[第1実施形態]
 以下、図面を参照して、本発明を適用した� ��電アクチュエータを含むレンズ鏡筒の実施� ��態について説明する。
 図1は、第1実施形態のレンズ鏡筒の要部断� �図である。
 以下、理解を容易にするために、図1を含む 各図にX-Y-Z軸によって形成される3次元座標系 を設定して説明する。
 レンズ鏡筒100は、図示しないカメラボディ� ��着脱可能に装着される交換レンズ鏡筒であ� ��、固定筒1、フォーカスレンズ群2、フォー� �ス群保持枠3、圧電アクチュエータ4等を備え ている。

 固定筒1は、円筒形状に形成され、その内径 側にはフォーカスレンズ群2を含む複数の撮� �レンズが収容されている。撮影レンズの光� �Aは、図1に示す座標系のZ軸と平行になって� �る。固定筒1は、レンズ鏡筒100が図示しない� ��ウント機構を介してカメラボディに接続さ� ��た状態で、カメラボディに対する位置が拘� ��される。
 フォーカスレンズ群2は、撮影者等からの手 動入力に応じて、又は、カメラボディに備え られた図示しないオートフォーカス制御部か らの信号に応じて、固定筒1に対して光軸方� �に進退動作を行う。レンズ鏡筒100は、フォ� �カスレンズ群2の進退動作によって、例えば� ��主要な被写体等にピント合わせを行うよう� ��なっている。

 フォーカス群保持枠3は、フォーカスレンズ 群2を保持する枠体であり、円筒状に形成さ� �た本体部3aと、本体部3aの外周面の一部から� ��径側に突き出して設けられた突出部3bとを� �えている。
 圧電アクチュエータ4は、フォーカスレンズ 群2を固定筒1に対して光軸方向に駆動する駆� ��装置であり、出力部材10と駆動部20とを備え ている。

 図2は、図1に示すレンズ鏡筒に備えられた� �電アクチュエータを示す図である。
 この図2において、(a)は、圧電アクチュエー タをZ軸方向(光軸方向)からみた断面図であり 、(b)は、圧電アクチュエータをX軸方向(光軸A に直交する方向)からみた断面図である。
 図3は、図2に示す圧電アクチュエータの動� �を説明する図であり、(a)、(b)は、変位前後� �状態をそれぞれ示している。

 出力部材10は、フォーカス群保持枠3に設け� ��れた突出部3bのマウント側(カメラボディ側) の面部にビスV1(図1参照)によって固定された� ��柱状の部材であり、ステンレス鋼によって� ��成されている。出力部材10とフォーカスレ� �ズ群2とは、固定筒1に対して一体的に移動す る。
 出力部材10は、光軸Aに平行に延在しており� ��その光軸Aに直交する断面形状は、略正方形 になっている。出力部材10における光軸Aに平 行な4つの面部(以下、側面部と称する)のうち 、2つの側面部は、X-Z平面に略平行になって� �り、他の2つの側面部は、Y-Z平面に略平行に� ��っている(図2参照)。以下、X軸方向、Y軸方� �を、それぞれ左右方向、上下方向と称する� �ともに、出力部材10のY軸に直交する2つの側� ��部をそれぞれ上面部10a、下面部10bと称して� ��明する。

 駆動部20は、出力部材10を固定筒1に対して� �動する部分である。
 図2(a)に示すように、圧電アクチュエータ4� �駆動部20は、支持部21、加圧用アクチュエー� ��30、駆動用アクチュエータ40等を備えている 。
 加圧用アクチュエータ30及び駆動用アクチ� �エータ40は、Y軸(上下)方向に配列され、出力 部材10は、加圧用アクチュエータ30と駆動用� �クチュエータ40との間を通過して配置されて いる。加圧用アクチュエータ30は、出力部材1 0の上面部10aに対向して配置され、駆動用ア� �チュエータ40は、出力部材10の下面部10bに対� ��して配置されている。

 支持部21は、加圧用アクチュエータ30及び 駆動用アクチュエータ40を支持する部分であ� ��、固定筒1に固定されている。これによって 、加圧用アクチュエータ30及び駆動用アクチ� ��エータ40が固定筒1に固定される。

