以下、本発明を実施するための最良の形� ��を図面を用いて詳細に説明する。

 [第1実施形態]
 図1は、本第1実施形態に係る非接触搬送装� �の要部の概略を示す説明図であり、図2は、� ��1の矢印X方向に見た非接触搬送装置を示す� �明図である。

 図1及び図2において、搬送物Sは、フラッ� ��パネルディスプレイに用いられるマザーガ� ��ス基板や半導体ウエハなどの平板状のもの� ��あり、本第1実施形態では、略四角形状に形 成されている。

 非接触搬送装置100は、図2に示すように、 搬送物Sをエアー等の流体により上方に浮揚� �せる浮揚手段としての静圧テーブル1を備え� ��いる。この静圧テーブル1は、搬送物Sの搬� �方向(矢印C方向)に亘って延在している。静� �テーブル1の上面1aは水平面に形成されてお� �、静圧テーブル1には、上面1aに開口する多� �の放出口1bが垂直に設けられており、放出口 1bからエアー等の流体Fが上方に放出される。 これにより、搬送物Sは、多数の放出口1bから 上方へ放出されるエアー等の流体Fの圧力に� �り、静圧テーブル1の上方に浮揚され、下方� ��ある静圧テーブル1に非接触状態となる。

 また、非接触搬送装置100は、搬送物Sを非 接触で搬送方向(矢印C方向)に搬送する搬送手 段としての一対の搬送ユニット10A,10Bと、搬� �方向と直交する幅方向(矢印W方向)の移動を� �制する規制手段としての一対の規制ユニッ� �10C,10Dと、各ユニット10(10A,10B,10C,10D)を支持し 、各ユニット10を搬送方向(矢印C方向)に移動� ��せる移動手段としての移動装置20とを備え� �いる。

 各搬送ユニット10A,10Bは、搬送物Sの搬送� �向の長さに対応する距離だけ搬送方向に離� �して配置されている。また、各規制ユニッ� �10C,10Dは、搬送物Sの搬送方向と直交する幅方 向の長さに対応する距離だけ幅方向に離隔し て配置されている。そして、各ユニット10は� ��搬送物Sの端部において略中央に対向させて いる。

 一方の搬送ユニット(先端部側搬送ユニッ ト)10Aは、搬送物Sの先端部Saの上方に非接触� �態で対向させるべく、静圧テーブル1の上方� ��配置される先端部側振動板11Aと、先端部側� ��動板11Aに振動を与えて撓み定在波を励振さ� ��る先端部側アクチュエータ12Aとを有してい� ��。また、他方の搬送ユニット(後端部側搬送 ユニット)10Bは、搬送物Sの後端部Sbの上方に� �接触状態で対向させるべく、静圧テーブル1� ��上方に配置される後端部側振動板11Bと、後� ��部側振動板11Bに振動を与えて撓み定在波を� ��振させる後端部側アクチュエータ12Bとを有� ��ている。

 また、各規制ユニット10C,10Dは、搬送物S� �両側端部Sc,Sdにおいて、それぞれ対応する側 端部の上方に非接触状態で対向させるべく、 静圧テーブル1の上方に配置される側端部側� �動板11C,11Dと、側端部側振動板11C,11Dに振動を 与えて撓み定在波を励振させる側端部側アク チュエータ12C,12Dとを有している。

 各ユニット10における振動板11(11A,11B,11C,11 D)及びアクチュエータ12(12A,12B,12C,12D)は、同様 の構成であり、部材の共通化が図られている 。

 以下、各ユニット10の構成について、詳� �に説明する。図3は、各ユニット10の構成を� �す説明図である。

 振動板11は、図3に示すように、搬送物Sよ りも搬送方向及び幅方向の短い略四角形状に 形成された板材である。アクチュエータ12は� ��アルミ丸棒からなる振動拡大用のホーン13� �、ホーン13の基端に配設されるボルト締めラ ンジュバン振動子(BLT)14とを有し、アクチュ� �ータ12の先端、すなわちホーン13の先端が振� ��板11の表面中央部に接合固着されている。� �して、BLT14への電圧印加によって超音波振動 がホーン13を介して拡大し、振動板11に伝わ� �ようになっている。

 各ユニット10は、図1に示すように、各ア� ��チュエータ12の先端が搬送物の各端部Sa~Sdに 対向するように、図2に示すように、各アク� �ュエータ12の基端が移動装置20に支持されて� ��る。そして、移動装置20が搬送方向に移動� �た際には、各ユニット10は、互いに同一距離 を保ちながら搬送方向(矢印C方向)に移動する こととなる。

