Mikrowellenschaltungen, insbesondere Mehrlagenschaltungen, aus mit einer Metallisierung versehenen verlustarmen Dielektrikas sind bekannt. Die Dielektrika basieren entweder auf Teflon, beispiels- weise auf einem unter der Bezeichnung RT/duroidi) 6002 von der Rogers Corp. Chandler, AZ, USA erhältlichen Produkt, oder auf Polyparaxylen (erhältlich unter der Bezeichnung Parylen N), Mono- chlorpolyparaxylen (Parylen C), Dichlorpolyparaxylen (Parylen D) und Perfluor-p-xylylen (ein Produkt der Union Carbide Corp.), die im Vergleich zu Teflon eine höhere Wärmeformbeständigkeit haben.

In Hochfrequenzkondensatoren wird als feuchtestabiles Dielektrikum Polystyrol in Folienform angewandt. Polystyrol ist ein thermopla- sti-scher (schmelzbarer) Kunststoff. Bekannt sind auch polymer- sierbare Gießharze aus in Styrol gelöstem Polystyrol. Bei unzurei- chender Wärmeformbeständigkeit von Polystyrol kann diese durch Copolymerisation von Styrol mit linear polymerisierenden Monomeren wie-Methylstyrol verbessert werden. Die entstehenden Copolymeren sind Thermoplaste. Eine weitere Möglichkeit, um die Wärmeformbe- ständigkeit zu verbessern, besteht in der Vernetzung von Styrol oder Styrolderivaten mit vernetzenden Comonomeren, wie Divinylben- zol. Dabei entstehen duroplastische Styrol-Copolymere, die beispielsweise als Ionenaustauscherharz eingesetzt werden.

Die Strukturierung von UV-aushärtbaren Gießharzen mittels Photolithographie ist eine bekannte Technik. Dabei wird eine Oberfläche durch Aufschleudern mit einem flüssigen oder in einem Lösungsmittel gelösten Harz beschichtet, wird gegebenenfalls das Lösungsmittel abgelüftet, wird die Beschichtung durch eine Maske belichtet und werden die unbelichteten Bereiche der Harzschicht mit einem Lösungsmittel entfernt.

Die Erfindung und ihre Vorteile Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein strukturierbares Präpolymer und ein daraus herstellbares, wärmeformbeständiges, feuchteunem- pfindliches und verlustarmes, dielektrisches polymeres Material mit niedrigem Verlustfaktor tand, insbesondere für Hochfrequenz- und Mikrowellenschaltungen, bereitzustellen.

Diese Aufgabe wird mit einem Präpolymer der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 und mit einem dielektrischen Material der eingangs genannten Art mit den Merkmalen des Anspruchs 19 gelöst. Unter einem Präpolymer ist die Vorstufe eines Polymers zu verstehen.

Die aus dem erfindungsgemäßen Präpolymer erzeugten erfindungsge- mäßen dielektrischen Materialien dämpfen elektromechanische Wel- len, auch solche im Hochfrequenz-und Mikrowellenbereich, wenig, wodurch ein energetisch günstiger Transport von Hochfrequenzener- gie erfolgen kann. Deshalb wird das dielektrische Material von den durchgehenden elektromagnetischen Wellen nicht erwärmt. Das erfin- dungsgemäße Präpolymer ist-vorzugsweise mit UV-Licht-photo- strukturierbar. Daher können Löcher für Durchkontaktierungen in einfacher Weise erzeugt werden, weshalb die erfindungsgemäßen dielektrischen Materialien insbesondere vorteilhaft in Mehrlagen- schaltungen einsetzbar sind, oder es können Schaltungen herge- stellt werden, die nur in bestimmten Bereichen ein Dielektrikum aufweisen. Der Photoinitiator muß dabei nur in Mengen zugesetzt werden (bevorzugt-bezogen auf das Gesamtgewicht des Präpolymers - zwischen etwa 0,1 und etwa 5 Gew.-%), welche die Dämpfung der elektromagnetischen Wellen nicht beachtlich vergrößern.