 支持部21は、駆動用アクチュエータ40を支持 する部分である固定部22と、加圧用アクチュ� ��ータ30を支持する部分である調整部23とを備 えている。
 固定部22は、図2(a)に示すように、固定筒1に 形成された取付面部1aに対向する取付面部22a� ��、この取付面部22aに直交する支持面部22bと� ��備えた板状部材であり、光軸Aに直交する断 面形状が略L字型になっている。固定部22は、 取付面部22aに貫通孔H1を備えており、この貫� ��孔H1を貫通する複数本(例えば、2~4本程度)の ビスV2によって、固定筒1に固定される(なお� �図2においてビスV2は1本のみを示す)。

 調整部23は、固定筒1の取付面部1aに対向� �る取付面部23aと、この取付面部23aに直交す� �支持面部23bとを備えた断面L字型である板状� ��材である。調整部23は、ビスV3によって固定 部22に固定される。固定部22には、取付面部22 aにビスV3が貫通する貫通孔H2が形成されてい� ��。貫通孔H2は、Y軸に平行な長孔になってお� ��、調整部23の固定部22に対する取り付け位置 をY軸方向で調節することができる。これに� �って、支持部21は、加圧用アクチュエータ30� ��駆動用アクチュエータ40との間の距離(図2(a) において、符号Dを付す)を微調整することが� ��きるようになっている。

 加圧用アクチュエータ30は、出力部材10を駆 動用アクチュエータ40に対して押圧するもの� ��あり、図2(b)に示すように、一組の圧電素子 31、32と摺動部材33とを備えている。
 一組の圧電素子31、32、及び、摺動部材33は� ��それぞれ平面視で正方形又は長方形の板状� ��形成されている。これらの圧電素子31、32の 両面には、それぞれ銀電極(図示省略)が設け� ��れている。一方の圧電素子31は、電極板34を 介して調整部23の支持面部23bに対向して配置� ��れている。摺動部材33は、出力部材10の上面 部10aに対向して配置されている。他方の圧電 素子32は、一方の圧電素子31と摺動部材33との 間に配置されている。

 一組の圧電素子31、32の間、及び、他方の 圧電素子32と摺動部材33との間にも、それぞ� �電極板35、36が配置されている。電極板34及� �電極板36は、それぞれ接地されたGND電極であ る。電極板35は、直流電圧である駆動信号が� ��示しない駆動回路のB相から印加される駆動 電極である。

 圧電素子31、32は、図3(a)に矢印P1を付して示 すように、Y軸に平行な方向(光軸Aに直交する 方向)に分極されたPZT(チタン酸ジルコン酸鉛) 圧電体である。一方の圧電素子31の分極方向� ��他方の圧電素子32の分極方向は、それぞれ� �方向になっている。一組の圧電素子31、32は� ��図3(a)、(b)に示すように電極板35に駆動信号( B相駆動信号)が印加された場合にd33の圧電効� ��によって、それぞれ当該信号の印加方向(Y� �方向)に寸法が変化する。
 加圧用アクチュエータ30は、一組の圧電素� �31、32のY軸方向の寸法が変化することによっ て、摺動部材33が出力部材10を加圧する加圧� �態(図3(a)参照)と、摺動部材33が出力部材10か� ��離間しての加圧を解除した非加圧状態(図3(b )参照)との間とを移行する。なお、本実施形� ��の加圧用アクチュエータ30は、フォーカス� �ンズ群2を駆動するとき以外は、常時加圧状� ��にある。

 駆動用アクチュエータ40は、出力部材10を光 軸方向(Z軸方向)に駆動するものであり、一組 の圧電素子41、42と摩擦部材43とを備えている 。
 一組の圧電素子41、42、及び、摩擦部材43は� ��それぞれ平面視で正方形又は長方形の板状� ��形成されている。これらの圧電素子41、42の 両面には、それぞれ銀電極(図示省略)が設け� ��れている。一方の圧電素子41は、電極板44を 介して固定部22の支持面部22bに対向して配置� ��れている。摩擦部材43は、出力部材10の下面 部10bに対向して配置されている。他方の圧電 素子42は、一方の圧電素子41と摩擦部材43との 間に配置されている。

 一組の圧電素子41、42の間、及び、他方の 圧電素子42と摩擦部材43との間にも、それぞ� �電極板45、46が配置されている。電極板44及� �電極板46は、それぞれ接地されたGND電極であ る。電極板45は、直流電圧である駆動信号が� ��示しない駆動回路のA相から印加される駆動 電極である。