 図4は、図1の矢印X方向に見た場合の非接� ��搬送装置の搬送動作を示す説明図である。� ��振動板11A,11Bには、アクチュエータ12A,12Bに� �音波振動が付与されることによって、撓み� �在波Pが励振される。このように振動板11A,11B に撓み定在波Pを励振させることにより、搬� �物Sの端部Sa,Sbには、振動板11A,11Bに対向する� ��置に引き寄せて保持する保持力が作用する� ��具体的に説明すると、撓み定在波Pの腹が、 振動板11A,11Bにおいてアクチュエータ12A,12Bが� ��触する部分に形成される。そして、振動板1 1A,11Bにおける撓み定在波Pの腹の近傍空間に� �いて負圧が最大となり、振動板11A,11Bにおけ� ��撓み定在波Pの腹に対向する対向位置におい て、搬送物Sの端部Sa,Sbを保持する保持力が最 大(最大保持力)となる。そして、該対向位置� ��ら水平方向にずれるに連れて搬送物Sの端部 Sa,Sbに作用する保持力が低下する。従って、� ��送物Sの端部Sa,Sbに振動板11A,11Bが対向してい れば、搬送物Sの端部Sa,Sbがアクチュエータ12( つまり、撓み定在波Pの腹)に対向する対向位� ��からずれていてもよく、端部Sa,Sbには保持� �が作用するものであるが、本第1実施形態で� ��、各アクチュエータ12A,12Bが端部Sa,Sbに対向� ��る間隔で配置されているので、振動板11A,11B における撓み定在波Pの腹に搬送物Sの端部Sa,S bが対向し、搬送物Sの端部Sa,Sbを最大保持力� �保持することが可能である。

 なお、この保持力は、搬送物Sの端部Sa,Sb� ��振動板11に対向する位置から逸脱してしま� �た場合には働かず、搬送物Sの端部が振動板1 1に対向する位置にある場合に作用する。

 次に、各搬送ユニット10A,10Bを搬送方向(� �印C方向)に搬送物Sの端部Sa,Sbが振動板11に対� ��する位置から逸脱しない距離L1だけ移動さ� �た場合、搬送物Sの各端部Sa,Sbには、保持力� �付与されているので、搬送物Sの各端部Sa,Sb� �振動板11における撓み定在波Pの腹に対向す� �位置(保持力が最大となる位置)に引き寄せら れる。これにより、搬送物Sは、搬送ユニッ� �10A,10Bの移動に追従して搬送方向(矢印C方向)� ��搬送される。

 従って、本第1実施形態によれば、各搬送 ユニット10A,10Bにより非接触状態で搬送物Sを� ��送することができ、また、各搬送ユニット1 0A,10Bを移動装置20によって移動させることに� ��り、搬送物Sを各搬送ユニット10A,10Bの移動� �追従して搬送するようにしたので、従来の� �うに撓み進行波が励振される多数の振動板� �搬送方向に沿って配置する必要がなくなり� �部品点数が削減され、装置を小型化するこ� �ができる。

 ここで、搬送物Sの先端部Sa及び後端部Sb� �少なくとも一方の端部に対向するように搬� �ユニット10を配置すればよく、搬送ユニット 10Aを省略して搬送ユニット10Bのみ、或いは、 搬送ユニット10Bを省略して搬送ユニット10Aの みとしても搬送することができるが、本第1� �施形態では、搬送物Sの両端部Sa,Sbに対応し� �搬送ユニット10A,10Bを配置しているので、保� ��力(つまり、搬送力)が高まり、また、安定� �て搬送物Sを搬送することができる。

 次に、本第1実施形態では、搬送ユニット 10A,10Bの他に同一構成の規制ユニット10C,10Dを� ��えているものであり、規制ユニット10C,10Dの 動作について説明する。図5は、図1の矢印Y方 向に見た場合の非接触搬送装置の規制動作を 示す説明図である。

