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Title:
PROCESS FOR THE CONTINUOUS SEPARATION OF MIXTURES OF MICROSCOPICALLY SMALL DIELECTRIC PARTICLES AND DEVICE FOR IMPLEMENTING THE PROCESS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/1993/003850
Kind Code:
A1
Abstract:
The description relates to a process for separating mixtures of microscopically small dielectric particles in suspension and a device for implementing the process. Prior art separation processes separate particle mixtures according to the differing mobilities of their components. This requires extensive measures to suppress convection in the suspension. In the process of the invention, the particle mixture is forced onto tracks by dielectrophoretic forces or by the flow of the suspension medium. An additional force which, for specific particle types, offsets the force driving the particles onto tracks, separates particles of these types out of the mixture. The device for implementing the process is suitable for system integration. It can be integrated on surfaces of silicon wafers economically and in large numbers. The device is suitable for isolating small particles like biological cells, cell organella, bio-molecules and organic dielectric particles.

Inventors:
BENECKE WOLFGANG (DE)
WAGNER BERND (DE)
HAGEDORN ROLF (DE)
FUHR GUENTER (DE)
MUELLER TORSTEN (DE)
Application Number:
PCT/DE1992/000694
Publication Date:
March 04, 1993
Filing Date:
August 19, 1992
Export Citation:
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Assignee:
FRAUNHOFER GES FORSCHUNG (DE)
International Classes:
B01J19/00; B03C5/00; B03C5/02; G01N27/447; G01N30/00; (IPC1-7): B03C5/00; B03C5/02
Domestic Patent References:
WO1991011262A11991-08-08
Foreign References:
US1498911A1924-06-24
DE4034697A11992-05-14
Other References:
IEEE INDUSTRY APPLICATIONS SOCIETY ANNUAL MEETING 1985,CONFERENCE RECORD, 1985, TORONTO CANADA Seiten 1418 - 1423 S.MASUDA
IEEE INDUSTRY APPLICATIONS SOCIETY ANNUAL MEETING 1986,CONFERENCE RECORD; DENVER US Seiten 1350 - 1354 R.J.ADAMSON ET AL
Attorney, Agent or Firm:
Münich, Wilhelm (Steinmann Schille, Wilhelm-Mayr-Strasse 11 München, DE)
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Claims:
P a t e n t a n s p r ü c h e
1. Verfahren zur Trennung von Gemischen mikroskopisch kleiner, in einer Flüssigkeit oder einem Gel suspen¬ dierter, dielektrischer Teilchen, dadurch gekennzeichnet, daß entweder a) die Teilchen durch hochfrequente, in mikroskopischer Entfernung Maxima und Minima aufweisende, elektri¬ sche Wechselfelder als Führungsfeld auf Führungsbah¬ nen gezwungen werden und daß bestimmte Teilchensorten durch wenigstens ein zusätzlich auf die Teilchen einwirkendes Kraftfeld mit einer zu den Führungsbahnen senkrechten Komponente in Form eines elektrischen, magnetischen, optischen oder eines Gravitationsfeldes, eines Strömungsfeldes oder eines Teilchenstroms, unter Kompensierung der die bestimmten Teilchensorten auf die Führungsbahnen zwingenden Kräfte, aus der Führungsbahn ausgekoppelt werden, oder b) daß die Teilchen durch die Strömung eines in eine vorgebbare Richtung strömenden Suspensionsmediums auf Führungsbahnen gezwungen werden und daß bestimmte Teilchensorten durch wenigstens ein . zusätzliches, auf die Teilchen einwirkendes, dielek trophoretisches Hochfrequenzfeld unter Kompensierung der durch die Strömung auf die Teilchen einwirkenden Kraft, aus der Strömung ausgekoppelt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß gemäß a) als Führungsfeld ein elektrisches, in vorgebbare Richtungen wanderndes Hochfrequenzfeld eingesetzt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Führungsfeld mit mehre¬ ren Wechselfeldern erzeugbar ist, die sich hinsichtlich der Frequenz und Phase unterscheiden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß durch Änderung des zusätz¬ lichen Kraftfeldes oder des Führungsfeldes die auszu¬ koppelnde Teilchensorte ausgewählt wird.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Reihe von Elektroden vorgesehen ist, die mit einer Spannung der¬ art beaufschlagt werden, daß aufgrund des elektrischen Feldes der Elektroden auf die Teilchen ein Kraftfeld wirkt und daß weitere Mittel vorgesehen sind, die eben¬ falls eine auf die Teilchen wirkende Kraft erzeugen, die eine Komponente senkrecht zur Richtung des von den Elektroden erzeugten Kraftfeldes aufweist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwei sich parallel gegen¬ überstehende Elektrodenreihen, die einen linearen oder gekrümmten Strömungskanal einschließen, vorgesehen sind. t.