通に配置され、また、� ��電極115aおよび壁電極115bとも離間している� �上部素子間電極112aおよび上部素子間電極112b は、例えば、可動梁184aおよび可動梁184bと同� ��電位(接地電位)とされている。なお、上部� �子間電極112aおよび上部素子間電極112bは、後 述するように、壁電極115aおよび壁電極115bか� ��の漏れ電界を遮蔽するために用いられるも� ��であり、可動梁184aおよび可動梁184bと同じ� �位にされている必要はない。

 このように上部素子間電極112aおよび上部 素子間電極112bを備えた本実施の形態3では、� ��述するように、素子間をより分離できるよ� ��にしたものである。詳述すると、前述した� ��うに、壁電極115aおよび壁電極115bを設ける� �とで、マイクロミラー素子毎に可動梁184aお� ��び可動梁184bを駆動するための電界を分離し ている。しかし、分離するために設けた壁電 極115a,壁電極115bの上部からも、わずかではあ るが電界が漏れ出し、隣接する可動梁184a,可� ��梁184bあるいは隣接する可動梁駆動電極105a,� ��動梁駆動電極105bに作用する可能性がある。

 これら、壁電極115a,壁電極115bの上部から� ��漏れ電界を遮蔽するために、上部素子間電� ��112a,上部素子間電極112bを備える。図23に示� �ように、可動梁184aと同電位とされた上部素� ��間電極112aを設けることで、壁電極115aの上� �から漏れ出す電気力線は完全に遮蔽され、� �り合う素子間のクロストークの影響をさら� �抑制することができる。このようなクロス� �ークの抑制は、壁電極115a,115bの上端と、上� �素子間電極112a,上部素子間電極112bとが、よ� �接近して配置されるとより効果的である。

 ここで、上部素子間電極112a,上部素子間� �極112bの作製について簡単に説明する。上部� ��子間電極112a,上部素子間電極112bは、例えば� ��SOI基板のSOI層より可動梁184aおよび可動梁184 bを形成し、SOI基板のシリコンからなる基体� �より上部素子間電極112a,上部素子間電極112b� �形成すればよい。例えば、埋め込み絶縁層� �介して配置されている基体部およびSOI層に� �各々上部素子間電極および可動梁(ミラー)を 形成し、埋め込み絶縁層を除去すればよい。 また、素子以外の領域において、SOI層と基板 部とを電気的に接続すれば、上部素子間電極 と可動梁とを同じ電位にすることができる。

 上述した上部素子間電極は、可動梁と同� ��のミラー基板に作成されるようにしてもよ� ��。ミラー基板は、ミラーおよび可動梁を形� ��するために、各マイクロミラー素子が配置� ��れる領域が開口するように形成されるが、� ��の開口領域に隣接する領域を上部素子間電� ��としてもよい。このような形成方法とする� ��とにより、上部素子間電極をミラーおよび� ��動梁と同時に形成することができる。この� ��合、上部素子間電極が、ミラー基板として� ��体に形成されていることになる。

 また、例えば図24および図25に示すように 、複数のマイクロミラー素子に対し、一体と された上部素子間電極113aおよび上部素子間� �極114aを備えるようにしてもよい。これらの� ��合、可動梁184a(可動梁184b)の上部にも上部素 子間電極が配置されることになる。ここで、 上部素子間電極は、可動梁とは離間し、壁電 極の上部とは接近して配置した方がよい。こ のため、図25に示す上部素子間電極114aでは、 可動梁184aに対向する箇所に溝部141aを設けて� ��動梁184aからより離間させ、壁電極115aに対� �する箇所には、稜線部143aを設けて壁電極115a により接近させるようにしている。

