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Title:
PRECISE INCLINING PLATFORM DEVICE FOR PERFORMING STATIC CALIBRATION OF SEISMOMETER
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2013/044632
Kind Code:
A1
Abstract:
The precise inclining platform device for performing static calibration of a seismometer includes a base part (11), a table board (12), a rotation mechanism (1), a drive mechanism (6), a detecting mechanism and a supporting frame (5). The rotation mechanism (1) includes a spindle (7), a drive arm (13) and a rotation platform (16), and a weight block (15). The spindle (7) is fixed on the left and right supporting frames (5). The drive mechanism (6) and the weight block (15) are located on both sides of the drive arm (13). The drive mechanism (6) includes a linear motor, a sliding platform (19), a linear sliding guide (26), a sliding block (30) and a grating ruler (27). A reading head (29) of the grating ruler (27) is fixedly connected to the base part (11). The reading head (29) indicates a zero signal of the grating ruler (27) when the table board (12) is on the level position. The sliding platform (19) tightly butts against the drive arm (13) the sliding platform (19) pushes the rotation mechanism (1) to rotate in the forward direction when the linear motor moves in the forward direction. Due to the actions of gravity of the weight block (15), the rotation mechanism (1) is reversely rotation, when the linear motor moves in the reverse direction. The detecting mechanism includes a laser interferometer and a reflecting mirror (20) for reflecting the laser back to the laser interferometer to obtain the rotation angle of the table board (12). The reflecting mirror (20) is fixed on the table board (12). The device has the advantages of high location accuracy, high transmission efficiency, and wide range of application.

Inventors:
HE WEN (CN)
XU GUANHUA (CN)
JIA SHUSHI (CN)
Application Number:
PCT/CN2012/075027
Publication Date:
April 04, 2013
Filing Date:
May 03, 2012
Export Citation:
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Assignee:
UNIV ZHEJIANG (CN)
HE WEN (CN)
XU GUANHUA (CN)
JIA SHUSHI (CN)
International Classes:
G01V13/00; G01P21/00
Foreign References:
CN202275167U2012-06-13
CN201192679Y2009-02-11
CN101806617A2010-08-18
CN201666816U2010-12-08
CN101968380A2011-02-09
CN101936797A2011-01-05
US5144598A1992-09-01
JPH102914A1998-01-06
JP2000136978A2000-05-16
Attorney, Agent or Firm:
ZHEJIANG HANGZHOU JINTONG PATENT AGENCY CO. LTD (CN)
浙江杭州金通专利事务所有限公司 (CN)
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Claims:
权利要求书

1、 用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征在于: 包括底座, 所 述的底座上设有: 台面, 与所述的台面连接、 带动台面转动的转动机构, 驱动 所述的台面和转动机构转动的驱动机构, 检测台面的转动角度的检测机构, 和 托持所述的台面和转动机构的左支撑架和右支撑架;

所述的转动机构包括允许所述的台面绕其转动的主轴,与所述的台面固接的 驱动臂和转台, 和固定于所述的转台的一侧的配重块; 所述的主轴固定于所述 的左、 右支撑架上;

所述的驱动机构和配重块分别位于所述的驱动臂两侧;所述的驱动机构包括 直线电机, 与所述的直线电机的动子连接的滑台, 使所述的滑台沿直线滑动的 直线导轨及滑块, 和安装于所述的滑台上、 检测所述的直线电机位移的光栅尺, 所述的光栅尺的读数头与所述的底座固定连接, 所述的台面水平时, 所述的读 数头给出光栅尺的零点信号;

所述的滑台抵紧所述的驱动臂,所述的直线电机正方向运动时所述的滑台推 动所述的转动机构正转, 所述的直线电机反方向带动所述的滑台运动时由于所 述的配重块的重力作用使所述的转动机构反转;

所述的检测机构包括激光干涉仪和将激光反射回所述的激光干涉仪以获取 台面转动角度的反射镜, 所述的反射镜安装于所述的台面上。

2、 如权利要求 1所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的台面与所述的转台固定连接, 所述的转台通过螺栓与所述的驱动 臂固接, 所述的主轴穿设于所述的转台, 所述的主轴的两端分别通过支座固定 于所述的左、 右支撑架上, 所述的主轴与所述的转台之间设有滚动轴承。

3、 如权利要求 2所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的支座包括固定于所述的左、 右支撑架上的下半部和将所述的主轴 向所述的下半部压紧的上半部。

