DOMAINE TECHNIQUE

L'invention se rapporte au domaine des bains de dépôt chimique pour le dépôt de couches à base de soufre et de métal. Elle se rapporte également aux procédés de dépôt par voie chimique d'une couche à base de métal et de soufre.

ARRIÈRE-PLAN TECHNOLOGIQUE

Les procédés de dépôt en bain chimique (CBD), ou Chemical Bath Déposition selon la terminologie anglo-saxonne, sont couramment utilisés dans l'industrie pour fabriquer, par exemple, des alliages en couches minces. Ces procédés sont particulièrement adaptés aux dépôts à grande échelle pour recouvrir de larges surfaces allant au-delà de 60 x 30 cm ² . Par ailleurs, cette technique est largement maîtrisée dans l'industrie du fait notamment de son faible coût et de sa simplicité technique. Un dépôt par voie chimique dans un bain peut à ce titre être envisagé dans la fabrication de certaines couches minces de dispositifs photosensibles. Plus particulièrement, les couches d'absorbeur que comprennent certains dispositifs photosensibles sont généralement recouvertes par une couche dite couche tampon réalisée en un alliage comprenant du métal et du soufre. Généralement, cette couche tampon se compose d'un alliage cadmium soufre CdS.

La toxicité du cadmium invite néanmoins à rechercher des matériaux alternatifs pour la couche tampon, tels que le sulfure de zinc ZnS et ses dérivés. Cependant, la vitesse de dépôt de ces alliages sur une surface quelconque et en particulier sur d'autres couches minces telles que des absorbeurs de lumière, n'est pas optimisée. L'obtention d'un dépôt par voie chimique conforme aux exigences de l'industrie peut ainsi impliquer des temps jugés longs, supérieurs à 15 minutes voire une heure. Un tel rallongement du temps de dépôt entraine un surcoût de fabrication et pénalise toute la chaîne de production d'un dispositif. Pour cette raison, une attention particulière est portée à la recherche de moyens techniques permettant de réaliser le dépôt d'une couche à base au moins de soufre et d'un métal par CBD.

Afin de réduire les temps de dépôt d'une telle couche, il est connu d'augmenter soit la concentration des réactifs du bain chimique, soit sa température ou bien encore de préchauffer les réactifs. Ces trois moyens présentent néanmoins pour inconvénient d'entraîner une augmentation de la consommation de matière et d'énergie. Par ailleurs ils peuvent aussi présenter un risque de détérioration de la surface de dépôt, ou bien encore impliquer des étapes supplémentaires dans une chaîne de production de nature à engendrer un surcoût.

Une autre solution pour accélérer les vitesses de dépôt consiste à utiliser un précurseur de soufre particulier dans un bain chimique. Généralement, les bains chimiques pour le dépôt d'une couche de métal et de soufre font intervenir en guise de précurseur de soufre une solution de thio-urée. Le document US2013/0084401 propose de remplacer la thio-urée par de la thioacétamide. Cette alternative présente néanmoins le désavantage que la thioacétamide est un composé fortement toxique et donc peu adapté pour une application industrielle.

Une autre alternative suggérée dans le document DE102009015063A1 consiste à rajouter du péroxyde d'hydrogène Η ₂ 0 ₂ dans un bain chimique prévu pour le dépôt d'une couche mince à base de soufre et de métal. Cette solution n'est pas adaptée aux applications industrielles dans lesquelles la surface de dépôt est fragile, étant donnée la nature corrosive de l'additif H ₂ 0 ₂ .

Pour ces raisons, il est recherché un moyen permettant d'augmenter la vitesse de dépôt en bain chimique d'une couche comprenant au moins du soufre et un métal et qui soit compatible avec une vaste gamme d'applications industrielles.

EXPOSE DE L'INVENTION

Pour répondre aux problèmes exposés ci-avant, la présente invention propose un bain chimique pour le dépôt d'une couche à base au moins de métal et de soufre. Ce bain comprend en solution : - un sel métallique comportant un métal choisi parmi au moins un des éléments des groupes IIB et IIIA du tableau périodique ; et

- un précurseur de soufre.

Ce bain comporte en outre un composé de type persulfate.