 このような一体構造の上部素子間電極を� ��ける場合、例えば、ミラー基板108とは別に� ��上部素子間電極が形成された別基板を形成� ��、この別基板をミラー基板に貼り合わせる� ��うに形成すればよい。また、上部素子間電� ��とミラーや可動梁とが同電位となるように� ��接地電位が接続するようにしてもよい。上� ��したように、上部素子間電極(第1上部素子� �電極および第2上部素子間電極)が一体に形成 されているようにすることで、例えば、可動 梁や壁電極との位置合わせが容易になるなど 、より製造しやすいものとなる。

 ところで、隣り合うマイクロミラー素子� ��のクロストークの低減には、図26に示すよ� �に、隣り合うマイクロミラー素子のミラー� �動電極106bとミラー駆動電極106aとの間に、ミ ラー183と同電位(等電位)とされた素子間電極� ��2601を設けることも有効である。素子間電極 壁2601は、図8Bを用いて説明した素子間電極801 を、ミラー駆動電極106a及びミラー駆動電極10 6bよりも高い構造体としたものである。素子� ��電極801の場合に比較し、隣のマイクロミラ� ��素子のミラー駆動電極からの影響を、より� ��減させることができる。素子間電極壁2601は 、ミラー駆動電極とミラーとの間隔の1/2程度 の高さとすることで、マイクロミラー素子間 のミラーの部分におけるクロストークが、最 も効果的に低減できるようになる。

 次に、上述したクロストークの影響を低� ��するための素子間電極壁の形成例について� ��明する。例えば、図27A,図27Bに示すように、 1つのマイクロミラー素子において対となる� �ラー駆動電極106a及びミラー駆動電極106bの周 囲を取り囲む配線部2701を設け、この配線部27 01に接続した状態に、隣り合うマイクロミラ� ��素子のミラー駆動電極106a及びミラー駆動電 極106bとの間に素子間電極壁2703が形成されて� ��るようにすればよい。

 また、このように素子間電極壁2703を形成 する場合、素子間電極壁2703に接続する支承� �2702を設け、支承部2702を金属などの導電性材 料より構成すればよい。このようにすること で、支承部2702における電荷の蓄積が発生し� �い。なお、図27Aは、3つのマイクロミラー素� ��が配列している部分を示す部分断面図、図2 7Bは、ほぼ1つのマイクロミラー素子に対応し た領域における各電極が形成されている状態 を示す平面図である。

 また、図28A,図28Bに示すように、上述同様 に隣り合うマイクロミラー素子のミラー駆動 電極1006a及びミラー駆動電極1006bとの間に素� �間電極壁2801が形成され、台形に形成された� ��ラー駆動電極1006a及びミラー駆動電極1006bの 周囲に沿うように、ミラー用支承部2802が形� �され、また、ミラー用支承部2802とは別体に� ��可動梁用支承部2803が形成されているように してもよい。ミラー用支承部2802は、素子間� �極壁2801に接続し、また、可動梁用支承部2803 は、配線2804によりミラー用支承部2082に接続� ��ている。

 このように、マイクロミラー素子形成領� ��の外側(隣のマイクロミラー素子の側)の角� �面取りされたミラー駆動電極1006a及びミラー 駆動電極1006bによれば、素子間電極壁1004をよ りミラー183の側に進入させた状態とすること ができ、ミラー183の側に入り込んだ形状のミ ラー用支承部2802が形成可能となる。この結� �、ミラー183に延在部を設けることなく、電� �基板101側に引き寄せられたミラー183の端部� �、ミラー用支承部2802に接触させることがで� ��る。

 また、ミラー用支承部2802とは個別に可動 梁用支承部2803を備えているので、可動梁の� �置に合わせて可動梁用支承部2803が形成可能� ��あり、可動梁184a,可動梁184bに延在部を設け� ��ことなく、この端部を可動梁用支承部2803に 接触させることができる。なお、図28Aは、マ イクロミラー素子の部分断面図、図28Bは、ほ ぼ1つのマイクロミラー素子に対応した領域� �おける各電極が形成されている状態を示す� �面図である。