Um ein besonders verlustarmes Polymer zu erzeugen, ist es günstig, wenn das linear polymerisierende Monomer Styrol ist.

Zur Veringerung des Dampfdrucks des Präpolymers und/oder zur Erhöhung der Wärmeformbeständigkeit des erzeugten dielektrischen Materials ist es vorteilhaft, wenn das Styrol ganz oder teilweise mindestens durch ein linear polymerisierendes Monomer aus der Gruppe &-Methylstyrol, o-, p-und m-Vinyltoluol, Mischung aus cis- und trans-Stilben, d,-und."3-Pinen, Inden, o-, p-und m-Methoxy- styrol und o-, p-und m-Ethylstyrol ersetzt ist. Die aus solchen Präpolymeren erzeugten Polymere sind erheblich temperaturstabiler als beispielsweise normales homopolymeres Polystyrol, das eine Glasübergangstemperatur von ca. + 100°C hat. Die höhere Wärmeform- beständigkeit hat keinen Einfluß auf die Energieverluste.

Es ist vorteilhaft, wenn der Photoinitiator ein Initiator für die radikalische Polymerisation, bevorzugt Darocu g 1173 oder IrgacurelS 369, ist.

Zur Erhöhung der Wärmeformbeständigkeit des herzustellenden Dielelctrikums trägt in vorteilhafter Weise auch mindestens ein vernetzend polymerisierendes Monomer im Präpolymer bei, ohne daß deshalb größere dielektrische Verluste als bei Polystyrol auftre- ten. Besonders vorteilhaft ist als vernetzend polymerisierendes Monomer mindestens ein Material aus der Gruppe Divinylbenzol, Methylcyclopentadien, Norborna-2,5-dien, Inden, ; 3-und J-Terpinen, Dipenten und Dicyclopentadien. Die dabei erzeugten, vernetzten, einheitlichen Copolymere sind Duroplaste.

Zur Erhöhung der Lagerstabilität des Präpolymers ist es günstig, wenn das Präpolymer einen Stabilisator enthält.

Zur Einstellung einer gewünschten Viskosität ist es vorteilhaft, wenn das Präpolymer ein Lösungsmittel, wie Butylacetat, enthält.

Es ist vorteilhaft, wenn in dem Präpolymer ein Polymer, bevorzugt thermoplastisches Polystyrol oder ein Indenharz, als Filmbildner gelöst ist.

Zur Verbesserung der chemischen und thermischen Stabilität und zur weiteren Verbesserung der dielektrischen Eigenschaften des zu erzeugenden dielektrischen Materials ist es vorteilhaft, wenn in den Monomeren und gegebenenfalls in dem Polymer die Wasser- stoffatome ganz oder teilweise durch Fluoratome ersetzt sind.

Um die Dielektrizitätskonstante des erfindungsgemäßen dielektri- schen Materials variieren zu können, ist es vorteilhaft, wenn das erfindungsgemäße Präpolymer einen Füller aus anorganischen Partikeln, bevorzugt hydrophobes Tirs, enthält.

Ein im Hochfrequenz-und Mikrowellenbereich sehr verlustarmes und bei entsprechender Zusammensetzung sehr wärmeformbeständiges Dielektrikum wird erhalten, wenn das Präpolymer bezogen auf sein Gesamtgewicht etwa 5 bis etwa 95 Gew.-% mindestens eines der genannten linear polymerisierenden Monomere, etwa 0 bis etwa 50 Gew.-% mindestens eines der genannten vernetzenden Monomere, etwa 0 bis etwa 50 Gew.-% eines der genannten Polymere und < etwa 5 Gew.-% eines der genannten Photoinitiatoren enthält.

Ein besonders dichtes dielektrisches Material wird in vorteilhaf- ter Weise erhalten, wenn gegebenenfalls in dem Präpolymer vorhan- denes Lösungsmittel vor der Polymerisation entfernt worden ist.