 圧電素子41、42は、図2(a)に矢印P2を付して示 すように、Z軸に平行な方向(光軸Aに平行な方 向)に分極されたPZT圧電体である。一方の圧� �素子41の分極方向と他方の圧電素子42の分極� ��向は、それぞれ逆方向になっている。一組� ��圧電素子41、42は、図3(b)に示すように電極� �45に駆動信号(A相駆動信号)が印加された場合 にd15の圧電効果によって、それぞれ当該信号 の印加方向に直交する方向(Z軸方向)に変位す る。
 駆動用アクチュエータ40は、一組の圧電素� �41、42がZ軸方向に変位することによって摩擦 部材43がZ軸方向に移動し、摩擦力によって出 力部材10がZ軸方向に移動する。

 ここで、出力部材10と摺動部材33との間の摩 擦力、及び、出力部材10と摩擦部材43との間� �摩擦力について説明する。
 摺動部材33は、例えば、PTFE(ポリテトラフル オロエチレン)含有ポリオキシメチレンによ� �て形成され、摩擦部材43は、例えば、GF(ガラ ス繊維)含有ポリカーボネートによって形成� �れている。
 そして、出力部材10を駆動する際に出力部� �10と摩擦部材43との間に発生する摩擦力が、� ��力部材10と摺動部材33との間に発生する摩擦 力よりも大きくなるように、摩擦係数(静止� �擦係数)が設定されている。具体的には、出� ��部材10と摩擦部材43との間の摩擦係数は、例 えば、0.5以上が好ましく、出力部材10と摺動� ��材33との間の摩擦係数は、例えば、0.3以下� �あることが好ましい。

 次に、圧電アクチュエータ4に備えられた駆 動部20が出力部材10を駆動する際の動作を説� �する。ここでは、一例として、出力部材10を プラスZ方向に駆動する際の動作を説明する� �
 図4は、図2に示す圧電アクチュエータの動� �を示す図である。

〈状態(a):初期状態〉
 A相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V)、B相駆 動信号が低レベルの電圧値L(0V)の初期状態で� ��る。
 駆動用アクチュエータ40は、Z軸方向の変位� ��発生していない状態となっている。一方の� ��圧用アクチュエータ30は、出力部材10を駆動 用アクチュエータ40に向けて押圧した状態と� ��っている。したがって、出力部材10は、駆� �部20に対して実質的に固定された状態になっ ている。圧電アクチュエータ4は、時刻aから� ��刻bまで、図4(a)に示す状態が続く。
 なお、圧電アクチュエータ4は、初期状態で 加圧用アクチュエータ30が出力部材10を加圧� �きるように、加圧用アクチュエータ30と駆動 用アクチュエータ40との距離(図2(a)で符号Dを� ��す)が予め出力部材10のY軸方向の寸法よりも 小さくなっている。圧電アクチュエータ4の� �み立て時に加圧用アクチュエータ30と駆動用 アクチュエータ40との間に出力部材10を通過� �せる際には、加圧用アクチュエータ30にB相� �動信号を印加してY軸方向の寸法を短くし、� ��の状態で加圧用アクチュエータ30と駆動用� �クチュエータ40との間に出力部材10を挿入す� ��。

〈状態(b):駆動用アクチュエータ変位〉
 A相駆動信号が高レベルの電圧値H(正の所定� ��圧値)、B相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V) の状態である。
 加圧用アクチュエータ30が出力部材10を駆動 用アクチュエータ40に向けて押圧した状態でA 相駆動信号が印加されると、駆動用アクチュ エータ40は、圧電素子41、42がプラスZ方向に� �れぞれ変位する。
 前述のように、摩擦部材43と出力部材10との 間の摩擦力は、摺動部材33と出力部材10との� �の摩擦力よりも大きいので、圧電素子41、42� ��Z軸方向への変位に応じて摩擦部材43がZ軸方 向へ移動する場合、出力部材10は、摺動部材3 3に摺動しながらプラスZ方向に直進移動する� ��これによってフォーカスレンズ群2が光軸方 向に直進移動する。圧電アクチュエータ4は� �時刻bから時刻cまでの間、図4(b)に示す状態� �続く。

