MIKROVENTIL

Technisches Gebiet

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroventil, das z.B. als Pilotventil in der Pneumatik eingesetzt werden kann.

Pneumatische Steuerungen finden breite Anwendung in vielen Bereichen der Technik, da sie sich durch hohe Lebensdauer, Betriebssicherheit und große Kräfte auszeichnen. Ein über ein elektrisches Signal betätigter elektro-mechani- scher Wandler (Betätigungselement) wirkt direkt oder über mehrere Druckstufen auf die eigentliche Ventilstufe (Steuerelement) ein, die ihrerseits eine bestimmte Betriebsgröße (Druck, Durchfluß) in gewünschter Weise manipuliert.

Stand der Technik

In der Pneumatik dienen als Steuerelemente hauptsächlich zylindrische Linear¬ schieberventile für Hauptstufen und zylindrische Sitzventile für direktbetätigte Ventile bzw. Pilotventile. Als Betätigungselement hat sich der Hubmagnet durch¬ gesetzt, da sich diese Antriebsart durch hohes Arbeitsvermögen und einfachen Aufbau auszeichnet. Ein klassisches Hubmagnetventil aus Plastikformteilen hat Ausmaße von ca. 25x25x40 mm ³ , arbeitet bei Drücken bis 8 bar und benötigt im betätigten Zustand ca. 2,5 W.

Aus Gründen der Kostensenkung, geringeren Materialverbrauchs, Erhöhung der Flexibilität und Verbesserung der Schalteigenschaften ist auch auf dem Gebiet der Pneumatik für bestimmte Anwendungen ein Trend zur Miniaturisierung zu beobachten. Der Raumbedarf pneumatischer Kleinstventile wird dabei immer wesentlicher von den Abmessungen des Hubmagneten bestimmt, dessen Spule sich nur unter erheblicher Kostensteigerung bei unvermeidlich sinkender Leistungskraft verkleinern läßt. Mittels Feinwerktechnik hergestellte Miniatur- Hubmagnetventile (10x10x15 mm ³ ) sind im Vergleich zu klassischen mindestens 5 mal so teuer.

Aus der EP 208386 ist ein mit Mikrostrukturtechnik hergestelltes Siliziumventil zur Durchfluß-Steuerung einer Flüssigkeit bekannt, das aus einem ersten planaren Teil mit einer Auslaßöffnung und einem zweiten Teil mit einer planaren Ober¬ fläche besteht, die zum Öffnen und Schließen der Auslaßöffnung relativ zu dieser bewegt werden kann. Zur Bewegung des Schließkörpers wird auf diesen eine externe Kraft z.B. über einen Kolben ausgeübt. Die gesamte für die Funktion des Ventils notwendige Konstruktion ist sehr aufwendig.

Andere für die Bewegung einer Membran als Schließkörper eingesetzte Betäti¬ gungsmittel bei Mikroventilen sind z.B. aus der DE 3919876 bekannt. Hier sind insbesondere piezoelektrisch oder thermoelektrisch arbeitende Beschichtungen der Membran, elektrostatische oder thermofluidische Betätigung zu nennen. Gerade beim Öffnen eines Ventils gegen den anliegenden Druck ist jedoch im ersten Moment eine größere Kraft nötig als im weiteren Verlauf des Öffnungs¬ vorgangs, eine Anforderung, die von den oben angeführten Betätigungsmitteln nicht erfüllt werden kann.

Piezoelektrische und elektostatische Mikroventile können zudem die in der Pneumatik geforderten Leistungsdaten nicht erbringen. Um die dort auftreten¬ den hohen Drücke (1 - 7 bar) zu schalten, wären sehr hohe Steuerspannungen erforderlich. Da die mit diesen Ventilen erreichbaren Hübe gering sind, müßten die Ventilöffnungen groß sein, um den geforderten Durchfluß (1 - 30 l/min) zu erzielen. Es würden Probleme mit Verschmutzungen (Öl, Wasser) durch das Ar¬ beitsmedium (ölverschmutzte, feuchte Druckluft) auftreten. Desweiteren könnte es zu Vereisungen kommen. Bei thermischen Ventilen ist dies weniger kritisch, da deren Schließmembran sehr heiß wird. Der erreichbare Hub ist höher. Eine thermofluidische Betätigung hat den Nachteil, daß der Abkühlvorgang ohne zusätzliche störende Hilfsmittel sehr langsam abläuft (geringe Dynamik).