Das erfindungsgemäße dielektrische Material läßt sich vorteilhaft in Hochfrequenz-und Mikrowellenschaltungen und besonders vorteil- haft in mehrlagigen Hochfrequenz-und Mikrowellenschaltungen verwenden.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Präpolymers sind in den Unteransprüchen aufgeführt.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen detailliert beschrieben. Es sei aber klargestellt, daß sich zwar die Erfindung anhand dieser Beispiele besonders anschaulich erläutern läßt, daß aber von ihnen im Rahmen der Ansprüche mannig- faltige Abweichungen möglich sind.

Generell enthält das erfindungsgemäße Präpolymer, aus dem das erfindungsgemäße dielektrische Material hergestellt wird, minde- stens ein Monomer, einen Photoinitiator und gegebenenfalls-zur Erzielung bestimmter Eigenschaften-noch weitere Zusätze (s. u.).

Die Monomeren sind ausschließlich solche, welche durch Polymerisation makromolekulare Ketten oder Netzwerke bilden.

An sich ist bereits das durch Polymerisation des linear polymeri- sierenden Styrols erzeugte Homopolymer feuchteunempfindlich und außerordentlich verlustarm, aber das nur Styrol (Sdp. 145°C) als Monomer enthaltende Präpolymer hat einen relativ hohen Dampfdruck und die Temperaturstabilität des Polystyrols ist für viele Anwen- dungen nicht ausreichend, da es nur eine Glasübergangstemperatur von etwa + 100°C hat. Um ein temperaturstabileres Polymer zu erzeugen, dessen dielektrische Verluste nicht höher sind als die von Polystyrol, gibt es verschiedene Möglichkeiten.

Man kann das Styrol ganz oder teilweise durch mindestens ein linear polymerisierendes Monomer ersetzen, das (die) einen höheren Siedepunkt wie Styrol hat (haben). Solche Monomere sind insbeson- dere aus der Gruppe cC-Methylstyrol (Sdp. 165°C), o-, p-und m-Vinyltoluol (Sdp. 172°C), Mischung aus cis-und trans-Stilben (Sdp. 306-307°C, trans-Stilbenanteil 0 bis 100 Gew.-%), 1-und , @-Pinen (Sdp. 155°C), Inden (Sdp. 182°C), o-, p-und m-Methoxy- styrol (Sdp. der p-Verb. 204°C) und o-, p-und m-Ethylstyrol (Sdp.

> 120°C) ausgewählt. Dadurch läßt sich der Dampfdruck des Präpolymers erniedrigen. Unabhängig von seinem Dampfdruck läßt sich durch die Wahl eines geeigneten Monomers die Wärmeformbarkeit des erhaltenen Thermoplasten erhöhen.

Man kann zusätzlich zu dem linear polymerisierenden Monomeren bzw. den linear polymerisierenden Monomeren mindestens ein vernetzendes Monomer zusetzen. Zu diesen vernetzenden Monomeren gehören insbe- sondere Materialien aus der Gruppe Divinylbenzol (Sdp. 200°C), Methylcyclopentadien (Sdp. 98°C bei 40 hPa), Norborna-2,5-dien (Sdp. 89°C), Inden (Sdp. 182 °C), >-und/z-Terpinen (Sdp. 174°C), -Terpinen (Sdp. 183°C), Dipenten (Sdp. 178 °C) und Dicyclopenta- dien (Sdp. 98°C bei 54 hPa), wobei Divinylbenzol wegen seines hohen Siedepunkts besonders bevorzugt ist. Der bei der Polymer- sation erzeugte Duroplast hat eine noch höhere Wärmeformbarkeit, als wenn nur linear polymerisierende Monomere verwendet werden.

Als Photoinitiator wird dem Präpolymer bevorzugt ein radikalischer Initiator, besonders bevorzugt Darocu 21173 oder Irgacurer3369, in auf das Gesamtgewicht des Präpolymers bezogenen Mengen von etwa 0,1 bis etwa 5 Gew.-% zugemischt. Darocu 4 1173 und Irgacure>369 bestehen aus 2-Hydroxy-2-methyl-l-phenyl-l-propanon bzw. 2-Benzyl- 2-N, N-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)-1-butanon und werden von Ciba-Geigy, Basel, CH vermarktet.