4、 如权利要求 3所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的转台的两侧分别设有限制所述的转台向前转动极限的前限位杆组, 和限制所述的转台向后转动极限的后限位杆组; 限位杆组均由对称地设置于所 述的左、 右支撑架上的限位杆组成, 所述的限位杆旁边设置接近开关。

5、 如权利要求 4所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的驱动机构还包括电机安装底板、 电机安装支座和辅助支座, 所述 的电机安装底板通过螺栓固定于所述的底座上, 所述的直线导轨固定于所述的 电机安装底板上, 所述的滑块可滑动地连接于所述的直线导轨上, 所述的滑台 固定于所述的滑块上;

所述的直线电机的定子的一端通过所述的电机安装支座与所述的电机安装 底板固接, 另一端通过所述的辅助支座与所述的电机安装底板固接;

所述的读数头通过读数头支架固定于所述的电机安装底板上。

6、 如权利要求 1-5之一所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征在于: 所述的滑台和驱动臂之间设有减摩承力机构, 所述的减摩承力机 构包括固定于所述的滑台上的钢球和固定于所述的驱动臂上的承受所述的滑台 的推力、 并减小与所述的钢球之间的摩擦的减摩承力板, 所述的减摩承力板上 与所述的钢球的接触面垂直于所述的台面的上表面, 所述的滑台上固定有球座, 所述的钢球通过压球圆螺母安装于所述的球座内, 所述的钢球抵紧所述的减摩 承力板。

7、 如权利要求 6所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的球座包括通过螺栓与所述的滑台固接的环形座, 和容纳所述的钢 球的圆柱形凸台, 所述的凸台内设有圆台状凹陷, 所述的钢球置于所述的凹陷 内、 且与所述的凹陷线接触, 所述的凸台的外表面设有与所述的压球圆螺母连 接的外螺紋, 所述的压球圆螺母的顶端设有一圈向内延伸的挡环, 所述的挡环 阻止所述的钢球脱离所述的球座。

8、 如权利要求 7所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的倾斜平台装置还设有能够平衡所述的配重块对所述的滑台造成的 作用力的力平衡弹簧机构, 所述的力平衡弹簧机构包括固定于所述的滑台上的 弹簧吊钉, 固定于所述的底座上的弹簧支架, 穿设于所述的弹簧支架上的弹簧 拉钉, 与所述的弹簧拉钉螺接的螺母, 和设置于所述的弹簧吊钉和弹簧拉钉之 间的弹簧, 所述的弹簧对所述的滑台施加朝向所述的配重块的水平方向的作用 力。

9、 如权利要求 8所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 其特征 在于: 所述的左支撑架和右支撑架对称地设置于所述的台面的两侧, 所述的左、 右支撑架上架设有放置所述的激光干涉仪的安装箱, 所述的激光干涉仪位于所 述的台面下方, 所述的安装箱的上盖开设有允许激光穿过的中心圆孔, 所述的 反射镜对准所述的中心圆孔。

10、如权利要求 8所述的用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置,其特征 在于: 所述的激光干涉仪安装于干涉仪支架上, 所述的干涉仪支架放置于地面 上, 所述的激光干涉仪位于所述的台面一侧, 所述的反射镜安装于所述的台面 上。

Description:
说 明 书

用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置

技术领域

本发明涉及一种用于地震计静态标定的精密倾 斜平台装置。

背景技术

强震台网中使用的加速度计, 通频带从零开始, 在其通频带内各个频率点, 灵敏度可认为是相同的, 线性可认为是一致的。 因此, 在零频点(或称 "静态") 对加速度计的灵敏度和线性进行准确的测量和 标定, 即可给出加速度计在其通 频带内 (尤其是低频段) 的主要特征参数。 目前国内比较典型的精密倾斜平台为用于光学 标定的电控倾斜台,它采用步 进电机驱动, 蜗轮蜗杆传动, 由于蜗轮蜗杆传动间隙的存在, 使定位精度受限; 另外由于蜗轮蜗杆传动摩擦损耗较大, 所以传动效率较低; 选装编码器后可实 现半闭环控制, 但并没有实现全闭环控制, 控制精度也受到影响; 此外平台未 配高精度倾斜角度测量装置, 倾角通过电机进给量换算而来, 从而产生较大的 测量误差。

发明内容

为克服现有倾斜台定位精度较低、传动效率较 低、应用范围有限的缺点, 本 发明提供了一种定位精度高、 传动效率高、 应用范围广的用于地震计静态标定 的精密倾斜平台装置。