Darstellung der Erfindung

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Mikroventil der in Rede stehenden Art anzugeben, das für industrielle Pneumatiksteuerungen ge-

eignet ist, kostengünstig mit Mitteln der Halbleitertechnologie herstellbar ist und verbesserte Schalteigenschaften aufweist.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem in Anspruch 1 angegebenen Mikro¬ ventil gelöst. Dieses besteht aus zwei Teilen.

Das erste Teil, das sich auf der Seite des höheren Druckes p ^* _n (druckseitig) be¬ findet, weist eine Membranstruktur auf, die auf einer Seite mit einem Material be¬ schichtet ist, das einen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten besitzt, der sich von dem des Membranmaterials unterscheidet. Der Unterschied der Längenausdehnungskoeffizienten von Membranmaterial und Beschichtungs- material sowie die räumliche Anordnung der Beschichtung auf der Membran geben die Richtung des Durchbiegens der Membranstruktur vor. Die Membran¬ struktur kann vollständig oder auch nur an bestimmten Stellen beschichtet sein. Die Beschichtung muß jedoch so angebracht sein, daß sich die Membranstruk¬ tur bei Erwärmung gegen den anliegenden Druck pj _n durchbiegt. Desweiteren ist die Membranstruktur mit einem oder mehreren Heizelementen versehen. Das zweite Teil ist mit dem ersten auf der dem niedrigeren Druck p _out zuge¬ wandten Seite verbunden. Es enthält einen oder mehrere Auslaßöffnungen und dazugehörige Ventilsitze.

Weiterhin weisen entweder der Schließkörper des ersten Teils oder Substratbe¬ reiche des zweiten Teils oder beide Teile eine oder mehrere Gruben definierter Tiefe auf, wobei alle Gruben so angeordnet sind, daß sie bei geschlossenem Ventil von Bereichen des jeweils anderen Teils vollständig überdeckt werden, so daß geschlossene Hohlräume entstehen, in denen sich Heizelemente befinden. Unter geschlossenen Hohlräumen sind hier auch solche zu verstehen, bei denen an den Rändern der Gruben herstellungsbedingt Spalte von einigen Im auftreten.

Die Heizelemente heizen somit unter anderem das in den Gruben befindliche Gas- oder Flüssigkeitsvolumen auf. Wesentlich an der Anordnung der Gruben ist, daß damit bei geschlossenem Ventil ein abgeschlossenes Flüssigkeits- oder Gasvolumen erzeugt wird, das durch die Heizelemente schnell erwärmt werden kann. Die Tiefe der Gruben beträgt vorzugsweise maximal 40 μm (Anspruch 2).

Das erfindungsgemäße Mikroventil arbeitet auf der Grundlage eines kombinier¬ ten thermomechanischen-thermopneumatischen Wirkungsprinzips. Im stromlo¬ sen Zustand ist das Ventil geschlossen. Wird die Membran durch die Heizele¬ mente erwärmt, baut sich eine, die Membran gegen den höheren Druck pj _n auslenkbare Kraft auf (thermomechanischer Effekt), die aus der thermischen Ausdehnung der Membran resultiert. Die Beschichtung kann dabei eine diese Kraft unterstützende Funktion bei entsprechender Beschichtungsdichte (Bimetall-Effekt) oder auch nur eine die Auslenkungsrichtung der Membran be¬ stimmende Funktion (vgl. Anspruch 6) ausüben. Gleichzeitig erwärmt sich das Flüssigkeits- bzw. Gasvolumen (z.B. Luft) in den Gruben unterhalb der Mem¬ bran. Da dieses nur über schmale Spalte abfließen kann, entsteht in den Gruben ein Überdruck. Es kommt zusätzlich zu einer kurzzeitigen thermopneumatischen Krafteinwirkung auf die Membran. Dadurch kann das Ventil gegen größere Drücke geöffnet werden, als dies z.B. eine rein thermomechanische Krafterzeu¬ gung zulassen würde. Desweiteren erhöht sich die Geschwindigkeit, mit der das Ventil öffnet, im Vergleich zum rein thermomechanischen Antrieb beträchtlich. Auch der Wirkungsgrad wird durch die bessere Wärmeausnutzung größer. Durch die Aufwärtsbewegung der Membran wird der thermopneumatische Effekt abgebaut, d.h. im geöffneten Zustand sind nur thermomechanische Kräfte wirksam. Dem kommt entgegen, daß die volle Druckdifferenz (p ^* _n > > p _out ) nur im ersten Moment des Öffnens am Ventil anliegt. Es soll z.B. ein Steuervolumen mit Druckluft aufgefüllt und dadurch eine größere Ventilstufe betätigt werden, d.h. der Schaltvorgang ist nach dem Druckausgleich beendet (p- _n = p _ou t)- ^Da " nach muß nur noch die elastische Kraft der Membran und eventueller Druckab¬ fall aufgrund von Leckflüssen kompensiert werden. In diesem Zustand kann die Energiezufuhr im Vergleich zu herkömmlichen Hubmagnetventilen wesentlich verringert werden. Zur Anpassung der Heizleistung und somit der thermome¬ chanischen Kraft an die jeweiligen Erfordernisse können mehrere Heizelemente vorgesehen sein.