〈状態(c):加圧用アクチュエータ変位〉
 A相駆動信号が高レベルの電圧値H(正の所定� ��圧値)、B相駆動信号が高レベルの電圧値H(正 の所定電圧値)の状態である。
 駆動用アクチュエータ40が変位したままの� �態で加圧用アクチュエータ30にB相駆動信号� �入力され、これによって加圧用アクチュエ� �タ30の圧電素子31、32がそれぞれ変位する。� �して、圧電素子31、32の変位に応じて、摺動� ��材33が出力部材10から離間し、加圧用アクチ ュエータ30による出力部材10の押圧が解除さ� �る。圧電アクチュエータ4は、時刻cから時刻 dまでの間、図4(c)に示す状態が続く。

〈状態(d):駆動用アクチュエータ復帰〉
 A相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V)、B相駆 動信号が高レベルの電圧値H(正の所定電圧値) の状態である。
 出力部材10の押圧が解除された状態でA相駆� ��信号を解除すると、駆動用アクチュエータ4 0の圧電素子41、42が状態(a)のときの位置にそ� ��ぞれ復帰する。このとき、摩擦部材43と出� �部材10とは接触状態であるが、加圧用アクチ ュエータ30による加圧力が作用していないた� ��、摩擦部材43と出力部材10との間に発生する 摩擦力が実質的に無視できる程度に小さくな る。したがって、駆動用アクチュエータ40の� ��電素子41、42が変位しても出力部材10がZ軸方 向に移動することがない。圧電アクチュエー タ4は、時刻dから時刻eまでの間、図4(d)に示� �状態が続く。

〈状態(e):初期状態〉
 状態(a)と同じくA相駆動信号が低レベルの電 圧値L(0V)、B相駆動信号が低レベルの電圧値L(0 V)の初期状態である。圧電アクチュエータ4は 、初期状態(a)から初期状態(e)に復帰するまで の動作を1サイクルとし、この1サイクルの周� ��は、例えば、20kHz以上の超音波領域に設定� �れている。これにより、圧電アクチュエー� �4は、高速で出力部材10、すなわち、フォー� �スレンズ群2を光軸方向に駆動する。また、� ��電素子31、32、41、42を超音波領域のサイク� �で変位させるので、静音性にも優れる。

 なお、出力部材10を図4に示す場合とは逆の� ��向(マイナスZ方向)に駆動する際には、上述� ��たサイクル((a)、(b)、(c)、(d)、(e)の順序)と� �、逆の順序((e)、(d)、(c)、(b)、(a)の順序)で圧 電アクチュエータ4を駆動すればよい。
 すなわち、初期状態(状態(e))から、まず、� �圧用アクチュエータ30による押圧を解除し(� �態(d))、この状態で駆動用アクチュエータ40� �変位(状態(c))させる(出力部材10は移動しない )。この後、加圧用アクチュエータ30によって 出力部材10を押圧し(状態(b))、駆動用アクチ� �エータ40を初期位置に復帰させる(状態(a))。

 以上説明した第1実施形態の圧電アクチュエ ータ4によれば、以下の効果を得ることがで� �る。
(1)圧電アクチュエータ4は、出力部材10を駆動 する駆動用アクチュエータ40、及び、出力部� ��10を駆動用アクチュエータ40に対して加圧す る加圧用アクチュエータ30の2つのアクチュエ ータによって出力部材10を駆動する簡単な構� ��なので、小型化が可能である。
(2)摩擦部材43が常時、出力部材10に接触して� �るので、摺動部材33が出力部材10から離間し� ��も、出力部材10の姿勢が不安定になること� �抑制できる。
(3)レンズ鏡筒100は、フォーカスレンズ群2を� �電アクチュエータ4によってダイレクトに駆� ��するので、例えば、カム機構やヘリコイド� ��構等の回転-直進変換機構によって駆動する 場合に比べ、変換損失を抑制することができ 、エネルギー効率が向上する。

[第2実施形態]
 次に、本発明を適用した圧電アクチュエー� ��の第2実施形態について説明する。この第2� �施形態及び後述するその他の実施形態にお� �て、上述した第1実施形態と同様な機能を果� ��す部分には、同一の符号又は末尾に統一し� ��符号を付して、重複する説明や図面を適宜� ��略する。

 図5は、第2実施形態の圧電アクチュエータ� �示す図である。
 この図5において、(a)は、圧電アクチュエー タをZ軸方向(光軸方向)からみた断面図であり 、(b)は、圧電アクチュエータをX軸方向(光軸A に直交する方向)からみた断面図である。
 第2実施形態の圧電アクチュエータ104は、第 1実施形態の圧電アクチュエータ4に対し、圧� ��素子の配置が異なる。以下、第2実施形態の 圧電アクチュエータ104の圧電素子の配置につ いて説明する。