用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 包括底座, 所述的底座上设有: 台面, 与所述的台面连接、 带动台面转动的转动机构, 驱动所述的台面和转动 机构转动的驱动机构, 检测台面的转动角度的检测机构, 和托持所述的台面和 转动机构的左支撑架和右支撑架; 所述的转动机构包括允许所述的台面绕其转动 的主轴,与所述的台面固接的 驱动臂和转台, 和固定于所述的转台的一侧的配重块; 所述的主轴固定于所述 的左、 右支撑架上;

所述的驱动机构和配重块分别位于所述的驱动 臂两侧;所述的驱动机构包括 直线电机, 与所述的直线电机的动子连接的滑台, 使所述的滑台沿直线滑动的 直线导轨及滑块, 和安装于所述的滑台上、 检测所述的直线电机位移的光栅尺, 所述的光栅尺的读数头与所述的底座固定连接 , 所述的台面水平时, 所述的读 数头给出光栅尺的零点信号;

所述的滑台抵紧所述的驱动臂,所述的直线电 机正方向运动时所述的滑台推 动所述的转动机构正转, 所述的直线电机反方向运动时拉动所述的滑台 运动, 由于所述的配重块的重力作用使所述的转动机 构反转;

所述的检测机构包括激光干涉仪和将激光反射 回所述的激光干涉仪以获取 台面转动角度的反射镜, 所述的反射镜安装于所述的台面上。

进一步,所述的台面与所述的转台固定连接, 所述的转台通过螺栓与所述的 驱动臂固接, 所述的主轴穿设于所述的转台, 所述的主轴的两端分别通过支座 固定于所述的左、 右支撑架上, 所述的主轴与所述的转台之间设有滚动轴承。

进一步,所述的支座包括固定于所述的左、右 支撑架上的下半部和将所述的 主轴向所述的下半部压紧的上半部。

进一步,所述的滑台和驱动臂之间设有减摩承 力机构,所述的减摩承力机构 包括固定于所述的滑台上的钢球和固定于所述 的驱动臂上的承受所述的滑台的 推力、 并减小与所述的钢球之间的摩擦的减摩承力板 , 所述的减摩承力板上与 所述的钢球的接触面垂直于所述的台面的上表 面, 所述的滑台上固定有球座, 所述的钢球通过压球圆螺母安装于所述的球座 内, 所述的钢球抵紧所述的减摩 承力板。

进一步,所述的球座包括通过螺栓与所述的滑 台固接的环形座,和容纳所述 的钢球的圆柱形凸台, 所述的凸台内设有圆台状凹陷, 所述的钢球置于所述的 凹陷内、 且与所述的凹陷线接触, 所述的凸台的外表面设有与所述的压球圆螺 母连接的外螺紋, 所述的压球圆螺母的顶端设有一圈向内延伸的 挡环, 所述的 挡环阻止所述的钢球脱离所述的球座。

进一步,所述的倾斜平台装置还设有能够平衡 所述的配重块对所述的滑台造 成的作用力的力平衡弹簧机构, 所述的力平衡弹簧机构包括固定于所述的滑台 上的弹簧吊钉, 固定于所述的底座上的弹簧支架, 穿设于所述的弹簧支架上的 弹簧拉钉, 与所述的弹簧拉钉螺接的螺母, 和设置于所述的弹簧吊钉和弹簧拉 钉之间的弹簧, 所述的弹簧对所述的滑台施加朝向所述的配重 块的水平方向的 作用力。

进一步,所述的左支撑架和右支撑架对称地设 置于所述的台面的两侧,所述 的左、 右支撑架上架设有放置所述的激光干涉仪的安 装箱, 所述的激光干涉仪 位于所述的台面下方, 所述的安装箱的上盖开设有允许激光穿过的中 心圆孔, 所述的反射镜对准所述的中心圆孔。

或者,所述的激光干涉仪安装于干涉仪支架上 ,所述的干涉仪支架放置于地 面上, 所述的激光干涉仪位于所述的台面一侧, 所述的反射镜安装于所述的台 面上。

进一步,所述的转台的两侧分别设有限制所述 的转台向前转动极限的前限位 杆组, 和限制所述的转台向后转动极限的后限位杆组 ; 限位杆组均由对称地设 置于所述的左、 右支撑架上的限位杆组成, 所述的限位杆旁边设置接近开关。