Das Schließen des hier beschriebenen mikromechanischen Ventils wird durch Abschaltung der Heizelemente erreicht. Wesentlich beschleunigt wird der Vor¬ gang durch das "Entlüften" des Steuervolumeπs (wieder pj _n > > p _ou t). ^Z - ^B - üt> ^er ein zweites Mikroventil, da der oben (p- _n -seitig) anliegende Druck die Membran einfach nach unten (Pour ⁸ ^^) drückt.

Da die mikromechanischen Ventile ähnlich wie IC's gefertigt werden können, entsteht gegenüber Miniatur-Hubmagnetventilen ein deutlicher Preisvorteil. Da¬ bei wird die Baugröße eines Mikroventils selbst mit Gehäuse nicht mehr als ein Zehntel des Volumens eines herkömmlichen Miniaturventils betragen.

Als bevorzugtes mikrostrukturierbares Material ist in Anspruch 3 Silizium ange¬ geben, das sich aufgrund seiner physikalischen Eigenschaften sehr gut zur Her¬ stellung von Mikroventilen eignet. So können z.B. die beiden Teile des Mikro¬ ventils zwei durch Silicon Bonding oder Kleben verbundene Chips sein (Anspruch 4).

In Siliziumtechnologie herstellbare Elemente können zudem sehr kostengünstig in großer Stückzahl gefertigt werden.

In besonderer Ausgestaltung gemäß Anspruch 5 ist das Beschichtungsmaterial der Membranstruktur ein Metall. Metalle weisen einen im Vergleich zu mikrostrukturierbarem Material, wie z.B. Silizium, relativ großen thermischen Längenausdehnungskoeffizienten auf. Die Metallbeschichtung kann z. B. wie im Ausführungsbeispiel gezeigt aufgebracht sein, um die Auslenkung der Membran gegen den anliegenden Druck pj _n zu bewirken. Die Aufbringung der Beschichtung kann bei der Herstellung mittels Sputtern, Aufdampfen oder Galvanik erfolgen.

Als besonders vorteilhaft erweist sich nach Anspruch 6 eine Beschichtung aus Silizium-Dioxid (SiO ) oder Silizium-Nitrid (SißN,;}), die auf der dem niedrigeren Druck zugewandten Seite (p ₀ uf ^seiti 9) ^der Silizium-Membran aufgebracht ist. Bei Membrandicken von bis zu 12 μm kann die Dicke der Beschichtuπg bis zu 500 Nanometer betragen. Bei Erwärmung der Membran durch die Heizelemente dehnt sich diese aus. Da im ersten Moment die Einspannung noch kalt bleibt, kommt es zu einer Verwölbung der Siliziumstruktur aufgrund der Längenaus¬ dehnung des Siliziums selbst. Das Siθ2 bzw. Si3N ₄ auf der Seite des niedrigen Druckes p _ou χ bewirkt die Auslenkung der Membran ausschließlich gegen den anliegenden hohen Druck pj _n , da diese Materialien einen wesentlich geringeren thermischen Längenausdehnungskoeffizienten aufweisen als einkristallines Sili¬ zium.