Un bain pour le dépôt chimique d'une couche comprenant du soufre et un métal issu des groupes IIB ou IIIA du tableau périodique est ainsi optimisé en rajoutant dans le mélange en solution du bain un composé de type persulfate. Le demandeur a constaté que l'ajout de persulfate produit dans le mélange un effet comparable à celui d'un accélérateur de réaction. En effet, le persulfate semble interagir avec le précurseur de soufre et accélère la formation de l'alliage à base de soufre et de métal sur la surface de dépôt. Cet effet semble particulièrement marqué lorsque le métal appartient aux groupes IIB ou IIIA, comme par exemple le zinc Zn ou l'indium In.

Par ailleurs, outre l'augmentation de la vitesse de dépôt, le demandeur a constaté que l'ajout de persulfate permet d'obtenir des couches à base de métal et de soufre homogènes sur de larges surfaces. L'ajout de persulfate dans le bain chimique permet ainsi d'obtenir permet d'obtenir des dépôts plus homogènes sur une grande surface par rapport à des dépôts CBD faisant intervenir des bains dépourvus de cet additif.

Un autre effet avantageux conféré par l'ajout du persulfate réside dans le fait que le dépôt peut être envisagé sans préchauffage des réactifs du bain. En éliminant une étape antérieure de préchauffage, il est possible d'augmenter la vitesse de production à échelle industrielle. Cependant, un préchauffage des réactifs peut également être envisagé, de sorte que le bain décrit ci-avant peut aisément être préparé dans des chaînes de production préexistantes.

Ces différents effets sont indépendants de la surface sur laquelle le dépôt est effectué.

En particulier, le bain optimisé décrit ci-avant permet par exemple d'effectuer des dépôts sur du verre, des substrats métalliques ou semi-conducteurs ainsi que sur des composés à propriétés photovoltaïques tels que des absorbeurs.

De même ces effets ont été observés dans différentes configurations expérimentales et semblent se manifester indépendamment de la concentration des réactifs du bain chimique ou de la température du bain.

Selon un mode de réalisation avantageux, le composé peut être choisi parmi le groupe constitué du persulfate d'ammonium de formule chimique (NH ₄ ) ₂ S208, du persulfate de sodium de formule chimique Na ₂ S ₂ 0 ₈ et du persulfate de potassium de formule chimique K ₂ S ₂ 0g.

Ces composés peuvent avantageusement se présenter dans une solution miscible avec les autres réactifs du bain chimique. Il a été remarqué que la vitesse de dépôt et l'homogénéité de la couche obtenue peuvent être optimisés de façon particulièrement visible lorsque l'un au moins de ces additifs est utilisé. Cependant, le principe actif de l'additif inorganique semble bien se retrouver dans le persulfate, et d'autres composés à base de persulfate pourraient être envisagés. Selon un mode de réalisation, une concentration comprise entre 10 ^~5 mol.L ^"1 et 1 mol/L de persulfate peut être prévue dans le bain, pour une concentration comprise entre

0,05 mol/L et 1 mol/L du composé sulfuré.

Un tel mélange réactionnel dans le bain correspond à un compromis entre quantité de réactifs utilisés et rapidité du dépôt. En effet, en s 'efforçant de maintenir une faible quantité d'additif et de composé sulfuré, il est possible de réaliser des économies substantielles lors d'une production à échelle industrielle. Ceci passe notamment par une réduction du gaspillage des réactifs.

Avantageusement, la solution contenant le sel métallique peut être une solution choisie parmi : le sulfate de zinc, l'acétate de zinc et le chlorure de zinc avec une concentration comprise entre 0,01 mol/L et 1 mol/L.

Le sel métallique peut comprendre d'autres métaux issus des groupes IIB et IIIA du tableau périodique. Cependant, un sel métallique de zinc dans le bain a permis d'obtenir une réduction particulièrement marquée du temps de dépôt. En effet, par rapport à un dépôt CBD dans un bain dépourvu de persulfate faisant intervenir un sel métallique de zinc, l'invention permet d'atteindre une vitesse de dépôt pouvant être jusqu'à huit fois plus élevée.

Une concentration comprise entre 0,01 mol/L et 1 mol/L de sel métallique permet notamment de réduire la quantité de matière première utilisée pour déposer la couche.

De manière avantageuse, le bain peut comprendre en outre une solution d'ammoniaque avec une concentration comprise entre 0,1 mol/L et 10 mol/L. L'emploi d'une solution d'ammoniaque permet de conférer un pH basique au bain chimique, de manière à amorcer une hydrolyse du précurseur de soufre en vue de le faire réagir avec le sel métallique. Selon un mode de réalisation, la solution contenant le composé sulfuré peut être une solution de thio-urée CS(NH ₂ )2.