 圧電アクチュエータ104は、支持部21の固� �部22に固定された第1のアクチュエータ130と� �支持部21の調整部23に固定された第2のアクチ ュエータ140とを備えており、出力部材10は、� ��1のアクチュエータ130と第2のアクチュエー� �140との間を通過している。

 第1のアクチュエータ130は、図5(b)に示すよ� �に、一組の加圧用圧電素子131a、131b、及び、 一組の駆動用圧電素子132a、132bを備えている� ��一方の加圧用圧電素子131aは、固定部22に取� ��付けられ、他方の加圧用圧電素子131bは、一 方の加圧用圧電素子131aの上に積層されてい� �。
 また、一方の駆動用圧電素子132aは、他方の 加圧用圧電素子131bの上に積層され、他方の� �動用圧電素子132bは、一方の駆動用圧電素子1 32aの上に積層されている。さらに、他方の駆 動用圧電素子132bの上には、摩擦部材133が積� �されている。

 一組の加圧用圧電素子131a、131bの間、及� �、一組の駆動用圧電素子132a、132bの間には、 駆動電極である電極板135a、135bがそれぞれ配� ��されている。また、一方の駆動用圧電素子1 32aと固定部22との間、他方の加圧用圧電素子1 31bと一方の駆動用圧電素子132aとの間、及び� �他方の駆動用圧電素子132bと摩擦部材133と間� ��は、それぞれGND電極である電極板134a、134b� �134cが配置されている。

 一組の加圧用圧電素子131a、131bは、第1実施� ��態の加圧用アクチュエータ30に備えられた� �組の圧電素子31、32と同様のものであり、電� ��板135aにB相駆動信号が入力されることによ� �て、その厚さ方向(Y軸方向)に変位する。
 一組の駆動用圧電素子132a、132bは、第1実施� ��態の駆動用アクチュエータ40と同様のもの� �あり、電極板135bにA相駆動信号が入力される ことによって、その厚さ方向に直交する方向 (Z軸方向)に変位する。

 第2のアクチュエータ140は、その配置が異 なる以外は第1のアクチュエータ130と実質的� �同じものなので、その説明を省略する。こ� �第2のアクチュエータ140には、第1のアクチュ エータ130と同様に摩擦部材143が設けられ、出 力部材10は、一組の摩擦部材133、143にそれぞ� ��接触している。

 次に、圧電アクチュエータ104の動作を説明� ��る。
 図6は、図5に示す圧電アクチュエータの動� �を示す図である。
〈状態(a):初期状態〉
 A相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V)、B相駆 動信号が低レベルの電圧値L(0V)の状態である� ��
 この状態(a)では、第1のアクチュエータ130に 備えられた加圧用圧電素子131a、131b、及び、� ��2のアクチュエータ140に備えられた加圧用圧 電素子141a、141bが出力部材10をそれぞれ相手� �に向けて押圧している。圧電アクチュエー� �104は、時刻aから時刻bまで、図6(a)に示す状� �が続く。

〈状態(b):駆動用圧電素子変位〉
 A相駆動信号が高レベルの電圧値H(正の所定� ��圧値)、B相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V) の状態である。
 加圧用圧電素子131a、131b、141a、141bが出力部 材10を互いに押圧した状態でA相駆動信号が入 力されると、第1のアクチュエータ130に備え� �れた駆動用圧電素子132a、132b、及び、第2の� �クチュエータ140に備えられた駆動用圧電素� �142a、142bがそれぞれプラスZ方向に変位し、� �れによって出力部材10が光軸方向に移動する 。圧電アクチュエータ104は、時刻bから時刻c� ��で、図6(b)に示す状態が続く。

〈状態(c):加圧用圧電素子変位〉
 A相駆動信号が高レベルの電圧値H(正の所定� ��圧値)、B相駆動信号が高レベルの電圧値H(正 の所定電圧値)の状態である。
 駆動用圧電素子132a、132b、142a、142bがそれぞ れ変位したままの状態でB相駆動信号が入力� �れると、これに応じて加圧用圧電素子131a、1 31b、141a、141bは、それぞれY軸方向の寸法が小 さくなる方向に変位する。そして、これらの 圧電素子の変位に応じて摩擦部材133、143がそ れぞれ出力部材10から離間する。なお、摩擦� ��材133、143が出力部材10から離間してから再� �接触するまでの時間は、極めて短いので、� �重等によって出力部材10の姿勢が不安定に可 能性は実質的に無視できる。圧電アクチュエ ータ104は、時刻cから時刻dまで、図6(c)に示す 状態が続く。