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden das Füh¬ rungsfeld erzeugen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Kammer (10) mit einer Einström und einer Ausströmöffnung (7,8) zwei Reihen von Elektroden (3,4) angeordnet sind, die einen, die Öffnungen (7,8) miteinander verbindenden Strömungs¬ kanal (9) einschließen, und daß beidseitig außerhalb des Strömungskanals (9) entlang der Elektrodenreihen (3,4) jeweils eine zusätzliche parallel zueinander angeordnete Elektrode (5,6) angebracht ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwischen einer Elektrodenreihe (3,4) und der entlang dieser Elektro¬ denreihe angeordneten zusätzlichen Elektrode (5,6) eine den Kammerquerschnitt ausfüllende Membran (11) ange¬ bracht ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkma¬ le: auf einem Substrat (21) in Richtung des Wanderfeldes ist eine Reihe von quer zur Wanderfeldrichtung lang¬ gestreckter Elektroden (22) parallel hintereinander, mit gleichem Abstand angeordnet, von denen eine erste Anzahl benachbarter Elektroden (22) eine zentrale Lücke (23) aufweist, und einen in Richtung des Wan¬ derfeldes verlaufenden Kanal (24) ausgebilden, eine zweite Anzahl benachbarter Elektroden (22) ist durchgängig ausgebildet, über den Elektroden (22) sind zwei isolierende Schichten (25) angebracht, die im Bereich der er¬ sten Anzahl benachbarter Elektroden rechteckförmig ausgebildet sind, die Elektroden (22) weitgehend überdecken und den von diesen Elektroden ausgebilde¬ ten Kanal (24) einschließen und im Bereich der zwei¬ ten Anzahl von Elektroden derart trapezförmig ausge¬ bildet sind, daß die Breite des von den Schichten eingeschlossenen Kanals (24) in Richtung des Wander¬ feldes zunimmt, über der zweiten Anzahl von Elektroden ist in der Kanal mitte eine dritte, in Richtung des Wanderfel¬ des verlaufende, langgestreckte, isolierende Schicht (26) aufgebracht, die den Kanal (24) im Bereich sei¬ ner zunehmenden Breite in zwei Teilkanäle (27) auf¬ zweigt, und auf den ersten beiden isolierenden Schichten (25) sind im Bereich der ersten Anzahl von Elektroden zusätzli¬ che Elektroden (28) aufgebracht, die parallel zuein¬ ander und parallel zu dem von ihnen eingeschlossenen Kanal (24) verlaufen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden entlang eines Strömungskanals angeordnet sind, in dem das Sus¬ pensionsmedium strömt, und zur Erzeugung des weiteren Kraftfeldes mit einer oder mehreren HochfrequenzSpan¬ nungsquellen verbunden und derart ausgebildet sind, daß die erzeugten elektrischen Felder im Bereich des Strö¬ mungskanals Inhomogenitäten aufweisen, und das weitere, senkrecht zum Führungsfeld wirkende Kraftfeld erzeugen.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden Oberflächen mit reliefartigen Irregularitäten aufwei¬ sen.
13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (41,42) jeder Reihe entlang der Strömungsrichtung parallel zueinander angeordnet und unterschiedlich voneinander beabstandet sind und daß die Elektroden (41,42) jeder Reihe derart mit einer HochfrequenzSpannungsquelle Ul, U2 verbunden sind, daß jeweils zwei benachbarte Elek¬ troden mit verschiedenen Polen der Spannungsquelle elektrisch verbunden sind.
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Erzeugung der die lektrophoretischen Kräfte vorgesehenen Elektrodensyste¬ me auf die beiden Seiten eines dünnen, flexiblen Mate¬ rials aufgebracht sind, das derart zu einer dreidimen¬ sionalen Struktur gefaltet oder gewickelt ist, daß sich Durchflußkanäle ergeben, die von den Elektrodensystemen eingeschlossen sind.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Seite einer lang¬ gestreckten Folie (51) eine Reihe in Längsrichtung der Folie verlaufende Elektroden (52) aufgebracht sind, die an einem Ende miteinander verbunden sind, daß auf den Elektroden in regelmäßigen Abständen isolierende Stege (54) aufgebracht sind, daß auf der anderen Seite der Folie (51) quer zur Längsrichtung der Folie verlaufende Elektroden (53) aufgebracht sind, die an einem Ende leitend miteinander verbunden sind, daß die Folie (51) derart in Längsrichtung aufgewickelt ist, daß die iso¬ lierenden Stege (54) als Abstandshalter zwischen den Schichten der aufgewickelten Folie dienen, und daß zwischen den auf den beiden Seiten der Folie (51) auf¬ gebrachten Elektrodensystemen (52,53) eine hoch¬ frequente Wechselspannung angelegt ist.
16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die die Teilchenbahnen begrenzenden Elemente passierbare Durchbrüche oder Poren aufweisen.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenoberflächen eine in mikroskopischer Dimension reliefartige Oberflä¬ chenstruktur derart aufweisen, daß in Richtung des Teilchenstroms Längskanäle ausgebildet sind.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenoberflächen mit isolierenden Materialien überzogen sind, und daß der Überzug Mulden, Wellen oder Bereiche unterschiedli¬ cher Stärke aufweist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß der die Elektroden tragende Grundkörper aus halbleitendem Material, Glas oder Kera¬ mik besteht, daß die partiellen Vertiefungen, Erhöhun¬ gen oder Durchbrüche durch Ätzverfahren erzeugt sind, daß die Elektroden aus einem chemisch inerten Material bestehen, mit photolithographischen Methoden struktur¬ iert und galvanisch abgeformt sind, und daß die dielek¬ trischen Schichten auf den Elektroden aus Siθ2 , Si3N , Bariumtitanat oder Tiθ2 bestehen.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Multielektrodensystem zur Trennung der Teilchen zusammen mit einer elektroni¬ schen Schaltung zur Erzeugung der Felder und zur Aus¬ wertung von Teilchenbewegungen auf einem gemeinsamen Grundkörper integriert ist.
21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Vorrichtungen kas kadenförmig hintereinander angeordnet sind.
Description:
Verfahren zur kontinuierlichen Trennung von Gemischen mikroskopisch kleiner, dielektrischer Teilchen und

Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

B e s c h r e i b u n g

Technisches Gebiet

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Tren¬ nung von Gemischen mikroskopisch kleiner, dielek¬ trischer Teilchen, bei welchen das Teilchengemisch in einer Flüssigkeit oder einem Gel suspendiert wird, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Stand der Technik

Mit einem solchen Trennverfahren sollen Gemische mikro¬ skopisch kleiner Teilchen, wie biologische Zellen, Zellorganellen, Biomoleküle sowie anorganische, dielek¬ trische Teilchen isoliert und für Untersuchungen oder technische Anwendungen aufbereitet werden.

Die Trennung bestimmter Teilchensorten aus Teilchenge¬ mischen ist beispielsweise in der Medizin, der Nah¬ rungsmitteltechnologie, der Biologie, der Chemie und der Pharmazie erforderlich. Insbesondere wenn größere Mengen eines Gemisches getrennt werden sollen, ist es wünschenswert, ein kontinuierliches Trennverfahren einzusetzen.

Zur Trennung von Teilchengemischen sind verschiedene elektrokinetische Verfahren bekannt. Trennverfahren wie zum Beispiel die Gelelektrophorese, die Isotachophorese

und die isoelektrische Fokussierung trennen Teilchen¬ gemische nach den unterschiedlichen Beweglichkeiten ihrer Bestandteile auf. Eine entscheidende Vorausset¬ zung für eine solche Auftrennung besteht darin, daß durch geeignete Maßnahmen die in jedem Fall auftreten¬ den Konvektionen auf einen unkritischen Wert reduziert werden, da die Beweglichkeit der Teilchen durch die Konvektion beeinflußt wird.

Die Reduzierung der Konvektion erfolgt entweder durch Kühlung oder durch die Verwendung konvektionsverhin- dernder Träger. Dabei sind Grenzen gesetzt, wenn rela¬ tiv große Teilchen, wie biologische Zellen, zu trennen sind, oder wenn im kontinuierlichen Betrieb gearbeitet werden soll. Ein kontinuierlicher Betrieb kann deshalb nur durch aufwendige Kühltechniken oder durch kompli¬ zierte Stabilisierungstechniken, beispielsweise durch Nutzung von Zentrifugalkräften, erreicht werden.

Die dabei anfallenden Kosten und technologischen Pro¬ bleme haben dazu geführt, daß kontinuierlich arbeitende Elektrophoreseverfahren bislang nur in beschränktem Umfang Verwendung finden.

Darstellung der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Trennung von Gemischen mikroskopisch kleiner, sus¬ pendierter Teilchen anzugeben, das kontinuierlich ar¬ beitet, eine hohe Trenngüte aufweist und kostengünstig realisiert werden kann, sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens bereitszustellen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Verfahren nach Anspruch 1 und einem Verfahren nach Anspruch 5

gelöst. Weiter wird die Aufgabe durche eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 8 sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 10 gelöst.