La thio-urée est un précurseur de soufre particulièrement adapté pour le dépôt de couches comprenant du sulfure. Il s'emploie couramment dans l'industrie des dispositifs photosensibles par exemple.

Par ailleurs, la thio-urée permet un dépôt particulièrement rapide en présence de persulfate et d'un sel métallique. Les vitesses de dépôt obtenues lorsque de la thio-urée est utilisée peuvent ainsi être inférieures à 5 minutes pour une couche de sulfure ou oxysulfure de métal de 20 nm d'épaisseur. Plus particulièrement, le métal peut être un élément de la colonne IIB.

Les métaux de la colonne IIB présentent un intérêt particulier pour l'industrie des dispositifs photosensibles. Dans ces dispositifs, les métaux tels que le cadmium ou le zinc peuvent être présents dans la couche tampon entre l'absorbeur et le contact électrique avant d'une cellule photosensible. Les éléments de la colonne IIB sont donc particulièrement adaptés pour un bain chimique destiné à la réalisation de couches tampons.

Selon un mode de réalisation particulier, le métal peut être du zinc.

Le dépôt par CBD d'une couche de sulfure ou oxysulfure de zinc présente un intérêt par exemple dans l'industrie des dispositifs photosensibles de par ses propriétés optiques et sa non-toxicité. En effet, une couche réalisée en un tel alliage constitue une alternative efficace et non toxique aux couches tampon de CdS, tout en permettant de transmettre plus de rayonnement de longueur d'onde inférieure à 500 nm.

Une couche de sulfure ou oxysulfure de zinc présente une bande interdite de plus grande énergie qu'une couche en CdS, permettant ainsi de transmettre plus de lumière de longueur d'onde inférieure à 500 nm qu'une couche en CdS. Par ailleurs, une couche de sulfure ou oxysulfure de zinc présente des propriétés optiques de transmission équivalentes à celles de couches en oxyde de zinc ZnO, souvent utilisées pour constituer des contacts électriques avant dans des dispositifs photosensibles. L'invention se rapporte également à un procédé de dépôt par voie chimique d'une couche à base au moins de métal et de soufre, dans un bain comprenant en solution :

- un sel métallique comportant un métal choisi parmi au moins un des éléments des groupes IIB et IIIA du tableau périodique ; et

- un précurseur de soufre.

En outre, un composé de type persulfate est prévu dans le bain.

Le dépôt d'une couche à base au moins de métal et de soufre par CBD en ajoutant du persulfate dans le bain chimique offre plusieurs avantages, décrits ci-avant. L'ajout de persulfate dans le bain augmente la vitesse du dépôt, permet d'aboutir à des couches plus homogènes, et permet d'envisager un gain de temps de préparation par la suppression éventuelle d'une étape antérieure de préchauffage des réactifs du bain chimique.

Dans un mode particulier de réalisation, la couche peut être à base de sulfure de métal.

Le sulfure de métal, par exemple ZnS, peut être un alliage particulièrement adapté pour des applications dans les dispositifs photosensibles. Par exemple, il peut s'employer comme couche tampon sur des absorbeurs de dispositifs photosensibles.

Dans un autre mode de réalisation, la couche peut être à base d'oxysulfure de métal. Les oxysulfures de métal, comme par exemple Zn(S,0), Zn(S,0,OH) ou In _x (S,0) _y ,

In _x (S,0,OH) _y , avec 0<x<2 et 0<y<3, présentent des propriétés optiques particulièrement adaptées aux besoins de l'industrie des dispositifs photosensibles. Ils peuvent également être adaptés pour une utilisation en tant que couches tampons sur une couche photosensible.

De manière avantageuse, la température du bain lors du dépôt peut être comprise entre 40°C et 100°C.

Une température de dépôt inférieure à 100°C et notamment inférieure à 70°C permet d'envisager un environnement de travail moins dommageable pour des dispositifs comprenant des alliages à faible température de fusion, sans être pénalisé par une augmentation de la durée du dépôt. Par ailleurs, en réduisant la température du milieu réactionnel, il est possible de réaliser des économies d'énergie en chauffant moins un bain de dépôt CBD. L'économie est d'autant plus important que la taille du bain est grande, cette taille pouvant atteindre dans l'industrie plusieurs mètres carrés. Selon un mode de réalisation, la couche à base de métal et de soufre peut être déposée sur une couche à propriétés photovoltaïques, ladite couche à propriétés photo voltaïques formant absorbeur de cellule solaire en couches minces.

