TECHNISCHES GEBIET

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft das Gebiet der pneumatischen Aktoren, insbe sondere eine kostengünstige Bauweise eines pneumatischen Linearaktors, der in bestimm ten Anwendungen doppelwirkende Pneumatikzylinder ersetzen kann.

HINTERGRUND

[0002] Es gibt verschiedene Typen von pneumatischen Aktoren. Insbesondere Pneuma tikzylinder werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt. Es ist auch bekannt, pneumatische Aktoren für die Kraftregelung zu verwenden, beispielsweise bei der automa tisierten, robotergestützten Bearbeitung von Oberflächen oder allgemein in Anwendungen, in denen ein Roboter z.B. mit einem Werkzeug eine Oberfläche „sanft“ (ohne Stoß) berüh ren soll. Ein Beispiel einer pneumatischen Handhabungsvorrichtung (handling device) für Anwendung bei Industrierobotern ist in US 10,906,177 beschrieben. Bekannte Vorrichtun gen und Systeme enthalten unter anderem Balgzylinder, Luftmuskel oder doppeltwirkende Pneumatikzylinder, was derartige Vorrichtung komplex und in der Herstellung teuer macht. Ein Anforderung an eine derartige Handhabungsvorrichtung für die robotergestütz ten Oberflächenbearbeitung ist die Fähigkeit, Biegemomente aufnehmen zu können.

[0003] Der Erfinder hat sich die Aufgabe gestellt, einen in der Herstellung kostengünsti gen pneumatischen Linearaktor zu schaffen, der insbesondere für Anwendungen im Be reich der robotergestützten Oberflächenbearbeitung geeignet ist.

ZUSAMMENFASSUNG

[0004] Die oben genannte Aufgabe wird durch die Vorrichtung gemäß Patentanspruch 1 und das Stellelement gemäß Anspruch 13 gelöst. Verschiedene Ausführungsformen und Weiterentwicklungen sind Gegenstand der abhängigen Patentansprüche. [0005] Es wird ein pneumatisches Stellelement beschrieben. Gemäß einem Ausführungs beispiel weist das Stellelement folgendes auf: ein Gehäuse mit einer Druckkammer; eine von außen in die Druckkammer des Gehäuses eingeführte Stange; eine um die Stange an geordnete Stangendichtung, welche die Druckkammer abdichtet; und eine an dem Gehäuse montierte Stangenführung, welche dazu ausgebildet ist, die Stange entlang ihrer Längs achse zu führen. In der Druckkammer ist kein Kolben angeordnet. Vielmehr ist im Inneren der Druckkammer ein nicht abgedichteter Ringspalt zwischen der Stange und einer Innen wand der Druckkammer vorhanden, sodass ein in der Druckkammer vorhandener Gas druck sich in der gesamten Druckkammer bis hin zur Stangendichtung ausbreiten kann.

[0006] Weitere Ausführungsbeispiele betreffen Handhabungsvorrichtungen bzw. Linea raktoren mit einem oder mehreren der erwähnten pneumatischen Stellelemente.

KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

[0007] Verschiedene Implementierungen werden nachfolgend anhand von den in den Ab bildungen dargestellten Beispielen näher erläutert. Die Darstellungen sind nicht zwangs läufig maßstabsgetreu und die Erfindung beschränkt sich nicht nur auf die dargestellten Aspekte. Vielmehr wird Wert darauf gelegt, die den dargestellten Ausführungsbeispielen zugrunde liegenden Prinzipien darzustellen.

[0008] Figur 1 ist eine exemplarische schematische Darstellung einer robotergestützten Schleifvorrichtung mit einer Schleifmaschine, die mit einem Industrieroboter mittels eines kraftgeregelten Linearaktors gekoppelt ist; der Linearaktor bewirkt eine teilweise mechani sche Entkopplung von Industrieroboter und Schleifmaschine.

[0009] Figur 2 illustriert ein Beispiel eines pneumatischen Linearaktors (Handhabungs vorrichtung (handling device) in einer Seitenansicht.

[0010] Figur 3 ist eine schematische Längsschnittdarstellung eines ersten Ausführungs beispiels.

[0011] Figur 4 ist eine schematische Längsschnittdarstellung eines zweiten Ausführungs beispiels. [0012] Figur 5 ist eine schematische Längsschnittdarstellung eines dritten Ausführungs beispiels bei mittlerer Auslenkung.