进一步, 所述的驱动机构还包括电机安装底板、 电机安装支座和辅助支座, 所述的电机安装底板通过螺栓固定于所述的底 座上, 所述的直线导轨固定于所 述的电机安装底板上, 所述的滑块可滑动地连接于所述的直线导轨上 , 所述的 滑台固定于所述的滑块上;

所述的直线电机的定子的一端通过所述的电机 安装支座与所述的电机安装 底板固接, 另一端通过所述的辅助支座与所述的电机安装 底板固接;

所述的读数头通过读数头支架固定于所述的电 机安装底板上。

进一步,所述的台面的下表面装有测量台面温 度的第一温度传感器,所述的 安装箱上方设有测量空气温度的第二温度传感 器和测量空气压力的气压传感 器。

本发明的技术构思是: 转台与驱动臂刚性连接, 转台上表面安装台面, 驱 动臂与台面固接、 且驱动臂形成垂直于台面上表面的力臂, 直线电机水平安装, 由直线电机带动驱动臂、 转台、 台面绕固定的主轴转动, 将直线电机的位移转 化为台面的角位移, 从而实现台面的倾斜角度定位。

为减小传动间隙, 在转台一端安装了配重块, 通过力平衡弹簧机构可减小 因配重块引起的直线电机负载加重现象。 由于配重块安装在转台的一侧, 其重 力对所述转台的中心有力矩的作用, 滑台的钢球与驱动臂上的减摩承力板紧密 接触。 直线电机推动滑台向前水平运动时, 钢球推动转动机构和台面绕主轴正 方向转动; 直线电机拉动滑台向后水平运动时, 在配重块的重力作用下, 转动 机构和台面绕主轴反方向转动。

计算机可根据设定的台面倾斜角度 计算出直线电机需进给的位移 / (相对 于零位), 计算的公式如下:

/ = R - tan ^- r - (― 1) (― 5。≤ ≤5。)

其中 R为台面水平时主轴中心线到钢球中心的垂直 离, r为钢球的半径。 计算机通过计算机总线将该位移以命令形式发 送至直线电机控制器, 控制 器与直线电机、 光栅尺构成闭环控制系统。 控制器驱动直线电机运动, 光栅尺 将直线电机的位移反馈至控制器, 控制器通过 PID算法进行定位控制。

系统采用激光干涉仪进行倾斜角度的精密测量 , 所测转动角度通过计算机 总线直接反馈至计算机, 计算机可根据激光测量的结果进行定位控制的 调整, 这样加上直线电机控制器的闭环控制系统, 就构成了一个精密的全闭环控制系 统。

由于温度、 压力会影响激光测量的精度, 采用温度传感器及气压传感器分 别测量空气和材料温度、 空气压力, 并通过采集卡将测量结果反馈给计算机, 计算机根据激光测量结果、 空气温度、 空气压力、 材料温度等进行补偿运算, 从而实现倾斜角度的精确测量。

本发明使用直线电机驱动, 受力均匀, 行走平行度好, 利用配重块和弹簧 力平衡机构既减小了机械传动的间隙, 又减轻了电机的负载, 具有倾斜角度定 位精度高、 传动效率高、 运行可靠等优点; 使用激光干涉仪测量倾斜角度的变 化, 测量精度高; 装置可通过计算机实现倾斜角度定位的自动控 制。 本发明可 用于地震计的静态标定。

附图说明

图 1是实施实例 1的总体结构示意图。

图 2是实施实例 2的总体结构示意图。

图 3是未画出主轴的转动机构与台面结合的示意 。

图 4是驱动机构结构示意图。

图 5是力平衡弹簧机构结构示意图。

图 6是球座的示意图。 图 7是压球圆螺母的示意图。

具体实施方式

实施例一

参照图 1、 3、 4、 6、 7

用于地震计静态标定的精密倾斜平台装置, 包括底座 11, 所述的底座 11上 设有: 台面 12, 与所述的台面 12连接、 带动台面 12转动的转动机构 1, 驱动 所述的台面 12和转动机构 1转动的驱动机构 6, 检测台面的转动角度的检测机 构, 和托持所述的台面 12和转动机构 1的左支撑架 5和右支撑架;

所述的转动机构 1包括允许所述的台面 12绕其转动的主轴 7, 与所述的台 面 12固接的驱动臂 13和转台 16, 和固定于所述的转台 16的一侧的配重块 15; 所述的主轴 7固定于所述的左支撑架 5和右支撑架上;