De cette manière, la couche à base de métal et de soufre peut représenter une couche tampon, déposée sur un absorbeur de cellule photovoltaïque en couches minces, permettant d'interfacer l'absorbeur avec un contact électrique avant. La qualité de la jonction entre Γ absorbeur d'une cellule photosensible et la couche tampon est cruciale pour atteindre un rendement de conversion élevé dans le dispositif obtenu. L'application du procédé de dépôt chimique décrit ci-avant pour le dépôt d'une couche tampon sur un absorbeur permet d'obtenir des couches homogènes présentant moitié moins de défauts que des couches tampons déposées dans un bain dépourvu de persulfate, déposées en un temps inférieur à 10 minutes et sans endommager l'absorbeur lui-même.

De par la qualité de la couche tampon obtenue par la mise en œuvre du procédé, le dispositif photovoltaïque qui en résulte peut posséder un rendement de conversion supérieur à 14%.

Il est à noter que l'utilisation du persulfate comme additif dans un bain chimique pour le dépôt d'une couche tampon sur un absorbeur de cellule photovoltaïque est contre- intuitive. En effet, le persulfate, notamment le persulfate d'ammonium, est généralement utilisé dans l'industrie comme agent de nettoyage et de gravure en raison de son fort caractère oxydant. Le demandeur a remarqué que l'ajout du persulfate dans un bain chimique tel que décrit ci-avant ne confère pas au bain un caractère corrosif, ce qui préserve de toute attaque chimique dommageable la surface sur laquelle le dépôt a lieu. Notamment, l'absorbeur peut être à base d'un composé chalcopyrite parmi

Cu(In,Ga)(S,Se) ₂ , Cu ₂ (Zn,Sn)(S,Se)4 et leurs dérivés.

Ces composés peuvent par exemple comprendre le Cu(In,Ga)Se ₂ , CuInSe ₂ , CuInS ₂ , CuGaSe ₂ , Cu ₂ (Zn,Sn)S ₄ , et le Cu ₂ (Zn,Sn)Se ₄ . Lorsque ces absorbeurs contiennent du zinc et d'étain, ils sont parfois nommés CZTS.

Les absorbeurs de cellules solaires listés ci-dessus correspondent aux absorbeurs de cellules en couches minces de type CIGS, CZTS et leurs dérivés présentant des rendements de conversion pouvant être supérieurs à 20%. La mise en œuvre du procédé décrit ci-avant pour le dépôt d'une couche tampon sur ces absorbeurs s'avère particulièrement avantageuse étant donné les gains en performance qu'elle permet d'obtenir. Par exemple, en déposant ainsi une couche tampon de ZnS, Zn(S,0) ou Zn(S,0,OH) sur un absorbeur à base d'un composé chalcopyrite, il est possible d'obtenir un rendement de conversion supérieur à 14%, une tension en circuit ouvert et un courant en court-circuit du dispositif final supérieurs à ceux observés dans des dispositifs obtenus par d'autres procédés de dépôt.

DESCRIPTIF DES FIGURES

Le procédé objet de l'invention sera mieux compris à la lecture de la description qui suit d'exemples de réalisations présentés à titre illustratif, aucunement limitatifs, et à l'observation des dessins ci-après sur lesquels :

- la figure 1 est une représentation schématique d'un échantillon destiné à recevoir le dépôt d'une couche de métal et de soufre; et

- la figure 2 est une représentation schématique du mode opératoire de préparation d'un bain chimique; et

- la figure 3 est un graphique comparant les temps de dépôts mesurés pour obtenir différentes épaisseurs de couches suivant trois procédés différents; et

- la figure 4 est une représentation schématique d'un dispositif photosensible; et

- la figure 5 est un graphique comparant les efficacités quantiques de deux couches réalisées en des matériaux différents en fonction de la longueur d'onde reçue.

Pour des raisons de clarté, les dimensions des différents éléments représentés sur ces figures ne sont pas nécessairement en proportion avec leurs dimensions réelles. Sur les figures, des références identiques correspondent à des éléments identiques.

DESCRIPTION DÉTAILLÉE

L'invention se rapporte à un bain de dépôt chimique et à un procédé de dépôt CBD améliorés. L'amélioration vise en particulier à augmenter de manière significative la vitesse de dépôt. D'autres effets avantageux ont également été obtenus dans le cadre de l'invention, comme par exemple une qualité de dépôt accrue.