〈状態(d):駆動用圧電素子復帰〉
 A相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V)、B相駆 動信号が高レベルの電圧値H(正の所定電圧値) の状態である。
 出力部材10の押圧が解除された状態でA相駆� ��信号を解除すると、加圧用圧電素子131a、131 b、141a、141bは、それぞれ状態(a)の初期状態の 位置に復帰する。このとき、摩擦部材133、143 と出力部材10とは、それぞれ非接触状態であ� ��ので、出力部材10は、Z軸方向に移動するこ� ��がない。圧電アクチュエータ104は、時刻dか ら時刻eまで、図6(d)に示す状態が続く。

〈状態(e):初期状態〉
 状態(a)と同じA相駆動信号が低レベルの電圧 値L(0V)、B相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V)� ��初期状態である。

 第2実施形態の圧電アクチュエータ104は、2� �のアクチュエータ130、140が協働して出力部� �10を駆動するので高い出力が得られる。した がって、第1実施形態と同じ出力をより小型� �圧電素子で得ることができ、圧電アクチュ� �ータ104を全体的に小型化することができる� �
 また、第1実施形態の圧電アクチュエータ4� �おいて、駆動用アクチュエータ40は、加圧用 アクチュエータ30に備えられた摺動部材33と� �力部材10との間の摩擦力に抗して出力部材10� ��駆動するのに対し、第2実施形態の圧電アク チュエータ104は、駆動用圧電素子132a、132b、1 42a、142bの変位がロス無く出力部材10に伝達さ れるので効率がよい。

[第3実施形態]
 次に、本発明を適用した圧電アクチュエー� ��の第3実施形態について説明する。
 図7は、第3実施形態の圧電アクチュエータ� �示す図である。
 第3実施形態の圧電アクチュエータ204は、第 2実施形態と同様に第1のアクチュエータ130及� ��第2のアクチュエータ140によって出力部材10� ��駆動するが、支持部221が第1のアクチュエー タ130及び第2のアクチュエータ140に加えて出� �部材10も支持している点が異なる。

 支持部221は、第1のアクチュエータ130を支持 する第1支持部222と、第2のアクチュエータ140� ��支持する第1支持部223と、出力部材10を支持� ��る第3支持部224を備えている。
 第3支持部224は、Z軸に略直交(光軸Aに略直交 )する板状の部分であり、固定筒1(図5(a)参照)� ��固定されている。
 第3支持部224の中央部には、出力部材10の上� ��方向寸法、左右方向寸法よりも上下方向寸� ��、左右方向寸法が大きい貫通穴225が形成さ� ��ている。そして、この貫通穴225の内側面側� ��は、出力部材10の外側面と接触する摩擦部� �226が固定されている。摩擦部材226の形状は� �に限定されず、図7に示すように、出力部材1 0の上下の面部にのみ接触させてもよいし、� �力部材10の上下左右の全ての面部に接触させ てもよい。

 ここで、出力部材10と摩擦部材226との間の� �擦係数は、第1のアクチュエータ130及び第2の アクチュエータ140がそれぞれ出力部材10から� ��間した状態(図6の状態(c)、(d)参照)であって� ��、出力部材10の自重によるZ軸方向への移動� ��抑制できる程度の摩擦力を発生するように� ��定されている。
 ただし、この摩擦部材226と出力部材10との� �の摩擦係数は、出力部材10を光軸方向に駆動 する際(図6の状態(b)参照)に摩擦部材226と出力 部材10との間に発生する摩擦力が、第1のアク チュエータ130及び第2のアクチュエータ140に� �えられた摩擦部材133、143と出力部材10との間 に発生する摩擦力よりも小さくなるように設 定されている。

 第3実施形態の圧電アクチュエータ204の動作 は、第2実施形態の圧電アクチュエータ104と� �質的に同じであるので、その説明は省略す� �。
 第3実施形態の圧電アクチュエータ204は、第 1のアクチュエータ130及び第2のアクチュエー� ��140に備えられた摩擦部材133、143が出力部材� ��ら離間する際(図6の状態(c)及び(d)参照)であ� ��ても、出力部材10が常時摩擦部材226に支持� �れているので、出力部材をより安定して駆� �することができる。