[0013] Figur 6 illustriert das Beispiel aus Fig. 5 bei minimaler Auslenkung.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG

[0014] Bei der robotergestützten Oberflächenbearbeitung wird eine Werkzeugmaschine (z.B. eine Schleifmaschine, eine Bohrmaschine, eine Fräsmaschine, eine Poliermaschine und dgl.) von einem Manipulator, beispielsweise einem Industrieroboter, geführt. Dabei kann die Werkzeugmaschine auf unterschiedliche Weise mit dem sogenannten Endeffek tor-Flansch, dessen Lage den TCP ( Tool Center Point) des Manipulators festlegt, gekop pelt sein; der Manipulator kann in der Regel Position und Orientierung des TCP praktisch beliebig einstellen, um eine Werkzeugmaschine auf einer Trajektorie z.B. parallel zu einer Oberfläche eines Werkstücks zu bewegen. Industrieroboter sind üblicherweise positionsge regelt, was eine präzise Bewegung des TCP entlang der gewünschten Trajektorie ermög licht. Das Folgende gilt jedoch nicht nur für die robotergestützte Oberflächenbearbeitung, sondern allgemein für Robotikanwendungen, bei denen ein Roboter mit einem Werkzeug eine Oberfläche mehr oder weniger sanft (ohne Stoß) kontaktieren muss. Dies kann z.B. auch auf Pick-and-Place- Anwendungen zutreffen.

[0015] In vielen Anwendungen ist eine Regelung der Prozesskraft (z.B. Kraft beim Kon taktieren eines Werkstücks oder Kontaktkraft bei der Oberflächenbearbeitung wie z.B. Schleifkraft) nötig, was mit herkömmlichen Industrierobotern oft nur schwer mit hinrei chender Genauigkeit realisierbar ist. Die großen und schweren Armsegmente eines Indust rieroboters besitzen eine zu große Massenträgheit, als dass ein Regler ( closed-loop Control ler) rasch genug auf Schwankungen der Prozesskraft reagieren könnte. Um dieses Problem zu lösen, kann zwischen dem Endeffektor-Flansch des Manipulators und der Werkzeugma schine ein im Vergleich zum Industrieroboter kleiner (und leichter) Linearaktor angeordnet sein, der den Endeffektor-Flansch des Manipulators mit der Werkzeugmaschine koppelt. Der Linearaktor regelt während der Oberflächenbearbeitung lediglich die Prozesskraft (also die Anpresskraft zwischen Werkzeug und Werkstück), während der Manipulator das Werkzeug bzw. die Werkzeugmaschine samt Linearaktor positionsgeregelt entlang der ge wünschten Trajektorie bewegt. Durch die Kraftregelung kann der Linearaktor Ungenauig- keiten in der Lage und der Form des zu bearbeitenden Werkstücks sowie auch Ungenauig keiten der Trajektorie des Manipulators (innerhalb gewisser Grenzen) ausgl eichen. Nichts destotrotz gibt es Roboter, die in der Lage sind, auch ohne den erwähnten Linearaktor mit tels Kraft-/Momenten-Regelung die Prozesskraft einzustellen, was allerdings vergleichs weise aufwändig und teuer ist.

[0016] Bevor verschiedene Ausführungsbeispiele im Detail erläutert werden, wird zu nächst ein allgemeines Beispiel einer robotergestützten Schleifvorrichtung beschrieben. Es versteht sich, dass die hier beschriebenen Konzepte auch auf andere Arten von Oberflä chenbearbeitung (z.B. Polieren, Fräsen, Bohren, etc.) übertragbar und nicht auf Schleifen beschränkt sind. Wie erwähnt können die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele als Li nearaktoren (Handhabungsvorrichtungen) in den verschiedensten Anwendungen eingesetzt werden und stellen allgemein eine kostengünstige Alternative zu Linearaktoren dar, die mittels Pneumatikzylindem angetrieben werden.

[0017] Gemäß Fig. 1 umfasst eine robotergestützte Schleifvorrichtung einen Manipulator 80, beispielsweise einen Industrieroboter und eine Schleifmaschine 50 mit rotierendem Schleifwerkzeug 51, wobei die Schleifmaschine 50 mit dem Endeffektor-Flansch des Ma nipulators 1 über einen Linearaktor 20 gekoppelt sein kann. Die Lage (Position und Orien tierung) des Endeffektor-Flanschs legt auch den TCP fest. Der TCP ist genau genommen kein Punkt, sondern ein Vektor und kann z.B. durch drei Raumkoordinaten (Position) und drei Winkel (Orientierung) beschrieben werden. In der Robotik werden zur Beschreibung der Lage des TCPs manchmal auch generalisierte Koordinaten (meist sechs Gelenkwinkel des Roboters) im Konfigurationsraum verwendet. Position und Orientierung des TCPs werden manchmal auch als „Pose“ bezeichnet. Die Position (inkl. Orientierung) des TCP als Funktion der Zeit definiert die Bewegung des Schleifwerkzeugs, die als Trajektorie be zeichnet wird. Als TCP wird oft der Mittelpunkt des Endeffektor-Flansches des Roboters definiert, was aber nicht notwendigerweise der Fall sein muss. Der TCP kann ein beliebi ger Punkt sein (und theoretisch auch außerhalb des Roboters liegen), dessen Position und Orientierung vom Roboter einstellbar ist. Der TCP kann auch den Ursprung des Werk zeugkoordinatensystems definieren.