Die suspendierten Teilchen werden dabei in einem Fall durch dielektrophoretische Kraftfelder, im anderen Fall durch die Strömung des Suspensionsmediums auf Führungs¬ bahnen gezwungen.

Durch eine zusätzliche Kraft werden für bestimmte Teil¬ chensorten die Kräfte, die die Teilchen auf die Füh¬ rungsbahnen zwingen, kompensiert, so daß sie aus den Führungsbahnen ausgekoppelt und damit aus dem Gemisch getrennt werden.

Im ersten Fall können hierzu homogene Kraftfelder eingesetzt werden die eine genügend starke senkrechte Komponente zur Führungsbahn aufweisen, im zweiten Fall werden die ' zusätzlichen Kräfte durch inhomogene Wech¬ selfelder bewirkt.

Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Im Anspruch 2 ist das zusätzliche Kraftfeld, das die Führungskräfte kompensiert, näher bestimmt. Danach kann es sich bei diesem Feld um ein elektrisches, ein mag¬ netisches, ein optisches oder ein Gravitationsfeld handeln. Besonders einfach realisierbar ist ein elek¬ trisches Feld, das zwischen zwei parallelen Elektroden durch Anlegen einer Spannung erzeugt wird, wobei sich die geführten Teilchen zwischen den Elektroden bewegen. Die Kraft kann aber auch durch ein Strömungsfeld, bei-

spielsweise eine strömende Flüssigkeit, die sich mit senkrechter Komponente zu den geführten Teilchen be¬ wegt, oder durch einen Teilchenstrom ausgeübt werden.

Nach Anspruch 3 ist das Führungsfeld ein in vorgebbare Richtungen wanderndes Hochfrequenzfeld. Die Frequenz des Führungsfeldes wird durch die dielektrischen Eigen¬ schaften der zu trennenden Partikel bestimmt und liegt bei biologischen Partikeln typischerweise bei einigen 100 kHz, während die Amplitude bei 5V bis 40 V liegt. Das hochfre-quente Wanderfeld übt auf die suspendierten Teilchen Abstoßungs- bzw. Anziehungskräfte aus, die dadurch bedingt sind, daß die durch das elektrische Feld in den Teilchen induzierten Grenzflächenladungen hinter dem wandernden Feldvektor zurückbleiben. Die Bewegung der Teilchen erfolgt stark assynchron zum elektrischen Feld. Die Realisierung eines solchen Wand¬ erfeldes ist in der nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung DE P 40 34 697.8 ausführlich beschrie¬ ben.

Besonders flexibel ist ein Trennverfahren, das gemäß Anspruch 4 ein Führungsfeld mittels mehrerer Wechsel¬ felder erzeugt, die sich hinsichtlich Frequenz und Phase unterscheiden. Hiermit kann die Kraft auf die geführten Teilchen sehr variabel gestaltet werden.

Die Auskopplung bestimmter Teilchensorten kann nach Anspruch 6 durch Variation des zusätzlichen Kraftfel¬ des, oder nach Anspruch 7 durch Variation der durch das Führungsfeld auf die Teilchen wirkenden Kraft je nach gewünschter Selektierung eingestellt werden.

Bei der in Anspruch 8 gekennzeichneten Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens wird das Führungsfeld, ein in eine vorgebbare Richtung wanderndes Hochfrequenz¬ feld, durch wenigstens eine Reihe von Elektroden er¬ zeugt, die in Richtung des Wanderfeldes parallel zuein¬ ander auf einem Grundkörper angeordnet sind. Die Aus¬ dehnung der Elektroden in Richtung des Wanderfeldes, sowie die Abstände der Elektroden entspricht in etwa der Größe der Teilchen im Gemisch und liegt für biolo¬ gische Zellen typischerweise im Bereich weniger μm. Die Bewegung der Teilchen erfolgt über den Elektroden. Es können aber auch zwei Elektrodenreihen derart angeord¬ net werden, daß sie einen elektrodenfreien Kanal ein¬ schließen. Dann können die Teilchen in dem Kanal bewegt werden. Das Wanderfeld wird erzeugt, indem die Elektro¬ den mit Hilfe einer elektronischen Schaltung in geeig¬ neter Folge mit hochfrequenten Spannungen beaufschlagt werden.