[第4実施形態]
 次に、本発明を適用した圧電アクチュエー� ��の第4実施形態について説明する。
 図8は、第4実施形態の圧電アクチュエータ� �示す図である。
 第4実施形態の圧電アクチュエータ304は、第 2実施形態と同様に出力部材10を駆動する第1� �アクチュエータ130及び第2のアクチュエータ1 40によって駆動する。また、圧電アクチュエ� ��タ304は、出力部材10を挟み込んで配置され� �第3のアクチュエータ330及び第4のアクチュエ ータ340を備えている。

 第3のアクチュエータ330は、第1のアクチュ� �ータ130に対して光軸方向に隣接した状態で� �持部322に支持されている。第4のアクチュエ� ��タ340は、第2のアクチュエータ140に対して光 軸方向に隣接した状態で支持部323に支持され ている。
 第3のアクチュエータ330は、第1のアクチュ� �ータ130に備えられた加圧用圧電素子131a、131b と同様の構成を有する1組の加圧用圧電素子� �2つ、Y軸方向に積層して形成されており、合 計で4枚の加圧用圧電素子331a~dを備えている� �加圧用圧電素子331aと加圧用圧電素子331bとの 間、及び、加圧用圧電素子331cと加圧用圧電� �子331dとの間には、それぞれ駆動電極である� ��極板334a、334bが配置されており、これらの� �極板344a、344bにC相駆動信号が入力されると� �第3のアクチュエータ330は、Y軸方向の寸法が 長くなる方向に変位する。
 第4のアクチュエータ340の構成は、第3のア� �チュエータ330と実質的に同一である。

 第3のアクチュエータ330及び第4のアクチュ� �ータ340は、4枚の加圧用圧電素子の上に積層� ��れた摩擦部材333、343をそれぞれ備えている� ��
 この摩擦部材333、343と出力部材10との間の� �擦係数は、第1のアクチュエータ130及び第2の アクチュエータ140がそれぞれ出力部材10から� ��間した状態(図9の状態(c)、(d)参照)であって� ��、出力部材10の自重によるZ軸方向への移動� ��抑制できる程度の摩擦力が発生するように� ��定されている。

 図9は、図8に示す圧電アクチュエータの動� �を示す図である。
〈状態(a):初期状態〉
 A相駆動信号、B相駆動信号及びC相駆動信号� ��、いずれも低レベルの電圧値L(0V)の初期状� �である。
 この初期状態において、第1のアクチュエー タ130及び第2のアクチュエータ140は、出力部� �10をそれぞれ相手方に向けて加圧している。 これに対し、第3のアクチュエータ330及び第4� ��アクチュエータ340は、それぞれの摩擦部材3 33、334が出力部材10から離間している。圧電� �クチュエータ304は、時刻aから時刻bまで、図 9(a)に示す状態が続く。

〈状態(b):駆動用アクチュエータ変位〉
 A相駆動信号が高レベルの電圧値H(正の所定� ��圧値)、B相駆動信号及びC相駆動信号が低レ� ��ルの電圧値L(0V)の状態である。
 A相に駆動信号が入力され、第1のアクチュ� �ータ130及び第2のアクチュエータ140は、それ� ��れZ軸方向に変位し、出力部材10は、これに� ��じて光軸方向に駆動される。圧電アクチュ� ��ータ304は、時刻bから時刻cまで、図9(b)に示� ��状態が続く。

〈状態(c):加圧用アクチュエータ切替〉
 A相駆動信号、B相駆動信号及びC相駆動信号� ��、いずれも高レベルの電圧値H(正の所定電� �値)の状態である。
 A相に加えてB相及びC相にそれぞれ駆動信号� ��入力される。第1のアクチュエータ130及び第 2のアクチュエータ140は、Z軸方向への変位を� ��持したまま、それぞれY軸方向の寸法が短く なる方向に変位し、摩擦部材133、134が出力部 材10からそれぞれ離間する。また、これと略� ��時に第3のアクチュエータ330及び第4のアク� �ュエータ340は、それぞれY軸方向の寸法が長� ��なる方向に変位し、出力部材10を互いの方� �に向けて加圧することによって出力部材10を 実質的に固定筒1に固定する。圧電アクチュ� �ータ304は、時刻cから時刻dまで、図9(c)に示� �状態が続く。