[0018] Im Falle eines Industrieroboters mit sechs Freiheitsgraden kann der Manipulator 80 aus vier Segmenten 82, 83, 84 und 85 aufgebaut sein, die jeweils über Gelenke Gn, G12 und G13 verbunden sind. Das erste Segment 82 ist dabei meist starr mit einem Fundament 81 verbunden (was jedoch nicht zwangsläufig der Fall sein muss). Das Gelenk Gn verbin det die Segmente 82 und 83. Das Gelenk Gn kann 2-achsig sein und eine Drehung des Segments 83 um eine horizontale Drehachse (Elevationswinkel) und eine vertikale Dreh achse (Azimutwinkel) ermöglichen. Das Gelenk G12 verbindet die Segmente 83 und 84 und ermöglicht eine Schwenkbewegung des Segments 84 relativ zur Lage des Segments 83. Das Gelenk G13 verbindet die Segmente 84 und 85. Das Gelenk G13 kann 2-achsig sein und daher (ähnlich wie das Gelenk G11) eine Schwenkbewegung in zwei Richtungen er möglichen. Der Endeffektor-Flansch und damit auch der TCP haben eine feste Relativposi tion zum Segment 85, wobei dieses üblicherweise noch ein Drehgelenk (nicht dargestellt) umfasst, welches eine Drehbewegung des am Segment 85 angeordneten Endeffektor-Flan sches 86 um eine Längsachse A des Segments 85 ermöglicht (in Fig. 1 als strichpunktierte Line eingezeichnet, entspricht in dem dargestellten Beispiel auch der Drehachse des Schleifwerkzeugs). Jeder Achse eines Gelenks ist ein Aktor (z.B. ein Elektromotor) zuge ordnet, der eine Drehbewegung um die jeweilige Gelenksachse bewirken kann. Die Akto ren in den Gelenken werden von einer Robotersteuerung 70 gemäß einem Roboterpro gramm angesteuert. Verschiedene Industrieroboter/Manipulatoren und dazugehörige Steu erungen sind an sich bekannt und werden daher hier nicht weiter erläutert.

[0019] Der Manipulator 80 ist üblicherweise positionsgeregelt, d.h. die Robotersteuerung kann die Pose (Ort und Orientierung) des TCP festlegen und diesen entlang einer vordefi nierten Trajektorie bewegen. In Fig. 1 ist die Längsachse des Segments 85, auf der der TCP liegt, mit A bezeichnet. Wenn der Aktor 100 an einem Endanschlag anliegt, ist mit der Pose des Endeffektor-Flanschs (bzw. des TCPs) auch die Pose der Schleifmaschine 50 (und auch des Werkzeugs / der Schleifscheibe 51) definiert. Wie eingangs bereits erwähnt, dient der Linearaktor 100 dazu, während des Schleifprozesses die Kontaktkraft (Prozess kraft) zwischen Werkzeug und Werkstück 60 auf einen gewünschten Wert einzustellen. Eine direkte Kraftregelung durch den Manipulator 80 ist für Schleifanwendungen in der Regel zu ungenau, da durch die hohe Massenträgheit der Segmente 83 bis 85 des Manipu lators 80 eine schnelle Kompensation von Kraftspitzen (z.B. beim Aufsetzen des Schleif werkzeugs auf das Werkstück 60) mit herkömmlichen Manipulatoren praktisch nicht mög lich ist. Aus diesem Grund ist die Robotersteuerung 70 dazu ausgebildet, die Pose (Posi tion und Orientierung) des TCP des Manipulators 80 zu regeln, während die Kraftregelung üblicherweise ausschließlich mit Hilfe des Aktors 100 bewerkstelligt wird. [0020] Wie bereits erwähnt, kann während des Schleifprozesses die Kontaktkraft FK zwi schen Schleifwerkzeug (Schleifmaschine 50 mit Schleifscheibe 51) und Werkstück 60 mit Hilfe des Linear- Aktors 100 und einer Kraftregelung (die beispielsweise in der Steuerung 70 implementiert sein kann) so eingestellt werden, dass die Kontaktkraft FK (in Richtung der Längsachse A) zwischen Schleifscheibe 51 und Werkstück 60 einem vorgebbaren Soll wert entspricht. Die Kontaktkraft FK ist dabei eine Reaktion auf die Aktorkraft FA, mit der der Linearaktor 100 auf die Werkstückoberfläche drückt. Bei fehlendem Kontakt zwischen Werkstück 60 und Werkzeug 51 fährt der Aktor 100 aufgrund der fehlenden Kontaktkraft am Werkstück 60 gegen einen Endanschlag (nicht dargestellt da im Aktor 100 integriert) und drückt mit einer definierten Kraft gegen diesen. Die Kraftregelung kann dabei durch gehend aktiv sein. In dieser Situation (kein Kontakt) ist die Aktorauslenkung daher maxi mal und der Aktor 100 befindet sich in einer Endposition. Die definierte Kraft, mit der der Aktor 100 gegen den Endanschlag drückt kann sehr klein sein oder (theoretisch) sogar auf null geregelt werden, um ein möglichst sanftes Kontaktieren der Werkstückoberfläche zu ermöglichen.