Der Vorteil dieses Beschichtungsmaterials liegt vor allem im geringeren Leistungsbedarf im Vergleich zu einer Metallbeschichtung. Eine Metallbe- schichtung wirkt als Wärmekurzschluß, d. h. die Wärmeabfuhr zum Chip über die Einspannung ist sehr groß. Bei gleicher Heizleistung erreicht daher eine Membranstruktur ohne Metallaktoren eine wesentlich höhere Temperatur. Die Temperatur ist die Größe, die hier die Stärke des thermomechanischen Effekts bestimmt.

Ventile mit Silizium-Dioxid- bzw. Silizium-Nitrid-Schichten arbeiten mit geringeren Heizleistungen und weisen eine bessere Dynamik auf (Schaltzeiten im Bereich einiger msec.) als solche mit Metallbeschichtungen. Die Beschichtung hat in dieser Ausgestaltung lediglich die Funktion der Richtungsbeeinflussung der Auslenkung, während durch die thermische Längenausdehnung der Silizium- Membran selbst die Kraft gegen den äußeren Druck aufgebracht wird.

Anspruch 7 gibt eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikroventils an, bei der die Heizelemente implantierte Leiterbahnen oder Polysiliziumbahnen sind. Die Aufbringung dieser Bahnen läßt sich mit Methoden der Halbleitertech¬ nologie realisieren.

Die Membranstruktur ist vorzugsweise brückenförmig (d. h. ein beidseitig einge¬ spannter Streifen) oder kreuzförmig ausgebildet (Anspruch 8), so daß beim Öff¬ nen des Ventils das Druckmedium möglichst ungehindert passieren kann.

Durch eine Regelung der Energiezufuhr und damit der Heizleistung gemäß An¬ spruch 9 läßt sich der Gesamtleistungsverbrauch einer pneumatischen Steue¬ rung aus Mikroventilen im Vergleich zu herkömmlichen Ventilen deutlich verrin¬ gern. Eine hohe Heizleistung ist, wie bereits weiter oben dargelegt, nur im ersten Moment des Öffnens erforderlich.

Anspruch 10 gibt den bevorzugten Einsatzbereich des erfiπdungsgemäßen Mi¬ kroventils an.

Ausführungsbeispiel:

Ein Ausführungsbeispiel für das in den Ansprüchen angegebene Mikroventil wird im folgenden anhand der Zeichnung erläutert.

Dabei zeigt Figur 1 in schematischer Darstellung eine mögliche Ausführungs¬ form für das erfindungsgemäße Mikroventil.

Das Mikroventil besteht aus zwei Silizium-Chips 1 und 2, die üblicherweise mit¬ tels Silicon Bonding auf Waferebene verbunden werden. Der obere (druckseitige) Chip 1 enthält den beweglichen Schließkörper 3 - eine durch an¬ isotropes Ätzen herausgebildete Membranstruktur (z.B. brücken- oder kreuzför¬ mig). Die Membran ist mit Heizelementen versehen (z.B. implantierte Leiter¬ bahnen oder Polysiliziumbahnen) und grubenseitig selektiv mit Metall be¬ schichtet 4 (z.B. AI oder Au durch Sputtern, Aufdampfen oder Galvanik). Aus Isolationsgründen befindet sich zwischen der Metallbeschichtung und den Heiz¬ elementen eine weitere, isolierende Schicht (z. B. thermisches Siθ2). Der untere Chip 2 enthält die Auslaßöffnung 7, den anisotrop geätzten Ventilsitz 5 und mehrere Gruben definierter Tiefe 6, die sich sowohl durch isotropes als auch durch anisotropes Ätzen erzeugen lassen. Die Gruben haben Abmessungen von maximal 400 x 600 x 40 μm ³ und sind so angeordnet, daß sie von der Mem¬ branstruktur überdeckt werden.

Zum Entlüften eines Steuervolumens kann ein zweites erfindungsgemäßes Mi¬ kroventil eingesetzt werden.