Dans les modes de réalisation décrits à titre d'exemple ci-après, il sera décrit le cas particulier du dépôt par CBD d'une couche tampon sur un absorbeur de cellule photovoltaïque. Cependant, l'invention peut également s'appliquer à un dépôt sur tout autre type de surface, comme il sera rappelé plus loin.

Dans le contexte du dépôt d'une couche mince comprenant au moins du soufre et un métal, la figure 1 illustre un exemple d'échantillon initial 100, comprenant un substrat 101, un contact métallique arrière 102 et une couche d'absorbeur 103. L'échantillon initial 100 illustré représente ainsi une portion non terminée d'un dispositif photosensible à couches minces. A titre d'exemple, l'absorbeur 103 destiné à convertir du rayonnement en courant peut être un composé de type chalcopyrite tel que l'un des composés parmi Cu(In,Ga)(S,Se) ₂ , Cu ₂ (Zn,Sn)(S,Se)4 et leurs dérivés. Ces dérivés peuvent par exemple comprendre Cu(In,Ga)Se ₂ , CuInSe ₂ , CuInS ₂ , CuGaSe ₂ , Cu ₂ (Zn,Sn)S ₄ ou Cu ₂ (Zn,Sn)Se ₄ , plus communément nommés CIGS et CZTS

En vue de terminer la fabrication de ce dispositif photosensible, l'invention propose une enceinte 200 pour bain chimique représentée schématiquement sur la figure 2. Comme dans la plupart des bains chimiques pour des dépôts CBD, l'enceinte 200 peut être fermée par un couvercle 220. Cette enceinte 200 contient une solution 50 constituée d'un mélange de réactifs dans des concentrations choisies. L'échantillon 100 repose dans cette solution 50. Des moyens de chauffage de ce milieu réactionnel peuvent être prévus. Sur la figure 2, un tel moyen est représenté par un bain marie 210 entourant l'enceinte du milieu réactionnel. Un moteur 230 peut également servir à actionner un mécanisme d'agitation permettant de brasser la solution 50. La figure 2 illustre également de manière sommaire les étapes permettant d'obtenir la solution formant le mélange réactionnel 50.

Dans l'exemple illustré sur la figure 2, le bain chimique est configuré pour le dépôt d'une couche tampon d'un dispositif photovoltaïque. Pour cette raison, il est préparé à partir d'une première solution aqueuse comprenant un sel métallique 10, représentée comme étant du sulfate de zinc ZnS0 ₄ . Une seconde solution aqueuse comprenant un précurseur de soufre 20 est également prévue. Cette seconde solution est représentée comme étant de la thio-urée, de formule chimique CS(NH ₂ ) ₂ . De l'ammoniaque 30, permettant de conférer un pH basique au mélange réactionnel peut également être prévu. Un milieu basique dû à la présence d'ammoniaque peut favoriser la réaction du précurseur avec le sel métallique. Finalement, une quatrième solution aqueuse comprenant un additif inorganique 40 à base de persulfate est préparée. Cette quatrième solution 40 est représentée comme comprenant du peroxodisulfate d'ammonium de formule (NH ₄ ) ₂ S208.

Des alternatives aux trois premières solutions peuvent être envisagées, comme il sera décrit plus loin.

Ces quatre solutions 10, 20, 30, 40, sont ensuite mélangées afin de créer un mélange réactionnel 50. Ce mélange réactionnel 50 constitue la solution dans laquelle trempe l'échantillon 100.

De manière avantageuse, l'ajout de peroxodisulfate réduit considérablement la durée nécessaire pour réaliser un dépôt de ZnS sur l'absorbeur. Pour illustrer le gain en temps réalisé, le diagramme de la figure 3 compare les vitesses de dépôt par CBD d'une couche mince, mesurées dans trois conditions différentes. La couche de ZnS déposée peut comprendre de l'oxygène et former une couche de type Zn(S,0) ou Zn(S,0,OH). Il sera ci-après fait référence à une couche de ZnS pour désigner aussi bien une couche pure de ZnS qu'une couche de Zn(S,0) ou Zn(S,0,OH).

La courbe 301 montre le temps nécessaire pour déposer des couches de ZnS de différentes épaisseurs, lorsque le mélange réactionnel 50 se trouve dans une configuration conventionnelle. Il est entendu par conventionnelle une concentration en thio-urée de 0,65 mol/L, une concentration en ZnS0 ₄ de 0,15 mol/L une concentration d'ammoniaque de 2 mol/L. Les réactifs ont tous été préchauffés à une température de 80°C, avant d'être déposés dans une enceinte portée à la même température de 80°C.