Nach Anspruch 9 werden die Elektroden entweder in einer oder mehreren Linien angeordnet, wodurch ein linearer Durchflußkanal für die Teilchen ausgebildet wird. Oder die Elektroden werden entlang gekrümmter Bahnen ange¬ ordnet, so daß auch gekrümmte Durchflußkanäle reali¬ siert werden können. Durch die Anordnung der Elektroden kann die Breite des Kanals konstant gewählt werden, oder entlang der Kanalrichtung variieren. Durch ver¬ schiedene Anordnungen können sehr flexibel ausgestalte¬ te Durchflußkanäle verwirklicht werden.

Eine besonders vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung ist in Anspruch 10 gekennzeichnet. Eine Durchströmkam¬ mer weist eine Einlaß- und eine Auslaßöffnung auf. Zwei Reihen von Elektroden schließen einen Durchströmkanal

ein, der die beiden Öffnungen miteinander verbindet. Mit Hilfe der Elektrodenreihen wird ein hochfrequentes elektrisches Wanderfeld erzeugt. Die zusätzliche Kraft zur Trennung des Teilchengemisches wird durch Anlegen einer Spannung an zwei zusätzliche Elektroden erzeugt, die entlang des Kanals parallel zueinander angeordnet sind und wie ein Kondensator wirken.

Um einen Kontakt der aus dem Teilchenstrom ausgelenkten Teilchen mit diesen Elektroden zu verhindern, werden gemäß Anspruch 11 zwischen den Elektroden und den Elek¬ trodenreihen Membranen angebracht, die den gesamten Kammerquerschnitt ausfüllen. Falls eine Auslenkung von Teilchen aus dem Gemisch nur in eine Richtung erfolgt, reicht eine Membrane aus.

Die in Anspruch 12 beschriebene Vorrichtung ermöglicht es, den Strom eines Teilchengemisches in verschiedene Teilströme verschiedener Teilchensorten aufzuspalten. Hierzu weist der durch die Elektrodenreihen und Isola¬ tionsschichten gebildete Durchströmkanal eine Verzwei¬ gung auf. In dem Kanalbereich vor der Verzweigung wer¬ den die Teilchen mittels zusätzlicher Elektroden räum¬ lich getrennt und durch das Wanderfeld in die verschie¬ denen Kanalzweige geführt. Diese Vorrichtung eignet sich besonders für eine Kaskadenanordnung, mit welcher eine besonders effektive Trennung der verschiedenen Teilchensorten erreicht wird.

Bei der in Anspruch 13 gekennzeichneten Vorrichtung wird das suspendierte Teilchengemisch durch das strö¬ mende Suspensionsmedium auf eine Führungsbahn gezwun¬ gen. Entlang des Führungskanals sind Elektrodensysteme angeordnet, mit deren Hilfe im Strömungskanal in-

homogene elektrische Wechselfelder erzeugt werden. Durch die Feldinhomogenitäten wirken auf die Teilchen dielektrophoretische Kräfte, die je nach Strömungsge¬ schwindigkeit und Feldstärke, bestimmte Teilchensorten aus dem Gemisch auskoppeln.

Nach Anspruch 14 werden die inhomogenen Felder mittels zweier parallel angeordneter Elektroden erzeugt, die den Strömungskanal einschließen, und deren einander zugewandte Oberflächen reliefartige Oberflächenirregu¬ laritäten wie Spitzen und Senken aufweisen. Die Auswahl der ausgekoppelten Teilchensorte erfolgt über die Fre¬ quenz oder Stärke der zwischen den Platten angelegten hochfrequenten Wechselspannung. Um eine Anlagerung der ausgekoppelten Teilchen auf den Elektroden zu verhin¬ dern, ist es vorteilhaft, das Elektrodenmaterial mit Durchbrüchen zu versehen, oder porös zu gestalten.

Nach Anspruch 1 * 5 werden die inhomogenen Felder mit Hilfe zweier parallel zueinander angeordneten Elektro¬ denreihen erzeugt, die den Strömungskanal einschließen. Die Feldinhomogenitäten werden dadurch erreicht, daß die Elektroden einer Reihe unterschiedlich beabstandet sind und zwischen benachbarten Elektroden einer Reihe Wechselspannungen angelegt werden, die sich hinsicht¬ lich der Stärke und der Frequenz von den zwischen be¬ nachbarten Elektroden der anderen Reihe angelegten Spannungen unterscheiden.

Bei einer Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 16 sind verschiedene Elektrodensysteme auf zwei Seiten eines dünnen flexiblen Materials aufgebracht. Das fle¬ xible Material ist derart zu einer dreidimenionalen Struktur gefaltet oder gewickelt, daß Durchflußkanäle

entstehen, die von Elektrodensystemen eingeschlossen sind.