Da das Präpolymer photopolymerisierbar und deshalb gezielt strukturierbar ist, läßt es sich sehr vorteilhaft bei der Herstellung der heute üblichen mikroelektronischen Mehrlagen- schaltungen, bei denen im Dielektrikum Löcher für Durchkontaktie- rungen erzeugt werden müssen, oder von Schaltungen einsetzen, die nur in bestimmten Bereichen ein Dielektrikum aufweisen.

Zur Erhöhung der Lagerstabilität kann das Präpolymer einen der üblichen Stabilisatoren, wie einen phenolischen Inhibitor, zur Verhinderung einer vorzeitigen Polymerisation enthalten.

Um die Viskosität des Präpolymers, das beispielsweise durch Aufschleudern aufgebracht wird, auf einen geeigneten Wert einzustellen, kann-sofern erforderlich-der Mischung ein Lösungsmittel, wie Butylacetat, zugesetzt werden.

Damit das Polymer einen zusammenhängenden Film bildet, ist es günstig, wenn das Präpolymer einen Filmbildner enthält. Als Filmbildner kommt in erster Linie thermoplastisches Polystyrol in Frage, welches durch einen in dem Präpolymer ebenfalls löslichen Thermoplast mit höherer Wärmeformbeständigkeit als Polystyrol, wie Indenharze (s. Hans Wagner, Hans Friedrich Sarx"Lackkunstharze", Carl Hanser Verlag, München, ISBN 3-446-10377-6), ganz oder teilweise ersetzt sein kann.

Eine weitere Ausführungsvariante nutzt die Füllung mit anorgani- schen Patrilceln, wie mit hydrophobem TiO2, zur Variation der Dielektrizitätskonstanten r.

Bei allen in dem Präpolymer eingesetzten Monomeren und Polymeren kann es sich auch um Produkte handeln, bei denen alle oder ein Teil der Wasserstoffatome durch Fluoratome ersetzt sind, wie beispielsweise in Pentafluorstyrol.

Zur Herstellung des Dielektrikums wird das Präpolymer, das eine viskose Lösung bildet, in bekannter Weise, beispielsweise durch Aufschleudern auf ein Substrat, beispielsweise ein Leiterplatten- substrat, einen Halbleiterwafer oder ein Keramiksubstrat, aufge- bracht. Zur Polymerisation wird die aufgebrachte Schicht mit UV- Licht bestrahlt. Soll die Schicht strukturiert werden, wird das UV-Licht selektiv, beispielsweise durch eine Maske, abgeschirmt.

Durch die Bestrahlung wird die Schicht, gegebenenfalls bereichs- weise, gehärtet. Unbelichtete Bereiche werden daraufhin, beispielsweise mit Methylisobutylketon, weggelöst. Anschließend können in bekannter Weise Leiterbahnen aufgebracht werden. Durch ein-oder mehrmaliges Wiederholen der genannten Schritte können Mehrlagenschaltungen aufgebaut werden.

Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel werden die Bestandteile des Präpolymers homogen zu einer viskosen Lösung zusammengemischt.

Die Mischung enthält bezogen auf ihr Gesamtgewicht etwa 5 bis etwa 95 Gew.-% mindestens ein linear polymerisierendes Momomer, etwa 0 bis etwa 50 Gew.-% thermoplastischen Filmbildner, etwa 0 bis etwa 50 Gew.-% mindestens ein vernetzendes Monomer, < etwa 5 Gew.-% Photoinitiator und gegebenenfalls-je nach der Anwendung-weite- re Zusätze (s. o.) enthalten. Die Mischungsbestandteile sind aus den o. g. Materialien ausgewählt. Die Polymerisation erfolgt wie oben angegeben. Es entsteht-das Vorhandensein eines vernetzenden Monomers vorausgesetzt-ein dreidimensional vernetzter Duroplast.

Typische Parameter des erzeugten dielektrischen Materials : Verlustfaktor tant"= 3. 10-3 und Dielektrizitätskonstante r = 2, 35 (bei 40 GHz) Damit ist gewährleistet, daß das erzeugte Material im Hochfre- quenz-und Mikrowellenbereich extrem verlustarm ist.