所述的驱动机构 6和配重块 15分别位于所述的驱动臂 13两侧;所述的驱动 机构 6包括直线电机, 与所述的直线电机的动子 18连接的滑台 19, 使所述的滑 台 19沿直线滑动的直线导轨 26及滑块 30, 和安装于所述的滑台 19上、检测所 述的直线电机的位移的光栅尺 27, 所述的光栅尺 27的读数头 29与所述的底座 11固定连接; 所述的台面 12水平时, 所述的读数头 29给出光栅尺 27的零点信 号;

所述的滑台 19抵紧所述的驱动臂 13,所述的直线电机正方向运动时所述的 滑台推动所述的转动机构正转, 所述的直线电机反方向运动时拉动所述的滑台 运动, 由于所述的配重块的重力作用使所述的转动机 构反转;

所述的检测机构包括激光干涉仪和将激光反射 回所述的激光干涉仪以获取 台面 12转动角度的反射镜 2, 所述的反射镜 2安装于所述的台面 12上。

所述的台面 12与所述的转台 16固定连接, 所述的转台 16通过螺栓与所述 的驱动臂 13固接, 所述的主轴 7穿设于所述的转台 16, 所述的主轴 7的两端分 别通过支座 8固定于所述的左支撑架 5和右支撑架上, 所述的主轴 7与所述的 转台 16之间设有滚动轴承。

所述的支座 8包括固定于所述的左支撑架 5和右支撑架上的下半部和将所述 的主轴 7向所述的下半部压紧的上半部, 所述的支座 8利用静摩擦将所述的主 轴 7锁死。

所述的滑台 19和驱动臂 13之间设有减摩承力机构,所述的减摩承力机 包 括固定于所述的滑台 19上的钢球 23和固定于所述的驱动臂 13上的承受所述的 滑台 19的推力、 并减小与所述的钢球 23之间的摩擦的减摩承力板 14, 所述的 减摩承力板 14上与所述的钢球 23的接触面垂直于所述的台面 12的上表面, 所 述的滑台 19上固定有球座 21,所述的钢球 23通过压球圆螺母 22安装于所述的 球座 21内, 所述的钢球 23抵紧所述的减摩承力板 14。

所述的球座 21包括通过螺栓与所述的滑台固接的环形座 211, 和容纳所述 的钢球 23的圆柱形凸台 212, 所述的凸台 212内设有圆台状凹陷 213, 所述的 钢球 23置于所述的凹陷 213内、 且与所述的凹陷 213线接触, 所述的凸台 212 的外表面设有与所述的压球圆螺母 22连接的外螺紋, 所述的压球圆螺母 22的 顶端设有一圈向内延伸的挡环 221, 所述的挡环 221阻止所述的钢球 23脱离所 述的球座 21。

所述的左支撑架 5和右支撑架对称地设置于所述的台面 12的两侧, 所述的 左支撑架 5和右支撑架上架设有放置所述的激光干涉仪 安装箱 4,所述的激光 干涉仪位于所述的台面 12下方, 所述的安装箱 4的上盖开设有允许激光穿过的 中心圆孔 41, 所述的反射镜 2对准所述的中心圆孔 41。

所述的转台 16的两侧分别设有限制所述的转台 16向前转动极限的前限位杆 组, 和限制所述的转台 16向后转动极限的后限位杆组; 限位杆组均由对称地设 置于所述的左支撑架 5和右支撑架上的限位杆 3组成, 所述的限位杆 3旁边设 置接近开关。

所述的驱动机构 6还包括电机安装底板 25、电机安装支座 24和辅助支座 20, 所述的电机安装底板 25通过螺栓固定于所述的底座 11上, 所述的直线导轨 26 固定于所述的电机安装底板 25上, 所述的滑块 30可滑动地连接于所述的导轨 26上, 所述的滑台 19固定于所述的滑块 30上;

所述的直线电机的定子 17的一端通过所述的电机安装支座 24与所述的电机 安装底板 25固接, 另一端通过所述的辅助支座 20与所述的电机安装底板 25固 接;

所述的读数头 29通过读数头支架 28固定于所述的电机安装底板 25上。 所述的台面 12为花岗岩台面或者大理石台面或者不锈钢台 , 所述的台面 12的下表面装有测量台面温度的第一温度传感 , 所述的安装箱 4上方设有测 量空气温度的第二温度传感器和测量空气压力 的气压传感器。