Eine weitere Ausgestaltung einer solchen Vorrichtung ist in Anspruch 17 gekennzeichnet. Eine langgestreckte Folie, auf deren beiden Seiten senkrecht zueinander stehende Elektrodenreihen aufgebracht sind, ist zu einer Rolle aufgewickelt. Isolierende Stege, die auf einer Seite der Folie in Richtung der Rollenachse auf den Elektroden aufgebracht sind, dienen als Abstands- halter zwischen den aufgewickelten Schichten, so daß die Rolle entlang ihrer Figurenachse von der Suspension durchströmt werden kann. Die Auskopplung der gewünsch¬ ten Teilchensorte aus dem Gemisch erfolgt durch geeig¬ nete Beaufschlagung der beiderseitigen Elektrodenreihen mit einer hochfrequenten Wechselspannung.

Um zu verhindern, daß die aus dem Gemisch ausgekoppel¬ ten Teilchen die Strömung stören oder sich an den Elek¬ troden ablagern, weisen die die Teilchenbahn begrenzen¬ den Elemente nach Anspruch 18 passierbare Durchbrüche auf oder sind aus porösem Material gefertigt. Die aus¬ gekoppelten Teilchen können durch die Öffnungen aus dem Strömungskanal entweichen. Besonders einfach lassen sich solche Öffnungen dadurch erzielen, daß als Grund¬ körper der Vorrichtung eine ultradünne Membrane verwen¬ det wird, in die Durchbrüche geätzt werden.

Bei einer Vorrichtung gemäß Anspruch 19 weisen die Elektrodenflächen reliefartige Strukturen, vorzugsweise Längskanäle in Richtung der Strömung des Suspensions¬ mediums auf. Dadurch wird eine seitliche Ablenkung der nicht ausgekoppelten, strömenden Teilchen vermieden und die Strömung beruhigt. Durch die Beruhigung der Strö-

mung wird eine Erhöhung der Trenngüte erreicht.

Eine Weiterbildung der Erfindung nach Anpruch 20 dient zur Beeinflussung der Laufeigenschaften der strömenden Teilchen. Die lokal unterschiedliche Dicken aufweisende Isolationsschicht auf den Elektroden läßt das elektri¬ sche Feld an verschiedenen Stellen unterschiedlich stark auf die Teilchen einwirken. Auf diese Weise kann der Teilchenstrom wirksam manipuliert werden, da an verschiedenen Stellen der Vorrichtung unterschiedliche Vorzugslaufbahnen für die Teilchen geschaffen werden können. Die mulden- und wellenförmige Struktur des Überzuges dient zur Beruhigung und flexiblen Führung des Teilchenstroms.

Nach Anspruch 21 besteht eine erfindungsgemäße Vorrich¬ tung vorzugsweise aus Materialien, die in der Mikro- strukturtechnik und der Mikroelektronik verwendet wer¬ den und wird mit den dort üblichen Verfahren herge¬ stellt. Der Grundkörper, auf den die Elektroden aufge¬ bracht werden, besteht vorzugsweise aus Silizium, die Elektroden aus Gold.

Nach Anspruch 22 wird die Trennvorrichtung gemeinsam mit einer elektronischen Schaltung zur Ansteuerung der Elektroden und zur Auswertung der Teilchenbewegung auf einem gemeinsamen Grundkörper, vorzugsweise einem Sili- ziumwafer, integriert.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung eignet sich gemäß Anspruch 23 gut für eine Kaskadierung. Durch Hinterein- anderschalten mehrerer Trennvorrichtungen wird die Trenngüte wesentlich gesteigert. Gute Ergebnisse lassen sich erzielen, wenn ein ausgekoppelter Teilstrom auf

die Ausgangs orrichtung zurückgekoppelt wird und die Kaskade erneut durchläuft. In vielen Fällen wird eine sehr hohe Trenngüte bereits dann erreicht, wenn ein ausgekoppelter Teilstrom um eine oder zwei Trennstufen zurückgekoppelt wird.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen ins¬ besondere darin, daß die vorgeschlagene Auftrennung des Gemisches im Gegensatz zu üblichen Trennverfahren einen Schwellwertcharakter aufweist. Die Trennung hängt dem¬ nach nur davon ab, ob eine bestimmte Teilchensorte ihre Führung verlassen kann oder nicht. Der die Trennung bestimmende Schwellwert kann durch die leicht zu beein¬ flussende Beziehung zwischen den dielektrischen Füh¬ rungskräften und den auslenkenden Kraftkomponenten flexibel gewählt werden. Dadurch kann die auszu¬ koppelnde Teilchensorte einfach bestimmt werden und gleichzeitig wird eine hohe Trenngüte errreicht.