La courbe 302 représente le temps nécessaire pour déposer des couches de ZnS de différentes épaisseurs, lorsque le mélange réactionnel 50 comprend une configuration testée en laboratoire et correspondant à un mode de réalisation particulièrement avantageux. Il se caractérise par une concentration en thio-urée de 0,4 mol/1, une concentration en ZnS0 ₄ de 0,1 mol/L une concentration en ammoniaque de 2 mol/L. Aucun préchauffage des réactifs n'est prévu et la température du dépôt est de 70°C. La courbe 303 représente le temps nécessaire pour déposer des couches de ZnS de différentes épaisseurs, lorsque le mélange réactionnel 50 comprend les mêmes caractéristiques que celles associées à la courbe 302, mais avec l'ajout d'une concentration de 0,001 mol/L de peroxodisulfate. Le tableau 1 ci-dessous résume les trois configurations décrites ci-avant.

Tableau 1 : récapitulatif des trois confi urations de dépôt représentées à la figure 3

Il apparaît, d'après l'évolution des trois courbes 301, 302 et 303 de la figure 3, que l'ajout de (NH ₄ ) ₂ S ₂ 0 ₈ dans un bain chimique augmente considérablement la vitesse de dépôt d'une couche de ZnS. Notamment, pour obtenir une couche de 20 nm d'épaisseur, le bain optimisé selon l'invention divise par 2,5 le temps de dépôt par rapport à des techniques conventionnelles, et par plus de 5 par rapport à un dépôt réalisé dans les mêmes conditions sans l'additif Par ailleurs, il convient de remarquer que les conditions de dépôt dans le bain chimique du demandeur sont plus économes en matière première et énergie. Ceci résulte de concentrations moindres en réactifs, d'une température de dépôt plus petite et de l'absence d'un préchauffage des réactifs.

L'exemple décrit ci-avant peut avantageusement donner lieu à la réalisation d'un dispositif photo voltaïque complet tel que représenté sur la figure 4. La figure 4 illustre schématiquement une cellule solaire en couches minces comprenant les mêmes éléments structuraux que ceux de la figure 1. Le dispositif 400 représenté comprend en outre une couche tampon 104 déposée par CBD sur l'absorbeur, comme décrit précédemment. Par-dessus la couche tampon 104 une première couche fenêtre 105, par exemple en oxyde de zinc intrinsèque ou en ZnMgO, peut être déposée par des techniques connues comme la pulvérisation réactive, un dépôt chimique en phase vapeur, un électrodépôt, un dépôt CBD ou un dépôt ILGAR ^® . Un contact électrique avant 106 peut ensuite être déposé. Il peut par exemple s'agir d'une couche en oxyde de zinc ZnO dopé aluminium. D'autres avantages propres à l'utilisation du bain chimique décrit ci-avant pour déposer une couche tampon se reflètent dans les performances des dispositifs photo voltaïques obtenus.

Le tableau 2 compare des caractéristiques techniques de cellules solaires telles que la cellule solaire de la figure 4, comprenant un absorbeur de type chalcopyrite CIGS. Une première cellule comprend une couche tampon ZnS obtenue dans les conditions de dépôt conventionnelles décrites ci-avant en relation avec la courbe 301 de la figure 3. Une seconde cellule comprend une couche tampon ZnS obtenue par un procédé de dépôt CBD faisant intervenir le bain objet de l'invention, dans des conditions identiques à celles décrites en relation avec la courbe 303 de la figure 3. Une troisième cellule comprend une couche tampon CdS obtenue par CBD dans des conditions de dépôt conventionnelles.

Rendement Facteur de

Couche tampon Voc (mV) Jsc (mA/cm ² )

(%) forme (%)

ZnS

13,7 71,8 611 31,3

CBD conventionnelle

Ecart type +/- 0,41 +/- 1,9 +/- 3,3 +/- 0,52

ZnS

14,2 73,7 622 31,4

CBD avec additif

Ecart type +/- 0,18 +/- 0,99 +/- 1,5 +/- 0 8 CdS

13,8 73,7 619 30,1

CBD conventionnelle

Ecart type +/- 0,13 +/- 0,36 +/- 4,6 +/- 0 5

Tableau 2 : Comparaison des performances de trois cellules solaires.