本实施例的技术构思是: 转台与驱动臂刚性连接, 转台上表面安装台面, 驱动臂与台面固接、 且驱动臂形成垂直于台面上表面的力臂, 直线电机水平安 装, 由直线电机带动驱动臂、 转台、 台面绕固定的主轴转动, 将直线电机的位 移转化为台面的角位移, 从而实现台面的倾斜角度定位。

由于配重块安装在转台的一侧, 其重力对所述转台的中心有力矩的作用, 滑台的钢球与驱动臂上的减摩承力板紧密接触 。 直线电机推动滑台向前水平运 动时, 钢球推动转动机构和台面绕主轴正方向转动; 直线电机拉动滑台向后水 平运动时, 在配重块的重力作用下, 转动机构和台面绕主轴反方向转动。

计算机可根据设定的台面倾斜角度 计算出直线电机需进给的位移 / (相对 于零位), 计算的公式如下:

/ = R - tan ^- r - (― ~ - 1) (― 5。≤ ≤5。)

其中 R为台面水平时主轴中心线到钢球中心的垂直 离, r为钢球的半径。

计算机通过计算机总线将该位移以命令形式发 送至直线电机控制器, 控制 器与直线电机、 光栅尺构成闭环控制系统。 控制器驱动直线电机运动, 光栅尺 将直线电机的直线位移反馈至控制器, 控制器通过 PID算法进行定位控制。

系统采用激光干涉仪进行倾斜角度的精密测量 , 所测转动角度通过计算机 总线直接反馈至计算机, 计算机可根据激光测量的结果进行定位控制的 调整, 这样加上直线电机控制器的闭环控制系统, 就构成了一个精密的全闭环控制系 统。

由于温度、 压力会影响激光测量的精度, 采用温度传感器及气压传感器分 别测量空气和材料温度、 空气压力, 并通过采集卡将测量结果反馈给计算机, 计算机根据激光测量结果、 空气温度、 空气压力、 材料温度等进行补偿运算, 从而实现倾斜角度的精确测量。

本发明使用直线电机驱动, 受力均匀, 行走平行度好, 利用配重块和弹簧 力平衡机构既减小了机械传动的间隙, 又减轻了电机的负载, 具有倾斜角度定 位精度高、 传动效率高、 运行可靠等优点; 使用激光干涉仪测量倾斜角度的变 化, 测量精度高; 装置可通过计算机实现倾斜角度定位的自动控 制。 本发明可 用于地震计的静态标定。

实施例二

参照图 2、 5

本实施例与实施例一的区别在于:所述的倾斜 台装置还设有能够平衡所述 的配重块 15对所述的滑台 19造成的作用力的力平衡弹簧机构, 所述的力平衡 弹簧机构包括固定于所述的滑台 19上的弹簧吊钉 33, 固定于所述的底座 11上 的弹簧支架 34, 穿设于所述的弹簧支架 34上的弹簧拉钉 31, 与所述的弹簧拉 钉 31螺接的螺母 35, 和设置于所述的弹簧吊钉 33和弹簧拉钉 31之间的弹簧 32, 所述的弹簧 32对所述的滑台 19施加朝向所述的配重块 15的水平方向的作 用力。

所述的螺母 35为蝶形螺母。 其余结构都相同。

本实施例的技术构思是: 为减小直线电机的负载, 设置了力平衡弹簧机构, 通过力平衡弹簧机构可减小因配重块引起的直 线电机负载加重现象。

当直线电机正方向运动时,弹簧牵引滑台向配 重块的方向运动,从而可以平 衡配重块对滑台的压力, 这样, 电机只需要很小的力即可推动滑台正向运动。

直线电机反方向运动时, 弹簧的牵引力变成了阻力、 阻碍电机运动, 而此时 配重块对滑台的压力的方向与滑台的运动方向 相同, 恰好可以平衡弹簧的阻力, 这样, 电机也只需要很小的力即可带动滑台反向运动 。

实施例三

本实施例与实施例一的区别之处在于: 所述的激光干涉仪安装于干涉仪支 架上, 所述的干涉仪支架放置于地面上, 所述的激光干涉仪位于所述的台面 12 一侧, 所述的反射镜 2安装于所述的台面 12上。

干涉仪支架为三脚架。

本实施例的技术构思是: 使用干涉仪支架安装激光干涉仪, 能够方便地移 动激光干涉仪, 若在台面上安装多块反射镜, 即可方便地测量台面不同部位的 角度变化, 使用方便。

本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思 的实现形式的列举,本发明的 保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的 具体形式, 本发明的保护范围也 及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想 到的等同技术手段。