 各振動板11C,11Dは、上述したように、アク チュエータ12C,12Dに超音波振動が付与される� �とによって、撓み定在波Pが励振される。こ� ��ように振動板11C,11Dに撓み定在波Pを励振さ� �ることにより、搬送物Sの側端部Sc,Sdには、� �動板11C,11Dに対向する位置に引き寄せて保持� ��る保持力が作用する。具体的に説明すると� ��撓み定在波Pの腹が、振動板11C,11Dにおいて� �クチュエータ12C,12Dが接触する部分に形成さ� ��る。そして、振動板11C,11Dにおける撓み定在 波Pの腹の近傍空間において負圧が最大とな� �、振動板11C,11Dにおける撓み定在波Pの腹に対 向する対向位置において、搬送物Sの端部Sc,Sd を保持する保持力が最大(最大保持力)となる� ��そして、該対向位置から水平方向にずれる� ��連れて搬送物Sの端部Sc,Sdに作用する保持力� ��低下する。従って、搬送物Sの端部Sc,Sdに振� ��板11C,11Dが対向していれば、搬送物Sの端部Sc ,Sdがアクチュエータ12(つまり、撓み定在波P� �腹)に対向する対向位置からずれていてもよ� ��、端部Sc,Sdには保持力が作用するものであ� �が、本第1実施形態では、各アクチュエータ1 2C,12Dが端部Sc,Sdに対向する間隔で配置されて� ��るので、振動板11C,11Dにおける撓み定在波P� �腹に搬送物Sが対向し、搬送物Sの端部Sc,Sdを� ��大保持力で保持することが可能である。な� ��、この保持力は、搬送物Sの端部Sc,Sdが振動� ��11に対向する位置から逸脱してしまった場� �には働かず、搬送物Sの端部Sc,Sdが振動板11に 対向する位置にある場合に作用する。

 次に、搬送物Sが幅方向に移動してしまっ た場合、例えば、搬送物Sの幅方向両側にお� �て搬送速度のアンバランスが生じて搬送物S� ��幅方向にずれてしまった場合、その移動幅L 2が搬送物Sの端部Sc,Sdが振動板11に対向する位 置から逸脱しない範囲であれば、搬送物Sの� �端部Sc,Sdには、保持力が付与されているので 、搬送物Sの各端部Sc,Sdが振動板11における撓� ��定在波Pの腹に対向する位置(保持力が最大� �なる位置)に引き寄せられ、搬送物Sが搬送方 向と直交する幅方向に移動するのが規制され る。

 従って、本第1実施形態によれば、各規制 ユニット10C,10Dにより、接触式のガイドを設� �ずに非接触状態で搬送物の脱落を抑制する� �とができ、接触に起因する搬送物の汚れや� �傷を回避することができる。

 ここで、規制ユニットを搬送方向に多数� ��列してもよいが、本第1実施形態では、規制 ユニット10C,10Dが移動装置20により移動させて いるので、撓み定在波が励振される多数の規 制ユニットを搬送方向に沿って配置する必要 がなくなり、部品点数が削減され、装置をよ り小型化することができる。

 また、規制ユニットを搬送物Sの両側端部 Sc,Sdの内、少なくとも一方の側端部に対向す� ��ように規制ユニットを配置すればよく、規� ��ユニット10Cを省略して規制ユニット10Dのみ� ��或いは、規制ユニット10Dを省略して規制ユ� ��ット10Cのみとしても規制することができる� ��、本第1実施形態では、搬送物Sの両側端部Sc ,Sdに対応して規制ユニット10C,10Dを配置して� �るので、保持力(つまり、規制力)が高まり、 また、安定して搬送物Sの幅方向の移動を規� �することができる。

 以上、本第1実施形態では、搬送手段とし ての搬送ユニット10A,10B及び規制手段として� �規制ユニット10C,10Dを移動装置20で移動させ� �ようにしたので、部品点数を削減すること� �でき、更に、搬送物Sに非接触状態で安定し� ��搬送方向への搬送及び幅方向への移動を規� ��することができる。

 [第2実施形態]
 上記第1実施形態では、非接触搬送装置が、 規制手段として規制ユニット10C,10Dを備える� �合について説明したが、本第2実施形態では� ��搬送手段としての搬送ユニットが規制手段� ��しての機能を兼ねる場合について説明する� ��なお、本第2実施形態において、上記第1実� �形態と同一の構成については、同一符号を� �して説明を省略する。

 図6は、第2実施形態に係る非接触搬送装� �の概略を示す説明図であり、(a)は、搬送方� �に直交する方向から見た図、(b)は、搬送方� �から見た図である。

 本第2実施形態では、搬送手段としての一 対の搬送ユニット110A,110Bを備えており、搬送 ユニット110Aと搬送ユニット110Bとは、同様の� ��成であり、搬送物Sの搬送方向Cの長さに対� �する距離だけ搬送方向Cに離隔して配置され� ��いる。