Chaque cellule du tableau 2 possède une surface de 5x5 cm ² , et une couche tampon de 20 nm d'épaisseur. Les colonnes du tableau 2 représentent quatre paramètres pour chacune des trois cellules solaires. La première colonne représente le rendement de conversion de la cellule solaire. La seconde colonne représente le facteur de forme de chaque cellule, fournissant une indication sur la qualité de la jonction entre couche tampon et absorbeur. La troisième colonne représente une tension de circuit ouvert Voc. Plus cette tension est élevée, meilleure est la cellule sur le plan électrique. La quatrième colonne représente le courant de court-circuit Jsc. Plus ce courant est élevé, meilleure est la cellule sur le plan électrique.

Par ailleurs, pour chaque cellule du tableau 2, et pour chaque paramètre, un écart type de la valeur correspondante est indiqué. Cette information permet de fournir une estimation de l'homogénéité de la cellule. En effet, plus un paramètre varie au sein même de la cellule, plus l'écart-type associé est élevé. Une telle instabilité est indicatrice de défauts structurels dans la cellule, et a fortiori dans la couche tampon qui est la seule couche présentant des différences substantielles entre les trois cellules comparées.

Il ressort des valeurs du tableau 2 que la cellule possédant une couche tampon ZnS réalisée par le procédé de dépôt CBD mis au point dans le cadre de l'invention présente une homogénéité supérieure aux autres cellules. Elle présente notamment une homogénéité plus élevée que celle de la cellule possédant une couche ZnS réalisée par un dépôt CBD conventionnel.

Par ailleurs la cellule réalisée par le procédé de l'invention présente un rendement de conversion supérieur à celui des autres cellules ainsi que de meilleures propriétés électriques. Le facteur de forme de la cellule obtenue par le procédé de l'invention est comparable à celui de cellules à couche tampon en CdS. Néanmoins, l'homogénéité globale de la cellule réalisée grâce au dépôt CBD avec addition de persulfate est meilleure. Par conséquent le procédé de dépôt avec addition de persulfate est bien adapté à la réalisation de cellules photosensibles de large surface, ou plus généralement, pour la réalisation de couches comprenant du métal et du soufre en milieu industriel.

Une observation au microscope électronique a permis de confirmer ces observations sur la qualité structurelle du dépôt obtenu par la mise en œuvre du procédé de l'invention.

Le bain chimique développé et le procédé qui l'utilise pour réaliser une couche tampon, permettent d'obtenir dans des conditions de dépôt adaptées une couche tampon en un matériau non toxique, par exemple dépourvu de cadmium.

Les propriétés électriques et optiques améliorées des couches tampon de sulfures et oxysulfures de zinc ont été étudiées par le calcul de l'efficacité quantique de la couche, comparée à celle d'une couche tampon de CdS. La figure 5 représente un diagramme comparant l'efficacité quantique entre 300 nm et 1100 nm d'une couche tampons ZnS, représentée par la courbe 502 avec celle d'une couche tampon CdS, représentée par la courbe 501. L'efficacité quantique est un paramètre qui traduit le rapport entre la quantité d'électrons produits et la quantité de photons reçus par le dispositif photosensible. II apparaît sur la figure 5 qu'une couche tampon en ZnS permet d'aboutir à une meilleure conversion de lumière aux longueurs d'onde inférieures à 500 nm. Ce gain en courant peut s'expliquer par un plus grand coefficient de transmission de la lumière dans du ZnS à ces longueurs d'onde comparé au CdS. Cette propriété optique est elle-même issue de la structure de bande du matériau, qui possède une bande interdite électronique de plus grande valeur en énergie que le CdS.

La présente invention ne se limite pas aux formes de réalisation décrites ci-avant à titre d'exemple ; elle s'étend également à d'autres variantes. En effet, le bain décrit ci- avant et le procédé utilisant ce bain pour réaliser une couche mince comprenant du métal et du soufre peuvent se décliner dans différentes configurations bénéficiant toutes du gain de vitesse de dépôt et de la qualité de couche obtenue décrits ci-avant.