[0021] Die Positionsregelung des Manipulators 80 kann vollkommen unabhängig von der Kraftregelung des Aktors 100 arbeiten (die ebenfalls in der Steuerung 70 implementiert sein kann). Der Aktor 100 ist nicht verantwortlich für die Positionierung der Schleifma schine 50, sondern lediglich für das Einstellen und Aufrechterhalten der erwünschten Kon taktkraft FK während des Schleifprozesses und zur Erkennung von Kontakt zwischen Werkzeug 51 und Werkstück 60. Ein Kontakt kann z.B. in einfacher Weise dadurch er kannt werden, dass der Aktor sich aus der Endposition herausbewegt hat (Aktorauslenkung ist kleiner als die maximale Auslenkung am Endanschlag).

[0022] Es versteht sich, dass die Wirkrichtung des Aktors 90 und die Drehachse der Schleifmaschine 50 nicht notwendigerweise mit der Längsachse A des Segments 85 des Manipulators 80 zusammenfallen müssen. Im Falle eines pneumatischen Aktors kann die Kraftregelung in an sich bekannter Weise mit Hilfe eines Regelventils, eines Reglers (z.B. implementiert in der Steuerung 70) und eines Druckluftspeichers oder Kompressors reali siert werden. Da für die Berücksichtigung der Schwerkraft (d.h. der Gewichtskraft der Schleifmaschine 50) die Neigung zur Lotrechten relevant ist, kann der Aktor 100 einen Neigungssensor enthalten oder diese Information kann basierend auf den Gelenkwinkeln des Manipulators 80 ermittelt werden. Die ermittelte Neigung wird von dem Kraftregler berücksichtigt. Die konkrete Implementierung der Kraftregelung ist an sich bekannt und für die weitere Erläuterung nicht wichtig und wird daher auch nicht detaillierter beschrie ben. Der Linearaktor 100 ermöglicht nicht nur eine gewisse mechanische Entkopplung zwischen Manipulator 80 und Werkstück 60, sondern ist auch in der Lage, Ungenauigkei ten in der Positionierung des TCP und/oder des Werkstücks auszugleichen.

[0023] Bei einer anderen Art der robotergestützten Oberflächenbearbeitung ist die Werk zeugmaschine über einen Linearaktor an einer ortsfesten Basis montiert, während ein her kömmlicher Industrieroboter ein Werkstück positionsgeregelt an die Werkzeugmaschine (z.B. eine Schleifmaschine) heranführt. Die Regelung der Prozesskraft wird wiederum durch den Linearaktor bewerkstelligt, während der Roboter auf herkömmliche Weise posi tionsgeregelt sein kann. Das heißt, der Linearaktor drückt (sich an der Basis abstützend) während des Oberflächenbearbeitungsprozesses die Werkzeugmaschine gegen das Werk stück, welches vom Roboter an einer definierten Position gehalten wird.

[0024] Der Linearaktor 100 wird im Folgenden auch als Handhabungsvorrichtung (hand- ling apparatus) bezeichnet. Fig. 2 illustriert ein Ausführungsbeispiel in einer Seitenansicht. Die Vorrichtung weist gemäß Fig. 2 zwei gegenüberliegende Montageplatten 101 und 102 (Montageflansche) auf, wobei die erste Montageplatte 101 dazu ausgebildet ist, die Vor richtung mechanisch mit einem Werkzeug (z.B. einem Greifer) oder einer Werkzeugma schine zu koppeln (z.B. einer Schleifmaschine, einer Poliermaschine, etc.), und wobei die zweite Montageplatte 102 dazu ausgebildet ist, die Vorrichtung mechanisch mit dem End effektor-Flansch 86 eines Manipulators (siehe Fig. 1) zu koppeln. Beispielsweise wird die zweite Montageplatte 102 mittels Schrauben an dem Endeffektor-Flansch 86 montiert. Gleichermaßen kann die Werkzeugmaschine mittels Schrauben an der ersten Montage platte 101 montiert werden. Alternative Montagemöglichkeiten (Klemmen, Bajonettver schluss, etc.) sind möglich.