 一方の搬送ユニット(先端部側搬送ユニッ ト)110Aは、搬送物Sの先端部Saの上方に非接触� ��態で対向させるべく、静圧テーブル1の上方 に配置される先端部側振動板111Aと、先端部� �振動板111Aに振動を与えて撓み定在波を励振� ��せる2つ(複数)の先端部側アクチュエータ12,1 2とを有している。先端部側アクチュエータ12 ,12同士の距離は、搬送物Sの幅方向の長さと� �同じに設定されている。同様に、他方の搬� �ユニット(後端部側搬送ユニット)110Bは、搬� �物Sの後端部Sbの上方に非接触状態で対向さ� �るべく、静圧テーブル1の上方に配置される� ��端部側振動板111Bと、後端部側振動板111Bに� �動を与えて撓み定在波を励振させる2つ(複数 )の後端部側アクチュエータ12,12とを有してい る。後端部側アクチュエータ12,12同士の距離� ��、搬送物Sの幅方向の長さと略同じに設定さ れている。

 各振動板111A,111Bは、幅方向の長さが、搬� ��物Sにおける幅方向の長さ以上となるように 幅方向に延びて形成されており、搬送物Sの� �端部Sa,Sbに対向させたときに、端部Sa,Sb全体� ��覆うものである。そして、アクチュエータ1 2,12によって幅方向に複数の腹を有する撓み� �在波P’が励振される。これにより、搬送物S の先端部Sa及びその両側における隅部には、� ��端部側振動板111Aに対向する位置に引き寄せ て保持する保持力が作用し、搬送物Sの後端� �Sb及びその両側における隅部には、後端部側 振動板111Bに対向する位置に引き寄せて保持� �る保持力が作用する。

 移動装置120は、静圧テーブル1の下部に配 置され、静圧テーブル1が載置される基台121� �、基台121の幅方向両側に設けられ、搬送方� �に亘って延びる一対の案内レール122,122と、� ��振動板111A,111Bに固定され、案内レール122に� ��接する一対のスライダ123,123とを備えている 。そして、各搬送ユニット110A,110Bは、案内レ ール122,122に沿って移動することとなる。な� �、各振動板111A,111Bにおいてスライダ123,123に� ��定される部分が撓み定在波P’の節となる。

 また、各振動板111A,111Bにおけるアクチュ� ��ータ12,12が接触固定されている部分が、撓� �定在波P’の腹an1,an1となる。そして、撓み定 在波P’の腹an1と腹an1との間には、別の腹an2,a n2が形成されている。つまり、各振動板111A,11 1Bにおける撓み定在波P’の腹の数は、少なく とも3つ以上となるように設定されている。

 撓み定在波P’の各腹an1,an1,an2,an2近傍空間 は、第1実施形態と同様に負圧が最大となり� �先端部側振動板111Aを搬送物Sの先端部Sa、後� ��部側振動板111Bを搬送物Sの後端部Sbに対向さ せることにより、各端部Sa,Sbに保持力を付与� ��ることができる。

 ここで、振動板111A,111Bにおける撓み定在� ��P’の腹an1,an1には、搬送物Sの各端部Sa,Sbに� �ける両隅部が対向するようになる。つまり� �振動板111A,111Bにおける撓み定在波P’の腹an1, an1は、搬送物Sの隅部に最大保持力を付与す� �ようになる。本第2実施形態では、各振動板1 11A,111Bにおける撓み定在波P’により搬送物S� �4つの隅部が保持されることとなる。なお、� ��送物Sの端部Sa,Sb及び隅部に振動板111A,111Bが� ��向していれば、搬送物Sの搬送部Sの隅部が� �在波P’の腹に対向する位置からずれていて� ��よく、搬送物Sの隅部には保持力が作用する ものであるが、本第2実施形態では、搬送物S� ��隅部に振動板111A,111Bにおける定在波P’の腹 を対向させているので、搬送物Sの隅部を最� �保持力で保持することが可能である。

 この状態で各搬送ユニット110A,110Bを搬送� ��向Cに移動させた場合、振動板111A,111Bにおけ る定在波P’の各腹an1,an1,an2,an2により、搬送� �Sの端部Sa,Sbに保持力が付与されているので� �搬送物Sが各搬送ユニット110A,110Bの移動に追� ��して搬送方向Cに搬送される。このように、 幅方向に亘って撓み定在波P’の腹が形成さ� �て各端部が保持力で保持されるので、搬送� �Sが大型であっても安定して搬送することが� ��きる。

 更に、振動板111A,111Bにおける定在波P’の 各腹an1,an1によって搬送物Sの隅部に保持力が� ��与されているので、搬送物Sが幅方向へ移動 するのを規制することができる。

 以上、本第2実施形態では、各搬送ユニッ ト110A,110Bが、搬送物Sが幅方向へ移動するの� �規制する機能を有しているので、上記第1実� ��形態のように、別途、規制ユニットを設け� ��必要がなく、部品点数が削減され、装置を� ��型化することができる。また、接触式のガ� ��ドを設けずに非接触状態で搬送物Sの脱落を 抑制することができ、接触に起因する搬送物 Sの汚れや損傷を回避することができる。