Die durch die elektrophoretischen Kräfte vorgegebenen Bahnen können frei im Raum liegend gewählt werden, wodurch unter Verzicht auf Trägermaterialien leistungs¬ fähige Durchflußsysteme zur Teilchentrennung konstru¬ iert werden können.

Durch den einfachen Aufbau der Vorrichtung und die Eignung zur Systemintegration wird eine kostengünstige Trennvorrichtung bereitgestellt.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeich¬ nungen schematisch dargestellt und werden im folgenden ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Elektro¬ phorese,

Fig. 2 eine planare Trennstrecke,

Fig. 3 ein Elektrodenpaar zur Auskopplung von Teilchen aus dem Strom eines suspendierten Teilchenge¬ misches,

Fig. 4 eine Elektrodenanordnung zur Auskopplung von Teilchen aus dem Strom eines suspendierten Teilchengemisches,

Fig. 5 ein Teilchenfilter,

Fig. 6 eine Kaskadenanordnung.

Beschreibung eines Ausführungsbeispiels

Die Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Auskopplung einer Teilchensorte aus dem Strom eines suspendierten Teilchengemisches. Eine Kammer 10 weist eine Einströmöffnung 7 und eine Ausströmöffnung 8 für einen Strom suspendierter Teilchen 1,2 auf. Zwei Reihen von Elektroden 3,4 schließen einen Strömungskanal 9 ein, der die beiden Öffnungen 7,8 verbindet. Durch Anlegen geeigneter hochfrequenter Wechselspannungen an die Elektroden 3,4 werden die Teilchen im Strömungska¬ nal 9 durch die Kammer 10 bewegt. Mit Hilfe der Elek¬ troden 5,6, die parallel zum Strömungskanal 9 angeord¬ net sind, wird ein elektrophoretisch wirksames Feld erzeugt.

Wenn beispielsweise die Teilchensorte 2 stärker mit Oberflächenladungen besetzt ist als die Teilchensorte 1, so kann durch die Wahl der Feldstärken erreicht werden, daß nur die Teilchensorte 2 aus ihrer Führungs¬ bahn ausgelenkt wird. Die Teilchensorte 1 verläßt die Kammer 10 durch die Ausströmöffnung 8. Die Membrane 11

verhindert den Kontakt der ausgekoppelten Teilchen 2 mit der Elektrode 5.

Die Vorrichtung kann mit Hilfe der Verfahren der Mikro- strukturtechnik auf einem nicht abgebildeten Substrat aufgebaut werden. Die Ausdehung der Kammer 10 sowie der Elektroden 3 bis 6 senkrecht zur Zeichenebene kann durch galvanische Abformung bis zu einigen 100 um be¬ tragen.

In Fig. 2 ist eine Vorrichtung zur Aufspaltung eines Stroms eines suspendierten Teilchengemisches in Ströme unterschiedlicher Teilchensorten dargestellt. Auf einem Grundkörper 21 sind 16 planare Elektroden 22 aufge¬ bracht. Mit Hilfe dieser Elektroden wird ein hoch¬ frequentes Wanderfeld erzeugt, das den Strom des sus¬ pendierten Teilchengemisches in eine Richtung senkrecht zu den Elektroden 22 bewegt.

Die ersten 8 der Elektroden 22 weisen eine zentrale Lücke 23 auf, wodurch ein in Richtung des Wanderfeldes verlaufender Kanal 24 ausgebildet wird. Durch zwei auf den Elektroden 22 aufgebrachte isolierende Schichten 25, die im Bereich der ersten 8 Elektroden 22 den Kanal 24 einschließen, wird dieser Kanal 24 in Richtung des Wanderfeldes hin derart verlängert, daß er im Bereich der durchgehenden Elektroden 22 eine zunehmende Kanal¬ breite aufweist. In diesem Bereich ist in der Kanalmit¬ te eine zusätzliche isolierende Schicht 26 aufgebracht, die den sich verbreiternden Kanal 24 in zwei Teilkanäle 27 aufzweigt.

Mit Hilfe der beiden, auf den Isolierschichten 25 auf¬ gebrachten Elektroden 28, wird ein elektrophoretisch

wirksames Feld erzeugt, das zu einer räumlichen Tren¬ nung von unterschiedlichen Teilchensorten im Kanal 24 führt. Durch das Wanderfeld werden die getrennten Teil¬ chensorten in die verschiedenen Teilkanäle weiterge¬ führt.