[0025] Der zwischen den Montageplatten 101, 102 befindliche Innenraum der Handha bungsvorrichtung ist in dem dargestellten Beispiel mit einem Faltenbalg 105 abgedeckt. Dieser dient im Wesentlichen dazu, Staub und andere Verunreinigungen von den im Inne ren befindlichen Komponenten der Vorrichtung fernzuhalten. Es sind auch andere Kon struktionen der Abdeckung möglich.

[0026] Fig. 3 illustriert ein erstes Beispiel der hier beschriebenen Handhabungsvorrich tung anhand einer schematischen Skizze. Vorab sei betont, es handelt sich dabei nicht um eine herkömmliche Kombination aus Kolben und (Pneumatik-) Zylinder, sondern lediglich um eine in einer Stangenführung 112 {rod guidance) geführte Stange 110 ( rod ), die in ei nen Innenraum eines Gehäuses 130 eingeführt ist. Eine gewöhnliche Stangendichtung 113 {rod seal) dichtet den Innenraum des Gehäuses 130 entlang des Umfangs der Stange 110 ab. Das heißt, die Stangendichtung 113 und die Stangenführung 112 sind axial (entlang der Längsachse B der Stange) voneinander beabstandet. Die Stange 110 ist in der Stangenfüh rung 112 entlang ihrer Längsachse verschiebbar gelagert. In dem dargestellten Beispiel ist die Stangenführung 112 in einer im Gehäuse 130 angeordneten Buchse 131 angeordnet. Beispielsweise kann die Stangenführung 112 in die Buchse 131 eingepresst werden. An dere Techniken zur Befestigung der Stangenführung 112 in oder an dem Gehäuse 130 sind möglich. Die Stangenführung 112 kann eine Kugelumlaufführung sein oder eine solche enthalten. Die Stangenführung ist üblicherweise aus rostfreiem Stahl gefertigt. Verschie dene Stangenführungen sind an sich bekannt und kommerziell erhältlich und werden daher hier nicht weiter diskutiert.

[0027] Die Stangenführung 112 erlaubt eine Bewegung der Stange 110 nur in Längsrich tung (entlang der Längsachse B) und kann insbesondere Biegemomente aufnehmen, d.h. Drehmomente um eine Achse normal/quer zur Längsachse B. Stangenführungen werden auch als Wellenführungen, insbesondere auch als Linearlager bezeichnet. In einem Aus führungsbeispiel wird als Stangenführung ein Linearkugellager verwendet. Linearkugella ger werden auch als Kugelbuchsen bezeichnet und haben den Vorteil, dass sie eine ver gleichsweise geringe (praktisch keine) Haftreibung zwischen Lager und Stange verursa chen, wodurch ein Stick-Slip-Effekt weitgehend vermieden wird.

[0028] Bei einer Verschiebung der Stange 110 ändert sich das Volumen des Innenraums des Gehäuses 130. Der Innenraum des Gehäuses kann mit Druckluft versorgt werden (siehe Fig. 3, Einlass/ Auslass 115 für Druckluft), weshalb der Innenraum im Folgenden auch als Druckkammer 114 bezeichnet wird (Druck pi). Die außerhalb des Gehäuses 130 liegende Stirnseite der Stange 110 ist mit einer der Montageplatten verbunden (im darge stellten Beispiel mit der Montageplatte/dem Flansch 101). Das Gehäuse 130 ist an der an deren Montageplatte montiert (im dargestellten Beispiel an der Montageplatte/dem Flansch 102). Die mechanischen Verbindungen zwischen Stange 110 und Montageplatte 101 sowie zwischen Gehäuse 130 und Montageplatte 102 können z.B. mittels Schrauben erfolgen. Je doch sind auch andere Verbindungstechniken möglich (z.B. Kleben, Pressverbindungen, etc.). [0029] Bei einem (Luft-) Druck pi in der Druckkammer 114 ist die auf die Stange 110 (entlang deren Längsachse B) wirksame Kraft Fi gleich pr Ai, wobei Ai=di ² 7r/4. Der Druck pi ist in der Regel ein Überdruck, d.h. größer als der Atmosphärendruck außerhalb der Druckkammer. Der Parameter di bezeichnet dabei den Durchmesser der Stange 110 in der Druckkammer 114, insbesondere den Durchmesser der Stange 110 im Bereich der Stangendichtung 113. Die Druckkammer 114 hat in den hier diskutierten Beispielen die Form eines Zylinders mit dem Innendurchmesser di‘, wobei zwischen dem Umfang der Stange 110 und der Innenwand der Druckkammer 114 ein (Ring-) Spalt d vorhanden ist (d.h. di‘=di+2 6). Die von der Druckluft bewirkte Kraft Fi drückt die beiden Montageplat ten 101 und 102 auseinander gegen die Wirkung einer Rückstellkraft FR, die beispielsweise von einer Feder 150 erzeugt werden kann. Im dargestellten Beispiel wirkt die Feder 150 auch zwischen den beiden Montageplatten 101 und 102 und bewirkt eine von der Ver schiebung AL (siehe Fig. 2) der Stange 110 abhängige Rückstellkraft FR (FRÄL· AL, wobei k die Federkonstante bezeichnet). Der minimale, beispielsweise durch einen Endanschlag definierte Abstand zwischen den Montageplatten 101 und 102 beträgt Lo (AL=0, siehe Fig. 2). Der maximale Abstand zwischen den Montageplatten 101 und 102 kann ebenfalls durch einen Endanschlag festgelegt sein. Die Endanschläge sind in Fig. 3 nicht dargestellt. Es können anstatt der Feder 150 auch andere Rückstellelemente verwendet werden.