 ここで、搬送物Sの先端部Sa及び後端部Sb� �少なくとも一方の端部に対向するように搬� �ユニット110を配置すればよく、搬送ユニッ� �110Aを省略して搬送ユニット110Bのみ、或いは 、搬送ユニット110Bを省略して搬送ユニット11 0Aのみとしても搬送することができるが、本� ��2実施形態では、搬送物Sの両端部Sa,Sbに対応 して搬送ユニット110A,110Bを配置しているので 、保持力(つまり、搬送方向への搬送力及び� �方向への規制力)が高まり、また、安定して� ��送物Sを搬送することができ、安定して搬送 物Sが幅方向へ移動するのを規制することが� �きる。

 [第3実施形態]
 更に、上記実施形態を変更した別の実施形� ��について説明する。図7は、第3実施形態に� �る非接触搬送装置の概略を示す説明図であ� �。なお、本第3実施形態において、上記実施� ��態と同一の構成については、同一符号を付� ��て説明を省略する。

 本第3実施形態では、搬送手段としての搬 送ユニット210が、振動板として、先端部側振 動板211Aと後端部側振動板211Bとが連結されて� ��搬送物Sの周端部Scに非接触状態で対向する� ��うに環状に形成される環状振動板211を有し� ��いる。

 なお、本第3実施形態における説明では、 搬送物Sが円盤形状であるので、環状振動板21 1は、搬送物Sの形状に合せて円環状に形成さ� ��ている。

 搬送ユニット210は、環状振動板211に撓み� ��在波P’’を励振させる2つ(複数)のアクチュ エータ12,12を備えている。これらアクチュエ� ��タ12,12により、環状振動板211には、周方向� �撓み定在波P’’が励振される。そして、搬� ��物Sの周端部Scと環状振動板211とが対向して� ��る状態でアクチュエータ12,12によって環状� �動板211における周方向に撓み定在波P’’を� ��振させることにより、搬送物Sの周端部Scに� ��、環状振動板211に対向する位置に引き寄せ� ��保持する保持力が作用する。つまり、環状� ��動板211における撓み定在波P’’は、環状振 動板211の周方向に複数の腹を有し、環状振動 板211を搬送物Sの周端部Scに対向させたとき、 搬送物Sの周端部Scには、撓み定在波P’’の� �数の腹による保持力が作用する。

 この状態で、搬送ユニット210を搬送方向C に移動させた場合、環状振動板211に撓み定在 波P’’が励振されて、搬送物Sの周端部Scに� �持力が付与されているので、搬送物Sが搬送� ��ニット210の移動に追従して搬送方向Cに搬送 される。

 更に、環状振動板211の周方向に撓み定在� ��P’’が励振されて、搬送物Sに保持力が付� �されているので、搬送物Sが幅方向へ移動す� ��のを規制することができる。

 ここで、2つのアクチュエータ12,12は、そ� ��先端が搬送物Sの先端部及び後端部のうち、 対応する端部にそれぞれ対向するように配置 される。つまり、搬送物Sの先端部及び後端� �に撓み定在波P’’の腹が対向するようにア� ��チュエータ12,12を配置している。これによ� �、確実に搬送物Sの先端部及び後端部に環状� ��動板211における撓み定在波P’’の腹が対向 することとなるので、搬送ユニット210を搬送 方向Cに移動させた場合に強い搬送力を得る� �とができる。

 以上、本第3実施形態によれば、環状振動 板211を有する搬送ユニット210により、搬送物 Sが幅方向に移動するのを規制することがで� �るので、上記第1実施形態のように、別途、� ��制ユニットを設ける必要がなく、部品点数� ��削減され、装置を小型化することができる� ��また、接触式のガイドを設けずに非接触状� ��で搬送物の脱落を抑制することができ、接� ��に起因する搬送物の汚れや損傷を回避する� ��とができる。

 なお、上記第1~第3実施形態に基づいて本� ��明を説明したが、本発明はこれに限定され� ��ものではない。

 上記実施形態では、浮揚手段として、静� ��テーブル1の場合について説明したが、これ に限定するものではなく、浮揚手段として、 静電浮揚させる装置や磁気浮揚させる装置で あってもよい。

 また、上記実施形態では、搬送物として� ��四角形状や円盤形状の平板である場合につ� ��て説明したが、これに限定するものではな� ��、いかなる形状の平板でも適用可能である� ��