〈状態(d):駆動用アクチュエータ復帰〉
 A相駆動信号が低レベルの電圧値L(0V)、B相駆 動信号及びC相駆動信号が高レベルの電圧値H( 正の所定電圧値)の状態である。
 第3のアクチュエータ330及び第4のアクチュ� �ータ340が出力部材10を保持した状態でA相に� �する駆動信号が解除され、第1のアクチュエ� ��タ130及び第2のアクチュエータ140は、それぞ れ(a)の初期状態と同じ状態に復帰する。圧電 アクチュエータ304は、時刻dから時刻eまで、� ��9(d)に示す状態が続く。

〈状態(e):初期状態〉
 A相駆動信号、B相駆動信号及びC相駆動信号� ��、いずれも低レベルの電圧値L(0V)の初期状� �である。
 B相及びC相に対する駆動信号が解除され、� �3のアクチュエータ330及び第4のアクチュエー タ340は、これに応じて出力部材10の保持を解� ��する。また、これと略同時に第1のアクチュ エータ130及び第2のアクチュエータ140は、Y軸� ��向の寸法が長くなる方向に変位し、出力部� ��10を保持する。

 以上説明した第4実施形態の圧電アクチュエ ータ304によれば、第2実施形態と同様の効果� �加え、出力部材10を常時保持しているので、 第3実施形態の圧電アクチュエータ204と同様� �、出力部材10を安定して駆動させることがで きる。
 また、第3実施形態の圧電アクチュエータ204 は、摩擦部材226と出力部材10との間の摩擦力� ��抗して出力部材10を駆動するのに対し、第4� ��施形態の圧電アクチュエータ304は、駆動用� ��電素子132a、132b、142a、142bの変位がロス無く 出力部材10に伝達されるので効率がよい。

[変形形態]
 本発明は、以上説明した実施形態に限定さ� ��ることなく、以下に示すような種々の変形� ��変更が可能であり、これらも本発明の技術� ��範囲内に含まれる。
(1)実施形態の圧電アクチュエータは、レンズ 鏡筒に備えられたフォーカスレンズを固定筒 に対して駆動するものであったが、圧電アク チュエータによる駆動対象はこれに限られず 、例えば、ズームレンズ等の他の光学系を駆 動対象としてもよい。また、駆動対象の駆動 方向は、光軸に平行な方向に限らず、例えば 、光軸と交差する方向でもよく、例えば、ブ レ補正レンズを光軸に垂直な面内で駆動する のに用いてもよい。さらに、圧電アクチュエ ータの駆動対象は、レンズに限られない。ま た、実施形態において、圧電アクチュエータ はレンズ鏡筒に備えられたが、この種の光学 機器に限らず、例えば、X-Yステージやプリン タ装置等の各種電子機器に備えられてもよい 。
(2)実施形態の圧電アクチュエータは、固定筒 に固定された駆動部が出力部材を固定筒に対 して駆動する構成であったが、これに限らず 、出力部材が固定され、この固定部材に対し て駆動部が移動するようにしてもよい。
(3)第1実施形態において、加圧用アクチュエ� �タに備えられた摺動部材は、非加圧状態で� �力部材から離間したが、駆動用アクチュエ� �タが駆動時とは反対の方向に変位する際に� �力部材を摩擦部材に対して押圧しなければ� �これに限らず、摺動部材に接触していても� �い。
(4)第1実施形態の圧電アクチュエータは、出� �部材の上下の面部を挟んで加圧用、駆動用� �アクチュエータが設けられたが、これに加� �て左右の面部を挟んで加圧用、駆動用のア� �チュエータを設けてもよい。
(5)実施形態の出力部材は、駆動方向に直交す る断面が矩形であったが、これに限らず円形 や、四角形以外の多角形でもよい。
(6)実施形態において、駆動用アクチュエータ 及び加圧用アクチュエータは、光軸方向の位 置が略同じであったが、これに限らず、光軸 方向の位置が異なっていてもよい。
(7)各実施形態において、加圧用圧電素子及び 駆動用圧電素子は、それぞれ分極方向が反対 である一組の圧電素子によって構成されてい たが、これに限らず、一枚の圧電素子や、3� �以上の圧電素子で構成されていてもよい。