[0030] Anders als bei einer herkömmlichen Kolben/Zylinder-Kombination ist die pneu matisch wirksame Fläche gleich der Querschnittsfläche der Stange 110 im Bereich der Stangendichtung 113. In dem dargestellten Beispiel gibt es auch kein Äquivalent zu einer Kolbendichtung (die sich mit dem Kolben mitbewegen würde), sondern lediglich die in dem Gehäuse 130 montierte (und nicht mit der Stange bewegliche) Stangendichtung 113. Da in den hier beschriebenen Beispielen kein Kolben mit Kolbendichtung vorhanden ist, kann sich der im Inneren des Gehäuses 130 vorhandene Gasdruck pi in der gesamten Druckkammer 114 (also auch in den Ringspalt d hinein) bis hin zur Stangendichtung 113 ausbreiten. Im Gegensatz dazu würde ein Kolben den Innenraum des Gehäuses 130 in zwei Druckkammern teilen, was in den hier beschriebenen Beispielen nicht der Fall ist. Das Ge häuse 130 beinhaltet nur eine (einzige) Druckkammer 114. Gleichzeitig sorgt Stangenfüh rung 112 (Linearlager) für eine zuverlässige Aufnahme von Biegemomenten bei einer kompakten und kostengünstigen Bauweise. Bei herkömmlichen Aktuatoren, die normale Pneumatikzylinder verwenden, sind die Linearführungen, die nennenswerte Biegemomente aufnehmen können, separat neben dem Pneumatikzylinder (d.h. parallel dazu) angeordnet. [0031] Das Gehäuse 130 kann beispielsweise aus Kunststoff gefertigt werden, beispiels weise mit einem Spritzgussverfahren oder mittels Additiver Fertigung (3D-Druck). Das Material, aus dem das Gehäuse 130 gefertigt ist, ist elastischer (weniger steif) als das Ma terial, aus dem die Stangenführung besteht (üblicherweise Stahl). In einem anderen Bei spiel ist das Gehäuse 130 mittels Aluminiumdruckgießen gefertigt. Eine spanende Bearbei tung (z.B. mittels Fräsen) ist lediglich im Bereich der Buchse 131 nötig und ggf. an der Oberfläche, die mit der Montageplatte 102 verbunden ist. Insgesamt ist der Linearaktor ge mäß Fig. 3 im Wesentlichen einfacher und kostengünstiger herzustellen, als ein Linearak tor, in dem als Stellelement ein herkömmlicher Pneumatikzylinder verwendet wird.

[0032] In dem in Fig. 4 dargestellten Beispiel ist eine weitere Anordnung mit einer Stange 120, einem Gehäuse 140, einer Stangenführung 122 und einer Stangendichtung 123 vorgesehen. Der linke Teil in Fig. 4 ist gleich aufgebaut wie in dem Beispiel aus Fig. 3 und es wird auf die obige Beschreibung verwiesen. Der rechte Teil der Vorrichtung in Fig. 4 ist analog zu dem linken Teil konstruiert, jedoch umgekehrt ( upside-down ) mit den Montage platten 101, 102 verbunden. Die beiden Stellelemente mit den Längsachsen B und B‘ (je weils umfassend ein Gehäuse mit Stangenführung und Stangendichtung und eine Stange) sind sozusagen antiparallel zueinander angeordnet.