Die Fig. 3 zeigt ein Elektrodenpaar mit dessen Hilfe Teilchen aus dem Strom eines suspendierten Teilchen¬ gemisches ausgekoppelt werden. Die Elektroden 31 und 32 schließen einen Strömungskanal 33 ein. Der ankommende Teilchenstrom ist durch einen Pfeil angedeutet. Das Teilchengemisch wird durch die Strömung des Suspen¬ sionsmediums durch die Vorrichtung bewegt. Durch die¬ lektrophoretische Kräfte werden Teilchen einer bestimm¬ ten Sorte im Kanal 33 aus dem Gemisch ausgekoppelt. Die hierzu erforderlichen Feldinhomogenitäten werden durch die Oberflächenirregularitäten der Elektroden 31, 32 erzeugt. Die Auswahl der auszukoppelnden Teilchensorte erfolgt durch die Wahl der Frequenz und Stärke der zwischen den Elektroden 31,32 angelegten hochfrequenten Wechselspannung U (f). Die Oberflächen der Elektroden 31, 32 werden durch Ätzverfahren strukturiert.

In Fig. 4 ist eine Elektrodenanordnung zur Auskopplung von Teilchen aus dem Strom eines suspendierten Teil-, chengemisches dargestellt. Zwei Reihen von Elektroden 41, 42 schließen einen Strömungskanal 43 ein, durch welchen das durch einen Pfeil dargestellte, suspendier¬ te Teilchengemisch fließt. Die langgestreckten Elektro¬ den 41, 42 der beiden Reihen sind parallel zueinander, ungleich abständig angeordnet. Jeweils benachbarte Elektroden einer Reihe sind mit .verschiedenen Polen einer hochfrequenten Spannungsquelle verbunden. Durch die mittels der Elektroden 41, 42 erzeugten dielek-

trophoretischen Haltekräfte werden aus dem Teil¬ chenstrom verschiedene Teilchensorten ausgekoppelt, wobei verschiedene Teilchensorten an verschiedenen Orten gehalten werden. Die Auswahl der auszukoppelnden Teilchen erfolgt durch Einstellung der angelegten Feld¬ frequenzen fl, f2, bzw. über die gewählten Spannungen Ul, U2.

Die Fig. 5 zeigt einen zu einer Rolle aufgewickelten Teilchenfilter, dessen Ende zur Verdeutlichung ausge¬ wickelt ist. Auf einer langgestrecken Folie 51 sind beiseitig Elektrodensysteme 52, 53 aufgebracht. Sowohl die parallel zur Längsrichtung der Folie verlaufenden Elektroden 52 auf der einen Folienoberfläche, als auch der senkrecht zur Längsrichtung der Folie verlaufenden Elektroden 53 auf der anderen Folienoberfläche, sind an einem Ende miteinander leitend verbunden. Über den Elektroden 52 sind in regelmäßigen Abständen isolieren¬ de Brücken 54 angebracht, die nach dem Aufrollen der Folie einen elektrischen Kontakt zwischen den Elektro¬ densystemen unterbinden und Durchstromungsräume für- den Strom des suspendierten Teilchengemisches offenhalten. Die Strömung des Teilchengemisches durch die Rolle ist durch Pfeile angedeutet. Durch dielektro-phoretische Haltefelder werden aus dem durchströmenden Teilchenge¬ misch bestimmte Teilchensorten ausgekoppelt. Die Halte¬ felder werden durch Anlegen einer hochfrequenten Wech¬ selspannung zwischen den Elektrodensystemen erzeugt.

Die Fig. 6 zeigt eine kaskadenförmige Trennstrecke. Fünf Trennvorrichtungen (wie z.B. in Fig. 2 dargestellt sind hintereinander angeordnet. Die Pfeile 4 deuten an, daß in diesem Bereich durch Kombination der Dielek- trophorese und einer zusätzlichen Kraft das Teil-

chengemisch 1 in zwei Fraktionen 2, 3 zerlegt wird. Die Fraktion der aus dem Gemisch ausgekoppelten Teil¬ chensorte 2 durchläuft zur Reinigung von verbliebenen Teilchen des Gemisches weitere Trennstufen. Um die in der Fraktion 3 verbliebenen Teilchen der Sorte 2 zu gewinnen, wird jeweils die Teilchenfraktion 3 bei¬ spielsweise durch ein elektrisches, hochfrequentes Wanderfeld 5 zum Anfang der Kaskade oder jeweils eine Trennstufe zurückgeführt. Mit Hilfe der kaskadenförmi- gen Trennstrecke wird eine besonders hohe Trenngüte erreicht.