Ainsi, les concentrations des différents constituants du mélange réactionnel 50 sont ajustables. Dans un souci d'économie, il est préférable de réduire la concentration des réactifs. Cependant, une réduction des concentrations tend à augmenter la durée nécessaire pour produire une couche mince d'une épaisseur donnée. Les exemples décrits ci-avant correspondent à un compromis entre concentration et vitesse de réaction. Il est possible de prévoir d'autres concentrations et d'autres températures en vue de répondre à un cahier des charges différent. Il peut par exemple être intéressant d'ajuster les concentrations et températures pour déposer avec une contrainte de temps fixée une épaisseur donnée de couche mince. En effet, du fait d'une vitesse de dépôt globalement accrue, il est envisageable d'utiliser le dépôt CBD employant un persulfate en guise d'additif pour réaliser en un temps raisonnable, par exemple inférieur à une heure, des couches de plus de 150 nm d'épaisseur. En augmentant la vitesse du dépôt, il est possible de prévoir une faible température du mélange réactionnel. Par rapport à des techniques conventionnelles de dépôt impliquant généralement des températures d'environ 70°C, l'invention permet d'obtenir un dépôt de durée inférieure à 15 minutes même lorsque la température descend en-dessous de 60°C, par exemple jusqu'à 40°C. Le compromis entre vitesse de dépôt et concentration des réactifs peut être considéré comme satisfait pour une concentration en sel métallique comprise entre 0.01 mol/L et 1 mol/L, une concentration en précurseur de soufre comprise entre 0,05 mol/L et 1 mol/L, une concentration en persulfate comprise entre 10 ^"5 mol/L et 1 mol/L et une concentration en ammoniaque comprise entre 0,1 mol/L et 10 mol/L. D'autre part, le bain et le procédé qui l'utilise peuvent être envisagés sans prévoir l'ajout d'ammoniaque. Il est par exemple envisageable soit de le substituer par un autre composé à pH basique ou un composé de pKa supérieur à 7. On peut par exemple supprimer l'ammoniaque en utilisant de l'hydroxyde de potassium KOH avec un complexant de type citrate. A minima, le mélange réactionnel du bain chimique peut ne comporter que du persulfate, un précurseur de soufre et un sel métallique. À partir de ces constituants de base, la composition du mélange réactionnel peut différer de celle décrite en détail ci-avant.

Notamment, il est envisageable d'utiliser d'autres composés à base de persulfate, tels que du persulfate de sodium de formule chimique Na ₂ S ₂ 0 ₈ ou du persulfate de potassium de formule chimique K ₂ S ₂ 0g, avec des performances équivalentes.

La thio-urée peut également être remplacée par d'autres précurseurs de soufre possédant préférentiellement des propriétés chimiques équivalentes. Outre le sulfate de zinc, le sel métallique peut être remplacé par l'acétate ou le chlorure de zinc pour les mêmes applications que celles décrites ci-avant. L'acétate de zinc peut être anhydre ou hydraté, par exemple de formule Zn[CH ₃ COOH] ₂ . Par ailleurs, en guise de sel métallique, un sel à base d'indium ou de cadmium peuvent également convenir pour réaliser des couches tampons sur des dispositifs photosensibles.

Par ailleurs, le dépôt d'une couche de soufre et de zinc s'effectuant en milieu aqueux, il peut y avoir une incorporation d'oxygène dans les couches déposées formant un oxysulfure de zinc de type Zn(S,0) ou Zn(S,0,OH). De même, il est possible d'incorporer de l'oxygène dans une couche comprenant un autre élément métallique, comme l'indium, pour former un oxysulfure d'indium de type In _x (S,0) _y ou In _x (S,0,OH) _y . Toutefois, les autres éléments des groupes IIB et IIIA du tableau périodique peuvent également être envisagés en guise de métal, du fait de leurs propriétés chimiques similaires à celles du zinc, indium ou cadmium.

Comme évoqué précédemment, il est possible d'appliquer le procédé décrit ci-avant dans d'autres contextes que le dépôt d'une couche tampon sur un absorbeur de cellule photosensible. En effet, l'invention a également été testée avec succès sur d'autres surfaces de dépôt comme du verre, un substrat semi-conducteur et un métal. Plus généralement, l'invention décrite ci-avant optimise un bain chimique pour le dépôt d'une couche mince comprenant du soufre et un métal. Cette optimisation augmente la vitesse du dépôt, tout en améliorant la qualité structurelle de la couche obtenue, et permet d'envisager des économies de matière et énergie. Par ailleurs, l'invention présente l'avantage d'être compatible avec les bains chimiques pour dépôt chimiques CBD existants, et offre une solution avantageuse pour des dépôts CBD à échelle industrielle sur de grandes surfaces.