[0033] Die dargestellte Anordnung mit zwei Stangen ist stabiler im Hinblick auf die Auf nahme von Biegemomenten und kann höhere Kräfte erzeugen. Die beiden Stellelemente können auch parallel (anstatt antiparallel) angeordnet sein. In diesem Fall wäre der rechte Teil der Vorrichtung in Fig. 4 gleich wie der linke Teil konstruiert und auf gleiche Weise mit den Montageplatten 101, 102 verbunden. In manchen Ausführungsbeispielen sind mehr als zwei Kombinationen aus Gehäuse mit Druckkammer, Stange und Stangenführung vorgesehen, um die maximale Aktorkraft zu erhöhen (bei gleichem Druck in den Druck kammern addieren sich pneumatisch wirksamen Stirnflächen der Stangen) und um die ma ximal möglichen Biegemomente zu erhöhen.

[0034] Das Gehäuse 140 des zweiten Stellelements ist mit der Montageplatte 101 verbun den (z.B. mittels Schrauben) und die außerhalb des Gehäuses 140 liegende Stirnseite der Stange 120 ist mit der gegenüberliegenden Montageplatte 102 verbunden (z.B. ebenfalls mittels einer Schraube). Das Gehäuse 140 weist eine Buchse 141 auf, in der die Stangen führung 122 angeordnet ist. Die Stangendichtung 123 ist (mit axialem Abstand) benachbart zu der Stangenführung 122 im Gehäuse 140 angeordnet (analog zum Gehäuse 130 und der Stangendichtung 113). Das Innere des Gehäuses 140 bildet eine Druckkammer 124, deren Volumen von der Position der Stange 120 abhängt. Über den Einlass/ Auslass 125 kann Druckluft (Druck p2) in die Druckkammer 124 gelangen. Die auf die Stange 120 wirkende Kraft F2 ist proportional zum Druck p2 und zur pneumatisch wirksamen Fläche Ä2=d2 ² 7r/4 (d.h. F2=P2 Ä2).

[0035] In dem Beispiel aus Fig. 4 kann die Kombination aus der zweiten Stange 120 und der im zweiten Gehäuse 140 angeordneten zweiten Druckkammer 124 als Rückstellele ment fungieren, wenn der Gasdruck p2 in der zweiten Druckkammer 124 ein Unterdrück ist. Unter Unterdrück versteht man einen Druck p2, der geringer ist als der Atmosphären druck außerhalb der Vorrichtung. Eine mit Unterdrück beaufschlagte Druckkammer führt dazu, dass sich die jeweilige Kombination Stange/Gehäuse/Druckkammer sich praktisch wie eine Feder verhält, die eine Rückstellkraft erzeugt. Die Kraftregelung erfolgt in diesem Fall über die Einstellung des (Über-) Drucks in der jeweils anderen Druckkammer, da sich Überdruck in der Praxis besser regeln lässt als Unterdrück.

[0036] Wie schon in Bezug auf Fig. 3 erwähnt sind auch in diesem Beispiel die pneuma tisch wirksamen Flächen Ai und A2 gleich den Querschnittsflächen der Stangen 110 und 120 im Bereich der Stangendichtungen 113 und 123. Die Flächen Ai und A2 können gleich sein. Kolbendichtungen werden - anders als bei konventionellen Lösungen - nicht benö tigt. Die Stangendichtungen 113 und 123 sind in dem jeweiligen Gehäuse 130 bzw. 140 angeordnet und sind relativ zu dem jeweiligen Gehäuse 130 bzw. 140 nicht beweglich.

Eine Feder ist in dem Beispiel nicht notwendig, weil die Rückstellkraft F2 pneumatisch er zeugt wird. Nichtsdestotrotz kann zusätzlich eine Feder (ähnlich wie in Fig. 3) vorgesehen sein.

[0037] Wie erwähnt können die Gehäuse 130 und 140 aus einem Material bestehen, wel ches elastischer (weniger steif) ist, als das Material, aus dem die Stangenführungen 112, 122 gefertigt sind (üblicherweise Stahl). Beispielsweise sind die Gehäuse 130 und 140 aus Kunststoff (Spritzguss) oder Aluminium (Druckguss) gefertigt. Wie erwähnt sind auch ad ditive Fertigungsverfahren (3D-Druck) möglich. Das relativ elastischere Gehäuse erlaubt es, Abweichungen von einer perfekten Parallelität der Längsachsen B und B‘ der Stangen 110 bzw. 120 auszugleichen (in gewissen Grenzen) und ein Feststecken des Linearaktors zu verhindern. Abweichungen von einer parallelen Ausrichtung der Längsachsen B und B‘ können einerseits aufgrund von fertigungsbedingten Toleranzen entstehen und andererseits aufgrund von Biegemomenten im Betrieb auftreten.

[0038] Fig. 5 illustriert ein weiteres Ausführungsbeispiel, welches dem Beispiel aus Fig.

4 sehr ähnlich ist. Bezüglich der Funktion entspricht das Ausführungsbeispiel aus Fig. 5 im Wesentlichen dem Beispiel aus Fig. 4, wobei zwei antiparallel angeordnete Stellelemente zwischen den Montageplatten 101 und 102 angeordnet sind. Zusätzlich ist eine Feder 150 zwischen den beiden Montageplatten 101, 102 als Rückstellelement angeordnet, das den Linearaktor/die Handhabungsvorrichtung in eine definierte Endposition bringt, auch wenn die Druckkammern 114 und 124 der beiden Stellelemente nicht mit Druck beaufschlagt sind.

[0039] Die Gehäuse 130 und 140 weisen wie im vorherigen Beispiel die Buchsen 131 bzw.141 für die Stangenführungen 112 und 122 auf. Koaxial zu den Stangenführungen 112, 122 sind die Stangendichtungen 113 und 123 im jeweiligen Gehäuse angeordnet. Die beiden Stangen 110 und 120 sind in den Stangenführungen 112 und 122 antiparallel ge führt. Abhängig von der Stangenposition (d.h. abhängig von der Auslenkung AL des Line araktors) variiert das Volumen der Druckkammern 114 und 124 im Gehäuse. In der in Fig.

5 dargestellten Situation ist die Auslenkung AL in einem mittleren Bereich. Das maximale Volumen der Druckkammern 114, 124 wird durch einen Endanschlag (nicht dargestellt) definiert. Die Stange 110 ist mittels der Schraube 111 mit der Montageplatte 101 starr ver bunden. Gleichermaßen ist die Stange 120 mittels der Schraube 121 mit der Montageplatte 102 verbunden. Die zugehörigen Gehäuse 130 und 140 sind mit der jeweils anderen Mon tageplatte fest verbunden (z.B. verschraubt).

[0040] Im eingefahrenen Zustand (d.h. bei minimaler Auslenkung AL=0) dürfen die im Inneren der Druckkammern 114, 124 befindlichen Stirnseiten der Stangen 110 und 120 nicht vollständig an der Wand der Druckkammer anliegen, da sonst keine Flächen Ai und A2 mehr zur Verfügung stünden, an denen der Druck wirken und eine entsprechende Kraft piAi bzw. P2A2 entfalten kann. Die in Fig. 5 dargestellte, in die Stirnseite der Stange 120 eingeschraubte Schraube 129 bildet einen Endanschlag für den eingefahrenen Zustand. Die Schraube 129 steht von der Stirnseite der Stange 110 ab und bildet damit auch einen Ab standhalter, sodass zumindest ein Teil der Querschnittsfläche A2 pneumatisch wirksam bleibt und sich im auch vollständig eingefahrenen Zustand aufgrund des Drucks p2 in der Druckkammer 124 eine Kraft auf die Stange entfalten kann. Aufgrund der mechanischen Kopplung der beiden Stangen 110, 120 und der zugehörigen Gehäuse 130, 140 mit den Montageplatten 101, 102 ist an der Stange 110 ein Abstandshalter nicht unbedingt notwen dig.

[0041] An der anderen Stange (linke Stange 110) kann mit einer Schraube 119 ein Per manentmagnet 118 befestigt sein, der Teil eines magnetischen Wegsensors {displacement sensor , in Fig. 5 und 6 nicht dargestellt) ist. Der Wegsensor ist dazu ausgebildet die Aus lenkung AL des Linearaktors zu messen. Verschiedene Typen geeigneter magnetischer und anderer Wegsensoren sind an sich bekannt und werden daher nicht weiter diskutiert. Rele vant für das dargestellte Beispiel ist der am der Stange 110 montierte und mit dieser mitbe wegte Magnet 118, der eine einfache Verschiebungsmessung ermöglicht.

[0042] Fig. 6 zeigt die Vorrichtung aus Fig. 5 in einem vollständig eingefahrenen Zu stand (AL=0). Man kann sehen, dass der Schraubenkopf der Schraube 129 einen Endan schlag bildet und an (einer der Stirnseite der Stange 120 gegenüber liegenden) Wand der Druckkammer 124 anliegt. Nur der Schraubenkopf der Schraube 129 liegt an der Wand der Druckkammer 124 an, nicht jedoch die Stirnseite der Stange 120. Diese ist in der darge stellten Position (AL=0) einen Abstand x von der gegenüber liegenden Wand der Druck kammer 124 beabstandet. Es versteht sich, dass die Schraube 129 anstatt in der Stirnseite der Stange 120 auch in die gegenüber liegende Wandfläche der Druckkammer 124 einge schraubt sein kann. Anstatt der Schraube 129 kann ein Abstandshalter auch direkt an die Gehäusewand oder die Stange angeformt sein. Abstandshalter und Gehäuse 140 können ein Teil sein (z.B. ein Gussteil).